JP4228565B2 - 合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 - Google Patents
合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4228565B2 JP4228565B2 JP2001322326A JP2001322326A JP4228565B2 JP 4228565 B2 JP4228565 B2 JP 4228565B2 JP 2001322326 A JP2001322326 A JP 2001322326A JP 2001322326 A JP2001322326 A JP 2001322326A JP 4228565 B2 JP4228565 B2 JP 4228565B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flame
- quartz glass
- synthetic quartz
- burner
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/02—Elongated flat flame or slit-nozzle type
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/40—Mechanical flame shields
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Gas Burners (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、合成石英ガラススート堆積用バーナ、合成石英ガラス製造装置及び光ファイバ母材製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバ母材(以下「母材」という。)を製造する方法として外付け法(OVD法)がある。この外付け法は、回転する中心部材の側面に、合成石英ガラススート堆積用バーナ(以下「バーナ」という。)から合成石英ガラスの原料ガスを含む火炎を吹き付け、その火炎の中で原料ガスを加水分解反応させて生成される合成石英ガラススート(以下「スート」という。)を堆積させる方法である。なお、中心部材には、光ファイバのコアとなる合成石英ガラス棒、あるいは単なるターゲット(スートをガラス化した後で除去されるもの)が用いられる。
【0003】
図5(a)は外付け法に用いられる従来の合成石英ガラススート堆積用バーナの側面図であり、図5(b)は図5(a)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナの火炎の出口の形状を示す図である。
【0004】
図5(a)、(b)に示すようにバーナ1は、合成石英ガラススート堆積用バーナバーナ本体(以下「バーナ本体」という。)2の先端部に、バーナ本体2の先端側面部から火炎噴射方向に沿って張り出した外殻管形状のフード3を有している。フード3の火炎の出口3aの断面形状は円形となっている。
【0005】
図6は図5(a)、(b)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナを用いた光ファイバ母材の製造方法を示す説明図である。
【0006】
細径の中心部材4は、公知の回転揺動手段(図示せず。)により中心部材4の軸方向(図では紙面に垂直な方向)に揺動し、かつ中心部材4の中心を軸に(矢印5方向に)回転する。このような中心部材4の側面にバーナ1から火炎6を吹き付けることで、中心部材4の側面にスート8が堆積する。
【0007】
図8は外付け法により製造された光ファイバ母材の一例を示す説明図であり、中心部材4の周囲に両端がテーパ状に細くなっているスート8が堆積されている。
【0008】
ここで、フード3は、バーナ本体2の先端部の劣化を抑制し、噴射する火炎の広がりを抑制し、さらに火炎を中心部材4(あるいは母材9)の表面に接近させることになり、より多くのスート8を堆積させる機能を有する。
【0009】
この火炎加水分解による合成石英ガラススート堆積に使用するバーナとして、バーナ本体の先端部にバーナ本体から離れるに従い外側にそりかえって広がった形状を有するフードを取り付けたもの(特開平10−236835号公報参照)や、同心円状に配置された5重管を囲む燃性ガス供給用外殻管の内側に支燃性ガス供給用ノズルを配置したもの(特開平7−138028号公報参照)等が提案されている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のバーナ本体2の先端側面部から火炎噴射方向に沿って張り出したフード3では、堆積始めの状態においては図6に示すようにほとんどの火炎6が中心部材4(または母材9)に当たらず無駄になってしまう。
【0011】
また、図7(a)〜(c)に示すようにスート8の堆積が進んで母材9が太径になるとバーナ1からの火炎6が互いに干渉し(部分7)、母材9の表面の温度を上昇させてしまい、堆積不良の原因になってしまうという問題があった。尚、図7(a)は堆積が進み母材が太くなった状態を示す外観斜視図であり、図7(b)は図7(a)の側面図であり、図7(c)は図7(a)の平面図である。
【0012】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、原料ガスの無駄が少ない合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の合成石英ガラススート堆積用バーナは、回転する中心部材の側面に火炎を吹き付けて該火炎中で原料ガスを反応させて生成した合成石英ガラススートを堆積させるための合成石英ガラススート堆積用バーナにおいて、バーナ本体の先端部に上記火炎の噴射方向に沿って張り出したフードが設けられ、該フードは、上記火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形であり、かつ、成長する上記母材の外径に応じて上記火炎の噴射方向を軸として徐々に回動するものである。
【0016】
本発明の光ファイバ母材製造装置は、合成石英ガラススート堆積用バーナから回転する中心部材の側面に火炎を吹き付けて該火炎中で原料ガスを反応させて生成した合成石英ガラススートを堆積させる光ファイバ母材製造装置において、上記合成石英ガラススート堆積用バーナは、バーナ本体と、該バーナ本体の先端部に上記火炎の噴射方向に沿って張り出して設けられ、上記火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形であり、かつ成長する上記母材の外径に応じて上記火炎の噴射方向を軸として徐々に回動するフードとからなるものである。
【0018】
上記構成に加え本発明の光ファイバ母材製造装置は、上記フード又は上記バーナ本体と上記フードとを一体化させた合成石英ガラススート堆積用バーナ全体を回動させる回動手段を有するのが好ましい。
【0019】
上記構成に加え本発明の光ファイバ母材製造装置は、上記合成石英ガラススート堆積用バーナ及び上記回動手段を複数有してもよい。
【0020】
本発明の光ファイバ母材製造方法は、合成石英ガラススート堆積用バーナから回転する中心部材の側面に火炎を吹き付けて該火炎中で原料ガスを反応させて生成した合成石英ガラススートを堆積させる光ファイバ母材製造方法において、バーナ本体と、該バーナ本体の先端部に上記火炎の噴射方向に沿って張り出して設けられ、上記火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形であるフードとからなる上記合成石英ガラススート堆積用バーナの上記フードを、上記火炎の噴射方向を軸として回動手段により成長する上記母材の外径に応じて徐々に回動させるものである。
【0022】
上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の製造方法は、バーナ及び回動手段を複数個用いてもよい。
【0023】
本発明によれば、合成石英ガラススート堆積用バーナに、火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形のものを用い、成長する母材の外径に応じて合成石英ガラススート堆積用バーナを火炎の噴射方向を軸として回動させることにより、スートが効率よく堆積され、原料ガスやスートの無駄が防止される。
【0024】
また、バーナ本体の先端部の側面を覆い、火炎の噴射方向に沿って張り出し、火炎の出口の断面形状が楕円、長円若しくは長方形のフードを用いることにより、火炎が母材に向かって絞られるので、特にスート堆積の初めの状態において、スートが効率よく堆積され、原料ガスやスートの無駄が防止される。
【0025】
さらに、合成石英ガラススート堆積用バーナ及び回動手段を複数個用いる場合、成長する母材の外径に応じて各合成石英ガラススート堆積用バーナを回動させることにより、各合成石英ガラススート堆積用バーナから噴射される火炎同士が離れるので、火炎同士の干渉が無くなり母材上のスートの堆積不良が防止される。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。尚、図5〜図7に示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【0027】
図1(a)は本発明の合成石英ガラススート堆積用バーナの一実施の形態を示す側面図であり、図1(b)は図1(a)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナの火炎の出口の形状を示す図である。
【0028】
図1(a)、(b)に示すように、本合成石英ガラススート堆積用バーナ(以下「バーナ」という。)10は、円形断面形状のバーナ本体2の先端部の側面を覆い、火炎の噴射方向に沿って張り出したフード12の火炎の出口12aの断面形状が楕円(若しくは長円でもよい。)になるように形成されたものである。フード12はバーナ本体2の軸のまわりに回転自在になっている。楕円(長円)の短軸方向の長さd1は、スートを堆積させるべき中心部材の外径に等しいか若干短い長さであることが望ましい。また、長軸方向の長さd2は、スート堆積終了時の母材の外径(最大外径)と等しいか、若しくは若干短い長さであることが望ましい。
【0029】
このようにフード12の火炎の出口12aの形状を楕円形状にすることで、火炎が全て中心部材または母材の側面に噴射されるように、成長する母材の外径に応じてバーナ10を火炎の噴射方向を軸として回動させることにより、スートが効率よく堆積支、原料ガスの無駄が防止される。
【0030】
図2(a)は本発明の合成石英ガラススート堆積用バーナの他の実施の形態を示す側面図であり、図2(b)は図2(a)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナの火炎の出口の形状を示す図である。
【0031】
図1(a)、(b)に示したバーナ10との相違点は、フード13の火炎の出口13aの形状が長方形である点である。このようなバーナ14を用いても図1(a)、(b)に示したバーナ10と同様の効果が得られる。尚、長方形の短辺の長さL1は、スートを堆積させるべき中心部材の外径に等しいか短いのが望ましく、長辺の長さL2は、スート堆積終了時の母材の外径(最大外径)と等しいか若しくは若干短い長さであることが望ましい。
【0032】
図3(a)は本発明の光ファイバ母材製造方法を適用した光ファイバ母材製造装置の外観斜視図であり、図3(b)は図3(a)の側面図である。
【0033】
図3(a)、(b)に示す製造装置は、図2(a)、(b)に示したバーナと同様の構造の2個(図では2個であるが、限定されない。また、フード13の断面形状は図では長方形であるが限定されず、楕円若しくは長円でもよい。)のバーナ14−1、14−2と、両フード13を火炎6の噴射方向を軸としてそれぞれ所定の角度θだけ回動させる回動手段15−1、15−2と、中心部材4の両−端を保持し、かつ中心部材4の軸のまわりに(矢印5方向)回転させると共に、中心部材4の軸方向(矢印16方向)に揺動させる公知の回転揺動手段(図示せず。)とで構成されている。
【0034】
回動手段15−1、15−2は、例えばギヤードモータ(若しくはステップモータ)17と、ギヤードモータ17の出力軸にシャフト18を介して固定されたピニオンギヤ19と、フード13のバーナ本体2側の管状の側面に設けられ、ピニオンギヤ19と噛み合うリングギヤ20とで構成されている。ギヤードモータ17の作動により、フード13が回動するようになっている。すなわち、フード13の回動の角度θが成長する母材の外径に応じて徐々に変えられるのである。フード13は火炎6の熱で高温になるため、両ギヤ19、20及びシャフト18の熱伝導によるギヤードモータ17への影響が予想される。このため、ピニオンギヤ19の材質にセラミック等を用いたり、ギヤードモータ17の出力軸に連結されるシャフト18を十分長くしてギヤードモータ17をフード13から離す等しておくことが好ましい。また、両フード13の回転方向21、22は火炎6同士が離れるようにするため、同一方向とするのが好ましい。
【0035】
次に本製造装置の動作について説明する。
【0036】
図4(a)は図3(a)に示した製造装置による合成石英ガラススートの堆積が進んで母材が太くなったときの状態を示す外観斜視図であり、図4(b)は図4(a)の側面図であり、図4(c)は図4(a)の平面図である。
【0037】
図3(a)、(b)に示すように中心部材4を本製造装置にセットし、堆積始めの状態の中心部材4を中心部材4の軸のまわりに(矢印5方向)回転させると共に中心部材4の軸方向(矢印16方向)に沿って揺動させ、火炎出口側形状が長方形のバーナ14−1、14−2の両フード13をその長辺が中心部材4の長手方向と平行になるように設定する。両バーナ14−1、14−2からの火炎6を噴出させ、火炎6中で生成される合成石英ガラス成分からなるスート8を中心部材4の側面に堆積させ、母材9を成長させていく。このときバーナ14−1、14−2のフード13から噴出される火炎6の断面形状は母材9の投影面とほぼ一致するため、火炎6が無駄なく中心部材4の側面に当たり、スート8が中心部材4に効率的に堆積される。中心部材4はその軸のまわりに回転すると共に、その軸方向に揺動しているので、中心部材4の側面に均一かつ効率的にスート8が堆積する。
【0038】
次にスート8の堆積が進み母材9の外径が太くなると、その母材9の外径に応じて火炎6が無駄なく母材9の側面に当たるように、図4(a)に示すように両回動手段15−1、15−2のギヤードモータ17をそれぞれ同時に作動させてフード13を回転させ、最終的に所定の角度θ(=90度)まで回動させる。図ではバーナ14−1、14−2のフード13から噴出される火炎6の断面形状は垂直方向に長い長方形となっており、火炎6同士が互いに離れるので(図4(c))火炎6同士が干渉することがなくなり、スートの堆積不良が防止される。
【0039】
尚、本実施の形態ではフード13を最終的に90度回動させた場合で説明したが、母材4bの外径に応じてフード13の最終的な回動角度を変えてもよいことは言うまでもない。また、本実施の形態ではフード13を回動させた場合で説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、バーナ本体2とフード13とを接着、溶接、テーピング等で一体化してバーナ全体を回動させるように構成しても同様の効果が得られる。
【0040】
また、本実施の形態では、中心部材4をその長手方向に揺動させた場合で説明したが、中心部材4はその軸方向に回転させるだけとし、バーナ14−1、14−2を中心部材4の長手方向に揺動させてもよい。
【0041】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、スートを効率よく堆積させることができ、原料ガスの無駄が少ない合成石英ガラススート堆積用バーナ、合成石英ガラス製造装置及び合成石英ガラス製造方法の提供を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の合成石英ガラススート堆積用バーナの一実施の形態を示す側面図であり、(b)は(a)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナの火炎の出口の形状を示す図である。
【図2】(a)は本発明の合成石英ガラススート堆積用バーナの他の実施の形態を示す側面図であり、(b)は(a)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナの火炎の出口の形状を示す図である。
【図3】(a)は本発明の光ファイバ母材製造方法を適用した光ファイバ母材製造装置の外観斜視図であり、(b)は(a)の側面図である。
【図4】(a)は図3(a)に示した製造装置による合成石英ガラス成分の堆積が進んで母材が太くなったときの状態を示す外観斜視図であり、(b)は(a)の側面図であり、(c)は(a)の平面図である。
【図5】(a)は従来の合成石英ガラススート堆積用バーナの側面図であり、(b)は(a)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナの火炎の出口の形状を示す図である。
【図6】図5(a)、(b)に示した合成石英ガラススート堆積用バーナを用いた光ファイバ母材の製造方法を示す説明図である。
【図7】(a)は堆積が進み母材が太くなった状態を示す外観斜視図であり、(b)は(a)の側面図であり、(c)は(a)の平面図である。
【図8】外付け法により製造された光ファイバ母材の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
2 バーナ本体
4 中心部材
6 火炎
8 スート
9 母材
10、14 14−1、14−2 合成石英ガラススート堆積用バーナ(バーナ)
12、13 フード
15−1、15−2 回動手段
17 ギヤードモータ
19 ピニオンギヤ
20 リングギヤ
Claims (6)
- 回転する中心部材の側面に火炎を吹き付けて該火炎中で原料ガスを反応させて生成した合成石英ガラススートを堆積させるための合成石英ガラススート堆積用バーナにおいて、バーナ本体の先端部に上記火炎の噴射方向に沿って張り出したフードが設けられ、該フードは、上記火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形であり、かつ、成長する上記母材の外径に応じて上記火炎の噴射方向を軸として徐々に回動することを特徴とする合成石英ガラススート堆積用バーナ。
- 合成石英ガラススート堆積用バーナから回転する中心部材の側面に火炎を吹き付けて該火炎中で原料ガスを反応させて生成した合成石英ガラススートを堆積させる光ファイバ母材製造装置において、上記合成石英ガラススート堆積用バーナは、バーナ本体と、該バーナ本体の先端部に上記火炎の噴射方向に沿って張り出して設けられ、上記火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形であり、かつ成長する上記母材の外径に応じて上記火炎の噴射方向を軸として徐々に回動するフードとからなることを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
- 上記フード又は上記バーナ本体と上記フードとを一体化させた合成石英ガラススート堆積用バーナ全体を回動させる回動手段を有する請求項2に記載の光ファイバ母材製造装置。
- 上記合成石英ガラススート堆積用バーナ及び上記回動手段を複数有する請求項3に記載の光ファイバ母材製造装置。
- 合成石英ガラススート堆積用バーナから回転する中心部材の側面に火炎を吹き付けて該火炎中で原料ガスを反応させて生成した合成石英ガラススートを堆積させる光ファイバ母材製造方法において、バーナ本体と、該バーナ本体の先端部に上記火炎の噴射方向に沿って張り出して設けられ、上記火炎の出口の形状が楕円、長円若しくは長方形であるフードとからなる上記合成石英ガラススート堆積用バーナの上記フードを、上記火炎の噴射方向を軸として回動手段により成長する上記母材の外径に応じて徐々に回動させることを特徴とする光ファイバ母材製造方法。
- 上記バーナ及び上記回動手段を複数個用いる請求項5に記載の光ファイバ母材製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001322326A JP4228565B2 (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | 合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001322326A JP4228565B2 (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | 合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003128428A JP2003128428A (ja) | 2003-05-08 |
JP4228565B2 true JP4228565B2 (ja) | 2009-02-25 |
Family
ID=19139392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001322326A Expired - Fee Related JP4228565B2 (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | 合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4228565B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100977796B1 (ko) | 2003-07-11 | 2010-08-24 | 주식회사 포스코 | 중공형 연소 튜브 파열 방지장치 |
GB2533293A (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-22 | Edwards Ltd | Inlet assembly |
JP7083791B2 (ja) * | 2019-09-03 | 2022-06-13 | 信越化学工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
-
2001
- 2001-10-19 JP JP2001322326A patent/JP4228565B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003128428A (ja) | 2003-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4228565B2 (ja) | 合成石英ガラススート堆積用バーナ、光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 | |
RU2003120357A (ru) | Многотрубчатая горелка и способ изготовления стеклянной заготовки с ее использованием | |
JPS5939742A (ja) | 高純度ガラス物品の製造方法 | |
JP2000191337A (ja) | フ―ド付きガラス微粒子合成用ト―チ | |
JPH09100133A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
JPH07300332A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
CN110461783B (zh) | 光纤多孔质母材的制造装置及制造方法 | |
JPS605034A (ja) | 単偏波光フアイバの製造方法 | |
JPH05116971A (ja) | ガラス微粒子堆積装置及び光フアイバ母材の製造方法 | |
JPS59141436A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JPS6044258B2 (ja) | 合成ト−チ | |
JPS62207734A (ja) | ガラス微粒子の堆積方法 | |
KR100520642B1 (ko) | 로드 캡을 포함하는 축 증착 장치 | |
JP2000109329A (ja) | 多孔質母材の製造方法 | |
JPH0327493B2 (ja) | ||
JPH07144927A (ja) | 光ファイバ母材合成用バーナ | |
JP3663871B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH0650514Y2 (ja) | 光ファイバの母材成形装置 | |
JPH06122528A (ja) | 光ファイバー用多孔質母材の製造方法 | |
JP3721757B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH06122529A (ja) | 光ファイバー用多孔質母材の製造方法 | |
JP2001287924A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH0483728A (ja) | ガラス体の製造方法 | |
JPH04119940A (ja) | ガラス体の製造方法 | |
JPH07101744A (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080402 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |