CN103708720B - 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法 - Google Patents

光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103708720B
CN103708720B CN201310449972.4A CN201310449972A CN103708720B CN 103708720 B CN103708720 B CN 103708720B CN 201310449972 A CN201310449972 A CN 201310449972A CN 103708720 B CN103708720 B CN 103708720B
Authority
CN
China
Prior art keywords
deposition
burner
raw material
glass
glass raw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310449972.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103708720A (zh
Inventor
浦田佑平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Publication of CN103708720A publication Critical patent/CN103708720A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103708720B publication Critical patent/CN103708720B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10—Internal structure or shape details
    • C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
    • C03B2203/23—Double or multiple optical cladding profiles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/50—Multiple burner arrangements
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/70—Control measures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

本发明提供一种光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法，其特征在于：在使用沉积位置不同的多个燃烧器在一边旋转一边被向上拉升的初始材上沉积硅粉末以制造多孔质玻璃沉积体的工序中，将供应给纤芯部沉积用燃烧器的玻璃原料流量设为F1，将供应给与纤芯部沉积用燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器的玻璃原料的总流量设为F2时，在气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段，以在该沉积体的长度方向的同一位置的玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上且1.03以下的方式供应玻璃原料。通过所述方法能够改善烟灰沉积体在沉积初始阶段部分的圆周方向上的密度分布，谋求改善未熔残余。

Description

光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法
技术领域
本发明涉及一种多孔质玻璃沉积体的制造方法，尤其涉及一种在对多孔质玻璃沉积体进行加热处理从而透明玻璃化时，能够减少未熔残余并以高成品率制造光纤母材的光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法。
背景技术
光纤的中心部（纤芯）的折射率比外周部（包层）的折射率稍高，该折射率的差使得光传输成为可能。光纤拉丝处理前的状态即光纤母材也是一样，中心部的折射率比外周部的折射率稍高。以合成石英（SiO2）为主要组成物质的光纤中，纤芯与包层的折射率差通常是通过往纤芯中掺杂GeO2而得到的。这样一来，光纤母材具有中心部与外周部的物质组成不同这样的特征，制造方法上也分多种类型。
气相轴向沉积法（Vapour Phase Axial Deposition，VAD）法被认为是一种适用于制造大型母材的方法，该方法为向形成氢氧焰的燃烧器中供应四氯化硅等原料，使生成的SiO2微粒子沉积于目标物上，从而制造多孔质玻璃沉积体（烟灰沉积体，soot）。此后，通过烧结炉进行加热处理并被透明玻璃化。为了往纤芯部中掺杂GeO2，除了四氯化硅以外，还要向纤芯部沉积用燃烧器中供应四氯化锗。因此，在沉积后的纤芯部的上方，通过另一燃烧器，从纤芯部的外侧起沉积有包层部。这样一来，通过使用多个燃烧器进行沉积，形成多个沉积层，从而能够制造更大型的烟灰沉积体。
在烧结工序中，在烧结炉内将烟灰沉积体沿纵向悬吊下垂，朝向热源使其下降以进行加热。在被加热的烟灰沉积体内，随着内部气体逃逸的同进而进行收缩，密度上升而成为透明玻璃，至此烧结工序结束。
发明内容
发明要解决的问题
在制造烟灰沉积体之后，通过烧结炉进行加热处理而透明玻璃化，但如果在烟灰沉积体的圆周方向上出现密度分布不均，则透明玻璃化无法顺利进行，有时会产生未熔残余。未熔残余是指由于烟灰沉积体内部的气体未顺利逸出而出现残留时引起的现象，在车床上进行加热加工时，气体发生膨张从而母材破损，对纤维化时的光学特性带来恶劣影响，从而作为不良部被处理。即，成为成品率下降的原因之一。当存在未熔残余时，考虑到对未熔残余周边部分的光学特性带来的恶劣影响，实际的未熔残余部分及其周边部分都被判定为不良部。
为了减少作为不良部的未熔残余，对烧结时的温度、供应气体条件进行最优化，对烟灰沉积体制造时的气体条件等进行改善。对烧结条件进行最优化时，最优先消除占据烟灰沉积体大部分的、在恒定气体条件下沉积的直体部处的未熔残余。因此，即使消除了直体部的未熔残余，但在除此之外的部分，尤其是在恒定条件下沉积之前的、沉积初始阶段沉积的部分也会产生未熔残余。如前所述，不仅仅是未熔残余部分，周边部分也会作为不良部被处理，因此，为了提高成品率，需要消除直体部以外的未熔残余。
考虑到上述状况，本发明的目的是提供一种能够改善烟灰沉积体在沉积初始阶段部分处的圆周方向上的密度分布，谋求改善未熔残余的光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法。
用于解决问题的方案
为了达成上述目的，尤其是为了改善沉积初始阶段的未熔残余，对烟灰沉积体沉积时的气体条件进行研究后发现，供应给纤芯部沉积用燃烧器的玻璃原料流量与供应给包层部沉积用燃烧器的玻璃原料的总流量之间的流量比很重要，从而完成了本发明。
即，本发明所述光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法的特征在于：在使用沉积位置不同的多个燃烧器在一边旋转一边被向上拉升的初始材上沉积硅粉末以制造多孔质玻璃沉积体的工序中，将供应给纤芯部沉积用燃烧器的玻璃原料流量设为F1，将供应给与纤芯部沉积用燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器的玻璃原料的总流量设为F2时，在气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段，以在该沉积体的长度方向的同一位置的玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上且1.03以下的方式供应玻璃原料。
另外，上述发明内容并未列举出本发明的全部必要特征。另外，所述特征组的子组合也有可能构成发明。
附图说明
图1为说明多孔质玻璃沉积体的制造方法的一例的示意图。
图2为表示在现有的气体条件下沉积的多孔质玻璃沉积体的纵截面形状的纵截面示意图。
图3为表示在向与纤芯部沉积用燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器供应比现有流量更大的玻璃原料流量的气体条件下沉积的多孔质玻璃沉积体的纵截面形状的纵截面示意图。
图4为说明在多孔质玻璃沉积体的沉积初始阶段形成的锥体部的长度d的纵截面示意图。
图5为表示在沉积初始锥体部形成时的、纤芯部沉积用燃烧器和相邻包层部沉积用燃烧器的玻璃原料流量比F2/F1与烧结后的未熔残余区域的长度之间的相关性的图。
附图标记说明
1纤芯部沉积用燃烧器、2中间包层部沉积用燃烧器、3最外包层部沉积用燃烧器、4多孔质玻璃沉积体、5初始材
具体实施方式
以下对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不限于下述内容，各种方式均是可能的。图1为说明多孔质玻璃沉积体的制造方法的一例的示意图。图中显示了使用用于沉积中心的纤芯部的纤芯部沉积用燃烧器1、与纤芯部沉积用燃烧器1相邻的用于沉积中间包层部的中间包层部沉积用燃烧器2、以及用于沉积最外包层部的最外包层部沉积用燃烧器3来沉积多孔质玻璃沉积体4的情况。
位于纤芯部沉积用燃烧器1外侧的中间包层部沉积用燃烧器2不仅仅承担从纤芯部的外侧起沉积烟灰的作用，还承担了通过其火焰来调整纤芯部的折射率分布的作用。对于中间包层部沉积用燃烧器2，着眼于与纤芯部沉积用燃烧器1的火焰之间的干涉来确定其位置和气体条件。因此，被沉积的纤芯部通过中间包层部沉积用燃烧器2的火焰而烧结，提高了密度。
该烧结在需要将纤芯部牢牢固定于初始材5上的沉积最初始阶段尤其重要，如果在该阶段中通过中间包层部沉积用燃烧器2的火焰进行的烧结不结实，在沉积重量增加的阶段中成为烟灰从初始材5脱落的原因，使成品率下降。在沿长度方向沉积烟灰的外径变大的锥体区域、即在沉积的初始阶段，随时间的经过而增加各燃烧器的原料流量。因此，在初始阶段，与燃烧气体、助燃性气体的供应量相比，原料流量少，通过中间包层部沉积用燃烧器2的火焰进行的烧结强，易于提高密度。
图2表示在现有气体条件下在烟灰沉积体的沉积初始阶段中沉积的区域的纵截面形状的例子。在图2中，对初始材5、纤芯部、中间包层部、最外包层部采用不同的填充图像加以区分，从而显示各自的区域。进行透明玻璃化处理时，将烟灰沉积体保持为纵向，朝向炉子的加热区域使其下降时，烟灰沉积体从下端起被透明玻璃化。当透明玻璃化从下端起开始时，烟灰沉积体收缩，占据烟灰沉积体内的气体向上方逸出。随着加热处理的进行，上方的烟灰沉积体的沉积初始的锥体区域进入收缩阶段时，烟灰沉积体内的气体的逸出部分的烟灰沉积体密度变高，气体的扩散速度变小。当由加热引起的烟灰沉积体的收缩速度带来比气体的扩散速度更大影响时，气体会残留于烟灰沉积体内，产生未熔残余。
如此，当从沉积初始阶段的纤芯部开始，通过烧结而进行透明玻璃化时，烟灰沉积体中的气体难以逸出，造成大量的未熔残余。由于锥体区域多成为光学特性不良部，因此未熔残余对成品率带来的影响小，但是，有时在外径大致恒定的区域也会产生未熔残余，造成成品率的下降。
图3表示使沉积初始时的中间包层部沉积用燃烧器的原料流量大于现有流量时的、在烟灰沉积体沉积初始阶段沉积的区域的纵截面形状的例子。与图2的例子相同，初始材5、纤芯部、中间包层部、最外包层部采用不同的填充图像加以区分，从而显示各自的区域。在图3中，与图2相比中间包层部的密度低，烟灰沉积体内的气体易于向上方逃逸。如图3所示可以看出，为了在抑制沉积初始阶段的未熔残余的同时还以高成品率来制造光纤用玻璃母材，需要降低沉积初始阶段的中间包层部的密度。本发明人通过以上的研究，最终完成了本发明。
即，本实施方式所述多孔质玻璃沉积体的制造方法是在使用沉积位置不同的多个燃烧器在一边旋转一边被向上拉升的初始材上沉积硅粉末以制造多孔质玻璃沉积体的工序中，将供应给纤芯部沉积用燃烧器的玻璃原料流量设为F1，将供应给与纤芯部沉积用燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器的玻璃原料的总流量设为F2时，在气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段，以在该沉积体的长度方向的同一位置的玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上且1.03以下的方式供应玻璃原料，从而减少光纤用玻璃母材的未熔残余。
如此，例如在VAD法中，在恒定状态之前的沉积的初始阶段，以位于初始材前端下方的同一位置的玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上且1.03以下的方式供应玻璃原料，从而控制由多个燃烧器被沉积的烟灰沉积体的内部、中间包层部的密度，从而减少烟灰沉积体在圆周方向上的密度分布不均，减少在透明玻璃化时的沉积初始区域部分的未熔残余。
由于各燃烧器的位置、角度各不相同，初始材的旋转轴与各燃烧器的中心轴的交点也不相同，其结果，同一位置的沉积位置也不同。然而，在沉积过程中，初始材被向上拉升，因此，从中间包层部沉积用燃烧器开始沉积烟灰以覆盖纤芯部，从最外包层部沉积用燃烧器开始沉积烟灰以覆盖中间包层部。此时，由同一燃烧器带来的母材上的烟灰的沉积位置通过初始材的拉升和旋转而描绘出螺旋状轨迹的变化。因此，为了使因初始材的拉升和旋转而变化的长度方向上的同一位置的沉积量、即烟灰沉积体的密度相同，需要考虑各燃烧器的沉积位置与初始材的拉升速度及旋转速度来适当地设定各燃烧器的原料流量的变化模式，此时再对玻璃原料流量比F2/F1进行调整。基于这样的考虑，通过适当调整沉积初始区域的烟灰沉积体密度，能够减少由未熔残余造成的不良部的产生，防止成品率下降。
例如，在制造出的多孔质玻璃沉积体中，如图4所示，在将从初始材下端起到将锥体部分的长度设为d时的d/4处的区域，以不同的流量向中间包层部沉积用燃烧器供应玻璃原料，进行比较后，得到图5所示的结果。在横轴表示从初始材下端起到d/4处的区域的玻璃原料流量比F2/F1，在纵轴表示进行烧结处理后的未熔残余区域的范围的从初始材下端起的距离。从图5可以看出，存在F2/F1的值越大，未熔残余部分越小的倾向。尤其是，当F2/F1达到0.69以上时，未熔残余区域的长度达到100mm以下，该长度被限制在烧结后的玻璃母材的锥体形状部分内。另一方面，当F2/F1达到1.1以上时，未熔残余区域的长度又达到100mm以上。因此，为了使未熔残余区域的长度降到100mm以下，使玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上、1.03以下。
另外，除了纤芯部沉积用燃烧器及与该燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器之外，优选进一步设置用于在外侧沉积包层部的燃烧器。另外，气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段是指，将从初始材下端起的锥体部分的长度设为d时，气体条件到达恒定状态之前的沉积初始阶段是沉积直到d/4处的区域的阶段。
实施例
以下就实施例和比较例进行说明。使用纤芯部沉积用燃烧器、相邻的中间包层部沉积用燃烧器、以及最外包层部沉积用燃烧器来制造多孔质玻璃沉积体，烧结并进行透明玻璃化处理。另外，纤芯部沉积用燃烧器及最外包层部沉积用燃烧器的位置、气体条件等均完全相同。
（实施例1）
从初始材下端起形成锥体区域的1/4的阶段中，使各燃烧器的气体条件成为以下的设定值来进行沉积。即，向纤芯部沉积用燃烧器供应氧气7.5L/min、氢气5.0L/min、氩气0.4L/min、四氯化硅0.40L/min，向中间包层部沉积用燃烧器供应氧气14L/min、氢气14L/min、氩气2.2L/min、四氯化硅0.3L/min，进行制造。使拉升速度为1.0mm/min，使初始材的旋转速度为20rpm。在该制造条件下，玻璃原料流量比F2/F1为0.75，在0.69以上且1.03以下。其结果，在烧结处理后的玻璃棒的状态下，从初始材下端起10mm处的区域中产生了未熔残余，但其被限制在锥体区域内，对外径大致恒定的直体部没有影响。
（比较例1）
向纤芯部沉积用燃烧器供应氧气7.5L/min、氢气5.0L/min、氩气0.4L/min、四氯化硅0.40L/min，向中间包层部沉积用燃烧器供应氧气14L/min、氢气14L/min、氩气2.2L/min、四氯化硅0.2L/min，进行制造。拉升速度为1.0mm/min，初始材的旋转速度为20rpm。在此制造条件下，玻璃原料流量比F2/F1为0.5，不到0.69。其结果，在烧结处理后的玻璃棒状态下，从沉积开始的位置起115mm处的区域中产生了未熔残余。其长度延伸到了外径大致恒定的直体部。
（比较例2）
向纤芯部沉积用燃烧器中供应氧气7.5L/min、氢气5.0L/min、氩气0.4L/min、四氯化硅0.40L/min，向中间包层部沉积用燃烧器供应氧气14L/min、氢气14L/min、氩气2.2L/min、四氯化硅0.40L/min，进行制造。拉升速度为1.0mm/min，初始材的旋转速度为20rpm。在此制造条件下，玻璃原料流量比F2/F1为1.10，大于1.03。其结果，在烧结处理后的玻璃棒状态下，从沉积开始位置起115mm处的区域中产生了未熔残余。其长度延伸到了外径大致恒定的直体部。
如以上所说明的，在气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段中，通过使烟灰沉积体的长度方向的同一位置的玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上且1.03以下，能够减少沉积初始区域部分处的未熔残余不良部的产生，以高成品率来制造光纤用母材。
以上，使用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的技术范围不限于上述实施方式所记载的范围。另外，本领域技术人员应当清楚，在上述实施方式的基础上可加以增加各种变更或改进。此外，由权利要求的记载可知，这种加以变更或改进的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

Claims (3)

1.一种光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法，其特征在于，在使用沉积位置不同的多个燃烧器在一边旋转一边被向上拉升的初始材上沉积硅粉末以制造多孔质玻璃沉积体的工序中，将供应给纤芯部沉积用燃烧器的玻璃原料流量设为F1，将供应给与所述纤芯部沉积用燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器的玻璃原料的总流量设为F2时，在气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段，以在该沉积体的长度方向的同一位置的玻璃原料流量比F2/F1为0.69以上且1.03以下的方式供应玻璃原料；所述玻璃原料为四氯化硅。
2.根据权利要求1所述的光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法，其中，除了所述纤芯部沉积用燃烧器及与该燃烧器相邻的包层部沉积用燃烧器之外，还具有用于在外侧沉积包层部的燃烧器。
3.根据权利要求1所述的光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法，其特征在于：将从初始材下端起的锥体部分的长度设为d时，所述气体条件达到恒定状态之前的沉积初始阶段为对直到d/4处的区域进行沉积的阶段。
CN201310449972.4A 2012-09-28 2013-09-27 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法 Active CN103708720B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012215645 2012-09-28
JP2012-215645 2012-09-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103708720A CN103708720A (zh) 2014-04-09
CN103708720B true CN103708720B (zh) 2018-08-28

Family

ID=50383962

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310449972.4A Active CN103708720B (zh) 2012-09-28 2013-09-27 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11091384B2 (zh)
JP (1) JP6006186B2 (zh)
CN (1) CN103708720B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10464838B2 (en) 2015-01-13 2019-11-05 Asi/Silica Machinery, Llc Enhanced particle deposition system and method
JP6441152B2 (ja) * 2015-04-06 2018-12-19 信越化学工業株式会社 多孔質ガラス母材の製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009114045A (ja) * 2007-11-09 2009-05-28 Fujikura Ltd 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
CN102173572A (zh) * 2011-03-23 2011-09-07 中天科技精密材料有限公司 一种全合成超大尺寸超低水峰光纤预制棒制造方法及其制造设备

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0667764B2 (ja) * 1985-05-27 1994-08-31 古河電気工業株式会社 ガラス微粒子生成用バ−ナ
JPH0761877B2 (ja) * 1987-03-13 1995-07-05 住友電気工業株式会社 ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP3387137B2 (ja) * 1993-02-22 2003-03-17 住友電気工業株式会社 ガラス母材の火炎研磨方法
US5625733A (en) * 1995-02-09 1997-04-29 Lucent Technologies Inc. Arrangement for interconnecting an optical fiber to an optical component
JPH0986948A (ja) * 1995-09-25 1997-03-31 Fujikura Ltd 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
US6923024B2 (en) * 2002-05-09 2005-08-02 Furukawa Electric North America VAD manufacture of optical fiber preforms with improved deposition control
CN1618750B (zh) * 2003-11-11 2010-04-28 株式会社藤仓 多孔二氧化硅预制件的制造方法和多孔二氧化硅预制件
JP4520863B2 (ja) * 2005-01-17 2010-08-11 信越化学工業株式会社 石英ガラスの製造方法
US20070137256A1 (en) * 2005-12-19 2007-06-21 Barish Eric L Methods for optical fiber manufacture

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009114045A (ja) * 2007-11-09 2009-05-28 Fujikura Ltd 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
CN102173572A (zh) * 2011-03-23 2011-09-07 中天科技精密材料有限公司 一种全合成超大尺寸超低水峰光纤预制棒制造方法及其制造设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN103708720A (zh) 2014-04-09
JP2014080354A (ja) 2014-05-08
JP6006186B2 (ja) 2016-10-12
US11091384B2 (en) 2021-08-17
US20140090426A1 (en) 2014-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005528318A (ja) 外部気相蒸着法を用いた光ファイバ母材の製造方法及び装置
CN103708720B (zh) 光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法
WO2016008287A1 (zh) 烤灯、沉积装置、提高光纤预制棒疏松体密度的方法
JP5697165B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法
CN109626809B (zh) 用于制备光纤的多孔玻璃沉积物的方法
JP4348341B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
CN103992029B (zh) 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及光纤用多孔质玻璃母材的制造装置
JP7286587B2 (ja) 光ファイバ母材
JP7115095B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP3953820B2 (ja) 光ファイバ多孔質母材の製造方法
JP6784016B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2012006791A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP4499025B2 (ja) 石英ガラス多孔質母材の製造方法
JP4530687B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
JP6431349B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP5000333B2 (ja) 光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法
JP4404214B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JPS63107825A (ja) 合成石英管の製造方法
JP2005139042A (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法
JP5087929B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP2004002117A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP3706499B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
JP3953855B2 (ja) 多孔質母材の製造方法
JPS6259063B2 (zh)
JP2020100537A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant