JP2005068004A - ロッドキャップを含む軸蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光ファイバー母材製造用の軸蒸着装置における蒸着効率の向上を実現する。
【解決手段】 垂直移動及び回転が可能なチャック110と、下部を有し、チャックにその上端が固定された開始ロッド120と、開始ロッドの下部に固定され、端が細くなる回転体であるロッドキャップ144と、ロッドキャップの中心部に向かって火炎を噴射することにより中心部上にコアを成長させるための第1のヒーター150と、ロッドキャップの外周面に向かって火炎を噴射することにより外周面上にクラッドを成長させるための第2のヒーター160とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 垂直移動及び回転が可能なチャック110と、下部を有し、チャックにその上端が固定された開始ロッド120と、開始ロッドの下部に固定され、端が細くなる回転体であるロッドキャップ144と、ロッドキャップの中心部に向かって火炎を噴射することにより中心部上にコアを成長させるための第1のヒーター150と、ロッドキャップの外周面に向かって火炎を噴射することにより外周面上にクラッドを成長させるための第2のヒーター160とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光ファイバー母材(optical fiber preform)の製造装置に関し、特に、軸蒸着のための製造装置に関する。
光ファイバー母材は、その末端側から非常に小さい直径の光ファイバーを取り出すための母材であって、コア(core)とクラッド(clad)とを含んでいる。ここで、コアの屈折率(refractive index)は、クラッドの屈折率よりも大きい。光ファイバー母材の製造方法には、主に外部蒸着法(outside vapor phase deposition:OVD)、軸蒸着法(vapor axial deposition:VAD)、プラズマ化学蒸着法(plasma chemical vapor deposition:PCVD)及び修正された化学蒸着法(modified chemical vapor deposition:MCVD)が使用されている。軸蒸着法はグラス合成を軸方向に遂行することにより、光ファイバー母材の長さ方向に連続製造可能な利点を有し、また直径が大きく、長い母材を得ることができるので、量産に適合した製造法である。
カイ・フエイ・チャング(Kai Huei Chang)などにより発明され特許登録された下記特許文献1(METHOD OF MAKING A FIBER HAVING LOW LOSS AT 1385nm BY CLADDING A VAD PREFORM WITH A D/d<7.5)には、シリカ開始ロッド(silica starting rod)を回転させながら第1のトーチ(torch)を用いて前記ロッドの中心方向に火炎を噴射することによって、コアをその末端から成長させ、第2のトーチを用いて前記ロッドの外周面に向かって火炎を噴射することによって、コア上にクラッドを形成する方法が開示されている。
このような軸蒸着工程では、蒸着効率は開始ロッドの表面積に非常に大きく依存することになる。
しかしながら、従来の軸蒸着工程では、コアの蒸着効率を高めるために開始ロッドの直径を増やすことはできるが、制限されたものであり、クラッドの蒸着効率を高めるためには別の追加工程が必要であるという問題点がある。また、コアとクラッドの比を合わせることが非常に困難であるという問題点がある。
米国特許第6,131,415号
本発明の目的は、従来に比べて蒸着効率を大幅に向上させることができる軸蒸着装置を提供することにある。
前記目的を達成するための本発明は、 光ファイバー母材を製造するための軸蒸着装置であって、垂直移動及び回転が可能なチャックと、下部を有し、前記チャックにその上端が固定された開始ロッドと、前記開始ロッドの下部に固定され、端が細くなる回転体であるロッドキャップと、前記ロッドキャップの中心部に向かって火炎を噴射することにより前記中心部上にコアを成長させるための第1のヒーターと、前記ロッドキャップの外周面に向かって火炎を噴射することにより前記外周面上にクラッドを成長させるための第2のヒーターと、を含む。
本発明に係る光ファイバー母材を製造するための軸蒸着装置では、開始ロッドに固定される既設定された形状を有するロッドキャップを含むことにより、光ファイバー母材のコア及びクラッドの比を容易に調節することができる利点がある。
また、本発明に係る光ファイバー母材を製造するための軸蒸着装置では、開始ロッドに固定される既設定された形状を有するロッドキャップを含むことにより、蒸着される表面積を任意に調整することができるので、蒸着効率を任意的に調整することができ、これによって工程管理が容易になり、生産量の大幅な増大が達成され得る利点がある。
以下、本発明に従う好適な一実施形態について添付図面を参照しつつ詳細に説明する。下記の説明において、本発明の要旨のみを明瞭にする目的で、関連した公知機能又は構成に関する具体的な説明は省略する。
図1は本発明の望ましい実施形態に従う軸蒸着装置を示す図である。本実施形態の軸蒸着装置100は、チャック(chuck)110と、開始ロッド120と、ロッドキャップ(rod cap)144と、第1のヒーター(heater)150及び第2のヒーター160と、を含む。
チャック110は、図1の矢印で示すように、垂直移動及び回転が可能であり、開始ロッド120の上端をクランピング(clamping)して固定する。
開始ロッド120は、その上端がチャック110に固定され、軸蒸着工程の間に回転すると同時に、上向き移動するように、不図示の駆動源により駆動される。
ロッドキャップ130は、開始ロッド120の下部に固定され、図1に示すように、二重の凸形状(double-concave shape)を有する。ロッドキャップ130は、半球形状の基底部132と、基底部132から半球形状に突出された凸部134とを含む。
第1のヒーター150は、ロッドキャップ130の中心方向に火炎を噴射することにより、凸部134からコア142を下向きに成長させる。第1のヒーター150は、燃料と原料物質が供給され、これに基づく火炎噴射を行うことにより、ロッドキャップ130の凸部134上にグラス物質を積層させる。
第2のヒーター160は、ロッドキャップ130の外周面に向かって火炎を噴射することにより、基底部132からクラッド144を下向きに成長させる。第2のヒーター160は、燃料と原料物質が供給され、これに基づく火炎噴射を行うことより、ロッドキャップ130の基底部132上にグラス物質を積層させる。
ロッドキャップ130は、石英、またはセラミック材質で構成されることができ、ロッドキャップ130の形状に従って蒸着比率が調整される。即ち、ロッドキャップ130上に形成されるコア142とクラッド144の直径比は、ロッドキャップ130の形状により調整される。また、第1及び第2のヒーター150、160に提供される燃料と原料物質を制御するか、第1及び第2のヒーター150、160間の間隔(距離)、または各ヒーター150、160の角度を調節することにより、蒸着比率を精密に制御することができる。本実施形態によれば、ロッドキャップ130の表面積を任意に調整することができるので、蒸着効率を任意的に調整することができ、これによって工程管理が容易になり、生産量を著しく増加させることが可能となる。図1では、ロッドキャップ130が二重の凸形状を取っているが、本発明に従うロッドキャップは、先端(末端)側が細くなる形状の回転体であれば、必要に応じて多様な形状とすることができる。また、ロッドキャップは、開始ロッドへの固定時に、ロッドキャップの先端部(末端)の中心部が開始ロッドの中心軸上に位置するように構成及び配置されることが好ましい。
図2A乃至図2Cは本発明に従うロッドキャップの種々の形状を例示した図である。
図2Aを参照すると、開始ロッド210の下部に固定されたロッドキャップ220は、半球形状を呈し、かつ、その中心部分が陥没されている(これとは異なり、後述のように陥没された部分がない半球形状とすることもできる)。光ファイバー母材のコア232は、ロッドキャップ220の中心方向に火炎を噴射することにより成長され、光ファイバー母材のクラッド234は、ロッドキャップ220の外周面に向かって火炎を噴射することにより成長される。
図2Bを参照すると、開始ロッド310の下部に固定されたロッドキャップ320は、半球形状を呈している。光ファイバー母材のコア332は、記ロッドキャップ320の中心方向に火炎を噴射することにより成長され、光ファイバー母材のクラッド334は、ロッドキャップ320の外周面に向かって火炎を噴射することにより成長される。
図2Cを参照すると、開始ロッド410の下部に固定されたロッドキャップ420は、円錐台形状を呈している。光ファイバー母材のコア432は、ロッドキャップ420の中心方向に火炎を噴射することにより成長され、光ファイバー母材のクラッド434は、ロッドキャップ420の外周面に向かって火炎を噴射することにより成長される。
上述した本発明の詳細な説明では具体的な実施形態について説明したが、本発明の範囲を外れない限り多様な変形が可能なことはもちろんである。したがって、本発明の範囲は上述の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲及び該範囲と均等なものにより定められるべきである。
100 軸蒸着装置
110 チャック
120,210,310,410 開始ロッド
130,220,320,420 ロッドキャップ
134 凸部(末端)
150 第1のヒーター
160 第2のヒーター
110 チャック
120,210,310,410 開始ロッド
130,220,320,420 ロッドキャップ
134 凸部(末端)
150 第1のヒーター
160 第2のヒーター
Claims (20)
- 光ファイバー母材を製造するための軸蒸着装置であって、
垂直移動及び回転が可能なチャックと、
下部を有し、前記チャックにその上端が固定された開始ロッドと、
前記開始ロッドの下部に固定され、末端側が細くなる形状の回転体であるロッドキャップと、
前記ロッドキャップの中心部に向かって火炎を噴射することにより前記中心部上にコアを成長させるための第1のヒーターと、
前記ロッドキャップの外周面に向かって火炎を噴射することにより前記外周面上にクラッドを成長させるための第2のヒーターと、を含むことを特徴とする軸蒸着装置。 - 前記ロッドキャップは、半球形状の基底部と、前記基底部から半球形状に突出された凸部とを含む請求項1記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、中心部分が陥没されている半球形状である請求項1記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、半球形状である請求項1記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、円錐台形状である請求項1記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップの末端が前記開始ロッドの中心軸上に配置される請求項1記載の軸蒸着装置。
- 前記中心部に向かう火炎は上向きに噴射され、前記外周に向かう火炎は側面に噴射される請求項1記載の軸蒸着装置。
- 光ファイバー母材を製造するための軸蒸着装置であって、
垂直位置で回転可能であり、下部を有する開始ロッドと、
前記開始ロッドの下部に固定され、末端側が細くなる形状の回転体であるロッドキャップと、
前記ロッドキャップの中心部に向かって火炎を噴射することにより前記中心部上にコアを成長させるための第1のヒーターと、
前記ロッドキャップの外周面に向かって火炎を噴射することにより前記外周面上にクラッドを成長させるための第2のヒーターと、を含むことを特徴とする軸蒸着装置。 - 前記ロッドキャップは、半球形状の基底部と、前記基底部から半球形状に突出された凸部と、を含む請求項8記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、その中心部分が陥没されている半球形状である請求項8記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、半球形状である請求項8記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、円錐台形状である請求項8記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップの末端は、該末端の中心部が前記開始ロッドの中心軸上に配置される請求項8記載の軸蒸着装置。
- 光ファイバー母材を製造するための軸蒸着装置であって、
垂直位置で回転可能であり、下部を有する開始ロッドと、
石英及びセラミックのうち少なくともいずれか一つの材質で構成され、前記開始ロッドの下部に固定され、末端側が細くなる形状の回転体であり、前記細くなる末端は前記開始ロッドと軸整列される中心部上に配置されるロッドキャップとを含み、前記装置は、
前記ロッドキャップの中心部に向かって火炎を噴射することにより前記中心部上にコアを成長させるための第1のヒーターと、
前記ロッドキャップの外周面に向かって火炎を噴射することにより前記外周面上にクラッドを成長させるための第2のヒーターと、を共に使用可能であることを特徴とする軸蒸着装置。 - 前記ロッドキャップは、半球形状の基底部と、前記基底部から半球形状に突出された凸部とを含む請求項13記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、その中心部分が陥没されている半球形状である請求項14記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、半球形状である請求項14記載の軸蒸着装置。
- 前記ロッドキャップは、円錐台形状である請求項14記載の軸蒸着装置。
- 前記装置は垂直移動及び回転が可能なチャックをさらに含み、前記開始ロッドは前記チャックにその上端が固定される請求項14記載の軸蒸着装置。
- 前記中心部に向かう火炎は上向きに噴射され、前記外周に向かう火炎は側面に噴射される請求項14記載の軸蒸着装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0057962A KR100520642B1 (ko) | 2003-08-21 | 2003-08-21 | 로드 캡을 포함하는 축 증착 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005068004A true JP2005068004A (ja) | 2005-03-17 |
Family
ID=34192172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004238152A Abandoned JP2005068004A (ja) | 2003-08-21 | 2004-08-18 | ロッドキャップを含む軸蒸着装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050039493A1 (ja) |
JP (1) | JP2005068004A (ja) |
KR (1) | KR100520642B1 (ja) |
CN (1) | CN1281534C (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1106584B1 (en) * | 1999-12-01 | 2007-11-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing a preform for an optical fibre |
JP2002326833A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造装置及びそれを用いた光ファイバ母材の製造方法 |
-
2003
- 2003-08-21 KR KR10-2003-0057962A patent/KR100520642B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-07-23 US US10/897,956 patent/US20050039493A1/en not_active Abandoned
- 2004-08-18 JP JP2004238152A patent/JP2005068004A/ja not_active Abandoned
- 2004-08-20 CN CNB2004100576262A patent/CN1281534C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050039493A1 (en) | 2005-02-24 |
CN1584643A (zh) | 2005-02-23 |
KR20050020207A (ko) | 2005-03-04 |
CN1281534C (zh) | 2006-10-25 |
KR100520642B1 (ko) | 2005-10-13 |
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