JP5000333B2 - 光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献1には、クラッド部形成用バーナに供給する水素とガラス原料ガスの比を、外側クラッド部を作製するバーナほど大きくすることで、石英ガラス多孔質体の割れを抑制することが開示されている。
特許文献2には、クラッド部形成用バーナによる石英ガラス多孔質体の表面温度分布を、ある一定範囲に制御することで、石英ガラス多孔質体の割れを抑制することが開示されている。
特許文献1では、複数のバーナによって外側クラッド部を作製する場合、各クラッド部のかさ密度の差に着目し、外側クラッド層のバーナほどガス流量を上げて、硬く焼き締める事で、クラッド部の割れを防止している。しかしここで注目しているのは、クラッド層間のかさ密度差であり、コア部の石英ガラス多孔質層と内側のクラッド層との関係については考慮されていない。本発明者が石英ガラス多孔質体の割れの原因を検討したところ、スート割れは、クラッド層間での割れ以外にも、コア部と第一クラッド層間でも発生することがわかった。特に、石英ガラス多孔質体の作製開始直後で発生しやすい傾向があり、第一のクラッド部形成用バーナの最高温度が長手方向で変化していくことが原因である事を見出した。
コア部形成用バーナとこのコア部形成用バーナに隣接する第一のクラッド部形成用バーナとの高さの差をAとし、第一のクラッド部形成用バーナの火炎スポット径をdとした場合、前記コア部形成用バーナによる石英ガラス多孔質体の前記ターゲット下端への作製開始からの堆積長がA−d〜A+dの間において、第一のクラッド部形成用バーナの火炎による石英ガラス多孔質体表面の最高温度の変化を50℃以下に制御することを特徴とする光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法を提供する。
図1は、本発明の光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法を実施する製造装置の一例を示す概略正面図である。図中、符号1はコア部形成用の反応容器、2はクラッド部形成用の反応容器、3はコア部形成用バーナ、4は第一のクラッド部形成用バーナ、5は第二のクラッド部形成用バーナ、6は石英ガラス多孔質体である。各バーナ3,4,5には、燃焼ガスとして水素ガス、支燃性ガスとして酸素ガス、ガラス原料ガスとしてSiCl4やGeCl4、その他にシールガスとしてアルゴンガスが供給され、酸水素火炎中でガラス原料ガスが加水分解反応や酸化反応によって石英ガラス微粒子となり、ターゲット上に堆積され、光ファイバ用石英ガラス多孔質体を作製できるようになっている。
以下、実施例により本発明の効果を実証する。
一方、最高温度の変動が50℃より大きい場合、第一のクラッド部形成用バーナによる石英ガラス多孔質体の割れや、脈理などが発生するなど、歩留まりが低下した。
Claims (1)
- コア部形成用バーナと複数のクラッド部形成用バーナに少なくとも燃焼ガス、支燃性ガス及びガラス原料ガスを供給し、コア部形成用バーナによる火炎中で生成したコア用ガラス微粒子を、その軸の周りに回転自在で且つ上下動可能なターゲットの下端に堆積させて石英ガラス多孔質体を形成するとともに、この石英ガラス多孔質体の外周にクラッド部形成用バーナによる火炎中で生成したクラッド用石英ガラス微粒子を堆積させる光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法において、
コア部形成用バーナとこのコア部形成用バーナに隣接する第一のクラッド部形成用バーナとの高さの差をAとし、第一のクラッド部形成用バーナの火炎スポット径をdとした場合、前記コア部形成用バーナによる石英ガラス多孔質体の前記ターゲット下端への作製開始からの堆積長がA−d〜A+dの間において、第一のクラッド部形成用バーナの火炎による石英ガラス多孔質体表面の最高温度の変化を50℃以下に制御することを特徴とする光ファイバ用石英ガラス多孔質体の製造方法。
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