CN103360862A - 功能层形成用油墨、发光元件的制造方法、发光装置及电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种功能层形成用油墨、发光元件的制造方法、发光装置及电子设备，所述功能层形成用油墨能够利用涂布方式在使含有π共轭高分子材料或π共轭低分子材料的功能层形成材料不凝集的情况下形成具有稳定的膜厚、膜形状的功能层。是一种用液体涂布法形成功能层时使用的功能层形成用油墨，其特征在于，具有：含有高分子材料或低分子材料的功能层形成材料和含有溶剂A和溶剂B的混合溶剂C，其中，溶剂A的粘度为0.01Pa·s～0.05Pa·s，溶剂B的粘度小于0.01Pa·s，沸点低于溶剂A，混合溶剂C的粘度小于0.02Pa·s，沸点为200℃～350℃，含有0.1wt%～10wt%的溶剂A。

Description

功能层形成用油墨、发光元件的制造方法、发光装置及电子设备
技术区域
本发明涉及功能层形成用油墨、发光元件的制造方法、发光装置及电子设备。
背景技术
作为发光元件的有机电致发光元件（发光元件）是具有在阳极与阴极之间插入至少1层发光性有机层（发光层）的结构的发光元件。在这种发光元件中，通过在阴极与阳极之间施加驱动电压，从而将电子从阴极侧注入至发光层，并且将空穴从阳极侧注入至发光层，在发光层中电子和空穴形成激子，在该激子消失时（电子与空穴再次结合时），能量的一部分成为荧光、磷光而被释放。
通常，对于发光元件，在阳极上设有空穴注入层，在该空穴注入层上设有空穴输送层或发光层。
作为形成这些层的方法（成膜方法），已知有使用将成膜材料溶解或分散而成的成膜用油墨进行涂布的方法（例如，参照专利文献1）。
近年来，作为液滴喷出法等涂布法中使用的发光材料，不仅可以使用高分子材料，还可以使用低分子材料（例如，参照专利文献2、3）。
专利文献1：日本特开2008-77958号公报
专利文献2：日本特开2006-190759号公报
专利文献3：日本特开2011-108462号公报
发明内容
然而，专利文献2、3中记载的发光元件中，存在下述课题，即，在发光层的成膜过程中，由于是低分子，所以存在油墨中的分子彼此因分子间相互作用而进行凝集的趋势，由此难以得到膜厚均匀的发光层。另外，因凝集而有时会产生成膜不良，所以还存在发光不良这种课题。换言之，存在难以成品率高地制造具有所希望的光学特性的发光元件这样的课题。
本发明是为了至少解决上述课题中的一部分而进行的，能够通过以下方式或应用例来实现。
应用例1
本应用例涉及的功能层形成用油墨是用液体涂布法形成功能层时使用的功能层形成用油墨，其特征在于，具有：含有高分子材料或低分子材料的功能层形成材料和含有溶剂A和溶剂B的混合溶剂C，其中，上述溶剂A的粘度为0.01Pa·s～0.05Pa·s，上述溶剂B的粘度小于0.01Pa·s，沸点低于上述溶剂A，上述混合溶剂C的粘度小于0.02Pa·s，沸点为200℃～350℃，含有0.1wt%～10wt%的上述溶剂A。
根据本应用例，在功能层形成用油墨的干燥过程中，溶剂B比溶剂A迅速蒸发，所以混合溶剂C的粘度随着时间的经过而增加，接近溶剂A的粘度。另外，溶剂B蒸发后，溶剂A的干燥成为主导，干燥速度变慢。通过基于该干燥机制的增粘和干燥延迟，从而能够降低因功能层形成材料的分子间相互作用而引起的凝集速度，能够抑制功能层形成材料的凝集。因此，可以提供在干燥后能够形成均匀膜厚的功能层的、功能层形成用油墨。
应用例2
如上述应用例涉及的功能层形成用油墨，其特征在于，上述溶剂A和上述溶剂B为非水系溶剂。
应用例3
如上述应用例涉及的功能层形成用油墨，其中，上述溶剂A和上述溶剂B可以为水系溶剂。
应用例4
如上述应用例涉及的功能层形成用油墨，其中，可以是上述溶剂A为非水系溶剂，上述溶剂B为水系溶剂。
应用例5
如上述应用例涉及的功能层形成用油墨，其中，可以是上述溶剂A为水系溶剂，上述溶剂B为非水系溶剂。
如果溶剂A或溶剂B中的至少一方为水系溶剂，则与使用非水系溶剂的情况相比，能够降低功能层形成用油墨的表面张力。由此，提高功能层形成用油墨对膜形成区域的润湿性（填充性）。
应用例6
本应用例涉及发光元件的制造方法是具备含有有机发光层的功能层的发光元件的制造方法，其特征在于，使用上述应用例的功能层形成用油墨形成上述功能层中至少1层的有机层。
根据该方法，能够在干燥后形成膜厚均匀的有机层，所以能够成以高品率制造具有所希望的光学特性的发光元件。
应用例7
如上述应用例涉及的发光元件的制造方法，其中，可以是上述功能层包括空穴注入层、空穴输送层以及上述有机发光层，使用上述应用例的功能层形成用油墨形成上述空穴注入层。
应用例8
如上述应用例涉及的发光元件的制造方法，其中，可以是上述功能层包括空穴注入层、空穴输送层以及上述有机发光层，使用上述应用例的功能层形成用油墨形成上述空穴输送层。
应用例9
如上述应用例涉及的发光元件的制造方法，其中，可以是上述功能层包括空穴注入层、空穴输送层以及上述有机发光层，使用上述应用例的功能层形成用油墨形成上述有机发光层。
应用例10
本应用例涉及的发光装置，其特征在于，具备利用上述应用例的发光元件的制造方法来制造的发光元件。
由此，能够提供具有所希望的光学特性的发光装置。
应用例11
本应用例涉及的电子设备，其特征在于，具备上述应用例的发光装置。
由此，能够提供具有高显示品质的信息设备、减少了亮度不均而视感良好的照明装置等电子设备。
附图说明
图1是表示实施方式涉及的喷出装置的构成的概略立体图。
图2是表示实施方式涉及的喷出喷头的结构的示意图。
图3是表示实施方式涉及的喷头单元中的喷出喷头的配置的概略俯视图。
图4是表示实施方式涉及的喷出装置的控制系统的框图。
图5是表示实施方式涉及的发光装置的构成的概略主视图。
图6是表示实施方式涉及的发光装置的结构的要部概略截面图。
图7是表示实施方式涉及的发光元件的制造方法的流程图。
图8中（a）～（d）是表示实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的概略截面图。
图9中（e）～（i）是表示实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的概略截面图。
图10是表示实施例1、2、5、6的评价结果的表。
图11是表示实施例3、4、7、8的评价结果的表。
图12是表示比较例1～8的评价结果的表。
图13是表示作为电子设备的移动型（或笔记本型）的个人计算机的构成的立体图。
图14是表示作为电子设备的便携式电话（也包括PHS）的构成的立体图。
图15是表示作为电子设备的数码相机的构成的立体图。
图16中（a）是表示滤色器基板的构成的概略俯视图，（b）是表示滤色器基板的结构的概略截面图。
具体实施方式
以下，根据附图对本实施方式进行说明。应予说明，使用的附图中，以说明的部分成为可识别的状态的方式适当放大或缩小地表示。
第1实施方式
液滴的喷出装置
首先，参照图1～图4，对能够使含有功能层形成材料的液状体作为液滴喷出到被喷出物的喷出装置进行说明。
图1是表示本实施方式涉及的喷出装置的构成的概略立体图。如图1所示，本实施方式的喷出装置2具备：使作为被喷出物的平板状的被加工物W沿着作为第1方向的主扫描方向（Y轴方向）移动的被加工物移动机构10，和使喷头单元12沿着作为与主扫描方向正交的第2方向的副扫描方向（X轴方向）移动的喷头移动机构14。
被加工物移动机构10具备一对导轨16、沿着一对导轨16移动的移动台18以及介由旋转机构20配设在移动台18上的载置被加工物W的工作台22。
移动台18通过设置于导轨16内部的空气滑块和线性电机（省略图示）沿主扫描方向（Y轴方向）移动。在移动台18设有作为定时信号生成部的编码器24（参照图4）。
随着移动台18向主扫描方向（Y轴方向）的相对移动，编码器24读取在导轨16上并设的线性标尺（省略图示）的刻度，生成作为定时信号的编码器脉冲。应予说明，编码器24的配设不限于此，例如，在使移动台18以沿着旋转轴相对于主扫描方向（Y轴方向）移动的方式构成，进而设置使旋转轴旋转的驱动部时，可以将编码器24设置于驱动部。作为驱动部，可举出伺服电机等。
工作台22能够吸附固定被加工物W，并且利用旋转机构20能够将被加工物W内的基准轴正确地与主扫描方向（Y轴方向）、副扫描方向（X轴方向）对应。
另外，也可以根据在被加工物W上喷出液状体的膜形成区域的配置，使被加工物W例如旋转90度。
喷头移动机构14具备一对导轨26和沿着一对导轨26移动的移动台28。在移动台28设有介由旋转机构30吊设的滑架32。
在滑架32安装了搭载有多个喷出喷头34（参照图2）的喷头单元12。
另外，在喷出喷头34设有用于供给液状体的液状体供给机构（省略图示）和多个用于进行喷出喷头34的电驱动控制的喷头驱动器36（参照图4）。
移动台28使滑架32沿着副扫描方向（X轴方向）移动，将喷头单元12与被加工物W对置地配置。
喷出装置2除上述构成以外，还在对着多个喷出喷头34的位置配设有用于进行搭载于喷头单元12的多个喷出喷头34的喷嘴堵塞的消除、喷嘴面的异物、污垢的除去等维护的维护机构。
另外，具备重量测定机构38，其具有接收各个喷出喷头34喷出的液状体，测量其重量的电子天平等测量器（参照图4）。并且，具备综合控制这些构成的控制部40。应予说明，在图1中，省略图示维护机构和重量测定机构38。
图2是表示本实施方式涉及的喷出喷头的结构的示意图。图2（a）是立体图，图2（b）是表示喷嘴的配置状态的俯视图。
如图2（a）所示，本实施方式的喷出喷头34是所谓2排的结构，具备：具有2排连接针42的液状体的导入部44、层叠于导入部44的喷头基板46以及配置在喷头基板46上且在内部形成有液状体的喷头内流路的喷头主体48。连接针42经由配管与上述液体供给机构（省略图示）连接，将液体供给至喷头内流路。在喷头基板46设有介由挠性扁平电缆（省略图示）与喷头驱动器36（参照图4）连接的2排连接器50。
喷头主体48具有加压部52和在喷嘴面54a相互平行地形成有2排喷嘴列56a、56b的喷嘴板54，所述加压部52具有由作为驱动单元的压电元件构成的腔室。
如图2（b）所示，对于2排喷嘴列56a、56b而言，各自多个（180个）喷嘴56以间距P1大致相等间隔地并列，相互以错开间距P2的状态配设于喷嘴面54a，所述间距P2为间距P1的一半。此时，间距P1大约为141μm。由此，从与喷嘴列56c正交的方向看时，360个喷嘴56成为以大约70.5μm的喷嘴间距排列的状态。另外，喷嘴56的直径为约27μm。
对于喷出喷头34而言，如果从喷头驱动器36对压电元件施加作为电信号的驱动信号，则能够引起加压部52的腔室的体积变化，通过由此产生的泵作用对填充于腔室的液状体进行加压，从喷嘴56作为液滴喷出液状体。
喷出喷头34的驱动单元不限于压电元件。可以为通过静电吸附使作为致动器的振动板发生位移的电机械转换元件，或将液状体加热，从喷嘴56作为液滴喷出的电热转换元件（热方式）。
图3是表示本实施方式涉及的喷头单元的喷出喷头配置的概略俯视图。详细而言，是从与被加工物W对置的一侧观察的图。
如图3所示，本实施方式的喷头单元12具备配设有多个喷出喷头34的喷头板12a。在喷头板12a搭载有由3个喷出喷头34构成的喷头组34A和同样由3个喷出喷头34构成的喷头组34B的总计6个喷出喷头34。此时，喷头组34A的喷头R1（喷出喷头34）和喷头组34B的喷头R2（喷出喷头34）喷出同种液状体。对于其它的喷头G1和喷头G2、喷头B1和喷头B2而言也同样。即，成为可喷出3种不同的液状体的构成。
将由一个喷出喷头34可描绘的描绘宽度设为L0，并将其作为喷嘴列56c的有效长度。以下，喷嘴列56c是指由360个喷嘴56构成的喷嘴列。
此时，从主扫描方向（Y轴方向）看，喷头R1和喷头R2以相邻的喷嘴列56c在与主扫描方向正交的副扫描方向（X轴方向）隔着1个喷嘴间距连续的方式并列地配设在主扫描方向。因此，喷出同种液状体的喷头R1和喷头R2的有效的描绘宽度L1为描绘宽度L0的2倍。对于喷头G1和喷头G2、喷头B1和喷头B2而言，也同样地并列地配置在主扫描方向（Y轴方向）。
应予说明，设置于喷出喷头34的喷嘴列56c不限于2排，也可以为1排。另外，对喷头单元12中的喷出喷头34的配置没有特别限定。
接着，对喷出装置2的控制系统进行说明。
图4是表示本实施方式涉及的喷出装置的控制系统的框图。
如图4所示，本实施方式的喷出装置2的控制系统具备驱动部58和控制部40，所述驱动部58具有驱动喷出喷头34、被加工物移动机构10、喷头移动机构14、重量测定机构38等的各种驱动器，所述控制部40综合控制包括驱动部58在内的喷出装置2。
驱动部58具备：分别驱动控制被加工物移动机构10和喷头移动机构14的各线性电机的移动用驱动器60、驱动控制喷出喷头34的喷头驱动器36以及驱动控制重量测定机构38的重量测定用驱动器62。除此之外，还具备驱动控制维护机构的维护用驱动器等，但省略了图示。
控制部40具备CPU64、ROM66、RAM68以及P-CON70，它们相互介由总线72连接。P-CON70与上位计算机74连接。ROM66具有：存储由CPU64处理的控制程序等的控制程序区域和存储用于进行描绘动作、功能恢复处理等的控制数据等的控制数据区域。
RAM68具有存储用于在被加工物W上进行描绘的描绘数据的描绘数据存储部、存储被加工物W和喷出喷头34（实际上指喷嘴列56c）的位置数据的位置数据存储部等各种存储部，作为用于控制处理的各种作业区域使用。P-CON70与驱动部58的各种驱动器等连接，构成用于有补偿CPU64的功能的同时，处理与外围电路的接口信号的逻辑电路并向其组入。因此，P-CON70将来自上位计算机74的各种指令等直接或加工后输入至总线72的同时，与CPU64联动，将从CPU64等输出至总线72的数据、控制信号直接或加工后输出至驱动部58。
然后，CPU64根据ROM66内的控制程序，介由P-CON70输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，处理RAM68内的各种数据等后，介由P-CON70向驱动部58等输出各种控制信号，由此控制整个喷出装置2。例如，CPU64控制喷出喷头34、被加工物移动机构10以及喷头移动机构14，使喷头单元12与被加工物W对置地配置。然后，使喷头单元12与被加工物W的相对移动同步，以从搭载于喷头单元12的各喷出喷头34的多个喷嘴56向被加工物W喷出作为液滴的液状体的方式，向喷头驱动器36发送控制信号。此时，将向Y轴方向的与被加工物W的移动同步地喷出液状体的动作称为主扫描，将使喷头单元12沿着X轴方向移动的动作称为副扫描。本实施方式的喷出装置2通过多次反复组合主扫描和副扫描，能够进行液状体的喷出描绘。主扫描不限于被加工物W相对于喷出喷头34向一个方向移动，也可以使被加工物W进行往返。
编码器24与喷头驱动器36电连接，伴随着主扫描而生成编码脉冲。在主扫描中，由于以规定的移动速度移动移动台18，所以周期性地产生编码脉冲。
例如，如果使主扫描中的移动台18的移动速度为200mm/sec、使驱动喷出喷头34的驱动频率（换言之，连续喷出液滴时的喷出时间）为20kHz，则主扫描方向上的液滴的喷出分辨率可通过用驱动频率除移动速度而得到，所以为10μm。即，能够以10μm的间距将液滴配置于被加工物W。实际的液滴的喷出正时是基于通过对周期性产生的编码脉冲进行计数而生成的锁存信号。
上位计算机74将控制程序、控制数据等控制信息发送至喷出装置2。另外，还具有生成配置信息的配置信息生成部的功能，所述配置信息是在被加工物W上的每个膜形成区域作为液滴配置规定量的液状体的喷出控制数据。配置信息是将膜形成区域中的液滴的喷出位置（换言之，被加工物W与喷嘴56的相对位置）、液滴的配置数（换言之，每个喷嘴56的喷出数）、主扫描中的多个喷嘴56的ON/OFF、喷出时间等信息，例如表示为位图的信息。上位计算机74不仅生成上述配置信息，还能够修正暂时存放于RAM68的上述配置信息。
发光装置
接下来，参照图5和图6，对具有使用本实施方式的发光元件的制造方法制造的发光元件的发光装置进行说明。图5是表示本实施方式涉及的发光装置的构成的概略主视图，图6是表示本实施方式涉及的发光装置的结构的要部概略截面图。
如图5所示，本实施方式的有机EL装置100具备：具备R（红）、G（绿）、B（蓝）3色的发光像素107的元件基板101和隔着规定的间隔对置配置在元件基板101的密封基板102。密封基板102以密封设有多个发光像素107的发光区域106的方式，使用具有高气密性的密封剂贴合于元件基板101。
发光像素107具备作为后述的发光元件的有机EL元件112（参照图6），获得同色发光的发光像素107成为沿附图上的纵向排列的所谓条纹方式。应予说明，实际上发光像素107是微细的，为了方便图示，进行了放大显示。
元件基板101比密封基板102大一圈，在框状突出的部分设有2个驱动发光像素107的扫描线驱动电路部103和1个数据线驱动电路部104。扫描线驱动电路部103、数据线驱动电路部104例如可以作为集成了电路的IC安装于元件基板101，也可以将扫描线驱动电路部103和数据线驱动电路部104直接形成于元件基板101的表面。
在元件基板101的端子部101a安装有用于连接这些扫描线驱动电路部103、数据线驱动电路部104与外部驱动电路的中继基板105。中继基板105例如可以使用柔性电路基板等。
如图6所示，在有机EL装置100中，有机EL元件112具有作为像素电极的阳极131、划分阳极131的隔壁部133以及包含由形成于阳极131上的有机膜构成的发光层的功能层132。另外，还具有介由功能层132，以与阳极131对置的方式形成的作为共同电极的阴极134。
隔壁部133例如通过将CF4作为处理气体的等离子处理进行疏液化或使用对后述的功能层形成用油墨显示疏液性的光致抗蚀剂而形成。作为该光致抗蚀剂，例如可举出日本特开2008-287251号公报所示的在感光性的丙烯酸系树脂中含有氟系聚合物的疏液抗蚀剂组合物。隔壁部133部分覆盖构成发光像素107的阳极131的周围，以分别划分多个阳极131的方式被设置。
阳极131与形成在元件基板101上的TFT元件108的3个端子中的1个连接，例如，是将透明电极材料ITO（Indium Tin Oxide）以厚度100nm左右进行成膜而成的电极。
阴极134例如利用Al、Ag等具有光反射性的金属材料、该金属材料与其它金属（例如Mg）的合金等形成。
本实施方式的有机EL装置100为所谓的底部发射型结构，在阳极131与阴极134之间通驱动电流，使功能层132中发光的光在阴极134反射，从元件基板101侧射出。因此，元件基板101使用玻璃等透明基板。另外，密封基板102可以使用透明基板和不透明基板中的任一种。作为不透明基板，例如可举出在氧化铝等的陶瓷、不锈钢等的金属片上实施了表面氧化等绝缘处理而成的不透明基板，除此之外，还可举出热固性树脂、热塑性树脂等。
在元件基板101设有驱动有机EL元件112的电路部111。即，在元件基板101的表面形成了以SiO2为主体的衬底保护层121作为衬底，在其上形成了例如由多晶硅等形成的半导体层122。在该半导体层122的表面形成了以SiO2和/或SiN为主体的栅极绝缘膜123。
另外，半导体层122中，将夹着栅极绝缘膜123与栅电极126重叠的区域作为沟道区域122a。应予说明，该栅电极126为未图示的扫描线的一部分。另一方面，在覆盖半导体层122且形成有栅电极126的栅极绝缘膜123的表面形成了以SiO2为主体的第1层间绝缘层127。
另外，半导体层122中，在沟道区域122a的源极侧设有低浓度源极区域和高浓度源极区域122c，另一方面，在沟道区域122a的漏极侧设有低浓度漏极区域和高浓度漏极区域122b，成为所谓LDD（LightDoped Drain）结构。其中，高浓度源极区域122c介由穿过栅极绝缘膜123和第1层间绝缘层127开孔的接触孔125a与源电极125连接。该源电极125构成为电源线（未图示）的一部分。另一方面，高浓度漏极区域122b介由穿过栅极绝缘膜123和第1层间绝缘层127开孔的接触孔124a与漏电极124连接，所述漏电极124由与源电极125相同的层形成。
在形成有源电极125和漏电极124的第1层间绝缘层127的上层形成有平坦化层128。该平坦化层128由丙烯酸系、聚酰亚胺系等的耐热性绝缘性树脂等形成，众所周知是为了除去因TFT元件108、源电极125、漏电极124等引起的表面的凹凸而形成的层。
并且，在该平坦化层128的表面上形成阳极131，并且介由设置于该平坦化层128的接触孔128a与漏电极124连接。即，阳极131介由漏电极124与半导体层122的高浓度漏极区域122b连接。阴极134与GND连接。因此，通过作为开关元件的TFT元件108控制由上述电源线供给到阳极131并在阳极131与阴极134之间流通的驱动电流。由此，电路部111能够使所希望的有机EL元件112发光而显示彩色。
应予说明，驱动有机EL元件112的电路部111的构成不限于此。
功能层132由包括由有机膜形成的空穴注入层、空穴输送层、发光层在内的多个薄膜层形成，从阳极131侧按该顺序层叠。在本实施方式中，这些薄膜层使用液体涂布法或真空蒸镀法进行成膜。液体涂布法包括上述的使用喷出装置2的液滴喷出法、旋涂法等。
作为空穴注入层的材料没有特别限定，例如可举出聚（3,4-亚乙二氧基噻吩/苯乙烯磺酸）（PEDOT/PSS）、PEDOT/PSS/Nafion（注册商标）、聚噻吩及其衍生物、聚苯胺及其衍生物、聚吡咯及其衍生物、N,N,N’,N’-四苯基对二氨基苯及其衍生物等，可以使用这些中的1种或组合2种以上使用。另外，如后详述，该空穴注入层可以使用本发明的功能层形成用油墨来形成。
对这种空穴注入层的平均厚度没有特别限定，优选为10nm～100nm左右，更优选为10nm～50nm左右。
中间层（空穴输送层）设置在空穴注入层与发光层之间，是为了提高空穴向发光层的输送性（注入性）的同时抑制电子从发光层侵入空穴注入层而设置的。即，改善因发光层中的空穴与电子的结合而产生的发光的效率。
另外，如后详述，该中间层可以使用本发明的功能层形成用油墨来形成。
该中间层的构成材料可以单独或组合使用各种p型高分子材料、各种p型低分子材料。
作为p型高分子材料（有机聚合物），例如可举出聚（2,7-（9,9-二正辛基芴）-（1,4-亚苯基-（（4-仲丁基苯基）亚氨基）-1,4-亚苯））（TFB）等聚芳基胺这种具有芳基胺骨架的聚合物、芴-联噻吩共聚物这种具有芴骨架的聚合物、芴-芳基胺共聚物这种具有芳基胺骨架和芴骨架这两者的聚合物、聚（N-乙烯基咔唑）、聚乙烯基芘、聚乙烯基蒽、聚噻吩、聚烷基噻吩、聚己基噻吩、聚对苯撑乙炔、聚噻吩乙炔、芘甲醛树脂、乙基咔唑甲醛树脂或其衍生物等。
这种p型高分子材料也可以作为与其它化合物的混合物来使用。作为一个例子，作为含有聚噻吩的混合物，可举出聚（3,4-亚乙二氧基噻吩/苯乙烯磺酸）（PEDOT/PSS）等。
另一方面，作为p型低分子材料，例如可举出1,1-双（4-二对甲苯基氨基苯基）环己烷、1,1’-双（4-二对甲苯基氨基苯基）-4-苯基-环己烷这种芳基环烷烃系化合物，4,4’,4’’-三甲基三苯胺、N,N,N’,N’-四苯基-1,1’-联苯-4,4’-二胺、N,N’-二苯基-N,N’-双（3-甲基苯基）-1,1’-联苯-4,4’-二胺（TPD1）、N,N’-二苯基-N,N’-双（4-甲氧基苯基）-1,1’-联苯-4,4’-二胺（TPD2）、N,N,N’,N’-四（4-甲氧基苯基）-1,1’-联苯-4,4’-二胺（TPD3）、N,N’-双（1-萘基）-N,N’-二苯基-1,1’-联苯-4,4’-二胺（α-NPD）、TPTE这种的芳基胺系化合物，N,N,N’,N’-四苯基对苯二胺、N,N,N’,N’-四（对甲苯基）对苯二胺、N,N,N’,N’-四（间甲苯基）间苯二胺（PDA）这种苯二胺系化合物，咔唑、N-异丙基咔唑、N-苯基咔唑这种咔唑系化合物，茋、4-二对甲苯基氨基茋这种茋系化合物，OxZ这种
Figure BDA00002972932300141
唑系化合物，三苯甲烷、m-MTDATA这种三苯甲烷系化合物，1-苯基-3-（对二甲氨基苯基）吡唑啉这种吡唑啉系化合物，苯炔（环己二烯）系化合物，三唑这种三唑系化合物，咪唑这种咪唑系化合物，1,3,4-
Figure BDA00002972932300142
二唑、2,5-二（4-二甲氨基苯基）-1,3,4-二唑这种
Figure BDA00002972932300144
二唑系化合物，蒽、9-（4-二乙氨基苯乙烯基）蒽这种蒽系化合物，芴酮、2,4,7,-三硝基-9-芴酮、2,7-双（2-羟基-3-（2-氯苯基氨基甲酰基）-1-萘基偶氮）芴酮这种芴酮系化合物，聚苯胺这种苯胺系化合物，硅烷系化合物，1,4-二硫酮-3,6-二苯基-吡咯并（3,4-c）吡咯这种吡咯系化合物，芴这种芴系化合物，卟啉、金属四苯基卟啉这种卟啉系化合物，喹吖啶酮这种喹吖啶酮系化合物，酞菁、铜酞菁、四（叔丁基）铜酞菁、铁酞菁这种金属或非金属的酞菁系化合物，萘酞菁铜、萘酞菁氧钒、氯代萘酞菁镓这种金属或非金属的萘酞菁系化合物，N,N’-二（萘-1-基）-N,N’-二苯基-联苯胺、N,N,N’,N’-四苯基联苯胺这种联苯胺系化合物等。
这种中间层的平均厚度没有特别限定，优选为10nm～150nm左右，更优选为10nm～100nm左右。
应予说明，该中间层可以省略。
红色发光层
红色发光层含有发红色光的红色发光材料而构成。
应予说明，该红色发光层可以使用后述的本发明的功能层形成用油墨形成。
作为这种红色发光材料，没有特别限定，可以使用各种红色荧光材料、红色磷光材料的1种或组合2种以上使用。
作为红色荧光材料，只要发出红色的荧光就没有特别限定，例如可举出苝衍生物、铕配位化合物、苯并吡喃衍生物、罗丹明衍生物、苯并噻吨衍生物、卟啉衍生物、尼罗红、2-（1,1-二甲基乙基）-6-（2-（2,3,6,7-四氢-1,1,7,7-四甲基-1H,5H-苯并（ij）喹嗪-9-基）乙烯基）-4H-吡喃-4H-亚基)丙二腈（DCJTB）、4-(二氰基亚甲基)-2-甲基-6-(对二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃（DCM）等。
作为红色磷光材料，只要发出红色的磷光就没有特别限定，例如可举出铱、钌、铂、锇、铼、钯等的金属配位化合物，还可举出上述金属配位化合物的配体中的至少一个具有苯基吡啶骨架、联吡啶骨架、卟啉骨架等的金属配位化合物。更具体而言，可举出三（1-苯基异喹啉）铱、双[2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-N,C3’]（乙酰丙酮）合铱（btp2Ir（acac））、2,3,101,12,13,17,18-八乙基-12H,23H-卟啉-铂（II），双［2-（2’-苯并［4,5-α］噻吩基）吡啶-N,C3’］铱、双（2-苯基吡啶）（乙酰丙酮）合铱。
另外，在红色发光层中，除上述红色发光材料以外，可以含有将红色发光材料作为客体材料添加的主体材料。
主体材料具有由注入的空穴和电子生成激子的同时，使该激子的能量迁移至红色发光材料（Ferster迁移或Dexter迁移），激发红色发光材料的功能。使用这种主体材料时，例如可将作为客体材料的红色发光材料作为掺杂剂掺杂到主体材料中来使用。
作为这种主体材料，只要对使用的红色发光材料发挥如上所述的功能就没有特别限定，红色发光材料含有红色荧光材料时，例如可举出萘并萘衍生物、萘衍生物、蒽衍生物这种的并苯衍生物（并苯系材料）、二苯乙烯基芳撑衍生物、苝衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基胺衍生物、三（8-羟基喹啉）铝配位化合物（Alq3）等羟基喹啉系金属配位化合物、三苯胺的四聚体等三芳基胺衍生物、
Figure BDA00002972932300151
二唑衍生物、噻咯衍生物、二咔唑衍生物、低聚噻吩衍生物、苯并吡喃衍生物、三唑衍生物、苯并唑衍生物、苯并噻唑衍生物、喹啉衍生物、4,4’-双（2,2’-二苯基乙烯基）联苯（DPVBi）等，可以单独使用其中1种或组合2种以上使用。
使用如上所述的红色发光材料（客体材料）和主体材料时，红色发光层中的红色发光材料的含量（掺杂量）优选为0.01wt%～10wt%，更优选为0.1wt%～5wt%。通过使红色发光材料的含量在这样的范围内，能够使发光效率最优化。
这种红色发光层的平均厚度没有特别限定，优选为10nm～150nm左右，更优选为10nm～100nm左右。
绿色发光层
绿色发光层含有发绿色光的绿色发光材料而构成。
应予说明，该绿色发光层可以使用后述的本发明的功能层形成用油墨来形成。
作为这种绿色发光材料没有特别限定，例如可举出各种绿色荧光材料和绿色磷光材料，可以使用其中的1种或组合2种以上使用。
作为绿色荧光材料，只要发出绿色的荧光就没有特别限定，例如可举出香豆素衍生物、喹吖啶酮及其衍生物、9,10-双［（9-乙基-3-咔唑）-亚乙烯基］-蒽等。
作为绿色磷光材料，只要发出绿色的荧光就没有特别限定，例如可举出铱、钌、铂、锇、铼、钯等的金属配位化合物，具体而言，可举出面式-三(2-苯基吡啶)铱（Ir(ppy)3）、双（2-苯基吡啶-N,C2’）（乙酰丙酮）合铱、面式-三[5-氟-2-(5-三氟甲基-2-吡啶)苯基-C,N]铱等。
另外，在绿色发光层中，除上述绿色发光材料之外，可以含有将绿色发光材料作为客体材料添加的主体材料。
作为这种主体材料，可以使用与上述的红色发光层中说明的主体材料同样的材料。
蓝色发光层
蓝色发光层含有发蓝色光的蓝色发光材料而构成。
应予说明，该蓝色发光层可以使用后述的本发明的功能层形成用油墨来形成。
作为这种蓝色发光材料，例如可举出各种蓝色荧光材料和蓝色磷光材料，可以使用其中的1种或组合2种以上使用。
作为蓝色荧光材料，只要发出蓝色的荧光就没有特别限定，例如可举出二苯乙烯基二胺系化合物等二苯乙烯基胺衍生物、荧蒽衍生物、芘衍生物、苝和苝衍生物、蒽衍生物、苯并
Figure BDA00002972932300171
唑衍生物、苯并噻唑衍生物、苯并咪唑衍生物、
Figure BDA00002972932300173
衍生物、菲衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、四苯基丁二烯、4,4’-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1’-联苯（BCzVBi）等。
作为蓝色磷光材料，只要发出蓝色的磷光就没有特别限定，例如可举出铱、钌、铂、锇、铼、钯等的金属配位化合物，具体而言，可举出双[4,6-二氟苯基吡啶-N,C2’]-吡啶甲酰合铱、三[2-(2,4-二氟苯基)吡啶-N,C2’]铱、双[2-(3,5-三氟甲基)吡啶-N,C2’]-吡啶甲酰合铱、双(4,6-二氟苯基吡啶-N,C2’)(乙酰丙酮)合铱等。
另外，在蓝色发光层中，除上述蓝色发光材料以外，还可以含有将蓝色发光材料作为客体材料而添加的主体材料。
作为这种主体材料，可以使用与上述的红色发光层中说明的主体材料同样的材料。
用于形成上述的红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层的功能层形成材料是含有客体材料和主体材料的低分子材料，通常通过真空蒸镀法等气相沉积法进行成膜，但低分子材料也能够使用液滴喷出法进行成膜。当然，也可以制成适合液滴喷出法的高分子材料的构成，应用于功能层形成用油墨。
在各色的发光层与阴极134之间，从发光层侧起形成有电子输送层和电子注入层。电子输送层具有将从阴极134介由电子注入层注入的电子输送至发光层的功能。
作为电子输送层的构成材料（电子输送材料），例如可举出以三（8-羟基喹啉）铝（Alq3）等8-羟基喹啉或其衍生物为配体的有机金属配位化合物等喹啉衍生物、
Figure BDA00002972932300172
二唑衍生物、苝衍生物、吡啶衍生物、嘧啶衍生物、喹喔啉衍生物、二苯基醌衍生物、硝基取代芴衍生物等，可使用其中的1种或组合2种以上使用。
电子输送层的平均厚度没有特别限定，优选为0.5nm～100nm左右，更优选为1nm～50nm左右。
应予说明，该电子输送层可以省略。
电子注入层具有提高来自阴极134的电子的注入效率的功能。
作为该电子注入层的构成材料（电子注入材料），例如可举出各种无机绝缘材料、各种无机半导体材料。
作为这种无机绝缘材料，例如可举出碱金属硫属元素化物（氧化物、硫化物、硒化物、碲化物）、碱土类金属硫属元素化物、碱金属的卤化物和碱土类金属的卤化物等，可使用其中的1种或组合2种以上使用。通过将上述无机绝缘材料作为主材料来构成电子注入层，从而能够进一步提高电子注入性。尤其是碱金属化合物（碱金属硫属元素化物、碱金属的卤化物等）的功函数非常小，通过使用碱金属化合物构成电子注入层，从而有机EL元件112可获得高亮度。
作为碱金属硫属元素化物，例如可举出Li2O、LiO、Na2S、Na2Se、NaO等。
作为碱土类金属硫属元素化物，例如可举出CaO、BaO、SrO、BeO、BaS、MgO、CaSe等。
作为碱金属的卤化物，例如可举出CsF、LiF、NaF、KF、LiCl、KCl、NaCl等。
作为碱土类金属的卤化物，例如可举出CaF2、BaF2、SrF2、MgF2、BeF2等。
另外，作为无机半导体材料，例如可举出含有Li、Na、Ba、Ca、Sr、Yb、Al、Ga、In、Cd、Mg、Si、Ta、Sb以及Zn中的至少1种元素的氧化物、氮化物或氧化氮化物等，可使用其中的1种或组合2种以上使用。
电子注入层的平均厚度没有特别限定，优选为0.1nm～1000nm左右，更优选为0.2nm～100nm左右，进一步优选为0.2nm～50nm左右。
应予说明，该电子注入层可以省略。
形成在发光层上的电子输送层、电子注入层、阴极134的形成优选采用可避开与容易降低作为有机薄膜层的发光层的功能的水、氧等的气体接触或热的影响，在减压下进行成膜的真空蒸镀法、溅射法。
具有这种有机EL元件112的元件基板101介由将热固型环氧树脂等用作密封部件的密封层135，与密封基板102无间隙地进行固封。
本实施方式的有机EL元件112使用后述的制造方法制造，由于发光层具有几乎恒定的膜厚和稳定的膜形状（截面形状），所以在得到不同的发光色的功能层132R、132G、132B中可得到各自所希望的发光特性。
应予说明，本实施方式的有机EL装置100不限于底部发射型，例如还可以为下述顶部发射型的结构，即，使用光反射性的导电材料形成阳极131，使用透明的导电材料形成作为共同电极的阴极134，使有机EL元件112的发出光在阳极131反射，从密封基板102侧射出。另外，作为顶部发射型时，可以是将与有机EL元件112的发光色对应的滤色器设置于密封基板102侧的构成。此外，在密封基板102侧具有滤色器时，有机EL元件112可以是得到白色发光的构成。
发光元件的制造方法
接下来，参照图7～图9，对作为本实施方式的发光元件的制造方法的有机EL元件112的制造方法进行说明。图7是表示本实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的流程图，图8（a）～（d）和图9（e）～（i）是表示本实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的概略截面图。
如图7所示，本实施方式的有机EL元件112的制造方法至少具备：隔壁部形成工序（步骤S10）、对形成有隔壁部的基板实施表面处理的表面处理工序（步骤S20）、空穴注入层形成工序（步骤S30）、中间层形成工序（步骤S40）、发光层形成工序（步骤S50）、阴极形成工序（步骤S60）以及使形成了有机EL元件的元件基板101与密封基板102接合的密封基板接合工序（步骤S70）。应予说明，在元件基板101上形成电路部111的工序和形成与电路部111电连接的阳极131的工序，使用公知的制造方法即可，在本实施方式中省略其详细说明。
图7的步骤S10为隔壁部形成工序。如图8（a）所示，在步骤S10中，以覆盖阳极131的周围的一部分并按每个阳极131分割的方式形成隔壁部133。作为形成方法，例如，在形成有阳极131的元件基板101的表面以大约1μm～3μm左右的厚度涂布感光性的酚醛树脂或聚酰亚胺树脂。作为涂布方法，可举出转印法、狭缝涂布法等。然后，通过使用与发光像素107的形状对应的掩模进行曝光、显影，从而能够形成与发光像素107对应的隔壁部133。以下，将通过隔壁部133划分的发光像素107的区域称为膜形成区域A。然后，进行步骤S20。
图7的步骤S20为表面处理工序。在步骤S20中，对形成有隔壁部133的元件基板101的表面实施亲液处理和疏液处理。首先，进行将氧作为处理气体的等离子处理，对主要由无机材料形成的阳极131的表面实施亲液处理。接着，进行将CF4等氟系气体作为处理气体的等离子处理，在由有机材料形成的隔壁部133的表面导入氟，实施疏液处理。然后，进行步骤S30。
图7的步骤S30为空穴注入层形成工序。在步骤S30中，首先，如图8（b）所示，将含有空穴注入层形成材料的液状体75涂布于膜形成区域A。液状体75是本发明的功能层形成用油墨的一个例子，使用含有后述的成膜用的混合溶剂C且以重量比0.5%左右含有上述的p型高分子材料或低分子材料作为空穴注入层形成材料的液状体。
作为涂布液状体75的方法，使用之前说明的能够将液状体（油墨）从喷出喷头34的喷嘴56喷出的喷出装置2。使喷出喷头34与作为被加工物W的元件基板101对置，将液状体75从喷出喷头34喷出。被喷出的液状体75成为液滴着落在经亲液处理的阳极131而润湿扩展。另外，以干燥后的空穴注入层的膜厚成为大约50nm～70nm的方式作为液滴喷出相应于膜形成区域A的面积的需要量。然后，进行干燥工序。
在干燥工序中，通过用例如减压干燥和灯退火等方法对元件基板101进行干燥加热，从而干燥除去液状体75的溶剂成分，如图8（c）所示地在膜形成区域A的阳极131上形成空穴注入层132a。应予说明，在本实施方式中，虽然在各膜形成区域A形成了由相同材料形成的空穴注入层132a，但可以对应之后形成的发光层按各发光色改变空穴注入层132a的材料。然后，进行步骤S40。
图7的步骤S40为中间层形成工序。在步骤S40中，如图8（d）所示，将含有中间层形成材料的液状体80赋予于膜形成区域A。
将在中间层上形成的发光层用液体涂布法形成时，作为液状体80，例如使用含有环己基苯作为溶剂，以重量比0.25%左右含有上述的p型高分子材料或低分子材料的材料作为中间层形成材料的液状体。
另外，如图9（h）所示，用真空蒸镀法形成发光层90（90r、90g、90b）时，例如可以使用含有后述的成膜用的混合溶剂C作为溶剂，以重量比0.25%左右含有上述的p型高分子材料或低分子材料的材料作为中间层形成材料的液状体。换言之，发光层90的形成方法不限于液体涂布法，也可以使用真空蒸镀法。
作为涂布液状体80的方法，与涂布液状体75的情况同样地使用喷出装置2。以干燥后的中间层的膜厚成为大约10nm～30nm的方式作为液滴喷出与膜形成区域A的面积相应的需要量。然后，进行干燥工序。
在干燥工序中，例如通过用减压干燥和灯退火等方法干燥加热元件基板101，从而干燥除去液状体80的溶剂成分，如图9（e）所示地在膜形成区域A的空穴注入层132a上形成中间层132c。然后，进行步骤S50。
图7的步骤S50为发光层形成工序。在步骤S50中，如图9（f）所示，将含有发光层形成材料的液状体85R、85G、85B分别涂布于对应的膜形成区域A。
液状体85R、85G、85B是本发明的功能层形成用油墨的一个例子，使用含有后述的成膜用的混合溶剂C且以重量比1.5%含有上述的高分子或低分子的发光层形成材料的液状体。
涂布液状体85R、85G、85B的方法仍然使用喷出装置2，将液状体85R、85G、85B分别填充到不同的喷出喷头34，进行喷出。
发光层成膜时，使用能够将液状体85R、85G、85B向膜形成区域A不发生喷出不均且稳定地喷出需要量的液滴喷出法。以干燥后的发光层的膜厚成为大约50nm～100nm的方式作为液滴喷出与膜形成区域A的面积相应的需要量。然后，进行干燥工序。
本实施方式中的喷出的液状体85R、85G、85B的干燥工序是通过用减压干燥和灯退火等方法干燥加热来进行。通过利用液滴喷出法，在膜形成区域A均匀地涂布需要量的液状体85R、85G、85B。因此，如图9（g）所示，对于干燥后形成的发光层132r、132g、132b而言，每个膜形成区域A具有几乎恒定的膜厚。然后，进行步骤S60。
图7的步骤S60为阴极形成工序。在步骤S60中，如图9（i）所示，以覆盖隔壁部133和各功能层132R、132G、132B的方式形成阴极134。由此构成有机EL元件112。
阴极134优选组合使用上述的材料。应予说明，在功能层132R、132G、132B与阴极134之间，优选根据需要导入电子输送层、电子注入层。作为阴极134的形成方法，可举出真空蒸镀法、溅射法、CVD法等。特别是从能够防止功能层132R、132G、132B的因热的损伤的角度出发，优选真空蒸镀法。然后，进行步骤S70。
图7的步骤S70为密封基板接合工序。步骤S70中，在形成了有机EL元件112的元件基板101涂布透明的密封层135，与透明的密封基板102无间隙地进行固封（参照图6）。此外，优选在密封基板102的外周区域设置防止水分、氧等进入的粘接层而进行接合。
接下来，举出具体的实施例和比较例进一步对有机EL元件112的制造方法进行说明。
实施例1
首先，在形成有阳极层的基板上通过喷墨法形成层厚50nm～60nm的空穴注入层，真空干燥后，实施在150℃下加热的烧成处理。在此，作为空穴注入层材料，使用将属于聚噻吩衍生物的3,4-聚亚乙二氧基噻吩分散在作为分散介质的聚苯乙烯磺酸中，再将其分散在水中的而成的PEDOT/PSS（1/20）。在此，为了能够进行稳定的喷出，向属于高分子材料的PEDOT/PSS中添加高沸点溶剂。作为高沸点溶剂，可举出芳香族烃、异丙醇（IPA）、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮（NMP）、二甲基甲酰胺（DMF）、六甲基磷酰胺（HMPA）、二甲基亚砜（DMSO）、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮（DMI）及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等二元醇醚类。另外，也可以使用PEDOT/PSS/Nafion（注册商标）、聚噻吩衍生物、聚苯胺衍生物、聚吡咯衍生物等作为PEDOT/PSS以外的空穴注入材料。
接着，使用含有0.25wt%的属于高分子材料的TFB的环己基苯溶液，通过喷墨法喷出到空穴注入层上而形成中间层（空穴输送层）。然后，在减压干燥后形成膜厚为20nm的中间层（空穴输送层）。其后，在氮气环境下，在180℃加热1小时，烧成涂布膜，利用二甲苯溶剂除去TFB的可溶层，在有机溶剂中形成不溶的TFB层（中间层）。然后，使用含有1.5wt%的上述红色、绿色、蓝色低分子发光材料的混合溶剂C（非水系溶剂A＋非水系溶剂B），通过液滴喷出法（喷墨法）喷出到空穴输送层上，经减压干燥形成层厚60nm～80nm的层后，将其在氮气环境下，在160℃实施10分钟的烧成处理，形成发光层。
此外，在真空度为10-6Torr（1.33×10-4Pa）的真空下，通过真空蒸镀法层叠任意的电子输送层、电子注入层而形成阴极层。
实施例2
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的混合溶剂C（水系溶剂A＋水系溶剂B）同样地形成发光层。实施例2的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
实施例3
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的混合溶剂C（非水系溶剂A＋水系溶剂B）同样地形成发光层。实施例3的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
实施例4
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的混合溶剂C（水系溶剂A＋非水系溶剂B）同样地形成发光层。实施例4的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
实施例5
首先，在形成有阳极层的基板上通过喷墨法形成层厚50nm～60nm的空穴注入层，真空干燥后，实施在150℃加热的烧成处理。
在此，作为空穴注入层材料，使用将属于聚噻吩衍生物的3,4-聚亚乙二氧基噻吩分散在作为分散介质的聚苯乙烯磺酸中而成的PEDOT/PSS（1/20）。在此，为了能够进行稳定的喷出，向属于高分子材料的PEDOT/PSS中添加高沸点溶剂。作为高沸点溶剂，可举出芳香族烃、异丙醇（IPA）、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮（NMP）、二甲基甲酰胺（DMF）、六甲基磷酰胺（HMPA）、二甲基亚砜（DMSO）、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮（DMI）及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等二元醇醚类。另外，也可以使用PEDOT/PSS/Nafion（注册商标）、聚噻吩衍生物、聚苯胺衍生物、聚吡咯衍生物等作为除PEDOT/PSS以外的空穴注入材料。
其后，使用上述的含有0.25wt%的低分子材料的混合溶液C（非水系溶剂A＋非水系溶剂B）作为中间层形成材料，通过喷墨法喷出到空穴注入层上。然后，在减压干燥后形成膜厚为20nm的中间层。其后，在氮气环境下，在180℃加热1小时来烧成涂布膜。
接着，将红色、绿色、蓝色低分子发光材料在真空度为10-6Torr（1.33×10-4Pa）的真空下通过真空蒸镀法进行掩模蒸镀，形成发光层。接着，层叠电子输送层、电子注入层而形成阴极层。
实施例6
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的混合溶剂C（水系溶剂A＋水系溶剂B）形成中间层。实施例6的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例5相同。
实施例7
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的混合溶剂C（非水系溶剂A＋水系溶剂B）同样地形成中间层。实施例7的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例5相同。
实施例8
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的混合溶剂C（水系溶剂A＋非水系溶剂B）同样地形成中间层。实施例8的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例5相同。
上述实施例1～实施例8中，在所有功能层形成用油墨中，混合溶剂C均以0.1wt%～10wt%的范围含有溶剂A。
比较例1
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的B溶液（非水系溶剂B）形成发光层。比较例1的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例2
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的B溶液（水系溶剂B）形成发光层。比较例2的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例3
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的B溶液（非水系溶剂B）形成中间层。比较例3的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例4
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的B溶液（水系溶剂B）形成中间层。比较例4的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例5
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的A溶液（非水系溶剂A）形成发光层。比较例5的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例6
使用含有1.5wt%的实施例1的红色、绿色、蓝色低分子发光材料的A溶液（水系溶剂A）形成发光层。比较例6的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例7
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的A溶液（非水系溶剂A）形成中间层。比较例7的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
比较例8
使用含有0.25wt%的实施例5的低分子材料的中间层形成材料的A溶液（水系溶剂A）形成中间层。比较例8的有机EL元件的制造方法中的其它工序与实施例1相同。
在图10～图12中示出实施例和比较例的评价结果。另外，在图10和图11中示出了构成实施例1～实施例8中的功能层形成用油墨所含的混合溶剂C时的溶剂A和溶剂B的具体例。另外，在图12中示出了比较例1～比较例8中的功能层形成用油墨所含的非水系溶剂或水系溶剂的具体例。
根据实施例1～实施例8，与比较例1～比较例8相比，在功能层形成用油墨的干燥过程中，能够降低因各种功能层形成材料的分子间相互作用而引起的凝集的速度，由此，能够有效果地抑制凝集。因此，能够获得均匀的发光。
在比较例5～比较例8中，由于仅用高沸点且高粘度的溶剂A进行油墨化，所以溶剂A与材料的相互作用强，减压干燥后的去溶剂性变差。由此，在其后的烧成处理中，功能层形成材料迁移，结果发生凝集。因此，无法获得均匀的发光。此外，观测到因去溶剂性变差而元件特性下降。
应予说明，本实施例中，其结果是本发明的功能层形成用油墨适合应用于低分子材料，但同样也能够使用于高分子材料。
第2实施方式
电子设备
接下来，参照图13～图15对本实施方式的电子设备进行说明。
作为上述第1实施方式的发光装置的有机EL装置100可以为单色显示，另外，通过选择各有机EL元件112中使用的发光材料，也能够进行彩色显示。这种有机EL装置100能够安装于各种电子设备。
图13是表示作为电子设备的移动型（或笔记本型）的个人计算机的构成的立体图。
该图中，个人计算机1100由具备键盘1102的主体部1104和具备显示部的显示单元1106构成，显示单元1106介由铰链结构部被主体部1104可旋转地支撑。
该个人计算机1100中，具备显示单元1106的显示部由上述有机EL装置100构成。
图14是表示作为电子设备的便携式电话（也包括PHS）的构成的立体图。
该图中，便携式电话1200具备多个操作按键1202、听器1204、话器1206以及显示部。
便携式电话1200中，该显示部由上述有机EL装置100构成。
图15是表示作为电子设备的数码相机的构成的立体图。应予说明，该图中，还简单示出了与外部设备的连接。
数码相机1300通过CCD（Charge Coupled Device）等摄像元件将被摄物的光学图像进行光电转换而生成摄像信号（图像信号）。
在数码相机1300的机体（主体）1302的背面设有显示部，是基于由CCD生成的摄像信号进行显示的构成，作为将被摄物显示为电子图像的取景器而发挥功能。
在数码相机1300中，该显示部由上述的有机EL装置100构成。
在机体1302的内部设有电路基板1308。该电路基板1308设有能存放（存储）摄像信号的存储器。
另外，在机体1302的正面侧（图示的结构中的背面侧）设有包括光学透镜（摄像光学系统）、CCD等的受光单元1304。
摄影者确认显示部所显示的被摄物像，按下快门按钮1306，则这时的CCD的摄像信号被转送·存放到电路基板1308的存储器中。
另外，在该数码相机1300中，在机体1302的侧面设有视频信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。并且，如图所示，视频信号输出端子1312根据需要例如与电视监视器1430连接，数据通信用的输入输出端子1314根据需要例如与个人计算机1440连接。此外，通过规定的操作使存放于电路基板1308的存储器中的摄像信号输出到电视监视器1430、个人计算机1440。
根据以上说明的这些电子设备，由于在显示部分别具视感良好的有机EL装置100，所以能够视觉性好地确认文字、图像等信息。
应予说明，本发明的电子设备除适用于图13的个人计算机（移动型个人计算机）1100、图14的便携式电话1200、图15的数码相机1300以外，还可以适用于例如电视机、摄像机、取景器型或直接监视器型的磁带录像机、便携型个人电脑、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本（还包括附带通信功能的电子记事本）、电子词典、计算器、电子游戏机、文字处理器、工作站、电视电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、具备触摸面板的设备（例如金融机构的自动提款机、自动售票机）、医疗设备（例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电显示装置、超声波诊断装置、内窥镜用显示装置）、鱼群探测机、各种测定设备、度量仪表类（例如，车辆、飞机、船舶的度量仪表类）、飞行模拟装置、其它各种监视器类、投影仪等投射型显示装置等。
另外，在上述实施方式中说明了将有机EL装置100组装于显示部的例子，但本发明的作为发光装置的有机EL装置100不限于此，例如，也可以用作电致变色调光玻璃、电子纸、照明装置、电子照片方式的打印机的曝光装置的光源。
本发明不限于上述实施方式，在不违反从权利要求和说明书整体中得到的发明的主旨或思想的范围内能够适当变更，伴随这种变更的功能层形成用油墨和发光元件的制造方法、发光装置及电子设备也包括在本发明的技术的范围内。除上述实施方式以外，也可考虑各种变形例。以下，举出变形例进行说明。
变形例1
上述实施方式的功能层形成用油墨不限于在有机EL元件112的制造方法中使用。图16（a）是表示滤色器基板的构成的概略俯视图，同图（b）是表示滤色器基板的结构的概略截面图。如图16（a）和（b）所示，滤色器基板200具有：玻璃等透明的基材201、形成于基材201上的隔壁202以及形成于由隔壁202划分的膜形成区域上的对应于红（R）、绿（G）、蓝（B）各色的着色层203R、203G、203B。因此，用液滴喷出法涂布含有按各色准备的着色层形成材料的功能液时也能够将本实施方式的功能层形成用油墨用于作为设备的滤色器基板的制造方法。由此，能够制造具备了具有所希望的膜厚和膜形状的着色层203R、203G、203B的滤色器基板200。
符号说明
75、80、85…作为功能层形成油墨的液状体，100…作为发光装置的有机EL装置，101…作为基板的元件基板，112…作为发光元件的有机EL元件，131…作为像素电极的阳极，132a…空穴注入层，132c…中间层（空穴输送层），132r、132g、132b…发光层，132R、132G、132B…功能层，134…阴极，1100…作为电子设备的个人计算机，1200…作为电子设备的便携式电话，1300…数码相机，A…膜形成区域。

Claims (11)

1.一种功能层形成用油墨，其特征在于，是用液体涂布法形成功能层时使用的功能层形成用油墨，具有：
含有高分子材料或低分子材料的功能层形成材料和含有溶剂A和溶剂B的混合溶剂C，
所述溶剂A的粘度为0.01Pa·s～0.05Pa·s，
所述溶剂B的粘度小于0.01Pa·s，沸点低于所述溶剂A，
所述混合溶剂C的粘度小于0.02Pa·s，沸点为200℃～350℃，含有0.1wt%～10wt%的所述溶剂A。
2.根据权利要求1所述的功能层形成用油墨，其特征在于，所述溶剂A和所述溶剂B为非水系溶剂。
3.根据权利要求1所述的功能层形成用油墨，其特征在于，所述溶剂A和所述溶剂B为水系溶剂。
4.根据权利要求1所述的功能层形成用油墨，其特征在于，所述溶剂A为非水系溶剂，所述溶剂B为水系溶剂。
5.根据权利要求1所述的功能层形成用油墨，其特征在于，所述溶剂A为水系溶剂，所述溶剂B为非水系溶剂。
6.一种发光元件的制造方法，其特征在于，是具备包含有机发光层的功能层的发光元件的制造方法，
使用权利要求1～5中任一项所述的功能层形成用油墨形成所述功能层中的至少1层的有机层。
7.根据权利要求6所述的发光元件的制造方法，其特征在于，所述功能层包括空穴注入层、空穴输送层、所述有机发光层，
使用权利要求1～5中任一项所述的功能层形成用油墨形成所述空穴注入层。
8.根据权利要求6所述的发光元件的制造方法，其特征在于，所述功能层包括空穴注入层、空穴输送层、所述有机发光层，
使用权利要求1～5中任一项所述的功能层形成用油墨形成所述空穴输送层。
9.根据权利要求6所述的发光元件的制造方法，其特征在于，所述功能层包括空穴注入层、空穴输送层、所述有机发光层，
使用权利要求1～5中任一项所述的功能层形成用油墨形成所述有机发光层。
10.一种发光装置，其特征在于，具备利用权利要求6～9中任一项所述的发光元件的制造方法制造的发光元件。
11.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求10所述的发光装置。
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