CN108899435A - Oled照明器件光提取膜及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种OLED照明器件光提取膜,所述光提取膜由支持体、在支持体一面设置低折射率粘接层及保护膜、在支持体另一面设置高折射率凹凸涂层组成,所述低折射率粘结层主要组分为树脂60‑70份、第一稀释剂17‑27份、纳米粒子10‑15份、架桥剂及固化剂2‑5份;所述高折射率凹凸涂层主要组分为成膜树脂50‑55份、第二稀释剂10‑14份、纳米粒子材料15‑20份、聚合物微球8‑15份和固化剂2‑5份。所述光提取膜可以直接贴附在OLED照明器件的发光面上,提高光提取率达到80%左右,所述光提取膜还具有防眩光作用,起到发光器件光线均化的作用。所述光提取膜可以通过辊对辊的湿法涂布方式制造,生产方便,成本低。
Description
技术领域
本发明涉及一种固体发光器材的光提取膜,特别涉及一种用于OLED照明器件的光提取膜。
技术背景
有机发光二极管(OLED)作为一种新的显示和照明技术的器件,以其高效的大面积柔性照明应用提供了良好的匹配。OLED由于其平面发光、超薄、可透明化和柔性化等独特的优点以及高效节能、绿色环保等优势,在显示和照明两大应用领域都具有极大的发展潜力,获得了广泛的关注。目前,OLED照明在低亮度下更高达150lm/W,使用寿命达到3万小时左右。
OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),是由一层薄且透明并具有半导体特性的铟锡氧化物(ITO)构成,其一端与电源正极相连,另一端为金属阴极,与电源负极相连。其中的有机发光材料制成如三明治的结构。在OLED装置中(包括照明及显示器件),所产生的光通常由于内部结构所致而损失掉70%以上。这是因为折射率较高的有机层和铟锡氧化物(ITO)层与折射率较低的基底层之间的界面处的陷光(大于临界角入射的光线全反射回原介质),只有相对少量的发射光(小于临界角的入射光)作为“可用”的光穿过透明电极,辐射到外层介质。而且OLED器件出光的最外层基材的折射率也大于基材外的空气介质,同样会发生“陷光”现象,从而导致这些光从装置边缘发出,或仅仅局限在装置内、并在反复穿行之后最终因被装置吸收而损失掉,这是射出光线利用率低的主要原因。
由于OLED发光器件中发光点发出的光、其光程中穿过的界面总是由高折射率层向低折射率层前进、以及OLED器件特殊的平行反射结构,大部分发出的光被ITO界面和玻璃基底界面的全反射所困,堙没在器件之中了,大约只有20%的光能从器件中透出而被利用,其他的以热能的形式被吸收和损耗。由此可见,光提取对器件效率增加的空间很大,可大幅度提高照明灯具能效和显示器件的亮度,降低能耗、延长寿命,该研究是具有意义的重大课题。
一般光提取方法可以分为两类:外光提取法(EES)和内光提取法(IES),内取出技术就是在器件内部通过一定的手段破坏器件内部的全反射,让光射出到空气中,提高出光效率。外取出技术是破坏OLED基板与空气界面的全反射。由于可以在OLED器件外部操作,如在屏外边贴取出膜等,所以称为外取出。EES在器件的外部,简单易行,可以和器件的制备过程分别进行,成本低而易于大规模生产,但只能将困在玻璃基板中的光提取出来,限制了光提取效率(最多100%左右)。
光提取膜是一种可以将OLED中基板模态的光能尽可能多地辐射出发光面,成为可用光的器件。虽然器件外贴的光提取膜的光提取效率提升有限,但是光提取膜是提取具发光点最外面基板的“陷光”,器件内部各层对光提取率的改进其出光均需要进入外层基板后辐射出器件,成为有用的“光”。因此,所述光提取膜的应用对器件出光率意义重大。另外,光提取膜的生产不涉及OLED发光器件制备的各工艺阶段,是提高发光效率最方便和最经济的方法。
目前,已有许多对OLED光提取膜的研究报道,如中国专利公开号CN104808267A公开的一种OLED照明器件光提取膜。所述薄膜是一种透明的柔性膜,薄膜表面带有微结构,微结构填充因子为100%的非球面微透镜阵列。首先通过光刻技术制作微结构模板,利用压印复制技术将模板上的微结构图形转印到聚合物胶体上,形成带有微结构的透明薄膜。通过匹配粘合胶将薄膜粘贴至OLED基底表面,最大可以使OLED基底取光效率提高76%。中国专利公开号CN105511000A公开的一种光提取膜,在基体的向光面和背光面上进行改进,向光面设置有纳米凸起,纳米凸起呈随机排布;背光面上设置有微透镜结构,微透镜结构呈规则排布,且微透镜结构表面的曲率非恒定。与传统的光提取膜相比,本发明的光提取膜基体的向光面上设置有纳米凸起,且纳米凸起呈随机排布,通过这种随机纳米凸起的设置,能够减少光反射。中国专利公开号CN102844904A公开的一种用于有机发光二极管(OLED)装置的光提取膜,所述光提取膜具有内部纳米结构和外部微结构等等。这些文献在OLED发光器件的光提取效率方面均取得了一些进步,但是这些光提取膜的结构复杂、制备工艺繁琐,不利于实现大规模生产。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种OLED照明器件光提取膜,它能够有效提高OLED出光效率,所述光提取膜结构简单、生产方便,可以进行卷对卷湿法涂布生产;所述光提取膜除了可以有效地提高OLED基板出光效率外,还可以改善OLED发光的均匀性,减轻眩光现象。
解决上述问题的技术方案如下,
一种OLED照明器件光提取膜,所述光提取膜含有支持体、在支持体一面设置低折射率粘接层及保护膜、在支持体另一面设置的高折射率凹凸涂层,所述低折射率粘结层由包括如下组分的原料制备而成:树脂60-70重量份、第一稀释剂17-27重量份、纳米粒子10-15重量份和固化剂2-5重量份;所述高折射率凹凸涂层由包括如下组分的原料制备而成:成膜树脂50-55重量份、第二稀释剂10-14重量份、纳米粒子材料15-20重量份、聚合物微球8-15重量份和固化剂2-5重量份。
上述OLED照明器件光提取膜,所述低折射率粘接层的折射率大于等于器件基板折射率而小于等于支持体的折射率。
上述OLED照明器件光提取膜,所述低折射率粘接层的折射率与OLED基板折射率差为0.0-0.5,与支持体的折射率差为0.0-0.5。
上述OLED照明器件光提取膜,所述低折射率粘接层是压敏粘合剂层,使用时低折射率粘接层与OLED出光面基板粘合,而高折射率凹凸涂层朝向外侧。
上述OLED照明器件光提取膜,所述高折射率凹凸涂层的折射率与支持体的折射率差为0.1-0.5。
上述OLED照明器件光提取膜,所述高折射率凹凸涂层中的纳米粒子是无机纳米粒子。
上述OLED照明器件光提取膜,所述高折射率凹凸涂层中的聚合物微球粒径为2-10微米,优先选择3-5微米。
上述OLED照明器件光提取膜,所述低折射层涂层和高折射率凹凸涂层可以是热固化或UV固化。
一种制备如上所述的OLED照明器件光提取膜的方法,所述方法是,在支持体的一面采用湿法涂布方式涂布低折射率粘结层,涂层湿膜厚度5-20μm并复合保护膜;在基膜的另一面涂布含有纳米粒子和微米粒子的高折射凹凸涂层,涂层湿膜厚度2-10μm。
本发明的优点是,由于低折射率粘结层的折射率与基板和支持体的折射率差,使得束缚在OLED基板中的基态光能由于光学联通的改善而辐射出基板进入支持体,进入支持体的光传播到高折射率凹凸涂层,而由于高折射率凹凸涂层表面的粗糙化结构使得光线在与空气界面的入射角变化,可以使绝大部分光线传播出表面,光提取效率可达80%左右。同时由于高折射率凹凸涂层中聚合物微球可以起到两个作用,一是微球的透镜作用,可使光线的角度发生变化,有利于改变光线的传播方向;另一个是对光线的散射,起到光线均匀的作用,减小传播出器件光线的眩光性。光线更柔和。
在OLED照明器件光提取膜靠近OLED发光器件基板的面实施了折射率匹配的低折射率粘结层,所述低折射率粘结层具有与发光器件基板和支持体良好的光学联通,可使基板内的光能充分传播进入OLED照明器件光提取膜,避免了光提取膜当粘贴在发光器件时另行选择粘结剂的麻烦,进一步避免了粘结剂选择不当造成的光提取效率降低。
由于本发明高折射率层选择的微米粒子不要求很高的均一性,如优选4微米粒径的聚合物微球,不要求所有粒子粒径必须是4微米,可以有小的粒径范围如3.8-4.2微米,涂层固化后所形成的凹凸表面不要求很高的均匀和规则性,只需要在微米粒子材料的支撑下涂层干燥固化后因为图层的收缩形成凹凸表面即可显现出效果。因此,本发明光提取膜的第三个优点是凹凸表面不需要光刻、转印技术等来实现,采用精密涂布方法可以很容易地实现光提取膜的卷对卷湿法涂布的加工生产。
附图说明
图1是带有光提取膜的OLED发光器件;
图2是OLED照明器件光提取膜;
图3是OLED照明器件光提取膜凹凸结构。
图中各标号分别表示为:2、电极,4、发光层,6、电极,8、OLED透明基板,10、保护膜,12、低折射率粘结层,14、支持体,16、凹凸层,18、OLED照明器件光提取膜,21、聚合物微球,22、纳米粒子,30、OLED器件。
具体实施方式
本发明高折射率凹凸涂层可选用纳米粒子调节折射率;选用聚合物微球起到光线散射和改变光线在所述层与空气面的入射角以及所述涂层凹凸面的支撑物作用。
本发明高折射率凹凸涂层的湿膜厚度优选3-5μm,涂布干燥后可以充分体现出凹凸的表面。
本发明低折射率粘合剂层和高折射率凹凸层可以是热固化体系的或紫外光固化体系。低折射率粘结层所用树脂为压敏粘合剂,可配置成溶液使用,压敏粘合剂可以是聚合物结构上含有丙烯酸酯基团的可辐射固化(UV固化)丙烯酸压敏胶粘合剂,也可以是含有其他不饱和基团的热固化压敏粘合剂。在丙烯酸压敏粘合剂的结构上可以含有硅树脂、氨基树脂等特殊链段结构的共聚单元。
高折射率涂层的成膜树脂可选择:不同官能度的聚氨酯丙烯酸树脂(如商品名称611A-85、6148J-75等台湾长兴化学公司市售商品并不限于该公司产品,以下同)、聚酯丙烯酸树脂(如商品名称6316、6319等)、纯丙烯酸树脂(如商品名称6536-1、6584N等)、含硅丙烯酸树脂等紫外固化预聚物(如商品名称601B-35等);可以使用热塑性丙烯酸树脂、热固性丙烯酸树脂、聚氨酯树脂、醇酸树脂、硝基树脂等热固化树脂,可根据涂层体系的折射率及其性能选择适宜的树脂组分。
本发明所用第一稀释剂或第二稀释剂可以是单或多官能基丙烯酸酯如:(甲基)丙烯酸丁酯、异辛酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、丙二醇二丙烯酸酯、已二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯等等,可以是乙酸丁酯、甲苯或汽油等。
本发明所用纳米粒子和纳米粒子材料可以是丙烯酸树脂、苯乙烯树脂、硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂等聚合物材料、Nb2O5、ZnO、TiO2、ZrO2、HfO2、MgO、Al2O3、SiO2或其他无机纳米材料。
本发明所使用的聚合物微球可以是苯乙烯聚合物、(甲基)丙烯酸酯聚合物、聚碳酸酯、聚酰胺等聚合物粒子。本发明微球粒径可在2μm-10μm之间,优选3-5μm。
本发明支持体是在可见光波长内透明或基本透明的柔性玻璃;聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET);聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺、TAC、PC、聚氨酯或PVC等,支持体厚度80-120μm。
本发明OLED照明器件光提取膜的使用如图1所示,在OLED发光器件上使用时现将保护膜10去掉,将低折射率粘结层12贴附在OLED发光器件的出光基板8上即可使用。
当在OLED器件的电极2(阴极)和透明氧化铟锡(ITO)电极6施以电压后,发光层4产生的光子传播到透明基板8后,由于光提取膜14的胶粘剂层12的折射率大于或等于基板的折射率,使得光线不会或很少在其界面产生全反射而回到基板中,这样大大地减少了基板模态的光能损失,这些光被传播进入光提取膜14。而进入光提取膜的光线由于折射率原因可以顺利地进入高折射凸凹层16,所述层由于其出光面有凸凹结构表面,相当于粗造化的出光面,可以改变光线照射到高折射率层与空气面的入射光角度,使得光线传播出该界面进入空气层,成为可以使用的光。
结合附图,OLED照明器件光提取膜的制作过程具体包括以下步骤:
1、制备低折射率粘结层12,根据压敏胶指标要求选择热固化粘合剂用聚丙烯酸酯树脂或光固化预聚物,选择适合的溶剂或活性单体及必要的涂布助剂如流平剂、消泡剂、基材润湿剂等。通过选用不同折射率的纳米粒径材料,高速分散在粘合剂树脂中,控制和调节粘结层涂层组分成膜后的折射率大于等于OLED表面基板(如玻璃基板折射率1.5左右),而小于或等于选取的光提取膜的基膜的折射率,(如基膜选取聚酯薄膜选取折射率差在1.55-1.6的PET薄膜),使得粘结剂层折射率与OLED基板折射率差以及支持体与粘结基层折射率差在0-0.5范围内,保证有较好的光学联通。
2、高折射率凹凸涂层16涂层液的制备,选择热固化树脂或光固化预聚物作为所述凹凸层成膜树脂组分,选择溶剂或活性单体作为稀释剂,选择纳米粒子22分散在成膜物树脂中,并通过纳米粒子及成膜树脂调节涂层成膜后折射率不低于支持体的折射率。添加的微米级粒子21用于涂层凸起调节剂及起光线的散射作用,固化后使涂层具有凹凸表面。
3、低折射率粘结层涂布,在支持体的一面涂布低折射率粘结层,涂层厚度3-20μm,优选5-8μm,热固化或UV辐照固化,收卷时同步复合保护膜10。
4、制备高折射率凹凸涂层,在光提取膜粘结层的另一面,采用精密涂布设备涂布制备高折射率凹凸涂层,调节制备高折射率凹凸涂层涂布液的粘度及涂布量,使得涂层厚度在2-10μm,优选3-5μm,固化干燥后能够显现出均匀微凹凸表面。
下面结合具体实施例对本发明作进一步的说明,这些实施例仅用于说明本发明,而非本发明的全部实施方式。
实施例1
低折射率粘结层涂布液组成可UV固化的丙烯酸压敏粘合剂63克,三氧化二铝纳米粒子10克,乙酸丁酯20克,架桥剂2克,分散均匀后加入4克光引发剂184,以及消泡剂、流平剂、基材润湿剂各1克,搅拌均匀,折射率为1.5-1.55。
高折射率凹凸涂层涂布液组成为聚酯丙烯酸树脂50克,纳米氧化锌粒子20克,聚乙二醇二丙烯酸酯8、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯6克分散均匀,加入粒径5μm的聚苯乙烯微球10克,4克光引发剂184和消泡剂,基材润湿剂各1克,配置成折射率1.65-1.70的涂布液。
选用折射率为1.6的聚脂薄膜(PET),采用微凹版涂布方式涂布胶黏剂层,涂层湿膜厚度8μm,UV固化并复合硅离型膜,形成低折射率的压敏粘合层。采用条缝涂布方式涂布高折射凹凸涂层,涂层湿膜厚度控制在5μm的厚度,UV固化。得到OLED照明器件光提取膜。
实施例2
低折射率粘结层涂布液选用聚丙烯酸酯压敏粘合剂60克,第一稀释剂选用甲苯22克,架桥剂和催化剂3克,氧化镁纳米粒子14克,分散均匀后加入固化剂3克,以及消泡剂、流平剂、基材润湿剂各1克,搅拌均匀,折射率为1.5-1.55。
高折射率凹凸涂层涂布液组成为热固性丙烯酸树脂52克,纳米氧化锆粒子20克,苯类溶剂和汽油混合溶剂10克分散均匀,加入粒径3μm的聚甲基丙烯酸甲酯微球12克,固化剂4克消泡剂基材润湿剂各1克,配置成折射率1.65-1.70的涂布液。
选用折射率为1.6的聚脂薄膜(PET),采用微凹版涂布方式涂布胶黏剂层,涂布湿膜厚度5μm,80℃热固化并复合硅离型膜。采用条缝涂布方式涂布高折射凹凸涂层,涂布湿膜厚度控制在10μm的厚度,80-100℃热固化。得到OLED照明器件光提取膜。
实施例3
低折射率粘结层涂布液组成为可UV固化含硅树脂结构单元的丙烯酸酯压敏粘合剂80克,第一稀释剂选用甲苯20氧化铪纳米粒子11克,架桥剂3克,分散均匀后加入5克光引发剂184,以及消泡剂、流平剂、基材润湿剂各1克,搅拌均匀,折射率为1.55-1.6。
高折射率凹凸涂层涂布液组成为聚氨酯丙烯酸酯53克,纳米氧化镁粒子18克,聚乙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯14克分散均匀,加入粒径10μm的聚酰胺微球8克,4克光引发剂1173和消泡剂,基材润湿剂各1克,配置成折射率1.7-1.75的涂布液。
选用折射率为1.7的聚酰亚胺(PI)薄膜,采用微凹版涂布方式涂布胶黏剂层,涂布湿膜厚度10μm,UV固化并复合硅离型膜。采用条缝涂布方式涂布高折射凹凸涂层,涂布湿膜厚度控制在3μm的厚度,UV固化。得到OLED照明器件光提取膜。
实施例4
低折射率粘结层涂布液组成为可UV固化含氨基树脂结构单元的丙烯酸树酯压敏粘合剂72克,第一稀释乙酸丁酯12克,氧化铪纳米粒子11克,架桥剂2克,分散均匀后加入2克光引发剂TPO,以及消泡剂、流平剂、基材润湿剂各1克,搅拌均匀,折射率为1.55-1.6。
高折射率凹凸涂层涂布液组成为聚氨酯丙烯酸酯53克,纳米氧化镁粒子15克,三羟甲基丙烷三丙烯酸酯10克分散均匀,加入粒径4μm的聚碳酸酯微球15克,4克光引发剂1173和消泡剂,基材润湿剂各1克,配置成折射率1.7-1.75的涂布液。
选用折射率为1.7的聚酰亚胺(PI)薄膜,采用微凹版涂布方式涂布胶黏剂层,涂布湿膜厚度20μm,UV固化并复合硅离型膜。采用条缝涂布方式涂布高折射凹凸涂层,涂布湿膜厚度控制在2μm的厚度,UV固化。得到OLED照明器件光提取膜。
实施例5
低折射率粘结层涂布液选用含硅树脂结构单元的聚丙烯酸酯压敏粘合剂68克,第一稀释剂选用溶剂汽油12克,氧化镁纳米粒子14克,架桥剂、固化剂5克,分散均匀后加入,以及消泡剂、流平剂、基材润湿剂各1克,搅拌均匀,折射率为1.5-1.55。
高折射率凹凸涂层涂布液组成为醇酸树脂55克,纳米氧化锆粒子18克,苯类溶剂和汽油混合溶剂14克分散均匀,加入粒径2μm的聚甲基丙烯酸甲酯微球11克,固化剂3克,消泡剂,基材润湿剂各1克,配置成折射率1.7-1.75的涂布液。
选用折射率为1.59的聚碳酸酯薄膜(PC),采用微凹版涂布方式涂布胶黏剂层,涂布湿膜厚度15μm,80℃热固化并复合硅离型膜。采用条缝涂布方式涂布高折射凹凸涂层,涂布湿膜厚度控制在7μm的厚度,80-100℃热固化。得到OLED照明器件光提取膜。
比较例1
低折射率粘结层涂布液组成为可UV固化的聚丙烯酸酯压敏粘合剂65克,第一稀释剂15克,三氧化二铝纳米粒子10克,架桥剂5克,分散均匀后加入4克光引发剂184,以及消泡剂、流平剂、基材润湿剂各1克,搅拌均匀,折射率为1.5-1.55。
高折射率凹凸涂布液组成为聚酯丙烯酸树脂50克,纳米氧化锌粒子20克,聚乙二醇二丙烯酸酯10、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯14克分散均匀,4克光引发剂184和消泡剂基材润湿剂各1克,配置成折射率1.65-1.70的涂布液。
选用折射率为1.6的聚脂薄膜(PET),采用微凹版涂布方式涂布胶黏剂层,涂布湿膜厚度8μm,UV固化并复合硅离型膜。采用条缝涂布方式涂布高折射凹凸层,涂布湿膜厚度控制在5μm的厚度,UV固化。得到OLED照明器件光提取膜。
应用效果:
实施例 | 光提取效率提高(%) | 器件发光均匀性 |
实施例1 | 80 | 光线柔和均匀 |
实施例2 | 78 | 光线柔和均匀 |
实施例3 | 81 | 光线柔和均匀 |
实施例4 | 76 | 光线柔和均匀 |
实施例5 | 80 | 光线柔和均匀 |
比较例1 | 58 | 光线刺眼和发光不均匀 |
OLED发光强度的测试方法:使用同上述实施例1-5、比较例1相同发光强度的OLED发光器件,不粘贴光提取膜情况下,对器件电极2和电极4施以电压后,测试OLED透明基板8发出的光线强度并以此为技术计算实施例1-5、比较例1的发光强度增加值(光提取效率)并观察发光光线的柔和性。
使用照度计测试OLED发光时的照度,有测试数据按下面公式计算光提取膜的光提取效率:
光提取效率(%)=(带有光提取膜的OLED器件发光时的照度-未带光提取膜的OLED器件发光时的照度)/未带光提取膜的OLED器件发光时的照度。
Claims (10)
1.一种OLED照明器件光提取膜,其特征在于,所述光提取膜含有支持体、在支持体一面设置低折射率粘接层及保护膜、在支持体另一面设置的高折射率凹凸涂层,所述低折射率粘结层由包括如下组分的原料制备而成:树脂60-70重量份、第一稀释剂17-27重量份、纳米粒子10-15重量份和固化剂2-5重量份;所述高折射率凹凸涂层由包括如下组分的原料制备而成:成膜树脂50-55重量份、第二稀释剂10-14重量份、纳米粒子材料15-20重量份、聚合物微球8-15重量份和固化剂2-5重量份。
2.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于:所述固化剂为热固化剂或UV固化光引发剂。
3.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于:所述低折射率粘接层的折射率大于等于器件基板折射率而小于等于支持体的折射率。
4.根据权利要求1所述OLED照明器件光提取膜,其特征在于,低折射率粘接层的折射率与OLED基板折射率差为0.0-0.5,与支持体的折射率差为0.0-0.5。
5.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于,低折射率粘接层是压敏粘合剂层,所述低折射率粘接层与OLED出光面基板粘合,而高折射率凹凸涂层朝向外侧。
6.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于,高折射率凹凸涂层的折射率与支持体的折射率差为0.1-0.5。
7.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于,高折射率凹凸涂层中的纳米粒子是无机纳米粒子。
8.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于,高折射率凹凸涂层中的聚合物微球粒径为2-10μm。
9.根据权利要求1所述的OLED照明器件光提取膜,其特征在于,所述低折射层涂层和高折射率凹凸涂层是热固化或UV固化成膜。
10.一种制备如权利要求1-9中任一项所述的OLED照明器件光提取膜的方法,其特征在于,在支持体的一面采用湿法涂布方式涂布低折射率粘结层,涂层湿膜厚度5-20μm并复合保护膜;在基膜的另一面涂布含有纳米粒子和微米粒子的高折射凹凸涂层,所述涂层湿膜厚度2-10μm。
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2018
- 2018-06-22 CN CN201810653907.6A patent/CN108899435A/zh active Pending
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