CN103858079B - 触摸面板 - Google Patents

触摸面板 Download PDF

Info

Publication number
CN103858079B
CN103858079B CN201280046972.3A CN201280046972A CN103858079B CN 103858079 B CN103858079 B CN 103858079B CN 201280046972 A CN201280046972 A CN 201280046972A CN 103858079 B CN103858079 B CN 103858079B
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
detection sub
electrostatic capacitance
sub
piezoelectric voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201280046972.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103858079A (zh
Inventor
安藤正道
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of CN103858079A publication Critical patent/CN103858079A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103858079B publication Critical patent/CN103858079B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04105—Pressure sensors for measuring the pressure or force exerted on the touch surface without providing the touch position

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)

Abstract

触摸面板（1）具备具有相互对置的第1主面（100ST）和第2主面（100SB）的平膜状的压电薄膜（100）。具备形成在压电薄膜（100）的第1主面（100ST）及第2主面（100SB）的静电电容检测用电极用的第1、第2静电电容检测用子电极（11A～11F、21A～21F）。第1、第2静电电容检测用子电极（11A～11F、21A～21F）检测触摸位置。触摸面板（1）具备形成在压电薄膜（100）的第1主面（100ST）及第2主面（100SB）的压电电压检测用电极用的第1、第2压电电压检测用子电极（13A～13L、23A～23L）。第1、第2压电电压检测用子电极（13A～13L、23A～23L）检测与针对压电薄膜（100）的按压量相对应的压电电压。

Description

触摸面板
技术领域
本发明涉及对用手指等操作输入的位置和该操作时的按压量进行检测的触摸面板。
背景技术
以往，设计了各种触摸面板，该触摸面板通过操作者用手指等触摸平面状的操作面，来同时检测该触摸位置和触摸时的按压量。
例如，在专利文献1中记载了一种使平板状的压敏传感器和检测触摸位置的触摸面板密接且重叠的结构的触摸输入装置。在该触摸输入装置中，触摸位置由触摸面板检测出。按压量由与触摸面板分开形成且与该触摸面板重叠的压敏传感器检测出。
专利文献1：日本特开平5－61592号公报
然而，专利文献1所记载的触摸输入装置为了检测触摸位置和按压量，需要分别使用触摸面板和压敏传感器，并重叠它们。因此，触摸输入装置的厚度成为将触摸面板的厚度和压敏传感器的厚度相加后的厚度以上，从而不易形成薄型。
另外，在欲形成透光性高的触摸输入装置的情况下，在专利文献1所记载的结构中，不能获得比将触摸面板的透光性和压敏传感器的透光性相加后的透光性更高的透光性。因此，成为了透光性比较低的触摸面板输入装置。
发明内容
鉴于此，本发明的目的在于提供一种能够检测触摸位置和按压量的薄型的触摸面板。
（1）本发明的触摸面板具备具有相互对置的第1主面和第2主面的平膜状的压电薄膜，并且具备被配置在压电薄膜的第1主面侧或者第2主面侧中的至少任意一侧的静电电容检测用电极。静电电容检测用电极检测触摸位置。触摸面板具备被配置在压电薄膜的第1主面侧及第2主面侧的压电电压检测用电极。压电电压检测用电极检测与针对压电薄膜的按压量相对应的压电电压。
根据该结构，如果将1枚压电薄膜的第1主面作为操作面，且操作者触摸该操作面，则在触摸位置的静电电容发生变化。通过被配置在第1主面侧或者第2主面侧中的至少任意一侧的静电电容检测用电极，检测该静电电容的变化，从而检测出触摸位置。另外，通过被配置在第1主面侧及第2主面侧的压电电压检测用电极，得到压电电压。因为压电电压依赖于按压量，所以通过得到压电电压，而检测出按压量。因此，由1枚压电薄膜及其两面的电极检测触摸位置和按压量，能够薄型地形成触摸面板。
（2）另外，优选本发明的触摸面板的压电薄膜由至少沿一轴向进行了拉伸处理的聚乳酸构成。
根据该结构，因为单向拉伸了的聚乳酸，压电常数高，且介电常数低，所以如果使用聚乳酸来作为压电薄膜的材料，则由触摸引起的按压量的检测灵敏度变高，且由触摸引起的静电电容的变化的检测灵敏度也变高。由此，成为仅为1枚压电薄膜的结构，并且与以往的使静电电容检测用的触摸面板与压敏传感器重叠的结构相比，能够对触摸位置及按压量这双方进行高精度的检测。并且，因为聚乳酸与丙烯酸树脂相同透光性高，所以也能够实现透光性高的触摸面板。而且，因为聚乳酸没有热电性，所以当手指等触碰触摸面板表面时，即使传递体温，也不对按压量（按压力）的检测电压造成影响。因此，在使用聚乳酸作为压电薄膜的材料的情况下，若与使用PVDF等具有热电性的压电薄膜的情况相比较，则不需要为了不传递体温而附加间接地传递按压力那样的复杂的结构。
（3）另外，优选本发明的触摸面板是如下结构。静电电容检测用电极具备：由沿与第1主面及第2主面平行的第1方向延伸的形状构成，并且在与第1主面及第2主面平行且与第1方向交叉的第2方向拉开间隔而配置的多个第1静电电容检测用子电极；由沿第2方向延伸的形状构成，且在第1方向拉开间隔而配置的多个第2静电电容检测用子电极。压电电压检测用电极具备形成在第1主面的第1压电电压检测用子电极和形成在第2主面的第2压电电压检测用子电极。第1静电电容检测用子电极和第1压电电压检测用子电极形成在同一平面。
根据该结构，通过静电电容检测用电极包括沿第1方向延伸的第1静电电容检测用子电极和沿与第1方向交叉的第2方向延伸的第2静电电容检测用子电极，能够以二维坐标检测触摸位置。而且，因为第1静电电容检测用子电极和第1压电电压检测用子电极在同一平面内，所以能够使触摸面板薄型化。
（4）另外，对于本发明的触摸面板而言，第1压电电压检测用子电极形成在构成多个第1静电电容检测用子电极的各个第1静电电容检测用子电极之间。
根据该结构，能够高效地将第1静电电容检测用子电极和第1压电电压检测用子电极配置在同一平面内。
（5）另外，对于本发明的触摸面板而言，优选第1静电电容检测用子电极形成在第1主面，第2静电电容检测用子电极形成在第2主面。
根据该结构，因为第1静电电容检测用子电极与第2静电电容检测用子电极之间夹持的电介体构成压电薄膜，所以不另外需要该电介体，从而触摸面板的结构被简化。
在上述的优选实施方式中，更加优选采用以下那样的结构。第2压电电压检测用子电极形成在构成多个第2静电电容检测用子电极的各个第2静电电容检测用子电极之间；第1压电电压检测用子电极和第2压电电压检测用子电极形成为隔着压电薄膜遍布大约整个表面地大致均匀地分布并对置。
根据该结构，能够遍布第1主面和第2主面的大致整个表面且大致均匀地检测按压力。而且，能够使与压电电压检测用子电极的长度及宽度相对应的对置面积发挥作用。因此，即使作为各个压电电压检测用子电极的电荷检测能力不那么高，但因为能够确保基于所有的第1、第2压电电压检测用子电极的在第1主面和第2主面整体的对置面积在一定程度以上，所以仍能够高效地检测基于压电效应的电荷的产生。并且，因为在使用聚乳酸来作为压电薄膜的材料的情况下压电常数高，所以如果能够确保基于第1、第2压电电压检测用子电极的对置面积为一定程度，则在按压量的检测时能够检测充分的电荷量。
另外，本发明的触摸面板也可以采用以下的结构。在多个第1静电电容检测用子电极的表面和第1压电电压检测用子电极的表面形成有保护层。隔着保护层，在多个第1静电电容检测用子电极及第1压电电压检测用子电极的相反侧形成多个第2静电电容检测用子电极。
根据该结构，因为隔着极薄的保护层配置第1静电电容检测用子电极和第2静电电容检测用子电极，所以能够进一步提高静电电容的变化的检测灵敏度。
另外，对于本发明的触摸面板而言，优选按照第1静电电容检测用子电极及第2静电电容检测用子电极由宽幅部和窄幅部交替连接的形状构成、且第1静电电容检测用子电极的窄幅部与第2静电电容检测用子电极的窄幅部隔着压电薄膜对置的方式，来形成第1静电电容检测用子电极及第2静电电容检测用子电极。
根据该结构，从与操作面（第1主面）正交的方向观察时第1静电电容检测用子电极和第2静电电容检测用子电极中的面积大的宽幅部不重合，所以在操作者使手指等接触操作面的情况下，易于产生静电电容的变化，且变得易于检测触摸位置。即，能够使对触摸位置的检测灵敏度提高。
另外，本发明的触摸面板的压电电压检测用电极也可以按将压电薄膜的平面四分割后的每一部分区域来分别形成。
根据该结构，通过将压电薄膜的平面（操作面）分割成4个区域，即使压电薄膜的操作面的4个侧边被固定，各个区域也变得与仅正交的2个侧边被固定的结构相同。因此，通过获得像这样进行分割后的各区域的检测电压，即使压电薄膜的操作面的4个侧边被固定，也能够有效地检测按压量。
另外，本发明的触摸面板的压电电压检测用电极能够按每个部分区域分离而形成。
在该结构中，因为压电电压检测用电极按每一部分区域而形成，所以能够按每一部分区域获得与该部分区域相对应的检测电压。
另外，本发明的触摸面板也可以用以下的结构实现。压电电压检测用电极由第1主面的第1部分区域的电极与第2部分区域的电极分离的形状构成。压电电压检测用电极由第1主面的第3部分区域的电极与第4部分区域的电极连接的形状构成。压电电压检测用电极由第2主面的第1部分区域的电极与第3部分区域的电极连接的形状构成。压电电压检测用电极由第2主面的第2部分区域的电极与第4部分区域的电极连接的形状构成。
在该结构中，实现第1部分区域的压电电压检测用电极、第3部分区域的压电电压检测用电极、第4部分区域的压电电压检测用电极、以及第2部分区域的压电电压检测用电极按照该顺序串联连接的结构。由此，不另外需要用于将在各部分区域的检测电压相加的引出电极。因此，能够小型地形成不仅包括各部分区域的按压量检测、还包括检测电压的加法电路的结构。
另外，优选本发明的触摸面板是以下的结构。按照第1静电电容检测用子电极的宽幅部不与第2静电电容检测用子电极的宽幅部对置、且从与压电薄膜的主面正交的方向观察在两宽幅部之间产生规定宽度的间隙的方式，形成第1静电电容检测用子电极及第2静电电容检测用子电极。按照在间隙内收容第1压电电压检测用子电极与第2压电电压检测用子电极的对置部分的方式，形成第1压电电压检测用子电极及第2压电电压检测用子电极。
根据该结构，能够不使静电电容或压电电压的检测性能降低地、有效地配置第1、第2静电电容检测用子电极、以及第1、第2压电电压检测用子电极。
另外，更加优选本发明的触摸面板是以下的结构。第1静电电容检测用子电极的宽幅部和第2静电电容检测用子电极的宽幅部形成为具有分别相对于第1方向及第2方向成约45°的斜边的大致正方形。第1压电电压检测用子电极具有沿着第1静电电容检测用子电极的窄幅部且在第1方向延伸的直线部、和沿着第1静电电容检测用子电极的宽幅部且相对于第1方向倾斜了约45°的倾斜部。第2压电电压检测用子电极具有沿着第2静电电容检测用子电极的窄幅部且在第2方向延伸的直线部、和沿着第2静电电容检测用子电极的宽幅部且相对于第2方向倾斜了约45°的倾斜部。第1压电电压检测用子电极的倾斜部和第2压电电压检测用子电极的倾斜部隔着压电薄膜对置。
根据该结构，能够更加有效地配置第1、第2静电电容检测用子电极、以及第1、第2压电电压检测用子电极。
根据本发明，能够实现能够检测触摸位置和按压量的薄型的触摸面板。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的俯视图。
图2是本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的多个剖面图。
图3是构成本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的主功能部10的第1主面100ST的俯视图。
图4是构成本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的主功能部10的第2主面100SB的俯视图。
图5是用于对本发明的第1实施方式所涉及的主功能部10的按压量检测功能进行说明的图。
图6是本发明的第1实施方式所涉及的主功能部10的按压量的检测电压的波形图、以及表示检测电压与按压量之间的相关关系的图表。
图7是用于对触摸面板1的第1制造方法进行说明的图。
图8是用于对触摸面板1的第2制造方法进行说明的图。
图9是构成本发明的第2实施方式所涉及的触摸面板1A的主功能部10A的第1主面100ST的俯视图。
图10是构成本发明的第2实施方式所涉及的触摸面板1A的主功能部10A的第2主面100SB的俯视图。
图11是构成本发明的第3实施方式所涉及的触摸面板1B的主功能部10B的第1主面100ST的俯视图。
图12是构成本发明的第3实施方式所涉及的触摸面板1B的主功能部10B的第2主面100SB的俯视图。
图13是构成本发明的第4实施方式所涉及的触摸面板1C的主功能部10C的第1主面100ST的俯视图。
图14是构成本发明的第4实施方式所涉及的触摸面板1C的主功能部10C的第2主面100SB的俯视图。
图15是本发明的第5实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10D的第1主面100ST的俯视图。
图16是本发明的第5实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10D的侧视图。
图17是将本发明的第5实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10D局部扩大后的侧面剖面图。
图18是本发明的第6实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10E的侧视图。
图19是将本发明的第6实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10E局部扩大后的侧面剖面图。
图20是表示第2压电电压检测用电极的形状例的图。
具体实施方式
参照附图对本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板进行说明。图1是本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的主功能部10的俯视图。图2是本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的主功能部10中的A－A’剖面图、B－B’剖面图、C－C’剖面图、D－D’剖面图。图3是构成本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的主功能部10的第1主面100ST的俯视图。图4是构成本发明的第1实施方式所涉及的触摸面板1的主功能部10的第2主面100SB的俯视图。其中，图3、图4是从第1主面100SST侧观察第1主面100ST、第2主面100SB时的图。其中，图1、图2、图3、图4的电极图案仅为一个例子，第1静电电容检测用子电极、第2静电电容检测用子电极、第1压电电压检测用子电极以及第2压电电压检测用子电极的配置个数并不仅限于此，这些个数根据触摸面板的规格来适当决定。
触摸面板1具备：压电薄膜100，保护层30、40，按后述的图案形成的压电电压检测用电极及静电电容检测用电极。
压电薄膜100由具备相互对置的第1主面100ST和第2主面100SB的矩形的平膜构成。压电薄膜100由被单向拉伸了的L型聚乳酸（PLLA）形成。
PLLA是手性聚合物，其主链具有螺旋结构。PLLA若被单向拉伸且使分子取向，则具有压电性。被单向拉伸了的PLLA的压电常数即使在各种聚合物具有的压电常数之中也属于非常高的部类。
其中，优选拉伸倍率为3～8倍左右。通过在拉伸后实施热处理，促进聚乳酸的伸展链晶体的晶化而提高压电常数。此外，通过在进行了双向拉伸的情况下使各个轴的拉伸倍率不同能够获得与单向拉伸相同的效果。例如在将某个方向作为X轴而对该方向实施了8倍的延伸、对与该轴正交的Y轴方向实施了2倍的延伸的情况下，关于压电常数能够获得与在对X轴方向实施了大约4倍的单向拉伸的情况相同的效果。因为简单地单向拉伸了的薄膜沿拉伸轴方向易于破裂，所以通过进行如前述那样的双向拉伸能够增加几分强度。
另外，PLLA通过基于拉伸等的分子的取向处理而产生压电性，且如PVDF等其他聚合物、压电陶瓷那样，不需要进行极化处理。即，不属于铁电体的PLLA的压电性不是如PVDF、PZT等铁电体那样通过离子的极化而发现的物质，而是由作为分子的特殊结构的螺旋结构而衍生的物质。因此，在PLLA中不产生在其他的强介电性的压电体产生的热电性。并且，PVDF等能够随时间变化地观察压电常数的变动，且有时根据情况而压电常数显著降低，但PLLA的压电常数随时间变化而极其稳定。
另外，因为PLLA的相对介电常数为约2.5，非常的低，所以若设d为压电常数、εT为介电常数，则压电输出常数（＝压电g常数，g＝d／εT）成为很大的值。
这里，根据上述公式，介电常数ε33 T＝13×ε0、压电常数d31＝25pC／N的PVDF的压电g常数成为g31＝0.2172Vm／N。另一方面，若将作为压电常数d14＝10pC／N的PLLA的压电g常数换算成g31并求出，则因为d14＝2×d31，所以d31＝5pC／N，压电g常数成为g31＝0.2258Vm／N。因此，在压电常数d14＝10pC／N的PLLA，能够充分地得到与PVDF相同的按压量的检测灵敏度。而且，本申请发明的发明者实验性地得到d14＝15～20pC／N的PLLA，通过使用该PLLA，能够进一步非常高灵敏度地检测按压量。
并且，如上述那样，PLLA与能够获得高的压电常数的一般的铁电体不同，介电常数低。因此，在形成在第1主面100ST的电极与形成在第2主面100SB的电极间的电场限域效应低。由此，如果从外部手指等电介体接近、接触，则静电电容容易发生变化。即，相对于静电电容的变化的检测灵敏度高。
在由具有这样的特性的PLLA构成的压电薄膜100的第1主面100ST中，按图1、图3所示那样的图案形成有构成静电电容检测用电极的多个第1静电电容检测用子电极11A～11F和构成压电电压检测用电极的多个第1压电电压检测用子电极13A～13L。这些多个第1静电电容检测用子电极11A～11F和多个第1压电电压检测用子电极13A～13L优选使用以ITO、ZnO、聚噻吩为主要成分的有机电极、以聚苯胺为主要成分的有机电极、使用了银纳米线的电极、使用了碳纳米管的电极中的任意一个。通过使用这些材料，能够形成透光性高的电极图案。这些材料通过蒸镀、溅射或者镀覆等形成。此外，在透明性不是必须的情况下，也能够使用通过蒸镀、溅射或者镀覆等形成的上述材料以外的金属类的电极、由银膏形成的电极。
多个第1静电电容检测用子电极11A～11F由相互相同的形状构成。具体而言，例如，第1静电电容检测用子电极11A具备多个宽幅部111和多个窄幅部112和一对端部用的宽幅部113。各宽幅部111由正方形构成。宽幅部111并非一定需要是正方形，也可以是菱形、平行四边形等，能够设为检测IC所要求的任意的形状。窄幅部112由相对于宽度长度较长的矩形形状构成。端部用的宽幅部113由大致等腰三角形构成。多个宽幅部111和多个窄幅部112按照沿着第1静电电容检测用子电极11A的延伸方向交替排列的方式连接。这时，各宽幅部111按照正方形的对角线与相对于窄幅部112的连接方向相平行的方式，与窄幅部112连接。并且，各宽幅部111在形成该对角线的一对顶角处，与窄幅部112连接。
在第1静电电容检测用子电极11A的延伸方向的两端，具备端部用的宽幅部113。由多个宽幅部111和多个窄幅部112构成的连续的电极图案的两端通过窄幅部112与端部用的宽幅部113连接。这时，端部用的宽幅部113在等腰三角形的顶角处与窄幅部112连接。
多个第1静电电容检测用子电极11A～11F按照沿着压电薄膜100的第1主面100ST中的第1方向延伸的方式形成。多个第1静电电容检测用子电极11A～11F沿着第1主面100ST中的与上述第1方向正交的第2方向，拉开规定间隔而形成。这时，多个第1静电电容检测用子电极11A～11F形成为各个宽幅部111位于沿着第1方向的相同位置，换言之，宽幅部111分别沿着第2方向排列。
这里，第1方向和第2方向被设定为相对于压电薄膜100的单向拉伸方向900成约45°的角度的方向。约45°例如是指包括45°±10°左右的角度。这些角度是基于位移传感器的用途，并根据弯曲的检测精度等整体的设计，而应适当决定的设计事项。
多个第1压电电压检测用子电极13A～13L以沿着第1静电电容检测用子电极11A～11F的外形形状的形状，从该第1静电电容检测用子电极11A～11F分离而形成。
具体而言，第1压电电压检测用子电极13A沿着第1静电电容检测用子电极11A中的与第1静电电容检测用子电极11B相反侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11A分离而形成。
第1压电电压检测用子电极13B沿着第1静电电容检测用子电极11A中的第1静电电容检测用子电极11B侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11A分离而形成。第1压电电压检测用子电极13C沿着第1静电电容检测用子电极11B中的第1静电电容检测用子电极11A侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11B分离而形成。第1压电电压检测用子电极13B、13C在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极13D沿着第1静电电容检测用子电极11B中的第1静电电容检测用子电极11C侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11B分离而形成。第1压电电压检测用子电极13E沿着第1静电电容检测用子电极11C中的第1静电电容检测用子电极11B侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11C分离而形成。第1压电电压检测用子电极13D、13E在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极13F沿着第1静电电容检测用子电极11C中的第1静电电容检测用子电极11D侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11C分离而形成。第1压电电压检测用子电极13G沿着第1静电电容检测用子电极11D中的第1静电电容检测用子电极11C侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11D分离而形成。第1压电电压检测用子电极13F、13G在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极13H沿着第1静电电容检测用子电极11D中的第1静电电容检测用子电极11E侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11D分离而形成。第1压电电压检测用子电极13I沿着第1静电电容检测用子电极11E中的第1静电电容检测用子电极11D侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11E分离而形成。第1压电电压检测用子电极13H、13I在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极13J沿着第1静电电容检测用子电极11E中的第1静电电容检测用子电极11F侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11E分离而形成。第1压电电压检测用子电极13K沿着第1静电电容检测用子电极11F中的第1静电电容检测用子电极11E侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11F分离而形成。第1压电电压检测用子电极13J、13K在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极13L沿着第1静电电容检测用子电极11F中的与第1静电电容检测用子电极11E相反侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11F分离而形成。
第1压电电压检测用子电极13A～13K通过引出电极14汇集，并与外部电路连接。第1静电电容检测用子电极11A～11F分别单独地与引出电极12A～12F连接，并经由该引出电极12A～12F与外部电路连接。这些引出电极12A～12F、14形成在比第1静电电容检测用子电极11A～11F和第1压电电压检测用子电极13A～13K的形成区域更外侧。并且，引出电极12A～12F形成在第1方向的一端，引出电极14形成在第1方向的另一端。
另外，在压电薄膜100的第2主面100SB中，按图1、图4所示那样的图案形成有构成静电电容检测用电极的多个第2静电电容检测用子电极21A、21B、21C、21D、21E、21F和构成压电电压检测用电极的多个第2压电电压检测用子电极23A、23B、23C、23D、23E、23F、23G、23H、23I、23J、23K、23L。这些多个第2静电电容检测用子电极21A～21F和第2压电电压检测用子电极23A～23L也优选使用以ITO、ZnO、聚噻吩为主要成分的有机电极、以聚苯胺为主要成分的有机电极、使用了银纳米线的电极、使用了碳纳米管的电极中的任意一种。通过使用这些材料，能够形成透光性高的电极图案。此外，在透明性不是必须的情况下，也能够使用由银膏形成的电极、通过蒸镀、溅射或者镀覆等而形成的金属类的电极。
多个第2静电电容检测用子电极21A～21F由相同形状构成。具体而言，例如，第2静电电容检测用子电极21A具备多个宽幅部211和多个窄幅部212和一对端部用的宽幅部213。各宽幅部211由正方形构成。宽幅部211并非一定需要是正方形，也可以是菱形、平行四边形等，能够设为检测IC所要求的任意的形状。窄幅部212由相对于宽度长度较长的矩形形状构成。端部用的宽幅部213由大致等腰三角形构成。多个宽幅部211和多个窄幅部212按照沿着第2静电电容检测用子电极21A的延伸方向交替排列的方式连接。这时，各宽幅部211按照正方形的对角线与相对于窄幅部212的连接方向相平行的方式，与窄幅部212连接。并且，各宽幅部211在形成该对角线的一对顶角处，与窄幅部212连接。
在第2静电电容检测用子电极21A的延伸方向的两端具备端部用的宽幅部213。由多个宽幅部211与多个窄幅部212构成的连续的电极图案的两端通过窄幅部212与端部用的宽幅部213连接。这时，端部用的宽幅部213在等腰三角形的顶角处与窄幅部212连接。
多个第2静电电容检测用子电极21A～21F按照沿着压电薄膜100的第2主面100SB中的第2方向延伸的方式形成。多个第2静电电容检测用子电极21A～21F沿着第2主面100SB中的与上述第2方向正交的第1方向，拉开规定间隔而形成。这时，多个第2静电电容检测用子电极21A～21F形成为各个宽幅部211位于沿着第2方向的相同位置，换言之，宽幅部211分别沿第1方向排列。
另外，多个第2静电电容检测用子电极21A～21F按照各个宽幅部212隔着压电薄膜100不与第1静电电容检测用子电极11A～11F的宽幅部111对置的方式而形成。换言之，从第1主面100ST侧观察，按照构成多个第2静电电容检测用子电极21A～21F的各宽幅部212不与构成第1静电电容检测用子电极11A～11F的各宽幅部111重叠的方式，形成第2静电电容检测用子电极21A～21F。若进一步使用其他的表现形式，则多个第1静电电容检测用子电极11A～11F及多个第2静电电容检测用子电极21A～21F仅在窄幅部112、212的部分处隔着压电薄膜100对置。
并且，从第1主面100ST侧观察，按照在构成多个第2静电电容检测用子电极21A～21F的各宽幅部211与构成第1静电电容检测用子电极11A～11F的各宽幅部111之间形成规定宽度的间隙的方式，形成第1静电电容检测用子电极11A～11F及第2静电电容检测用子电极21A～21F。而且，该间隙的宽度按照从第1主面100ST侧观察形成在上述第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极13A～13K收容在间隙内的方式来设定。
多个第2压电电压检测用子电极23A～23L以沿着第2静电电容检测用子电极21A～21F的外径形状的形状，从该第2静电电容检测用子电极21A～21F分离而形成。
具体而言，第2压电电压检测用子电极23A沿着第2静电电容检测用子电极21A中的与第2静电电容检测用子电极21B相反侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21A分离而形成。
第2压电电压检测用子电极23B沿着第2静电电容检测用子电极21A中的第2静电电容检测用子电极21B侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21A分离而形成。第2压电电压检测用子电极23C沿着第2静电电容检测用子电极21B中的第2静电电容检测用子电极21A侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21B分离而形成。第2压电电压检测用子电极23B、23C在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极23D沿着第2静电电容检测用子电极21B中的第2静电电容检测用子电极21C侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21B分离而形成。第2压电电压检测用子电极23E沿着第2静电电容检测用子电极21C中的第2静电电容检测用子电极21B侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21C分离而形成。第2压电电压检测用子电极23D、23E在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极23F沿着第2静电电容检测用子电极21C中的第2静电电容检测用子电极21D侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21C分离而形成。第2压电电压检测用子电极23G沿着第2静电电容检测用子电极21D中的第2静电电容检测用子电极21C侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21D分离而形成。第2压电电压检测用子电极23F、23G在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极23H沿着第2静电电容检测用子电极21D中的第2静电电容检测用子电极21E侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21D分离而形成。第2压电电压检测用子电极23I沿着第2静电电容检测用子电极21E中的第2静电电容检测用子电极21D侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21E分离而形成。第2压电电压检测用子电极23H、23I在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极23J沿着第2静电电容检测用子电极21E中的第2静电电容检测用子电极21F侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21E分离而形成。第2压电电压检测用子电极23K沿着第2静电电容检测用子电极21F中的第2静电电容检测用子电极21E侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21F分离而形成。第2压电电压检测用子电极23J、23K在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极23L沿着第2静电电容检测用子电极21F中的与第2静电电容检测用子电极21E相反侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21F分离而形成。
并且，形成在第2主面100SB的第2压电电压检测用子电极23A～23L和形成在第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极13A～13K，按照在从第1主面100ST侧观察到的在宽幅部211、213和宽幅部111、113之间产生的间隙，遍布几乎整个长度地隔着压电薄膜100相互对置的方式而形成。
例如，如图1所示，在第2静电电容检测用子电极21A的端部用的宽幅部213与第1静电电容检测用子电极11A的端部用的宽幅部113之间，第2压电电压检测用子电极23A与第1压电电压检测用子电极13A对置。另外，在第2静电电容检测用子电极21A的宽幅部211与第1静电电容检测用子电极11A、11B的端部用的宽幅部113之间，第2压电电压检测用子电极23A分别与第1压电电压检测用子电极13B、13C对置。
此外，如图1所示，第2压电电压检测用子电极23A的其他部位也同样，与第1压电电压检测用子电极13D～13L对置，其他的第2压电电压检测用子电极23B～23L也分别与第1压电电压检测用子电极13A～13L对置。
第2压电电压检测用子电极23A～23K通过引出电极24汇集，并与外部电路连接。第2静电电容检测用子电极21A～21F分别单独地与引出电极22A～22F连接，并经由该引出电极22A～22F与外部电路连接。这些引出电极22A～22F、24形成在比第2静电电容检测用子电极21A～21F和第2压电电压检测用子电极23A～23K的形成区域更外侧。并且，引出电极22A～22F形成在第2方向的一端，引出电极24形成在第2方向的另一端。
像这样，通过形成有第1静电电容检测用子电极11A～11F、第1压电电压检测用子电极13A～13L、第2静电电容检测用子电极21A～21F以及第2压电电压检测用子电极23A～23L的压电薄膜100，来构成触摸面板1的主功能部10。
在主功能部10中的压电薄膜100的第1主面100ST侧，按照覆盖第1静电电容检测用子电极11A～11F及第1压电电压检测用子电极13A～13L的电极图案形成区域的整个表面的方式，配设有保护层30。保护层30由具有绝缘性且具有透光性的材料来形成。此外，在透光性不是必须的情况下，只要是具有绝缘性，对于材料没有特别限定。
在主功能部10中的压电薄膜100的第2主面100SB侧，按照覆盖第2静电电容检测用子电极21A～21F以及第2压电电压检测用子电极23A～23L的电极图案形成区域的整个表面的方式，配设有保护层40。保护层40也与保护层30相同，由具有绝缘性且具有透光性的材料来形成。此外，在透光性不是必须的情况下，只要是具有绝缘性，对于材料没有特别限定。
另外，保护层30、40使用聚对苯二甲酸乙二醇酯PET、聚萘二甲酸乙二醇酯PEN、聚丙烯PP等即可，并且按不阻碍压电薄膜100的弯曲的形状（厚度等）来形成即可。
由以上那样的结构构成的触摸面板1如以下那样对触摸位置及按压量进行检测。
静电电容检测用的引出电极12A～12F、22A～22F与静电电容检测电路连接。压电电压检测用的引出电极14、24与压电电压检测电路连接。
首先，触摸位置按以下那样的原理检测。其中，在本实施方式的结构中，使用所谓的基于投射型互电容方式的触摸位置的检测概念，并省略详细的检测概念的说明。因此，在以下，简要地对触摸位置的检测概念进行说明。
经由引出电极12A～12F、引出电极22A～22F对第1静电电容检测用子电极11A～11F与第2静电电容检测用子电极21A～21F之间施加驱动信号。
在这样的状态下，若操作者用手指触摸保护层30的规定位置，则在该触摸位置的电场的一部分被诱导至手指侧。由此，在触摸位置，与没有进行用手指的触摸时相对，静电电容发生变化。因此，通过用静电电容检测电路检测这样的静电电容的变化，能够检测出由手指进行的触摸。
这里，如上述那样，第1静电电容检测用子电极11A～11F以向第1方向延伸的形状沿着第2方向按规定间隔来进行配设，第2静电电容检测用子电极21A～21F以向第2方向延伸的形状沿着第1方向按规定间隔来进行配设，由此，第1静电电容检测用子电极11A～11F与第2静电电容检测用子电极21A～21F隔着压电薄膜100而对置的位置、换言之产生电场而流动检测用的电流的位置，能够根据构成该对置位置的第1静电电容检测用子电极和第2静电电容检测用子电极的组合以二维坐标检测出。例如，当操作者触摸了第1静电电容检测用子电极11C与第2静电电容检测用子电极21D的对置位置附近时，在该对置位置附近，电场发生变化，且从第1静电电容检测用子电极11C经由第2静电电容检测用子电极21D而流动的电流发生变化。这时，因为在其他的对置位置电场不变化，所以电流也不变化。通过使用这样的原理，能够检测触摸位置。
并且，通过按照沿着与作为操作面的第1主面100ST正交的方向观察，在窄幅部112、212对置，在宽幅部111、112不重合的方式来配设本实施方式的第1静电电容检测用子电极11A～11F及第2静电电容检测用子电极21A～21F，由此相对于第1静电电容检测用子电极11A～11F及第2静电电容检测用子电极21A～21F这两方，易于产生由手指的触摸造成的电场变化。由此，能够提高触摸的检测灵敏度。
另外，并且在本实施方式中，压电薄膜100是PLLA，由此形成静电电容的介电常数低，易于受到来自外部的影响。由此，更加易于产生由手指的触摸而造成的电场变化，从而能够进一步提高触摸的检测灵敏度。
接下来，对按压量的检测概念进行说明。图5是用于对本发明的第1实施方式所涉及的主功能部10的按压量检测功能进行说明的图。图5（A）表示不施加按压力的状态，图5（B）表示施加由手指产生的按压力的状态。图6（A）是表示按压量与检测电压之间的相关关系的图，图6（B）是表示本发明的第1实施方式所涉及的主功能部10的按压量的检测电压的波形图。
如图5（A）所示，将触摸面板1的主功能部10按照相互平面密接的方式安装于平板状的弹性体50的一个主面。弹性体50由玻璃、丙烯酸树脂、聚碳酸酯等形成。弹性体50并不局限于这里所记载的材料，根据使用条件来选择适当的材料即可。另外，关于使触摸面板1的主功能部10进行贴合的表面，也根据使用条件来选择适当的表面即可。用支承体501来支承弹性体50的对置的两端。即，如果是触摸面板1，则将触摸面板1的第1方向的两端固定。在该状态下，因为弹性体50不弯曲，不对压电薄膜100产生应力，所以不产生电荷。
如图5（B）所示，若用手指510按压弹性体50的表面，则粗箭头520所示那样的按压力被施加至弹性体50。该情况下，弹性体50按照向主功能部10的配设面侧膨胀的方式弯曲。由此，主功能部10的压电薄膜100大致沿着第1方向伸延，产生粗箭头530所示那样的拉伸应力。根据该压力，压电薄膜100极化成第1主面100ST和第2主面100SB。
这里，如上述那样，通过在第1主面100ST形成第1压电电压检测用子电极13A～13L，在第2主面100SB形成第2压电电压检测用子电极23A～23L，由此在第1压电电压检测用子电极13A～13L与第2压电电压检测用子电极23A～23L之间产生电位差。因此，通过检测该电位差、即压电电压，能够检测出基于手指的按压、换言之基于手指的触摸的按压。
并且，在PLLA中，如图6（A）所示，通过薄膜根据按压量被拉长而检测电压（压电电压）按线性变化。因此，通过由压电电压检测电路计测检测电压值，也能够检测出按压量。即，能够准确地检测出操作者是轻轻地触摸了操作面，还是强力地按压了操作面。此外，对于基于压电薄膜100的检测电压而言，通常在应力产生的瞬间发生，随着基于压电效应的电荷的泄漏，检测电压值也急速地低下。然而，如果按压量的检测电路使用具有大的输入阻抗的检测电路、或者使用积分电路，则如图6（B）所示，能够在规定时间内维持检测电压值。由此，能够更可靠地计侧检测电压值，检测按压量。通过代替上述的具有大的输入阻抗的检测电路或积分电路而用软件方式对信号进行积分，也能够得到同样的效果。
如以上那样，如果使用本实施方式的结构，则仅通过在1枚压电薄膜100的对置的两面形成静电电容检测用电极及压电电压检测用电极，就能够同时检测触摸位置和按压量（按压力）。并且，能够实现透光性高的触摸面板。
并且，通过使用PLLA作为压电薄膜100的材料，不受到由热电性造成的影响。因此，检测时，不会依赖于检测位置的温度、能够得到仅对应于按压量的检测电压。即，能够更加准确地检测按压量。另外，因为PLLA是聚合物，具有柔性，所以不会如压电陶瓷那样因大的位移而发生破损。因此，即使位移量大，也能够可靠地检测出该位移量。
其中，在上述的说明中，记载了仅配设保护层30、40，但也可以如上述那样使弹性模量高的丙烯酸板等弹性体50与主功能部10的第1主面100ST侧抵接，并仅在第2主面100SB侧配设保护层40。
另外，也可以配设保护层30、40，并使在保护层40的与主功能部10相反侧的面具有粘着性。并且，能够通过使该粘着性为弱粘着性，来实现能够根据使用场所而装上或剥离的触摸面板。
上述结构的触摸面板1能够用以下那样的制造工序来进行制造。图7是用于对触摸面板1的第1制造方法进行说明的图。图8是对触摸面板1的第2制造方法进行说明的图。其中，在图7、图8中，未图示详细的电极图案，仅简略地表示。
在图6所示的第1制造方法中，在压电薄膜100的第1主面100ST形成第1静电电容检测用子电极11A～11F、第1压电电压检测用子电极13A～13L以及引出电极12A～12F、14。然后，在压电薄膜100的第2主面100SB形成第2静电电容检测用子电极21A～21F、第2压电电压检测用子电极23A～23L以及引出电极22A～22F、24。此外，第1主面100ST、第2主面100SB的电极形成顺序也可以相反。由此，先构成主功能部10。
接下来，在主功能部10中的压电薄膜100的第1主面100ST侧配设保护层30。然后，在主功能部10中的压电薄膜100的第2主面100SB侧配设保护层40。由此，形成触摸面板1。
在图8所示的第2制造方法中，在保护层30的一主面形成第1静电电容检测用子电极11A～11F、第1压电电压检测用子电极13A～13L以及引出电极12A～12F、14。然后，在保护层40的一主面形成第2静电电容检测用子电极21A～21F、第2压电电压检测用子电极23A～23L以及引出电极22A～22F、24。
接下来，将形成有电极图案的保护层30按照电极图案面成为压电薄膜100侧的方式向压电薄膜100的第1主面100ST进行粘合。另外，将形成有电极图案的保护层40按照电极图案面成为压电薄膜100侧的方式向压电薄膜100的第2主面100SB进行粘合。由此，形成触摸面板1。
在使用了这样的图8的制法的情况下，与图7的制法进行比较，能够以容易的工序来形成触摸面板。这是因为，由于PLLA的表面是惰性的，所以在形成电极图案的情况下，变得需要提高电极的密接性的处理。另一方面，若用PET、PEN形成保护层30、40，则电极形成较容易。因此，使用图7的制法能够更加容易地制造触摸面板1。并且，由于当对PLLA的表面进行某些处理时，存在PLLA的透光率降低的可能性，所以若为重视透光性的使用用途，则较为优选使用图8的制法。
接下来，参照附图对本发明的第2实施方式所涉及的触摸面板进行说明。图9是构成本发明的第2实施方式所涉及的触摸面板1A的主功能部10A的第1主面100ST的俯视图。图10是构成本发明的第2实施方式所涉及的触摸面板1A的主功能部10A的第2主面100SB的俯视图。其中，本实施方式的触摸面板1A，相对于第1实施方式所示的触摸面板1，仅固定结构、压电薄膜100的单向拉伸方向、以及压电电压检测用子电极的形状不同，其他的结构相同。因此，在以下，仅对与第1实施方式所示的触摸面板1不同的部位进行具体的说明。
本实施方式的触摸面板1A由压电薄膜100的4侧边被固定的结构构成。这时，压电薄膜100形成为单向拉伸方向900与一对固定边正交、与另一对固定边平行。
如图9所示，在压电薄膜100的第1主面100ST形成有第1静电电容检测用子电极11A～11F。第1静电电容检测用子电极11A～11F为与第1实施方式相同的结构，但第1静电电容检测用子电极11A～11F的延伸方向形成为相对于单向拉伸方向900（第1方向）平行。
第1压电电压检测用子电极131A、132A沿着第1静电电容检测用子电极11A中的与第1静电电容检测用子电极11B相反侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11A分离而形成。第1压电电压检测用子电极131A、132A在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131A，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132A。
第1压电电压检测用子电极131B、132B沿着第1静电电容检测用子电极11A中的第1静电电容检测用子电极11B侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11A分离而形成。第1压电电压检测用子电极131B、132B在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131B，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132B。
第1压电电压检测用子电极131C、132C沿着第1静电电容检测用子电极11B中的第1静电电容检测用子电极11A侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11B分离而形成。第1压电电压检测用子电极131C、132C在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131C，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132C。
第1压电电压检测用子电极131B、131C在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。第1压电电压检测用子电极132B、132C在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极131D、132D沿着第1静电电容检测用子电极11B中的第1静电电容检测用子电极11C侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11B分离而形成。第1压电电压检测用子电极131D、132D在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131D，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132D。
第1压电电压检测用子电极131E、132E沿着第1静电电容检测用子电极11C中的第1静电电容检测用子电极11B侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11C分离而形成。第1压电电压检测用子电极131E、132E在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131E，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132E。
第1压电电压检测用子电极131D、131E在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。第1压电电压检测用子电极132D、132E在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极131A、131B、131C、131D、131E由引出电极141汇集，从压电薄膜100的第1方向的一端部侧与外部电路连接。第1压电电压检测用子电极132A、132B、132C、132D、132E由引出电极142汇集，从压电薄膜100的第1方向的另一端部侧与外部电路连接。
在成为第1主面100ST的沿第2方向的中央区域的第1静电电容检测用子电极11C与第1静电电容检测用子电极11D之间，没有形成压电电压检测用子电极。
第1压电电压检测用子电极131H、132H沿着第1静电电容检测用子电极11D中的第1静电电容检测用子电极11E侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11D分离而形成。第1压电电压检测用子电极131H、132H在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131H，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132H。
第1压电电压检测用子电极131I、132I沿着第1静电电容检测用子电极11E中的第1静电电容检测用子电极11D侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11E分离而形成。第1压电电压检测用子电极131I、132I在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131I，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132I。
第1压电电压检测用子电极131H、131I在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。第1压电电压检测用子电极132H、132I在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极131J、132J沿着第1静电电容检测用子电极11E中的第1静电电容检测用子电极11F侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11E分离而形成。第1压电电压检测用子电极131J、132J在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131J，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132J。
第1压电电压检测用子电极131K、132K沿着第1静电电容检测用子电极11F中的第1静电电容检测用子电极11E侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11F分离而形成。第1压电电压检测用子电极131K、132K在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131K，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132K。
第1压电电压检测用子电极131J、131K在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。第1压电电压检测用子电极132J、132K在第1静电电容检测用子电极的宽幅部111及端部的宽幅部113的角部附近相互连接。
第1压电电压检测用子电极131L、132L沿着第1静电电容检测用子电极11F中的与第1静电电容检测用子电极11E相反侧的外径形状、且从该第1静电电容检测用子电极11F分离而形成。第1压电电压检测用子电极131L、132L在沿第1方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第1压电电压检测用子电极131L，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第1压电电压检测用子电极132L。
第1压电电压检测用子电极131H、131I、131J、131K、131L由引出电极143汇集，并从压电薄膜100的第1方向的一端部侧与外部电路连接。第1压电电压检测用子电极132H、132I、132J、132K、132L由引出电极144汇集，并从压电薄膜100的第1方向的另一端部侧与外部电路连接。
如图10所示，在压电薄膜100的第2主面100SB形成有第2静电电容检测用子电极21A～21F。第2静电电容检测用子电极21A～21F是与第1实施方式相同的结构，但形成为第2静电电容检测用子电极21A～21F的延伸方向相对于单向拉伸方向900正交。
第2压电电压检测用子电极231A、232A沿着第2静电电容检测用子电极21A中的与第2静电电容检测用子电极21B相反侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21A分离而形成。第2压电电压检测用子电极231A、232A在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231A，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232A。
第2压电电压检测用子电极231B、232B沿第2静电电容检测用子电极21A中的第2静电电容检测用子电极21B侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21A分离而形成。第2压电电压检测用子电极231B、232B在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231B，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232B。
第2压电电压检测用子电极231C、232C沿着第2静电电容检测用子电极21B中的第2静电电容检测用子电极21A侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21B分离而形成。第2压电电压检测用子电极231C、232C在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231C，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232C。
第2压电电压检测用子电极231B、231C在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。第2压电电压检测用子电极232B、232C在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极231D、232D沿着第2静电电容检测用子电极21B中的第2静电电容检测用子电极21C侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21B分离而形成。第2压电电压检测用子电极231D、232D在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231D，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232D。
第2压电电压检测用子电极231E、232E沿着第2静电电容检测用子电极21C中的第2静电电容检测用子电极21B侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21C分离而形成。第2压电电压检测用子电极231E、232E在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231E，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232E。
第2压电电压检测用子电极231D、231E在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。第2压电电压检测用子电极232D、232E在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极231A、231B、231C、231D、231E由引出电极241汇集，并从压电薄膜100的第2方向的一端部侧与外部电路连接。第2压电电压检测用子电极232A、232B、232C、232D、232E由引出电极242汇集，并从压电薄膜100的第2方向的另一端部侧与外部电路连接。
在成为第2主面100SB的沿第1方向的中央区域的第2静电电容检测用子电极21C与第2静电电容检测用子电极21D之间，没有形成压电电压检测用子电极。
第2压电电压检测用子电极231H、232H沿着第2静电电容检测用子电极21D中的第2静电电容检测用子电极21E侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21D分离而形成。第2压电电压检测用子电极231H、232H在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231H，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232H。
第2压电电压检测用子电极231I、232I沿着第2静电电容检测用子电极21E中的第2静电电容检测用子电极21D侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21E分离而形成。第2压电电压检测用子电极231I、232I在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231I，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232I。
第2压电电压检测用子电极231H、231I在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。第2压电电压检测用子电极232H、232I在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极231J、232J沿着第2静电电容检测用子电极21E中的第2静电电容检测用子电极21F侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21E分离而形成。第2压电电压检测用子电极231J、232J在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231J，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232J。
第2压电电压检测用子电极231K、232K沿着第2静电电容检测用子电极21F中的第2静电电容检测用子电极21E侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21F分离而形成。第2压电电压检测用子电极231K、232K在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第2方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231K，从分离点150沿第2方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232K。
第2压电电压检测用子电极231J、231K在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。第2压电电压检测用子电极232J、232K在第2静电电容检测用子电极的宽幅部211及端部的宽幅部213的角部附近相互连接。
第2压电电压检测用子电极231L、232L沿着第2静电电容检测用子电极21F中的与第2静电电容检测用子电极21E相反侧的外径形状、且从该第2静电电容检测用子电极21F分离而形成。第2压电电压检测用子电极231L、232L在沿第2方向的中间点处分离，从分离点150沿第1方向的一端侧成为第2压电电压检测用子电极231L，从分离点150沿第1方向的另一端侧成为第2压电电压检测用子电极232L。
第2压电电压检测用子电极231H、231I、231J、231K、231L由引出电极243汇集，并从压电薄膜100的第2方向的一端部侧与外部电路连接。第2压电电压检测用子电极232H、232I、232J、232K、232L由引出电极244汇集，并从压电薄膜100的第2方向的另一端部侧与外部电路连接。
通过构成为这样的结构，能够在4个部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4单独地检测在压电薄膜100产生的压电电压，该4个部分区域是从与第1主面100ST正交的方向观察，被在压电薄膜100的中央正交的2个分割线分割而成。
第1部分区域Ar1的压电电压由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极131A、131B、131C、131D、131E与第2主面100SB的第2压电电压检测用子电极231A、231B、231C、231D、231E的组合来检测。
第2部分区域Ar2的压电电压由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极132A、132B、132C、132D、132E与第2主面100SB的第2压电电压检测用子电极231H、231I、231J、231K、231L的组合来检测。
第3部分区域Ar3的压电电压由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极131H、131I、131J、131K、131L与第2主面100SB的第2压电电压检测用子电极232A、232B、232C、232D、232E的组合来检测。
第4部分区域Ar4的压电电压由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极132H、132I、132J、132K、132L与第2主面100SB的第2压电电压检测用子电极232H、232I、232J、232K、232L的组合来检测。
通过设定由这样的结构构成的部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4，各部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4成为正交的两边被固定、另外两边在与主面正交的方向能够弯曲的结构。由此，若操作者用手指按压操作面（第1主面侧），则各部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4按照沿上述正交的两边的大致对角线双方地延伸（或者缩短）的方式发生位移。这里，因为如上述那样压电薄膜100的单向拉伸方向与第1方向平行，所以在各部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4中，能够有效地检测出由这样的位移产生的压电电压。
而且，因为这些部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4每一个的压电电压根据按压量而成为不同的值，所以通过组合这些压电电压来进行算术运算，能够检测出作为触摸面板1A的按压量。
例如，当在第1部分区域Ar1中，由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极131A、131B、131C、131D、131E检测出正的电位时，在第2部分区域Ar2中，由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极132A、132B、132C、132D、132E检测出负的电位，在第3部分区域Ar3中，由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极131H、131I、131J、131K、131L检测出负的电位，在第4部分区域Ar4中，由第1主面100ST的第1压电电压检测用子电极132H、132I、132J、132K、132L检测出正的电位。该产生电位的符号的关系与按压位置无关地大致恒定。能够适当选择将4个区域的产生电压连接成并联的关系还是连接成串联的关系、且根据检测电路的性能或使用环境来分别使用即可。例如，在重视产生电荷的量的情况下优选并联连接，在重视产生电位的大小的情况下可以串联连接。
如以上那样，若使用本实施方式的结构，即使是固定压电薄膜100的4个侧边的方式，也能够检测出触摸位置以及按压量。
接下来，参照附图对第3实施方式所涉及的触摸面板进行说明。图11是构成本发明的第3实施方式所涉及的触摸面板1B的主功能部10B的第1主面100ST的俯视图。图12是构成本发明的第3实施方式所涉及的触摸面板1B的主功能部10B的第2主面100SB的俯视图。其中，本实施方式的触摸面板1B，相对于第2实施方式所示的触摸面板1A，仅压电电压检测用子电极的形状不同，其他的结构相同。因此，在以下，仅对与第2实施方式所示的触摸面板1A不同的部位进行具体的说明。
在本实施方式中，在压电薄膜100的第1主面100ST中，第2实施方式中的第1压电电压检测用子电极131H与第1压电电压检测用子电极132H连接，与第1实施方式相同，具备沿第1方向延伸的第1压电电压检测用子电极13H。第2实施方式中的第1压电电压检测用子电极131I与第1压电电压检测用子电极132I连接，与第1实施方式相同，具备沿第1方向延伸的第1压电电压检测用子电极13I。第2实施方式中的第1压电电压检测用子电极131J与第1压电电压检测用子电极132J连接，与第1实施方式相同，具备沿第1方向延伸的第1压电电压检测用子电极13J。第2实施方式中的第1压电电压检测用子电极131K与第1压电电压检测用子电极132K连接，与第1实施方式相同，具备沿第1方向延伸的第1压电电压检测用子电极13K。第2实施方式中的第1压电电压检测用子电极131L与第1压电电压检测用子电极132L连接，与第1实施方式相同，具备沿第1方向延伸的第1压电电压检测用子电极13L。
没有形成与第1压电电压检测用子电极13H、13I、13J、13K、13L连接的引出电极。
在第2主面100SB中，第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231A与第2压电电压检测用子电极232A连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23A。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231B与第2压电电压检测用子电极232B连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23B。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231C与第2压电电压检测用子电极232C连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23C。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231D与第2压电电压检测用子电极232D连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23D。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231E与第2压电电压检测用子电极232E连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23E。
另外，在第2主面100SB中，第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231H与第2压电电压检测用子电极232H连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23H。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231I与第2压电电压检测用子电极232I连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23I。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231J与第2压电电压检测用子电极232J连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23J。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231K与第2压电电压检测用子电极232K连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23K。第2实施方式中的第2压电电压检测用子电极231L与第2压电电压检测用子电极232L连接，与第1实施方式相同，具备沿第2方向延伸的第2压电电压检测用子电极23L。
没有形成与第2压电电压检测用子电极23A、23B、23C、23D、23E、23H、23I、23J、23K、23L连接的引出电极。
在这样的结构中，第1部分区域Ar1中的压电电压检测用的电极图案与第3部分区域Ar3中的压电电压检测用的电极图案在第2主面100SB侧被连接。第3部分区域Ar3中的压电电压检测用的电极图案与第4部分区域Ar4中的压电电压检测用的电极图案在第1主面100ST侧被连接。第4部分区域Ar4中的压电电压检测用的电极图案与第2部分区域Ar2中的压电电压检测用的电极图案在第2主面100SB侧被连接。
由此，能够实现各部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4的压电电压检测用的电极图案被串联连接的结构。即，能够不形成与检测用的电极不同的引出电极，就实现将在各部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4检测出的压电电压依次相加的电路。由此，能够更加小型地形成具有这样的将在各部分区域Ar1、Ar2、Ar3、Ar4检测出的压电电压依次相加的电路的触摸面板。
接下来，参照附图对第4实施方式所涉及的触摸面板进行说明。图13是构成本发明的第4实施方式所涉及的触摸面板1C的主功能部10C的第1主面100ST的俯视图。图14是构成本发明的第4实施方式所涉及的触摸面板1C的主功能部10C的第2主面100SB的俯视图。
本实施方式的触摸面板1C，相对于第3实施方式所示的触摸面板1B，仅压电电压检测用子电极的形状和引出电极的图案不同，其他的结构相同。因此，在以下，仅对与第3实施方式所示的触摸面板1B不同的部位进行具体的说明。
在压电薄膜100的第1主面100ST中，对于形成在第1部分区域Ar1的第1压电电压检测用子电极131A、131B、131C、131D、131E没有形成引出电极。
第1压电电压检测用子电极13H、13I、13J、13K、13L由引出电极143汇集，并与外部电路连接。引出电极143形成在第1主面100ST中的第1方向的第3部分区域Ar3侧的端部。
根据该结构，分别与第1静电电容检测用子电极11D、11E、11F连接的引出电极12D、12E、12F形成在第1主面100ST中的第1方向的第4部分区域Ar4侧的端部。
在压电薄膜100的第2主面100SB中，与第2实施方式的结构相同，形成在第1部分区域Ar1的第2压电电压检测用子电极231A与形成在第3部分区域Ar3的第2压电电压检测用子电极232A在分离点150分离。形成在第1部分区域Ar1的第2压电电压检测用子电极231B与形成在第3部分区域Ar3的第2压电电压检测用子电极232B在分离点150分离。形成在第1部分区域Ar1的第2压电电压检测用子电极231C与形成在第3部分区域Ar3的第2压电电压检测用子电极232C在分离点150分离。形成在第1部分区域Ar1的第2压电电压检测用子电极231D与形成在第3部分区域Ar3的第2压电电压检测用子电极232D在分离点150分离。形成在第1部分区域Ar1的第2压电电压检测用子电极231E与形成在第3部分区域Ar3的第2压电电压检测用子电极232E在分离点150分离。此外，这些也可以是如第3实施方式所示那样不分离的结构。
在这样的结构中，第3部分区域Ar3中的压电电压检测用的电极图案与第4部分区域Ar4中的压电电压检测用的电极图案在第1主面100ST侧被连接。第4部分区域Ar4中的压电电压检测用的电极图案与第2部分区域Ar2中的压电电压检测用的电极图案在第2主面100SB侧被连接。
由此，能够实现各部分区域Ar2、Ar3、Ar4的压电电压检测用的电极图案串联连接的结构。即，能够不形成与检测用的电极不同的引出电极，就实现将在各部分区域Ar2、Ar3、Ar4检测出的电压依次相加的电路。由此，能够更加小型地形成具有这样的将在各部分区域Ar2、Ar3、Ar4检测出的电压依次相加的电路的触摸面板。
其中，在本实施方式的结构中，不能进行在第1部分区域Ar1的压电电压的检测，但当用手指等按压了第1部分区域Ar1时，根据第1部分区域Ar1的位移，第2、第3、第4部分区域Ar2、Ar3、Ar4也发生位移。因此，若取得第2、第3、第4部分区域Ar2、Ar3、Ar4的压电电压，则即使不能够取得第1部分区域Ar1的压电电压，也能够检测出作为压电薄膜100的按压量。
另外，如果使用本实施方式的结构，则能够在第1主面100ST中，将与第1静电电容检测用子电极11A～11C连接的引出电极12A～12C、与第1静电电容检测用子电极11D～11F连接的引出电极12D～12F、与第1压电电压检测用子电极132A～132E连接的引出电极142、与第1压电电压检测用子电极13H～13L连接的引出电极143分别形成在不同的部分区域。因此，能够不使各引出电极交叉地与外部电路连接。由此，引出电极的引出图案以及结构变容易，能够更加容易地制造触摸面板。
接下来，参照附图对第5实施方式所涉及的触摸面板进行说明。图15是构成本发明的第5实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10D的第1主面100ST的俯视图。图16是本发明的第5实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10D的侧视图。图17是将本发明的第5实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10D局部扩大后的侧面剖面图。
上述的各实施方式所示的触摸面板表示使静电电容检测用电极、压电电压检测用电极均在压电薄膜100的第1主面100ST和第2主面100SB分别对置来进行配置的例子。在本实施方式的触摸面板中，虽然压电电压检测用电极配置在压电薄膜100的第1主面100ST和第2主面100SB，但静电电容检测用电极仅被配置在压电薄膜100的第1主面100ST侧。
在压电薄膜100的第1主面100ST形成有第1静电电容检测用子电极11A’～11I’。第1静电电容检测用子电极11A’～11I’是沿第1方向延伸的长条状的电极。第1静电电容检测用子电极11A’～11I’沿着第2方向空开规定的间隔而配置。
并且，在压电薄膜100的第1主面100ST，排列形成有第1压电电压检测用子电极13A’～13H’。第1压电电压检测用子电极13A’～13H’是沿第1方向延伸的长条状的电极。第1压电电压检测用子电极13A’～13H’分别形成在第1静电电容检测用子电极11A’～11I’中的相邻的第1静电电容检测用子电极之间。例如，第1压电电压检测用子电极13A’形成在第1静电电容检测用子电极11A’与第1静电电容检测用子电极11B’之间。同样，第1压电电压检测用子电极13B’～13G’也形成在相邻的第1静电电容检测用子电极之间。而且，第1压电电压检测用子电极13H’形成在第1静电电容检测用子电极11H’与第1静电电容检测用子电极11I’之间。
在第1静电电容检测用子电极11A’～11I’以及第1压电电压检测用子电极13A’～13H’的表面形成有绝缘体的保护层30’。
在形成了第1静电电容检测用子电极11A’～11I’、第1压电电压检测用子电极13A’～13H’、保护层30’的压电薄膜100的第1主面100ST形成有第2静电电容检测用子电极21A’～21K’。第2静电电容检测用子电极21A’～21K’是沿第2方向延伸的长条状的电极。第2静电电容检测用子电极21A’～21K’沿着第1方向空开规定的间隔来配置。
在压电薄膜100的第2主面100SB形成有第2压电电压检测用电极23’。第2压电电压检测用电极23’形成为覆盖第2主面100SB的规定面积的矩形形状。这时，第2压电电压检测用电极23’以对按压量进行检测的区域的任意位置被按压都能够检测压电电压程度的大小、形状而形成。
即使是这样的结构，也与上述各实施方式相同，能够同时地检测触摸位置和按压量（按压力）。并且，能够实现薄型且透光性高的触摸面板。
接下来，参照附图对第6实施方式所涉及的触摸面板进行说明。图18是本发明的第6实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10E的侧视图。图19是将本发明的第6实施方式所涉及的触摸面板的主功能部10E局部放大后的侧面剖面图。
本实施方式的触摸面板相对于第5实施方式所示的触摸面板的主功能部10D，第1主面100ST侧的电极配置结构不同，其他结构与第5实施方式所涉及的触摸面板相同。因此，仅对不同的部位进行具体的说明。
在压电薄膜100的第1主面100ST中，与第5实施方式的触摸面板的主功能部10D相同，排列形成有第1压电电压检测用子电极13A’～13H’以及第1压电电压检测用子电极13A’～13H’。
在形成了第1静电电容检测用子电极11A’～11I’及第1压电电压检测用子电极13A’～13H’的压电薄膜100的第1主面100ST的表面，约整个表面地形成有保护层30”。
在保护层30”的表面（与压电薄膜100相反侧的面），形成有第2静电电容检测用子电极21A’～21K’。
即使是这样的结构，也与上述的各实施方式相同，能够同时地检测触摸位置和按压量（按压力）。能够实现薄型且透光性高的触摸面板。
其中，在上述第5、第6实施方式中，表示了使用长条状的静电电容检测用子电极的例子，但也可以是上述的第1实施方式至第4实施方式所示的宽幅部和窄幅部交替连接的形状。
其中，在上述第1实施方式至第4实施方式中，表示了在平膜状的PLLA的两主面，作为静电电容检测用电极以宽幅部与窄幅部交替连接来形成，并且作为压电电压检测用电极以比静电电容检测用电极细的一定宽度的线状来形成的例子。但是，压电薄膜的材料及各电极图案及电极宽度的关系是一个例子，只要是从上述各实施方式的组合、上述各实施方式的结构能够想到的结构，都能够得到上述的作用效果。
其中，关于压电薄膜，也可以使用其他的压电元件，但考虑到压电常数、介电常数、热电性、可挠性等，PLLA非常合适。
另外，如上述第5、第6实施方式所示，在第2压电电压检测用电极为矩形的情况下，有时会如在第2压电电压检测用电极的各位置产生的检测电压相抵那样而作用。该情况下，如图20所示那样，将第2压电电压检测用电极设为不是矩形的形状即可。图20是表示第2压电电压检测用电极的形状例的图。如图20所示，第2压电电压检测用电极23”由在第1方向的两端且第2方向的中央附近向第1方向的中央侧凹陷的形状构成。通过设为这样的形状，能够抑制检测电压的相抵。
由此，能够更加高灵敏度地检测压电电压。其中，检测利用区域的的形状并不局限于此，适当地设定第2压电电压检测用电极的形状以使检测电压不相抵即可。也可以将第2压电电压检测用电极的形状分成多个区域、例如4区域，并检测在各个区域产生的电压。该情况下，能够将第1压电电压检测用电极作为各区域共同的电极来使用。
另外，在上述的实施方式中，使用了实现基于投射型互电容方式的触摸位置的检测概念的电极图案，但也可以用实现基于投射型自电容方式的触摸位置的检测概念的电极图案，来形成静电电容检测用电极。
附图标记说明：
1、1A、1B、1C…触摸面板；10、10、10B、10C、10D、10E…主功能部；30、30’、30”、40…保护层；50…弹性体；100…压电薄膜；100ST…第1主面、100SB…第2主面；11A、11B、11C、11D、11E、11F、11A’、11B’、11C’、11D’、11E’、11F’、11G’、11H’、11I’…第1静电电容检测用子电极；21A、21B、21C、21D、21E、21F、21A’、21B’、21C’、21D’、21E’、21F’、21G’、21H’、21I’、21J’、21K’…第2静电电容检测用子电极；13A、13B、13C、13D、13E、13F、13G、13H、13I、13J、13K、13L、131A、132A、131B、132B、131C、132C、131D、132D、131E、132E、131H、132H、131I、132I、131J、132J、131K、132K、131L、132L、13A’、13B’、13C’、13D’、13E’、13F’、13G’、13H’…第1压电电压检测用子电极；23’、23”…第2压电电压检测用电极；23A、23B、23C、23D、23E、23F、23G、23H、23I、23J、23K、23L、231A、232A、231B、232B、231C、232C、231D、232D、231E、232E、231H、232H、231I、232I、231J、232J、231K、232K、231L、232L…第2压电电压检测用子电极；12A～12F、14、22A～22F、24、141、142、143、144、241、242、243、244…引出电极；111、211…宽幅部；112、212…窄幅部；113、213…端部用的宽幅部；Ar1…第1部分区域；Ar2…第2部分区域；Ar3…第3部分区域；Ar4…第4部分区域。

Claims (13)

1.一种触摸面板，其中，具备：
具备相互对置的第1主面和第2主面的平膜状的压电薄膜；
配置在该压电薄膜的所述第1主面侧或者所述第2主面侧中的至少任意一侧并用于检测触摸位置的静电电容检测用电极；以及
配置在所述压电薄膜的所述第1主面及所述第2主面并检测与所述压电薄膜的按压量相对应的压电电压的压电电压检测用电极，
所述静电电容检测用电极具备的多个第1静电电容检测用子电极设置在所述压电薄膜的所述第1主面，
所述压电电压检测用电极具备的第1压电电压检测用子电极以沿着所述多个第1静电电容检测用子电极的外形形状的形状而设置，且所述第1压电电压检测用子电极设置在相邻的两个第1静电电容检测用子电极之间。
2.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，
所述压电薄膜由至少沿一轴向进行了拉伸处理的聚乳酸构成。
3.根据权利要求1或者权利要求2所述的触摸面板，其中，
所述静电电容检测用电极具备：
由沿与所述第1主面及所述第2主面平行的第1方向延伸的形状构成、并且在与所述第1主面及所述第2主面平行且与所述第1方向交叉的第2方向拉开间隔而配置的所述多个第1静电电容检测用子电极；以及
由沿所述第2方向延伸的形状构成且在所述第1方向拉开间隔而配置的多个第2静电电容检测用子电极，
所述压电电压检测用电极具备形成在所述第1主面的第1压电电压检测用子电极和形成在所述第2主面的第2压电电压检测用子电极，
所述多个第1静电电容检测用子电极与所述第1压电电压检测用子电极形成在同一平面。
4.根据权利要求3所述的触摸面板，其中，
所述第1压电电压检测用子电极形成在构成所述多个第1静电电容检测用子电极的各个第1静电电容检测用子电极之间。
5.根据权利要求3所述的触摸面板，其中，
所述多个第2静电电容检测用子电极形成在所述第2主面。
6.根据权利要求5所述的触摸面板，其中，
第2压电电压检测用子电极形成在构成所述多个第2静电电容检测用子电极的各个第2静电电容检测用子电极之间，
第1压电电压检测用子电极与第2压电电压检测用子电极形成为隔着所述压电薄膜遍布整个表面且均匀分布地对置。
7.根据权利要求3所述的触摸面板，其中，
在所述多个第1静电电容检测用子电极的表面和所述第1压电电压检测用子电极的表面形成有保护层，
在所述多个第1静电电容检测用子电极及所述第1压电电压检测用子电极的相反侧隔着所述保护层形成所述多个第2静电电容检测用子电极。
8.根据权利要求3所述的触摸面板，其中，
所述多个第1静电电容检测用子电极及所述多个第2静电电容检测用子电极按照由宽幅部和窄幅部交替连接的形状构成且所述多个第1静电电容检测用子电极的窄幅部与所述多个第2静电电容检测用子电极的窄幅部对置的方式形成。
9.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，
所述压电电压检测用电极按将所述压电薄膜的平面四分割后的每个部分区域分别形成。
10.根据权利要求9所述的触摸面板，其中，
所述压电电压检测用电极按每个所述部分区域分离而形成。
11.根据权利要求9所述的触摸面板，其中，
所述压电电压检测用电极形成为：所述第1主面的第1部分区域的电极与第2部分区域的电极分离，所述第1主面的第3部分区域的电极与第4部分区域的电极连接，所述第2主面的所述第1部分区域的电极与所述第3部分区域的电极连接，所述第2主面的所述第2部分区域的电极与所述第4部分区域的电极连接。
12.根据权利要求8所述的触摸面板，其中，
所述多个第1静电电容检测用子电极及所述多个第2静电电容检测用子电极按照所述多个第1静电电容检测用子电极的宽幅部与所述多个第2静电电容检测用子电极的宽幅部不对置且从与所述压电薄膜的主面正交的方向观察在两宽幅部之间产生规定宽度的间隙的方式形成，
所述第1压电电压检测用子电极及所述第2压电电压检测用子电极按照在所述间隙内收容所述第1压电电压检测用子电极与所述第2压电电压检测用子电极的对置部分的方式形成。
13.根据权利要求12所述的触摸面板，其中，
所述多个第1静电电容检测用子电极的宽幅部和所述多个第2静电电容检测用子电极的宽幅部形成为具有分别相对于所述第1方向及所述第2方向成45°的斜边的正方形，
所述第1压电电压检测用子电极具有沿着所述多个第1静电电容检测用子电极的窄幅部向所述第1方向延伸的直线部、和沿着所述多个第1静电电容检测用子电极的宽幅部相对于所述第1方向倾斜了45°的倾斜部，
所述第2压电电压检测用子电极具有沿着所述多个第2静电电容检测用子电极的窄幅部向所述第2方向延伸的直线部、和沿着所述多个第2静电电容检测用子电极的宽幅部相对于所述第2方向倾斜了45°的倾斜部，
所述第1压电电压检测用子电极的倾斜部与所述第2压电电压检测用子电极的倾斜部隔着所述压电薄膜对置。
CN201280046972.3A 2011-08-11 2012-07-27 触摸面板 Active CN103858079B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011-175476 2011-08-11
JP2011175476 2011-08-11
PCT/JP2012/069099 WO2013021835A1 (ja) 2011-08-11 2012-07-27 タッチパネル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103858079A CN103858079A (zh) 2014-06-11
CN103858079B true CN103858079B (zh) 2016-12-14

Family

ID=47668348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201280046972.3A Active CN103858079B (zh) 2011-08-11 2012-07-27 触摸面板

Country Status (6)

Country Link
US (2) US9348473B2 (zh)
EP (1) EP2743804B1 (zh)
JP (1) JP5780303B2 (zh)
CN (1) CN103858079B (zh)
TW (1) TWI486850B (zh)
WO (1) WO2013021835A1 (zh)

Families Citing this family (73)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2696163B1 (en) 2011-04-08 2018-05-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Displacement sensor, displacement detecting apparatus, and operation device
CN103858079B (zh) * 2011-08-11 2016-12-14 株式会社村田制作所 触摸面板
JP5720851B2 (ja) * 2012-04-27 2015-05-20 株式会社村田製作所 操作入力装置および情報表示装置
WO2013169299A1 (en) 2012-05-09 2013-11-14 Yknots Industries Llc Haptic feedback based on input progression
WO2013170099A1 (en) 2012-05-09 2013-11-14 Yknots Industries Llc Calibration of haptic feedback systems for input devices
US20150109223A1 (en) 2012-06-12 2015-04-23 Apple Inc. Haptic electromagnetic actuator
US9886116B2 (en) 2012-07-26 2018-02-06 Apple Inc. Gesture and touch input detection through force sensing
WO2014017407A1 (ja) * 2012-07-26 2014-01-30 株式会社村田製作所 押圧力センサ
CN104641331B (zh) 2012-09-20 2017-03-08 株式会社村田制作所 触摸面板
JP5855604B2 (ja) * 2013-02-23 2016-02-09 日本写真印刷株式会社 押圧力測定を備えたタッチパネル
US9075095B2 (en) * 2013-02-27 2015-07-07 Synaptics Incorporated Device and method for localized force sensing
CN105190224B (zh) * 2013-03-21 2018-08-31 株式会社村田制作所 位移传感器、按压量检测传感器以及触摸式输入装置
JP6151970B2 (ja) * 2013-03-28 2017-06-21 日本写真印刷株式会社 押圧力測定を備えたタッチパネル
CN105164621B (zh) 2013-05-29 2018-04-10 株式会社村田制作所 触摸式输入装置以及显示装置
JP5679366B2 (ja) 2013-06-04 2015-03-04 日本写真印刷株式会社 圧力検出表示装置および電子機器
JP5722954B2 (ja) 2013-06-23 2015-05-27 日本写真印刷株式会社 押圧検出機能付タッチパネル
JP6148934B2 (ja) * 2013-08-20 2017-06-14 日本写真印刷株式会社 タッチパネル
JP6123614B2 (ja) * 2013-09-27 2017-05-10 株式会社村田製作所 押圧検出センサ、タッチ式入力装置
JP5796695B2 (ja) 2013-09-27 2015-10-21 株式会社村田製作所 タッチ式入力装置
CN105593798B (zh) 2013-10-04 2018-11-23 株式会社村田制作所 触摸传感器
JP6079895B2 (ja) * 2013-10-25 2017-02-15 株式会社村田製作所 タッチ式入力装置
WO2015068615A1 (ja) * 2013-11-05 2015-05-14 株式会社村田製作所 タッチ式入力装置
JP5983892B2 (ja) * 2013-11-05 2016-09-06 株式会社村田製作所 表示装置
JP6485618B2 (ja) * 2013-11-11 2019-03-20 Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 圧電シートならびにそれを用いたタッチパネルならびにそれらを用いた入出力装置
US20150242037A1 (en) * 2014-01-13 2015-08-27 Apple Inc. Transparent force sensor with strain relief
CN104978065B (zh) * 2014-04-07 2018-09-11 苹果公司 具有应变消除的透明力传感器
WO2015156196A1 (ja) * 2014-04-07 2015-10-15 株式会社村田製作所 タッチパネルおよび電子機器
JP6020745B2 (ja) * 2014-04-07 2016-11-02 株式会社村田製作所 タッチセンサ
WO2015198208A1 (en) * 2014-06-23 2015-12-30 Microsoft Technology Licensing, Llc Capacitive based digitizer sensor
WO2016002459A1 (ja) 2014-07-02 2016-01-07 株式会社村田製作所 タッチパネル
KR102321635B1 (ko) * 2014-08-14 2021-11-08 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널
JP6123947B2 (ja) * 2014-08-20 2017-05-10 株式会社村田製作所 押圧センサ及び電子機器
US10297119B1 (en) 2014-09-02 2019-05-21 Apple Inc. Feedback device in an electronic device
KR20160028067A (ko) 2014-09-02 2016-03-11 엘지디스플레이 주식회사 이동 단말기 및 그의 구동 방법
JP6156587B2 (ja) * 2014-09-03 2017-07-05 株式会社村田製作所 タッチ式入力装置、電子機器
US9939901B2 (en) 2014-09-30 2018-04-10 Apple Inc. Haptic feedback assembly
CN106796466B (zh) * 2014-10-07 2020-05-12 株式会社村田制作所 触摸式输入装置以及触摸输入检测方法
CN104281328A (zh) * 2014-10-31 2015-01-14 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种触摸屏和显示面板
GB2533667B (en) 2014-12-23 2017-07-19 Cambridge Touch Tech Ltd Pressure-sensitive touch panel
JP6712597B2 (ja) 2014-12-23 2020-06-24 ケンブリッジ タッチ テクノロジーズ リミテッドＣａｍｂｒｉｄｇｅ Ｔｏｕｃｈ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｌｉｍｉｔｅｄ 感圧式タッチパネル
US10117086B2 (en) * 2015-02-12 2018-10-30 Qualcomm Incorporated Sharing of proximate discovery announcements in a wireless communications network
US9798409B1 (en) 2015-03-04 2017-10-24 Apple Inc. Multi-force input device
JP6562357B2 (ja) * 2015-03-25 2019-08-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 感圧センサ
CN204808275U (zh) * 2015-06-10 2015-11-25 宸鸿科技(厦门)有限公司 压力感测装置
CN106325579B (zh) * 2015-07-10 2023-04-07 宸鸿科技(厦门)有限公司 一种压力感测输入装置
CN106325583B (zh) * 2015-07-10 2023-10-10 宸鸿科技(厦门)有限公司 压力感测输入装置
CN105094425A (zh) * 2015-07-17 2015-11-25 苏州诺菲纳米科技有限公司 触控传感器及其制备方法及具有触控传感器的显示器件
KR102395112B1 (ko) * 2015-07-30 2022-05-06 엘지디스플레이 주식회사 터치 패널 및 이를 포함하는 전자 기기
DE112016003934T5 (de) * 2015-08-31 2018-05-24 Alps Electric Co., Ltd. Eingabevorrichtung
CN105183230B (zh) * 2015-09-18 2017-09-19 京东方科技集团股份有限公司 一种显示装置、压力检测方法及压力检测装置
KR102476610B1 (ko) 2015-10-02 2022-12-12 삼성전자주식회사 터치 패드, 이를 이용한 터치 스크린 및 전자 장치, 및 터치 패드의 제조 방법
US10635222B2 (en) 2015-10-02 2020-04-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Touch pad and electronic apparatus using the same, and method of producing touch pad
EP3314382A4 (en) * 2015-10-29 2019-01-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. TOUCH DEVICE
GB2544353B (en) 2015-12-23 2018-02-21 Cambridge Touch Tech Ltd Pressure-sensitive touch panel
US10282046B2 (en) 2015-12-23 2019-05-07 Cambridge Touch Technologies Ltd. Pressure-sensitive touch panel
JP6406461B2 (ja) * 2016-01-12 2018-10-17 株式会社村田製作所 電子機器
US10585480B1 (en) 2016-05-10 2020-03-10 Apple Inc. Electronic device with an input device having a haptic engine
TWI607362B (zh) * 2016-08-15 2017-12-01 友達光電股份有限公司 感測裝置及偵測方法
KR102564349B1 (ko) * 2016-09-30 2023-08-04 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR101958324B1 (ko) * 2016-11-24 2019-03-15 주식회사 하이딥 터치 입력 장치
JP6836963B2 (ja) * 2017-06-16 2021-03-03 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
GB2565305A (en) 2017-08-08 2019-02-13 Cambridge Touch Tech Ltd Device for processing signals from a pressure-sensing touch panel
US11093088B2 (en) 2017-08-08 2021-08-17 Cambridge Touch Technologies Ltd. Device for processing signals from a pressure-sensing touch panel
US11054932B2 (en) * 2017-09-06 2021-07-06 Apple Inc. Electronic device having a touch sensor, force sensor, and haptic actuator in an integrated module
KR102372564B1 (ko) * 2017-11-29 2022-03-08 엘지디스플레이 주식회사 터치 패널 및 이를 포함하는 표시 장치
CN108304093B (zh) * 2018-01-30 2021-01-29 合肥京东方显示光源有限公司 一种触控面板及其制作方法、触控显示装置
US10966007B1 (en) 2018-09-25 2021-03-30 Apple Inc. Haptic output system
TWI708173B (zh) * 2019-08-26 2020-10-21 友達光電股份有限公司 觸控面板
US11024135B1 (en) 2020-06-17 2021-06-01 Apple Inc. Portable electronic device having a haptic button assembly
WO2022091829A1 (ja) 2020-10-30 2022-05-05 株式会社クレハ 透明導電圧電フィルムおよびタッチパネル
KR20230160356A (ko) 2021-04-28 2023-11-23 가부시끼가이샤 구레하 압전 적층 필름 및 압전 적층 필름의 제조방법
GB2612381A (en) * 2021-10-29 2023-05-03 Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd User input device
CN115061280B (zh) * 2022-08-17 2022-11-22 歌尔股份有限公司 智能眼镜及智能眼镜的控制方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0561592A (ja) * 1991-09-04 1993-03-12 Yamaha Corp タツチ入力装置
TW201017496A (en) * 2008-10-03 2010-05-01 Daikin Ind Ltd Touch panel and transparent piezoelectric sheet
CN101754873A (zh) * 2007-07-18 2010-06-23 倍耐力轮胎股份公司 用于在车轮轮胎内产生电能的方法和系统

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4001798A (en) 1975-09-18 1977-01-04 Rockwell International Corporation Self-contained sensor
JPH04273316A (ja) * 1991-02-27 1992-09-29 Pentel Kk タブレット装置
DE19900082C2 (de) 1999-01-04 2003-09-25 Continental Ag Reibkraftregelsystem und Fahrzeugluftreifen mit Sensor dafür
DE10017572B4 (de) 2000-04-10 2008-04-17 INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH Wälzlager mit fernabfragbaren Erfassungseinheiten
US20040174287A1 (en) 2002-11-21 2004-09-09 Deak David G. Self-contained switch
JP4445277B2 (ja) * 2004-01-29 2010-04-07 三井化学株式会社 ポリ乳酸系樹脂と無機化合物からなる高分子圧電材料
JP4427665B2 (ja) 2004-07-28 2010-03-10 国立大学法人広島大学 曲げ変形センサおよび変形測定装置
JP2006163618A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Seiko Epson Corp 検出装置、入力装置及び電子機器
WO2009139237A1 (ja) 2008-05-12 2009-11-19 学校法人関西大学 圧電素子および音響機器
JP5099223B2 (ja) 2008-05-29 2012-12-19 株式会社村田製作所 圧電スピーカ、スピーカ装置およびタクタイルフィードバック装置
US8421483B2 (en) * 2008-06-13 2013-04-16 Sony Ericsson Mobile Communications Ab Touch and force sensing for input devices
KR101302780B1 (ko) 2009-03-13 2013-09-02 어 스쿨 코포레이션 칸사이 유니버시티 고분자 압전 재료, 그의 제조방법, 및 압전 소자
WO2010143528A1 (ja) * 2009-06-11 2010-12-16 株式会社村田製作所 タッチパネルおよびタッチ式入力装置
TWI395008B (zh) * 2009-10-22 2013-05-01 Au Optronics Corp 觸控面板及觸控顯示器裝置
JP5216041B2 (ja) * 2010-04-07 2013-06-19 ダイキン工業株式会社 透明圧電シートをそれぞれ有するフレーム付透明圧電シート、タッチパネル、および電子装置
EP2580647A1 (en) * 2010-06-11 2013-04-17 3M Innovative Properties Company Positional touch sensor with force measurement
US8599165B2 (en) * 2010-08-16 2013-12-03 Perceptive Pixel Inc. Force and true capacitive touch measurement techniques for capacitive touch sensors
JP5580155B2 (ja) * 2010-09-27 2014-08-27 スタンレー電気株式会社 タッチパネル入力装置の製造方法
US9557857B2 (en) * 2011-04-26 2017-01-31 Synaptics Incorporated Input device with force sensing and haptic response
CN103858079B (zh) * 2011-08-11 2016-12-14 株式会社村田制作所 触摸面板
US9748952B2 (en) * 2011-09-21 2017-08-29 Synaptics Incorporated Input device with integrated deformable electrode structure for force sensing

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0561592A (ja) * 1991-09-04 1993-03-12 Yamaha Corp タツチ入力装置
CN101754873A (zh) * 2007-07-18 2010-06-23 倍耐力轮胎股份公司 用于在车轮轮胎内产生电能的方法和系统
TW201017496A (en) * 2008-10-03 2010-05-01 Daikin Ind Ltd Touch panel and transparent piezoelectric sheet

Also Published As

Publication number Publication date
US10303308B2 (en) 2019-05-28
EP2743804A4 (en) 2015-04-08
TW201314541A (zh) 2013-04-01
JP5780303B2 (ja) 2015-09-16
JPWO2013021835A1 (ja) 2015-03-05
US20140152618A1 (en) 2014-06-05
US9348473B2 (en) 2016-05-24
TWI486850B (zh) 2015-06-01
US20160109983A1 (en) 2016-04-21
EP2743804B1 (en) 2018-11-14
EP2743804A1 (en) 2014-06-18
WO2013021835A1 (ja) 2013-02-14
CN103858079A (zh) 2014-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103858079B (zh) 触摸面板
CN106133665B (zh) 触摸面板以及电子设备
CN104641331B (zh) 触摸面板
JP5733432B2 (ja) タッチ式入力端末
CN105593793B (zh) 触摸式输入装置
JP5874739B2 (ja) タッチ式操作入力装置
US9891772B2 (en) Touch input device and display device
CN105556442B (zh) 触摸传感器
CN105960624B (zh) 触摸传感器
CN106537302B (zh) 输入终端
KR20160008637A (ko) 압전 센서 및 압력 검출 장치
CN106489119A (zh) 触摸面板
CN103492991B (zh) 触摸屏装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant