CN103058510A - 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法 - Google Patents

多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103058510A
CN103058510A CN2012103980534A CN201210398053A CN103058510A CN 103058510 A CN103058510 A CN 103058510A CN 2012103980534 A CN2012103980534 A CN 2012103980534A CN 201210398053 A CN201210398053 A CN 201210398053A CN 103058510 A CN103058510 A CN 103058510A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
porous glass
peristome
base material
glass base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012103980534A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103058510B (zh
Inventor
吉田真
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Publication of CN103058510A publication Critical patent/CN103058510A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103058510B publication Critical patent/CN103058510B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/06—Concentric circular ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/12—Nozzle or orifice plates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/14—Tapered or flared nozzles or ports angled to central burner axis
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

本发明提供一种多孔质玻璃母材制造用燃烧器及使用该多孔质玻璃母材制造用燃烧器的多孔质玻璃母材的制造方法，该多孔质玻璃母材制造用燃烧器（10）的多个气体喷出开口部中最外侧的第三气体喷出开口部（17）被堵塞部件（19）堵塞，且在堵塞部件（19）上相对于玻璃原料气体喷出口（11）的中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出孔（20）。由此，改变最外侧气体喷出开口部的截面积而调整助燃性气体的流量及线速度，从而能够抑制助燃性气体及可燃性气体的扩散，并且提高沉积效率。

Description

多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法
技术领域
本发明涉及多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法。
背景技术
以往，为了制造光纤母材而提出有各种方法。在这些方法中尤其通用的是外气相沉积（Outside Vapor Phase Deposition：OVD）法。外气相沉积法作为一种能够得到比较任意的折射率分布的光纤母材，且能够使大口径光纤母材实现量产的方法而众所周知。
外气相沉积法中的一例是，在最初阶段，使初始母材与玻璃母材制造用燃烧器相对性地往返移动，同时，玻璃母材制造用燃烧器将含有玻璃微粒子的火焰朝初始母材喷射，从而使玻璃微粒子（烟灰粒子，soot）附着沉积在初始母材上。然后，在下一阶段中，通过使烟灰粒子沉积体在电炉内脱水和烧结而使其透明玻璃化，由此生成光纤母材。
对玻璃微粒子的沉积体进行合成的燃烧器可以采用石英玻璃制的同心多层管燃烧器。由于同心多层管燃烧器无法将玻璃原料气体、可燃性气体及助燃性气体充分混合，因此可能会使玻璃微粒子的生成不够充分。其结果导致产率无法提高而难以实现玻璃微粒子的高速合成。
为了解决该问题，在专利文献1中提出一种多喷嘴型的多层管燃烧器。在专利文献1的多层管燃烧器中，在原料气体喷出口的周围设置有圆环状的可燃性气体喷出开口部，在该可燃性气体喷出开口部内，相对于原料气体喷出口的中心轴呈同心圆状地设置有多个小口径助燃性气体喷出口。
另外，关于这种类型的多层管燃烧器，为了进一步提高沉积效率而提出有多种结构。例如，在专利文献2、专利文献3、专利文献4及专利文献5中提出有小口径助燃性气体喷出口的结构。另外，在专利文献6、专利文献7及专利文献8中提出有优化小口径助燃性气体喷出口的焦点距离的方案。此外，在专利文献9、专利文献10、专利文献11及专利文献12中提出有优化多层管燃烧器中的气体流量及气体线速度的方案。
专利文献1：专利第1773359号
专利文献2：特开2003-206154号公报
专利文献3：特开2004-331440号公报
专利文献4：特开2006-182624号公报
专利文献5：专利第3744350号
专利文献6：特开平5-323130号公报
专利文献7：专利第3543537号
专利文献8：特开2003-226544号公报
专利文献9：专利第3591330号
专利文献10：特开2003-165737号公报
专利文献11：特开2003-212555号公报
专利文献12：专利第3653902号
发明内容
[发明要解决的问题]
在多孔质玻璃母材制造用燃烧器的制作中，使各管的厚度较薄以及使各管之间的间隙较窄地制作均较困难。因此，难以对各管之间的气体喷出开口部的截面积进行任意调节，位于外侧的气体喷出开口部的截面积有变大的倾向。
在这种燃烧器中，如果要增大最外侧助燃性气体的线速度，则必须在必要程度以上增大气体流量。然而，如果使助燃性气体的流量增大至必要程度以上，则会使沉积面的温度下降，其结果将导致沉积效果也大大降低的问题。
[解决问题的技术手段]
根据本发明的一方面，一种多孔质玻璃母材制造用燃烧器，在具有中心轴的玻璃原料气体喷出口的外侧呈同心圆状地设置有多个圆环状的气体喷出开口部，在所述多个气体喷出开口部中除最外侧气体喷出开口部以外的任一气体喷出开口部上相对于所述中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列小口径气体喷出口，所述小口径气体喷出口中位于同一圆周上的所述小口径气体喷出口的轴线在所述中心轴的延长线上具有交点，且所述多个气体喷出开口部中最外侧的气体喷出开口部被堵塞部件堵塞，且在所述堵塞部件上相对于所述中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出孔。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，通过所述气体喷出孔的轴线也能以通过位于同一圆周上的所述气体喷出孔的轴线在所述中心轴的延长线上具有交点的方式相对于所述中心轴倾斜。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，也可构成为对所述最外侧的气体喷出开口部供应助燃性气体，且对与所述最外侧的气体喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，所述堵塞部件的厚度也可为1.0mm以上。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，通过所述气体喷出孔的气体的线速度也可为约16m/s，所述气体喷出孔也可为圆形，且所述气体喷出孔的内径也可为1.0mm以下。
此外，根据本发明的另一方面，一种多孔质玻璃母材的制造方法，使用多孔质玻璃母材制造用燃烧器，该多孔质玻璃母材制造用燃烧器在具有中心轴的玻璃原料气体喷出口的外侧呈同心圆状地设置有多个圆环状的气体喷出开口部，在所述多个气体喷出开口部中除最外侧气体喷出开口部以外的任一气体喷出开口部上相对于所述中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列小口径气体喷出口，所述小口径气体喷出口中位于同一圆周上的所述小口径气体喷出口的轴线在所述中心轴的延长线上具有交点，且所述方法包括如下步骤：向所述多孔质玻璃母材制造用燃烧器供应可燃性气体及助燃性气体；一面使所述多孔质玻璃母材的初始母材与所述多孔质玻璃母材制造用燃烧器相对性地往返移动，一面从所述多孔质玻璃母材制造用燃烧器向所述初始母材喷射包含玻璃微粒子的火焰，由此在所述初始母材上沉积所述玻璃微粒子；且所述多个气体喷出开口部中最外侧的气体喷出开口部被堵塞部件堵塞，且在所述堵塞部件上相对于所述中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出孔。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，通过所述气体喷出孔的轴线也能以通过位于同一圆周上的所述气体喷出孔的轴线在所述中心轴的延长线上具有交点的方式相对于所述中心轴倾斜。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，供应所述可燃性气体及助燃性气体的步骤也可包括对所述最外侧的气体喷出开口部供应助燃性气体，以及对与所述最外侧的气体喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，堵塞部件的厚度也可为1.0mm以上。
另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，通过所述气体喷出孔的气体的线速度也可为约16m/s，所述气体喷出孔也可为圆形，且所述气体喷出孔的内径也可为1.0mm以下。
附图说明
图1为多孔质玻璃母材制造装置1的概略图。
图2为从气体喷出口侧观察多孔质玻璃母材制造用燃烧器10所见的平面图。
图3为沿图2的A-A线的截面图。
图4为沿图2的A-A线的截面图，且为表示小口径助燃性气体喷出口及气体喷出孔的焦点的图。
图5为从气体喷出口侧观察多孔质玻璃母材制造用燃烧器10所见的平面图。
图6为从气体喷出口侧观察多孔质玻璃母材制造用燃烧器30所见的平面图。
图7为沿图6的A-A线的截面图。
图8为表示多孔质玻璃母材制造用燃烧器30喷射的气体的扩散的图。
具体实施方式
以下通过发明的实施方式对本发明进行说明，但以下的实施方式并不限定技术方案的范围所涉及的发明。另外，在实施方式中说明的全部特征结合并非为发明的解决方案所必需。
图1为本发明实施方式所涉及的所述多孔质玻璃母材制造装置1的概略图。
图1的多孔质玻璃母材制造装置1是使用OVD法的装置。如图1所述，初始母材2具有芯杆（core rod）3，在芯杆3的两端部焊接有虚设杆（dummy rod）4。虚设杆4的端部41被基材支撑部件5旋转自由地支撑。如图1所示，在基材支撑部件5上安装有旋转电机6，通过旋转电机6驱动而使初始母材2围绕其轴旋转。
如图1所示，在初始母材2的下方设置有燃烧器装置7，该燃烧器装置7通过图中未示出的移动机构沿初始母材2的长度方向往返自由地移动。在燃烧器装置7上通常安装有多个将在以下进行说明的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10（参照图2及图3）。另一方面，如图1所示，在初始母材2的上方设置有排气罩8。
以下参照图1对采用OVD法的多孔质玻璃母材的制造方法进行说明。
首先，通过旋转电机6使由基材支撑部件5支撑的初始母材2绕轴旋转。
然后，向燃烧器装置7供应作为光纤用玻璃原料的SiCl4等的蒸气和燃烧气体（氢气及氧气）。此处，燃烧器装置7沿初始母材2的长度方向往返移动，同时，向初始母材2喷射含有光纤用玻璃原料的蒸气和火焰。此时，在氢氧焰中，通过SiCl4等的水解反应而生成玻璃微粒子（烟灰粒子，soot），并且使该玻璃微粒子附着在绕轴旋转的初始母材2上。
从上述步骤起在燃烧器装置7的往返范围内，玻璃微粒子附着沉积在初始母材2上，从而形成玻璃微粒子沉积体，即光纤用多孔质玻璃母材。
最后，通过使玻璃微粒子在电炉（图中未示出）内脱水和烧结而使其透明玻璃化，由此生成光纤母材。以下对在图1所示燃烧器装置7中可使用的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10进行说明。
[第一实施方式]
图2为从气体喷出口侧观察第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器所见的平面图。图3和图4为沿图2的A-A线的截面图。
如图2和图3所示，第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10是具有四层管的多层管结构，例如可由以石英玻璃为主要成分的材料形成。此处，多层管结构是指在中心的第一管11的周围依次设置有比第一管11的管径大的多个管的结构，能够从中心的第一管11及各管之间喷射出气体等。
多孔质玻璃母材制造用燃烧器10包括：具有中心轴C（参照图4）的第一管（玻璃原料气体喷出口）11；设置在第一管11周围的第二管12；设置在第二管12周围的第三管13；以及设置在第三管13周围的第四管14。
如图2及图3所示，第一管11喷出玻璃原料气体。作为供应至第一管11的玻璃原料气体，例如可为SiCl4、GeCl4等。通过这些玻璃原料气体的火焰水解反应或氧化反应而产生生成玻璃的化合物、玻璃微粒子等。也就是说，在本实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中，可将预先合成的玻璃微粒子以及在火焰中生成玻璃微粒子的原料中的一者或两者用作玻璃原料。
如图2及图3所示，在第一管11与第二管12之间设置有圆环状的第一气体喷出开口部15，第一气体喷出开口部15喷出密封气体。可将N2等不活泼气体等用作密封气体。
另外，如图2及图3所示，在第二管12与第三管13之间设置有圆环状的第二气体喷出开口部16，第二气体喷出开口部16喷出可燃性气体。可将氢气或例如甲烷、丙烷等烃类化合物用作可燃性气体。
另外，如图2及图3所示，在第三管13与第四管14之间设置有圆环状的第三气体喷出开口部17，第三气体喷出开口部17喷出助燃性气体。助燃性气体可使用氧气或空气等。
如图2所示，在第二管12与第三管13之间的第二气体喷出开口部16相对于第一管11的中心轴C（参照图4）呈同心圆状地设置有八个小口径助燃性气体喷出口18。如图4所示，这些小口径助燃性气体喷出口18的轴线在第一管11的中心轴C的延长线上的点f1处交叉。以下将该交叉点记为“焦点”。
另外，对于该焦点，严格地说未必就是第一管11的中心轴C的延长线上的一点，只要小口径助燃性气体喷出口18的轴线延长线大致集中于一点即可。本实施方式中，将从多孔质玻璃母材制造用燃烧器10的前端至交点f1的距离即焦点距离L1设定为约150mm。
本实施方式中，如图2及图3所示，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中位于最外侧的第三气体喷出开口部17被堵塞部件19堵塞。如图3所示，堵塞部件19焊接于第四管14的前端部141及第三管13的前端部上。作为堵塞部件19的材料，只要是与燃烧器主体相同的材料即可，例如可为石英玻璃。
如图2及图3所示，在堵塞部件19上相对于中心轴C（参照图4）呈同心圆状地设置有多个圆形的气体喷出孔20。气体喷出孔20的形状优选为圆形，但并不限定于此。另外，如果将气体喷出孔20设置成圆形，则可容易地使用钻孔器等进行打孔。
此外，如果将气体喷出孔20设置成圆形，则具有易于改变孔的数量和内径的大小等，从而调节助燃性气体流路的截面积时的自由度较高的优点。另外，如图4所示，设置在堵塞部件19上的一列气体喷出孔20以具有同一焦点f2的方式，使气体喷出孔20的轴线相对于第一管11的中心轴C倾斜。
另外，堵塞部件19的厚度t优选为1mm以上。由此，能够对通过的助燃性气体保持适度的阻力。由此，每个气体喷出孔20的线速度分布也变得均匀，通过气体喷出孔20的助燃性气体集中于焦点f2的汇聚性提高。
根据本发明第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中位于最外侧的第三气体喷出开口部17被堵塞部件19堵塞，且在堵塞部件19上相对于中心轴C呈同心圆状地设置有多个圆形的气体喷出孔20。
因此，最外侧的第三气体喷出开口部17的截面积变小，从而使线速度相对于助燃性气体的流量而变大。由此，抑制从最外侧的第三气体喷出开口部17喷出的助燃性气体及从与第三气体喷出开口部17邻接的第二气体喷出开口部16喷出的可燃性气体的扩散，从而能够提高玻璃微粒子的沉积效率。
根据本发明第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，通过气体喷出孔20的轴线以使设置在堵塞部件19上的一列气体喷出孔20的轴线在第一管11的中心轴C的延长线上具有交点的方式相对于中心轴C倾斜。
因此，能够更加有效地抑制从最外侧的第三气体喷出开口部17喷出的助燃性气体的扩散。此外，通过第三气体喷出开口部17的助燃性气体以朝中心轴C的延长线上汇聚的方式喷射，因此能够对流过位于第三气体喷出开口部17内侧的第二气体喷出开口部16的可燃性气体发挥封闭效果，从而更加有效地抑制气体的扩散。
根据本发明第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，第二气体喷出开口部16喷出可燃性气体，第三气体喷出开口部17喷出助燃性气体。
根据本实施方式的结构，由于流过最外侧的第三气体喷出开口部17的助燃性气体的线速度变大，因此燃烧器的前端部分不易燃烧。因此，无需为了防止燃烧器的前端部分燃烧而在可燃性气体与助燃性气体之间流动不活泼气体。由此，不需要设置流动不活泼气体的管道，从而可使可燃性气体与助燃性气体邻接地喷出。从而防止不活泼气体造成沉积面的温度下降，从而提高沉积效果。
[第二实施方式]
图5为从气体喷出口侧观察第二实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10所见的平面图。另外，对与上述的实施方式所说明的内容相同的部分标注相同的符号，并省略重复的说明。
如图5所示，在本实施方式中，设置在堵塞部件19上的圆形的气体喷出孔20由两列构成，两列气体喷出孔20相对于中心轴C呈同心圆状地设置。此处，位于同一圆周上的气体喷出孔20具有相同的焦点。也就是说，通过位于同一圆周上的气体喷出孔20的轴线在中心轴C（参照图4）的延长线上具有交点。
其次，在本实施方式中，使供应至第四管14的助燃性气体的流量（即通过第三气体喷出开口部17的助燃性气体的流量）发生变化，而对助燃性气体的线速度及玻璃微粒子的沉积效率进行测量。将测量的结果示于表1中。
另外，采用O2作为供应至第四管14的助燃性气体。对于气体喷出孔20的构成，以图5所示的两列进行设置，且数量为40个。气体喷出孔20的内径为0.8mm，将从燃烧器的前端至焦点f2的焦点距离L2（参照图4）设定为300mm。
另外，在该实验中，对第一管11以10L/min供应SiCl4作为玻璃原料气体，并且以12L/min供应O2作为助燃性气体。对第二管12以4L/min供应空气作为密封气体，对第三管13以170L/min供应H2作为可燃性气体。
而且，在该实验中，也将四个多孔质玻璃母材制造用燃烧器10以150mm间隔排列，且在初始母材2上沉积130kg的多孔质玻璃微粒子。初始母材2采用在外径55mm、长度2000mm的芯杆3的两端部焊接有外径50mm的虚设杆4的初始母材。
表1
  实施例A   实施例B   实施例C
  孔径   mm   0.8   0.8   0.8
  孔数   个   40   40   40
  第四管流量   L/min   10   20   30
  第四管线速度   m/s   8.3   16.6   24.9
  沉积效率   ％   65   70   68
如从表1所得知般，尽管供应至第四管14的助燃性气体的流量较少，助燃性气体的线速度还是大幅増加。尤其是，即便将气体流量减少至10L/min，助燃性气体的线速度仍然比后述的表3大，从而抑制了气体的扩散及火焰的扩散。另外，当将气体流量设定为20L/min时，沉积效率提高至70%。
其次，也进行另一实验。在该实验中，供应至第四管14的助燃性气体的流量（20L/min）与助燃性气体的线速度（约16m/s）保持于固定，而使气体喷出孔20的孔径和数量发生变化来测量玻璃微粒子的沉积效率。其他构成与表1的实验相同。
表2
Figure BDA00002275155600091
从表2的实验得知，在助燃性气体的线速度为约16m/s的情况下，如果气体喷出孔20的内径为1.0mm以下，则可进一步提高沉积效率。
另一方面，实施例F中的沉积效率为66%，与其他实施例相比为较低的结果。这是由于气体喷出孔20的个数较少而为18个，孔间隔变大，可燃性气体从该间隙发生了少量扩散。在表2中的实施例F的孔间隔为4.5mm。另一方面，沉积效率为68%的实施例E的孔间隔为3.5mm，沉积效率为70%的实施例B的孔间隔为2.0mm。因此，在助燃性气体的线速度为约16m/s的情况下，设置孔径为1mm以下且孔的间隔为2.0mm以下的孔即可。
从以上实验得知，在助燃性气体的线速度为相同的条件下，减小气体喷出孔20的孔径且开更多数量的孔而减小孔间的间隔则能够增大对流过助燃性气体内侧的可燃性气体的封闭效果，从而抑制可燃性气体的扩散。因此进一步提高沉积效率。
根据本发明第二实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，当助燃性气体的线速度为约16m/s时，通过将气体喷出孔20的内径设定为1.0mm以下，便会进一步增大对流过处于第三气体喷出开口部17内侧的第二气体喷出开口部16的可燃性气体的封闭效果，从而能够更加有效地抑制气体扩散。
由此提供一种可改变最外侧气体喷出开口部的截面积而调整助燃性气体的流量及线速度，从而抑制助燃性气体和可燃性气体扩散，并且提高沉积效率的多孔质玻璃母材制造用燃烧器及使用该多孔质玻璃母材制造用燃烧器的多孔质玻璃母材的制造方法。
[比较例]
图6、图7和图8表示作为比较例的多层管燃烧器。如图6和图7所示，多孔质玻璃母材制造用燃烧器30具有五重管结构。
多孔质玻璃母材制造用燃烧器30包括：具有中心轴C（参照图8）的第一管31；设置在第一管31周围的第二管32；设置在第二管32周围的第三管33；设置在第三管33周围的第四管34；以及设置在第四管34周围的第五管35。
如图6所示，在第二管32与第三管33之间相对于第一管31的中心轴C呈同心圆状地设置有八个小口径助燃性气体喷出口36。如图8所示，小口径助燃性气体喷出口36的轴线在第一管31的中心轴C的延长线上具有交点f1（即具有焦点），从多孔质玻璃母材制造用燃烧器30的前端至交点f1的距离（焦点距离）L1设定为150mm。
在比较例中，对第一管31以10L/min供应SiCl4作为玻璃原料气体，并以12L/min供应O2作为助燃性气体。另外，对第二管32以4L/min供应空气（Air）作为密封气体，且对第三管33以170L/min供应H2作为可燃性气体。另外，对第四管34以5L/min供应N2作为密封气体，对小口径助燃性气体喷出口36以25L/min供应O2作为助燃性气体。
对比较例进行下述的表3般的实验。在该实验中，使供应至第五管35的助燃性气体流量发生变化而测量助燃性气体的线速度及玻璃微粒子的沉积效率。另外，在该实验中，将四个多孔质玻璃母材制造用燃烧器30以150mm间隔排列，在初始母材上沉积130kg的多孔质玻璃微粒子。实验中所用的初始母材使用在外径55mm、长度2000mm的芯杆的两端部焊接有外径50mm的虚设杆的初始母材。
表3
  比较例A   比较例B   比较例C
  第五管流量   L/min   20   40   60
  第五管线速度   m/s   1.2   2.4   3.6
  沉积效率   ％   60   65   57
在实验中，在上述所有比较例A、B、C中从第五管35排出的助燃性气体的线速度均较小，如图8所示，气体扩散及火焰散乱变大。另外，在比较例C中，来自第五管35的助燃性气体的流量过大而使沉积面的温度降低，其结果导致沉积效果也大大降低。
另一方面，如果减小助燃性气体的流量，则会使线速度变小。如果助燃性气体的线速度变小，则如图8所示，使气体扩散及火焰散乱变大。其结果导致沉积效果无法提高。
另外，当助燃性气体的线速度较小时，如果设为使可燃性气体与助燃性气体邻接喷出的结构，则会使管的前端部分燃烧。因此，如图6及图7的结构所示，不得不在喷出可燃性气体的第三管33与喷出助燃性气体的第五管35之间设置第四管34，并在第四管34中流动不活泼气体。然而，当不活泼气体抵达玻璃微粒子的沉积面时，会使沉积面的温度降低，其结果导致沉积效果下降。
如此一来，在实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中，在具有中心轴的玻璃原料气体喷出口的外侧呈同心圆状地设置有多个圆环状的气体喷出开口部。而且，在多个气体喷出开口部中除最外侧气体喷出开口部以外的任一气体喷出开口部上相对于中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列小口径气体喷出口。此外，在小口径气体喷出口中位于同一圆周上的小口径气体喷出口的轴线在中心轴的延长线上具有交点。
由此，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中，多个气体喷出开口部中最外侧的气体喷出开口部被堵塞部件堵塞，且在堵塞部件上相对于中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出孔。由此，最外侧的气体喷出开口部的截面积变得更小，气体线速度相对于气体流量变大。由此能够抑制从最外侧的气体喷出开口部喷出的气体及与该气体邻接喷出的气体的扩散，从而提高玻璃微粒子的沉积效率。
另外，根据上述实施方式，通过气体喷出孔的轴线以通过位于同一圆周上的气体喷出孔的轴线在中心轴的延长线上具有交点的方式相对于中心轴倾斜。由此，通过最外侧的气体喷出开口部的气体以朝中心轴的延长线上汇聚的方式喷射，从而能够更加有效地抑制从最外侧气体喷出开口部喷出的气体的扩散。
此外，在上述实施方式中，由于通过最外侧气体喷出开口部的气体以朝中心轴的延长线上汇聚的方式喷射，因此对流过最外侧气体喷出开口部的内侧的其他气体发挥封闭效果，从而能够更加有效地抑制内侧气体的扩散。因此能够更进一步提高玻璃微粒子的沉积效率。
另外，根据其他结构，对最外侧气体喷出开口部供应助燃性气体，且对与最外侧气体喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。
通过上述实施方式，使通过最外侧气体喷出开口部的气体的线速度变大。由此防止燃烧器的前端部分燃烧，因此也可不流过不活泼气体。由此，不设置流动不活泼气体的管道而可形成可燃性气体与助燃性气体邻接喷出的结构。从而防止不活泼气体使沉积面的温度下降，进一步提高沉积效果。
另外，根据本发明的另一结构，堵塞部件的厚度为1.0mm以上，因此，堵塞部件对通过最外侧的气体喷出开口部的气体保持适度的阻力，从而可确实地保持在气体喷出开口部内而不受所流过的气体的影响。由此，各个气体喷出孔的线速度的偏差变小，从而气体喷出孔的线速度分布变得均匀。其结果沉积效果进一步提高。
另外，根据本发明的另一结构，由于通过气体喷出孔的气体的线速度为约16m/s，气体喷出孔为圆形，且气体喷出孔的内径为1.0mm以下，因此能够对流过最外侧气体喷出开口部的气体的内侧的其他气体带来更大的封闭效果，从而能够更加有效地抑制气体扩散。
在上述实施方式中记载的是气体喷出孔20为一列或两列的情况。然而，气体喷出孔20的列并不限于一列或两列，也可设置成三列以上。
另外，在上述实施方式中，虽然通过移动机构使燃烧器装置7沿初始母材2的长度方向往返移动，但只要使初始母材2与燃烧器装置7相对地往返移动即可。因此，也可将初始母材2安装在移动机构上，使初始母材2相对于燃烧器装置7移动。
以上，虽然使用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限于上述实施方式所记载的范围。本领域技术人员应当理解，可对上述实施方式加以各种变更或改良。根据技术方案的范围的记载得知，加以这些变更或改良的结构也包含在本发明的技术范围内。

Claims (10)

1.一种多孔质玻璃母材制造用燃烧器，包括：
原料气体喷出口；
多个气体喷出开口部，与所述原料气体喷出口呈同心圆状地设置在所述原料气体喷出口的外侧；以及
多个小口径气体喷出口，设置在所述多个气体喷出开口部中的除最外侧气体喷出开口部以外的任一者的内侧，且相对于所述原料气体喷出口呈同心圆状排列；
位于同一圆周上的所述多个小口径气体喷出口的轴线在所述原料气体喷出口的中心轴的延长线上具有交点；且
进而包括堵塞部件，堵塞所述多个气体喷出开口部中的最外侧的气体喷出开口部，且具有相对于所述原料气体喷出口的中心轴呈同心圆状地设置的多个气体喷出孔。
2.根据权利要求1所述的多孔质玻璃母材制造用燃烧器，其特征在于：所述多个气体喷出孔中排列于同一圆周上的至少一部分气体喷出孔的轴线相对于所述原料气体喷出口的中心轴倾斜，且该轴线的延长线在所述中心轴的延长线上具有交点。
3.根据权利要求1所述的多孔质玻璃母材制造用燃烧器，其特征在于：对所述多个气体喷出开口部中的最外侧气体喷出开口部供应助燃性气体，且对与该最外侧的气体喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。
4.根据权利要求1所述的多孔质玻璃母材制造用燃烧器，其特征在于：所述堵塞部件具有1.0mm以上的厚度。
5.根据权利要求1所述的多孔质玻璃母材制造用燃烧器，其特征在于：所述多个气体喷出孔的各个为圆形，且具有1.0mm以下的内径，通过所述多个气体喷出孔的各个的气体的线速度为约16m/s。
6.一种多孔质玻璃母材的制造方法，使用多孔质玻璃母材制造用燃烧器，该多孔质玻璃母材制造用燃烧器包括：
原料气体喷出口；
多个气体喷出开口部，与所述原料气体喷出口呈同心圆状地设置在所述原料气体喷出口的外侧，且为圆环状；
多个小口径气体喷出口，设置在所述多个气体喷出开口部中的除最外侧气体喷出开口部以外的任一者的内侧，且相对于所述原料气体喷出口呈同心圆状排列；
位于同一圆周上的所述多个小口径气体喷出口的轴线在所述原料气体喷出口的中心轴的延长线上具有交点；且所述方法包括如下步骤：
进而设置堵塞部件，该堵塞部件堵塞所述多个气体喷出开口部中的最外侧的气体喷出开口部，且具有相对于所述原料气体喷出口的中心轴呈同心圆状地设置的多个气体喷出孔；
向所述原料气体喷出口、所述多个气体喷出开口部、所述多个小口径气体喷出口及所述多个气体喷出孔中的任一者供应可燃性气体及助燃性气体中的至少一者；以及
一面使所述多孔质玻璃母材制造用燃烧器相对于所述多孔质玻璃母材的初始母材相对性地往返移动，一面从所述多孔质玻璃母材制造用燃烧器向所述初始母材喷射包含玻璃微粒子的火焰，由此在所述初始母材上沉积所述玻璃微粒子。
7.根据权利要求6所述的多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于：所述多个气体喷出孔中排列于同一圆周上的至少一部分气体喷出孔的轴线相对于所述原料气体喷出口的中心轴倾斜，且该轴线的延长线在所述中心轴的延长线上具有交点。
8.根据权利要求6所述的多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于：对所述多个气体喷出开口部中的最外侧气体喷出开口部供应助燃性气体，且对与该最外侧的气体喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。
9.根据权利要求6所述的多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于：所述堵塞部件具有1.0mm以上的厚度。
10.根据权利要求6所述的多孔质玻璃母材的制造方法，其特征在于：将所述多个气体喷出孔的各个均设为圆形，并将内径设为1.0mm以下，且将通过所述多个气体喷出孔的各个的气体的线速度设为16m/s。
CN201210398053.4A 2011-10-18 2012-10-18 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法 Active CN103058510B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011229166A JP5748633B2 (ja) 2011-10-18 2011-10-18 多孔質ガラス母材製造用バーナ及び多孔質ガラス母材の製造方法
JP2011-229166 2011-10-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103058510A true CN103058510A (zh) 2013-04-24
CN103058510B CN103058510B (zh) 2015-07-01

Family

ID=47046427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210398053.4A Active CN103058510B (zh) 2011-10-18 2012-10-18 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9032761B2 (zh)
EP (1) EP2583952B1 (zh)
JP (1) JP5748633B2 (zh)
CN (1) CN103058510B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106746587A (zh) * 2016-12-26 2017-05-31 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 制造光纤预制棒的燃烧器
CN107056042A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 江苏亨通光导新材料有限公司 光纤预制棒的喷灯
CN107698139A (zh) * 2016-08-09 2018-02-16 信越化学工业株式会社 光纤母材的制造方法及制造装置
CN109626809A (zh) * 2017-10-05 2019-04-16 信越化学工业株式会社 用于制备光纤的多孔玻璃沉积物的方法
CN109665711A (zh) * 2017-10-13 2019-04-23 信越化学工业株式会社 合成用燃烧器
CN109896738A (zh) * 2017-02-28 2019-06-18 天津富通集团有限公司 光纤预制棒的生产工艺
CN109912192A (zh) * 2017-02-24 2019-06-21 天津富通集团有限公司 用于光纤预制棒的喷灯
CN109928611A (zh) * 2017-12-18 2019-06-25 中天科技精密材料有限公司 燃烧器及具有该燃烧器的光纤预制棒加工装置
CN111548002A (zh) * 2019-02-12 2020-08-18 信越化学工业株式会社 光纤用多孔质玻璃母材的制造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9032760B2 (en) * 2012-07-03 2015-05-19 Johns Manville Process of using a submerged combustion melter to produce hollow glass fiber or solid glass fiber having entrained bubbles, and burners and systems to make such fibers
JP6216263B2 (ja) * 2014-02-28 2017-10-18 株式会社フジクラ マルチコアファイバ用母材及びこれを用いたマルチコアファイバ、及び、マルチコアファイバ用母材の製造方法及びこれを用いたマルチコアファイバの製造方法
JP2017036172A (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04160027A (ja) * 1990-10-19 1992-06-03 Fujikura Ltd 光ファイバ用バーナおよび光ファイバ母材の製造方法
JPH09175826A (ja) * 1995-12-26 1997-07-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 多孔質ガラス母材合成用バーナ
US5788730A (en) * 1995-07-27 1998-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh Process and apparatus for the production of a quartz glass blank
JP2003226544A (ja) * 2002-02-01 2003-08-12 Fujikura Ltd 光ファイバ多孔質母材の製造方法
JP2004323319A (ja) * 2003-04-25 2004-11-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 石英バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法
CN101519271A (zh) * 2008-02-27 2009-09-02 信越化学工业株式会社 光纤预制体的制造方法
CN101519269A (zh) * 2008-02-27 2009-09-02 信越化学工业株式会社 光纤预制体的制造方法和用于制造该预制体的燃烧器
CN101519270A (zh) * 2008-02-27 2009-09-02 信越化学工业株式会社 用于制造光纤预制体的燃烧器
CN101591138A (zh) * 2008-05-13 2009-12-02 信越化学工业株式会社 多孔质玻璃母材的制造方法及气体流量控制装置
CN101838103A (zh) * 2009-03-03 2010-09-22 信越化学工业株式会社 光纤用母材的制造方法
CN101965316A (zh) * 2008-02-27 2011-02-02 信越化学工业株式会社 多孔质玻璃母材制造用燃烧器

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62187135A (ja) 1986-02-12 1987-08-15 Furukawa Electric Co Ltd:The ガラス微粒子合成用ト−チ
JPH02146136U (zh) * 1989-05-10 1990-12-12
JPH05323130A (ja) 1990-12-27 1993-12-07 Furukawa Electric Co Ltd:The 多焦点型バーナおよびそのバーナを用いたガラス微粒子堆積体の製造方法
JP3543537B2 (ja) 1996-05-09 2004-07-14 住友電気工業株式会社 ガラス微粒子合成方法及びそのための焦点型バーナ
JP3653902B2 (ja) 1996-12-12 2005-06-02 住友電気工業株式会社 ガラス母材合成用バーナ及びガラス母材の製造方法
JP3591330B2 (ja) 1998-10-07 2004-11-17 住友電気工業株式会社 ガラス母材の製造方法
KR20020029774A (ko) 1999-09-03 2002-04-19 불라 엘엘씨 화염 가수 분해에 의해 유리 예비성형품을 제조하기 위한장치
JP3744350B2 (ja) 2000-11-28 2006-02-08 日立電線株式会社 多孔質ガラス母材合成用バーナ及び多孔質ガラス母材の製造方法
JP4043768B2 (ja) 2001-11-27 2008-02-06 古河電気工業株式会社 光ファイバ用母材の製造方法
JP2003206154A (ja) 2002-01-15 2003-07-22 Fujikura Ltd 光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置およびこれを用いた光ファイバ多孔質母材の製造方法
JP3953820B2 (ja) 2002-01-16 2007-08-08 株式会社フジクラ 光ファイバ多孔質母材の製造方法
JP2003226543A (ja) * 2002-02-01 2003-08-12 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバ母材製造用バーナ装置
JP3946645B2 (ja) * 2002-02-20 2007-07-18 株式会社フジクラ 光学用ガラスおよびその製造方法
WO2003093182A1 (en) * 2002-05-03 2003-11-13 Pirelli & C. S.P.A. Burner assembly for producing glass preforms and corresponding production process
JP4220809B2 (ja) * 2003-03-11 2009-02-04 株式会社フジクラ ガラス微粒子合成用バーナ及び光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JP4241173B2 (ja) 2003-05-06 2009-03-18 住友電気工業株式会社 多孔質ガラス微粒子堆積体の製造法及び前記製造法に用いられるガラス合成用バーナ
FI116619B (fi) * 2004-07-02 2006-01-13 Liekki Oy Menetelmä ja laite optisen materiaalin tuottamiseksi sekä optinen aaltojohde
JP4498917B2 (ja) 2004-12-28 2010-07-07 株式会社フジクラ ガラス棒状体の製造方法
JP5264543B2 (ja) * 2008-02-27 2013-08-14 信越化学工業株式会社 光ファイバ用母材の製造方法
JP4750867B2 (ja) * 2009-02-24 2011-08-17 信越化学工業株式会社 多孔質ガラス母材製造用バーナ及び多孔質ガラス母材の製造方法
JP5653681B2 (ja) * 2010-08-19 2015-01-14 コバレントマテリアル徳山株式会社 合成シリカガラス製造装置及び合成シリカガラスの製造方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04160027A (ja) * 1990-10-19 1992-06-03 Fujikura Ltd 光ファイバ用バーナおよび光ファイバ母材の製造方法
US5788730A (en) * 1995-07-27 1998-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh Process and apparatus for the production of a quartz glass blank
JPH09175826A (ja) * 1995-12-26 1997-07-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 多孔質ガラス母材合成用バーナ
JP2003226544A (ja) * 2002-02-01 2003-08-12 Fujikura Ltd 光ファイバ多孔質母材の製造方法
JP2004323319A (ja) * 2003-04-25 2004-11-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 石英バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法
CN101519271A (zh) * 2008-02-27 2009-09-02 信越化学工业株式会社 光纤预制体的制造方法
CN101519269A (zh) * 2008-02-27 2009-09-02 信越化学工业株式会社 光纤预制体的制造方法和用于制造该预制体的燃烧器
CN101519270A (zh) * 2008-02-27 2009-09-02 信越化学工业株式会社 用于制造光纤预制体的燃烧器
CN101965316A (zh) * 2008-02-27 2011-02-02 信越化学工业株式会社 多孔质玻璃母材制造用燃烧器
CN101591138A (zh) * 2008-05-13 2009-12-02 信越化学工业株式会社 多孔质玻璃母材的制造方法及气体流量控制装置
CN101838103A (zh) * 2009-03-03 2010-09-22 信越化学工业株式会社 光纤用母材的制造方法

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107698139A (zh) * 2016-08-09 2018-02-16 信越化学工业株式会社 光纤母材的制造方法及制造装置
CN106746587B (zh) * 2016-12-26 2023-10-20 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 制造光纤预制棒的燃烧器
CN106746587A (zh) * 2016-12-26 2017-05-31 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 制造光纤预制棒的燃烧器
CN109912192B (zh) * 2017-02-24 2021-08-06 天津富通集团有限公司 用于光纤预制棒的喷灯
CN109928612B (zh) * 2017-02-24 2021-08-06 天津富通集团有限公司 一种光纤预制棒的制造方法
CN109912192A (zh) * 2017-02-24 2019-06-21 天津富通集团有限公司 用于光纤预制棒的喷灯
CN109928612A (zh) * 2017-02-24 2019-06-25 天津富通集团有限公司 一种光纤预制棒的制造方法
CN109912190B (zh) * 2017-02-28 2021-08-06 天津富通集团有限公司 用于光纤预制棒生产的烧结炉
CN109896738A (zh) * 2017-02-28 2019-06-18 天津富通集团有限公司 光纤预制棒的生产工艺
CN109912190A (zh) * 2017-02-28 2019-06-21 天津富通集团有限公司 用于光纤预制棒生产的烧结炉
CN109896738B (zh) * 2017-02-28 2021-08-06 天津富通集团有限公司 光纤预制棒的生产工艺
CN107056042B (zh) * 2017-04-17 2023-05-09 江苏亨通光导新材料有限公司 光纤预制棒的喷灯
CN107056042A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 江苏亨通光导新材料有限公司 光纤预制棒的喷灯
CN109626809B (zh) * 2017-10-05 2022-07-15 信越化学工业株式会社 用于制备光纤的多孔玻璃沉积物的方法
CN109626809A (zh) * 2017-10-05 2019-04-16 信越化学工业株式会社 用于制备光纤的多孔玻璃沉积物的方法
CN109665711B (zh) * 2017-10-13 2021-10-26 信越化学工业株式会社 合成用燃烧器
CN109665711A (zh) * 2017-10-13 2019-04-23 信越化学工业株式会社 合成用燃烧器
CN109928611A (zh) * 2017-12-18 2019-06-25 中天科技精密材料有限公司 燃烧器及具有该燃烧器的光纤预制棒加工装置
CN109928611B (zh) * 2017-12-18 2024-01-30 中天科技精密材料有限公司 燃烧器及具有该燃烧器的光纤预制棒加工装置
CN111548002A (zh) * 2019-02-12 2020-08-18 信越化学工业株式会社 光纤用多孔质玻璃母材的制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2583952A1 (en) 2013-04-24
US20130091900A1 (en) 2013-04-18
JP2013087020A (ja) 2013-05-13
US9032761B2 (en) 2015-05-19
CN103058510B (zh) 2015-07-01
JP5748633B2 (ja) 2015-07-15
EP2583952B1 (en) 2016-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103058510A (zh) 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法
CN101965316B (zh) 多孔质玻璃母材制造用燃烧器
CN1807302B (zh) 制造玻璃棒的方法
CN103880280B (zh) 玻璃微粒子合成用燃烧器、沉积体的制造方法及沉积装置
KR100567155B1 (ko) 유리 입자 합성용 버너 및 다공질 유리체의 제조방법
US8517721B2 (en) Burner for fabricating optical fiber preform
CN107107102A (zh) 增强的颗粒沉积系统和方法
CN101519271A (zh) 光纤预制体的制造方法
US9227869B2 (en) Porous glass base material manufacturing burner and optical fiber porous glass base material manufacturing apparatus
JP6887930B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法
KR101035437B1 (ko) 다공질 유리 모재 제조용 버너
JP2016064954A (ja) ガラス微粒子堆積用バーナおよびガラス微粒子堆積体の製造方法
CN101838103B (zh) 光纤用母材的制造方法
JP7195703B2 (ja) 多孔質体合成用バーナー及び多孔質体の製造方法
JP3953820B2 (ja) 光ファイバ多孔質母材の製造方法
CN102234177B (zh) 用于制造多孔玻璃预型体的燃烧器
JP5168772B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
KR20140131649A (ko) 석영유리 잉곳 제조용 버너
JP2012001411A (ja) ガラス微粒子合成用バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法
JP4857172B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法
JP2018135238A (ja) 多孔質体合成用多重管バーナー及び多孔質体合成装置
JPH09235133A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JPH0712954B2 (ja) 光フアイバ用母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant