JP4520863B2 - 石英ガラスの製造方法 - Google Patents
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Description
ところが、スート堆積体の大型化に伴なう回転の高速化の結果、停止前のスート堆積体が有する慣性モーメントが大きくなり、出発部材とスート堆積体の接触部での付着力が停止時の衝撃に耐えられなくなる場合があることが分かった。
また、堆積開始から所定の時間の回転数を十分に落とせない場合でも、堆積終了後徐々に回転数を落とすことで、停止時の衝撃を減らすことができ、問題を解決することができた。
また、堆積開始から所定の時間までの周速度を2m/min以上に速くしても、堆積終了後の停止時に、周速度を1秒間に1.3m/min以下の割合で、徐々に1.5m/min程度以下まで減速してから回転を停止すれば、落下しにくいことが分かった。
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されず、様々な態様が可能である。
従来の装置で、スート堆積体の堆積終了時の質量を約7kgから約9kgに増量し、それに伴ない回転数を従来の20rpmから40rpmにして、20本製造したところ、そのうちの3本で、回転停止時に出発部材からスート堆積体が抜け、落下した。
使用した出発部材は、外径20mmφ、長さ400mmであり、製造中及び停止時のスート堆積体表面の周速度は2.5m/minであった。
上記比較例と同様に外径20mmφ、長さ400mmの出発部材を使用し、堆積終了時の質量を約9kgとした。堆積開始から非有効部を堆積している3時間の間は回転数20rpm(周速度は1.3m/min)とし、その後、回転数を40rpmまで上げて有効部を製造し、所定量の堆積終了後、従来と同様に回転を瞬間的に停止したところ、50本製造しても落下するものはなかった。
上記比較例と同様に外径20mmφ、長さ400mmの出発部材を使用し、堆積終了時の質量を約9kgとした。堆積中は、回転数を40rpm(周速度は2.5m/min)に維持して製造し、堆積終了後に周速度を1秒に1m/minの割合で最終周速度1.3m/min(回転数で20rpm)まで徐々に落とした後、従来と同様に回転を瞬間的に停止したところ、30本製造しても落下するものはなかった。
2…出発部材、
3…コア堆積用バーナー、
4…クラッド堆積用バーナー、
5…スート堆積体。
Claims (4)
- VAD法により、回転しつつ引上げられるシャフトの下端に取り付けられた出発部材に、原料ガスの火炎加水分解で生成するスートを堆積させる石英ガラスの製造方法において、堆積開始から所定の時間、回転している出発部材表面の周速度を2.0m/min以下とし、該所定の時間が堆積開始から最長でも堆積体の非有効部を製造している時間であり、該所定の時間経過後に、堆積体の有効部の製造に適した速度に周速度を上げることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
- 堆積開始から前記所定の時間、出発部材表面の周速度を1.5m/min以下とする請求項1に記載の石英ガラスの製造方法。
- 堆積終了後、前記シャフトの回転を停止する際に、スート堆積体表面の周速度を毎秒1.3m/min以下の割合で徐々に最終周速度まで下げる請求項1又は2に記載の石英ガラスの製造方法。
- 前記最終周速度が1.5m/min 以下である請求項3に記載の石英ガラスの製造方法。
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