JP4520863B2 - 石英ガラスの製造方法 - Google Patents

石英ガラスの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4520863B2
JP4520863B2 JP2005009251A JP2005009251A JP4520863B2 JP 4520863 B2 JP4520863 B2 JP 4520863B2 JP 2005009251 A JP2005009251 A JP 2005009251A JP 2005009251 A JP2005009251 A JP 2005009251A JP 4520863 B2 JP4520863 B2 JP 4520863B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
deposition
peripheral speed
quartz glass
starting member
less
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005009251A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006193394A (ja
Inventor
大 井上
真 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2005009251A priority Critical patent/JP4520863B2/ja
Priority to PCT/JP2005/023533 priority patent/WO2006075496A1/ja
Priority to CN2005800490921A priority patent/CN101142144B/zh
Priority to KR1020077018310A priority patent/KR101214740B1/ko
Priority to TW095100034A priority patent/TW200626514A/zh
Publication of JP2006193394A publication Critical patent/JP2006193394A/ja
Priority to US11/826,440 priority patent/US20070271962A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4520863B2 publication Critical patent/JP4520863B2/ja
Priority to US14/259,833 priority patent/US20140230494A1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/50Multiple burner arrangements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/60Relationship between burner and deposit, e.g. position
    • C03B2207/66Relative motion
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/70Control measures

Description

本発明は、いわゆるVAD法で光ファイバ母材を製造する石英ガラスの製造方法に係り、これにより高品質な光ファイバ母材を安定して製造することができる。
光ファイバ母材の製造方法としてVAD法はよく知られている。例えば、図1(a),(b),(c)に示すように、回転しつつ上昇するシャフト1に取り付けられた出発部材2の先端に、コア堆積用バーナー3とクラッド堆積用バーナー4で生成したガラス微粒子を堆積させてスート堆積体5が製造される。その後、スート堆積体5は、脱水、焼結して透明ガラス化され、コア層とクラッド層からなる多孔質光ファイバ母材が得られる。
近年、光ファイバ用母材は大型化される傾向にあり、ガラス微粒子を堆積させたスート堆積体は大型化し、その回転速度も速くなっている。スート堆積体表面の周速度の高速化に伴ない、堆積を終了してスート堆積体の回転を停止する際に、スート堆積体が出発部材から外れ、落下することがある。
本発明は、所定量の堆積を終えスート堆積体の回転を停止させる際に、スート堆積体が出発部材から外れ、落下することのない石英ガラスの製造方法を提供することを目的としている。
本発明は上記課題を解決してなり、石英ガラスの製造方法に係る本発明は、VAD法により、回転しつつ引上げられるシャフトの下端に取り付けられた出発部材に、原料ガスの火炎加水分解で生成するスートを堆積させる石英ガラスの製造方法において、堆積開始から所定の時間、回転している出発部材表面の周速度を2.0m/min以下とし、該所定の時間は堆積開始から最長でも堆積体の非有効部を製造している時間であり、該所定の時間経過後に、堆積体の有効部の製造に適した速度に周速度を上げることを特徴としている。なお、出発部材表面の周速度は、堆積開始から前記所定の時間、1.5m/min以下とするのが好ましい。
さらに本発明は、堆積終了後、前記シャフトの回転を停止する際に、スート堆積体表面の周速度を毎秒1.3m/min以下の割合で徐々に最終周速度まで下げるのが好ましい。なお、最終周速度は1.5m/min以下とする。
堆積終了時、本発明に従ってスート堆積体の回転を停止させることにより、スート堆積体が出発部材から外れたり、落下することがなく、製造コストを低減することができる。
従来、所定量の堆積を終えたスート堆積体は、機械的に可能な程度でほぼ瞬間的に回転を停止しても落下事故を起こすようなことはなかった。
ところが、スート堆積体の大型化に伴なう回転の高速化の結果、停止前のスート堆積体が有する慣性モーメントが大きくなり、出発部材とスート堆積体の接触部での付着力が停止時の衝撃に耐えられなくなる場合があることが分かった。
VAD法による石英ガラスの製造方法では、堆積開始から所定の時間は、スート堆積体が徐々に成長して太くなっていく非有効部を製造している。この部分の堆積条件は、有効部の堆積条件と異なっていても差し支えない点に注目し、堆積開始から所定の時間は、出発部材とスート堆積体の接触部での付着力を高めるため、出発部材の回転をゆっくりとし、十分な付着力が得られた後、有効部の堆積に入る前あるいは同時に、回転数を所望の速度まで上げ、有効部の製造に品質上必要な堆積条件とすることで、問題を解決できることを見い出した。
また、堆積開始から所定の時間の回転数を十分に落とせない場合でも、堆積終了後徐々に回転数を落とすことで、停止時の衝撃を減らすことができ、問題を解決することができた。
出発部材の外径と、製造開始から所定の時間までの回転数及び製造終了後の回転数の減速方法を様々に変えて調べたところ、出発部材の表面の周速度が、製造開始から所定の時間までの間1.5m/min以下に保たれていれば、スート堆積体が出発部材に十分な強度で焼き付き、落下しにくいことが分かった。
また、堆積開始から所定の時間までの周速度を2m/min以上に速くしても、堆積終了後の停止時に、周速度を1秒間に1.3m/min以下の割合で、徐々に1.5m/min程度以下まで減速してから回転を停止すれば、落下しにくいことが分かった。
本発明で使用される製造装置には、次のスケジュールがプログラムされた制御装置が備えられている。すなわち、出発部材又はスート堆積体表面の周速度を、堆積開始から所定の時間2.0m/min以下、好ましくは1.5m/min以下として出発部材とスート堆積体の接触部での付着力を高め、十分な付着力が得られた後、有効部の堆積に入る前あるいは同時に回転数を上げて、有効部の製造に適した周速度とする。堆積終了後、スート堆積体表面の周速度が毎秒1.3m/min以下、好ましくは毎秒1.0m/min以下の割合で徐々に最終周速度まで下がるように回転数を調整し、最終周速度に達したところで回転を停止する。
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されず、様々な態様が可能である。
(比較例1)
従来の装置で、スート堆積体の堆積終了時の質量を約7kgから約9kgに増量し、それに伴ない回転数を従来の20rpmから40rpmにして、20本製造したところ、そのうちの3本で、回転停止時に出発部材からスート堆積体が抜け、落下した。
使用した出発部材は、外径20mmφ、長さ400mmであり、製造中及び停止時のスート堆積体表面の周速度は2.5m/minであった。
(実施例1)
上記比較例と同様に外径20mmφ、長さ400mmの出発部材を使用し、堆積終了時の質量を約9kgとした。堆積開始から非有効部を堆積している3時間の間は回転数20rpm(周速度は1.3m/min)とし、その後、回転数を40rpmまで上げて有効部を製造し、所定量の堆積終了後、従来と同様に回転を瞬間的に停止したところ、50本製造しても落下するものはなかった。
(実施例2)
上記比較例と同様に外径20mmφ、長さ400mmの出発部材を使用し、堆積終了時の質量を約9kgとした。堆積中は、回転数を40rpm(周速度は2.5m/min)に維持して製造し、堆積終了後に周速度を1秒に1m/minの割合で最終周速度1.3m/min(回転数で20rpm)まで徐々に落とした後、従来と同様に回転を瞬間的に停止したところ、30本製造しても落下するものはなかった。
光ファイバ母材の生産コストの低減に寄与する。
VAD法によるスート堆積体の製造方法を説明する概略図であり、(a)は製造開始時、(b)は所定時間経過後、(c)は製造終了時の状態をそれぞれ示している。 実施例1の製造中の周速度の変化を示すグラフである。 実施例2の堆積終了時の部分を拡大して示すグラフである。
符号の説明
1…シャフト、
2…出発部材、
3…コア堆積用バーナー、
4…クラッド堆積用バーナー、
5…スート堆積体。

Claims (4)

  1. VAD法により、回転しつつ引上げられるシャフトの下端に取り付けられた出発部材に、原料ガスの火炎加水分解で生成するスートを堆積させる石英ガラスの製造方法において、堆積開始から所定の時間、回転している出発部材表面の周速度を2.0m/min以下とし、該所定の時間が堆積開始から最長でも堆積体の非有効部を製造している時間であり、該所定の時間経過後に、堆積体の有効部の製造に適した速度に周速度を上げることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
  2. 堆積開始から前記所定の時間、出発部材表面の周速度を1.5m/min以下とする請求項1に記載の石英ガラスの製造方法。
  3. 堆積終了後、前記シャフトの回転を停止する際に、スート堆積体表面の周速度を毎秒1.3m/min以下の割合で徐々に最終周速度まで下げる請求項1又は2に記載の石英ガラスの製造方法。
  4. 前記最終周速度が1.5m/min 以下である請求項3に記載の石英ガラスの製造方法。
JP2005009251A 2005-01-17 2005-01-17 石英ガラスの製造方法 Active JP4520863B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005009251A JP4520863B2 (ja) 2005-01-17 2005-01-17 石英ガラスの製造方法
CN2005800490921A CN101142144B (zh) 2005-01-17 2005-12-21 石英玻璃的制造方法
KR1020077018310A KR101214740B1 (ko) 2005-01-17 2005-12-21 석영 유리의 제조 방법
PCT/JP2005/023533 WO2006075496A1 (ja) 2005-01-17 2005-12-21 石英ガラスの製造方法
TW095100034A TW200626514A (en) 2005-01-17 2006-01-02 Method for manufacturing quartz glass
US11/826,440 US20070271962A1 (en) 2005-01-17 2007-07-16 Production method of quartz glass
US14/259,833 US20140230494A1 (en) 2005-01-17 2014-04-23 Production Method of Quartz Glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005009251A JP4520863B2 (ja) 2005-01-17 2005-01-17 石英ガラスの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006193394A JP2006193394A (ja) 2006-07-27
JP4520863B2 true JP4520863B2 (ja) 2010-08-11

Family

ID=36677526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005009251A Active JP4520863B2 (ja) 2005-01-17 2005-01-17 石英ガラスの製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20070271962A1 (ja)
JP (1) JP4520863B2 (ja)
KR (1) KR101214740B1 (ja)
CN (1) CN101142144B (ja)
TW (1) TW200626514A (ja)
WO (1) WO2006075496A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6006186B2 (ja) * 2012-09-28 2016-10-12 信越化学工業株式会社 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法
JP2014201513A (ja) * 2013-04-10 2014-10-27 信越化学工業株式会社 焼結装置
JP6441152B2 (ja) * 2015-04-06 2018-12-19 信越化学工業株式会社 多孔質ガラス母材の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0725638A (ja) * 1993-07-09 1995-01-27 Fujikura Ltd 光ファイバ母材支持軸の回転制御方法および装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4465708A (en) * 1983-05-31 1984-08-14 At&T Technologies, Inc. Technique for fabricating single mode lightguide soot-forms
JPH02307837A (ja) * 1989-05-18 1990-12-21 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP3334219B2 (ja) * 1993-02-19 2002-10-15 住友電気工業株式会社 ガラス母材の製造装置および製造方法
US5281248A (en) * 1993-02-22 1994-01-25 Litespec, Inc. VAd process improvements
JPH0733468A (ja) * 1993-07-21 1995-02-03 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバスートの製造方法
JP3524426B2 (ja) * 1999-04-02 2004-05-10 古河電気工業株式会社 多孔質光ファイバ母材の製造装置
DE60037098T2 (de) * 1999-12-01 2008-09-04 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern
US8516855B2 (en) * 2001-04-27 2013-08-27 Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. Method for producing an optical fiber preform
KR100508707B1 (ko) * 2002-08-12 2005-08-17 엘에스전선 주식회사 외부 기상증착에 의한 프리폼 제조방법 및 제조장치
US7647792B2 (en) * 2003-11-11 2010-01-19 Fujikura Ltd. Method for fabricating porous silica preform

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0725638A (ja) * 1993-07-09 1995-01-27 Fujikura Ltd 光ファイバ母材支持軸の回転制御方法および装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101142144A (zh) 2008-03-12
TW200626514A (en) 2006-08-01
CN101142144B (zh) 2012-09-26
WO2006075496A1 (ja) 2006-07-20
KR101214740B1 (ko) 2012-12-21
US20140230494A1 (en) 2014-08-21
JP2006193394A (ja) 2006-07-27
KR20070092761A (ko) 2007-09-13
US20070271962A1 (en) 2007-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4520863B2 (ja) 石英ガラスの製造方法
JP2011230987A (ja) ガラス母材製造方法
JP6441152B2 (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法
WO2011136324A1 (ja) ガラス母材製造方法
JP7115095B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP5012042B2 (ja) ガラス母材の製造方法
JP5678467B2 (ja) ガラス母材製造方法
JP5533205B2 (ja) ガラス母材製造方法
JP2005263577A (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造装置
KR100632155B1 (ko) 광섬유 모재의 제조방법
JP5459241B2 (ja) ガラス母材製造方法
JPH0742129B2 (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JPH0725637A (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
JP4398114B2 (ja) 凹凸の少ない光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP2011230985A (ja) ガラス母材製造方法
JP3197528B2 (ja) 多孔質ガラス母材の製造容器
JP2005247636A (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法及びガラス母材
JP6097892B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
JP5087929B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP2006199526A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP2011230984A (ja) ガラス母材製造方法
JP2011230990A (ja) ガラス母材製造方法
JPS6363498B2 (ja)
JPH0435428B2 (ja)
JP2005068004A (ja) ロッドキャップを含む軸蒸着装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100128

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100323

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100329

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100518

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100521

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4520863

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160528

Year of fee payment: 6