JPS62207734A - ガラス微粒子の堆積方法 - Google Patents
ガラス微粒子の堆積方法Info
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- JPS62207734A JPS62207734A JP4968586A JP4968586A JPS62207734A JP S62207734 A JPS62207734 A JP S62207734A JP 4968586 A JP4968586 A JP 4968586A JP 4968586 A JP4968586 A JP 4968586A JP S62207734 A JPS62207734 A JP S62207734A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0148—Means for heating preforms during or immediately prior to deposition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野１
本発明は通信用、光学用の各種ガラス母材を作製する際
に用いられるガラス微粒子の堆積方法に関する。
に用いられるガラス微粒子の堆積方法に関する。
ｒ従来の技術１
光フアイバ用、イメージガイド用、ライトガイド用、ロ
ンドレンズ用などのガラス母材を作製するとき、その一
手段として外付ＣＶＤ法が採用されている。
ンドレンズ用などのガラス母材を作製するとき、その一
手段として外付ＣＶＤ法が採用されている。
周知の通り、外付ＣＶＤ法には酸水棄バーナを用いるも
のと、プラズマトーチを用いるものとがあり、酸水素バ
ーナによる場合は、ガラス原料ガスの火炎加水分解反応
によりガラス微粒子が生成され、プラズマトーチによる
場合は、プラズマの発生熱を利用した熱酸化反応により
ガラス微粒子が生成されるが、いずれの方法も、ターゲ
ットの外周にガラス微粒子が噴射かつ堆積され、これに
より多孔質ガラス層が形成される。
のと、プラズマトーチを用いるものとがあり、酸水素バ
ーナによる場合は、ガラス原料ガスの火炎加水分解反応
によりガラス微粒子が生成され、プラズマトーチによる
場合は、プラズマの発生熱を利用した熱酸化反応により
ガラス微粒子が生成されるが、いずれの方法も、ターゲ
ットの外周にガラス微粒子が噴射かつ堆積され、これに
より多孔質ガラス層が形成される。
「発明が解決しようとする問題点」
上述した外付ＣＶＤ法を介してターゲットの外周に多孔
質ガラス層を堆積形成するとき、つざのような問題が生
じている。
質ガラス層を堆積形成するとき、つざのような問題が生
じている。
以下その問題点につき、第３図を参照して説明する。
第３図は酸水素炎バーナによる外付ＣＶＤ法を例示した
ものであり、同図の１は回転自在な一対のチャック、２
はターゲット、３はターゲット２の両端に連結された支
持棒、４は多重管構造の酸水讃炎バーナ、５は排気管、
１０は多孔質ガラス層である。
ものであり、同図の１は回転自在な一対のチャック、２
はターゲット、３はターゲット２の両端に連結された支
持棒、４は多重管構造の酸水讃炎バーナ、５は排気管、
１０は多孔質ガラス層である。
第３図の場合、ターゲット２が支持棒３を介しチャック
１にセットされて回転されるとともに、そのターゲット
２の外周には酸水素炎バーナ４を介して生成されたガラ
ス微粒子が吹きつけられ、これによりターゲット２の外
周には多孔質ガラス層１０が形成される。
１にセットされて回転されるとともに、そのターゲット
２の外周には酸水素炎バーナ４を介して生成されたガラ
ス微粒子が吹きつけられ、これによりターゲット２の外
周には多孔質ガラス層１０が形成される。
この際、ターゲット２がその長手方向に往復動されるか
、または酸水素炎バーナ４と排気管５とがターゲット２
の長手方向に沿って往復動され、かかる状態でのガラス
微粒子堆積を繰り返すことにより、ターゲット２の外周
に所望の外径と所望の長さを有する多孔質ガラス層ｌＯ
が形成される。
、または酸水素炎バーナ４と排気管５とがターゲット２
の長手方向に沿って往復動され、かかる状態でのガラス
微粒子堆積を繰り返すことにより、ターゲット２の外周
に所望の外径と所望の長さを有する多孔質ガラス層ｌＯ
が形成される。
こうして多孔質ガラス層ｌＯを形成するとき、多孔質ガ
ラス層１０の両端部１１が傾斜状となる現象が生じるが
、この傾斜状両端部１１は使用不衡部分となるため、当
該両端部１１での傾斜状態を抑制し、多孔質ガラス層１
０の有効長を大きくするのが望ましい。
ラス層１０の両端部１１が傾斜状となる現象が生じるが
、この傾斜状両端部１１は使用不衡部分となるため、当
該両端部１１での傾斜状態を抑制し、多孔質ガラス層１
０の有効長を大きくするのが望ましい。
しかし、かかる現象は酸水素炎バーナ４の火炎を調整し
ても、排気管５の排気量をｔＡ整しても、不可避的に発
生し、しかも、酸水素炎バーナ４゜排気管５等をみだり
に′：Ａ整した場合には、多孔質ガラス層ｌＯの外周に
段差が生じたり、その両端部１１に瘤状の異常な小隆起
も発生する。
ても、排気管５の排気量をｔＡ整しても、不可避的に発
生し、しかも、酸水素炎バーナ４゜排気管５等をみだり
に′：Ａ整した場合には、多孔質ガラス層ｌＯの外周に
段差が生じたり、その両端部１１に瘤状の異常な小隆起
も発生する。
これら傾斜状両端部１１、小隆起などは嵩密度が低いの
で割れやすく、その割れが多孔質ガラス層１０の有効部
分にまで波及することもあり、特に大型の多孔質ガラス
層ｌＯを形成した際にこのような問題が顕著にあられれ
る。
で割れやすく、その割れが多孔質ガラス層１０の有効部
分にまで波及することもあり、特に大型の多孔質ガラス
層ｌＯを形成した際にこのような問題が顕著にあられれ
る。
本発明は上記の門題点に鑑み、多孔質ガラス層の形成時
に発生する端部の傾斜が可及的に抑制でき、その端部の
割れが生じがたいガラス微粒子の堆積方法を提供しよう
とするものである。
に発生する端部の傾斜が可及的に抑制でき、その端部の
割れが生じがたいガラス微粒子の堆積方法を提供しよう
とするものである。
ｒ問題点を解決するための手段１
本発明は所期の目的を達成するため、化学反応によるガ
ラス微粒子生成手段を介して生成されたガラス微粒子を
、回転しているターゲットの外周に吹きつけて、そのタ
ーゲットの外周に多孔質ガラス層を堆積形成するガラス
微粒子の堆積方法において、上記多孔質ガラス層の端部
を加熱すると同時に気流を吹きつけることを特徴とする
。
ラス微粒子生成手段を介して生成されたガラス微粒子を
、回転しているターゲットの外周に吹きつけて、そのタ
ーゲットの外周に多孔質ガラス層を堆積形成するガラス
微粒子の堆積方法において、上記多孔質ガラス層の端部
を加熱すると同時に気流を吹きつけることを特徴とする
。
ｒ作用Ｊ
本発明方法の場合、回転しているターゲットの外周にガ
ラス微粒子を吹きつけて、そのターゲットの外周に多孔
質ガラス層を堆積形成する点は従来法と同じであるが、
この際、多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気流
を吹きつけるから、その加熱により端部が焼き締められ
て割れがたくなるとともに、吹きつけガスの流動性によ
りガラス微粒子がターゲット両端側へ不必要に流れるの
も阻止され、°かくて多孔質ガラス層の端部における傾
斜度合が垂直に近くなり、その傾創状端部が小さく仕上
がる。
ラス微粒子を吹きつけて、そのターゲットの外周に多孔
質ガラス層を堆積形成する点は従来法と同じであるが、
この際、多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気流
を吹きつけるから、その加熱により端部が焼き締められ
て割れがたくなるとともに、吹きつけガスの流動性によ
りガラス微粒子がターゲット両端側へ不必要に流れるの
も阻止され、°かくて多孔質ガラス層の端部における傾
斜度合が垂直に近くなり、その傾創状端部が小さく仕上
がる。
「実 施 例ｊ
以下、本発明方法の実施例につき、図面を参照して説明
する。
する。
第１図は本発明での酸水素炎バーナによる外付ＣＶＤ法
を例示したものである。
を例示したものである。
第１図において、チャック！、ターゲット２、支持棒３
、酸水素炎バーナ４、排気管５等は前述したものと同じ
であり、したがって、これらを介して外付ＣＶＤ法を実
施するとき、ターゲット２が支持棒３を介しチャック１
にセットされて回転されるとともに、そのターゲット２
の外周には酸水素炎バーナ４を介して生成されたガラス
微粒子が吹きつけられ、これによりターゲット２の外周
には多孔質ガラス層ｌＯが形成される。
、酸水素炎バーナ４、排気管５等は前述したものと同じ
であり、したがって、これらを介して外付ＣＶＤ法を実
施するとき、ターゲット２が支持棒３を介しチャック１
にセットされて回転されるとともに、そのターゲット２
の外周には酸水素炎バーナ４を介して生成されたガラス
微粒子が吹きつけられ、これによりターゲット２の外周
には多孔質ガラス層ｌＯが形成される。
もちろんこの際、ターゲット２がその長手方向に往復動
されるか、または酸水素炎バーナ４と排気管５とがター
ゲット２の長手方向に沿って往復動され、かかる状態で
のガラス微粒子堆積を繰り返すことにより、ターゲット
２の外周に所望の外径と所望の長さを有する多孔質ガラ
ス層１０が形成され、その後、多孔質ガラス層１０は常
法にて透明ガラス化される。
されるか、または酸水素炎バーナ４と排気管５とがター
ゲット２の長手方向に沿って往復動され、かかる状態で
のガラス微粒子堆積を繰り返すことにより、ターゲット
２の外周に所望の外径と所望の長さを有する多孔質ガラ
ス層１０が形成され、その後、多孔質ガラス層１０は常
法にて透明ガラス化される。
第１図の実施例では、こうして多孔質ガラス層１０を形
成するとき、その端部１１を加熱し、ガスを吹きつける
ためのガスバーナ６が装備される。
成するとき、その端部１１を加熱し、ガスを吹きつける
ためのガスバーナ６が装備される。
ガスバーナ８は、例えば断面円形の三重管構造からなり
、中心の流路にＨ２，中間の流路にＡｒ、最外周の流路
に０２がそれぞれ供給され、これを燃焼状態とした際の
火炎（熱エネルギと気流とを有する）が上述した多孔質
ガラス層ｌＯの端部！■に向けて吹きつけられる。
、中心の流路にＨ２，中間の流路にＡｒ、最外周の流路
に０２がそれぞれ供給され、これを燃焼状態とした際の
火炎（熱エネルギと気流とを有する）が上述した多孔質
ガラス層ｌＯの端部！■に向けて吹きつけられる。
かかる火炎の吹きつけにより、多孔質ガラス層１０の端
部１１は垂直に近い傾斜状となる。
部１１は垂直に近い傾斜状となる。
より標準的な外付ＣＶＤ法を実施するとき、ガスバーナ
８にＨ２を１４１ ／ｗｉｎ、 Ａｒを２１／ｗｉｎ、
０２をＩＬＱ／ｗｉｎを供給し、その酸水十炎を多孔質
ガラス層１０の端部１１に吹きつけたところ、第１図実
線のごとき多孔質ガラス層１０として、外径１２０ｍｍ
φ、長さ４００ｍｍのものが得られた。
８にＨ２を１４１ ／ｗｉｎ、 Ａｒを２１／ｗｉｎ、
０２をＩＬＱ／ｗｉｎを供給し、その酸水十炎を多孔質
ガラス層１０の端部１１に吹きつけたところ、第１図実
線のごとき多孔質ガラス層１０として、外径１２０ｍｍ
φ、長さ４００ｍｍのものが得られた。
かかる具体例を１０回の実施したところ、多孔質ガラス
層１０の割れは全く発生しなかった。
層１０の割れは全く発生しなかった。
比較のため、ガスバーナ６を使用せずに、外付ＣＶＤ法
を実施したところ、外径１２０ｍｍφ、長さ４００腸腸
の多孔質ガラス層が得られたが、その形状は第１図点線
のようになってしまい、 ３２０＋ｓｍの有効長しか得
られなかった。
を実施したところ、外径１２０ｍｍφ、長さ４００腸腸
の多孔質ガラス層が得られたが、その形状は第１図点線
のようになってしまい、 ３２０＋ｓｍの有効長しか得
られなかった。
かかる比較例を１０回の実施したところ、有効部分（外
径１２０ｍｍφの部分）に割れの生じない多孔質ガラス
層はわずか二つしか得られなかった。
径１２０ｍｍφの部分）に割れの生じない多孔質ガラス
層はわずか二つしか得られなかった。
本発明方法におけるターゲット２としては、石英系ガラ
スロッド（コア用）、石英系ガラスパイプのほか、マン
ドレルとなるカーボンロッド、アルミナロッドがあげら
れる。
スロッド（コア用）、石英系ガラスパイプのほか、マン
ドレルとなるカーボンロッド、アルミナロッドがあげら
れる。
本発明の外付ＣＶＤ法において、ターゲット２がその長
手方向に往復動される場合、前述した多孔質ガラス層１
０の端部処理手段は移動され、逆に酸水素炎バーナ４と
排気管５とがターゲット２の長手方向に沿って往復動さ
れる場合、多孔質ガラス層１０の端部処理手段は固定さ
れる。
手方向に往復動される場合、前述した多孔質ガラス層１
０の端部処理手段は移動され、逆に酸水素炎バーナ４と
排気管５とがターゲット２の長手方向に沿って往復動さ
れる場合、多孔質ガラス層１０の端部処理手段は固定さ
れる。
本発明方法において、ガラス微粒子生成手段を酸水素炎
バーナ４から既知のプラズマトーチに代えれば、プラズ
マトーチを介した外付ＣＶＤ法が実施でき゛る。
バーナ４から既知のプラズマトーチに代えれば、プラズ
マトーチを介した外付ＣＶＤ法が実施でき゛る。
本発明方法において、多孔質ガラス層１０の端部１１を
加熱し、気流を吹きつける手段は、第２図に示すごとく
、リング状の電気ヒータ７と不活性ガス吹きつけるガス
吹管８とを併用したものでもよい。
加熱し、気流を吹きつける手段は、第２図に示すごとく
、リング状の電気ヒータ７と不活性ガス吹きつけるガス
吹管８とを併用したものでもよい。
ｒ発明の効果１
以り説明した通り、本発明方法によるときは、所定の手
段でターゲットの外周に多孔質ガラス層を堆積形成する
とき、その多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気
流を吹きつけるから、有効長の大きい多孔質ガラス層が
歩留りよく作製できる。
段でターゲットの外周に多孔質ガラス層を堆積形成する
とき、その多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気
流を吹きつけるから、有効長の大きい多孔質ガラス層が
歩留りよく作製できる。
第１図は本発明方法の一実施例を略示した説明図、ｆ５
２図は本発明方法の他実施例を略示した説明図、第３図
は従来法を略示した説明図である。 ２・・・ターゲット ４・・・酸水素炎バーナ ８＠・・ガスバーナ ７・拳・電気ヒータ ８・・・ガス吹管 １０−・・多孔質ガラス層
２図は本発明方法の他実施例を略示した説明図、第３図
は従来法を略示した説明図である。 ２・・・ターゲット ４・・・酸水素炎バーナ ８＠・・ガスバーナ ７・拳・電気ヒータ ８・・・ガス吹管 １０−・・多孔質ガラス層
Claims (5)
- （１）化学反応によるガラス微粒子生成手段を介して生
成されたガラス微粒子を、回転しているターゲットの外
周に吹きつけて、そのターゲットの外周に多孔質ガラス
層を堆積形成するガラス微粒子の堆積方法において、上
記多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気流を吹き
つけることを特徴とするガラス微粒子の堆積方法。 - （２）ガラス微粒子生成手段が酸水素炎バーナを介した
外付ＣＶＤ法からなる特許請求の範囲第１項記載のガラ
ス微粒子の堆積方法。 - （３）ガラス微粒子生成手段がプラズマトーチを介した
外付ＣＶＤ法からなる特許請求の範囲第１項記載のガラ
ス微粒子の堆積方法。 - （４）多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気流を
吹きつける手段として、ガスバーナの火炎をその多孔質
ガラス層の端部に吹きつける特許請求の範囲第１項記載
のガラス微粒子の堆積方法。 - （５）多孔質ガラス層の端部を加熱すると同時に気流を
吹きつける手段として、電気ヒータにより多孔質ガラス
層の端部を加熱し、その多孔質ガラス層の端部にガス吹
管を介して不活性ガスを吹きつける特許請求の範囲第１
項記載のガラス微粒子の堆積方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4968586A JPS62207734A (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 | ガラス微粒子の堆積方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4968586A JPS62207734A (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 | ガラス微粒子の堆積方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62207734A true JPS62207734A (ja) | 1987-09-12 |
Family
ID=12838035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4968586A Pending JPS62207734A (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 | ガラス微粒子の堆積方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62207734A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63206324A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPH0659440U (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-19 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の支持部 |
-
1986
- 1986-03-07 JP JP4968586A patent/JPS62207734A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63206324A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPH0659440U (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-19 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の支持部 |
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