CN103370807B - 有机发光器件用衬底及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种有机发光器件用衬底、及该衬底的制造方法，所述有机发光器件用衬底包括：基材；高折射散射层，其形成于所述基材上，并包括在高折射物质内散射光的散射颗粒；粘合层，其形成在所述基材和所述高折射散射层之间，并粘结基材和高折射散射层，所述高折射散射层是散射颗粒包含于高折射物质的结构，在所述高折射散射层的通过粘合层来与基材粘结的那一面形成有由散射颗粒而成的凹凸结构，在高折射散射层的通过粘合层来与基材粘结的那一面的相反面形成有平坦面。由此，不会发生器件性能的降低现象，平坦度优异，光提取效率得到了改善，工艺材料费用低廉，且易于大量生产。

Description

有机发光器件用衬底及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种有机发光器件用衬底及其制造方法。
背景技术
有机发光器件(organic electric device)是指，利用空穴和/或电子，诱导电荷在电极和有机物之间流动的器件。根据工作原理，有机发光器件为如下形态的电子器件：在该电子器件中，形成于有机物层的激子(exiton)被从外部光源流入到器件的光子分离为电子和空穴，并且分离的电子和空穴分别传递至不同的电极，从而用作电源；或者，该电子器件是通过向两个以上的电极施加电压或电流依靠向有机物注入空穴和/或电子而工作。作为有机发光器件的实例包括有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes，OLED)、有机太阳能电池、有机感光鼓(OPC)或有机晶体管等。
有机发光器件是指，利用了向发光性有机化合物通电流时发光的电场发光现象的自发光型器件。有机发光器件具有优异的热稳定性、低驱动电压的优点，因此其在显示器、照明等多种产业领域中作为新一代材料而备受瞩目。然而，在内部产生的光穿透器件的层叠结构的过程中会发生全反射等现象，这将成为降低器件的内部光提取效率的原因。目前持续进行着为提高这种内部光提取效率的研究。
例如，韩国专利申请第2008-0122603号中公开了利用滚珠在表面形成凹凸结构，之后在其上面沉积器件。但是，当在凹凸面沉积有机物时，产生厚度不均匀的可能性大，并且器件发生电气不稳定的现象。
日本专利申请第2008-299250号中公开的内容是，在衬底形成凹凸结构后用高折射物质使其平坦化，由此在衬底和高折射物质之间的界面产生光散射。然而，并没有公开在衬底上形成平坦的高折射物质的具体方案。为了形成折射率为1.8以上的物质层，通常采用沉积高折射物质或湿式涂覆分散有高折射物质的溶液的方法。对于在凹凸面上实施湿式涂覆的情况而言，涂覆面表面在涂覆初期是平坦的，但是随着溶剂的蒸发而渐渐形成接近于凹凸结构的凹凸面。因此，只有以比干燥之后的高折射层的厚度更厚的、凹凸结构深度的两倍以上的厚度进行涂覆，才能勉强形成波纹形状的表面。特别地，高折射平坦面的透射度不良，涂层的机械性能也不好，因此随着厚度变厚，光损失增加，并且物理强度降低。作为其他方法，可以考虑将高折射无机物等用沉积等方法涂覆得很厚之后进行研磨的方法，然而存在批量生产率降低，经济性不良的问题。
另外，美国专利申请第2009-365349号中公开了如下方法：直接用高折射物质来制造衬底本身，并且在其一侧面用砂磨（sanding）等方法来形成凹凸结构，之后在平坦的相反面形成器件。然而，使用高折射物质制造的衬底价格昂贵，且高折射衬底具有低的机械性能。
发明内容
发明要解决的问题
本发明提供一种工艺和材料费用低、容易进行大量生产，且具有优异的光提取效率和发光均匀度的新型的层叠结构的有机发光器件用衬底及其制造方法。
解决问题的方法
本发明的一实施例的有机发光器件用衬底包括：基材；高折射散射层，其形成在所述基材上，并包含在高折射物质内散射光的散射颗粒；以及粘合层，其形成在所述基材和高折射散射层之间，并粘结基材和高折射散射层。所述高折射散射层是散射颗粒包含于高折射物质的结构，在所述高折射散射层的通过粘合层来与基材粘结的那一面形成有由散射颗粒而成的凹凸结构，在高折射散射层通过粘合层来与基材粘结的那一面的相反面可以为形成有平坦面的结构。
在另一实施例中，本发明的有机发光器件用衬底的制造方法包括：通过使用包含有机或无机粘合剂及散射颗粒的涂覆液来在牺牲衬底上形成散射层的步骤；将粘合层作为媒介在形成的散射层上层压基材的步骤；以及去除牺牲衬底的步骤。
发明效果
如上所述，本发明的有机发光器件用衬底不降低器件性能而能够改善光提取效率，并且平坦度优异，工艺费用和制造单价低，而且容易进行大量生产。
附图说明
图1是表示根据本发明的一实施例的有机发光器件用衬底的层叠结构的示意图。
图2是表示根据本发明的另一实施例的的有机发光器件的层叠结构的示意图。
图3是图示了用电子显微镜观察根据本发明的一实施例的有机发光器件用衬底的截面的结果的照片，从中可确认到，该衬底从上到下包括：包含高折射物质和球形的散射颗粒的高折射散射层、粘合层及玻璃衬底；在高折射散射层和粘合层之间的界面形成的凹凸结构。
图4是图示了用电子显微镜观察根据本发明的另一实施例的有机发光器件用衬底的截面的结果的照片，从中可确认到，该衬底从上到下包括：包含高折射物质和无定形的散射颗粒的高折射散射层、粘合层及玻璃衬底。
图5是图示了用电子显微镜观察根据本发明的又一实施例的有机发光器件用衬底的截面的结果的照片，该情形中散射颗粒的粒径比图3中的更大。
图6是表示根据本发明的一实施例的有机发光器件用衬底的制造过程的示意图。
图7是当使用本发明的一实施例的牺牲薄膜来制作有机发光器件用衬底时，去除牺牲薄膜的面的三维照片。
图8是未使用牺牲薄膜而在衬底上依次层叠，由此制作的有机发光器件用衬底的表面的三维照片。
优选实施方式
本发明的有机发光器件用衬底包括：基材；高折射散射层，其形成于所述基材上，并包括在高折射物质内散射光的散射颗粒；粘合层，其形成在所述基材和高折射散射层之间，并粘结基材和高折射散射层，所述高折射散射层是散射颗粒包含于高折射物质的结构，所述高折射散射层的厚度小于散射离子的平均粒径，在所述高折射散射层通过粘合层来与基材粘结的那一面形成有由散射颗粒而成的凹凸结构，在高折射散射层通过粘合层来与基材粘结的那一面的相反面形成有平坦面。另外，本发明提供一种包括所述衬底的有机发光器件。
有机发光器件，例如由构成器件的各层之间的折射率之差而会发生内部全反射。具体而言，有机物层中产生的光在折射率为1.8以上的透明电极和折射率为1.5左右的玻璃衬底之间的界面，发生第一次全反射。另外，通过玻璃衬底的光在折射率为1.8的玻璃衬底和折射率为1.0的空气的界面发生第二次全反射。由这种器件内部的全反射而可能导致发光效率的降低，可能降低亮度。本发明提供一种改善由有机发光器件的内部全反射而导致的发光效率的减少，并具有优异发光均匀度的有机发光器件。
为提高内部光提取效率，内部散射层的散射性能需优异。为此，需要形成很大且粗糙的高折射物质的表面凹凸结构，并且透明电极和有机器件刚好相接触在高折射物质而形成。但是，如果用沉积方法以数百纳米厚度形成粗糙的有机物质用衬底的表面，导致有机物质的厚度不均匀。在两者之间具有有机物质的透明电极和金属电极形成电场时，过电流会通向相对较薄沉积的有机物质侧。过电流通过的部位的有机物质变性，由此发生短路，从而器件寿命尽致。
为了同时达到这种互相矛盾的两个目的，以在沉积高折射物质层的有机器件的相反面形成凹凸结构的方式制作器件衬底。作为通常的方法，在衬底形成凹凸结构后覆盖具有相对较高折射率的物质，并对其表面进行平坦化。然而，高折射物质工艺性和加工性不良，因此效率低。另外，如果为了提高散射性能而增加凹凸结构的形成程度，则使用高折射物质而进行平坦化的加工变困难。
本发明的一实施例的衬底，采用包含散射颗粒的粘合剂溶液的湿式涂覆方法，容易制作高性能的有机发光器件用内部光提取衬底。具体而言，在高折射物质的一侧面形成凹凸结构之后，将没有形成凹凸结构的平坦的相反面用作有机器件沉积面。例如，使用高折射涂覆液将形成较大的凹凸结构的高折射散射层形成在牺牲衬底上。之后，将粘合剂作为媒介在高折射散射层上转印基材后去除牺牲衬底，此时，在去除了牺牲衬底的高折射散射层的那一面形成平坦度相当优异的平坦面。
另外，对上述有机发光器件用衬底包括的基材无特别限定，可以是透明基材，例如可以是光透过性塑料衬底或玻璃衬底。
在所述高折射散射层中，通过粘合层来与基材粘结的那一面的相反面是形成有平坦面的结构。就形成在所述高折射散射层一面的平坦面而言，最大高度粗糙度(maximumheight roughness)在10x10μm2区域可以是1μm以下，具体可以是0.5μm以下，例如，可以在0.001至1μm的范围内、或0.01至0.5μm范围内。这种优异的表面平坦度，其可以通过使用本发明的一实施例的异型基材的制造工艺来实现。高折射散射层的平坦面上层叠第一电极、有机物层以及第二电极等，从而可以形成有机发光器件。本发明中的“最大高度粗糙度”是指，修剪(cut-off)内的粗糙度曲线中与中心线平行并经过其曲线的最高点和最低点的两个平行线之间的上下距离。所述“修剪(cut-off)”是指，当算出粗糙度曲线时，使用衰减率为-12dB/oct的高通滤波器而得到的值为75%的频率的波长。
作为一实例，所述高折射散射层的平均厚度可以小于射颗粒的平均粒径。由此，高折射散射层通过粘合层来与基材粘结的那一面可以形成由散射颗粒形成的凹凸结构。对高折射散射层的平均厚度无特别限制，例如，可以是散射颗粒平均粒径的30至95%、50至85%、70至90%或60至80%的范围。
在一实施例中，包含在所述高折射散射层中的高折射物质的折射率为1.7以上，具体地，为1.8以上、或者1.7至3、或者1.8至2.5范围。例如，所述折射率为400nm波长的光的折射率数值。通过使用高折射物质，能够提高光的集束效果。
所述高折射物质可以包含折射率高的有机或无机粘合剂，或者由粘合剂和纳米颗粒的混合物而构成。对所述有机粘合剂无特别限制，例如，可以是甲基丙烯酸甲酯等的丙烯酸聚合物、环氧树脂、氟聚合物或苯乙烯聚合物中的一种或者两种以上混合物。所述高折射物质可以是UV固化型、热固型或二液型等的有机粘合剂的固化物。
另外，所述高折射物质还可以包含高折射纳米颗粒。例如，所述高折射物质可以是包含高折射纳米颗粒颗粒的UV固化型有机粘合剂的固化物。
对所述高折射纳米颗粒无特别限制，只要包含于高折射物质而能提高折射率即可，可以是高折射填料。例如，所述高折射纳米颗粒可以是二氧化钛、氧化铝、氧化钛、氧化锆、氧化铈、氧化铪、五氧化二铌、五氧化二钽、氧化铟、氧化锡、氧化铟锡、氧化锌、硅、硫化锌、碳酸钙、硫酸钡及氧化镁中的一种以上，优选为二氧化钛或氧化锆。另外，所述高折射纳米颗粒的平均粒径为1至100nm，具体为5至50nm范围。另外，所述高折射纳米颗粒的含量为，基于高折射物质100重量%计的20至90重量%。
所述散射颗粒用于在衬底内形成散射结构，在高折射物质和散射颗粒之间、或在散射颗粒和粘结物质之间的界面发生散射效果。例如，散射颗粒的折射率(Nb)和高折射物质的折射率(Na)可以满足以下式1的关系。
[式1]
|Na-Nb|≥0.2
更优选地，所述散射颗粒和高折射物质之间的折射率之差为0.2以上，更具体为0.3以上。例如，所述散射颗粒和高折射物质的折射率之差为0.2至2.0，更具体为0.3至1.5范围。
另外，对所述散射颗粒的排列结构无特别限制，为了得到均匀的散射效果，可以在高折射散射层内以单层(monolayer)的形式形成。对以单层的形式形成散射颗粒而言，与有机发光器件的效率提高程度有关。如果散射颗粒在散射层内以多层的形式形成，则与散射颗粒在散射层内以单层的形式形成而表现出相同散射性能的散射层相比透过率低，因此如果使用透过率低的衬底制作有机发光器件，则无法避免效率降低的问题。
所述散射颗粒可以是有机或无机颗粒。另外，所述散射颗粒的形状可以是球形、椭圆形、或无定形。例如所述散射颗粒可以是选自TiO2、MgF2、ZrO2、SiO2和Al2O3中的一种以上。另外，作为本发明的散射颗粒的具体例，可以是：丙烯酸树脂、苯乙烯树脂、聚氨酯树脂、密胺树脂、苯代三聚氰胺树脂、环氧树脂或硅树脂等有机材料的滚珠(bead)；或者二氧化硅、玻璃(glass)等无机材料的滚珠等，但不限于此。上述的丙烯酸树脂、苯乙烯树脂或聚氨酯树脂可以以交联或非交联的状态来适用。在本发明中，例如，可以使用日本催化剂(NIPPONSHOKUBAI)公司的苯代三聚氰胺甲醛缩合物(EPOSTAR M30：折射率1.66)、密胺甲醛缩合物(EPOSTAR，折射率1.66)、甲基丙烯酸甲酯交联聚合物(EPOSTAR MX，折射率1.49)、积水化学工业株式会社(SEKISUI CHEM.)的交联聚(甲基丙烯酸甲酯)(MBX，折射率1.49)、交联聚苯乙烯(SBX，折射率1.59)、电子硅胶GE东芝(TOSHIBA SILICON)的硅树脂(tosspearl，折射率1.43)、东丽集团(TORAY)的环氧树脂(Toray pearl，折射率1.59)、Ganz公司的聚苯乙烯滚珠(GS-0459S-6)、或先进化学公司的聚苯乙烯滚珠(HR-59-40，折射率1.59)等，但不限于此。
对所述散射颗粒的平均粒径无特别限制，只要能够得到光的散射效果即可，可以是0.1至20μm，更具体为0.2至15μm范围。当散射颗粒的直径小于上述范围时，难以得到充分的光散射效果，相反，当大于上述范围时，包含散射颗粒的高折射散射层的厚度变厚。另外，从工艺性的观点出发，如果散射颗粒的大小过小，在制备用于湿式涂覆的涂覆液时，难以良好地维持散射颗粒在溶液内的分散性。
所述有机发光器件用衬底还可以包括形成在高折射散射层的平坦面上的0.1至5μm厚度的高折射物质涂层。可以通过形成追加涂层来提高平坦面的平坦度。
所述粘合层涂覆于高折射散射层的形成有凹凸结构的那一面，从而起到可以与基材粘结的作用。对所述粘合层无特别限制，只要不阻碍在内部产生的光的透过即可，基材的折射率(Nc)和粘合层的折射率(Nd)满足以下式2的关系。
[式2]
|Nc-Nd|≤0.2
所述基材和粘合层之间的折射率之差为0.2以下，优选为0.15以下，例如0.01至0.2或0.01至0.15范围。
图1示意性地图示了根据本发明的一实施例的有机发光器件用衬底的层叠结构。如图1所示，本发明的有机发光器件用衬底是，在基材10上依次层叠有粘合层21和高折射散射层22的结构。
在高折射散射层22内含有散射颗粒30，高折射散射层22的平均厚度小于散射颗粒30，因此形成由散射颗粒30而成的凹凸结构。形成有凹凸结构的高折射散射层22的那一面通过将粘合层21作为媒介而粘结于衬底10，在高折射散射层20的基材的相反面形成有可以层叠有机器件的平坦面。高折射散射层20的平坦面的特征在于，在10x10μm2区域中，最大高度粗糙度(maximum heigh troughness)为1μm以下。
基材10为玻璃衬底，高折射散射层22是二氧化钛纳米颗粒分散于有机粘合剂的结构，在400nm波长下具有1.7以上的折射率。散射颗粒30的平均粒径在0.2至20μm范围，图中表示为球形，但可以是椭圆形或无定形。散射颗粒30和有机粘合剂之间的折射率之差可以是0.2以上。
粘合层21用于改善基材10和高折射散射层20之间的附着力。对于粘合层21而言，只要是在通过高折射散射层20的光通向基材10的过程中能够使损失最小化的物质，就无特别限制，优选对可视光的吸收系数低的物质。优选地，粘合层21与基材10的折射率相似，并且与基材的折射率之差可以为0.2以内。粘合层21的厚度为100μm以下。
图3、图4图示了拍摄完成制造的有机发光器件用衬底的截面的照片。如图3所示，在有机衬底上依次形成了粘合层和高折射散射层，高折射散射层内部含有球形散射颗粒。图4是使用无定形散射颗粒而制造的衬底的剖面图。图3、图4中都能确认到，在高折射散射层的玻璃衬底的相反面形成了均匀的平坦面。
另外，本发明提供一种以上所述的有机发光器件用衬底的制造方法。
在一实施例中，所述制造方法包括：通过使用包含高折射纳米颗粒、有机或无机粘合剂以及散射颗粒的高折射涂覆液来在牺牲衬底上形成高折射散射层的步骤；将粘合层作为媒介在形成的高折射散射层上层压基材的步骤；以及去除牺牲衬底的步骤。
根据所述制造方法，如果在牺牲基材上形成有机发光器件用衬底，然后从形成的衬底去除异型基材，则去除该异型基材的那一面具有优异的平坦度。
形成所述高折射散射层的步骤可以包括：将高折射涂覆液涂覆于牺牲衬底的步骤；对涂覆的涂覆液进行干燥的步骤；以及使干燥了的涂覆液固化的步骤。对使干燥了的涂覆液固化的步骤无特别限制，只要能使包含有机或无机粘合剂的涂覆液固化即可，例如，可通过UV固化方式实施。当制造高折射涂覆液时，在本领域技术人员容易地适用或变形的范围内，可以根据需要使用多种溶剂。
另外，将粘合层作为媒介粘结在所述高折射散射层和基材之间。例如，粘合层是通过在高折射散射层上涂覆粘结物质而形成的的，并且在其上形成基材，从而粘结高折射散射层和基材。
所述制造方法还可以包括如下的步骤：在去除牺牲衬底的步骤之后，在去除了牺牲衬底的高折射散射层的面上，使用未包含散射颗粒的高折射涂覆液而形成涂层的步骤。可以通过追加形成涂层来提高平坦度。所述涂层可以以0.1至1μm的厚度形成。
所述涂覆液还可包括高折射纳米颗粒。对所述高折射纳米颗粒无特别限制，只要分散于有机或无机粘合剂而能提高折射率的物质即可，例如可以是高折射填料。例如，所述高折射纳米颗粒可以是选自二氧化钛、氧化铝、氧化钛、氧化锆、氧化铈、氧化铪、五氧化二铌、五氧化二钽、氧化铟、氧化锡、氧化铟锡、氧化锌、硅、硫化锌、碳酸钙、硫酸钡及氧化镁中的一种以上，优选为二氧化钛或氧化锆。另外，所述高折射纳米颗粒的平均粒径为1至100nm，具体而言5至50nm范围。另外，所述高折射纳米颗粒的含量为基于包含高折射纳米颗粒的粘合剂100重量%计的20至90重量%。
所述散射层内的散射颗粒可以以单层(monolayer)形成，其具体说明与上文中的说明相同。
另外，所述散射颗粒可以是有机或无机颗粒。所述散射颗粒的形状可以是球形、椭圆形、或无定形。对所述散射颗粒的平均粒径无特别限制，只要能够得到光的散射效果即可，可以是0.1至20μm，更具体地，可以是0.2至15μm范围。对于散射颗粒的说明与上文中的说明的相同。
图6示意性地图示了根据本发明的一实施例的有机发光器件用衬底的制造工艺。如图6所示，将包含高折射物质和散射颗粒的高折射涂覆液涂覆于牺牲衬底(PET薄膜)上。高折射物质由有机或无机粘合剂构成，根据情况还可以包含二氧化钛纳米颗粒。涂覆的高折射涂覆液通过干燥和UV照射过程而发生固化，在高折射涂覆液固化的过程中，将会形成通过散射颗粒而成的凹凸结构的高折射散射层。将粘合剂作为媒介在形成凹凸结构的高折射散射层的那一面上层压透明衬底。
另外，本发明提供一种包括所述衬底的有机发光器件。所述有机发光器件可以包括：前述的有机发光器件用衬底；及形成在所述衬底的平坦面上的有机器件。所述有机器件可以包括第一电极、有机层以及第二电极。例如，所述有机器件可以包括：用于注入电子的阴极(cathode)；由电子注入层、电子传输层、发光层、空穴(hole)传输层及空穴(hole)注入层构成的有机层；以及用于注入空穴(hole)的阳极等。
图2是示意性地图示了包括根据本发明的一实施例的有机发光器件用衬底的有机发光器件的层叠结构。如图2所示，在图1中制造的衬底上依次形成第一电极40、有机层50及第二电极60，由此构成有机发光器件。根据情况，还可包括用于提高器件性能的追加的层叠结构。对在有机发光器件用衬底上层叠的结构而言，可以根据本领域技术人员进行多种变更或追加，例如，所述有机器件可以是有机发光器件。
具体实施方式
以下，通过本发明的实施例等对本发明进行更加详细的说明，但本发明的范围不限于此。
实施例1
有机发光器件用衬底的制造
在10g内部分散有高折射填料的UV固化型有机粘合剂(TYT-80-01，固体含量：25wt%，Toyo ink(制))中，充分混合1g折射率约为1.52的高分子滚珠(XX75BQ，直径3μm，Sekisui(制))而制造涂覆液。其后，在未进行底漆处理的聚酯薄膜(PET薄膜)的表面上，使用涂布机(6号Meyer bar coater)涂覆所述涂覆液。接着，在100℃下干燥两分钟所述涂覆的涂覆液，使用UV固化机以1J/cm2的能量进行固化，从而制造了薄膜。另外，在OLED用玻璃衬底上滴下适当量的UV固化型粘合剂(NOA65，Norland Products Inc(制))，之后以涂层朝向玻璃衬底的方式覆盖所述涂覆的涂覆薄膜，然后用橡胶滚筒施加压力而层压聚酯薄膜面，从而使粘合剂充分在高折射涂层表面和玻璃衬底之间扩展。其后，使用UV固化机以2J/cm2的能量来固化所述粘合剂层，然后去除聚酯薄膜而制造了有机发光器件用衬底。
图5是图示了拍摄完成制作的有机发光器件用衬底的截面的照片。如图5所示，在有机衬底上依次形成有粘合层和高折射散射层，在高折射散射层内部含有球形的散射颗粒。另外，可以确认到在高折射散射层的玻璃衬底和相反面形成有均匀的平坦面。
OLED的制造
在上述制造的有机发光器件用衬底的平坦面(与去除的聚酯薄膜粘结过的那一面)，依次形成下述表格所记载的IZO层至Al电极层，由此制作了具有2x2mm2的发光区域的两叠层(stack)白色OLED(在平坦面上依次形成如下表格的第1层层到第13号)，该过程中，作为HIL、HTL、EML、ETL、CGL、HBL或EIL的材料，使用了在白色OLED的制造领域中通常使用的材料，另外，其形成方法也使用了通常的方法。OLED的具体层叠结构如下述表1。
表1
实施例2
除了在制造涂覆液时将高分子滚珠的量变更为1.5g之外，以与实施例1相同的方式制造了衬底，并在其平坦面形成了OLED器件。
比较例1
在用于OLED器件的进行研磨处理的无碱玻璃衬底上，形成了与所述实施例1的表格中记载结构相同的OLED器件。
比较例2
在衬底上涂覆了在实施例1中制造的高折射散射层用涂覆液。
实验例1.测量粗糙度
测量了在实施例1、2及比较例1、2中制作的衬底的平坦度。具体而言，测量了在各实施例和比较例中制作的衬底的透明玻璃衬底的相反面的最大高度粗糙度(maximumheigh troughness)。对制造的样品在10x10μm2区域范围内测量的最大高度和最低高度之差，由此测定了最大高度粗糙度。该测定结果表示于下述表2。
表2
实施例1 实施例2 比较例1
最大高度粗糙度 0.3 0.16 1.4
根据所述表2，本发明的一实施例的实施例1和2的衬底的平坦面的最大高度粗糙度为1μm以内，而比较例2中其最大高度粗糙度显著增大。因此，可确认：对本发明的有机电子装置用衬底而言，高折射散射层的平坦度非常优异。
图7图示了在实施例1中制造的有机发光器件用衬底的平坦层表面的原子显微镜照片。从中可以确认到，在去除了高折射散射层的聚酯薄膜的那一面，形成了平坦度非常优异的平坦面，测定结果，其平坦面的最大高度粗糙度为0.3μm。
与此相比，图8图示了比较例2的有机发光器件用衬底的表面的原子显微镜照片。比较例2中未使用另外的异型薄膜而制作了衬底。测定结果，比较例2中，其表面非常粗糙，表面的最大高度粗糙度为1.4μm。
表3
根据上述表3，本发明的一实施例的实施例1和2与不包含散射颗粒的比较例1相比，其发光度显著高。由此可确认到：通过包含了散射颗粒的高折射散射层，内部光提取效率得到了提高。
产业上的可利用性
根据本发明的有机发光器件用衬底，可提供光提取效率得到改善的有机发光器件，并可改善工艺效率。
附图标记说明
10：基材 22：高折射散射层
21：粘合层 30：散射颗粒
40：第一电极 50：有机层
60：第二电极

Claims (10)

1.一种有机发光器件用衬底的制造方法，包括：
通过使用包含有机或无机粘合剂、以及散射颗粒的涂覆液来在牺牲衬底上形成散射层的步骤；
将粘合层作为媒介在形成的所述散射层上层压基材的步骤；以及
去除所述牺牲衬底的步骤，
其中，去除所述牺牲衬底的所述散射层面是平坦面，在10x10μm2区域中，所述平坦面的最大高度粗糙度为1μm以下，以及
其中粘合剂包括具有比粘合层高的折射率的高折射物质。
2.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，所述形成散射层的步骤还包括：
将涂覆液涂覆于牺牲衬底的步骤；
对涂覆了的涂覆液进行干燥的步骤；以及
对已干燥的涂覆液进行固化的步骤。
3.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
在所述去除牺牲衬底的步骤之后，进一步包括：在去除了牺牲衬底的散射层的那一面上，通过使用不包含散射颗粒的涂覆液形成涂层的步骤。
4.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
涂覆液还包括高折射纳米颗粒。
5.根据权利要求4所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
所述高折射纳米颗粒是选自二氧化钛、氧化铝、氧化钛、氧化锆、氧化铈、氧化铪、五氧化二铌、五氧化二钽、氧化铟、氧化锡、氧化铟锡、氧化锌、硅、硫化锌、碳酸钙、硫酸钡及氧化镁中的一种以上。
6.根据权利要求4所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
高折射纳米颗粒的平均粒径在1至100nm范围。
7.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
散射层内的散射颗粒以单层形成。
8.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
散射颗粒为有机或无机颗粒。
9.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
散射颗粒是球形、椭圆形或无定形。
10.根据权利要求1所述的有机发光器件用衬底的制造方法，其特征在于，
散射颗粒的平均粒径为0.1至20m。
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