CN103298616A - 胶版印刷装置 - Google Patents

Abstract

一种胶版印刷装置，其特征在于，具有：刮刀，橡皮布辊，版安装座，配置在上述版安装座上的印刷版，印刷座；上述印刷版以与印刷行进方向形成第一倾斜角的方式倾斜地配置；上述印刷座以与印刷行进方向形成第二倾斜角的方式倾斜地配置；上述刮刀以与上述印刷版不平行的方式配置；向相对于印刷行进方向倾斜第三倾斜角的方向供给被印刷体，以便图形平行地印刷在被印刷部上。

Description

胶版印刷装置

技术领域

本发明涉及能够高精度地印刷电路布线图案等以及与半导体有关的各种设备等中的微细图案的胶版印刷装置。

本申请基于2011年2月22日申请的特愿2011-035290号主张优选权并引用其内容。

背景技术

电路布线图案等以及与半导体有关的各种设备等中的电极图案，需要以极高的精度形成。以往，这样的高精度的电极图案等是通过光刻法（photolithography）形成的。但是，存在如下的问题，即，光刻法的工序复杂，而且由于形成图案而需要曝光装置以及材料损耗多等，从而导致生产能力降低且制造成本变高。

另外，作为其它方法已知丝网印刷法。与光刻法法相比，丝网印刷法能够使工序变得简单，但是难以稳定地反复形成微细图案（例如30μm以下的线图案）。

鉴于这样的问题，近几年，在形成电极等微细图案时采用胶版印刷法。利用胶版印刷法的印刷装置具有：版台，形成有印刷图案；刮刀（doctorblade），向该版的画线部分供给墨水；橡皮布辊（blanket roll），一边与版相接触一边进行滚动且接受墨水。被橡皮布辊接受的墨水，能够在印刷台上，在玻璃基板等表面上形成规定的微细图案。（例如，参照下述的专利文献1、2）

但是，近几年要求超微细的图案形成精度，即使利用上述的胶版印刷法，也在形成微细图案的图形尤其形成组合直线而成的图形的情况下，存在印刷品质降低的情况。这样的问题是不能忽视的重大的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-289731号公报

专利文献2：日本特开2010-42553号公报

发明内容

发明所要解决的问题

作为因微细图案的图形而产生的印刷品质降低的原因如下，即，在凹版胶版印刷的情况下，在利用刮刀在版台上将墨水刮到版上时，若刮刀配置的方向和形成在版上的图形所包含的直线部的方向（横向）一致，则刮刀可能陷入版的直线部。结果，大多数情况下在玻璃基板等被印刷物表面上形成微细图案时的精度降低。另外，整体上使平版或者凸版胶版印刷的印刷品质降低的原因是，从版向橡皮布转印图形时，在版上横向形成的直线部因拉丝现象的影响而不能原样地转印到橡皮布上。结果，印刷品质降低的情况多。

作为防止该刮刀陷入图形中的现象的方法，存在如下方法，即，将刮刀相对于版（图形）倾斜地设置，以图形的横向的直线部和刮刀不平行的方式配置，从而防止陷入现象。另外，还有平形地设置刮刀且倾斜地设置版（图形）来防止向图形陷入的方法。另外，在从版向橡皮布转印图形时，作为应对因拉丝现象而横向的线不能原样地转印的对策，存在倾斜地设置版来防止墨水的拉丝现象的方法。

图3A至图3C表示考虑了上面说明的对策法的利用胶版印刷法的印刷装置的代表性的结构例。图3A是俯视图，图3B是侧视图，图3C示出印刷图形之后的薄膜。

下面，说明印刷工序的概略。

胶版印刷装置1具有：具备刮刀5和橡皮布辊15的台车10；版台20；印刷台30；被印刷物（这里为薄膜40）。在此，如图3A所示，刮刀5、印刷版（版）60以及印刷图形（图形）65相对于箭头所示的印刷方向倾斜地设置。

在附图右端所示的台车10上设置的刮刀5移动至附图左边所示的版台端5a，并向设置在版安装座25上的版60供给墨水。接着，橡皮布辊15在版60上进行滚动，从而将版60的图形转印到橡皮布辊15的表面上。

接着，该橡皮布辊15向印刷台30移动，并且一边在被印刷物（这里为薄膜40）的表面上进行滚动一边移动至15b的位置，从而将转印的图形印刷在薄膜40上。10b表示从印刷装置1的右端向左端移动后的台车。

在印刷台30上结束向薄膜40印刷之后，送出薄膜40的一个间距的量，并在印刷台30的印刷座35上的规定的位置固定薄膜40，准备下一次印刷。下面，反复进行同样的工序来向薄膜40印刷。在此，2、3表示印刷装置的架台框架，41表示被印刷的薄膜，55、56表示薄膜40的供给线保持辊。另外，虽然未图示台车10、刮刀5以及橡皮布辊15，但是具有向水平方向移动的移动单元和向垂直方向移动的升降单元。

这样，当倾斜地设置刮刀5和版60并向薄膜40等印刷时，能够解决以往一直发生的印刷品质降低的问题。但是，如图3C所示，相对于薄膜40倾斜地印刷图形65，因此使切割印刷的薄膜41时的薄膜41的长度L变长。因此，产生薄膜40的成品率降低且制造成本变高的问题。另外，在向在前一工序中进行了一次印刷的薄膜41进行多次印刷的情况下，还产生与倾斜印刷的一次图形之间的对位问题，从而使生产能力降低。

本发明是为了解决上述的以往的胶版印刷法的问题而提出的，其提供一种能够防止印刷精度降低，能够不使生产能力降低且制造成本低廉，另外能够进行高精度的微细印刷的胶版印刷装置。

用于解决问题的手段

在本发明的一个方式的胶版印刷装置中，具有：刮刀，胶印辊，版安装座，配置在上述版安装座上的印刷版，印刷座；上述印刷版以与印刷行进方向形成第一倾斜角的方式倾斜地配置；上述印刷座以与印刷行进方向形成第二倾斜角的方式倾斜地配置；上述刮刀以与上述印刷版不平行的方式配置；以使图形平行地印刷在被印刷部上的方式，向相对于印刷行进方向倾斜第三倾斜角的方向供给被印刷体。

另外，在本发明的一个方式的胶版印刷装置中，优选上述印刷版的第一倾斜角和上述印刷座的第二倾斜角是相同的倾斜角。

另外，在本发明的一个方式的胶版印刷装置中，优选上述刮刀以相对于印刷行进方向形成第四倾斜角的方式倾斜地配置。

另外，在本发明的一个方式的胶版印刷装置中，优选上述被印刷体的供给方向与印刷行进方向大致垂直。

另外，在本发明的一个方式的胶版印刷装置中，优选能够将上述刮刀、上述版安装座和上述印刷座倾斜的角度以及供给上述被印刷体的角度分别调整为任意的角度。

发明的效果

在本发明的胶版印刷装置中，印刷版以及印刷座与印刷行进方向形成规定的倾斜角，另外刮刀与印刷版不平行，因此能够防止印刷精度降低。而且，根据本发明，图形平行地被印刷在被印刷部上，因此能够使逐张地切断在薄膜上印刷的图形时的薄膜的长度变短，从而能够使薄膜的成品率提高，且能够降低制造成本。

另外，根据本发明，能够向与印刷行进方向大致垂直的方向供给薄膜，因此能够应对各种图形图案，并且能够根据前后的印刷工序和机械配置来构成自由的装置结构。

另外，根据本发明，能够以使各种图形图案变为最佳的方式，可变地调整刮刀、印刷版、图形所配置的角度以及供给薄膜的角度，因此能够始终选定印刷品质良好的印刷条件。

附图说明

图1A表示与本发明的微细图案印刷有关的第一实施方式的装置，是示出相对于印刷方向倾斜地供给薄膜的装置结构的俯视图。

图1B表示与本发明的微细图案印刷有关的第一实施方式的装置的侧视图。

图2A表示与本发明的微细图案印刷有关的第二实施方式的装置，是示出向与印刷方向大致垂直的方向供给薄膜的装置结构的俯视图。

图2B表示与本发明的微细图案印刷有关的第二实施方式的装置的侧视图。

图2C表示与本发明的微细图案印刷有关的第二实施方式的装置的主视图。

图3A是示出作为本发明的对象的与微细图案印刷法有关的以往装置的俯视图。

图3B表示作为本发明的对象的与微细图案印刷法有关的以往装置的侧视图。

图3C表示在作为本发明的对象的与微细图案印刷法有关的以往装置中印刷了图形之后的薄膜。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明的微细图案印刷装置的优选的实施方式进行说明。图1A以及1B表示本发明的微细图案印刷装置的第一实施方式。图1A是俯视图，图1B是侧视图，并且它们表示装置的概略结构。此外，对于与图3所示的以往的胶版印刷装置1相同的构件，标注相同的附图标记并省略说明。

本发明的第一实施方式的微细图案印刷装置100是胶版印刷装置，如图示那样，刮刀5相对于俯视时的箭头所示的印刷方向倾斜地设置。刮刀5的安装角度-α是相对于与印刷方向垂直的线向顺时针方向倾斜的角度（第四倾斜角）。另外，版安装座25上的版60也以在俯视时相对于印刷方向倾斜的状态设置（第一倾斜角）。更具体地，如图示那样，版60以相对于与印刷方向垂直的线向逆时针方向形成倾斜角+β（下面，记成β）的方式倾斜地设置。在此，刮刀5的倾斜角-α和版60等的倾斜角β不一致且版60和刮刀5不平行这一点是重要的。此外，刮刀5只要在最佳的能够供给墨水的倾斜角为-α且在倾斜方向上适当地设置即可。

接着，在版60以相对于与印刷方向垂直的线向逆时针方向形成倾斜角β的方式倾斜的状态下，向橡皮布辊15上转印版60。橡皮布辊15以与印刷方向垂直的方式配置，并且橡皮布辊15的移动方向与箭头所示的印刷方向平行。接着，橡皮布辊15移动至印刷台30，并向固定在印刷座35上的薄膜40上印刷转印的版（图形）。在此，印刷座35与俯视时的箭头所示的印刷方向倾斜地配置（第二倾斜角），在本实施方式中，相对于与印刷方向垂直的线倾斜与版60的倾斜角度相同的角度。即，版60和印刷座35平行。另外，供给的薄膜40也如图示那样，薄膜40的宽度方向相对于与印刷方向垂直的线倾斜地配置（第三倾斜角）。在本实施方式中，薄膜40以相对于与印刷方向垂直的线向逆时针方向形成倾斜角β的方式倾斜，并且平行地进行供给，另外固定在印刷座35上。

因此，如图示那样，印刷图形65相对于薄膜40平行地被印刷。因此，在用切断刀70逐张地切断印刷后的薄膜41时，能够相对于图形端面平行地切断薄膜41，或者相对于薄膜端面垂直地切断薄膜41。如图示那样，印刷图形65相对于薄膜40平行地被印刷，因此与图3C所示的印刷图形65相对于薄膜40倾斜地被印刷的情况相比，能够使切割印刷的薄膜41时的薄膜41的长度L变短。结果，提高薄膜41的成品率。在此，55是薄膜供给线保持辊。另外，45是切断成单张的被印刷物。

图2A至图2C表示本发明的微细图案印刷装置的第二实施方式。图2A是俯视图，图2B是侧视图，图2C是主视图，并且它们表示装置的概略结构。对于与图1所示的第一实施方式的微细图案印刷装置100以及图3所示的以往的胶版印刷装置1相同的构件，标注相同的附图标记并省略说明。

本发明的第二实施方式的微细图案印刷装置200与第一实施方式所示的微细图案印刷装置100同样是胶版印刷装置。在第一实施方式所示的微细图案印刷装置100中，版安装座25以其宽度方向与俯视时（图1A）的箭头所示的印刷方向垂直的方式配置。而在第二实施方式所示的微细图案印刷装置200中，版安装座25、印刷座35相对于俯视时（图2A）的箭头所示的印刷方向倾斜，并且如图示那样，以相对于与印刷方向垂直的线向逆时针方向形成倾斜角β的方式倾斜地设置。另外，设置在版安装座25上的版60以相对于俯视时的印刷方向与版安装座25的倾斜角度相同的角度设置，并且版60和版安装座25平行。另外，刮刀5的安装角度+γ（下面，记成γ），相对于与印刷方向垂直的线向逆时针方向倾斜。在本实施方式中，刮刀5的安装角度γ和版60的倾斜角β不同，并且版60和刮刀5不平行。

在上述结构中，版60设置在版安装座25上且以成为与版安装座25相同的倾斜角β的方式倾斜地设置，版60的墨水转印到橡皮布辊15上。橡皮布辊15以与印刷方向垂直的方式配置，并且橡皮布辊15的移动方向与箭头所示的印刷方向平行。接着，橡皮布辊15移动至印刷台30，并且在固定于印刷座35的薄膜40上进行印刷。另一方面，供给至印刷座35的薄膜40通过图2A所示那样的装置结构向与印刷方向大致垂直的方向移动。在此，印刷座35以与版60平行且形成倾斜角β的方式倾斜地配置。另外，如图示那样，供给的薄膜40也以薄膜40的长度方向相对于与印刷方向垂直的线形成倾斜角β的方式倾斜，并且平行地进行供给，另外固定在印刷座35上。因此，如图示那样，印刷图形65平行地被印刷在薄膜41上。

此外，与第一实施方式相比，印刷图形65被配置的方向改变90°。因此，能够逐张地相对于图形端面平行地切断印刷后的薄膜41，或者相对于薄膜端面垂直地切断印刷后的薄膜41。另外，如图示那样，印刷图形65相对于薄膜40平行地被印刷。因此，与图3C所示的印刷图形65与薄膜40倾斜地被印刷的情况相比，能够使切割印刷的薄膜41时的薄膜41的长度L变短。结果，提高薄膜41的成品率。另外，向与印刷方向大致垂直的方向供给薄膜，因此能够根据前后的印刷工序或者机械配置来构成自由的装置结构。

在本发明的第三实施方式的装置结构中，能够可变地调整图1A、图1B、图2A、图2B、图2C所示的刮刀5、版安装座25、印刷版60、印刷座35以及供给薄膜等的倾斜角度-α、β以及γ。通过具有这样的装置结构，能够针对各种图形图案始终选定印刷品质良好的最佳印刷条件。此外，倾斜角-α、β、以及γ优选能够根据图形在5°至45°的范围内可变调整。在使用时，刮刀5与印刷版60不平行。另外，橡皮布辊15和印刷版60不平行。而且，印刷版60和印刷座35平行。而且，使薄膜40的供给角度成为与印刷版60的倾斜角度相同或者垂直的倾斜角度。通过这样的结构，防止印刷精度降低，而且在不降低生产性的条件下进行低廉且高精度的微细印刷。

产业上的可利用性

本发明能够优选利用于能够高精度地印刷电路布线图案等以及与半导体有关的各种设备等中的微细图案的胶版印刷装置中。

附图标记的说明

1 胶版印刷装置

2 印刷装置的架台框架

3 印刷装置的架台框架

5 刮刀

10 台车

15 橡皮布辊

20 版台

25 版安装座

30 印刷台

35 印刷座

40 印刷前的薄膜

41 被印刷的薄膜

45 切割成单张的印刷物

55 薄膜搬运线保持辊

56 薄膜搬运线保持辊

60 版（印刷版）

65 印刷图形

70 薄膜切断刀

100 胶版印刷装置

200 胶版印刷装置

α、β、γ 倾斜角度

Claims (5)

1.一种胶版印刷装置，其特征在于，

具有：

刮刀，

橡皮布辊，

版安装座，

配置在上述版安装座上的印刷版，

印刷座；

上述印刷版以与印刷行进方向形成第一倾斜角的方式倾斜地配置，

上述印刷座以与印刷行进方向形成第二倾斜角的方式倾斜地配置，

上述刮刀以与上述印刷版不平行的方式配置，

以使图形平行地印刷在被印刷部上的方式，向相对于印刷行进方向倾斜第三倾斜角的方向供给被印刷体。

2.根据权利要求1所述的胶版印刷装置，其特征在于，上述印刷版的第一倾斜角和上述印刷座的第二倾斜角是相同的倾斜角。

3.根据权利要求1或2所述的胶版印刷装置，其特征在于，上述刮刀以相对于印刷行进方向形成第四倾斜角的方式倾斜地配置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的胶版印刷装置，其特征在于，上述被印刷体的供给方向与印刷行进方向大致垂直。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的胶版印刷装置，其特征在于，能够将上述刮刀、上述版安装座和上述印刷座倾斜的角度以及供给上述被印刷体的角度，分别调整为任意的角度。

Images