CN103688603A - 薄膜形成方法及薄膜形成装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置。通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，在形成薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案。以边缘图案来使薄膜材料的液滴着落于所划分出边缘的内部区域。使着落于内部区域的薄膜材料固化。形成由边缘图案和着落于内部区域的薄膜材料构成的薄膜图案。

Description

薄膜形成方法及薄膜形成装置

技术领域

本发明涉及一种朝向基板吐出薄膜材料的液滴从而形成薄膜图案的薄膜形成方法及薄膜形成装置。

背景技术

已知有种从喷嘴头（喷墨头）吐出包括薄膜图案形成用材料的液滴从而在基板的表面形成薄膜图案的技术（例如专利文献1）。

在这种薄膜形成技术中，例如作为基板利用印刷配线基板，作为薄膜材料利用阻焊剂。印刷配线基板包括基材及配线，在指定位置焊接电子零件等。阻焊剂使焊接电子零件等的导体部分露出并覆盖无需焊接的部分。为了电子零件等的焊接而露出导体部分的区域称为焊盘。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3544543号专利公报

作为薄膜材料利用光固化性（例如紫外线固化性）液状材料。使薄膜材料的液滴着落于基板，则薄膜材料向面内方向扩散。为了提高形成于基板的薄膜图案的分辨率，优选在液滴着落之后迅速对薄膜材料照射光来使其固化。但是，在将薄膜涂布于满布（beta）的区域中，若在液滴着落之后，迅速使薄膜材料固化，则对应各个液滴在薄膜表面残留凹凸。

发明内容

本发明的目的在于提供一种不易在薄膜表面产生凹凸的薄膜形成方法及薄膜形成装置。

根据本发明的一观点，提供一种薄膜形成方法，其中。具有：

通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，从而在形成所述薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案的步骤；

在通过所述边缘图案而划定有边缘的内部区域内着落薄膜材料的液滴的步骤；及

使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤。

根据本发明的另一观点，提供一种薄膜形成方法，其中，具有：

（a）使光固化性薄膜材料附着于基板的第1区域内的应形成薄膜的区域的步骤，其中所述基板的表面被划分为包括应形成的薄膜图案的边缘的所述第1区域及形成满布薄膜的第2区域；

（b）所述步骤a之后，对附着于所述基板的所述第1区域的所述薄膜材料照射光，来使所述薄膜材料固化的步骤；

（c）使所述薄膜材料附着于所述第2区域内的步骤；及

（d）所述步骤c之后，对附着于所述第2区域的所述薄膜材料照射光，来使所述薄膜材料固化的步骤，

附着于所述第2区域之后，至所述步骤d中光照射在薄膜材料为止的时间比附着于所述第1区域之后至所述步骤b中光照射在薄膜材料为止的时间长。

根据本发明的又一观点，提供一种薄膜形成装置，其中，具有：

保持基板的载物台；

喷嘴单元，与保持于所述载物台的基板相对，且设置有对所述基板的表面吐出光固化性薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔，及向附着于所述基板的薄膜材料照射固化用光的光源；

移动机构，使所述喷嘴单元与所述载物台中的一个相对于另一个，且在与所述基板的表面平行的方向移动；及

控制装置，储存应形成于所述基板的薄膜图案的图像数据，

所述控制装置是根据所述图像数据，将所述移动机构、所述喷嘴单元及所述光源控制成所述薄膜材料的液滴着落于所述薄膜图案的边缘，且光从所述光源照射到着落于所述边缘的薄膜材料来形成边缘图案之后，使所述薄膜材料的液滴着落于形成所述薄膜图案的区域的内部，且光从所述光源照射到着落于形成所述薄膜的区域的内部的所述薄膜材料。

根据本发明的又一观点，提供一种薄膜形成装置，其中，具备：

保持基板的载物台；

喷嘴单元，设置有多个喷嘴孔，所述多个喷嘴孔朝向保持于所述载物台的基板，吐出具有光固化性及绝缘性的液状材料并使该液状材料附着于所述基板；

移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元中的一个相对于另一个，在与所述基板的表面平行的Y方向移动；

第1光源，与所述多个喷嘴孔在Y方向分开配置，通过向附着于所述基板的液状材料照射光，来使该液状材料固化；

第2光源，与所述多个喷嘴孔在Y方向分开配置，且比所述第1光源进一步分开而配置，，通过向附着于所述基板的液状材料照射光，来使该液状材料固化；及

控制装置，储存定义应形成于所述基板的表面的薄膜图案的图像数据，根据该图像数据控制所述移动机构、所述喷嘴单元、所述第1及第2光源，

所述控制装置将所述第1及第2光源控制成所述第1光源对附着于包括所述薄膜图案的边缘的第1区域的液状材料进行固化，所述第2光源对附着于薄膜图案形成于满布的第2区域的液状材料进行固化。

发明效果

使着落于薄膜图案的边缘的薄膜材料固化之后，使薄膜材料的液滴着落于与薄膜图案的内部对应的区域时，被固化的薄膜材料阻挡住薄膜材料的面内方向的流动。因此，无需立刻使着落于与薄膜图案的内部对应的区域的薄膜材料固化。薄膜材料变得能够在向面内方向扩散之后使其固化。由此，能够使薄膜图案的内部的表面变得平坦。

附图说明

【图1】图1是实施例1的薄膜形成装置的侧视图。

【图2】图2A是实施例1的薄膜形成装置中使用的喷嘴单元的立体图，图2B是喷嘴单元的仰视图。

【图3】图3是具有利用实施例1的薄膜形成方法形成的薄膜图案的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图4-1】图4A是实施例1的薄膜形成方法的第1次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4B是沿图4A的单点划线4B-4B的剖视图，图4C是实施例1的薄膜形成方法的第2次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4D是沿图4C的单点划线4D-4D的剖视图。

【图4-2】图4E是实施例1的薄膜形成方法的第3次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4F是沿图4E的单点划线4F-4F的剖视图，图4G是实施例1的薄膜形成方法的第4次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4H是沿图4G的单点划线4H-4H的剖视图。

【图4-3】图4I是实施例1的薄膜形成方法的第5次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4J是沿图4I的单点划线4J-4J的剖视图，图4K是实施例1的薄膜形成方法的第6次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4L是沿图4K的单点划线4L-4L的剖视图。

【图5】图5A、图5B、图5C分别是沿图4A的单点划线5A-5A的剖视图、沿图4E的单点划线5B-5B的剖视图、沿图4I的单点划线5C-5C的剖视图。

【图6】图6A及图6B分别是利用比较例及实施例1的方法形成的薄膜图案的剖视图。

【图7-1】图7A是实施例2的薄膜形成方法的第2次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图7B是实施例2的薄膜形成方法的第3次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图7-2】图7C是实施例2的薄膜形成方法的第4次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图7D是实施例2的薄膜形成方法的第5次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图7-3】图7E是实施例2的薄膜形成方法的第6次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图8-1】图8A是实施例3的薄膜形成方法的第1次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图8B是实施例3的薄膜形成方法的第2次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图8-2】图8C是实施例3的薄膜形成方法的第3次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图8D是实施例3的薄膜形成方法的第4次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图9】图9是实施例4的薄膜形成装置的喷嘴单元的俯视图。

【图10-1】图10A是实施例4的薄膜形成方法的第1次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图10-2】图10B是实施例4的薄膜形成方法的第2次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图10-3】图10C是实施例4的薄膜形成方法的第3次扫描前后的基板及喷嘴单元的俯视图。

【图11】图11是实施例5的评估试验中使用的喷嘴单元的仰视图。

【图12】图12是实施例5的薄膜形成装置的局部侧视图。

【图13】图13A是形成于基板的薄膜图案及喷嘴单元的俯视图，图13B及图13C是沿图13A的单点划线13-13的剖视图。

【图14】图14是实施例5的喷嘴单元的仰视图。

【图15】图15A及图15B是利用实施例5的方法形成薄膜图案时的喷嘴单元及基板的侧视图。

【图16】图16A是利用实施例5的方法形成于基板的薄膜图案及喷嘴单元的俯视图，图16B是沿图16A的单点划线16B-16B的剖视图。

【图17】图17A及图17B是实施例5的变形例的喷嘴单元及基板的俯视图。

【图18】图18A及图18B是利用实施例6的方法形成薄膜图案时的喷嘴单元及基板的侧视图，图18C是利用实施例6的变形例的方法形成薄膜图案时的喷嘴单元及基板的侧视图。

【图19】图19A是利用实施例6的方法形成于基板的薄膜图案及喷嘴单元的俯视图，图19B是沿图19A的单点划线19B-19B的剖视图。

【图20】图20是利用实施例6的变形例的方法形成的薄膜图案及喷嘴单元的俯视图。

【图21】图21A～图21D是利用实施例7的方法制作的半导体装置的制造途中阶段的剖视图。

【图22】图22A及图22B分别是表示实施例8及其变形例的薄膜形成装置的喷嘴头的配置的仰视图。

【图23】图23是表示实施例9的薄膜形成装置的喷嘴头的配置的仰视图。

【图24】图24A、图24B、图24C、图24D分别是表示利用实施例9的薄膜形成装置形成薄边缘图案时的第1次、第2次、第3次、第4次扫描结束后的边缘图案中着落有薄膜材料的像素的俯视图。

具体实施方式

[实施例1]

图1中表示实施例1的薄膜形成装置的概要图。在平台20上通过移动机构21支承有载物台22。在载物台22的上面（保持面），保持印刷配线板等基板50。将与载物台22的保持面平行的方向设为X方向及Y方向且将保持面的法线方向设为Z方向从而定义XYZ直角座标系。移动机构21使载物台22在X方向及Y方向移动。

梁32通过支柱31被支承在平台20的上方。在梁32上安装有喷嘴单元支承机构29及摄像装置30。喷嘴单元支承机构29上支承有喷嘴单元23。摄像装置30及喷嘴单元23与保持于载物台22的基板50相对。摄像装置30拍摄形成于基板50的表面的配线图案、对准标记、形成于基板50的薄膜图案等。拍摄所得到的图像数据输入至控制装置40。喷嘴单元23从多个喷嘴孔，朝向基板50吐出光固化型（例如紫外线固化型）薄膜材料的液滴，例如吐出阻焊剂等的液滴。所吐出的薄膜材料附着于基板50的表面。

可将喷嘴单元23固定于平台20，以移动载物台22来代替相对于载物台22及平台20移动喷嘴单元23。

控制装置40控制移动机构21、喷嘴单元23及摄像装置30。控制装置40中，储存有定义应形成于基板50的薄膜图案的光栅格式的图像数据等。操作员通过输入装置41向控制装置40输入各种指令（命令）或控制所需的数值数据。输入装置41例如利用键盘、触控面板、指标装置等。控制装置40从输出装置42向操作员输出各种信息。作为输出装置42利用液晶显示器等。

图2A中表示喷嘴单元23的立体图。喷嘴座26上安装有多个（例如4个）喷嘴头24。各个喷嘴头24上形成有多个喷嘴孔24a。喷嘴孔24a在X方向排列，4个喷嘴头24在Y方向排列且固定于喷嘴座26。

喷嘴头24之间及比两端的喷嘴头24更靠外侧处，分别配置有紫外光源25。紫外光源25向基板50（图1）照射紫外线。另外，作为薄膜材料利用通过紫外线的波长区域以外的光的成分固化的材料时，使用放射包括能够使薄膜材料固化的波长成分的光的光源，以此代替紫外光源25。

图2B中表示喷嘴头24及紫外光源25的仰视图。在喷嘴头24的各个底面（与基板50相对的表面）配置有2列的喷嘴列24b。各个喷嘴列24b由在X方向上以间距（周期）8P排列的多个喷嘴孔24a构成。其中一列喷嘴列24b相对于另一列喷嘴列24b在Y方向偏离，而且在X方向仅偏离间距4P。也就是说，当着眼于1个喷嘴头24，则喷嘴孔24a变成相对于在X方向上以间距4P等间隔分布。间距4P例如相当于300dpi的分辨率。

4个喷嘴头24在Y方向排列，且相互在X方向偏离而安装于喷嘴座26（图2A）。图2B中，当以最左侧的喷嘴头24为基准时，则第2、第3、第4个喷嘴头24分别向X轴的负方向仅偏离2P、P及3P。因此，当着眼于4个喷嘴头24（作为喷嘴头整体），则喷嘴孔24a在X方向以间距P（相当于1200dpi的间距）等间隔排列。

喷嘴头24之间及相对于在Y方向上比最外侧的喷嘴头24更靠外侧处，分别配置有紫外光源25。紫外光源25使附着于基板50（图1）的液状薄膜材料固化。

通过使基板50（图1）在Y方向移动的同时使薄膜材料的液滴从喷嘴单元23的各喷嘴孔24a吐出，因此能够相对于在X方向上以1200dpi的分辨率形成薄膜图案。通过在X方向仅偏离P/2来进行2次扫描，因此能够将X方向的分辨率提高至2倍到达2400dpi。2次扫描能够通过使第1次扫描与第2次扫描的方向反转的来回扫描来实现。Y方向的分辨率由基板50的移动速度和来自喷嘴孔24a的液滴的吐出周期决定。

图3中表示形成有薄膜图案的基板50及喷嘴单元23的俯视图。在基板50的表面上，形成有薄膜图案55。基板50是在其面内配置有多个印刷配线板的拼接基板。作为一例，在基板50的面内以4行2列的行列状配置有印刷配线板。对应于印刷配线板来定义薄膜图案55。薄膜图案55例如由阻焊剂形成。

基板50在Y方向移动的同时，使薄膜材料的液滴从喷嘴单元23吐出的动作称为“扫描”。能够通过1次扫描使薄膜材料的液滴着落的区域称为单位扫描区域56。以W表示单位扫描区域56的X方向的尺寸（宽度）。作为一例，单位扫描区域56的宽度W为基板50的X方向的尺寸的1/4。

参考图4A～图4L及图5A～图5C，对实施例1的薄膜形成方法进行说明。图4A～图4L中以图3中表示的基板50为代表且仅表示与1张印刷配线板对应的区域。并且，为了便于说明，因而在薄膜图案内配置了2个正方形和4个圆形的开口部，但实际上配置有更微细的大量的开口部。

图4A中表示第1次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4B中表示在图4A的单点划线4B-4B的剖视图。图5A中表示在图4A的单点划线5A-5A的剖视图。

如图4A所示，向Y轴的负方向扫描基板50。此时，使来自喷嘴头24（图5A）的薄膜材料的液滴，着落于薄膜图案55的最外围的边缘及开口部的边缘。扫描期间，事先从紫外光源25（图5A）向基板50照射紫外线。因此，薄膜材料的液滴着落于基板50之后，薄膜材料的表层部立即固化。从紫外光源25放射的紫外线在基板表面的光能密度并不充分，因此薄膜材料的内部为未固化状态。将仅有薄膜材料的表层部固化的反应称为“临时固化”，将固化至内部的反应称为“正式固化”。通过第1次扫描，在1个单位扫描区域56（图3）内的薄膜图案的最外围的边缘及开口部的边缘形成由临时固化的薄膜材料构成的线状的边缘图案60。

图4C中表示第2次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4D中表示在图4C的单点划线4D-4D的剖视图。如图4C所示，使基板50向X轴的负方向，仅移动与单位扫描区域56的宽度W相等的距离。之后，通过使基板50向Y轴的正方向移动，来进行第2次扫描。在第2次扫描中，也使薄膜材料的液滴从喷嘴单元23着落于薄膜图案55的最外围的边缘及开口部的边缘，着落之后立即使薄膜材料临时固化。

在与经由第1次扫描形成边缘图案60的单位扫描区域56邻接的单位扫描区域56内的薄膜图案55的最外围的边缘及开口部的边缘形成临时固化的边缘图案61。

图4E中表示第3次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4F中表示在图4E的单点划线4F-4F的剖视图，图5B中表示在图4E的单点划线5B-5B的剖视图。第2次扫描结束之后，通过使基板50向Y轴的负方向移动来进行第3次扫描。第3次扫描中使薄膜材料的液滴从喷嘴头24（图5B）着落于形成薄膜图案55（图3）的区域的内部（满布的区域）。形成以在第2次扫描中形成的边缘图案61作为边缘的面状图案62。第3次扫描中紫外光源25（图5B）为关闭状态。因此，面状图案62仍保持未固化状态。

虽然面状图案62为未固化状态，但在相当于薄膜图案55的边缘的区域内形成的边缘图案61阻挡了薄膜材料的面内方向的扩散。因此，未固化的薄膜材料不会浸入至开口部的内侧。单位扫描区域56（图3）的分界线63上，未形成有阻挡未固化薄膜材料的边缘图案。因此，在单位扫描区域56的分界线63上薄膜材料根据与基板的湿润性扩散至达到平衡状态。

图4G中表示第4次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4H中表示在图4G的单点划线4H-4H的剖视图。第3次扫描之后，使基板50向X轴的正方向仅移动与单位扫描区域56（图3）的宽度W相等的距离。通过在该状态下使基板50向Y轴的正方向移动来进行第4次扫描。第4次扫描中与第3次扫描相同，使薄膜材料的液滴着落于形成薄膜图案55（图3）的区域的内部。形成以在第1次扫描中形成的边缘图案60为边缘的面状图案64。第4次扫描中紫外光源25（图5B）也为关闭状态。因此面状图案64仍保持未固化状态。

因为在第3次扫描中形成的面状图案62和在第4次扫描中形成的面状图案64均为未固化状态，因此薄膜材料在这两者的分界线附近相互混合。因此，单位扫描区域56的分界线63，变成几乎无法辨认的状态。

图4I中表示第5次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4J中表示在图4I的单点划线4J-4J的剖视图。图5C中表示在图4I的单点划线5C-5C的剖视图。第4次扫描之后，通过使基板50向Y轴的负方向移动，来进行第5次扫描。第5次扫描中，并不从喷嘴头24（图5C）吐出薄膜材料的液滴，仅经由紫外光源25进行紫外线的照射。未固化状态的面状图案64通过紫外线照射临时固化。图4I中，对临时固化的区域加上稠密的阴影线，对未固化区域加上稀疏的阴影线。在之后表示的其他附图中也相同。

图4K中表示第6次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4L中表示在图4K的单点划线4L-4L的剖视图。第5次扫描之后，使基板50向X轴的负方向仅移动与单位扫描区域56（图3）的宽度W相等的距离。通过在该状态下使基板50向Y轴的正方向移动来进行第6次扫描。第6次扫描中也不从喷嘴头24（图5C）吐出薄膜材料的液滴，仅经由紫外光源25进行紫外线的照射。未固化状态的面状图案62通过紫外线照射进行临时固化。

参考图6A及图6B对实施例1的薄膜形成方法的效果进行说明。图6A及图6B中，分别表示利用比较例及实施例1的方法形成的薄膜图案的剖视图。

图6A中表示的比较例中，不区分薄膜图案55（图3）的边缘和内部而形成薄膜图案。在扫描基板50时，事先打开紫外光源25（图2A、图2B），薄膜材料着落之后立即使薄膜材料临时固化。如图2A及图2B所示，紫外光源25配置于喷嘴头24之间。因此，从1个喷嘴头24吐出的薄膜材料的液滴着落于基板50之后，在从下一个喷嘴头24吐出的薄膜材料的液滴着落于基板50之前，先着落的薄膜材料临时固化。

因此，从喷嘴孔24a（图2A、图2B）吐出的薄膜材料的液滴55a之间以能够区分的状态相互重叠。在薄膜图案55的表面与各个液滴55a对应地形成凹凸。该凹凸可视为在Y方向延伸的带状图案。

如图6B所示，实施例1的方法中，在薄膜图案55的边缘形成边缘图案60、61，且在薄膜图案55的内部形成面状图案62、64。构成边缘图案60、61的薄膜材料与图6A的情况相同，液滴55a以能够区分的状态相互重叠。也就是说，在着落于基板50且已临时固化的薄膜材料上，以部分重叠的方式着落其他液滴，且形成临时固化。因此，可得到高于通过1个液滴临时固化而形成的薄膜材料的高度的边缘图案60、61。但是，面状图案62、64为薄膜材料的多个液滴向基板面内方向扩散且成为大致均匀的厚度的膜（图4G）之后，临时固化（图4I、图4K）而形成。因此，面状图案62、64的表面变得大致平坦。

为了使面状图案62、64的表面平坦，优选在图4E的步骤中，着落于基板的薄膜材料向基板面内方向扩散，且着落于多个着落点的薄膜材料连续，变得无法区分相互邻接的着落点之后，在图4K的步骤中，使面状图案62的薄膜材料固化。

实施例1中，如图4A、图4B所示，通过1次单程扫描，在相当于1个单位扫描区域56（图3）内的薄膜图案55的边缘的区域形成边缘图案60、61。在X方向仅偏离相当于间距P（图2B）的1/2的距离，且通过来回扫描，能够将X方向上的分辨率提高至2倍。

在形成图4E中表示的面状图案62的步骤，及形成图4G中表示的面状图案64的步骤中，无需使薄膜材料的液滴着落于定义薄膜图案55的光栅格式的图像数据的满布区域内的所有像素。作为一例，像素的排列间距约为10μm，通过着落于1个像素的液滴形成直径约为50μm的圆形图案。因此，可间隔满布区域内的像素来提取着落点。也就是说，可使形成面状图案62、64时的着落点的分布密度低于形成边缘图案60、61时的着落点的分布密度。另外，也可进一步降低形成面状图案62、64时的着落点的分布密度，且也可加大每1次吐出自喷嘴孔24a（图2A）的液滴体积。通过加大液滴体积，即使降低着落点的分布密度也能够将面状图案62、64设为所希望的厚度。

[实施例2]

接着，参考图7A～图7E，对实施例2的薄膜形成方法进行说明。以下，对与实施例1的不同点进行说明，对相同结构将省略说明。通过第1次扫描，形成实施例1的图4A中表示的边缘图案60。

图7A中表示第2次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。第1次扫描之后，通过使基板50向Y轴的正方向移动，来进行第2次扫描。第2次扫描中，在与形成有边缘图案60的单位扫描区域56（图3）相同的单位扫描区域56内，形成未固化的面状图案64。

图7B中表示第3次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。第2次扫描之后，通过使基板50不向X方向偏离而向Y轴的负方向移动，来进行第3次扫描。第3次扫描中，不从喷嘴单元23吐出薄膜材料的液滴，仅进行来自紫外光源25（图2A、图2B）的紫外线的照射。由此，面状图案64被临时固化。

图7C中表示第4次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。第3次扫描之后，使基板50向X轴的负方向仅偏离与单位扫描区域56（图3）的宽度W相等的距离。之后，通过使基板50向Y轴的正方向移动来进行第4次扫描。第4次扫描中，在与第1次至第3次扫描中形成有边缘图案60、面状图案64的单位扫描区域56（图3）邻接的单位扫描区域56内，形成与薄膜图案55的边缘对应的边缘图案61。边缘图案61在第4次扫描期间临时固化。

如图7D所示，通过进行第5次扫描，形成未固化的面状图案62。如图7E所示，通过进行第6次扫描使面状图案62临时固化。图7D及图7E的步骤与图7A及图7B中表示的形成面状图案64的步骤相同。

实施例1中，在相当于薄膜图案55（图3）的边缘的部分形成边缘图案60、61之后（图4A～图4D），形成面状图案62、64（图4E～图4L）。实施例2中，在形成1个单位扫描区域56（图3）内的边缘图案及面状图案之后，形成旁侧的单位扫描区域56内的边缘图案及面状图案。实施例2中也与实施例1的情况相同，面状图案62、64的表面变得平坦。

实施例2中，使面状图案64（图7B）临时固化之后，形成旁侧的单位扫描区域56内的面状图案62（图7D）。因此，与实施例1相比，变得易观察单位扫描区域56的分界线63（图7E）。但是，并不能观察到与喷嘴孔24a的个数对应的大量的带状图案。

[实施例3]

参考图8A～图8D，对实施例3的薄膜形成方法进行说明。以下，对与实施例2的不同点进行说明，对相同结构将省略说明。实施例2中使用的薄膜形成装置的喷嘴单元23（图2A）包括4个喷嘴头24。实施例3中使用的薄膜形成装置的喷嘴单元23，包括8个喷嘴头24。

图8A中表示第1次扫描前后的基板50的俯视图及喷嘴单元23。喷嘴单元23由2个子单元23A、23B构成。子单元23A、23B各自的结构与实施例1的喷嘴单元23（图2A）的结构相同。子单元23A、23B在Y方向相互隔开一定间隔而配置。子单元23A配置于比子单元23B更靠Y轴正侧。

通过使基板50向Y轴的负方向移动来进行第1次扫描。第1次扫描中，利用子单元23A形成边缘图案60。事先打开子单元23A的紫外光源25。因此，所形成的边缘图案60变成临时固化状态。

在第1次扫描期间，进一步利用子单元23B来形成面状图案64。事先关闭子单元23B的紫外光源25。因此，所形成的面状图案64为未固化状态。在边缘图案60临时固化之后，从子单元23B吐出用于形成面状图案64的薄膜材料。由于边缘图案60阻挡从子单元23B吐出的薄膜材料，因此薄膜材料不会浸入开口部内。

图8B中表示第2次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。第1次扫描之后，通过使基板50不在X方向偏离而向Y轴的正方向移动，来进行第2次扫描。第2次扫描中，事先打开子单元23A、23B中的至少其中一个的紫外光源25。由此，面状图案64被临时固化。

如图8C所示，第2次扫描之后，使基板50向X轴的负方向仅移动与单位扫描区域56（图3）的宽度W相等的距离。通过在该状态下进行第3次扫描，来形成已临时固化的边缘图案61及未固化的面状图案62。第3次扫描与图8A中表示的第1次扫描相同。

如图8D所示，与图8B中表示的第2次扫描相同地进行第4次扫描。通过第4次扫描，面状图案62被临时固化。

实施例2中，通过3次扫描在1个单位扫描区域56（图3）内形成薄膜图案。实施例3中，通过2次扫描，能够在1个单位扫描区域56（图3）内形成薄膜图案。

[实施例4]

参考图9及图10A～图10C，对实施例4的薄膜形成方法进行说明。以下，对与实施例3的不同点进行说明，对相同结构将省略说明。

图9中表示实施例4的薄膜形成装置的喷嘴单元23的俯视图。喷嘴单元23包括2个子单元23A、23B。各个子单元23A、23B安装于相同的喷嘴座26，具有与实施例1的喷嘴单元23（图2A、图2B）相同的结构。也就是说，各个子单元23A、23B包括4个喷嘴头24和5个紫外光源25。2个子单元23A、23B在X方向上配置于相同位置。子单元23A配置于比子单元23B更靠Y轴正侧。

而且，实施例4的喷嘴单元23具有2个满布区域用紫外光源70。各个满布区域用紫外光源70在X方向上具有较长的形状，相对于子单元23A、23B固定于向X轴的负方向仅偏离与单位扫描区域56（图3）的宽度W的1/2相等的距离的位置。在Y方向上，2个满布区域用紫外光源70以隔着2个子单元23A、23B的方式而配置。

图10A中表示第1次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。子单元23A、23B在X方向上配置在对应于最负侧的单位扫描区域56的位置。通过使基板50向Y轴的负方向移动来进行第1次扫描。

在第1次扫描中，使子单元23A的喷嘴头24及紫外光源25动作来形成边缘图案60。同时，使子单元23B的喷嘴头24动作，来形成面状图案64。而且，通过打开在Y轴的负侧上配置的满布区域用紫外光源70来使面状图案64中X方向负侧的一半区域临时固化。从子单元23B的喷嘴头24吐出的薄膜材料的液滴，通过满布区域用紫外光源70被临时固化为止的时间，比附着于基板的薄膜材料的液滴向面内方向扩散且面状图案64成为均匀的膜厚所需的时间长。因此，面状图案64中已临时固化的部分的表面变得大致平坦。从薄膜材料的附着至临时固化为止的时间，能够通过调节子单元23B与Y方向负侧的满布区域用紫外光源70的间隔来进行控制。

图10B中表示第2次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。第1次扫描之后，使基板50向X轴的负方向，仅移动与单位扫描区域56的宽度W相等的距离。通过在该状态下使基板50向Y轴的正方向移动来进行第2次扫描。第2次扫描中，使子单元23B的喷嘴头24及紫外光源25动作来形成边缘图案61。使子单元23A的喷嘴头24动作来形成面状图案62。而且，通过打开配置于Y方向正侧的满布区域用紫外光源70，使面状图案64的未固化部分及面状图案62的X方向负侧的一部分临时固化。

图10C中表示第3次扫描前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。第2次扫描之后，使基板50向X轴的负方向，仅移动与单位扫描区域56的宽度W相等的距离。通过在该状态下使基板50向Y轴的负方向移动，来进行第3次扫描。第3次扫描以与第1次扫描相同的顺序进行。由此，相对于第2次扫描中形成薄膜图案的单位扫描区域56，在X方向正侧邻接的单位扫描区域56内，形成边缘图案65及面状图案66。此时，通过来自满布区域用紫外光源70的紫外线，使面状图案62的未固化部分临时固化，并且使面状图案66的X方向负侧的一部分临时固化。通过反复进行相同的扫描，能够在基板50的整个区域形成薄膜图案。

实施例4中，以1次扫描进行边缘图案的形成、面状图案的形成及面状图案的一部分的临时固化。因此，与实施例3相比，能够以较少的扫描次数形成薄膜图案。

实施例4中，当仅着眼于薄膜图案55（图3）的内部区域（满布区域）时，则依次执行如下步骤。

首先，使基板50在Y方向移动的同时，使薄膜材料的液滴在X方向上，着落于第1宽度W的第1单位扫描区域56内（图10A）。由此，在第1单位扫描区域56内形成面状图案64。该扫描期间，使附着于第1单位扫描区域56内的X方向负侧的一部分的薄膜材料临时固化。

之后，使基板50在Y方向移动的同时，使薄膜材料的液滴着落于与第1单位扫描区域的X方向正侧邻接的第2单位扫描区域56内（图10B）。由此，在第2单位扫描区域56内形成面状图案62。该扫描期间，使附着于第1单位扫描区域56内的X方向正侧的未固化部分及第2单位扫描区域56内的X方向负侧的一部分的薄膜材料临时固化。

如上所述，在1次扫描中，仅使面状图案64、62的一部分临时固化。通过同一扫描，使薄膜材料附着成已临时固化的区域和未固化状态残留的区域，因此能够使这两者的分界线不明显。另外，图10B中，在用于形成面状图案62的薄膜材料附着于基板50的阶段中，不使面状图案64的X方向正侧的区域临时固化。因此，在面状图案64与面状图案62的分界线附近，薄膜材料相互混合。因此，能够使面状图案62与面状图案64的分界线不明显。

[实施例5]

参考图11～图17B，对实施例5的薄膜形成方法进行说明。以下，对与实施例1的不同点进行说明，对相同结构省略说明。在对实施例5进行说明之前，对评估试验进行说明。

图11中表示评估试验中使用的喷嘴单元的仰视图。该喷嘴单元23R包括喷嘴头24、光源25及支承喷嘴头和光源的喷嘴座（支承机构）26。喷嘴头24上设置有排列规则且吐出阻焊剂的多个喷嘴孔24a。各个喷嘴孔24a例如包括压电元件而构成，根据电压脉冲的施加吐出阻焊剂。来自喷嘴孔24a的阻焊剂的吐出是通过控制装置40控制。光源25沿喷嘴孔24a的排列方向配置于其两侧。以L表示光源25与喷嘴孔24a的间隔。光源25对从喷嘴孔24a吐出而附着于基板的阻焊剂进行光固化。光源25中具备使射出的光成为平行光的光学系统。另外，相对于喷嘴头24配置于Y轴的正侧的光源25，基板在向Y轴正方向扫描时，对附着于基板50（图1）的阻焊剂进行光固化。相对喷嘴头24配置于Y轴的负侧的光源25，基板50在向Y轴的负方向扫描时，对附着于基板的阻焊剂进行光固化。因此，光源25可根据基板的扫描方法，仅配置于喷嘴孔24a的排列的单侧。

图12中表示扫描基板50时的侧视图。控制装置40(图1)相对于喷嘴单元23R例如向Y轴的负方向以恒定的输送速度移动基板50。而且，控制装置40根据预先储存的图像数据以预定周期对喷嘴孔24a施加电压脉冲，使阻焊剂从喷嘴孔24a吐出。喷嘴孔24a通过在时刻T1开始的电压脉冲的施加朝向喷嘴孔24a的垂直下方的基板50的表面吐出阻焊剂。从喷嘴孔24a吐出的阻焊剂的液滴，在着落于基板50之后，逐渐向基板50的面内方向扩散。附着于基板50并向面内方向扩散的阻焊剂，伴随基板50的移动向Y轴的负方向移动。在移动至与喷嘴孔24a仅远离间隔L的光源25的垂直下方的时刻T2，阻焊剂通过来自光源25的光照射固化。反复进行该吐出及固化的步骤，在基板50的表面形成由阻焊剂构成的薄膜图案。

图13A中表示应形成于基板50的薄膜图案的俯视图。应形成于基板50的薄膜图案，包括成膜阻焊剂的绝缘区域51及不成膜阻焊剂的焊盘区域52。并且，包括焊盘区域52密集的微细区域50a及绝缘区域51覆盖整面的满布区域50b。另外，图中，在绝缘区域51附加有阴影线。控制装置40（图1）根据薄膜图案的图像数据，使基板50相对于喷嘴单元23R移动的同时，使阻焊剂从喷嘴孔24a吐出。使附着于基板50的阻焊剂，通过来自光源25的光照射固化，形成由阻焊剂构成的薄膜图案。从喷嘴孔24a吐出的阻焊剂的液滴在着落于基板50之后，逐渐向基板50的面内方向扩散。通过来自光源25的光照射，使阻焊剂固化来保持其形状。

图13B及图13C中表示在图13A的箭头线13-13的剖视图。当喷嘴单元23R的喷嘴孔24a与光源25的间隔L（图11）较小时，着落于基板50的阻焊剂在相对较早的时间点光固化。着落于基板50的阻焊剂在大幅扩散之前固化，因此如图13B的微细区域50a所示，能够对应微细的薄膜图案的形成。另一方面，稍微残留液滴的形状，如图13B的满布区域50b所示，所形成的薄膜图案的膜厚变得不均匀（表面出现凹凸）。另外，当喷嘴孔24a与光源25的间隔L较大时，着落于基板50的阻焊剂在相对于较晚的时间点固化。着落于基板50的阻焊剂在大幅扩散之后固化，因此如图13C的微细区域50a所示，焊盘区域52被阻焊剂覆盖，无法对应微细的薄膜图案的形成。另一方面，如图13C的满布区域50b所示，所形成的薄膜图案的膜厚变得均匀（表面变得平坦）。

在微细区域50a形成薄膜图案时，优选使着落于基板50的阻焊剂在相对较早的时间点固化，来提高薄膜图案的位置精确度。在满布区域50b形成薄膜图案时，优选在外观角度来看，使着落于基板50的阻焊剂在相对较晚的时间点固化，来使薄膜图案的膜厚变得均匀。

图14中表示实施例5的喷嘴单元的仰视图。实施例5的喷嘴单元23包括喷嘴头24、光源25a、25b及支承喷嘴头及光源的喷嘴座（支承机构）26。喷嘴头24上设置有排列规则的多个喷嘴孔24a。例如，喷嘴孔24a的开口直径约为30μm，各喷嘴孔24a的间距约为80μm。光源25a及25b沿喷嘴孔24a的排列配置于其两侧。以L1表示光源25a与喷嘴孔24a的间隔。光源25b与喷嘴孔24a的间隔L2大于间隔L1。例如，喷嘴孔24a与光源25a的间隔L1约为0.3mm，喷嘴孔24a与光源25b的间隔L2约为1.0mm。光源25a、25b中具备使射出的光成为平行光的光学系统。来自喷嘴孔24a的阻焊剂的吐出及光源25a、25b的开/关是通过控制装置40来控制。另外，相对喷嘴头24配置于Y轴的正侧的光源25a、25b在基板50（图1）向Y轴的正方向移动时，使附着于基板50的阻焊剂固化。相对喷嘴头24配置于Y轴的正侧的光源25a、25b在基板50向Y轴的负方向移动时，使附着于基板50的阻焊剂固化。因此，光源25a、25b可根据基板50的扫描方法仅配置于喷嘴孔24a的排列的单侧。

图15A及图15B中表示利用实施例5的方法形成薄膜图案时的喷嘴单元23及基板50的侧视图。控制装置40（图1）相对喷嘴单元23例如向Y轴的负方向以恒定输送速度移动基板50。控制装置40根据薄膜图案的图像数据以预定周期对喷嘴孔24a施加电压脉冲，使阻焊剂从喷嘴孔24a吐出。例如，基板50的输送速度约为300mm/s，喷嘴头24吐出阻焊剂的频率约为30kHz。另外，从基板50至喷嘴头24的高度为0.5mm～1mm左右，至光源25a、25b的高度为20mm～30mm左右。当阻焊剂着落的区域为微细区域50a（图13A）时，如图15A所示控制装置40通过来自配置于距喷嘴孔24a相对较近的位置的光源25a的光照射固化阻焊剂。例如，着落于微细区域50a的阻焊剂，在着落于基板50之后约经过0.1s之后固化。当阻焊剂着落的区域为满布区域50b（图13A）时，如图15B所示，通过来自配置于距喷嘴孔24a相对较远的位置的光源25b的光照射，固化阻焊剂。例如，着落于满布区域50b的阻焊剂，在着落于基板50之后约经过0.3s之后固化。

图16A中表示形成于基板50的薄膜图案的俯视图，图16B中表示在图16A的箭头线16B-16B的剖视图。应描绘于基板50的薄膜图案包括焊盘区域52密集的微细区域50a及绝缘区域51覆盖整面的满布区域50b。图16A中，在绝缘区域51附加有阴影线。实施例5中，控制装置40（图1）中预先储存有应形成的薄膜图案的微细区域50a及满布区域50b的区划信息。例如，微细区域50a与实际安装具有BGA（Ball Grid Array）等封装的集成电路元件（IC、LSI）的区域对应。另外，满布区域50b与实际安装离散元件的区域或整面被阻焊剂的薄膜图案覆盖的区域对应。控制装置40（图1）根据薄膜图案的图像数据，使基板50相对喷嘴单元23移动的同时，使阻焊剂从喷嘴孔24a吐出。而且，根据微细区域50a及满布区域50b的区划信息，附着于微细区域50a的阻焊剂，通过来自光源25a的光照射固化，附着于满布区域50b的阻焊剂，通过来自光源25b的光照射固化。如图16B所示，通过这种薄膜图案形成操作，能够在基板50的微细区域50a提高薄膜图案的边缘的位置精确度，并在满布区域50b使所形成的薄膜图案的膜厚变得均匀。另外，可使控制装置40根据薄膜图案的图像数据，基于绝缘区域51及焊盘区域52的尺寸及它们的密集度，自动设定微细区域50a及满布区域50b。

图17A及图17B中表示实施例5的变形例的喷嘴单元及基板的俯视图。如图17A所示，设置于喷嘴单元23的光源不限于2个，也可以是3个以上，也可具备能够改变配置位置的机构。另外，可由沿着喷嘴孔的排列而排列的多个发光二级管（LED）构成光源。多个LED能够通过控制装置分别独立的进行开/关控制。通过这种结构，将被1个LED照射的区域作为单位区域，能够在X轴方向上更精密地配置微细区域50a和满布区域50b。另外，光源可与喷嘴单元23分离而例如安装于薄膜形成装置的框架。安装于框架的光源可具备有能够改变配置位置的机构。

而且，如图17B所示，设置于喷嘴单元23的喷嘴头24可以是喷嘴孔24a配置成穿插状（曲折形）的结构。多个喷嘴孔24a例如构成在Y轴方向隔开的2列喷嘴列24I、24J。构成各喷嘴列24I、24J的喷嘴孔24a在X轴方向上以间距8P配置。构成其中一列喷嘴列24I的喷嘴孔24a相对构成另一列喷嘴列24J的喷嘴孔24a，在X轴方向上仅偏离4P而配置。通过将喷嘴头24设为这种结构，能够不受到对喷嘴孔24a供给阻焊剂的供给机构或压电元件的尺寸或配置等的限制，而轻易提高X轴方向的分辨率。

[实施例6]

参考图18A～图20B，对实施例6的薄膜形成方法进行说明。以下对与实施例5的不同点进行说明，对相同结构省略说明。

图18A～图18C中表示实施例6的薄膜形成装置的喷嘴单元23及基板50的侧视图。实施例6的薄膜形成装置的喷嘴单元23包括喷嘴头24、光源25及能够使光源25在与X轴方向平行的旋转轴的周围旋转的旋转机构27。旋转机构27能够通过旋转光源25，在Y轴方向移动从光源25射出的光在基板50的表面的照射位置。光源25基于旋转机构27的旋转通过控制装置40控制。

控制装置40相对喷嘴单元23例如向Y轴负方向以恒定输送速度移动基板50。控制装置40根据所储存的图像数据以预定周期对喷嘴孔24a施加电压脉冲，使阻焊剂从喷嘴孔24a吐出。例如，基板50的输送速度约为300mm/s，喷嘴头24吐出阻焊剂的频率约为30kHz。另外，从基板50至喷嘴头24的高度为0.5mm～1mm左右，至光源25的高度为20mm～30mm左右。

如图18A所示，当阻焊剂着落的区域为微细区域50a（图16A）时，控制装置40控制旋转机构27从而达到例如在比光源25的垂直下方位置更靠近喷嘴孔24a的位置使附着于基板50的阻焊剂光固化。例如，着落于微细区域50a的阻焊剂在着落于基板50之后，约经过0.1s之后固化。另外，如图18B所示，当阻焊剂着落的区域为满布区域50b（图16A）时，控制旋转机构27从而达到例如在比光源25的垂直下方位置更远离喷嘴孔24a的位置以使附着于基板50的阻焊剂固化。例如，着落于满布区域50b的阻焊剂在着落于基板50之后约经过0.3s之后固化。

另外，使从光源25射出光线的向基板的照射位置移动的机构不限于旋转机构。如图18C所示，也可通过光学系统28移动从光源25射出光线的向基板的照射位置。

图19A中表示形成有薄膜图案的基板50的俯视图及喷嘴单元23。图19B中表示在图19A的箭头线19B-19B的剖视图。应形成于基板50的薄膜图案与实施例5相同，包括焊盘区域52密集的微细区域50a及以绝缘区域51覆盖整面的满布区域50b。图19A中，在绝缘区域51附加有阴影线。

控制装置40（图18A～图18C）根据薄膜图案的图像数据使基板50相对喷嘴单元23移动的同时，使阻焊剂从喷嘴孔24a吐出。控制装置40根据微细区域50a与满布区域50b的区划信息，控制旋转机构27。着落于微细区域50a的阻焊剂固化在相对靠近喷嘴孔24a的位置（图18A）。着落于满布区域50b的阻焊剂，固化在相对远离喷嘴孔24a的位置（图18B）。

如图19B所示，通过这种薄膜形成操作，能够在基板50的微细区域50a提高薄膜图案的边缘的位置精确度，并能够在满布区域50b使所形成的阻焊剂的薄膜图案的膜厚变得均匀。

图20中表示实施例6的变形例的喷嘴单元。如图20所示，能够使设置于喷嘴单元的光源25a至25c及从光源25a至25c射出的光线的对基板的照射位置移动的照射位置移动机构不限于1个，可以是2个以上，也可具备有能够改变配置位置的机构。例如，光源25a至25c由沿着喷嘴孔24a的排列而排列的多个发光二极管（LED）构成。可包括能够使从这些各个LED射出光线的向基板的照射位置移动的多个照射位置移动机构。多个照射位置移动机构能够通过控制装置40（图18A～图18C）分别独立地进行控制。通过设为这种结构，将被1个LED照射的区域设为单位区域，能够在X轴方向上更精密地配置微细区域50a和满布区域50b。另外，光源25a至25c及照射位置移动机构可与喷嘴单元23分离而例如安装于薄膜形成装置的框架。另外，这些光源25a至25c及照射位置移动机构可具备有能够改变其配置位置的机构。

[实施例7]

接着，参考图21A～图21D，对实施例7的薄膜形成方法进行说明。以下，对与实施例1的不同点进行说明，对相同结构省略说明。

实施例1至实施例6中，在印刷配线板的表面形成了阻焊剂的薄膜图案。实施例7中，形成增层基板的内层的绝缘膜。

如图21A所示，在核心基板80的表面形成由铜等构成的第1配线图案81。第1配线图案81例如通过将由电镀法成膜的导电膜形成图案而形成。

如图21B所示，在核心基板80及第1配线图案81上形成绝缘膜（薄膜图案）82。绝缘膜82的形成能够应用实施例1至实施例6的薄膜形成方法。绝缘膜82例如利用环氧树脂。能够通过从喷嘴单元23（图1等）吐出环氧树脂的液滴来形成由环氧树脂构成的绝缘膜82。绝缘膜82上设置有多个通孔83。通孔83内露出第1配线图案81的一部分。通过应用实施例1至实施例6的薄膜形成方法，不进行微影术或蚀刻等处理就能够在绝缘膜82形成通孔83。

如图21C所示，在绝缘膜82上形成由铜等构成的第2配线图案84。第2配线图案84的形成例如能够应用半加成法。第2配线图案84经由通孔83连接于第1配线图案81。绝缘膜82的形成应用实施例1至实施例6的薄膜形成方法，因此能够使绝缘膜82的表面平坦。由于形成第2配线图案84的底层表面平坦，因此第2配线图案84的形成能够应用与以往相同的半加成法等。

如图21D所示，在绝缘膜82及第2配线图案84上形成绝缘膜85。绝缘膜85的形成能够应用实施例1至实施例6的薄膜形成方法。第2配线图案84为最上层的配线图案时，绝缘膜85利用阻焊剂。当在绝缘膜85上进一步形成配线图案时，绝缘膜85利用环氧树脂等。

[实施例8]

图22A中表示实施例8的薄膜形成装置的喷嘴单元23的仰视图。以下，对与实施例1的不同点进行说明，对相同结构省略说明。

实施例1中，多个喷嘴头24在Y轴方向，也就是说基板50（图1）的扫描方向排列。实施例8中，多个（例如3个）的喷嘴头24在X轴方向，也就是说与扫描方向垂直的方向排列。喷嘴孔24a的排列方向与实施例1的情况相同，与X轴平行。在各个喷嘴头24的两侧（Y轴的正侧及负侧）分别配置有紫外光源25。

喷嘴头24的间隔与单位扫描区域56（图3）的宽度W相等。通过在Y轴方向扫描1次基板50（图1），能够使薄膜材料的液滴着落于在X方向隔开宽度W而配置的3个单位扫描区域56（图3）内。通过在X轴方向上仅偏离宽度W并进一步进行Y轴方向的扫描，来使薄膜材料的液滴能够着落于在X轴方向连续的6个单位扫描区域56内。通过相对1个单位扫描区域56增加Y轴方向的扫描次数，能够提高X轴方向上的薄膜图案的分辨率。

如图22B所示，可在X轴方向及Y轴方向以行列状配置喷嘴头24。在Y轴方向排列的多个（例如4个）喷嘴头24与图2A及图2B中表示的实施例1的喷嘴头24的配置相同。通过以行列状配置喷嘴头24，能够减少形成薄膜图案所需的扫描次数。

[实施例9]

图23中表示实施例9的薄膜形成装置的喷嘴单元23的仰视图。以下，对与实施例1的不同点进行说明，对相同结构省略说明。

实施例1中，虽然多个喷嘴头24在Y轴方向排列，但是实施例9中多个（例如4个）喷嘴头24在X轴方向排列。4个喷嘴头24作为整体，喷嘴孔24a在X轴方向以等间隔（图2B中表示的间距4P）排列。在X轴方向上相互邻接的喷嘴头24之间也调整喷嘴头24的X方向的相对位置，以便喷嘴孔的间距与喷嘴头24内的喷嘴孔的间距相等。为了该调整，在X轴方向上邻接的喷嘴头24彼此在Y轴方向上相互偏离配置。通过4个喷嘴头24，能够通过1次扫描，使薄膜材料的液滴着落于宽度4W的区域。

参考图24A～图24D，对形成边缘图案60的顺序进行说明。边缘图案60例如由以间距P排列的多个像素构成。图24A～图24D中分别表示第1次至第4次扫描结束之后的边缘图案60。在图24A～图24D中，以黑圈记号表示着落有薄膜材料的像素，以空心圈记号表示未着落有薄膜材料的像素。

通过第1次扫描，在X轴方向上薄膜材料着落于每隔3个的像素。结束第1次扫描之后，将基板50（图1）相对喷嘴单元23在X轴方向仅偏离与间距P相等的距离，来进行第2次扫描。相同地，通过进行第3次及第4次扫描，能够使薄膜材料着落于构成边缘图案60的所有像素。形成边缘图案60之后，与实施例1相同地形成面状图案62、64（图4G～图4L）。

如实施例9所示，当使多个喷嘴头24在X轴方向（与扫描方向垂直的方向）排列时，则能够通过1次扫描着落薄膜材料的X轴方向的范围，使其变宽。

以上，虽然根据以上实施例对本发明进行了说明，但是本发明不限制于此。本领域技术人员应可理解能够进行例如各种变更、改良、组合等。

符号说明

20-平台，21-移动机构，22-载物台，23、23R-喷嘴单元，24-喷嘴头，24a-喷嘴孔，24I、24J-喷嘴列，25、25a、25b-紫外光源，26-喷嘴座，27-旋转机构，28-光学系统，29-喷嘴单元支承机构，30-摄像装置，31-支柱，32-梁，40-控制装置，41-输入装置，42-输出装置，50-基板，50a-微细区域，50b-满布区域，51-绝缘区域，52-焊盘区域，55-薄膜图案，55a-液滴，56-单位扫描区域，60、61-边缘图案，62-面状图案，63-单位扫描区域的分界线，64-面状图案，65-边缘图案，66-面状图案，70-满布区域用紫外光源，80-核心基板，81-第1配线图案，82-绝缘膜，83-通孔，84-第2配线图案，85-绝缘膜。

Claims (28)

1.一种薄膜形成方法，其中，具有：

通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，由此在形成所述薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案的步骤；

在通过所述边缘图案而划定有边缘的内部区域着落薄膜材料的液滴的步骤；及

使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤。

2.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其中，

在形成所述边缘图案的步骤中，使形成有吐出薄膜材料的多个喷嘴孔的喷嘴单元与所述基板中的一个相对于另一个移动的同时，通过使薄膜材料从所述喷嘴孔吐出，使薄膜材料的液滴着落于形成所述薄膜图案的区域的边缘。

3.根据权利要求2所述的薄膜形成方法，其中，

所述薄膜材料是通过光照射固化的光固化性材料，在形成所述边缘图案的步骤中，通过将放射用于固化薄膜材料的光的光源与所述基板中的一个相对于另一个移动来固化着落于所述基板的薄膜材料。

4.根据权利要求3所述的薄膜形成方法，其中，

将使所述喷嘴单元与所述基板中的一个相对于另一个朝向一方向移动的同时，使薄膜材料从所述喷嘴孔吐出的处理设为1次扫描，在形成所述边缘图案的步骤中，对所述基板的1个区域进行多次扫描。

5.根据权利要求4所述的薄膜形成方法，其中，

所述多次扫描通过来回扫描来实现。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

在形成所述边缘图案的步骤中，在所述扫描期间从所述光源向着落于所述基板的薄膜材料照射光，

使薄膜材料着落于所述内部区域的步骤中，在扫描期间不照射光，

使薄膜材料着落于所述内部区域的步骤的扫描结束之后，使所述光源与所述基板中的一个相对于另一个移动的同时，向着落于所述内部区域的薄膜材料照射光。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

在形成所述边缘图案的步骤中，通过使薄膜材料的其他液滴以与着落于形成所述薄膜图案的区域的边缘且被固化的薄膜材料部分重叠的方式着落并固化，使所述边缘图案高于通过薄膜材料的1个液滴固化而形成的薄膜材料的高度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

在形成所述边缘图案的步骤中，通过使着落于所述基板的薄膜材料的表层部固化，而内部为未固化状态，来形成所述边缘图案。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

使薄膜材料着落于所述内部区域时的着落点的分布密度低于形成所述边缘图案时使薄膜材料着落时的着落点的分布密度。

10.根据权利要求9所述的薄膜形成方法，其中，

使薄膜材料着落于所述内部区域时的液滴体积大于形成所述边缘图案时的液滴体积。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

薄膜材料着落于所述内部区域之后至该薄膜材料固化为止的时间比薄膜材料着落于形成所述薄膜图案的区域的边缘之后至该薄膜材料固化为止的时间长。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

通过与形成所述薄膜图案的区域的边缘交叉的假想分界线将所述基板的表面划分为至少2个区域时，

将形成所述边缘图案的步骤、使薄膜材料的液滴着落于所述内部区域的步骤及使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤，对所述假想分界线的一侧的区域执行之后，对所述假想分界线的另一侧的区域执行。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

着落于所述内部区域的薄膜材料向基板面内方向扩散，且着落于多个着落点的薄膜材料连续，而变得无法区分相互邻接的着落点之后，使着落于所述内部区域的薄膜材料固化。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

所述薄膜材料是光固化性材料，

使薄膜材料的液滴着落于所述内部区域的步骤中，使薄膜材料的液滴着落于所述内部区域中假想分界线中的一侧之后，使薄膜材料的液滴着落于另一侧，

在使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤中，沿着所述假想分界线移动被光照射的区域的同时，使所述假想分界线两侧的薄膜材料固化。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的薄膜形成方法，其中，

在所述基板的表面形成有第1配线图案，

在形成所述边缘图案的步骤、使薄膜材料的液滴着落于所述内部区域的步骤，及使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤中所形成的所述薄膜图案覆盖所述基板及所述第1配线图案，并且包括露出所述第1配线图案的一部分的多个通孔，

使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤之后，进一步具有在所述薄膜图案上，形成透过所述通孔连接于所述第1配线图案的第2配线图案的步骤。

16.一种薄膜形成方法，其中，具有：

（a）使光固化性薄膜材料附着于基板的第1区域内的应形成薄膜的区域的步骤，其中所述基板的表面被划分为包括应形成的薄膜图案的边缘的所述第1区域及形成满布薄膜的第2区域；

（b）所述步骤a之后，对附着于所述基板的所述第1区域的所述薄膜材料照射光，来使所述薄膜材料固化的步骤；

（c）使所述薄膜材料附着于所述第2区域内的步骤；及

（d）所述步骤c之后，对附着于所述第2区域的所述薄膜材料照射光来使所述薄膜材料固化的步骤，

附着于所述第2区域之后至所述步骤d中光照射在薄膜材料为止的时间比附着于所述第1区域之后至所述步骤b中光照射在薄膜材料为止的时间长。

17.一种薄膜形成装置，其中，具有：

保持基板的载物台；

喷嘴单元，与保持于所述载物台的基板相对，且设置有对所述基板的表面吐出光固化性薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔、及向附着于所述基板的薄膜材料照射固化用光的光源；

移动机构，使所述喷嘴单元与所述载物台中的一个相对于另一个，朝向与所述基板的表面平行的方向移动；及

控制装置，储存应形成于所述基板的薄膜图案的图像数据，

所述控制装置根据所述图像数据来控制所述移动机构、所述喷嘴单元及所述光源，使所述薄膜材料的液滴着落于所述薄膜图案的边缘，且来自所述光源的光照射到着落于所述边缘的薄膜材料来形成边缘图案之后，使所述薄膜材料的液滴着落于形成所述薄膜图案的区域的内部，且来自所述光源的光照射到着落于形成所述薄膜的区域的内部的所述薄膜材料。

18.根据权利要求17所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置使所述喷嘴单元与所述载物台中的一个相对于另一个朝向第1方向移动的同时使薄膜材料的液滴从所述喷嘴孔吐出，

所述光源向从由所述喷嘴孔吐出的所述薄膜材料的着落点沿所述第1方向偏离的位置照射光。

19.根据权利要求17或18所述的薄膜形成装置，其中，

通过所述光源照射于所述薄膜材料的光的强度的大小是使着落于所述基板的薄膜材料至少表层部固化的大小。

20.根据权利要求17至19中任一项所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置将使所述喷嘴单元与所述基板中的一个相对于另一个朝向一方向移动的同时，使薄膜材料从所述喷嘴孔吐出的处理作为1次扫描，通过对所述基板的1个区域进行多次扫描，来形成所述边缘图案。

21.根据权利要求20所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置通过来回扫描实现多次扫描。

22.根据权利要求17至21中任一项所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置以如下方式控制所述喷嘴单元，即，薄膜材料着落于所述内部区域时的着落点的分布密度低于形成所述边缘图案时使薄膜材料着落时的着落点的分布密度。

23.根据权利要求22所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置以如下方式控制所述喷嘴单元，即，薄膜材料着落于所述内部区域时的液滴体积大于形成所述边缘图案时的液滴体积。

24.根据权利要求18所述的薄膜形成装置，其中，

所述喷嘴单元包括在所述第1方向排列的多个喷嘴头，且各个所述喷嘴头上设置有多个所述喷嘴孔，作为所述多个喷嘴头整体，所述喷嘴孔在与所述第1方向垂直的方向上以等间隔排列，

所述光源分别配置在所述喷嘴头之间以及配置在比配置于最外侧的所述喷嘴头更靠外侧处。

25.根据权利要求17所述的薄膜形成装置，其中，

在保持于所述载物台的基板表面，定义XY直角座标系时，

所述喷嘴单元包括由在X方向排列的多个喷嘴孔构成的喷嘴列，

所述光源包括边缘固化用光源及满布区域固化用光源，

所述边缘固化用光源配置于所述喷嘴列的侧边，在X方向上，向附着有从所述喷嘴列吐出的液滴的区域照射光，

所述满布区域固化用光源在X方向上向比被所述边缘固化用光源照射的区域更靠X方向负侧偏离的区域照射光。

26.一种薄膜形成装置，其中，具备：

保持基板的载物台；

喷嘴单元，设置有多个喷嘴孔，所述多个喷嘴孔朝向保持于所述载物台的基板，且吐出具有光固化性及绝缘性的液状材料，并使该液状材料附着于所述基板；

移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元中的一个相对于另一个朝向与所述基板的表面平行的Y方向移动；

第1光源，与所述多个喷嘴孔在Y方向分开配置，通过向附着于所述基板的液状材料照射光，来使该液状材料固化；

第2光源，从所述多个喷嘴孔在Y方向比所述第1光源更加远离配置，通过向附着于所述基板的液状材料照射光，来使该液状材料固化；及

控制装置，储存定义应形成于所述基板的表面的薄膜图案的图像数据，根据该图像数据，控制所述移动机构、所述喷嘴单元、所述第1及第2光源，

所述控制装置以如下方式控制所述第1及第2光源，即，所述第1光源对附着于包括所述薄膜图案的边缘的第1区域的液状材料进行固化，所述第2光源对附着于满布形成薄膜图案的第2区域的液状材料进行固化。

27.根据权利要求26所述的薄膜形成装置，其中，

所述控制装置储存将所述薄膜图案区划为所述第1区域与第2区域的信息。

28.根据权利要求26或27所述的薄膜形成装置，其中，

所述第1及第2光源是通过沿着所述多个喷嘴的排列而排列的多个发光二极管所构成，该多个发光二极管各自能够独立地进行开关控制。

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