CN103707604A - 基板贴合装置、基板贴合方法以及涂敷装置 - Google Patents

Abstract

本发明的一个方式抑制涂敷后的紫外线固化树脂的流动。首先从涂敷头喷出紫外线固化树脂，将紫外线固化树脂按规定图案涂敷于显示基板和盖基板中一方基板的平面。其次，与涂敷该紫外线固化树脂的工序并行地，利用与涂敷头一体地配置的照射部，对涂敷到一方基板的紫外线固化树脂的至少长边端部的全部或者一部分照射预固化用的紫外线。然后，将一方基板的涂敷了紫外线固化树脂的面与另一方基板的一个面贴合。

Description

基板贴合装置、基板贴合方法以及涂敷装置

技术领域

本发明涉及将液晶模块（LCM）、有机发光二极管（OLED）模块等显示基板和带触摸传感器的基板、保护基板等盖基板贴合的基板贴合装置、基板贴合方法以及涂敷装置。特别是，涉及将两个基板贴合的工序之前的涂敷紫外线固化树脂的工序。

背景技术

在显示设备的显示部中，例如在设置于液晶模块、有机发光二极管模块等显示基板的偏振板上，设置有带触摸传感器的基板、保护基板等盖基板。近年来，这样的显示部经过将盖基板贴合到显示基板的工序来生产。另外，作为将两个基板贴合时使用的接合材料，正在从双面胶带向光学透明双面胶带（OCA胶带）过渡，并且向紫外线固化树脂过渡（例如，参照专利文献1。）。

图13是示出现有的涂敷紫外线固化树脂的涂敷装置的构成例的立体图。

图13所示的涂敷装置200具有：包括X载置台202X和Y载置台202Y的载置台202；涂敷头203；头升降部204；头倾斜部209。另外，树脂供应系统包括供应罐207和涂敷泵208。将基板201载置到载置台202的上表面后，从在涂敷头203的顶端部设置的针状的孔（喷嘴）喷出紫外线固化树脂205，将其按线状涂敷到基板201的上表面。利用头升降部204使涂敷头203在上下方向升降，从而使涂敷头203的顶端部和基板201的上表面的距离大致恒定。

在将显示基板和盖基板贴合的工序之前，利用如上所述的涂敷装置，将紫外线固化树脂涂敷到显示基板和盖基板中任一个基板的面上。其后，在贴合工序中，利用公知的装置在真空中或者大气中将两个基板贴合。

在专利文献1所公开的技术中，首先供应作为粘接剂的紫外线固化树脂，使其遍及构成显示装置的一对工件（基板）中的至少一方工件的一面的整个面。然后，在贴合前，对遍及工件的一面的整个面的紫外线固化树脂的一部分或者全部，在大气中照射紫外线，由此使其预固化，将另一方工件贴合到预固化的紫外线固化树脂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2012-73533号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，紫外线固化树脂通常会在涂敷后或者贴合时流动（也称为液流）。对此，作为公知的技术，有利用粘度高的紫外线固化树脂来应对该紫外线固化树脂的流动的方法。

另外，在专利文献1所记载的技术中，在将紫外线固化树脂涂敷到工件的一面的整个面后，隔着掩模对该紫外线固化树脂的一部分或者全部照射紫外线来使其预固化。由此，例如在涂敷的紫外线固化树脂的供应区域的外缘部形成堰（堤），抑制贴合前的紫外线固化树脂的流动，防止涂敷形状走样、向工件外溢出。

但是，紫外线固化树脂会从涂敷紧后发生紫外线固化树脂的流动，由涂敷后的紫外线固化树脂形成的形状的外形会走样。此外，贴合时的按压力的不同有时也会导致紫外线固化树脂的量和膜厚不均匀等而发生紫外线固化树脂的溢出。在发生了紫外线固化树脂的流动的部分，膜厚的均匀性也会走样。

本发明是考虑到上述的状况而完成的，能抑制涂敷后的紫外线固化树脂的流动。

用于解决问题的方案

用于解决上述问题的方案如下。

首先，从涂敷头喷出紫外线固化树脂，将紫外线固化树脂按规定图案涂敷于显示基板和盖基板中的一方基板的平面。其次，与该涂敷紫外线固化树脂的工序并行地，利用与涂敷头一体地配置的照射部，对涂敷于一方基板的紫外线固化树脂的至少长边端部的全部或者一部分照射预固化用的紫外线。然后，将一方基板的涂敷了紫外线固化树脂的面与另一方基板的一个面贴合。

发明效果

根据本发明，利用涂敷头和与该涂敷头一体地配置的照射部，并行地进行紫外线固化树脂的涂敷处理和预固化处理。由此，将从涂敷紧后发生的紫外线固化树脂的流动抑制为最小限度。

附图说明

图1是示出作为利用本发明的一个实施方式所涉及的基板贴合装置贴合的一方基板的显示基板的概要构成的说明图。

图2是示出作为利用本发明的一个实施方式所涉及的基板贴合装置贴合的另一方基板的盖基板的概要构成的说明图。

图3是示出本发明的一个实施方式所涉及的基板贴合装置的概要构成的俯视图。

图4是示出图3所示的基板贴合装置的树脂涂敷部（涂敷装置）的整体构成例的立体图。

图5是图4所示的涂敷头的A-A线的截面图。

图6是示出本发明的一个实施方式所涉及的基板贴合装置的控制系统的框图。

图7是示出紫外线固化树脂的涂敷图案的例子的俯视图。

图8是说明紫外线固化树脂的涂敷和紫外线的照射的主视图。

图9是说明紫外线固化树脂的涂敷和紫外线的照射的侧视图。

图10是示出涂敷为图7所示的面均匀图案的紫外线固化树脂已部分地预固化的状态的俯视图。

图11是示出由显示基板和盖基板贴合而成的贴合基板的一个例子的说明图。

图12是示出照射部的其它例子的说明图。

图13是示出现有的涂敷紫外线固化树脂的涂敷装置的构成例的立体图。

附图标记说明

1…基板贴合装置，2…架台，3…树脂涂敷部，4…基板搬运部，5…供应台，6…上构件，7…下构件，8…贴合部，8A…真空容器，9…位置检测部，10…树脂固化部，11…Y轴引导件，12…X轴引导件，13…供应台移动部，21…涂敷对象基板，22…载置台，22X…X轴载置台，22Y…Y轴载置台，23…涂敷头，24…狭缝，25…喷出口，26…紫外线固化树脂，26e…流动部，27…供应罐，28…涂敷泵，29…压力传感器，30…位移检测传感器，31…头升降部，32…头倾斜部，33-1、33-12、33-1k、33-1n…照射部，33L…透镜，34…预固化用光源，35…光纤，36…预固化部，101…显示基板，111…贴合基板，121、121A…带触摸传感器的基板

具体实施方式

以下，参照附图来说明用于实施本发明的方式的例子。

此外，对在各图中通用的构成要素附上相同的附图标记，省略重复的说明。

[显示基板]

首先，参照图1来说明显示基板。

图1是示出作为利用基板贴合装置贴合的一方基板的显示基板的概要构成的说明图。

如图1所示，显示基板101例如是液晶模块（LCM），具备：使用液晶的基板主体102；使该基板主体102的一个面露出而将其收纳的框架103；装配于基板主体102的一个面的偏振板104。

此外，作为本发明所涉及的显示基板，也可以是有机发光二极管（OLED）模块、其它显示模块。

基板主体102形成为长方形的板状，一个面为显示面。在该基板主体102的一个短边侧形成有对准标记105。在显示基板101的周缘部搭载部件的情况下，该对准标记用于检测显示基板101的位置。

框架103覆盖基板主体102的4个边和基板主体102的另一个面。

偏振板104形成为长方形，与基板主体102相比外周的轮廓较小。即，偏振板104的外周的轮廓形成为与基板主体102的显示区域大致相等的大小。显示基板101的偏振板104侧利用透明的紫外线固化树脂26（参照图4、图10）粘贴到后述的带触摸传感器的基板121。在以后的说明中，有时也将紫外线固化树脂称为粘接剂。

[盖基板]

其次，参照图2来说明表示盖基板的一个具体例子的带触摸传感器的基板121。

图2是示出带触摸传感器的基板121的概要构成的说明图。

如图2所示，带触摸传感器的基板121具备：基板主体122；在该基板主体122的一个面设置的黑矩阵（BM）123。基板主体122形成为长方形的板状。该带触摸传感器的基板121的外周的轮廓形成为与显示基板101的框架103的外周的轮廓大致相等的大小。

黑矩阵123形成为长方形的框状。该黑矩阵的外周的轮廓与基板主体122的外周的轮廓大致相等，内周的轮廓与显示基板101的偏振板104的外周的轮廓大致相等。例如通过使金属铬溅射蒸镀到基板主体122的一个面，利用蚀刻将不要的部分除去来形成黑矩阵123。

玻璃基板124以覆盖基板主体122的一个面的方式形成。玻璃基板124是透明的，因此容易透过光。

此外，作为本发明所涉及的盖基板，不限于带触摸传感器的基板121，例如，也可以是由玻璃材料形成的保护基板。

[基板贴合装置]

其次，参照图3和图4来说明本发明的一个实施方式所涉及的基板贴合装置。

图3是示出本发明的一个实施方式所涉及的基板贴合装置的概要构成的俯视图。图4是示出本发明的一个实施方式所涉及的涂敷装置的整体构成例的立体图。

如图3所示，基板贴合装置1具备架台2、树脂涂敷部3、基板搬运部4、供应台5、具有上构件6和下构件7的贴合部8、位置检测部9以及树脂固化部10。树脂涂敷部3、基板搬运部4、供应台5、贴合部8的下构件7、位置检测部9以及树脂固化部10配置在架台2的上表面。另外，贴合部8的上构件6配置在架台2的上方。

供应台5、下构件7、位置检测部9以及树脂固化部10分别空开适当的间隔并排配置。在此，将供应台5和下构件7等并排的方向设为第1方向X。另外，将相对于架台2的上表面为水平的方向并且与第1方向X正交的方向设为第2方向Y，将相对于架台2的上表面正交的垂直方向设为第3方向Z。

树脂涂敷部3是本发明的涂敷装置的一个例子，配置在架台2的第1方向X的大致中央。带触摸传感器的基板121（参照图2）由基板移送部（未图示）供应到该树脂涂敷部3。树脂涂敷部3对供应来的带触摸传感器的基板121的玻璃基板124侧的面涂敷紫外线固化树脂26。树脂涂敷部3例如利用狭缝涂敷机将紫外线固化树脂26涂敷到带触摸传感器的基板121。后面详细地说明该树脂涂敷部3的构成例。

基板搬运部4将由树脂涂敷部3涂敷了紫外线固化树脂26的带触摸传感器的基板121搬运到下构件7的未图示的基板支撑台。该基板搬运部4被Y轴引导件11引导而向第2方向Y移动。即，树脂涂敷部3和下构件7相互在第2方向Y相对。此外，各构成要素的配置能适当设定，不限于本实施方式。

供应台5配置在架台2的第1方向X的一端部。显示基板101由基板翻转部（未图示）供应到供应台5。显示基板101被基板翻转部上下翻转，以偏振板104侧的面朝向下方的状态载置于供应台5。

供应台5利用供应台移动部13移动。供应台移动部13例如包括：支撑供应台5的滑块（未图示）；将滑块向第1方向X引导的X轴引导件12（参照图3）；以及用于使滑块移动的驱动部（未图示）。供应台5和供应台移动部13能够利用公知的技术来构成。

构成贴合部8的上构件6和下构件7相互抵接，从而形成具有密闭的内部空间的真空容器8A。并且，上构件6和下构件7以将显示基板101和带触摸传感器的基板121收纳到真空容器8A内的状态密闭。

上构件6例如形成为下部开口的中空的长方体状，具有：上盖部，其形成为长方形的板状；以及周壁部，其与该上盖部的四边连续而向下方延伸。上构件6的周壁部形成为长方形的框状，顶端部为上构件6的下端。在该周壁部的顶端部装配有使用了橡胶构件的密封构件。密封构件抵接、紧贴到下构件7，将周壁部的顶端部与下构件7之间密闭。该上构件6利用上构件移动机构（未图示）向第3方向Z和第1方向X移动。此外，供应到上构件6的显示基板101在上构件6内部的位置由基板保持部（未图示）保持。

下构件7形成为大致长方形的板状。该下构件7的外周的轮廓形成为比上构件6的周壁部的外周的轮廓大。在该下构件7中形成有用于对真空容器内进行除气的排气口（省略图示），该排气口经由排气管与真空泵15（参照图6）连接。当真空泵驱动时，真空容器内的气体通过排气口和排气管排出。该下构件7利用下构件移动机构（未图示）向第1方向X、第2方向Y以及第3方向Z移动，而且向以在第3方向Z延伸的轴为中心的旋转方向θ（参照图3）移动。此外，供应到下构件7的带触摸传感器的基板121由配置于下构件7的上表面的基板支撑台（省略图示）支撑。

此外，也可以在贴合部8设置预固定用光源。例如，预固定用光源是在第2方向Y延伸的线状光源，出射紫外线。从预固定用光源出射的紫外线照射到介于显示基板101与带触摸传感器的基板121之间的紫外线固化树脂26的2个侧面的整个面。由此，能够将显示基板101和带触摸传感器的基板121预固定，在利用树脂固化部10使紫外线固化树脂固化之前，能够防止两个基板相对地偏离。

位置检测部9对显示基板101和带触摸传感器的基板121的规定的区域进行拍摄，检测两者的相对位置。该位置检测部9例如构成为具备图像传感器和信号处理部。信号处理部将经由光学透镜取入到图像传感器的显示基板101和带触摸传感器的基板121的规定的区域的图像光变换为电信号，将该电信号（图像信号）发送到后述的驱动控制部40（参照图6）。

树脂固化部10配置在架台2的第1方向X的一端部。已重叠的显示基板101和带触摸传感器的基板121被搬运到该树脂固化部10。树脂固化部10对供应来的两个基板101、121间的紫外线固化树脂26照射紫外线，使紫外线固化树脂26的整体固化。

以上简单地说明了基板贴合装置1，但本发明的本质在于树脂涂敷部3。因此，图3所示的基板搬运部4、供应台5、贴合部8、位置检测部9以及树脂固化部10除了可以使用上述构成以外，还可以使用公知的技术来构成。

[树脂涂敷部的结构]

其次，参照图4和图5来详细地说明基板贴合装置1的树脂涂敷部3。

图4是示出图3所示的基板贴合装置1的树脂涂敷部3（涂敷装置）的整体构成例的立体图。图5是图4所示的涂敷头的A-A线（与包含第1方向X和第3方向Z的平面平行的面）的截面图。

如图4所示，树脂涂敷部3具有：包括X载置台22X和Y载置台22Y的载置台22；涂敷头23；头升降部31；头倾斜部32。另外，树脂涂敷部3具备：压力传感器29；位移检测传感器30；照射部33-1、33-2；预固化用光源34；光纤35。树脂供应系统包括：供应罐27，其储藏和供应紫外线固化树脂；以及涂敷泵28，其向涂敷头23送出紫外线固化树脂。

载置台22包括X载置台22X和Y载置台22Y，例如构成为：能在X载置台的上表面载置带触摸传感器的基板121，利用后述的载置台移动机构22a（参照图6）在第1方向X、第2方向Y移动。

涂敷头23是宽幅型。涂敷头23喷出从涂敷泵28施加压力而被送出的粘接剂（紫外线固化树脂26），将其涂敷到载置台22所载置的带触摸传感器的基板121的上表面。涂敷头23一边相对于带触摸传感器的基板121在第1方向X移动，一边将从涂敷泵28送出的紫外线固化树脂26以一定的压力涂敷一定的量。由该涂敷头23进行的涂敷动作通过在第1方向X的一次扫描来进行。通过这样涂敷紫外线固化树脂26，能够使膜厚均匀性提高。

如图4所示，涂敷头23形成为与第2方向Y和第3方向Z的平面（YZ平面）平行的平板状。并且，如图5的截面图所示，在涂敷头23的内部形成有中空的狭缝24，狭缝24的一端部与涂敷泵28连接，另一端部与设置于涂敷头23的顶端部的喷出口25连接。该狭缝24在涂敷头23的宽度方向，即第2方向Y延伸地形成，其长度设计为与带触摸传感器的基板121的短边相同或者比其稍短。从该喷出口25喷出线状的紫外线固化树脂26。在此，涂敷头23将紫外线固化树脂26向与该涂敷头23的移动方向垂直的方向且直线状喷出。

并且，涂敷头23一边从喷出口25喷出线状的紫外线固化树脂26，一边在第1方向X移动，从而将紫外线固化树脂26带状地涂敷到基板上。由此，涂敷头23能够对基板的规定区域的整个面涂敷紫外线固化树脂26。该涂敷头23的喷出口25的空隙在整个第2方向Y上恒定地形成。当将喷出口25的空隙设为恒定时，喷出压力成为恒定的，喷出量也成为恒定的。该涂敷头23的喷出动作、喷出的紫外线固化树脂26的喷出压力、喷出量等由后述的驱动控制部40（参照图6）控制。

涂敷头23具备压力传感器29和位移检测传感器30。

压力传感器29设置在涂敷头23内部，检测流过涂敷头23内的狭缝24的紫外线固化树脂26的压力。

另外，位移检测传感器30设置在涂敷头23的一个面上，测定从带触摸传感器的基板121的上表面到该位移检测传感器30为止的距离。在本实施方式中，位移检测传感器30设置在包含第2方向Y和第3方向Z的平面内。作为位移检测传感器30，能够使用例如使用了红外线、激光等的光学式测距装置。该距离测定例如针对所涂敷的紫外线固化树脂的第2方向Y的中央部进行，但不限于此。

头升降部31根据位移检测传感器30的测定结果，使涂敷头23在第3方向Z升降。涂敷头23利用头升降部31的驱动而在第3方向Z升降，从而能够调整涂敷头23的顶端部（喷出口25）与带触摸传感器的基板121的上表面的距离。

头倾斜部32使涂敷头23在沿着第2方向Y的旋转轴上旋转，使涂敷头23与带触摸传感器的基板121的上表面的倾斜角可变。头倾斜部32例如能够形成为以下构成：能旋转地支撑旋转轴，该旋转轴的轴穿过涂敷头23的内部。

照射部33-1、33-2经由光纤35与预固化用光源34连接。该照射部33-1、33-2与该涂敷头23一体地设置在涂敷头23的一个面（在该例中，为包含第2方向Y和第3方向Z的平面内），出射预固化用光源34所产生的紫外线。即，在本实施方式中，在涂敷头23的与移动方向（第1方向X）相反的一侧（以下，称为下游侧）的面上，沿着相对于涂敷头23的移动方向垂直的方向（第2方向Y）配置有2个照射部。作为一个例子，照射部33-1、33-2具备光学透镜33L（参照图8），光学透镜33L使在后述的光纤35内感应的紫外线向涂敷到带触摸传感器的基板121的紫外线固化树脂26聚敛。在本实施方式中，作为一个例子，将从照射部33-1、33-2出射的光设为对大致圆形的规定的区域照射紫外线的点状光。

优选涂敷头23具备使照射部33-1、33-2向第2方向Y移动的移动机构（省略图示）。基于驱动控制部40的控制来控制照射部33-1、33-2的移动和紫外线的照射，由此，能够在与第1方向X垂直的第2方向Y对涂敷到基板的紫外线固化树脂照射紫外线。

[基板贴合装置的控制系统]

其次，参照图6来说明基板贴合装置1的控制系统。

图6是示出贴合装置1的控制系统的框图。

如图6所示，基板贴合装置1具备驱动控制部40。该驱动控制部40例如具有：CPU（中央运算处理装置）；ROM（Read Only Memory：只读存储器），其用于存储CPU执行的程序等；以及RAM（RandomAccess Memory：随机存取存储器），其用作CPU的工作区域。

驱动控制部40与树脂涂敷部3、基板搬运部4、供应台移动部13、贴合部8、位置检测部9、树脂固化部10以及真空泵15电连接。

树脂涂敷部3由驱动控制部40进行驱动控制，对带触摸传感器的基板121涂敷紫外线固化树脂26。后述该树脂涂敷部3的功能。

基板搬运部4由驱动控制部40进行驱动控制，将涂敷了紫外线固化树脂26的带触摸传感器的基板121搬运到下构件7的基板支撑台（未图示）。

供应台移动部13由驱动控制部40进行驱动控制，使载置有显示基板101的供应台5移动到向贴合部8的上构件6交接的位置为止。

位置检测部9对上构件6的基板保持部所保持的显示基板101和下构件7的基板支撑台所支撑的带触摸传感器的基板121进行拍摄，检测两者的相对位置。然后，将检测结果发送到驱动控制部40。

贴合部8由驱动控制部40进行驱动控制，控制上构件6和下构件7的移动。上构件6从接收显示基板101的位置移动到与下构件7形成真空容器8A的位置为止。贴合部8基于位置检测部9的检测结果，对下构件移动部（未图示）进行驱动控制来使下构件7移动，使带触摸传感器的基板121相对于显示基板101进行对位。另外，贴合部8对支撑台移动部（未图示）进行驱动控制，使支撑着带触摸传感器的基板121的基板支撑台上升，将带触摸传感器的基板121贴合到显示基板101。

树脂固化部10由驱动控制部40进行驱动控制，对介于显示基板101与带触摸传感器的基板121之间的紫外线固化树脂26的整个面照射紫外线。

真空泵15由驱动控制部40进行驱动控制，在由贴合部8进行的基板贴合工序中，经由排气口抽吸真空容器8A的内部的空气。由此，对真空容器8A的内部进行除气。

[树脂涂敷部的功能]

如图6所示，树脂涂敷部3具有涂敷泵28、头升降部31、头倾斜部32、载置台移动机构22a、预固化用光源34、压力传感器29以及位移检测传感器30的各功能。

涂敷泵28由驱动控制部40进行驱动控制，以从涂敷头23的喷出口25喷出的紫外线固化树脂26的量为恒定的方式喷出紫外线固化树脂26。

头升降部31由驱动控制部40进行驱动控制，使涂敷头23在第3方向Z升降。头升降部31根据位移检测传感器30的测定结果，使涂敷头23在第3方向Z升降，由此，能够使涂敷头23的喷出口25与带触摸传感器的基板121的上表面的空隙（距离）恒定。头倾斜部32由驱动控制部40进行驱动控制，调整涂敷头23与带触摸传感器的基板121的上表面的倾斜角。

载置台移动机构22a由驱动控制部40进行驱动控制。该载置台移动机构22a包括：X载置台22X；使该X载置台22X向第1方向X移动的移动机构（省略图示）；Y载置台22Y；使该Y载置台22Y向第2方向Y移动的移动机构（省略图示）。该载置台移动机构22a是使涂敷头23相对于带触摸传感器的基板121移动的移动机构的一个例子。

预固化用光源34由驱动控制部40进行驱动控制，按规定的定时生成规定的光强度的激光。由此，经由光纤35按规定的定时从照射部33-1、33-2出射规定的光强度的激光。由此，能够使涂敷到带触摸传感器的基板121的紫外线固化树脂26的希望的部位预固化。

压力传感器29检测流过涂敷头23内的狭缝24的紫外线固化树脂的压力，将检测结果输出到驱动控制部40。

位移检测传感器30测定从带触摸传感器的基板121的上表面到该位移检测传感器30为止的距离，将测定结果输出到驱动控制部40。该测定结果在由模拟/数字变换器（未图示）变换为数字信号后，被供应到驱动控制部40。在本实施方式中，位移检测传感器30的输出信号在带触摸传感器的基板121和位移检测传感器30最接近时为最大。另外，随着带触摸传感器的基板121下降而从位移检测传感器30离开，该输出信号变小，在带触摸传感器的基板121和位移检测传感器30距离最远时变为最小。

[树脂涂敷部的动作]

其次，参照图7～图10来说明树脂涂敷部3的动作例。

在贴合工序前的涂敷工序中，驱动控制部40基于从位移检测传感器30输出的测定数据，计算从带触摸传感器的基板121的上表面到涂敷头23的喷出口25为止的距离。另外，从压力传感器29取得流过涂敷头23内的狭缝24的紫外线固化树脂26的压力的测定结果。然后，驱动控制部40根据从带触摸传感器的基板121到涂敷头23为止的距离和压力的信息进行控制，使得涂敷头23的喷出口25的喷出压力和从带触摸传感器的基板121到涂敷头23为止的距离为恒定。具体地说，分别控制来自涂敷泵28的紫外线固化树脂26的送出量、头升降部31的升降驱动、涂敷头23和载置台移动机构22a的移动驱动。该涂敷动作通过在第1方向X的一次扫描来完成。利用这样的控制，使得涂敷到基板的紫外线固化树脂26的膜厚在整个面中是均匀的。

图7是示出利用树脂涂敷部3形成的紫外线固化树脂的涂敷图案的例子的俯视图。图7左侧是面均匀图案的例子，图7右侧是格子状图案的例子。

涂敷头23一边从喷出口25喷出线状的紫外线固化树脂，一边在第1方向X移动（参照图4、图5），从而将紫外线固化树脂26带状地涂敷到带触摸传感器的基板121。由此，涂敷头23能够对带触摸传感器的基板121的规定区域的整个面，即，按面均匀图案（图7左侧）涂敷紫外线固化树脂26。

此外，利用涂敷头23形成的紫外线固化树脂26的涂敷图案不限于上述的面均匀图案，也可以是图7右侧所示的格子状图案。例如，在涂敷头23的下表面，不是如喷出口25那样的在第2方向Y延伸的直线状，而是在第2方向Y直线状地并排形成多个小的喷出口（圆形、四边形等的孔）。在该情况下，利用驱动控制部40的控制，对各个小的喷出口调整紫外线固化树脂26的喷出的定时、喷出的紫外线固化树脂26的压力、流量等，将紫外线固化树脂26涂敷为格子状图案。

另外，也能够通过这样适当调整紫外线固化树脂26的喷出的定时、喷出的紫外线固化树脂26的压力、流量等，将紫外线固化树脂26涂敷为其它图案。当然，也能够通过从各个小的喷出口喷出紫外线固化树脂26，使紫外线固化树脂26大致直线状地喷出，涂敷为与上述的面均匀图案同样的图案。

其次，说明由树脂涂敷部3进行的紫外线固化树脂的涂敷和紫外线的照射。

图8是说明紫外线固化树脂的涂敷和紫外线的照射的主视图。图9是说明紫外线固化树脂的涂敷和紫外线的照射的侧视图。

驱动控制部40首先利用如上所述的控制来执行驱动载置台移动机构22a和涂敷头23（参照图4），对带触摸传感器的基板121涂敷紫外线固化树脂26的工序。与该紫外线固化树脂26的涂敷工序并行地，驱动控制部40执行驱动照射部33-1、33-2，对涂敷到带触摸传感器的基板121的紫外线固化树脂26的目标位置照射预固化用的紫外线的工序。在该例中，利用设置于照射部33-1、33-2的顶端的光学透镜33L，使紫外线聚敛到涂敷到带触摸传感器的基板121的紫外线固化树脂26的表面。

如图9所示，照射部33-1、33-2配置在箭头所示的涂敷头23的移动方向（第1方向X）的下游侧的面上，配置在与涂敷头23相对于带触摸传感器的基板121的相对移动方向垂直的方向（第2方向Y）。通过采用这样的构成，能够在涂敷紫外线固化树脂26的同时，执行向紫外线固化树脂26照射预固化用的紫外线。

这样，通过在涂敷了紫外线固化树脂26的紧后对该紫外线固化树脂26照射紫外线，能够将从涂敷紧后发生的紫外线固化树脂的流动抑制为最小限度，使流动部26e变小。

而且，并行地进行紫外线固化树脂的涂敷和预固化，因此，能够不使树脂涂敷部3的处理能力降低地，实现紫外线固化树脂26的涂敷和预固化。

图10是示出涂敷为图7所示的面均匀图案的紫外线固化树脂26已部分地预固化的状态的俯视图。

图10的例子是在涂敷为面均匀图案的紫外线固化树脂26中的长边端部的一部分和短边端部的较宽范围内形成了多个预固化部36的例子。在该例中，使所涂敷的紫外线固化树脂26的长边端部和短边端部的一部分固化，但也可以使它们的全部即外周部固化。此外，通过至少使所涂敷的紫外线固化树脂26的长边端部的全部或者一部分预固化，与仅使短边端部预固化的情况相比，抑制紫外线固化树脂26的流动的效果变高。

这样，预固化的范围基本设为触摸传感器的显示部的外侧。但是，预固化部位只要不导致显示不均即可，也可以是贴合基板的中央（显示部分）。

此外，没有特别规定是使利用紫外线照射的紫外线固化树脂的预固化的范围断续还是连续。原因是，其也根据紫外线固化树脂的固化反应诱发材料和最终产品来规定。不管使其连续还是断续，均附带有紫外线固化树脂的喷出压力稳定的限制。也存在即使紫外线固化树脂流出也不会有问题的部位，也可以不特别限定贴合压力（例如，也能使紫外线固化树脂流动来使膜厚均匀化等。）

另外，例如，通过连续地或者断续地进行紫外线固化树脂26的预固化，还能够防止涂敷紧后的流动。例如，即使是断续地形成紫外线固化树脂26的预固化部36的情况下，也能通过表面张力挡住紫外线固化树脂26。利用这样的效果，紫外线固化树脂26的膜厚的均匀性会进一步提高。

另外，紫外线固化树脂26的固化程度不根据涂敷材料和产品、基板的特性来规定。原因是，在对涂敷了紫外线固化树脂26的表面照射紫外线的情况下，有时会先于表面而从内部固化。另外，在基板贴合工序中，一般来说，在正式固化之前进行预固化。需要考虑该正式固化和预固化的工序的不同导致出现预固化部分和正式固化部分的边界面等而出现显示不均等问题。因此，在实施正式固化和预固化的情况下，预固化部分和正式固化部分的固化比例也取决于材料的反应时间，因此不进行规定。

图11是示出由显示基板和盖基板贴合而成的贴合基板的一个例子的说明图。

图11的贴合基板111是利用紫外线固化树脂26将显示基板101和带触摸传感器的基板121A贴合而成的。

本例的带触摸传感器的基板121A与带触摸传感器的基板121（参照图2）相比，黑矩阵和玻璃基板的形状不同。带触摸传感器的基板121A的黑矩阵123A的外周的轮廓与基板主体122的外周的轮廓大致相等，内周的轮廓比显示基板101的偏振板104的外周的轮廓小。另外，玻璃基板124A以覆盖基板主体122的一个面和黑矩阵123A的方式形成。

在将显示基板101和带触摸传感器的基板121A贴合后，对紫外线固化树脂26照射紫外线，由此，当紫外线固化树脂26固化时，显示基板101和带触摸传感器的基板121A会牢固地贴合。此时，带触摸传感器的基板121A的黑矩阵123A的内周的轮廓比显示基板101的偏振板104的外周的轮廓小。因此，在从带触摸传感器的基板121A的玻璃基板124A侧照射了紫外线的情况下，紫外线被黑矩阵123A遮挡，从而紫外线固化树脂26产生未被紫外线照射的部分。

根据本例，能够在贴合工序前使涂敷到基板的紫外线固化树脂26的规定部位预固化。因此，即使是将图11所示的显示基板101和带触摸传感器的基板121A贴合的情况下，也能够在贴合工序前对涂敷到带触摸传感器的基板121A的紫外线固化树脂26照射紫外线。从而，能够与带触摸传感器的基板的结构无关地，与显示基板组合而进行良好的贴合。此外，在该情况下，取代预固化用的紫外线，而照射预固定用或者正式固定用的光强度更强的紫外线。

根据如上所述构成的本实施方式，在对贴合对象中的一方基板涂敷了紫外线固化树脂的紧后，对该紫外线固化树脂照射紫外线。这样，通过并行地进行涂敷处理和预固化，将从涂敷紧后发生的紫外线固化树脂的流动抑制为最小限度。

另外，由于并行地进行紫外线固化树脂的涂敷和预固化，因此能够不使树脂涂敷部的处理能力降低地，实现紫外线固化树脂的涂敷和预固化。进而，能够缩短基板贴合装置1的贴合所需的处理时间。

而且，在对基板涂敷了紫外线固化树脂的紧后，对该紫外线固化树脂在例如外周部照射紫外线，由此，能够在该外周部容易地形成包括预固化部的规定的高度的堰（堤）。利用包括该预固化部的规定的高度的堰（堤），使贴合时的2个基板间的空隙与该已涂敷的紫外线固化树脂的膜厚相等。即，能够将包括预固化部的规定的高度的堰（堤）用作间隔物，针对贴合压力来防止紫外线固化树脂的溢出。

另外，通过在对基板涂敷了紫外线固化树脂的紧后，对该紫外线固化树脂在外周部等照射紫外线来形成堰（堤），能够促进紫外线固化树脂的膜厚均匀化。而且，根据需要，从没有堰的部分将紫外线固化树脂排出，由此能促进除泡。

另外，根据本实施方式，在对基板涂敷了紫外线固化树脂的紧后，对该紫外线固化树脂在外周部等照射紫外线来形成预固化部，因此，也能应对高粘度的紫外线固化树脂。以往，从较细的喷嘴涂敷紫外线固化树脂，在贴合基板时执行紫外线固化树脂的膜厚均匀化，因此处理需要时间，在该时间内高粘度的紫外线固化树脂会固化，从而无法应对。

[变形例]

以上，说明了本发明的基板贴合装置的实施方式，包括其作用效果。然而，本发明的基板贴合装置不限于上述的实施方式，在不脱离权利要求所记载的发明的宗旨的范围内能进行种种变形而实施。

在本实施方式中，从照射部33-1、33-2出射的光例如为对大致圆形的规定的区域照射紫外线的点状光（点状光源）。但是，作为对涂敷到基板的紫外线固化树脂照射的光，不限于点状光，例如，也可以是线状光、面状光。

图12是示出树脂涂敷部的照射部的其它例子的说明图。

在图12所示的例子中，设置有照射点状光的紫外线的n个照射部33-1、…、33-k、…、33-n（n为3以上的自然数，k为2以上的自然数）。n个照射部33-1～33-n沿着第2方向Y排列为一列。从这些照射部33-1～33-n出射的紫外线由驱动控制部40进行驱动控制。例如，当以从n个照射部33-1～33-n同时照射紫外线的方式进行控制时，能够线状地照射紫外线。另外，通过选择照射部33-1～33-n中的任意的照射部来照射紫外线，能够对涂敷到带触摸传感器的基板的紫外线固化树脂26的任意的位置照射紫外线。

在上述的例子中，从照射部33-1～33-n中的哪一个照射部出射紫外线是通过驱动控制部40对将预固化用光源34所产生的紫外线经由光纤35诱导到哪一个照射部进行控制来决定的。或者，驱动控制部40也可以通过切换照射部33-1～33-n的开和关，来控制从照射部33-1～33-n中的哪一个照射部出射紫外线。或者，也可以是如下构成：在照射部33-1～33-n的内部或者光学透镜33L前后配置光闸部，切换该光闸部的开和关，从而控制从照射部33-1～33-n中的哪一个照射部出射紫外线。

另外，在本实施方式中，说明了对带触摸传感器的基板121涂敷紫外线固化树脂的方式，但也可以对显示基板101的偏振板104侧涂敷紫外线固化树脂。

另外，在本实施方式中，设为将树脂涂敷部3配置在真空容器8A的外侧的构成。但是，作为本发明所涉及的基板贴合装置，也可以设为在真空容器8A内配置树脂涂敷部的构成。树脂涂敷部例如利用狭缝涂敷机对显示基板和盖基板中的一方基板的平面涂敷紫外线固化树脂。

另外，在本实施方式中，设为如下构成：利用设置于树脂部的顶端的光学透镜33L，使紫外线聚敛到涂敷到基板的紫外线固化树脂26的表面。但是，也可以设为调整使紫外线聚敛的位置，而仅使紫外线固化树脂26的内部固化的构成。

另外，作为本发明所涉及的基板贴合装置，也可以设为不具备树脂固化部10的构成。即，也可以由不同于基板贴合装置的其它装置进行两个基板101、121的预固定、紫外线固化树脂26整体的固化。

另外，在上述的实施方式中，说明了在作为涂敷工序的下一工序的贴合工序中，在真空中将2个基板贴合的例子，但不限于此，也可以是在大气中贴合的方式。

而且，在上述的实施方式中，除非是特别标明的情况和可以认为原理上明显不是如此的情况等，构成要素等的形状、位置关系等包含实质上与该形状等近似或者类似的情况等。这一点，对于数值和由2个以上的数值形成的范围也是同样的。

Claims (6)

1.一种基板贴合装置，

构成为具备树脂涂敷部和贴合部，

上述树脂涂敷部将紫外线固化树脂涂敷于显示基板和盖基板中的一方基板，

上述贴合部将上述一方基板的涂敷了上述紫外线固化树脂的面与另一方基板的一个面贴合，

上述树脂涂敷部具备：

涂敷头，其喷出紫外线固化树脂，将上述紫外线固化树脂按规定图案涂敷于上述一方基板的平面；

移动机构，其使上述一方基板和上述涂敷头相对地移动；

照射部，其与上述涂敷头一体地配置，对涂敷到上述一方基板的上述紫外线固化树脂的至少长边端部的全部或者一部分照射预固化用的紫外线；以及

驱动控制部，其进行以下控制：驱动上述移动机构和上述涂敷头而将上述紫外线固化树脂涂敷于上述一方基板；以及与上述紫外线固化树脂的涂敷并行地，驱动上述照射部而对涂敷到上述一方基板的上述紫外线固化树脂照射上述预固化用的紫外线。

2.根据权利要求1所述的基板贴合装置，

上述照射部相对于上述涂敷头配置于上述涂敷头的相对于上述一方基板的相对移动方向的下游侧的面。

3.根据权利要求1所述的基板贴合装置，

上述涂敷头将上述紫外线固化树脂向与上述涂敷头的相对于上述一方基板的相对移动方向垂直的方向且直线状喷出。

4.根据权利要求1所述的基板贴合装置，

在上述涂敷头的移动方向的下游侧的面上，在与上述涂敷头的移动方向垂直的方向配置有多个上述照射部。

5.一种基板贴合方法，

包含以下工序：

从涂敷头喷出紫外线固化树脂，将上述紫外线固化树脂按规定图案涂敷于显示基板和盖基板中的一方基板的平面；

与上述涂敷紫外线固化树脂的工序并行地，利用与上述涂敷头一体地配置的照射部，对涂敷到上述一方基板的上述紫外线固化树脂的至少长边端部的全部或者一部分照射预固化用的紫外线；以及

将上述一方基板的涂敷了上述紫外线固化树脂的面与另一方基板的一个面贴合。

6.一种涂敷装置，具备：

树脂涂敷部，其将紫外线固化树脂涂敷于显示基板和盖基板中的一方基板；

涂敷头，其喷出紫外线固化树脂，将上述紫外线固化树脂按规定图案涂敷于显示基板和盖基板中的一方基板的平面；

移动机构，其使上述一方基板和上述涂敷头相对地移动；

照射部，其与上述涂敷头一体地配置，对涂敷到上述一方基板的上述紫外线固化树脂的至少长边端部的全部或者一部分照射预固化用的紫外线；以及

驱动控制部，其进行以下控制：驱动上述移动机构和上述涂敷头而将上述紫外线固化树脂涂敷于上述一方基板；以及与上述紫外线固化树脂的涂敷并行地，驱动上述照射部而对涂敷到上述一方基板的上述紫外线固化树脂照射上述预固化用的紫外线。

Images