CN103033403A - 一种薄板金属薄膜试样的制备方法 - Google Patents
一种薄板金属薄膜试样的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103033403A CN103033403A CN2011103031332A CN201110303133A CN103033403A CN 103033403 A CN103033403 A CN 103033403A CN 2011103031332 A CN2011103031332 A CN 2011103031332A CN 201110303133 A CN201110303133 A CN 201110303133A CN 103033403 A CN103033403 A CN 103033403A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sample
- sand paper
- preparation
- grind
- thinning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 244000137852 Petrea volubilis Species 0.000 claims abstract description 31
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 18
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000007306 turnover Effects 0.000 claims description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000005308 flint glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本发明公开一种薄板金属薄膜试样的制备方法，具体步骤如下：机械预减薄：手持薄板试样一端，用打磨金相试样的砂轮机将试样的另一端打磨到0.5mm±0.1mm；化学预减薄：腐蚀溶液Hcl∶HNO3∶H2O的体积比为3∶1∶(0～12)，把试样经过砂轮打磨的一端放入腐蚀液中腐蚀，将试样最终减薄到0.3mm±0.1mm；砂纸减薄：将砂纸置于玻璃板上，用剪刀在化学减薄后的试样上剪一块试样，手握研磨块按压住试样，带动试样在砂纸上来回研磨；将试样用切样器切成圆片，用双喷电解仪或离子减薄仪将试样穿孔减薄。本发明解决了薄板试样制样难、制样效率低、试样表面有干扰层无法反应金属组织真实情况等问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种透射电镜观察用薄板金属薄膜试样的制备方法，特别涉及一种厚度小于2mm的薄板金属薄膜试样的制备方法。
背景技术
透射电镜观察的前提是透射电镜的电子束能穿透样品，因此用透射电镜进行析出物、位错密度及组织观察等需要将试样加工成极薄的薄膜。对于非粉末材料，成功地观察透射电镜，90％的精力消耗在制样上。理想的透射电镜薄膜样品要求具有面积大而均匀且无人为缺陷的薄(电子束透明)区，制备出这样的样品要经过多道程序的减薄。首先需采用机械方法减薄试样，然后再用电解双喷、离子减薄等方法减薄试样。透射电镜薄膜样品的最终厚度及表面质量是由机械减薄的质量决定的，因此机械减薄在样品制备中起着至关重要的作用。
通常透射电镜的制样过程是用线切割的方法将试样预减薄到0.5mm，再将试样粘贴到金相试样抛光面上进行磨抛，用丙酮泡上20小时左右后取下，然后再将抛光面粘在金相试样的抛光面上对另一面进行同样的磨抛，用丙酮浸泡取下试样，再对机械减薄好的试样用电解双喷或离子减薄仪进行最终减薄。
目前对于厚度小于2mm，无法用线切割预减薄的薄膜试样的制备方法是直接将试样粘贴到金相试样抛光面上，在粗砂纸(90#)上研磨至0.5mm，接着用与上述其他试样相同的方法进行磨抛。此方法由于初始试样不能用线切割的方法预减薄到0.5mm以下，而是直接对较厚的试样在粗砂纸上减薄，加工速度慢、厚度不好掌握，易磨偏，干扰层厚，长时间在砂纸上研磨试样还会导致组织转变或位错启动，改变试样中位错的原始状态，直接影响了用透射电镜测量位错密度的准确度。在磨样过程中还要不断的粘贴试样，用丙酮浸泡取下试样，耗费很长时间，制样效率很低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种厚度小于2mm的薄板金属薄膜试样的制备方法，解决了薄板试样制样难、制样效率低、试样表面有干扰层无法反应金属组织真实情况等问题。
本发明是一种透射电镜观察用薄板金属薄膜试样的制备方法，具体步骤如下：
1)机械预减薄
手持薄板试样(长方形试样，长度大于150mm，宽度大于20mm，厚度小于2mm)一端，用打磨金相试样的砂轮机将试样的另一端打磨到0.5mm±0.1mm，打磨过程中要保持试样与砂轮平行，用力均匀。
2)化学预减薄
腐蚀溶液Hcl∶HNO3∶H2O的体积比为3∶1∶(0～12)，把试样经过砂轮打磨的一端放入腐蚀液中腐蚀，如溶液沸腾用镊子夹住试样未浸泡在腐蚀液中的一端将试样取出，待腐蚀液冷却后继续腐蚀。将试样最终减薄到0.3mm±0.1mm(试样中心的平均厚度)。
3)砂纸减薄
将砂纸置于玻璃板上，用剪刀在化学减薄后的试样上剪一块10mm*10mm的试样，手握研磨块按压住试样，带动试样在砂纸上来回研磨，经历下述三道工序，依次为：
a粗磨
将试样放在200#-300#砂纸上，用研磨块按住试样，带动试样在砂纸上往复研磨，研磨掉腐蚀层后将试样翻面，研磨另一面，待两侧的研磨面都磨掉后测量试样厚度，重复此过程，直到试样的厚度的平均值为0.15mm±0.02mm为止。
b细磨
将试样放在500#-600#砂纸上，用研磨块按住试样，带动试样在砂纸上往复研磨，试样的两面研磨量要保持均衡，将试样磨到厚度为0.08mm±0.02mm为止。
c抛光
将试样放在800#-1000#砂纸上，用手指肚轻轻按住试样，带动试样往复运动，磨的方向与上道工序垂直，磨到看不到上道工序的磨痕为止。
4)将试样用切样器切成圆片，用双喷电解仪或离子减薄仪将试样穿孔减薄。
用打磨金相试样的砂轮机磨削试样，将试样打磨到0.5mm±0.1mm。此方法进行机械预减薄可快速减薄试样。腐蚀溶液Hcl∶HNO3∶H2O的体积比为3∶1∶(0～12)，可将试样比较均匀的腐蚀到0.3mm±0.1mm。试样的化学预减薄反应快慢可通过调整溶液中水的比例进行控制。通过化学腐蚀预减薄可消除在机械预减薄过程中的干扰层，消除应力。利用摩擦力带动制样在砂纸上研磨(可用磁铁的吸引力或真空的吸力固定试样，带动试样在砂纸上研磨)。此方法可随时更换试样的上下研磨面，使试样上下面的粗糙度保持一致，并可节省大量粘贴试样和用丙酮浸泡试样的时间。在用砂纸磨样过程中可随时检测试样厚度，可有效控制试样厚度。用砂纸减薄的厚度很少，可避免产生干扰层。
本发明的有益效果：
1、用砂轮对样品进行机械预减薄后再用腐蚀溶液减薄样品可充分发挥两种减薄方法的优势(砂轮减薄样品快，化学腐蚀无机械损伤层)，且腐蚀溶液可以腐蚀掉样品在砂轮研磨中产生的机械损伤层。
2、用本发明的方法制备的试样可消除或减轻减薄过程中对样品造成的不利因素，不会导致位错启动，改变试样中位错的原始分布状态，可满足理想的透射电镜薄膜样品的制备要求。
3、利用摩擦力(真空吸引力或磁铁吸引力)带动试样在砂纸上研磨，可随时更换试样的上下研磨面，使试样上下面的粗糙度保持一致，并且可以随时检测试样厚度，能有效控制试样厚度。
4、用此方法制样可大大提高制样效率。
具体实施方式
本实施例所用的材料是汽车板钢热模拟后的板带试样，试样的尺寸为200mm*50mm，厚度为1.5mm。
制样步骤如下：
手持板带试样的一端，用打磨金相试样的砂轮机将试样的另一端打磨到0.5mm，打磨过程中要保持试样与砂轮平行，用力均匀。
在烧杯中倒入150ml水，然后倒入113ml的Hcl，最后倒入37ml的HNO3配制成腐蚀溶液，把试样经过砂轮打磨的一端放入腐蚀液中腐蚀，反应过程中腐蚀液沸腾时将试样取出，待溶液冷却后继续腐蚀。将试样最终减薄到0.28mm(试样中心的平均厚度)。
用剪刀剪下一块10mm*10mm的试样，将砂纸置于玻璃板上，将试样放在200#-300#砂纸上，用带有橡胶皮的研磨块按住试样，带动试样在砂纸上往复研磨，研磨掉腐蚀层后将试样翻面，研磨另一面，待两侧的研磨面都磨掉后测量试样厚度，重复此过程，试样的厚度的平均值为0.14mm时，更换到500#砂纸上，用研磨块按住试样，继续往复研磨，将试样磨到0.08mm时更换到1000#砂纸上，用手指肚轻轻按住试样，带动试样往复运动，磨的方向与上道工序垂直，磨到看不到上道工序的磨痕为止。将试样用切样器切成直径3mm的圆片，安装在双喷电解仪的试验架内，用7％高氯酸与无水乙醇的混合液喷射试样，混合液用液氮冷却成半粘稠状。穿孔后立即用无水乙醇清洗3遍。然后将试样立即放入透射电镜的样品室内。
Claims (3)
1.一种薄板金属薄膜试样的制备方法，其特征在于具体步骤如下：
1)机械预减薄：手持薄板试样一端，用打磨金相试样的砂轮机将试样的另一端打磨到0.5mm±0.1mm；
2)化学预减薄：腐蚀溶液Hcl∶HNO3∶H2O的体积比为3∶1∶(0～12)，把试样经过砂轮打磨的一端放入腐蚀液中腐蚀，将试样最终减薄到0.3mm±0.1mm；
3)砂纸减薄：将砂纸置于玻璃板上，用剪刀在化学减薄后的试样上剪下一块试样，手握研磨块按压住试样，带动试样在砂纸上来回研磨；
4)将试样用切样器切成圆片，用双喷电解仪或离子减薄仪将试样穿孔减薄。
2.根据权利要求1所述的一种薄板金属薄膜试样的制备方法，其特征在于所述砂纸减薄经历下述三道工序，依次为：
a粗磨：将试样放在200#-300#砂纸上，用研磨块按住试样，带动试样在砂纸上往复研磨，研磨掉腐蚀层后将试样翻面，研磨另一面，待两侧的研磨面都磨掉后测量试样厚度，重复此过程，直到试样的厚度的平均值为0.15mm±0.02mm为止；
b细磨：将试样放在500#-600#砂纸上，用研磨块按住试样，带动试样在砂纸上往复研磨，试样的两面研磨量要保持均衡，将试样磨到厚度为0.08mm±0.02mm为止；
c抛光：将试样放在800#-1000#砂纸上，用手指肚轻轻按住试样，带动试样往复运动，磨的方向与上道工序垂直，磨到看不到上道工序的磨痕为止。
3.根据权利要求1所述的一种薄板金属薄膜试样的制备方法，其特征在于所述研磨块利用摩擦力、磁铁的吸引力或真空的吸力固定试样。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110303133.2A CN103033403B (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种薄板金属薄膜试样的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110303133.2A CN103033403B (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种薄板金属薄膜试样的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103033403A true CN103033403A (zh) | 2013-04-10 |
| CN103033403B CN103033403B (zh) | 2015-09-02 |
Family
ID=48020528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110303133.2A Active CN103033403B (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种薄板金属薄膜试样的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103033403B (zh) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103273280A (zh) * | 2013-06-17 | 2013-09-04 | 沈阳飞机工业（集团）有限公司 | 一种特型检验样板的加工方法 |
| CN103335872A (zh) * | 2013-06-04 | 2013-10-02 | 首钢总公司 | 电解双喷制备细丝纵截面透射电镜薄膜样品的方法 |
| CN104792595A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-22 | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 | 一种细钢丝透射电镜纵截面样品的制备方法 |
| CN105403440A (zh) * | 2015-10-10 | 2016-03-16 | 燕山大学 | 一种金属材料薄板和薄片横截面透射电镜样品的制备方法 |
| CN107436258A (zh) * | 2016-05-26 | 2017-12-05 | 天津大学 | 基于电流差的双喷减薄方法在透射电镜试样制备中的应用 |
| CN107677546A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-02-09 | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 | 一种测定Gleeble高温压缩试样抗拉强度的方法 |
| CN108037319A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-05-15 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 一种镍铬铝铁合金透射电镜样品的制备方法 |
| CN108645264A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-10-12 | 广豪汽车配件（合肥）有限公司 | 一种低耗能高效率超薄热交换管 |
| CN108917448A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-11-30 | 广豪汽车配件（合肥）有限公司 | 一种高均匀性超薄热交换管 |
| CN109406556A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-03-01 | 成都先进金属材料产业技术研究院有限公司 | 制备gh4169高温合金透射电镜样品的方法 |
| CN118067482A (zh) * | 2024-04-18 | 2024-05-24 | 西安交通大学 | 一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1129981A (zh) * | 1994-06-15 | 1996-08-28 | 挪威海德罗公司 | 研磨材料样品的设备 |
| US20030027505A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-06 | Applied Materials, Inc. | Multiport polishing fluid delivery system |
| KR100380844B1 (ko) * | 2001-04-12 | 2003-04-18 | 니시야마 스테인레스 케미컬 가부시키가이샤 | 액정유리기판의 화학연마 방법 및 화학연마장치 |
| CN201225969Y (zh) * | 2008-06-20 | 2009-04-22 | 北京科技大学 | 一种透射电镜试样化学减薄夹具 |
| CN101738340A (zh) * | 2008-11-06 | 2010-06-16 | 北京有色金属研究总院 | 一种制备显示钽钨合金金相组织样品的方法 |
| CN102672549A (zh) * | 2012-03-23 | 2012-09-19 | 辽宁科技大学 | 大曲面磁力研磨抛光装置 |
-
2011
- 2011-09-29 CN CN201110303133.2A patent/CN103033403B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1129981A (zh) * | 1994-06-15 | 1996-08-28 | 挪威海德罗公司 | 研磨材料样品的设备 |
| KR100380844B1 (ko) * | 2001-04-12 | 2003-04-18 | 니시야마 스테인레스 케미컬 가부시키가이샤 | 액정유리기판의 화학연마 방법 및 화학연마장치 |
| US20030027505A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-06 | Applied Materials, Inc. | Multiport polishing fluid delivery system |
| CN201225969Y (zh) * | 2008-06-20 | 2009-04-22 | 北京科技大学 | 一种透射电镜试样化学减薄夹具 |
| CN101738340A (zh) * | 2008-11-06 | 2010-06-16 | 北京有色金属研究总院 | 一种制备显示钽钨合金金相组织样品的方法 |
| CN102672549A (zh) * | 2012-03-23 | 2012-09-19 | 辽宁科技大学 | 大曲面磁力研磨抛光装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 周曦亚等: "无机材料显微结构分析"", 《化学工业出版社》, 31 March 2007 (2007-03-31) * |
| 徐刚等: "RPV模拟钢中纳米富Cu相的析出和结构演化研究", 《金属学报》, vol. 47, no. 7, 31 July 2011 (2011-07-31) * |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103335872A (zh) * | 2013-06-04 | 2013-10-02 | 首钢总公司 | 电解双喷制备细丝纵截面透射电镜薄膜样品的方法 |
| CN103273280B (zh) * | 2013-06-17 | 2016-04-13 | 沈阳飞机工业（集团）有限公司 | 一种特型检验样板的加工方法 |
| CN103273280A (zh) * | 2013-06-17 | 2013-09-04 | 沈阳飞机工业（集团）有限公司 | 一种特型检验样板的加工方法 |
| CN104792595A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-22 | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 | 一种细钢丝透射电镜纵截面样品的制备方法 |
| CN105403440B (zh) * | 2015-10-10 | 2018-04-06 | 燕山大学 | 一种金属材料薄板和薄片横截面透射电镜样品的制备方法 |
| CN105403440A (zh) * | 2015-10-10 | 2016-03-16 | 燕山大学 | 一种金属材料薄板和薄片横截面透射电镜样品的制备方法 |
| CN107436258A (zh) * | 2016-05-26 | 2017-12-05 | 天津大学 | 基于电流差的双喷减薄方法在透射电镜试样制备中的应用 |
| CN107677546A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-02-09 | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 | 一种测定Gleeble高温压缩试样抗拉强度的方法 |
| CN108037319A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-05-15 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 一种镍铬铝铁合金透射电镜样品的制备方法 |
| CN108037319B (zh) * | 2017-11-24 | 2021-02-05 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 一种镍铬铝铁合金透射电镜样品的制备方法 |
| CN108645264A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-10-12 | 广豪汽车配件（合肥）有限公司 | 一种低耗能高效率超薄热交换管 |
| CN108917448A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-11-30 | 广豪汽车配件（合肥）有限公司 | 一种高均匀性超薄热交换管 |
| CN108917448B (zh) * | 2018-05-22 | 2020-09-18 | 广豪汽车配件（合肥）有限公司 | 一种高均匀性超薄热交换管 |
| CN109406556A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-03-01 | 成都先进金属材料产业技术研究院有限公司 | 制备gh4169高温合金透射电镜样品的方法 |
| CN118067482A (zh) * | 2024-04-18 | 2024-05-24 | 西安交通大学 | 一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103033403B (zh) | 2015-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103033403B (zh) | 一种薄板金属薄膜试样的制备方法 | |
| Ayache et al. | Sample preparation handbook for transmission electron microscopy: techniques | |
| JP6189407B2 (ja) | 縁端部強化物品の作製方法 | |
| CN103913364A (zh) | 薄规格钢铁材料进行电子背散射衍射分析的样品制备方法 | |
| CN104819876B (zh) | 一种用于透射电镜原位加电场和应力的薄膜样品制备方法 | |
| CN103121245A (zh) | 固结磨料线切割方法及切割液 | |
| CN104034568B (zh) | 用于检测超薄硅晶圆亚表面损伤深度的试样制备方法 | |
| CN102721593A (zh) | 一种显示马氏体耐热钢原始奥氏体晶界的方法 | |
| CN103335877B (zh) | 一种制备金属薄膜金相组织样品的方法 | |
| CN103231302B (zh) | 一种获取超光滑表面低亚表面损伤晶体的方法 | |
| CN110926898A (zh) | 一种电子束敏感脆性材料透射电镜样品制备方法 | |
| CN102709170A (zh) | 用于少子寿命测量的硅片表面处理方法 | |
| CN103993319A (zh) | 铝和铝铜合金宏观组织的腐蚀剂及显示方法 | |
| CN102419275A (zh) | 一种钼铌合金金相组织的观测方法 | |
| Luo et al. | Optimized pre-thinning procedures of ion-beam thinning for TEM sample preparation by magnetorheological polishing | |
| CN109972204A (zh) | 超薄超平晶片和制备该超薄超平晶片的方法 | |
| Cui et al. | A novel green chemical mechanical polishing for potassium dihydrogen phosphate using corn oil slurry | |
| Katahira et al. | A novel technique for reconditioning polycrystalline diamond tool surfaces applied for silicon micromachining | |
| CN109540947B (zh) | 一种制备fib三维重构用“鼻尖”试样的方法 | |
| Tao et al. | Ductile deformation and subsurface damage evolution mechanism of silicon wafer induced by ultra-precision grinding process | |
| CN107643204B (zh) | 一种钴铬合金浸蚀剂及使用其获取金相组织的方法 | |
| CN106289924A (zh) | 靶材金相组织的显示方法 | |
| CN102721594A (zh) | 一种钨镍铁合金金相组织的观测方法 | |
| CN111257092A (zh) | 一种用于抛磨光的金属及矿物薄片试样的固定方法 | |
| Yinxia et al. | Microstructure studies of the grinding damage in monocrystalline silicon wafers |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |