CN102791453A - 脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明的脱模处理方法包含：准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层(14)的模具(100)的工序；对模具(100)的表面施与能溶解氟类化合物的溶剂的工序；以及之后对模具(100)的表面利用喷涂法施与脱模剂的工序。根据本发明，能够没有不均地对表面具有多孔氧化铝层(14)的模具的表面进行脱模处理。

Description

脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置

技术领域

本发明涉及脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置。此处所说的“模具”包含用于各种加工方法(压印、铸造)的模具，有时也称为压模。另外，也能够用于印刷(包括纳米印刷)。

背景技术

通常，为了减少表面反射、提高光的透射量，对用于电视、手机等的显示装置和照相机镜头等光学元件实施防反射技术。因为例如像光入射到空气和玻璃的界面的情况那样，在光通过折射率不同的介质的界面的情况下，由于菲涅尔反射等，光的透射量减少，视觉识别性下降。

近年来，作为防反射技术，在基板表面形成将凹凸的周期控制在可见光的波长(λ＝380nm～780nm)以下的微细凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1至4)。构成发挥防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小为10nm以上且不到500nm。

该方法利用了所谓的蛾眼(Motheye，蛾子的眼)结构的原理，使入射到基板的光对应的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率连续地变化至基板的折射率，由此抑制想要防止反射的波段的反射。

除了能够涵盖较宽的波段发挥入射角依赖性小的防反射作用以外，蛾眼结构还具有能够应用于较多的材料、能够直接在基板上形成凹凸图案等优点。其结果是，能够以低成本提供高性能的防反射膜(或防反射表面)。

作为蛾眼结构的制造方法，使用通过对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2至4)。

在此，简单地说明通过对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层。以往，利用了阳极氧化的多孔质结构体的制造方法作为能够形成有规则地排列的纳米级的圆柱状细孔(微细凹部)的简易方法而受到关注。当在硫酸、草酸或磷酸等酸性电解液或碱性电解液中浸渍基材，将其作为阳极施加电压时，能够在基材的表面同时进行氧化和溶解，在其表面形成具有细孔的氧化膜。该圆柱状细孔相对于氧化膜垂直地取向，在一定的条件下(电压、电解液的种类、温度等)表现出自组织的规则性，因此期待着应用于各种功能材料。

在特定的条件下形成的多孔氧化铝层，当从垂直于膜面的方向看时，为大致正六边形的单元在二维上以最高密度填充的排列。各个单元在其中央具有细孔，细孔的排列具有周期性。单元是局部的皮膜的溶解和生长的结果所形成的，在被称为阻挡层的细孔底部，皮膜的溶解和生长同时进行。已知这时单元的尺寸，即相邻的细孔的间隔(中心间距离)相当于阻挡层的厚度的大致2倍，与阳极氧化时的电压大致成比例。另外，已知细孔的直径依赖于电解液的种类、浓度、温度等，但通常为单元的尺寸(从垂直于膜面的方向看时的单元的最长对角线的长度)的1/3的程度。这种多孔氧化铝的细孔在特定的条件下形成具有高规则性(具有周期性)的排列，另外，根据条件形成某种程度规则性紊乱的排列，或形成不规则(不具有周期性)的排列。

专利文献2公开了使用表面具有阳极氧化多孔氧化铝膜的压模来形成防反射膜(防反射表面)的方法。

另外，在专利文献3中公开了通过反复进行铝的阳极氧化和孔径扩大处理来形成细孔孔径连续地变化的锥形形状的凹部的技术。

本申请人在专利文献4中公开了使用微细凹部具有阶梯状侧面的氧化铝层来形成防反射膜的技术。

另外，如专利文献1、2以及4所记载的那样，通过在蛾眼结构(微观结构)的基础上又设置比蛾眼结构大的凹凸结构(宏观结构)，能够对防反射膜(防反射表面)施与防眩功能。构成发挥防眩功能的凹凸的凸部的二维大小为1μm以上且不到100μm。为了参考，将专利文献1、2以及4的全部公开内容引用到本说明书。

通过利用阳极氧化多孔氧化铝膜，能够容易地制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(以下称为“蛾眼用模具”。)。特别是若如专利文献2和4所记载的那样，将铝的阳极氧化膜的表面原样作为模具来利用，则减少制造成本的效果较大。将能够形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面的结构称为“反转的蛾眼结构”。

作为使用了蛾眼用模具的防反射膜的制造方法，已知使用光固化性树脂的方法。首先在基板上施与光固化性树脂。接着，通过将实施了脱模处理的蛾眼用模具的凹凸表面在真空中按压于光固化性树脂，在蛾眼用模具的表面的凹凸结构中填充光固化性树脂。接着，对凹凸结构中的光固化性树脂照射紫外线，将光固化性树脂固化。之后，通过将蛾眼用模具从基板分离，在基板的表面形成转印了蛾眼用模具的凹凸结构的光固化性树脂的固化物层。使用了光固化性树脂的防反射膜的制造方法记载于例如专利文献4中。

作为具有用于防反射膜的制造的多孔氧化铝层的模具的脱模处理，例如在专利文献5中记载了通过利用喷涂法施与氟类的脱模剂来进行脱模处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特表2001-517319号公报

专利文献2：特表2003-531962号公报

专利文献3：特开2005-156695号公报

专利文献4：国际公开第2006/059686号

专利文献5：国际公开第2008/001847号

发明内容

发明要解决的问题

但是，本发明人在尝试利用喷涂法对蛾眼用模具施与脱模剂时产生脱模剂的涂敷不均等，很难均匀地实施脱模处理。

该问题不限于蛾眼用模具，而是表面具有具备亚微米级的微细凹部的多孔氧化铝层的模具的共同的问题。

本发明的主要目的在于，提供即使通过利用喷涂法对表面具有多孔氧化铝层的模具的表面施与脱模剂也能没有不均地进行脱模处理的方法。

用于解决问题的方案

本发明的脱模处理方法包含：工序(a)，准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层的模具；工序(b)，对上述模具的上述表面施与能够溶解上述氟类化合物的溶剂；以及工序(c)，在上述工序(b)之后，利用喷涂法对上述模具的上述表面施与上述脱模剂。

在某实施方式中，上述工序(b)中使用的上述溶剂是与上述脱模剂中包含的上述溶剂相同的溶剂。

在某实施方式中，上述脱模剂中包含的上述溶剂是氟类溶剂。

在某实施方式中，上述工序(c)在能够溶解上述氟类化合物的溶剂的气氛中进行。

在某实施方式中，还包含工序(d)：在上述工序(c)之后，冲洗上述模具的上述表面。

在某实施方式中，还包含工序(e)：在上述工序(c)和上述工序(d)之间，焙烤上述模具的上述表面。

在某实施方式中，包含工序(f)：在上述工序(a)和工序(b)之间，清洗上述模具的上述表面。

在某实施方式中，上述工序(f)使用二流体喷嘴来进行。

在某实施方式中，上述多孔氧化铝层在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小为50nm以上且不到500nm的多个凹部。

本发明的模具在表面具有多孔氧化铝层，利用上述的任一项所述的脱模处理方法来进行脱模处理。

本发明的防反射膜的制造方法包含：准备上述的模具和被加工物的工序；以及在上述模具和上述被加工物的表面之间施与了紫外线固化树脂的状态下，通过对上述紫外线固化树脂照射紫外线，将上述紫外线固化树脂固化的工序。

本发明的脱模处理装置是对模具的表面进行脱模处理的装置，具备：脱模剂喷嘴，其将包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂施与到模具的表面；溶剂喷嘴，其将能够溶解上述氟类化合物的溶剂施与到模具的表面；施与室，其配置有上述脱模剂喷嘴和上述溶剂喷嘴；以及溶剂槽，其存留有能够溶解上述氟类化合物的溶剂，上述溶剂槽内的溶剂汽化，从而在上述施与室内形成上述溶剂的气氛，利用上述溶剂喷嘴对上述模具的上述表面施与上述溶剂后，在上述溶剂的上述施与室内，上述脱模剂喷嘴对上述模具的上述表面喷射上述脱模剂。

本发明的清洗干燥装置是模具的表面的清洗干燥装置，具备：清洗喷嘴，其对模具的表面施与清洗液；以及气体喷吹部，其具有对上述模具的上述表面喷吹气体的多个喷出孔，通过对上述模具的上述表面中的利用由上述清洗喷嘴施与的清洗液清洗了的部分喷吹气体，使上述部分干燥，上述多个喷出孔被高低不同地配置。

在某实施方式中，还具备突出部，上述突出部设置于上述清洗喷嘴和上述气体喷吹部之间，从上述气体喷吹部的形成有上述多个喷出孔的表面向上述模具的上述表面的方向突出而形成，上述突出部设置有抽吸浮游薄雾的孔。

在某实施方式中，还包含工序(g)：在上述工序(f)之后，对上述模具的上述表面进行干燥。

在某实施方式中，还包含工序(h)：在上述工序(g)之后，焙烤上述模具的上述表面。

在某实施方式中，还包含工序(i)：在上述工序(d)之后，对上述模具的上述表面进行干燥。

在某实施方式中，还包含工序(j)：在上述工序(i)之后，焙烤上述模具的上述表面。

在某实施方式中，还包含工序(k)：在上述工序(j)之后，对上述模具的上述表面进行外观检查。

发明效果

根据本发明，提供即使通过用喷涂方式对表面具有多孔氧化铝层的模具的表面施与脱模剂也能没有不均地进行脱模处理的方法。

附图说明

图1(a)～(h)是为了说明本发明的实施方式的脱模处理方法的示意图。

图2(a)～(c)是为了说明本发明的实施方式的脱模处理方法的示意图。

图3(a)是示出使用利用实施例1的脱模处理方法实施了脱模处理的蛾眼用模具来制作的防反射膜的表面的光学显微镜像的图，(b)是示出使用利用比较例1的脱模处理方法实施了脱模处理的蛾眼用模具来制作的防反射膜的表面的光学显微镜像的图。

图4(a)是脱模处理装置80的示意图，(b)是为了说明辊状的蛾眼用模具100的长轴方向从铅垂方向的偏离的示意图。

图5(a)～(d)是示出附着在蛾眼用模具的表面的异物的光学显微镜像的图。

图6(a)和(b)是分别示出清洗前和清洗后的蛾眼用模具的表面的光学显微镜像的图。

图7(a)～(c)是为了说明使用臭氧纳米气泡水来除去异物的作用的示意图。

图8是脱模处理装置300的示意图。

图9(a)是前清洗部320的示意图，(b)是表面涂敷处理部330的示意图，(c)是检查部340的示意图。

图10(a)是清洗干燥装置90的示意图，(b)是示意性示出气体喷吹部94和突出部96的内周面的图。

图11(a)～(e)是为了说明蛾眼用模具100的制造方法的图。

图12是为了说明使用蛾眼用模具100来制作防反射膜的工序的示意性截面图。

具体实施方式

下面，参照附图来说明本发明的实施方式的脱模处理方法，但本发明不限于例举的实施方式。下面，将对蛾眼用模具进行脱模处理的情况作为例子来说明。此外，“蛾眼用模具”中包括例如平板状的蛾眼用模具和辊状的蛾眼用模具。

下面，参照图1(a)～(h)来说明本发明的实施方式的蛾眼用模具的脱模处理方法。图1(a)～(h)是为了说明本发明的实施方式的脱模处理方法的示意图。

首先，如图1(a)所示，准备辊状的蛾眼用模具100。若使用辊状的蛾眼用模具100，则有例如利用辊到辊方式能够有效率地批量生产防反射膜的优点。蛾眼用模具100在表面具有具备从表面的法线方向看时的二维大小为50nm以上且不到500nm的多个凹部的多孔氧化铝层。蛾眼用模具100能够使用例如上述专利文献3和4所记载的方法，通过反复进行铝的阳极氧化和蚀刻来得到。蛾眼用模具100的制造方法在后面详细叙述。

辊状的蛾眼用模具100优选为如图1(a)所示，例如以使长轴方向与铅垂方向大致平行的方式直立配置。若将辊状的蛾眼用模具100直立配置，则对蛾眼用模具100的外周面施与了脱模剂时，脱模剂变得容易流淌。即能够使脱模剂容易扩展。

然后，清洗蛾眼用模具100。通过清洗蛾眼用模具100，例如，残留异物被除去。另外，如后面详细叙述的那样，与不清洗的情况相比，通过清洗蛾眼用模具100，能够提高脱模处理的效果。

根据本发明人的研究，若制作蛾眼用模具后长时间放置在大气中后实施脱模处理，则有时不能够得到充分的脱模性。可以想到不能够得到充分的脱模性起因如下：在蛾眼用模具的多孔氧化铝层的表面形成有水合物。下面，将使用了草酸水溶液作为阳极氧化的电解液的情况作为例子来说明。在阳极氧化紧后的多孔氧化铝层的表面存在含水氧化铝、铝-草酸螯合物以及草酸盐(参照http://www.alumite.co.jp/CAT/syusan.htm)。若将蛾眼用模具放置在大气中，则它们与大气中的水分反应，形成以氧化铝的水合物或草酸盐为起因的羧酸。另外，若在阳极氧化皮膜的表面形成有氧化铝的水合物(例如软水铝石)，则表面的贴紧性变低(例如参照“关于铝建材的表面处理技术的现状”，技术信息手册，株式会社日本电气化学工业所(「アルミ建材における表面処理技術の現状について」、技術情報パンフレツト、株式会社日本電気化学工業所)，2009年11月，p.14)。因此，可以想到如上述那样，在蛾眼用模具的表面的形成有水合物的部分，后述的脱模剂中包含的具有脱模性的氟类化合物的贴紧性变低了。可以想到，其结果是即使对形成有水合物的部分施与脱模剂，也不能够得到充分的脱模性。

即使是在制作蛾眼用模具后长时间放置在大气中的情况下，通过清洗蛾眼用模具的表面除去水合物，也能够提高氟类化合物对表面的贴紧性。因此，与不清洗而实施了脱模处理的情况相比，能够提高脱模处理的效果。如后述那样，当制作蛾眼用模具后在大气中放置例如超过48个小时之后实施脱模处理时，优选在施与脱模剂之前进行清洗。

在清洗工序中，例如，如图1(b)所示，从在蛾眼用模具100的长轴方向(图1(b)的箭头所示的方向)移动的淋浴喷嘴62a对蛾眼用模具100的外周面喷射清洗液来清洗。这时，通过在圆周方向旋转蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整个外周面被施与清洗液。作为清洗液，例如能够使用纯水、还原性电解离子水、洗涤剂、有机溶剂(例如丙酮)或磷酸。作为清洗方法，除了淋浴清洗以外，例如能够使用流水清洗或浸渍清洗、静电雾化法。当进行浸渍清洗时，也可以对浸渍于清洗液的蛾眼用模具100照射超声波(超声波清洗)。

另外，也可以进行干清洗。作为干清洗，例如能够使用照射准分子UV光的方法和照射在大气压下产生的等离子体和O₂等离子体的方法。

另外，也可以使用上述例举的清洗方法中的多个方法来清洗。例如也可以在磷酸中浸渍后用纯水进行流水清洗。此外，如后述那样，为了提高脱模处理的效果，特别优选使用还原性电解离子水的清洗或使用磷酸的清洗。

然后，根据需要对蛾眼用模具100的表面进行干燥。如图1(c)所示，例如通过使用气刀64a喷吹压缩空气来进行干燥。也可以利用吹N₂来进行干燥。另外也可以使用真空干燥机对蛾眼用模具100的表面进行干燥。

也可以在对蛾眼用模具100的表面进行干燥后进行焙烤(加热处理)。通过进行焙烤，能够除去附着在蛾眼用模具100的表面的微米级的液滴或侵入到多孔氧化铝层的表面的多个凹部的数百纳米级的液滴。例如将蛾眼用模具100放入清洁炉内加热(例如，150℃，30分钟)。另外，也可以喷吹加热的干燥空气。另外，也可以使用远红外加热器。

然后，进行溶剂的施与和脱模剂的施与。作为脱模剂，使用包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的氟类脱模剂。作为氟类脱模剂，例如能够使用氟技术公司(フロロテクノロジ一社)制造的佛劳劳萨夫(フロロサ一フ)。作为佛劳劳萨夫，例如能够使用佛劳劳萨夫FG-5010Z130-0.1。在佛劳劳萨夫FG-5010Z130-0.1中，作为氟类化合物包含全氟辛基丙烯酸乙酯(Perfluorooctyl Ethyl Acrylate)的单独聚合物，作为溶剂包含稀释剂ZV(Hydrofluoroether；氢氟醚)。例如，佛劳劳萨夫FG-5010Z130-0.1的全氟辛基丙烯酸乙酯的单独聚合物的浓度为0.1％。

溶剂的施与例如如图1(d)所示，使用在蛾眼用模具100的长轴方向移动的喷射喷嘴52用喷涂方式来进行。这时，通过旋转蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整个外周面被施与溶剂。此处施与的溶剂例如为上述的稀释剂ZV。稀释剂ZV例如能够从氟技术公司得到。此外，溶剂即使不是脱模剂中包含的溶剂，只要是能够溶解三井杜邦氟化学公司(三井デユポンフロロケミカル社)制造的VertrelXF等脱模剂中包含的具有脱模性的氟类化合物的溶剂即可。

脱模剂是利用喷涂法施与到施与了溶剂的蛾眼用模具100的表面。例如，如图1(d)所示，使用在蛾眼用模具100的长轴方向移动的喷射喷嘴54来施与脱模剂。这时，与施与溶剂时一样，通过旋转蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整个外周面被施与脱模剂。当从蛾眼用模具100的上端向下端进行处理时，也可以一边从喷射喷嘴52喷射溶剂一边从喷射喷嘴54喷射脱模剂。这时，喷射喷嘴52和喷射喷嘴54保持一定的间隔，平行于长轴地移动。此外，也可以使喷射喷嘴52和喷射喷嘴54分别独立移动，在施与溶剂后施与脱模剂。

若利用喷涂法对蛾眼用模具的多孔氧化铝层的表面施与脱模剂，则如后面详细叙述的那样，有时会发生脱模剂的涂敷不均等，不能够均匀地实施脱模处理。可以想到，一个原因是，若使用喷涂法，则从喷射喷嘴喷出的脱模剂的液滴在到达蛾眼用模具的表面之前，脱模剂的液滴中的溶剂的一部分汽化，脱模剂中包含的氟类化合物变得容易偏析。在本发明的实施方式的脱模处理方法中，是在施与脱模剂之前对蛾眼用模具的多孔氧化铝层的表面施与溶剂，因此，到达表面的脱模剂的液滴中的氟类化合物被稀释，能够在溶剂蒸发之前在表面上扩散。因此，能够没有不均地实施脱模处理。施与溶剂的工序和施与脱模剂的工序在后面详细叙述。

如后述那样，脱模剂的施与优选在溶剂的气氛中进行。通过在溶剂的气氛中进行脱模剂的施与，溶剂的汽化被抑制，能够更加容易使具有脱模性的氟类化合物扩展。

此外，特别是当溶剂有害时，优选如图1(d)所示，在蛾眼用模具100的上方配置局部排气装置63，一边排气一边进行脱模剂的施与。

然后，进行蛾眼用模具100的表面的焙烤。通过焙烤能够促进蛾眼用模具100的多孔氧化铝层的表面和氟类化合物的反应。例如，如图1(e)所示，使用加热器66进行焙烤。此外，此处进行的焙烤工序能够利用与上述的焙烤方法一样的方法进行。

然后，通过进行冲洗来除去过多的脱模剂。冲洗工序例如，如图1(f)所示，能够使用在蛾眼用模具100的长轴方向移动的喷射喷嘴62b，用淋浴方式进行。这时，通过旋转蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整个外周面被施与冲洗液。作为喷射喷嘴62b，例如使用二流体喷嘴。二流体喷嘴通过将液体和压缩气体混合而喷出，能够以雾状喷出液体。通过使用二流体喷嘴能够将液滴细微化，因此有能够对蛾眼用模具100适应地涂敷冲洗剂的优点。另外，若使用二流体喷嘴则能够控制压缩气体的喷出压力，因此可以进行高压涂敷。因此能够有效率地除去过多的脱模剂。另外，也有能够防止浮游异物的附着的优点。除了淋浴方式以外，也可以利用例如浸涂方式来冲洗。

作为冲洗液，例如能够使用上述脱模剂中包含的溶剂。通过使用溶剂来进行冲洗，多余的氟类化合物被除去，使氟类化合物的膜薄膜化和/或均匀化。脱模剂的膜越薄且均匀，越能够减小脱模剂对蛾眼用模具100的表面的凹凸结构的尺寸精度的影响。此外，优选在表面形成有氟类化合物的单分子膜。单分子膜的膜厚为1～4nm的程度。

脱模剂的膜厚，例如能够使用原子间力显微镜(AFM)等扫描型探针显微镜(SPM)来求出。也能够使用扫描透射电子显微镜(STEM)从截面结构来求出膜厚。另外，通过使用X射线光电子能谱法(ESCA)也能够求出膜厚。

在进行冲洗工序的装置中，为了能够再次使用使用了一次的冲洗液，也可以设置积存使用了的冲洗液的槽或使冲洗液循环的配管。在积存冲洗液的槽或使冲洗液循环的配管中，为了能够过滤冲洗液，也可以设置过滤器。

然后，除去蛾眼用模具100的表面的冲洗液。即对蛾眼用模具100的表面进行干燥。例如，如图1(g)所示，使用气刀64b来进行干燥。也可以使用上述的其他的干燥方法来进行干燥。

之后，也可以根据需要焙烤(加热处理)蛾眼用模具100。通过进行焙烤，能够除去蛾眼用模具100的表面附着的冲洗液的残渣。焙烤方法能够使用与上述的焙烤方法相同的方法。

这样，能够得到在多孔氧化铝层的表面实施了脱模处理的蛾眼用模具。

此外，接着也可以进行蛾眼用模具100的外观检查。在外观检查中，例如，如图1(h)所示，利用照明装置68对蛾眼用模具100的外周面照射光，利用照相机79进行附着异物的检查。之后，蛾眼用模具100能够用于例如防反射膜的制造。

本发明的实施方式的脱模处理方法通过在用喷涂法对蛾眼用模具的表面施与脱模剂之前，施与能够溶解具有脱模性的氟类化合物的溶剂，从而能够没有不均地实施脱模处理。此外，也可以省略参照图1说明的脱模处理方法的各工序中除了施与溶剂的工序和施与脱模剂的工序以外的清洗工序、干燥工序等。

下面，参照图2来详细地说明本发明的实施方式的脱模处理方法中的溶剂施与工序和脱模剂施与工序。

首先，如图2(a)所示，准备表面具有多孔氧化铝层的蛾眼用模具100和脱模剂(未图示)。蛾眼用模具100例如具有：辊状的支撑体12(例如不锈钢制的管)、形成在辊状的支撑体12的表面上的铝膜18以及形成在铝膜18上的多孔氧化铝层14。此外，在图2(a)中，为了简单，对于蛾眼用模具100，只示出辊状的支撑体12的一部分、铝膜18的一部分以及多孔氧化铝层14的一部分。图2(b)和(c)也一样，对于蛾眼用模具100，只示出一部分。多孔氧化铝层14具有多个微细凹部(细孔)14p。多个微细凹部14p从表面的法线方向看时的二维大小为50nm以上且不到500nm。蛾眼用模具100，如后面详细叙述的那样，能够通过反复进行形成在辊状的支撑体12上的铝膜18的阳极氧化和蚀刻来制作。

作为脱模剂，使用包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的氟类脱模剂。作为氟类脱模剂，能够广泛地使用公知的氟类脱模剂。例如，能够使用氟技术公司制造的佛劳劳萨夫。作为佛劳劳萨夫，例如如上所述，能够使用佛劳劳萨夫FG-5010Z130-0.1。在佛劳劳萨夫FG-5010Z130-0.1中，作为氟类化合物，包含全氟辛基丙烯酸乙酯的单独聚合物，作为溶剂，包含稀释剂ZV(氢氟醚)。在佛劳劳萨夫中，作为溶剂，除了上述以外，例如还有包含不燃性氟类溶剂或石油类溶剂的溶剂。作为不燃性氟类溶剂，除了氢氟醚以外，还能够举出例如全氟聚醚(Perfluoropolyethers)、全氟烷(Perfluoroalkane)、氢氟聚醚(Hydrofluoropolyethers)、氢氟碳化物(Hydrofluorocarbon)等。这些不燃性氟类溶剂可单独使用一种或混合使用二种以上。作为石油类溶剂，例如使用正庚烷(n-Heptane)、丙酮(Acetone)或将正庚烷和丙酮混合的溶剂。

作为氟类脱模剂，除了上述以外，例如能够使用大金公司(ダイキン社)制造的Optool-DSX。另外也能够使用三井杜邦氟化学公司制造的透明涂料。另外，作为氟类脱模剂的溶剂，优选使用氟类的溶剂。不过也能够适当选择使用水类的溶剂或公知的有机溶剂。此外，溶剂不仅可以是溶解氟类化合物的溶剂，也可以是使氟类化合物分散在溶剂中的溶剂。

氟类脱模剂与除了氟类脱模剂以外的例如硅酮类的脱模剂等脱模剂相比，有对用于防反射膜的制造的紫外线固化性树脂的脱模性高的优点。另外，氟类的脱模剂有对紫外线的抗性高的优点。另外，氟类的脱模剂的层容易薄膜化。

根据本发明人的研究，使用除了氟类的脱模剂以外的例如硅酮系的脱模剂而实施了脱模处理的蛾眼用模具不能够用于防反射膜的制造。本发明人研究了使用除了氟类的脱模剂以外的脱模剂的情况，但在防反射膜的制造工序中，有时施与于蛾眼用模具和被转印物之间的紫外线固化性树脂的固化物层的一部分会从被加工物剥离而残留于蛾眼用模具的表面。可以想到这起因于紫外线固化性树脂对使用的脱模剂的脱模性低或使用的脱模剂对紫外线的抗性低。另外，如使用蛾眼用模具来制造防反射膜的情况那样，在转印亚微米级的凹凸结构时，如上述那样，优选对脱模剂的层进行薄膜化，但在使用了除了氟类的脱模剂以外的脱模剂的情况下，很难对脱模剂的层进行薄膜化。

另外，具有脱模性的氟类化合物的浓度优选为0.1wt％以上。使用浓度为0.05％、0.10％以及0.20％的脱模剂对蛾眼用模具实施了脱模处理并调查了脱模处理后的疏水性。在施与浓度为0.05％的脱模剂时，在蛾眼用模具的表面存在氟类化合物很少且没有充分地实施脱模处理的部分，蛾眼用模具的表面的疏水性产生了不均。另一方面，使用浓度为0.10％和0.20％的脱模剂而实施了脱模处理的蛾眼用模具的整个面都显示了充分的疏水性。

然后，对蛾眼用模具100的表面施与溶剂。这时，如图2(b)所示，例如使用喷射喷嘴52利用喷涂方式施与溶剂。此处施与的溶剂典型来说是脱模剂中包含的溶剂，但不限于此，只要是能够溶解脱模剂中包含的具有脱模性的氟类化合物的溶剂即可。

使用一流体喷嘴作为喷射喷嘴52。作为一流体喷嘴，例如使用在喷出溶剂的同时，喷出雾化空气和图案空气的一流体喷嘴。从喷嘴喷出的溶剂的液滴被雾化空气薄雾化。通过控制雾化空气的压力，能够控制薄雾化了的液滴的大小。另外，通过控制图案空气的压力，能够控制薄雾化了的液滴的动能。另外，能够控制喷射图案的大小和形状。此外，溶剂的液滴优选被薄雾化到在到达模具之前不挥发的程度。另外，为了将溶剂的液滴到达蛾眼用模具100的表面时的冲击变小，优选控制液滴的动能。

接着，利用喷涂方式对蛾眼用模具100的表面施与脱模剂。这时，如图2(c)所示，例如使用喷射喷嘴54。作为喷射喷嘴54，例如使用二流体喷嘴。其有如下优点：通过使用二流体喷嘴进行脱模剂的施与，例如能够将喷出的脱模剂的液滴细微化。

在蛾眼用模具100的多孔氧化铝层14的表面形成有多个微细凹部14p。被施与到表面的脱模剂的液滴保存在凹部14p内，因此氟类化合物的浓度容易变得在每个凹部14p不同。因此，溶剂蒸发而残留在表面的氟类化合物的量(氟类化合物层的厚度)也容易变得在每个凹部14p不同。而且，若使用喷涂法，则在脱模剂的液滴到达蛾眼用模具100的表面之前，脱模剂的液滴中的溶剂的一部分汽化，氟类化合物容易偏析。因此，若用喷涂法对多孔氧化铝层的表面施与脱模剂，则有时不能够均匀地实施脱模处理。

根据本发明的实施方式的脱模处理方法，如参照图2(b)来说明的那样，在施与脱模剂之前对多孔氧化铝层的表面施与溶剂，到达表面的脱模剂的液滴中的氟类化合物被稀释，能够在溶剂蒸发之前在表面上扩散。因此能够没有不均地实施脱模处理。

施与上述的脱模剂的工序(图2(c))优选在能够溶解脱模剂的氟类化合物的溶剂的气氛中进行。通过在溶剂的气氛中施与脱模剂，能够抑制从喷射喷嘴喷出的脱模剂的液滴中的溶剂或存在于蛾眼用模具100的表面的溶剂的汽化。因此能够容易使脱模剂中包含的氟类化合物扩展。

然后，示出实施例和比较例。在实施例1中，利用参照图1说明的方法实施了脱模处理。在比较例1中，除了没有进行施与溶剂的工序以外，利用与实施例1相同的方法实施了脱模处理。

在实施例1中，首先准备了按如下方式制作的蛾眼用模具。此处使用的蛾眼用模具是使用例如上述专利文献3和4所记载的方法通过反复进行铝基材的阳极氧化和蚀刻来制作的。作为基材，使用了通过在基板(玻璃基板，10cm×10cm，厚度3cm)上实施喷涂法来形成厚度为1μm的铝膜18而制作出的基材。

使用该基材，首先，通过进行阳极氧化，在铝膜18的表面形成了多孔氧化铝层。阳极氧化工序使用草酸水溶液(浓度0.05mol/L，液温3℃)施加80V进行了60秒钟。作为电极，使用了Pt板。将电极和基材的距离设为150mm。

然后，通过进行蚀刻，完全除去了多孔氧化铝层。蚀刻工序使用磷酸水溶液(浓度8mol/L，液温30℃)进行了90分钟。

然后，将阳极氧化工序和蚀刻工序交替进行了5次(5次阳极氧化，4次蚀刻)。阳极氧化工序与上述一样，使用草酸水溶液(浓度0.05mol/L，液温3℃)施加80V进行了60秒钟。蚀刻工序使用磷酸水溶液(浓度8mol/L，液温30℃)进行了20分钟。

这样得到的蛾眼用模具，形成有深度为400nm的程度、细孔间隔为180nm的程度的多个细孔。

然后，如下所示，利用参照图1说明的方法进行了蛾眼用模具的脱模处理。此外，如上述那样进行阳极氧化工序和蚀刻工序后，在温度为22℃、湿度为30％的清洁室内放置7天后实施了脱模处理。下面的工序是在清净度等级为1000的清洁室内进行的。

首先，通过使用二流体喷嘴对蛾眼用模具的表面喷吹纯水进行了清洗。清洗后使用吹N₂对蛾眼用模具的表面进行了干燥。对蛾眼用模具的表面进行干燥后，使用清洁炉进行了焙烤。将焙烤条件设为150℃、30min。

然后，施与溶剂(稀释剂ZV)后，利用喷涂法施与了包含全氟辛基丙烯酸乙酯的单独聚合物的脱模剂佛劳劳萨夫FG5010Z130-0.1，全氟辛基丙烯酸乙酯的单独聚合物作为具有脱模性的氟类化合物。溶剂的施与是使用一流体喷嘴进行的。脱模剂的施与使用了二流体喷嘴。

施与脱模剂后进行焙烤工序、冲洗工序、干燥工序，然后又进行了焙烤工序。焙烤工序与上述一样，是使用清洁炉，在150℃、30min的条件下进行的。冲洗工序是使用二流体喷嘴、用淋浴方式进行的。作为冲洗液，使用了脱模剂中包含的溶剂。

在比较例1中，使用用与实施例1相同的方法制作的蛾眼用模具，不进行施与溶剂的工序而通过利用喷涂法施与与实施例1相同的脱模剂实施了脱模处理。即，除了没有进行施与溶剂的工序以外，利用与实施例1相同的方法实施了脱模处理。

对于实施例1和比较例1的脱模处理后的蛾眼用模具的表面，在荧光灯正下方通过目视调查了有无涂敷不均。在比较例1的脱模处理后的蛾眼用模具的表面存在以目视能够确认的大小(毫米级)的不均。另一方面，在实施例1的脱模处理后的蛾眼用模具的表面，未看到涂敷不均。通过在施与脱模剂之前施与溶剂，能够均匀地实施脱模处理。

在实施例1中能够均匀地实施脱模处理，从而能够如下面说明的那样，在使用蛾眼用模具制作的防反射膜的表面均匀地形成蛾眼结构。

防反射膜如上述专利文献4所记载的那样，是利用使用光固化性树脂的方法按如下方式制作的。首先，在被转印物(PET膜(厚度100μm))上使用注射器施与了光固化性树脂(丙烯酸树脂)。接着，将利用上述实施例1的方法实施了脱模处理的蛾眼用模具的表面在真空中按压于光固化性树脂，将光固化性树脂填充到蛾眼用模具的凹凸结构中。之后，通过对凹凸结构中的光固化性树脂照射2分钟紫外线(365nm，1000mW/cm²)，将光固化性树脂固化。之后，通过将蛾眼用模具从基板分离，制作了防反射膜。同样地，使用利用上述比较例1的方法实施了脱模处理的蛾眼用模具制作了防反射膜。

在图3(a)中示出使用利用实施例1的方法实施了脱模处理的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面的光学显微镜像，在图3(b)中示出使用利用比较例1的方法实施了脱模处理的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面的光学显微镜像。此外，图3(a)和(b)所示的光学显微镜像是在防反射膜的背面贴上黑的树脂板(丙烯酸板)后拍摄的光学显微镜像。

如图3(b)所示，在使用利用比较例1的方法实施了脱模处理的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面存在看起来发白的部分。从表面的法线方向看时的白的部分的二维大小为200～300μm的程度。用扫描型电子显微镜(SEM)调查时，在看起来发白的部分形成有高度为200nm的程度的多个突起。另一方面，在看起来很黑的部分形成有高度为400nm的程度的多个突起。可以想到，形成有高度为200nm的程度的多个突起的部分的多个突起较低，从而不能够充分地防反射，因此反射率高、看起来发白。可以想到，在防反射膜的表面存在形成有较低的突起的部分的一个原因是，在蛾眼用模具的表面，氟类化合物偏析到蛾眼用模具的表面的一部分细孔中，细孔变浅，进行转印时，在被转印物的表面的一部分上形成了低的突起。另外，可以想到，利用比较例1的脱模处理方法来实施脱模处理时，氟类化合物没有充分地扩展，从而存在氟类化合物没有充分地存在的部分。可以想到，在氟类化合物不充分存在而脱模性低的部分，光固化性树脂没有剥离，从而存在不会形成期望的蛾眼结构的部分。

另一方面，如图3(a)所示，在使用实施例1的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面看不到使用比较例1的蛾眼用模具制作的防反射膜(图3(b))那样的白的部分。由此可知，使用实施例1的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面遍及整体反射率都低。可以想到，能够遍及整个表面降低反射率，是因为利用实施例1的脱模处理方法能够没有不均地实施脱模处理，所以能够在防反射膜的整个表面形成期望的蛾眼结构。

这样，根据本发明的实施方式的脱模处理方法，能够确认即使通过利用喷涂法施与脱模剂，也能够没有不均地实施脱模处理。

对于实施例1的蛾眼用模具，调查了脱模剂的涂着效率。作为涂着效率，将蛾眼用模具的表面的脱模剂的附着量相对于脱模剂的投入量的比用百分率来求出时，为60％以上。另一方面，比较例1的涂着效率为40％以下。

调查了当与比较例1一样不进行施与溶剂的工序而是通过利用喷涂法施与脱模剂来实施脱模处理时，加大液滴尺寸后，上述的涂敷不均是否得到改善。在不进行施与溶剂的工序而是施与了脱模剂的比较例1中，在脱模剂的液滴到达蛾眼用模具之前，溶剂挥发，不能够使氟类化合物扩散。因此，尝试了利用加大液滴尺寸使液滴在到达蛾眼用模具时溶剂大量残留的方法，使脱模剂的液滴容易扩散。但是，根据该方法，脱模剂的液滴流淌，偏向蛾眼用模具的下部，产生了涂敷不均。另外，尝试了利用增加涂敷次数而加厚脱模剂的膜的方法来改善涂敷不均，但效果很小。另外，不管是加大了液滴尺寸的情况还是增加了涂敷次数的情况，脱模剂的涂着效率都降低了。

另外，对于实施例1的蛾眼用模具，调查了脱模处理后的表面有无二维大小超过100μm的异物。在使用光学显微镜(倍率100倍)观察时没有看到二维大小超过100μm的异物。此外，如上述那样在实施例1中，在前清洗中使用了二流体喷嘴，但在使用淋浴喷嘴代替二流体喷嘴进行了前清洗时，在脱模处理后的表面存在很多异物。即利用淋浴喷嘴，异物的除去效果很小。另外，在调查比较例1的蛾眼用模具时，在脱模处理后的蛾眼用模具的表面存在异物。

然后，参照图4(a)来说明本发明的实施方式的脱模处理装置。图4(a)是脱模处理装置80的示意图。此处例举对辊状的蛾眼用模具100进行脱模处理的情况。如图4(a)所示，脱模处理装置80具有溶剂喷嘴82、脱模剂喷嘴84、施与室86以及溶剂槽88。溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84配置于施与室86内。溶剂喷嘴82在脱模剂喷嘴84下侧并空开一定的间隔而配置。溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84，例如利用未图示的升降机构，在图4(a)所示的实线箭头的方向保持一定的间隔以相同速度移动。溶剂喷嘴82例如为喷射喷嘴，喷射能够溶解具有脱模性的氟类化合物的溶剂。脱模剂喷嘴84为喷射脱模剂的喷射喷嘴。

溶剂槽88中存留有能够溶解具有脱模性的氟类化合物的溶剂。溶剂槽88配置于施与室86的下部。溶剂槽88内的溶剂汽化，从而在施与室86内形成溶剂的气氛。

蛾眼用模具100以使长轴方向与溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84的移动方向大致平行的方式配置于施与室86内。溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84例如在铅垂方向移动，蛾眼用模具100以使长轴方向与铅垂方向大致平行的方式直立配置。利用在蛾眼用模具100的长轴方向移动的溶剂喷嘴82对蛾眼用模具100施与溶剂。这时，蛾眼用模具100借助于未图示的旋转机构在蛾眼用模具100的圆周方向旋转。这样，蛾眼用模具100的整个外周面被施与溶剂。利用脱模剂喷嘴84对蛾眼用模具100的外周面的施与了溶剂的部分施与脱模剂。脱模剂喷嘴84，与溶剂喷嘴82一样，平行于蛾眼用模具100的长轴地移动。这时，蛾眼用模具100旋转，从而整个外周面被施与脱模剂。

从蛾眼用模具100的上端向下端进行处理时，也可以一边从溶剂喷嘴82喷射溶剂，一边从脱模剂喷嘴84喷射脱模剂。溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84保持一定的间隔，平行于长轴地移动。此外，例如也可以使溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84分别独立移动，施与溶剂后施与脱模剂。

例如，当对直径为65mm、长度为370mm的辊状的蛾眼用模具100进行溶剂的施与和脱模剂的施与时，溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84的间隔为70mm。另外，溶剂以流量为0.06L/sec、喷射角度为30°、喷射压力为0.2～0.4MPa、每次180秒钟来施与。脱模剂以流量为0.008L/sec、喷射角度为30°、雾化空气的喷射压力为0.4MPa、图案空气的喷射压力为0.3MPa来施与。脱模剂的施与时间为，例如，施与3次脱模剂时，每次37秒钟，共计111秒钟。对蛾眼用模具100施与溶剂后到施与脱模剂为止的时间为60sec。另外，使溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84保持一定的间隔在长轴方向移动，从蛾眼用模具100的上端向下端进行处理时，使溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84保持一定的间隔的情况下以10cm/s向下移动。以60rpm旋转蛾眼用模具100。

在脱模处理装置80中，蛾眼用模具100是在施与室86内被施与脱模剂，因此是在溶剂的气氛中被施与脱模剂。因此，如上述那样脱模剂容易扩展。此外，例如在施与室86内如图4(a)中虚线箭头所示那样产生上升气流，从而能够在施与室86内有效地形成溶剂的气氛。

作为施与脱模剂的喷射喷嘴，例如能够使用一流体喷嘴和二流体喷嘴。通过使用二流体喷嘴，能够将喷出的脱模剂的液滴细微化。另外，也能够使用螺旋喷嘴。若使用螺旋喷嘴，则能够产生螺旋状的气流，因此能够一边旋转脱模剂的液滴，一边将其施与到蛾眼用模具100的表面。这时，能够将脱模剂的液滴到达蛾眼用模具100时的冲击变小，因此能够减少在蛾眼用模具100的表面溅起的液滴。此外，在比较使用二流体喷嘴和螺旋喷嘴来施与脱模剂的涂着效率时，二流体喷嘴为40～60％，与此相对，螺旋喷嘴为20～40％。因此，从涂着效率的观点来看优选二流体喷嘴。此外，根据本发明人的研究，螺旋喷嘴的涂着效率能够通过周围环境的调整(例如，设为高气密设计)或静电涂敷的利用而提高到60～80％。脱模剂的施与也可以利用静电喷射方式来进行。不管在使用二流体喷嘴和螺旋喷嘴的哪一个的情况下也都可以在喷嘴的顶端设置过滤器使脱模剂中的异物不喷出。此外，施与溶剂的喷射喷嘴能够使用与用于脱模剂的施与的喷射喷嘴一样的喷射喷嘴。

例举了在图4(a)所示的脱模处理装置80中将辊状的蛾眼用模具100以使长轴方向与铅垂方向平行的方式直立配置的情况，但辊状的蛾眼用模具100的长轴方向也可以从铅垂方向倾斜。参照图4(b)来说明辊状的蛾眼用模具100的长轴方向从铅垂方向的偏离。

使用直径为65mm、长度为345mm的辊状的蛾眼用模具100，将蛾眼用模具100的转速设为60rpm，将喷嘴的移动速度设为10mm/sec，研究了从铅垂方向的偏离。将喷嘴84和蛾眼用模具100的距离(图4(b)所示的WD)设为了70mm。此外，在此，WD为如图4(b)所示，通过蛾眼用模具100的底面的中心向铅垂方向延伸的轴J2和喷嘴84顶端的距离。在研究蛾眼用模具100的中心轴J1和通过蛾眼用模具100的底面的中心向铅垂方向延伸的轴J2的距离X(蛾眼用模具100的上表面的中心和轴J2的距离)的大小后发现，当X＞10mm时产生了脱模剂的施与不均。另外，在研究WD的大小后发现，当WD＜20mm以及WD＞130mm时产生了脱模剂的施与不均。因此，在该情况下，优选X≤10mm，另外，优选20mm≤WD≤130mm。

如下面说明的那样，与不清洗的情况相比，通过在施与溶剂之前进行蛾眼用模具的清洗工序(图1(b))，能够提高脱模处理的效果。

若进行阳极氧化和蚀刻后长时间放置在大气中后实施脱模处理，则有时不能够得到充分的脱模性。在阳极氧化后的多孔氧化铝层的表面存在含水氧化铝、铝-草酸螯合物以及草酸盐。若将蛾眼用模具放置在大气中，则它们与大气中的水分反应，形成以氧化铝的水合物或草酸盐为起因的羧酸。若在阳极氧化皮膜的表面形成氧化铝的水合物，则氟类化合物对表面的贴紧性变低。因此，可以想到，在实施脱模处理后不能够得到充分的脱模性。

如下所示，从脱模处理后的蛾眼用模具的表面对水的接触角的大小调查了脱模性。若在进行阳极氧化和蚀刻后长时间(超过48小时)放置在大气中后实施脱模处理，则脱模处理后的表面的接触角比在进行阳极氧化和蚀刻后在48小时以内实施了脱模处理的蛾眼用模具小。在阳极氧化和蚀刻后1天以内实施了脱模处理后测量对水的接触角时，为140°以上。另一方面，在阳极氧化和蚀刻后在大气中放置3天后实施脱模处理时，对水的接触角为135°以下。即，在大气中放置3天后实施了脱模处理的蛾眼用模具的表面的、脱模处理后的对水的接触角，比在阳极氧化和蚀刻后1天以内实施了脱模处理的蛾眼用模具的表面的、脱模处理后的对水的接触角小。可以想到，如上述那样，若将蛾眼用模具放置在大气中，则在表面形成较多的水合物。可以想到，在形成有水合物的表面，氟类化合物的贴紧性低，因此，若形成水合物，则脱模处理后的表面对水的接触角变小。脱模处理后的表面的接触角小意味着脱模性低。即，若脱模处理后的表面的接触角小，则不能够得到充分的脱模性。因此，若将脱模处理后的接触角小的蛾眼用模具用于防反射膜的制造，则有时不能够形成期望的蛾眼结构。

如下所示，即使在进行阳极氧化和蚀刻后在大气中放置2天～23天的情况下，与不清洗的情况相比，通过在施与溶剂和脱模剂之前清洗蛾眼用模具的表面，也能够加大脱模处理后的蛾眼用模具的表面对水的接触角。

下面，示出调查了利用不同的清洗方法清洗的蛾眼用模具的、脱模处理后的表面对水的接触角的实验结果。在此，作为清洗方法，研究了准分子UV光的照射、使用超纯水的流水清洗、使用还原性电解离子水的浸渍清洗、使用丙酮的浸渍清洗以及使用磷酸的浸渍清洗。

如下所示，在进行阳极氧化和蚀刻而制作出蛾眼用模具之后将其在大气中放置了2天或23～24天。之后，清洗蛾眼用模具后，实施脱模处理，调查了脱模处理后的表面对水的接触角。根据本发明人的研究可知，若将多孔氧化铝层放置1周以上，则表面存在的含水氧化铝、铝-草酸螯合物、草酸盐中的大部分与大气中的水分反应而形成水合物。将放置的天数设为23～24天，使上述的含水氧化铝等的大部分反应。

首先，在与上述实施例1一样的阳极氧化条件和蚀刻条件下制作了蛾眼用模具。

将得到的蛾眼用模具在大气中放置2天后，利用上述任一项的清洗方法清洗。之后，利用与上述实施例1一样的方法，按如下顺序进行干燥、焙烤、溶剂施与、脱模剂施与、焙烤、冲洗、干燥以及焙烤。此外，对于通过照射准分子UV光来清洗的蛾眼用模具，清洗后不进行对蛾眼用模具的表面进行干燥的工序和焙烤工序。

之后，测量了蛾眼用模具的表面对水的接触角。接触角使用协和界面科学公司(協和界面科学社)制造的便携式接触角计来测量。

表1示出在大气中放置2天后进行上述任一项的清洗工序后进行了脱模处理的蛾眼用模具12e、12j、12k、12r的接触角和不进行清洗工序而进行了脱模处理的蛾眼用模具12n的接触角。通过对蛾眼用模具12e照射准分子UV(波长172nm，100W，150sec)进行了清洗。准分子UV清洗是使用牛尾(USHIO)电机株式会社制造的准分子光照射组件。对于蛾眼用模具12j，使用超纯水进行了流水清洗(60sec)。对于蛾眼用模具12k，在还原性电解离子水中浸渍后使用纯水进行了清洗(30sec)。对于蛾眼用模具12r，在磷酸(1mol/L)中浸渍后用纯水进行了清洗(30sec)。

[表1]

	12e	12j	12k	12r	12n
						接触角(°)	142.3	142.5	143.3	143.2	134.7

如表1所示，在大气中放置2天后不进行清洗工序而实施了脱模处理的蛾眼用模具12n的脱模处理后的表面对水的接触角为134.7°。另一方面，通过在进行清洗工序后进行脱模处理，能够将蛾眼用模具12e、12j、12k、12r的脱模处理后的接触角加大到140°以上。这样，与不进行清洗工序而实施了脱模处理的蛾眼用模具12n相比，通过进行清洗工序，能够加大脱模处理后的接触角。可以想到，如上述那样，将蛾眼用模具放置在大气中，从而在蛾眼用模具的表面形成了水合物，但可以想到，通过进行清洗工序，能够除去水合物，能够加大脱模处理后的接触角。

另外，从表1可知，特别是进行了使用还原性电解离子水的清洗的蛾眼用模具12k和进行了使用磷酸的清洗的蛾眼用模具12r的脱模处理后的接触角大。因此可知，特别是通过进行使用还原性电解离子水的清洗和使用磷酸的清洗，能够得到加大脱模处理后的接触角的效果。

表2示出在大气中放置23天再进行准分子UV清洗(100W，300sec)后进行了脱模处理的5个蛾眼用模具13e1～13e5的接触角。此外，为了调查工艺的稳定性，对于蛾眼用模具13e1～13e5，在相同的条件下实施了清洗和脱模处理。

[表2]

	13e1	13e2	13e3	13e4	13e5
						接触角(°)	139.7	137.6	139.9	139.8	140.0

另外，表3示出在大气中放置23天后进行了利用丙酮的超声波清洗(160kHz，300sec)和脱模处理的7个蛾眼用模具13a1～13a7的接触角。此外，为了调查工艺的稳定性，对于蛾眼用模具13a1～13a7，在相同的条件下实施了清洗和脱模处理。表3也一并示出放置23天后实施了利用超纯水的流水清洗和脱模处理的蛾眼用模具13j的接触角和不进行清洗工序而实施了脱模处理的蛾眼用模具13n的接触角。

[表3]

	13a1	13a2	13a3	13a4	13a5	13a6	13a7	13j	13n
										接触角(°)	136.6	136.4	137.2	135.7	138.8	127.7	138.2	140.6	134.4

放置23天后不进行清洗工序而实施了脱模处理的蛾眼用模具13n(表3)的脱模处理后的接触角为134.4°。由表2和3可知，在进行准分子UV清洗后实施了脱模处理的蛾眼用模具13e1～13e5、进行利用丙酮的脱脂清洗后实施了脱模处理的蛾眼用模具13a1～13a7、进行使用超纯水的流水清洗后实施了脱模处理的蛾眼用模具13j中，蛾眼用模具13a6与不进行清洗工序而实施了脱模处理的蛾眼用模具13n相比，脱模处理后的表面对水的接触角小，但除了蛾眼用模具13a6以外，与蛾眼用模具13n相比，脱模处理后的表面对水的接触角大。另外，放置23天后进行了使用超纯水的流水清洗的蛾眼用模具13j的脱模处理后的接触角最能够加大。在使用准分子UV清洗或丙酮的清洗中，主要是有机物被除去。可以想到，在使用超纯水的流水清洗中，除了有机物以外的异物也能够有效地除去，从而能够加大脱模处理后的接触角。

此外，由表2可知，在放置23天的蛾眼用模具中，与不进行清洗工序而实施了脱模处理的蛾眼用模具13n相比，进行了准分子UV清洗的蛾眼用模具13e1～13e5能够将脱模处理后的对水的接触角加大3°以上。另一方面，在如上述那样进行使用丙酮的清洗后实施了脱模处理的蛾眼用模具13a1～13a7(表3)中，与蛾眼用模具13n相比，蛾眼用模具13a1、13a2、13a3、13a4、13a5、13a7能够加大接触角，但蛾眼用模具13a6的接触角，比不进行清洗而实施了脱模处理的蛾眼用模具13n小。若比较使用丙酮的清洗和准分子UV清洗，则在进行了准分子UV清洗的蛾眼用模具13e1～13e5中除了13e2以外，与进行了使用丙酮的清洗的蛾眼用模具13a1～13a7脱模处理后的接触角相比，接触角大。因此，与进行使用丙酮的清洗的情况相比，通过进行准分子UV清洗，能够加大脱模处理后的接触角。另外，使用丙酮的清洗与准分子UV清洗相比，脱模处理后的接触角的偏差大。因此，若比较使用丙酮的清洗和准分子UV清洗，准分子UV清洗工艺的稳定性高。由此可知，准分子UV清洗比使用丙酮的清洗有利。

表4示出放置24天后进行了150sec准分子UV清洗的蛾眼用模具14e、使用超纯水进行了60sec流水清洗的蛾眼用模具14j、使用还原性电解离子水进行了30sec清洗的蛾眼用模具14k以及使用磷酸进行了30sec清洗的蛾眼用模具14r的脱模处理后的对水的接触角。

[表4]

	14e	14j	14k	14r
					接触角(°)	134.0	135.1	137.8	136.4

[133]在大气中放置24天后进行了准分子UV清洗的蛾眼用模具14e的脱模处理后的接触角(表4)，比放置2天后进行了准分子UV清洗的蛾眼用模具12e(表1)和放置23天后进行了准分子UV清洗的蛾眼用模具13e1～13e5(表2)小。对于放置24天后进行了使用超纯水清洗的蛾眼用模具14j、进行了使用还原性电解离子水的清洗的蛾眼用模具14k以及进行了使用磷酸清洗的蛾眼用模具14r也一样，与放置2天的蛾眼用模具或放置23天的蛾眼用模具相比，接触角小(表1、3以及4)。即，放置24天的情况与放置2天的情况(表1)、放置23天的情况(表2和3)相比，加大利用清洗而得到的脱模处理后的接触角的效果小(表4)。此外，若比较准分子UV清洗(14e)、使用超纯水的清洗(14j)、使用还原性电解离子水的清洗(14k)以及使用磷酸的清洗(14r)，则通过进行使用还原性电解离子水的清洗最能够加大脱模处理后的接触角。

这样，根据表1的结果，可知从加大脱模处理后的接触角，即提高脱模处理的效果的观点来看，特别优选使用还原性电解离子水的清洗和使用磷酸的清洗。另外，从表2和表3的结果可知，在放置23天的情况下比较准分子UV的清洗、使用丙酮的脱脂清洗以及利用超纯水的流水清洗可知，通过进行利用超纯水的流水清洗，最能够加大脱模处理的效果。此外，比较准分子UV清洗和使用丙酮的清洗可知，准分子UV清洗能够稳定得到提高接触角的效果，因此是有利的。

从上述内容来看，进行阳极氧化和蚀刻后，即使在例如在48小时以内没有实施脱模处理的情况下，通过在施与溶剂和脱模剂之前清洗蛾眼用模具，也能够加大脱模处理后的蛾眼用模具的表面的接触角。即，通过在施与溶剂和脱模剂之前清洗蛾眼用模具，能够提高脱模处理的效果。此外，特别是当将放置的天数为23天以内时，通过清洗，能够提高脱模处理的效果。

此外，还原性电解离子水是例如对pH12以上的碱离子水混合不到60重量％的1～3价的乙醇而成的。作为还原性电解离子水，例如能够使用淀川霍泰克公司(淀川ヒユ一テツク社)制造的安全还原性高性能离子清洗水SK清洗剂。还原性电解离子水兼备碱离子水所具有的剥离能力和乙醇所具有的脱脂能力，因此清洗力强。碱离子水含有大量负离子，通过在对基质(此处指蛾眼用模具)的表面的污垢进行正离子化，并且用负离子覆盖污垢的表面和基质的表面，就能够用电力的排斥作用拉开污垢和基质的表面，除去污垢。上述碱离子水是例如通过电解食盐水和其他的矿物质成分的电解质水溶液来制造的。

然后，说明研究除去附着于蛾眼用模具100的异物的效果的结果。在此，图5(a)～(d)示出附着于蛾眼用模具100的表面的异物的光学显微镜像。图5(a)～(d)所示的异物是在与上述实施例1一样的条件下制作的蛾眼用模具的表面所看到的异物。可以想到，图5(a)所示的异物是例如玻璃那样的无机物。这样的异物，在蛾眼用模具的10cm×10cm的范围内看到了23个。此外，作为异物的量，利用日本NED公司制造的线传感器照相机SuFi74测量了100μm²以上的大小的异物的量。另外，可以想到，图5(b)所示的异物是浮游灰尘等有机类的附着异物。这样的异物，在10cm×10cm的范围内看到了18个。可以想到，图5(c)所示的异物是以衣物的纤维或毛发、霉菌等为起因的纤维状的异物。在这样的异物中，长度为200μm以上的异物在10cm×10cm的范围内看到了5个。另外，可以想到，图5(d)所示的异物是唾液、手指的油分、浮游薄雾等有机类的黏着物。这样的异物在10cm×10cm的范围内看到了19个。

调查了通过使用具有喷出空气和纯水的狭缝的二流体喷嘴进行10cm×10cm的蛾眼用模具的淋浴清洗的异物的除去效果。使用在10cm×10cm的基板上沉积有铝膜的基材，利用与上述实施例1一样的方法制作了蛾眼用模具。将空气压和水压全都设为0.4MPa。将二流体喷嘴的传送速度设为3.6m/min。使用日本NED公司制造的线传感器照相机SuFi74求出了清洗前后的异物的个数。此外，将线传感器的分辨率设为30μm，传送速度设为11m/min。表5示出结果。如表5所示，对于无机类异物和有机类异物各自调查了4个范围的大小的个数。

[表5]

如表5所示，能够使二维大小为30μm以上的异物的量从115个减少至58个。特别是能够将二维大小为30μm以上且不到100μm的无机类异物和二维大小为100μm以上且不到150μm的有机类异物除去至一半以下。

另外，调查了如图5例举的那样的异物的除去效果。无机类的异物(例如图5(a))能够大致除去。另一方面，对于有机类的异物，也有的除去不充分。纤维状的异物(例如图5(c))能够大致除去。另一方面，对于浮游灰尘等有机类附着异物、唾液或手指的油分、浮游薄雾等有机类的黏着物，有的不能够完全除去。

图6示出蛾眼用模具的表面的存在有起因于手指的油分的异物的部分的光学显微镜像。图6(a)示出清洗前的状态，图6(b)是对于与图6(a)一样的部分，示出清洗后的状态。在图6(a)和(b)中，看起来发白的部分是附着的油分。与图6(a)相比可知，在图6(b)中，整体看起来发白的部分减轻。如图6所示，通过清洗，能够部分地除去油分但也有的不能够完全除去。对于浮游灰尘等异物(例如图5(b))也一样，有的能够除去，但也有的不能够除去而只是减轻了。

有机类的异物，例如能够通过在浸渍于臭氧纳米气泡水的状态下照射UV而除去。臭氧纳米气泡水例如为包含直径为1μm以下的臭氧的气泡的水溶液，有除去有机物的作用(例如参照专利第4080440号)。臭氧纳米气泡水例如能够从昭和药品工业株式会社得到。参照图7来说明使用臭氧纳米气泡水除去异物的作用。若将蛾眼用模具100浸渍于臭氧纳米气泡水，则如图7(a)所示，臭氧纳米气泡24侵入到异物22和蛾眼用模具100之间。若接着又照射UV(例如365nm)，则臭氧纳米气泡24破裂(图7(b))。由于臭氧纳米气泡破裂时的冲击，将异物22从蛾眼用模具100剥离(图7(c))。

调查了利用除了使用二流体喷嘴的淋浴清洗以外的清洗方法的无机类异物和有机类异物的除去效果。作为清洗方法，进行了使用纯水的超声波清洗、使用还原性电解离子水的超声波清洗、磷酸清洗以及使用超纯水的一流体淋浴清洗。除去异物的效果是使用与上述一样的线传感器照相机通过测量清洗前后的附着量来调查的。图5(a)例举的那样的无机类的异物能够通过使用还原性电解离子水的超声波清洗、磷酸清洗以及使用超纯水的一流体淋浴清洗来除去。该三种方法的除去异物的效果是同一程度的。对于有机类的异物，有不管利用哪一种清洗方法都很难除去的异物。与上述的使用了二流体喷嘴的淋浴清洗一样，有机类的异物中的纤维状的异物能够大致除去。此外，与上述一样，通过在浸渍于臭氧纳米气泡水的状态下照射UV能够有效地除去上述的有机类的异物。

然后，参照图8和图9来说明本发明的实施方式的脱模处理装置的例子。此外，在此也将对辊状的蛾眼用模具100实施脱模处理的装置作为例子进行说明。

图8是本发明的实施方式的脱模处理装置300的示意性的俯视图。如图8所示，脱模处理装置300具有接收/排出部310、前清洗部320、表面涂敷处理部330以及检查部340。前清洗部320进行蛾眼用模具100的清洗、干燥。表面涂敷处理部330依次进行对蛾眼用模具100的溶剂的施与、脱模剂的施与、焙烤、冲洗、冲洗后的干燥以及焙烤。检查部340进行蛾眼用模具100的检查。蛾眼用模具100被搬入接收/排出部310后，在脱模处理装置300内，按前清洗部320、表面涂敷处理部330、检查部340、接收/排出部310的顺序被传送。脱模处理装置300例如还具有滑动器，利用滑动器传送蛾眼用模具100。之后，蛾眼用模具100从接收/排出部310被排出，用于例如防反射膜的制造。

下面，参照图9(a)～(c)来说明前清洗部320、表面涂敷处理部330以及检查部340的具体的构成例。图9(a)、(b)以及(c)是分别示意性示出前清洗部320、表面涂敷处理部330以及检查部340的图。

如图9(a)所示，前清洗部320设置有施与清洗液的淋浴喷嘴62a、气刀64a以及使淋浴喷嘴62a和气刀64a升降的升降机构72。首先，蛾眼用模具100由设置于滑动器70的悬吊机构74提起，从接收/排出部310搬入前清洗部320内。在悬吊机构74的下部设置有旋转机构71。蛾眼用模具100通过由利用升降机构72在蛾眼用模具100的长轴方向移动的淋浴喷嘴62a施与清洗液而被清洗。这时，蛾眼用模具100借助于旋转机构71而旋转，从而使蛾眼用模具100的整个外周面被施与清洗液。接着，利用在蛾眼用模具100的长轴方向移动的气刀64a对蛾眼用模具100的表面喷吹压缩空气，蛾眼用模具100的表面被干燥。这时，通过利用旋转机构71旋转蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整个外周面被喷吹压缩空气。

例如，当对直径为65mm、长度为370mm的辊状的蛾眼用模具100进行清洗和干燥时，淋浴喷嘴62a和气刀64a的间隔为100mm。另外，对蛾眼用模具100施与清洗液后到利用气刀64a施与压缩空气为止的时间为10sec。另外，当从蛾眼用模具100的上端向下端进行处理时，也可以一边从淋浴喷嘴62a施与清洗液，一边从气刀64a喷吹压缩空气。淋浴喷嘴62a和气刀64a保持一定的间隔，平行于蛾眼用模具100的长轴地移动。例如，使淋浴喷嘴62a和气刀64a保持一定的间隔的情况下以1.0cm/sec向下移动。这时，以10rpm旋转蛾眼用模具100。

如图9(b)所示，表面涂敷处理部330设置有对蛾眼用模具100的表面施与溶剂的喷射喷嘴52、施与脱模剂的喷射喷嘴54、淋浴喷嘴62b、气刀64b、使它们升降的升降机构72、加热器66以及冲洗液槽76。冲洗液槽76中存留有供应到淋浴喷嘴62b的冲洗液。首先，蛾眼用模具100由滑动器70搬入表面涂敷处理部330内。表面涂敷处理部330一边旋转蛾眼用模具100一边使喷射喷嘴52、喷射喷嘴54在蛾眼用模具100的长轴方向移动，进行上述的溶剂施与、脱模剂施与。接着，利用加热器66进行焙烤。此外，在上述的脱模处理装置80(图4(a))中，例举了使溶剂喷嘴82和脱模剂喷嘴84平行地移动的情况，但在表面涂敷处理部330中利用不同的升降机构使喷射喷嘴52和喷射喷嘴54独立移动。其次，通过利用淋浴喷嘴62b对蛾眼用模具100的表面施与冲洗液来进行冲洗。之后，通过利用气刀64b例如喷吹压缩空气来对蛾眼用模具100进行干燥。之后，利用加热器66进行焙烤。在表面涂敷处理部330中，通过在冲洗液槽76内设置过滤器，能够如上述那样，过滤冲洗液并使之循环，重复使用冲洗液。

例如，与上述一样，在进行直径为65mm的程度、长度为370mm的程度的辊状的蛾眼用模具100的表面涂敷处理的情况下，利用喷射喷嘴52对蛾眼用模具100的整个外周面施与溶剂后，经过60秒钟后利用喷射喷嘴54施与脱模剂。溶剂以流量为0.06L/sec、喷射角度为30°、喷射压力为0.2～0.4MPa、每次180秒钟来施与。脱模剂以流量为0.008L/sec、喷射角度30°、雾化空气的喷射压力为0.4MPa、图案空气的喷射压力为0.3MPa来施与。脱模剂的施与时间为，例如，施与3次脱模剂时，每次37秒钟，共计111秒钟。

在此，例举了使喷射喷嘴52和喷射喷嘴54独立移动的情况，但也可以使喷射喷嘴52和喷射喷嘴54保持一定的间隔地移动。这时，使喷射喷嘴52和喷射喷嘴54例如以10cm/s移动。

另外，淋浴喷嘴62b和气刀64b的间隔例如为100mm。另外，对蛾眼用模具100施与冲洗液后到利用气刀64b施与压缩空气为止的时间为10sec。另外，使淋浴喷嘴62b和移动气刀64b保持一定的间隔的情况下以1.0cm/s向下移动。

如图9(c)所示，检查部340具有照明装置68、照相机79以及使照明装置68和照相机79升降的升降机构78。在检查部340中，一边利用滑动器70使搬入检查部340中的蛾眼用模具100旋转，一边使照明装置68和照相机79在蛾眼用模具100的长轴方向移动，检查蛾眼用模具100的整个外周面。在检查部340中，例如利用照明装置68对蛾眼用模具100的外周面照射光，利用照相机79进行附着异物的检查。

例如，与上述一样，在进行直径为65mm的程度、长度为370mm的程度的辊状的蛾眼用模具100的检查时，使照明装置68和照相机79以1.0cm/s向下移动，以10rpm旋转蛾眼用模具100。

然后，参照图10来说明进行施与脱模剂之前的清洗和干燥的清洗干燥装置。图10(a)是清洗干燥装置90的示意图。另外，图10(b)是示意性示出清洗干燥装置90的气体喷吹部94和突出部96的内周面的图。

如图10(a)所示，清洗干燥装置90具有清洗喷嘴92和气体喷吹部94。清洗喷嘴92例如为喷出清洗液的喷射喷嘴。气体喷吹部94具有多个喷出孔98。气体喷吹部94，例如为环状，内周面的直径比辊状的蛾眼用模具100的外周面的直径大。清洗干燥装置90优选如图10(a)所示，还具有突出部96。突出部96设置于清洗喷嘴92和气体喷吹部94之间。突出部96从气体喷吹部94的形成有喷出孔98的表面向蛾眼用模具100的外周面的方向突出而形成。例如，如图10(a)所示，气体喷吹部94和突出部96形成为一体，突出部96为环状，具有从气体喷吹部94的内周面向内侧突出的形状。在突出部96中，优选如图10(b)所示，设置有抽吸浮游薄雾的孔97。抽吸浮游薄雾的孔97例如如图10(b)所示，是设置于突出部96的内周面的狭缝状的孔。

清洗喷嘴92一边在蛾眼用模具100的长轴方向下降，一边施与清洗液。同时，通过利用未图示的旋转机构旋转蛾眼用模具100，能够清洗蛾眼用模具100的整个外周面。气体喷吹部94例如从多个喷出孔98喷出氮气，一边下降一边对施与了清洗液的部分进行干燥。在清洗干燥装置90中，设置有从气体喷吹部94的内周面向内侧突出的突出部96，从而能够防止从清洗喷嘴92出来的清洗液的液滴向气体喷吹部94侧浮游。

另外，如图10(b)所示，通过在突出部96的内周面设置抽吸浮游薄雾的孔97，能够防止例如由气体喷吹部94的气体的喷吹而产生的浮游薄雾对蛾眼用模具100的附着。突出部96内例如设置有未图示的抽吸风扇，浮游薄雾被抽吸到抽吸浮游薄雾的孔97。此外，气体喷吹部94和突出部96为环状，以环绕辊状的蛾眼用模具100的外周面的方式配置，因此能够有效地进行蛾眼用模具100的干燥和浮游薄雾的附着的防止。另外，在清洗干燥装置90中，如图10(a)中虚线箭头所示那样产生下降气流，从而能够有效地抑制薄雾的浮游。

在清洗干燥装置90中，通过一边旋转蛾眼用模具100一边使气体喷吹部94向铅垂方向下方移动，对蛾眼用模具100的外周面以向铅垂方向下方前进的螺旋状的方式喷吹气体。其结果，能够将清洗液的液滴向铅垂方向下方吹开。

气体喷吹部94的多个喷出孔98被高低不同地配置。即如图10(b)所示，多个喷出孔98具有高度互相不同的第1喷出孔98a和第2喷出孔98b。第1喷出孔98a与第2喷出孔98b相比，配置于铅垂方向上方。另外，第1喷出孔98a和第2喷出孔98b如图10(b)所示，在气体喷吹部94的内周面交替配置。例如，在气体喷吹部94中，代替多个喷出孔98，设置了以环绕辊状的蛾眼用模具的方式设置的气刀时，由从气刀喷吹的气体向铅垂方向上方吹起的液滴容易再附着于模具。由从气刀喷出的气体形成的片状的气体的帘成为屏障，向上方吹起的液滴有时不能够向铅垂方向下方移动而是再附着于模具。特别是当气体喷吹部的移动速度较快时，容易产生液滴的再附着。如图10(a)和(b)所示的气体喷吹部94那样，若高度不同的第1喷出孔98a和第2喷出孔98b交替配置，则即使在清洗液的液滴被吹起时，也能够使液滴从第1喷出孔98a和第2喷出孔98b之间落下。因此能够有效地除去液滴。

例如，进行直径为65mm的程度、长度为370mm的程度的蛾眼用模具100的清洗和干燥的清洗干燥装置90的气体喷吹部94的内周面的直径为79mm的程度。这时，优选清洗喷嘴92与气体喷吹部94相距100mm的程度，优选突出部96从气体喷吹部94的内周面突出1mm的程度。利用清洗喷嘴92施与清洗液后到利用气体喷吹部94喷吹氮气为止的时间例如为10sec。另外，使清洗喷嘴92、气体喷吹部94以及突出部96以1.0cm/s向下移动。这时，以10rpm旋转蛾眼用模具100。第1喷出孔98a和第2喷出孔98b的高度的差例如为50mm的程度。另外，第1喷出孔98a和第2喷出孔98b配置于气体喷吹部94的内周面，例如全都配置14个。

然后，参照图11来说明蛾眼用模具的制造工序。图11(a)～(e)是为了说明蛾眼用模具的制造方法的示意性截面图。此外，下面例举通过使用具有基板16和沉积在基板16上的铝膜18的铝基材10进行阳极氧化和蚀刻来制作平板状的蛾眼用模具的情况。

首先，如图11(a)所示，准备铝基材10。铝基材10具有基板16和沉积在基板16上的铝膜18。

然后，如图11(b)所示，通过对基材10的表面(铝膜18的表面18s)进行阳极氧化来形成具有多个细孔14p(微细凹部)的多孔氧化铝层14。多孔氧化铝层14具有具备细孔14p的多孔层和阻挡层。多孔氧化铝层14例如通过在酸性的电解液中对表面18s进行阳极氧化来形成。在形成多孔氧化铝层14的工序中使用的电解液是包含例如从由草酸、乙醇石酸、磷酸、铬酸、柠檬酸、苹果酸组成的群中选择的酸的水溶液。例如，使用草酸水溶液(浓度0.06wt％、液温5℃)，以施加电压为80V，对铝膜18的表面18s进行30秒钟阳极氧化来形成多孔氧化铝层14。通过调整阳极氧化条件(例如电解液的种类、施加电压)，能够调节细孔间隔、细孔的深度、细孔的形状等。此外，多孔氧化铝层的厚度能够适当变更。也可以对铝膜18进行完全阳极氧化。

然后，如图11(c)所示，通过使多孔氧化铝层14接触氧化铝的蚀刻剂来进行规定的量的蚀刻，从而扩大细孔14p的孔径。在此，通过使用湿蚀刻能够对细孔壁和阻挡层大致各向同性地进行蚀刻。通过调整蚀刻液的种类/浓度和蚀刻时间，能够控制蚀刻量(即细孔14p的大小和深度)。作为蚀刻液，例如能够使用10质量％的磷酸或蚁酸、醋酸、柠檬酸等有机酸的水溶液或铬酸磷酸混合水溶液。例如，通过使用磷酸(浓度1mol/L、液温30℃)进行25分钟蚀刻来扩大细孔14p。

然后，如图11(d)所示，再次通过对铝膜18进行部分阳极氧化，使细孔14p向深度方向生长，并且加厚多孔氧化铝层14。此处细孔14p的生长从已经形成的细孔14p的底部开始，因此细孔14p的侧面成为阶梯状。

之后，根据需要，通过使多孔氧化铝层14接触氧化铝的蚀刻剂进一步进行蚀刻，从而进一步扩大细孔14p的孔径。作为蚀刻液，此处也优选使用上述的蚀刻液，实际上，只要使用相同的蚀刻液即可。

这样，通过反复进行上述的阳极氧化工序和蚀刻工序，如图11(e)所示，能够得到具有具备期望的凹凸形状的多孔氧化铝层14的蛾眼用模具100。之后，蛾眼用模具100在例如利用参照图1说明的方法实施了脱模处理后，用于防反射膜的制造。

此外，在上述内容中，将使用具有基板16和沉积在基板16上的铝膜18的铝基材10来制作平板状的蛾眼用模具的情况作为例子进行了说明，但辊状的蛾眼用模具能够通过例如使用具有辊状的支撑体(例如不锈钢制的管)和形成在辊状的支撑体上的铝膜的铝基材进行阳极氧化和蚀刻来制作。另外，作为基板16，使用具有可挠性的高分子膜，在高分子膜上形成铝膜，通过对铝膜的表面进行阳极氧化形成多孔氧化铝层后，将高分子膜固定在辊状的支撑体的外周面，这样也能够制造辊状的蛾眼用模具。

然后，参照图12来说明本发明的实施方式的防反射膜的制造方法。图12是为了说明利用辊到辊方式来制造防反射膜的方法的示意性截面图。

首先，准备辊状的蛾眼用模具100。准备例如利用参照图1说明的方法实施了脱模处理的蛾眼用模具100。

然后，如图12所示，在将表面施与了紫外线固化树脂32’的被加工物42按压于蛾眼用模具100的状态下，通过对紫外线固化树脂32’照射紫外线(UV)，将紫外线固化树脂32’固化。作为紫外线固化树脂32’，例如能够使用丙烯系树脂。被加工物42例如为TAC(Triacetylcellulose；三醋酸纤维素)膜。被加工物42由未图示的卷出辊卷出，之后，例如利用狭缝涂敷器等对其表面施与紫外线固化树脂32’。被加工物42如图12所示，由支撑辊46和48支撑。支撑辊46和48具有旋转机构，传送被加工物42。另外，辊状的蛾眼用模具100以与被加工物42的传送速度相应的转速向图12中箭头所示的方向旋转。

之后，通过将蛾眼用模具100从被加工物42分离，将转印了蛾眼用模具100的凹凸结构(反转的蛾眼结构)的固化物层32形成于被加工物42的表面。表面形成有固化物层32的被加工物42由未图示的卷取辊卷取。

此外，为了形成防反射性能优良的防反射膜，优选蛾眼用模具100的细孔14p从表面的法线方向看时的二维大小为10nm以上且不到500nm(上述专利文献1、2和4)，更加优选为50nm以上且不到500nm。

以上将对蛾眼用模具进行脱模处理的情况作为例子进行了说明，但本发明的实施方式的脱模处理方法也能够用于除了蛾眼用模具以外的、表面具有多孔氧化铝层的模具的脱模处理。例如能够用于形成光子液晶的模具的脱模处理。

工业上的可利用性

本发明的脱模处理方法能够作为为了形成防反射膜、光子结晶等的模具的脱模处理方法来使用。

附图标记说明

12支撑体

14多孔氧化铝层

14p细孔

18铝膜

52、54喷射喷嘴

80脱模处理装置

82溶剂喷嘴

84脱模剂喷嘴

86施与室

88溶剂槽

90清洗干燥装置

92清洗喷嘴

94气体喷吹部

98喷出孔

100蛾眼用模具

Claims (12)

1.一种脱模处理方法，包含：

工序(a)，准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层的模具；

工序(b)，对上述模具的上述表面施与能够溶解上述氟类化合物的溶剂；以及

工序(c)，在上述工序(b)之后，利用喷涂法对上述模具的上述表面施与上述脱模剂。

2.根据权利要求1所述的脱模处理方法，

上述工序(b)中使用的上述溶剂是与上述脱模剂中包含的上述溶剂相同的溶剂。

3.根据权利要求1或2所述的脱模处理方法，

上述脱模剂中包含的上述溶剂为氟类溶剂。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的脱模处理方法，

上述工序(c)在能够溶解上述氟类化合物的溶剂的气氛中进行。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的脱模处理方法，

还包含工序(d)：在上述工序(c)之后，冲洗上述模具的上述表面。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的脱模处理方法，

还包含工序(e)：在上述工序(c)和上述工序(d)之间，焙烤上述模具的上述表面。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的脱模处理方法，

包含工序(f)：在上述工序(a)和工序(b)之间，清洗上述模具的上述表面。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的脱模处理方法，

上述多孔氧化铝层在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小为50nm以上且不到500nm的多个凹部。

9.一种模具，

在表面具有多孔氧化铝层，

利用权利要求1至8中的任一项所述的脱模处理方法来进行脱模处理。

10.一种防反射膜的制造方法，包含：

准备权利要求9所述的模具和被加工物的工序；以及

在上述模具和上述被加工物的表面之间施与了紫外线固化树脂的状态下，通过对上述紫外线固化树脂照射紫外线，将上述紫外线固化树脂固化的工序。

11.一种脱模处理装置，

是对模具的表面进行脱模处理的装置，

具备：

脱模剂喷嘴，其将包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂施与到模具的表面；

溶剂喷嘴，其将能够溶解上述氟类化合物的溶剂施与到模具的表面；

施与室，其配置有上述脱模剂喷嘴和上述溶剂喷嘴；以及

溶剂槽，其存留有能够溶解上述氟类化合物的溶剂，

上述溶剂槽内的溶剂汽化，从而在上述施与室内形成上述溶剂的气氛，

利用上述溶剂喷嘴对上述模具的上述表面施与上述溶剂后，在上述施与室内，上述脱模剂喷嘴对上述模具的上述表面喷射上述脱模剂。

12.一种清洗干燥装置，

是模具的表面的清洗干燥装置，

具备：

清洗喷嘴，其对模具的表面施与清洗液；以及

气体喷吹部，其具有对上述模具的上述表面喷吹气体的多个喷出孔，通过对上述模具的上述表面中的利用由上述清洗喷嘴施与的清洗液清洗了的部分喷吹气体，使上述部分干燥，

上述多个喷出孔被高低不同地配置。

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