CN103153494B - 干式清洁壳体、干式清洁设备和干式清洁方法 - Google Patents

干式清洁壳体、干式清洁设备和干式清洁方法 Download PDF

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Abstract

一种干式清洁壳体（10），其导致清洁介质（PC）被气流散射并使得清洁介质（PC）与清洁对象（CO）形成接触，以对该清洁对象（CO）进行清洁。所述干式清洁壳体（10）包括其中散射所述清洁介质（PC）的内部空间；与清洁对象（CO）形成接触以导致清洁介质（PC）与该清洁对象（CO）碰撞的开口（10E）；将空气从外侧供给到所述内部空间的通风路径（10F）；吸取经通风路径（10F）引入所述内部空间的空气以在所述内部空间中产生旋转气流的吸取口；以及允许从所述清洁对象（CO）上去除的物质穿过的多孔单元（10C）。

Description

干式清洁壳体、干式清洁设备和干式清洁方法
技术领域
本发明涉及一种干式清洁壳体、干式清洁设备和干式清洁方法。
背景技术
不利用清洁液而相对于有待清洁对象（下面也称为清洁对象）进行清洁操作的已知的干式清洁方法包括通过气流使得粒状清洁体飞散并使其与清洁对象接触，用于清洁（专利文件1和2）。此外，已知的设备利用薄片状清洁体执行干式清洁操作（专利文件3和4）。
根据专利文件1和2中描述的干式清洁操作，如海绵材料和化学粘土材料的柔性材料被用作粒状清洁体的材料。因此，当清洁体与清洁对象碰撞接触时所导致的在清洁对象上的冲击相对小，并且清洁对象的前表面不易于被损坏。但是，难于消除牢固固定到清洁对象上的污迹并且需要长时间进行充分的清洁操作。
此外，根据专利文件2中描述的干式清洁操作，清洁体通过筛网元件与清洁对象形成接触。因此，除了清洁体是柔性的外，干式清洁操作显然不适于执行相对于牢固固定污迹的清洁操作。
至于成像设备而言，通常被热量熔化的调色剂牢固固定到利用调色剂颗粒的干式显影装置的显影单元上，从而消除这种牢固固定的调色剂的清洁操作在检修时或者回收过程中是需要的。
此外，在流动焊接槽过程中使用的成为浸渍托盘或者载体托盘的掩模夹具被涂覆有焊剂。但是，当涂覆的焊剂累积并固化时，用于有待焊接的对象的遮挡的精度下降，并因此阻挡充分的流动焊接。因此，需要消除牢固固定到掩模夹具上的焊剂的清洁操作。
由于牢固固定的调色剂或焊剂的固定强度相当强，难于通过利用专利文件1和2中所描述的柔性清洁剂的干式清洁操作来消除它们。
专利文件3和4中描述的干式清洁操作能够实现优异的清洁效果，即使调色剂或焊剂牢固固定到清洁对象上。
但是，根据专利文件3中所描述的干式清洁操作，清洁对象设置在封闭的清洁池中，并且薄片状清洁体飞散而执行清洁操作。因此，能够清洁的清洁对象被局限于能够设定在清洁池中的对象。
此外，根据专利文件4中所描述的干式清洁操作，清洁单元本身小到一定程度，但是清洁设备本身易于尺寸增大。
专利文件1：JP-A-60-188123
专利文件2：JP-A-4-83567
专利文件3：JP-A-2007-29945
专利文件4：JP-A-2009-226394
发明内容
本发明可以提供一种新型干式清洁设备，其能够满意地消除牢固固定到清洁对象上的污迹，并提供一种利用该干式清洁设备的干式清洁方法，以及用在干式清洁设备中的干式清洁壳体。
根据本发明的一个方面，提供了一种干式清洁壳体，其导致清洁介质被气流散开，并且使得清洁介质与清洁对象相接触来清洁该清洁对象。所述干式清洁壳体包括内部空间，所述清洁介质在该内部空间散开；开口，该开口被构造成与清洁对象形成接触以导致清洁介质与清洁对象碰撞；通风路径，该通风路径被构造成将空气从外侧供给到所述内部空间；吸取口，该吸取口被构造成吸取通过所述通风路径引入到所述内部空间的空气，以在所述内部空间内侧产生旋转气流；以及多孔单元，该多孔单元被构造成允许从所述清洁对象上去除的物质穿过。
附图说明
图1是描绘干式清洁设备的第一实施方式的视图；
图2A和2B是用于描绘如图1所示的根据第一实施方式的清洁操作的视图；
图3是用于描绘干式清洁设备的另一实施方式的视图；
图4是用于描绘通过干式清洁设备进行干式清洁操作的实施例的视图；
图5是用于描绘与图4所示的清洁操作的实施例相关的部分的视图；
图6是用于描绘图4和5所示的清洁操作的过程的流程图；
图7是示出通过测量在开口被打开时入口的流量/开口关闭时入口的流量所获得的结果的实例的曲线；
图8是用于描绘干式清洁设备的另一实施方式的视图；
图9A到9C是用于描绘干式清洁设备的再一实施方式的视图；
图10A到图10C是用于描绘干式清洁设备的又一实施方式的视图；
图11是用于描绘干式清洁设备的再另一个实施方式的视图；
图12是用于描绘干式清洁设备的再另一个实施方式的视图；
图13是用于描绘干式清洁设备的再另一个实施方式的视图；
图14A和14B是用于描绘干式清洁设备的再另一个实施方式的视图；
图15A和15B是示出清洁壳体的改进形式的视图；
图16A和16B是用于描绘干式清洁设备的再另一个实施方式的视图；
图17A和17B是示出安装件从开口上拆卸的状态的视图；
图18A至18C是示出入口的改进形式的透视图；
图19是安装到入口上的安装件的透视图；
图20A至20E是示出相应安装件的结构的相关部分横截面图；
图21A和21B是示出当使用图20C和20D所示的安装件时通过入口的气流角度变化的状态的视图；
图22A至22D是示出薄片状清洁介质与清洁对象碰撞接触时的样式的示意图；以及
图23是示出相应清洁介质的机械特性的分布的曲线。
具体实施方式
接着，描述本发明的实施方式。
图1是用于描绘干式清洁设备的第一实施方式的视图。
在图1中，附图标记10表示干式清洁壳体。下面，干式清洁壳体简称为壳体。
如从图1中的上部视图和下部视图清楚所见，壳体10形成为在方向上相反的锥状中空体在其底面连接到一起。在图1的下部视图中，附图标记10A所表示的部分称为上部壳体，而附图标记10B所表示的部分称为下部壳体。这种标示是用于方便的缘故，而不需要与实际的上部和下部方向关联。
上部壳体10A和下部壳体10B是一体形成的。
壳体10的材料没有特别限制，而是壳体10优选地由金属物质，如铝或者不锈钢制成，以便防止外来物质的粘附以及因为与清洁介质的摩擦而被消耗。另外，壳体10也可以通过树脂模制等利用树脂形成。
此外，壳体10的内表面优选地是光滑的，以便减小壳体10内侧的旋转气流的衰减，这也应用于下面描述的其他实施方式。
在上部壳体10A和下部壳体10B之间，在壳体10A和10B的底面处设置板状多孔单元10C。下面，多孔单元10C称为“分离板10C”。
在上部壳体10A的内侧，筒状的内部圆柱元件10D设置为壳体10的一部分，以利用上部壳体10A的锥轴线为公共轴线，并且图1中的内筒件10D的下部与分离板10C接触。
下部壳体10B的顶部（图1的下部）是柱形开口的，以形成吸取口并通过吸取通道20B连接到吸取设备20A。
吸取设备20A和吸取通道20B构成吸取单元。作为吸取设备20A，真空马达、真空泵、通过气流或水蒸气产生低压的物体等都可以按需要使用。
吸取通道20B可以是保持其给定形状的固定类型的，或者可以任意折叠流动路径的类型。
上部壳体10A在其靠近底面的部分具有柱状，并且开口10E形成在柱状部分的一部分中。开口10E是通过用平行于圆柱轴线的平面横截面切割柱状部分而获得的形状，并形成为矩形形状。
此外，该柱状部分被中空柱10E刺穿，且该中空柱10F与上部壳体10A成一体。
下面，中空柱10F被称为入口10F。
入口10F平行于分离板10C，其纵向相对于上部壳体10A的柱状部分的径向倾斜，具有基本上平行于内筒件10D的圆周面的切向线的方向，并且具有开放于上部壳体10A的出口，以便面对开口10E。
换言之，入口10F的内侧形成通风路径。
在这个实施方式中，入口是单个的。但是，也可以布置两个或多个入口，这取决于壳体的形状和尺寸。
分离板10C是盘状元件，如具有孔等的冲压金属，并且设置在下部壳体10B和上部壳体10A之间的边界处，以将上部壳体10A的内侧与下部壳体10B的内侧分隔开，如图1的下部视图所示。
分离板10C不局限于上面那种，而是仅需要为多孔形式，具有直径不允许清洁介质穿过但是允许空气和灰尘（从清洁对象上分离的污迹）穿过的精细孔。精细孔的形状不局限于圆形，而是可以为狭缝。而且，可以使用筛网状的板，作为分离板10C。
分离板10C仅需要具有平滑的表面，并且树脂、金属等都可以被适当地选择作为分离板10C的材料。
在图1的上部视图中，附图标记PC表示薄片状清洁件，并且薄片状清洁件PC的集合形成清洁介质。
接着参照图2A和2B，描述利用如上所述构造的干式清洁设备对清洁对象进行清洁的操作（即，清洁操作）。
在图2A和2B中，上部和下部视图以类似于图1的方式示出了参照图1所描述的干式清洁设备。图2B示出吸取单元在开口10E打开的状态下执行吸取操作的状态，而图2A示出开口10E被清洁对象CO的前表面封闭的状态。
在清洁操作之前，清洁介质PC被保持在干式清洁壳体10的上部壳体10A的内侧。为此目的，适当量的薄片状清洁件PC经过形成在上部壳体10A内的开口10E根据适当的方法被吸入上部壳体10A中。
例如，如图2B所示，吸取设备20A被驱动以将壳体内侧的空气从下部壳体10B的一侧经吸取管道20B吸取，由此导致上部壳体10A内侧的压力为负压。于是，利用负压所产生的气流AF（图2B中的上部视图），可以将理想量的清洁件PC经开口10E吸入到上部壳体10A中，并且将清洁介质吸取到上部壳体10A内。
如图20的下部视图所示，如此吸取的清洁介质被吸到作为多孔单元的分离板10C上并保持在上部壳体10A的内侧。
由于上部壳体10A内侧的空气被吸取单元所吸取并且上部壳体10A内侧的压力变成负压，壳体外侧的空气经入口10F被引入到上部壳体10A。但是，此时入口10F内侧流动的空气在流速和流量上较小。因此，在壳体内侧产生的旋转气流不会具有足以导致清洁介质散开的能量。
吸入到上部壳体10A内侧的薄片状清洁件PC如上所述附着到分离板10C上并且封闭分离板10C的孔。因此，随着吸入的清洁件PC的量的增多，分离板10C的允许空气通过的孔的总面积逐渐减小，并因此吸取力减小。
于是，当特定量的清洁件PC被吸入到上部壳体10A内时，清洁件PC的吸取操作基本上停止。
从而，清洁件PC根据吸取单元的吸取性能而被吸入上部壳体10A内并且保持在那里作为清洁介质。
当清洁介质如上所述被保持在上部壳体10A内时，清洁对象CO的前表面（应被清洁并且其上粘附污迹的前表面）与上部壳体10A的开口10E形成紧密接触，如图2A所示。
当开口10E被清洁对象CO的前表面封闭时，通过开口10E的吸取操作被停止。因此，上部壳体10A内侧的负压快速升高，通过入口10F吸入上部壳体10A内的空气的流量和流速增加，并且空气被直接进入入口10F内侧并经入口10F的出口而作为强气流吹到上部壳体10A内。
吹入的气流导致保持在分离板10C上的清洁件PC朝向封闭开口10E的清洁对象CO的前表面散开。
作为旋转气流RF，气流沿着上部壳体10A的内壁环形流动，并且其中一些通过分离板10C的孔被吸取单元吸取。
当如上所述在上部壳体10A内侧环形流动的旋转气流RF返回到入口10F的离开端(exit)时，经入口10F引入到上部壳体10A内侧并且从入口的离开端吹出的气流与旋转气流RF汇合并加速，由此，在上部壳体10A内侧产生稳定的旋转气流RF。
作为清洁介质的清洁件PC通过旋转气流在上部壳体10A内侧旋转，并且与清洁对象CO的前表面（污迹）反复形成碰撞接触。由于清洁件PC和清洁对象CO的前表面之间的碰撞的冲击，污迹从清洁对象CO的前表面分离，作为微小颗粒或粉末。
被分离的污迹被吸取单元经分离板10C的孔排出到干式清洁设备的外侧。
上部壳体10A内侧产生的旋转气流RF使其旋转轴正交于分离板10C的前表面（在上部壳体10A一侧上的表面），并且旋转气流RF沿着平行于分离板10C的前表面的方向流动。
从而，旋转气流RF横向吹到分离板的前表面上吸附的清洁件PC上并且在清洁件PC和分离板10C之间穿过，这带来了吸附在分离板10C上的清洁件PC与分离板10C分离并且在此散射的效果。
此外，当开口10E被封闭时，在上部壳体10A内侧的负压增加并且接近下部壳体10B内侧的负压，这带来将清洁件PC吸附到分离板10C的前表面上的力减小并且进一步有利于清洁件PC的散射的效果。
该效果被称为清洁介质吸取和散射效果。
旋转气流RF在特定方向上被加速。因此，易于产生高速气流并且清洁件PC的高速运动被促进。此外，旋转气流在上部壳体内侧被旋转很多次，直到它被多孔单元吸附。因此，根据气流模拟发现旋转气流的流量达到通过通风路径流动的空气的流动量的五到六倍。由于流量较大，能够导致大量的清洁介质散射。高速旋转和移动的清洁件PC不容易被吸附到分离板10C上，并且附着到清洁件PC上的污迹通过离心力易于从清洁件PC上分离。
图3以与图1所示的实施方式类似的方式示出了干式清洁设备的另一实施方式，并且不会引起混淆的部件用与图1中的相同的附图标记标示，以便避免复杂的描述。
在图3所示的实施方式中，干式清洁壳体30具有一体形成的上部壳体30A和下部壳体30B、作为多孔单元的分离板30C以及入口30F。
在这个实施方式中，干式清洁壳体30的下部壳体30B具有锥形漏斗形状，类似于图1所示的干式清洁设备10的下部壳体10B，并且下部壳体30B的下部是柱状开口的，以形成吸取口，并经吸取管道20B连接到吸取设备20A。吸取设备20A和吸取管道20B构成吸取单元。
上部壳体30A具有筒状，开口30E形成在筒状的周边表面上。在上部壳体30A的内侧，设置了筒形的内筒件30D，作为壳体30的一部分，它与上部壳体30A的圆柱轴线具有公共轴线，并且内筒件30D的下部与分离板30C形成接触。
分离板30C类似于图1所示的实施方式的分离板10C。
上部壳体30A被作为通风通道的入口30F穿过，并且入口30F与上部壳体30A成一体。
入口30F类似于图1所示的实施方式的入口10F，平行于分离板30C，其纵向相对于上部壳体30A的径向倾斜，具有基本上平行于内筒件30D的圆周面的切线的方向，并且其离开端开在上部壳体30A内以便面对开口30E。
在图3所示的实施方式中，入口是单一的。但是，取决于壳体的形状和尺寸，也可以设置两个或多个入口。
以类似于图1所示的实施方式的方式，吸取设备被驱动，以将清洁件PC吸入到上部壳体10A内。于是，在清洁介质被保持在上部壳体30A内之后，当开口30E被清洁对象（未示出）的前表面封闭时，通过经由入口30E吸取的外侧空气，在上部壳体30A内产生旋转气流，并且清洁介质的清洁件PC以类似于图1所示的方式散射。从而，以与上述类似的方式执行清洁操作。
图1所示的实施方式和图3所示的实施方式不同之处在于各自构成干式清洁设备的干式清洁壳体的上部壳体的形状。
图1所示的实施方式的上部壳体10A具有锥形形状，而图3所示的实施方式的上部壳体30A具有筒形形状。在每一种情况下，在上部壳体内侧可以产生稳定的旋转气流。
在具有图1所示的实施方式的锥状的上部壳体10A的情况下，旋转气流平行于分离板10C产生。此时，在靠近锥形内部空间的顶部的部分处发生空气停滞，这反过来起到缓冲的作用，并稳定在靠近分离板10C的前表面的部分处的旋转气流。
此外，在图1和3所示的实施方式中，内筒件10D和30D设置在上部壳体内。该内筒件具有减小旋转气流在上部壳体内的作为气流的横截面积的功能并且在该横截面积被减小时增加旋转气流的流速。
图4示出通过图1所示的实施方式的干式清洁设备进行清洁操作的实施例。
清洁对象是上述用在流动焊接槽过程中的浸渍托盘并由附图标记100来标示。
浸渍托盘100具有掩膜开口101、102和103。并且焊剂Fl沉积并固化在掩膜开口的孔的周围。沉积和固化的焊剂FL是应该被去除的污迹。
如图4所示，操作者用他/她的手握住干式清洁壳体的下部壳体10B和吸取通道20B之间的连接处，并且在吸取状态下将上部壳体10A的开口10E压在要被清洁的区域上。
由于开口10E被压在要被清洁的区域上，上部壳体10A被抽吸，并且清洁介质的清洁件PC被吸入到分离板10C上。因此，虽然开口10E如图4所示那样指向下，上部壳体10A内侧的清洁件PC不会泄漏到外侧。无需说的是，在开口10E压在要被清洁的区域上之后，壳体处于气密状态并因此清洁介质不会泄漏。
当开口10E压在要被清洁的区域上时，经入口10F引入的气流快速增加。然后，在上部壳体10A的内侧产生强的旋转气流RF，引入分离板10C的清洁件PC被散射并且与浸渍托盘100上的附着并固化到要被清洁的区域上的焊剂FL形成撞击-接触。从而，焊剂FL被去除。
如上所述，操作者用他/她的手握持壳体10，并且相对于浸渍托盘100连续移动壳体10，以完全消除附着并固化的焊剂FL。
在图4所示的状态下，浸渍托盘100的掩膜开口101的周边已经被清洁，而掩膜开口102的周边正在被清洁。
即使在操作者相对于要被清洁的区域移动开口时开口离开要被清洁的区域，由于上述的清洁介质抽吸和散射效果，清洁件PC也不会泄漏到壳体的外侧。因此，构成清洁介质的清洁件PC的量得以维持，使得不会发生由于清洁介质的量减少而造成清洁性能下降。
优选地是提高开口10E和要被清洁的区域之间的附着，但在图4所示的情况下不可能完全封闭浸渍托盘100的掩膜开口以及周边端部。
在这种情况下，柔性且粗糙材料，如氯乙烯和橡胶制成的片150设置在浸渍托盘100的后表面上，如图5所示，并且壳体被布置在浸渍托盘100的掩膜开口的周边，以封闭浸渍托盘100的掩膜开口。由此，清洁焊剂FL的效率会进一步得到提高。
于是，在清洁要被清洁的区域的掩膜开口附近的端部时，柔性片150被壳体的抽吸操作而变形，并且壳体的开口10E被封闭。因此，壳体内侧的气密性得以增强，并且清洁介质的清洁件PC被高效加速。于是，满意地清洁了要被清洁的区域。
如果诸如橡胶的密封元件10G设置在开口10E的周边上，则可以进一步提高壳体内侧的气密性。
清洁介质在反复使用过程中通过在清洁介质与要被清洁的区域形成碰撞-接触时造成的冲击而逐渐破裂，并且被吸取单元的吸取设备20A与从浸渍托盘100上的要被清洁的区域上去除的焊剂（污迹）一起吸取并收集。因此，如果干式清洁设备使用较长时间周期，在壳体内侧保持的清洁介质量会减小。
在这种情况下，操作者将开口10E带到新的一组清洁件附近，以将其吸取和补充到壳体内。此时，仅吸取可以被吸附到分离板10C上的清洁介质量。因此，吸取适当量的清洁件并且容易执行清洁介质的补充。
图6是示出上述清洁操作的过程的流程图。
在该流程图中，步骤“启动吸取设备”表示吸取设备20A的启动，并且步骤“吸取清洁介质以用于补充”表示构成清洁介质的清洁件PC被吸取并补充到上部壳体10A内。此外，“清洁对象”表示清洁对象。
步骤“将开口从清洁对象移开”是在要被清洁的区域改变时或者在清洁操作结束时执行的，并且清洁设备在清洁结束时，即在清洁操作结束时停机。
当“清洁还未结束”时，确认清洁介质的剩余。如果剩余是不充分的，执行步骤“吸取清洁介质以用于补充”。另一方面，如果剩余是充足的，壳体（的开口）被移动到“下一个清洁对象”，即，要被清洁的区域。
在上述实施方式中，在产生旋转气流的周期内，仅通过入口引入的空气被流入，并且与开口打开的状态相比流量减小。因此，在长时间且连续操作的情况下，吸取设备20A处于过载状态，这反过来导致吸取设备20A“咬死(seizure)”等。
为了防止这种问题，优选地是提供安全阀，用于在壳体内侧的负压的减小状态保持特定时间或更长时，将下部壳体和管道释放于空气。
此外，如果清洁介质是易于堵塞分离板类型的，有效地是在分离板的前表面上形成小的凸起部分，以在清洁介质和分离板之间形成间隙，从而有利于旋转气流吹入到该间隙中。从而，使得清洁件PC的散射更容易。
如上所述，根据本发明的实施方式的干式清洁设备采用在壳体的开口打开时构成清洁介质的清洁件被分离板两侧之间的压差吸附到分离板上并且在开口封闭时清洁件被旋转气流散射的现象。
产生这种现象的效果被称作“清洁介质抽吸和散射效果”，如上所述，这个效果在开口打开时入口的流量小而开口封闭时入口的流量大时尤其显著。
当吸取设备20A的吸取流量变化且入口的流量（流过入口内侧的通风路径的空气量）在开口打开时和开口封闭时加以测量时，通过试验发现开口打开时的入口的流量正比于开口封闭时入口的流量。
于是，当开口打开时入口的流量/开口封闭时入口的流量作为参数越小，即，开口打开时入口流量相对于开口封闭式入口流量越小，则更容易实现强的清洁介质抽吸和散射效果。
图7示出了当开口的面积（在水平轴上示出并且以单位mm2表示）以及入口的横截面积（（入口的内径/2）2）被改变以计算参数“开口打开时的流量/开口封闭时的流量（图7中垂直轴所示，表示为（开口打开时的流量/开口封闭时的流量的比））”时所获得的结构的三个实例。
图7中虚线7-1、7-2和7-3分别示出当入口的内径是7mm10mm和14mm时的计算结果。
可以容易认识到上述“开口打开时入口的流量/开口封闭时入口的流量”对应于权利要求7中所描述的开口打开时空气的流量/开口封闭时空气的流量。
通过试验可以确认清洁介质抽吸和散射效果是在开口的面积大于或等于350mm2并且开口打开时的流量/开口封闭时的流量至少小于或等于0.25，且更优选地小于或等于0.1时获得的。
通过图7所示的曲线的推断，发现当开口的面积大于或等于600mm2时，开口打开时流过入口的空气的流量基本上为零，并且绝不会发生清洁介质从开口泄漏。
但是，要指出的是，这个试验是以利用具有最大抽吸流量为2000L/min且最大压差大约20kPa的抽吸设备为先决条件的。曲线的数值根据抽吸设备的性能以及干式清洁单元的设计而有所波动。
从图7的结果中发现开口打开时入口的流量与开口闭合时入口的流量的比极大地取决于壳体的开口的面积，但是并不较大取决于入口的横截面积。
这是因为当开口打开时壳体的内部压力与入口的通风路径的横截面积无关地确定，且随着壳体的开口而增大。
随着开口增加，壳体的内部压力快速接近开口打开时的环境压力。然后，随着内部压力接近环境压力，入口的进入端和离开端之间的压差减小，流入入口的空气量减小，并且加速和散射清洁介质的力减小。于是，随机发生清洁介质从开口泄漏。
换言之，清洁介质抽吸和散射效果是在开口具有如此的面积使得在开口打开时在入口的离开端（壳体的内侧）处壳体的内部压力等于环境压力或接近环境压力且开口和入口的离开端之间的位置关系得以建立的前提下实现的。
在参照图1描述的实施方式中，确认在开口的面积大于或等于350mm2，且入口的进入端和离开端之间的压差小于或等于2kPa的条件下可以观察到清洁介质抽吸和散射效果。
如果干式清洁设备被设计成满足这种关系，则容易实现清洁介质抽吸和散射效果。即使根据图1所示的实施方式，干式清洁设备形状更简单而没有内筒件10D，也可以实现类似的清洁介质抽吸和散射效果，并且可以用作清洁设备。
图8例举了这种情况。
附图标记40所标示的干式清洁壳体具有类似于图1所示的干式清洁壳体的结构，除了它不具有内筒件。
附图标记40A标示上部壳体，而附图标记40B标示下部壳体，且附图标记40C标示分离板。附图标记40F标示构成通风路径的入口。附图标记20A标示吸取设备，而附图标记20B标示管道。此外，附图标记40E标示开口，而附图标记PC标示清洁件。
干式清洁壳体的清洁操作类似于参照图1的干式清洁壳体的实施方式的操作。
上述描述分别参照干式清洁壳体具有作为旋转体形状的圆锥形和圆筒形形状的情况。但是，干式清洁壳体的形状不局限于它们。例如，即使具有椭圆柱形或者多边形柱形，根据入口的通风路径的方向，也可以产生旋转气流。从而，具有这种形状的干式清洁壳体也可以被实施。
优选地是，从较少能量损失的角度来看，旋转气流的流路是平滑的、不淤塞、并且在横截面形状和流路的横截面积上具有较小波动。
图9A至9C示出干式清洁壳体的另一实施方式。
图9A示出干式清洁壳体从其开口观察的状态，图9C示出干式清洁壳体沿着图9A的线B-B’截取的横截面，而图9B示出干式清洁壳体沿着图9A的线A-A’截取的横截面。
壳体90由上部壳体90A和下部壳体90B构成，每个具有锥台(conicaltrapezoid)形状。
在这个实施例中，通风路径90F形成为上部壳体90A的一部分，作为上部壳体90A的内部结构。换言之，如图9B中的横截面所示，上部壳体90A在其内侧具有内部结构90e和90f，并且通风路径90F是通过内部结构90e和90f形成的。附图标记90D标示圆筒状的内筒件。
通风路径90F的横截面形状不受特别限制，而在这个实施例中为矩形形状。与图1所示的入口10F的情况相比，通风路径90F的离开端设定成靠近开口90E。
开口90E具有等于或大于600mm2的相当大的开口面积，并且导致在开口90E打开时，通风路径90F的离开端处的内部压力快速减小的环境压力。
在这个实施方式中，构成通风路径90F的内部结构90e和90f具有平滑表面形状，如图9B所示。因此，形成通风路径90F的部分不会阻挡旋转气流RF和散射的清洁介质的流动。
这导致清洁介质的累积的有效减小，并且促进清洁介质的快速旋转。于是，可以获得高清洁性能。
此外，可以将引入气流的离开位置布置在开口90E的附近，而不会干扰旋转气流RF的循环。
如上所述，通过将经通风路径90F引入的气流的离开位置布置在开口90E附近，在开口打开时，在气流的离开位置附近的静压变得接近环境压力，并且经通风路径90F流动的气流被大大减小。这带来开口打开时清洁介质几乎不泄漏的效果。
在图9A至9C中，附图标记90G标示围绕开口90E设置的诸如橡胶的密封件。
图10示出干式清洁设备的另一实施方式。
图10A是内部压力图。
附图标记100A所标示的干式清洁壳体具有圆筒形形状。
图10B示出清洁壳体100A的正交于圆柱轴的表面的横截面，而图10C示出沿着图10B中的线A-A’截取的清洁壳体100A的横截面。
在这个实施方式中，在清洁壳体100A的圆柱轴方向上的两端具有漏斗形状，漏斗形状的末端形成吸取口，而两个末端经管道200B1和200B2连接到公共的吸取设备200A。
壳体在其内侧具有内筒件200D且在轴向上的两端具有作为多孔单元的分离板200C1和200C2。
此外，壳体100A具有多个入口200F1、200F2...和200Fi，作为通风路径，使得它们在壳体100A的圆筒形部分处沿着圆柱的圆柱轴方向彼此靠近。包括入口200Fi等的通风路径具有在圆筒状壳体的侧表面处沿着圆柱的母线的通风路径离开端。
通过将作为多孔单元的分离板200C1和200C2布置在壳体的两端处，吸取设备的吸取操作被有效执行。此外，考虑到清洁介质在壳体两端散射的情况，可以进一步增加开口200E的面积，并甚至清洁大面积的要被清洁区域。
在垂直向长的开口200E的情况下，清洁介质易于在开口200E的远离分离板200C1和200C2的位置处泄漏。因此，如图10B所示，更有效地是将多个整体的入口200F1、200F2......200Fi的通风路径的离开端设置在开口200E的附近，用于可靠地实现清洁介质抽吸和散射效果。
在图10A至10C中，抽吸管道分别连接到在清洁壳体100A的圆柱轴方向的两端形成的漏斗形末端处的抽吸口。但是，如果清洁壳体100A形成为使得内筒件200D是中空的，漏斗形末端彼此连通，并且漏斗形末端的一个吸取口封闭，壳体可以通过单个吸取通道从壳体的两端经分离板200C1和200C2抽吸，于是，可以实现类似的效果。
此外，如图15A所示，清洁壳体可以形成为圆筒状收入壳体内，以消除漏斗形突起。于是，可以防止漏斗形突起的干涉。
图11示出干式清洁设备的再一实施方式。
参照图4描述的实施方式参照操作者在用他/她的手握持清洁壳体的同时进行清洁操作的情况。但是，根据图11所示的实施方式，干式清洁壳体被线性电机或者机器人保持并且沿着事先编程的轨道移动，由此，可以执行全自动清洁操作。
由于干式清洁壳体10、吸取设备20A和吸取管道20B类似于图1所示的实施方式中的，它们由与图1所示的那些相同的附图标记来标示。
干式清洁壳体10通过弹簧元件110A固定到X-Y正交机器人110B上，以便遵循浸渍托盘100的不规则性。要指出的是干式清洁壳体10还可以具有在施压方向上的可移动轴。
弹簧元件110A、X-Y正交机器人110B以及用于控制X-Y正交机器人110B的控制单元（未示出）作为位置和姿态控制单元的部件。
干式清洁壳体10围绕其开口具有辊子单元（未示出），以便它可以在接触状态下在托盘的前表面上轻易移动。辊子单元还作为位置和姿态控制单元的部件。
清洁介质供给单元114布置在干式清洁壳体10的移动范围之内。
浸渍托盘100作为清洁对象在垂直站立的状态下被固定到支撑板116上，如图11所示，并且防止清洁介质泄漏的橡胶制成的片材150布置在托盘100的后侧上，以便从支撑板116悬挂。
利用在站立状态下的浸渍托盘100的布置方式，可以消除清洁空间。但是，即使浸渍托盘100水平布置，浸渍托盘100的功能性也不会退化。
X-Y正交机器人110B和吸取设备20A被控制单元（计算机或者CPU单元）（未示出）控制。
在接收到开始清洁操作的指令时，控制单元操作吸取设备20A，并且同时驱动和控制X-Y正交机器人110B，用于将干式清洁壳体10移动到要被清洁的区域。
干式清洁壳体10的开口10E被弹簧元件110A压在作为清洁对象的浸渍托盘100的前表面上，该干式清洁壳体10清洁浸渍托盘100的前表面，以与上述类似的方式消除焊剂FL。
在这种状态下，X-Y正交机器人110B被驱动和控制，以扫描要被清洁的区域。从而，可以清洁浸渍托盘100上的所有要被清洁的区域。
在浸渍托盘的掩膜开口和掩膜开口的端部处，在干式清洁壳体10的开口10E处的气密性通过布置在浸渍托盘100的后侧上的片材150来保持。于是，干式清洁设备可以满意地执行清洁操作。
根据相对于X-Y正交机器人110B的控制程序，干式清洁壳体10能够在绕过不需要清洁操作的部件，如浸渍托盘100的开口的同时而移动。于是，可以减少执行清洁操作所需要的时间，并且清洁介质的消耗可以减少。
要指出的是，作为用于清洁过程的控制程序，可以提供“用于将干式清洁壳体10周期性地移动到清洁介质供给单元114并且适当补充清洁介质的程序”。
当干式清洁壳体10的开口通过吸取设备20A的吸取力而变得靠近清洁介质供给单元114时，清洁介质PC可以被吸入到干式清洁壳体10内，用于补充。
清洁介质供给单元114保持清洁介质PC为适当量，并且根据补充量来补充它。清洁介质PC的补充并不特别需要附着的结构，并且仅需要清洁介质供给单元114从累积清洁介质PC的存储器114B掉落适当量的清洁介质PC。
由于清洁介质PC的恒定补充，可以长时间保持可靠的清洁性能。
在这个实施方式中，在作为清洁对象的平坦的浸渍托盘100上执行清洁操作。但是，如果具有6个或以上自由度的垂直铰接机器人用作保持干式清洁壳体的机器人并且壳体的位置和姿态被控制使得该壳体沿着特定的运动轨迹移动，可以实现在具有三维和复杂形状的清洁对象上全自动执行清洁操作的干式清洁设备。
图12仅示出具有能够控制通风路径的打开和关闭的机构的干式清洁设备的实施方式的特性。
干式清洁设备基于参照图1所描述的实施方式，并且不会导致混淆的部件被与图1中的相同的附图标记来标示。
在图12所示的实施方式中，用于打开和关闭通风路径的入口打开和关闭单元10FO设置在构成通风路径的入口10F中。
如图13所示，入口打开和关闭单元10FO尤其是一个连接到电机10M上的挡板10S。电机10M的打开和关闭操作被控制单元（未示出）控制。当开口10E被打开时，电机10M导致挡板10S遮挡入口10F的通风路径，以控制气流的通风。
如图14B所示，在开口10E被打开时，如果入口10F的通风路径被入口打开和关闭单元10FO所关闭时，不会发生甚至弱的旋转气流。于是，可以更可靠地将清洁介质PC吸引到分离板10C上并防止清洁介质PC泄漏。
此外，如图14A所示，打开和关闭机构具有另一个效果。具体地说，当入口10F的通风路径在清洁操作时被遮挡时，上部壳体10A被吸气，在上部壳体10A和下部壳体10B之间的压差变小，并且清洁介质PC吸引到分离板10C上的力显著减小。因此，当入口10F被再次打开时，清洁介质PC容易散射。
于是，通过在清洁操作过程中周期性打开和关闭入口10F，可以减小清洁介质PC在分离板10C上的累积并且通过清洁介质的提高的散射效率，保持高清洁性能。
如上所述，入口的打开和关闭是基于电机和控制单元的。但是，入口可以通过如安全阀的结构根据壳体内侧的压力而被动打开和关闭，或者打开和关闭机构可以为安装类型的并且被构造成与主体分离。
图16示出清洁壳体的再一实施方式。这个实施方式的特征在于入口被成形为具有非恒定的横截面积。即，开放于环境压力的入口的进入端被扩大。作为流体的特征，如果开放于空气的入口的空气摄入端是凹凸不平的，在入口端附近发生涡流，这导致大的压力损失。
如果入口的压力损失过大，在具有低吸取性能的吸取设备连接到清洁壳体上的情况下，气流不能满意地从入口吸入。于是，旋转气流变弱并且清洁性能退化。为了防止这个问题，已经知道使用其中吸取空气的入口的进入端成锥形以利于空气的吸入并减小压差的技术。
具体地说，如图16A所示，入口50F的横截面积被设计成朝向清洁壳体50扩大。这种设计能够有效利用清洁壳体和入口之间的空间，而不会影响清洁壳体的整体尺寸。
在这个实施方式中，入口的进入端成锥形，如图16A和18A所示。但是，如图18B和18C所示，如果入口在其进入端设置有机罩或凸缘，可以减小入口产生涡流以及压力损失。
此外，随着入口的压力损失的减小，优选地是进一步增加开口50E的面积。从而，在开口被打开时大量气流从开口流过，由此清洁壳体内侧的压力接近环境压力。另一方面，经入口流动的气流减小。因此，在清洁壳体内不会发生旋转气流。此时，清洁介质由于它被吸引到多孔单元上而不会散射。于是，可以在清洁壳体内侧保持特定量的清洁介质。
在这个实施方式中，布置在清洁壳体50的中间的内筒件50D形成为中空的，并且连接到吸取设备，并且内筒件50D的侧表面由多孔单元50C构成。由于内筒件50D的侧表面平行于旋转气流，清洁介质可以被旋转气流再次散射，即使它被吸引到侧表面上。于是，在这种多孔单元的布置下，可以实现清洁介质吸取和散射效果。
如上所述，如果多孔单元50C的面积被做得较大，则可以减小多孔单元50的压力损失并且实现具有整体上低压力损失并且不对吸取设备造成负担的机构。
此外，在这个实施方式中，清洁壳体被构造成附件被安装到清洁壳体的开口上，以提高相对于清洁对象的前表面的局部配合性能以及符合能力。
如在图16B和17B中所示，作为配合单元的边缘60设置在清洁壳体的开口50E内，其沿着图16B和17B的水平方向突出。附件62A安装到开口上，以便配合到边缘60上。如图19所示，附件62A具有U形横截面的沟槽64，该沟槽滑动到边缘60上。利用凹槽和凸起部分的配合结构是处于相对关系。换言之，清洁壳体可以构造成在开口形成凹槽部分。
当附件62A从平行于开口50E的方向插入以使得凹陷部分和凸起部分配合到一起时，附件62A能够固定在壳体的开口与附件62A的底面（图19中的上端）对齐的状态下。凹陷和凸起配合到一起的部分更优选地成锥形，以便固定附件62A。在这个实施方式中，使用了通过将沟槽和边缘配合到一起而形成的连接。但是，为了固定附件62A，可以使用具有钩机构、粘结剂、磁铁、Velcro（商标）等的连接方式。
图20A至20E示意性示出了各种附件的横截面图。在图20A至20E中，在右侧上的横截面图是沿着图19中的线A-A’截取的，在左侧上的横截面图是沿着图19中的线B-B’截取的。
图19和20A示出低干涉附件，其减小了与清洁对象的前表面上的其他部件的干涉（接触区域）。
低干涉附件62A形成为锥形中空梯形，并且具有形状与开口相对应的底面。此外，低干涉附件62A被设计成在该低干涉附件62A安装到清洁壳体上时该梯形的末端定位在入口的延伸方向上。
当附件的末端与清洁对象形成接触并封闭时，通过经由入口流入的气流而在清洁壳体内侧产生旋转气流，并且清洁介质被散射。被经由入口流入的气流所加速的清洁介质由其惯性力而直线散开，经由低干涉附件62A的末端与清洁对象形成碰撞-接触，并且消除外来物质，其中在该末端处开口面积被减小。在消除外来物质之后，清洁介质被清洁对象反射并返回到清洁壳体。然后，清洁介质再次循环。通过将低干涉附件62安装在清洁壳体上，可以将清洁壳体与更窄的区域形成接触而不会与清洁对象干涉。
如果清洁对象具有平面之外的形状，能够依附该形状的不规则形状匹配附件可以被使用。图20B示出作为不规则形状匹配附件的一个实例的附件62B，其中，在方形柱的侧表面处形成半圆形切口66。通过将这种附件连接到清洁壳体的开口上，可以在如下方式下执行清洁操作，即：清洁壳体与具有圆柱形的清洁对象的侧表面形成紧密接触，壳体内侧的压力被设定为负压，以产生旋转气流，并且清洁介质被散射并与具有圆柱形的清洁对象的侧表面形成接触（形成碰撞-接触）。
上面参照了附件对应于具有圆柱形的清洁对象的实例。但是，如果附件被设计成匹配清洁对象的形状，它可以对应于具有各种形状的清洁对象。
根据清洁对象和要消除的物体，通过调节清洁件的碰撞角，清洁质量可以得到改善。
图20C和20D示出相对于清洁对象，入射角改变附件（1）和（2）。
利用图20C所示的入射角改变附件62C，在没有设置附件的情况下经入口50F的气流相对于清洁对象CO的角度θ1可以被改变成如图21A所示的角度θ2。即，仅通过将附件的末端表面压在清洁对象上，经入口50F的气流相对于清洁对象的角度可以容易改变，而不需要在水平方向上调节气流的角度的任何操作。
利用图20D所示的入射角改变附件62D，在没有设置附件情况下经入口50F的气流相对于清洁对象CO的角度θ1可以被改变成如图21B所示的角度θ3。即，仅通过将附件的末端表面压在清洁对象上，经入口50F的气流相对于清洁对象的角度就可以容易改变，而不需要在垂直方向上调节气流的角度的任何操作。
清洁介质在经入口流入的气流的方向上散开。因此，当具有预定角度的附件被用于改变经入口流入的气流相对于清洁对象的角度时，清洁介质相对于清洁对象的碰撞角也能够被改变。
当入射角改变附件62C被使用时，清洁介质在浅角度上与清洁对象形成碰撞-接触。因此，在与清洁对象正交的方向上的冲击被减小，并且，清洁介质在其表面而非在其边缘与清洁对象形成接触。于是，可以消除外来物质，而不损坏清洁对象。
另一方面，当使用入射角改变附件62D时，在与清洁对象正交的方向上的冲击增大。于是，可以消除固态薄膜状污迹。从而，如果根据污迹和清洁对象的特性来适当地使用附件，可以将清洁壳体应用于更宽范围的清洁操作中。
在这个实施方式中，附件被用于改变清洁介质相对于清洁对象的入射角。但是，如果入口自身的角度被设置在入口和清洁壳体的连接处的可移动件改变，则可以获得类似的效果。
取决于附件62的形状，通过从开口吸入的气流，在清洁壳体内侧产生旋转气流。尤其是在产生与清洁操作的旋转气流相反方向的旋转气流时，清洁片被朝向入口的通风路径的离开端散射。因此，清洁片会反向流过入口并泄漏到壳体的外侧。
为了防止这个问题，如果在入口的通风路径内侧的任意位置处设置具有低空气阻力的防泄漏件（筛网盖），如开口的金属筛网，则可以防止清洁片的反向流动。于是，可以提高清洁壳体的操作性能。
在这个实施方式中，筛网盖70设置在入口50F的进入端，如图16A所示。
如果柔性元件设置在与清洁对象形成接触的各种附件的末端，则有可能将各种附件与清洁对象形成接触且在它们之间没有空隙。附件对清洁对象的附着带来清洁件难于泄漏的效果。此外，由于在壳体内侧的负压增加，气流从入口流入越快，可以获得越强的旋转气流。于是，提高了清洁壳体的清洁性能。
附件62本身可以由粗糙和柔性的材料，如聚氨酯橡胶制成。
图20E示出在清洁操作结束时或者在清洁壳体不使用时所使用的盖附件62E。盖附件62E是板状元件，不具有孔。在吸取设备操作过程中，清洁介质被吸入到多孔单元上。因此，即使清洁壳体的开口指向下，清洁介质也不会泄漏到清洁壳体的外侧。但是，如果吸取设备停止，清洁介质从其被吸引状态释放，并因此会从开口掉落。
为了解决这个问题，如果在吸取设备停止时，盖附件62E安装到开口上，则可以防止清洁介质的泄漏。在这个实施方式中，盖附件62E设置成与清洁壳体分离。但是，盖附件62E可以一体地设置在清洁壳体的开口附近，并且被构造成易于移动到开口以用于封闭。此外，清洁壳体可以具有探测清洁设备的停止状态并且自动关闭开口的机构。吸取设备的停止状态可以通过测量下部壳体内侧的静压而容易探测。
（实施例）
用于参照图3描述实施方式的干式清洁设备可以实际上按如下方式制造。
圆筒状的上部壳体30A设定成具有50mm的圆柱高度和150mm的直径。此外，内筒件30D被设定成具有80mm。
开口30E形成为矩形，在上部壳体30A的圆柱轴线方向的长度为45mm，而在其圆周周边表面方向上的长度为60mm。此外，使用45mm×5mm作为内部尺寸的矩形横截面的入口30F。
干式清洁壳体30的整体由塑料树脂制成，并且下部壳体30连接到作为吸取设备的家庭使用的电动真空吸尘器的管道上。
清洁介质的材料特性和尺寸根据在清洁对象上的污迹类型而适当选择。在此，描述适用于消除如焊剂的薄片状外部物质的清洁介质。
图22A至22D是示出当薄片状清洁介质PC与清洁对象CO形成碰撞-接触时的样式的示意图。
在易于发生塑性变形的清洁介质的情况下，在清洁介质PC的端部处的变形变大，如图22C所示，这导致接触面积增大并且冲击力减小。于是，在清洁介质与清洁对象形成碰撞-接触时，在清洁介质端部处的接触力被分散，并因此清洁壳体的清洁性能下降。因此，清洁介质PC不易于挖入到薄片状外部物质中，这导致清洁设备的清洁效率下降。
在发生延展性折断的清洁介质的情况下，同样在清洁介质的破裂的表面的端部处的塑性变形变大，如图22D所示，这导致接触面积增大并且冲击力减小。于是，在清洁介质与清洁对象CO形成碰撞-接触时，在清洁介质端部处的接触力被分散，并因此清洁壳体的清洁性能下降。因此，清洁介质PC不易于挖入到薄片状外部物质中，这导致清洁设备的清洁效率下降。
相反，在发生脆性破裂的清洁介质的情况下，在清洁介质的破裂的表面的端部处的塑性变形较小，因此，几乎不发生在清洁介质端部处的接触力分散。
此外，当反复发生脆性破裂时，即使薄片状外部物质附着到清洁介质PC的端部上，清洁介质PC的新的端部可以一个接一个形成，因此，清洁设备的清洁效率不会降低。
脆性材料的实例包括玻璃片、陶瓷片、如丙烯酸树脂、聚苯乙烯、聚乳酸的树脂薄膜件。
在折叠力反复施加到清洁介质PC上时，清洁介质PC折断。本发明根据其耐折性来定义清洁介质PC的脆性。
如果使用具有等于或小于52的耐折性的脆性材料制成的清洁介质，当清洁介质PC反复与清洁对象CO形成碰撞-接触时造成的毛刺不会留在清洁介质PC上，但是被折叠并且与清洁介质PC分离（见图22B）。由于毛刺不会留在清洁介质PC上，清洁介质PC的边缘得以保持。
此外，如果使用耐折性小于10的脆性材料制成的清洁介质PC，在产生毛刺之前清洁介质PC在其中心折断，并且形成清洁介质PC的新的边缘（见图22A）。
从而，清洁介质PC的边缘得以保持。由于清洁介质PC的边缘得以保持，在清洁介质PC与清洁对象CO形成碰撞-接触时，清洁介质PC的挖入量不会减小，于是，清洁介质PC的固定薄膜消除性能不会随时间减小。
在此，定义了薄片状清洁介质PC具有大于或等于0.02mm且小于或等于0.2mm的厚度，并且具有小于或等于100mm2的面积。
根据与JISK-5600-5-4相符合的方法测量铅笔硬度，表示在被评价的薄片状清洁介质PC上不会形成裂纹或凹痕的最硬的铅笔的铅号。
此外，耐折性是根据与JISP8115相符合的方法来测量的，表示在将薄片状清洁介质反复以135度、R=0.38mm折叠的操作之后，直到薄片状清洁介质PC被折断所需要的次数。
在此，包含玻璃纤维的环氧树脂托盘被用作清洁对象的样本，其上附着焊剂。在流动焊接槽中执行焊接过程时，托盘用于掩盖PCB的非焊接区域。如果这种掩膜夹具被反复使用，焊剂将厚厚地累积成薄膜形状态。因此，需要周期性消除焊剂。固定的焊剂的铅笔硬度是2B，此外，薄膜厚度在0.5mm到1mm的范围内。
作为清洁设备，使用具有如图3所示的干式清洁壳体的干式清洁设备。具有吸取性能（20kPa真空度）的吸取设备被用作清洁设备。利用其上固定焊剂的托盘，具有45mm*60mm开口面积的区域被清洁三秒钟，作为一个样本单位。2g的相应的清洁介质PC被使用。所使用的清洁介质PC和清洁结果在表1中示出。
表中使用的确定标记如下：
A：污迹几乎没有去除
B：清洁残留局部存在
C：几乎清洁了
D：明显清洁了
E：清洁介质被消耗并且完全从清洁池中排出
作为相应的清洁介质PC的特性，耐折性和铅笔硬度在表1中示出。
根据表1所示的初始清洁性能的确定结果，发现如果清洁介质PC的铅笔硬度小于或等于焊剂的铅笔硬度2B，则污迹几乎不会被消除。这是因为在清洁介质PC与清洁对象CO形成碰撞接触时，清洁介质PC不能挖入到薄膜状焊剂污迹内。
清洁介质PC被气流散射并反复与清洁对象CO形成碰撞-接触。每次清洁介质PC与清洁对象CO碰撞-接触，损坏累积在清洁介质PC上，这导致清洁介质PC折断或变形的退化。
此外，相应清洁介质PC的机械特性（耐折性和铅笔硬度）在图23中示出。
参照表1和图22，再次详细描述清洁介质PC的退化样式。在清洁介质由耐折性小于10的材料，如玻璃、丙烯酸1（在表中由被圆圈围绕的相应数字表示，且同样原则应用于下面的其他数字）、丙烯酸2、和COC（聚烯烃）制成时，清洁介质PC由于它们与清洁对象CO形成碰撞-接触时造成的冲击而在它们的中心附近折断，如图22A所示。此时，由于清洁介质PC的折断的表面被导致具有新的边缘，并且挖入到焊剂中，清洁介质PC的固定物质消除性能不会退化。
在清洁介质PC由耐折性大于或等于10且小于或等于52的材料，如TAC1、TAC2和PI2制成时，当清洁介质PC与清洁对象CO形成碰撞-接触时，它们不会在它们中心附近折断，而是仅所导致的毛刺折断，如图22B所示。由于清洁介质PC的厚度被保持，清洁介质保持挖入到焊剂中的效果并且消除焊剂。
在清洁介质PC由耐折性大于或等于65的材料制成时，当清洁介质PC与清洁对象PC形成碰撞-接触时，清洁介质不会折叠而是在清洁介质PC的边缘内发生塑性变形。
图22C示出清洁介质PC的边缘由于它们的塑性变形而压垮的状态。在表1的材料中，SUS、PS1、PS2、PE、PET和TPX示出这种特性。
参照图22C和22D例举的清洁介质PC的边缘由于塑性变形而变成柔软的（limp），并且在清洁介质PC与清洁对象CO形成碰撞接触时产生的冲击降低。于是，在多个样本如图1所示处理之后，清洁介质的清洁性能极大退化。
根据上述结果，发现如果这样的清洁介质PC，其具有大于或等于焊剂的铅笔硬度并且由耐折性大于或等于0且小于或等于52的脆性材料制成，被用于消除薄膜状态固定的焊剂，那么可以长时间获得优异的结果。
作为在这个实施方式中例举的数值的基础，相应清洁介质PC的耐折性的数值范围在表1和2中示出。
在表1和2中，呈现出平均耐折性或最小耐折性为零的薄片状清洁介质PC（如玻璃、COC和丙烯酸2制成）在折叠力施加到该清洁介质PC上时变得非常易碎，并且在非常短的时间内清洁介质PC被消耗。因此，运行成本变高。
此外，呈现出优异清洁特性的材料PI2具有52的最大耐折性。于是，如果清洁材料PC具有大于或等于1且小于或等于52的耐折性，则可以长时间保持优异的清洁性能。
此外，在图22A所示发生脆性折断的清洁介质PC中，丙烯酸1制成的清洁介质PC显示出9的最大耐折性。于是，可以分类为如图22A所示的脆性折断在具有大于或等于0且小于或等于9的耐折性的清洁介质PC中发生；且图22B所示的脆性折断在具有大于或等于10且小于或等于52的耐折性的清洁介质PC中发生。
此外，呈现出最小耐折性为0的丙烯酸2制成的清洁介质PC极其脆，并因此不能承受长时间使用。另一方面，最小耐折性为1的丙烯酸1制成的清洁介质PC可以长时间保持其清洁性能，如表1所示。
（表1）
注意：
“B”和“A”标示薄片状介质由于塑性变形而弯曲。
“A”标示清洁介质的边缘由于它的塑性变形而柔软。
（表2）
序号 材料 平均耐折性 最大耐折性 最小耐折性
3 丙烯酸② 2 8 0
4 丙烯酸① 4 9 1
7 PI① 45 52 41
8 PS① 88 115 65
从表1中所示的相应清洁介质的平均耐折性可以发现优选地是使用铅笔硬度大于或等于薄膜状外部物质的铅笔硬度并且耐折性大于或等于2且小于或等于45的清洁介质PC，以更加精确去除诸如焊剂的薄膜状外部物质。
作为清洁介质PC，使用厚度0.1mm且高度和宽度为5mm（面积：25mm2）并由丙烯酸树脂制成的清洁件PC。
作为清洁对象，使用铝平板假设为浸渍托盘，其中焊料固定在其一侧上以形成厚度大约从0.5到1mm的层。固定的焊剂层即使在该焊剂层的前表面用指甲刮擦也根本无法去除。
在上部壳体内，如上所述保持大约2g的清洁介质PC。在这种状态下，以开口被手掌封闭的方式产生旋转气流。清洁件被旋转气流散射并且与手掌形成碰撞接触。此时，操作者在手掌上感觉到相当疼，但是手掌未受伤。
开口被与固定到铝平板上固定的焊剂层接触，以执行上述清洁操作。于是，在大约10秒钟内，固定的焊剂从对应于开口的区域，即：45mm×60mm（2700mm2）被完全去除。此外，当开口被打开时，没有清洁介质从开口泄漏。
从上面的结果发现根据本发明的实施方式的干式清洁设备具有优异的清洁功能。
（补充说明）
下面，描述本发明的实施方式的补充。
清洁壳体导致在其内侧产生旋转气流。因此，清洁壳体的内部空间具有利于旋转气流的产生的连续内壁，并且导致气流沿着壳体的内壁环形流动，并且优选地是形成多边形、圆形等作为其横截面形状。
如上所述，由于清洁壳体的通风路径具有使得从外侧引入的气流平直的功能，通风路径通常形成为具有平滑内表面的管形。另外，例如，具有平滑表面的板状流动路径控制板也可以实现使得空气在沿着板的表面的方向上平直的功能。因此，通风路径可以由板状流动路径控制单元构成。
此外，在通风路径内的空气的流动通常是直的。但是，即使空气的流动是绘出一条流动路径阻力较小的平缓曲线而弯曲，通风路径仍将具有使得空气流平直的功能。因此，通风路径的形状不局限于直线。
在通风路径的内表面处“正交于通风路径的横截面”可以具有各种形状，如圆形、椭圆形和狭缝形。
经通风路径引入的空气如上所述形成旋转气流。但是，由于清洁壳体经多孔单元被抽吸，形成旋转气流的一些空气经多孔单元排出到壳体外侧。
但是，由于外侧空气经通风路径被连续引入，引入的空气总是与旋转气流汇合。因此，旋转气流可以稳定产生。
旋转气流在清洁壳体内侧循环很多次，直到它经多孔单元吸入到吸入单元为止。因此，根据气流模拟可以发现旋转气流的流量达到经通风路径流动的空气的流量的五倍到六倍之多。
在此，描述构成清洁介质的薄片状清洁件。
清洁件是薄形的，如术语“薄片状”所表示的，并且尺寸较小，如术语“件”所表示的。
如上所述，清洁件的材料的实例可以包括树脂，如聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯和丙烯酸纤维素树脂；纸张；纤维；矿物质，如云母、陶瓷、玻璃；和金属。
在它们中，可以根据附着到清洁对象CO上的污迹的粘着程度来选择适当的材料。例如，如果附着到清洁对象CO上的污迹的粘着度较低，可以使用纸张或者纤维制成的软的清洁件。
薄片状清洁件带来如下效果：
（1）在清洁件的表面的方向上的空气阻力相对于清洁件的重量来说较高，容易漂浮，散射和由相对小的气流加速，并且相对于旋转气流来说流动性高；
（2）由于清洁件是薄的，它们可以穿透到清洁对象CO的前表面的狭窄区域中，并且消除外来物质（污迹），即使在清洁对象CO的前表面是复杂的情况下；
（3）由于清洁件在尺寸和厚度上较小，用于清洁介质的材料量可以被抑制；
（4）由于薄片状清洁件的“厚边缘”带来的刮擦效果，可以很好地去除具有强粘着度的污迹；
（5）当附着到清洁对象CO上的污迹以粉末形式从清洁对象CO上去除时，粉末污迹和清洁件之间的面积不同变大。因此，利于被多孔单元分离。尤其是，假设清洁件由薄片树脂膜制成，如果清洁件的前表面是光滑的，有利于清洁件和污迹末之间的分离；
如果污迹的粘着程度较低，可以使用具有柔性的树脂膜等制成的清洁件。
具有柔性的清洁件具有如下效果：
（6）当具有柔性的清洁件与清洁对象CO形成碰撞-接触时，由于它们偏折而吸收一些冲击。因此，清洁对象不易于被损坏。
（7）由于具有柔性的清洁件与清洁对象CO形成线接触并形成表面接触，对于每次碰撞，它们能够消除附着到更大面积上的外部物质（污迹）。
在效果1至7中，效果1、2、3、6和7与传统公知的喷丸的清洁方法相比是优异的，并且效果4、5和6与使用诸如发酵粉的粉末喷射的清洁方法比较非常优异。
此外，效果2、3、4和5与利用如橡胶的弹性喷射的清洁方法相比非常优异。
构成清洁介质的清洁件的形状没有特别限制。清洁件的形状可以根据清洁对象CO的表面形状、污迹的类型、污迹的附着程度等适当选择。
例如，矩形清洁件可以低成本容易形成和制造。如果在清洁操作中需要对清洁对象CO的孔部分进行清洁，清洁件优选地具有形成锐角的诸如带状、十字形和星形的形状。如果希望随着清洁操作而从清洁介质的片中产生最少的粉尘，清洁件优选地具有圆形形状。
要指出的是，构成同时使用的清洁介质的清洁件不必尺寸、形状、厚度等彼此相同。
如果具有柔性的材料制成的清洁件具有200mm2或更大的面积S，上述效果3不能适当地实现，清洁件被气流的散射变得困难，并且需要散射清洁件的吸力较大。
相反，如果清洁件具有1mm2或更小的面积S，上述效果4、5和6不能容易实现。
如上所述，为了更正确地实现上述效果，清洁件优选地具有在2mm2≤S≤100mm2的范围内的面积。
如果清洁件具有0.5mm或更大的厚度D，清洁件的刚性变大，并且清洁件的柔性减小。于是，柔性所带来的效果（6和7）变弱。
如果清洁件具有0.03mm或更小的厚度D，清洁件的牢固性降低，并且当清洁件与清洁对象CO形成碰撞-接触时赋予污迹的冲击变小。于是，清洁效果变弱。另外，清洁件与清洁壳体的内壁等形成紧密接触，从而不容易再次散射。此外，清洁件牢固附着到多孔单元上并且易于导致多孔单元堵塞。
清洁件优选地具有0.2mm或更小且0.05mm或更大的厚度，以便实现更优异的清洁效果。
要指出的是在清洁件具有较小面积的情况下，即使清洁件的厚度的下限是0.05mm或更小，通过给清洁件赋予适当的柔性，有可能防止清洁件的牢固性降低所导致的清洁件不易于再次散射的问题以及清洁件堵塞多孔单元的问题。
本发明基于2010年8月4日在日本专利局提交的日本优先权申请第2010-175687号和2011年4月18日在日本专利局提交的日本优先权申请第2011-092448号，它们的全部内容通过引用结合于此。

Claims (12)

1.一种干式清洁壳体，该干式清洁壳体导致包括薄片状清洁件的清洁介质被气流散射并且使得清洁介质与清洁对象形成接触，以对该清洁对象进行清洁，所述干式清洁壳体包括：
内部空间，所述清洁介质在该内部空间中散射；
开口，所述开口被构造成与清洁对象接触，以导致清洁介质与该清洁对象碰撞；
通风路径，所述通风路径被构造成将空气从外侧供给到所述内部空间；
吸取口，所述吸取口被构造成吸取通过所述通风路径引入到所述内部空间内的空气，以在所述内部空间的内侧产生旋转气流；
多孔单元，该多孔单元布置在与所述旋转气流的旋转轴正交的表面上，并被构造成允许从所述清洁对象上消除的物质通过；以及
流路限制元件，该流路限制元件设置在所述内部空间中，并被构造成围绕所述旋转气流的旋转轴。
2.如权利要求1所述的干式清洁壳体，其中
所述通风路径的出口被布置在使得在所述开口从所述清洁对象的前表面移开时该通风路径的出口附近的静压等于或接近环境压力的位置处。
3.如权利要求1或2所述的干式清洁壳体，其中
所述通风路径使从外侧朝向所述开口的空气平直。
4.如权利要求1至2中任一项所述的干式清洁壳体，其中
所述内部空间具有旋转体形状，且
所述通风路径被定位成经所述通风路径引入的空气形成为以接近所述旋转体形状的切线的角度的角度的旋转气流。
5.如权利要求1至2中任一项所述的干式清洁壳体，其中
在所述干式清洁壳体的内侧经吸取口被抽吸的状态下，在开口打开时引入的空气的流量与开口封闭时引入的空气的流量的比，即，开口打开时的空气的流量/开口关闭时空气的流量，小于或等于0.25。
6.如权利要求1至2中任一项所述干式清洁壳体，还包括：
开/关阀，所述开/关阀被构造成根据干式清洁壳体内侧的静压调节通风路径内流动的空气流。
7.一种干式清洁设备，包括：
如权利要求1至6中任一项所述的干式清洁壳体；
保持在所述干式清洁壳体内侧的作为薄片状清洁件的集合的清洁介质；以及
被构造成经所述吸取口抽吸干式清洁壳体内侧的吸取单元。
8.如权利要求7所述的干式清洁设备，其中
所述干式清洁壳体是如权利要求6所述的干式清洁壳体，该干式清洁壳体还包括：
控制单元，该控制单元被构造成根据干式清洁壳体内侧的静压控制所述开/关阀。
9.如权利要求7或8所述的干式清洁设备，其中
所述干式清洁壳体能够在吸取口被连接到吸取单元的状态下手持。
10.如权利要求7或8所述的干式清洁设备，还包括：
用于保持清洁对象的清洁对象保持单元；以及
位置和姿态控制单元，该位置和姿态控制单元被构造成保持所述干式清洁壳体，并控制所述干式清洁壳体相对于被所述清洁对象保持单元所保持的清洁对象的位置和姿态。
11.如权利要求7至8中任一项所述的干式清洁设备，其中
所述薄片状清洁件有柔性材料制成，面积S在1mm2≤S≤200mm2的范围内，且厚度D在0.03mm≤D≤0.5mm的范围内。
12.一种干式清洁方法，该干式清洁方法导致作为薄片状清洁件的集合的清洁介质被气流散射并且使得该清洁介质与清洁对象形成接触，以对该清洁对象进行清洁，所述干式清洁方法包括：
将清洁介质保持在如权利要求1至6中任一项所述的干式清洁壳体的内侧；
使该干式清洁壳体的开口与所述清洁对象形成接触，以被封闭；
通过吸取口吸取干式清洁壳体的内侧以在该干式清洁壳体的内侧产生负压；
由所述负压将空气从所述干式清洁壳体的外侧经通风路径引入到干式清洁壳体的内侧，以在干式清洁壳体的内侧产生旋转气流；以及
导致所述清洁介质被该旋转气流散射并使得所述清洁介质与封闭所述开口的清洁对象的前表面形成接触，以进行清洁操作。
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