CN102731808B - 干燥装置、膜的干燥方法及溶液制膜方法 - Google Patents

干燥装置、膜的干燥方法及溶液制膜方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种干燥装置、膜的干燥方法及溶液制膜方法。壳体中设置流延带(26)。流延带(26)朝向X方向循环移动。壳体内通过密封部件隔成流延室、干燥室及剥离室。干燥室中从X方向上游侧朝向下游侧依次设置第1干燥单元(51)和第2干燥单元(52)。第1干燥单元(51)朝向流延带(26)上的流延膜(43)吹送第1干燥风(61)。第2干燥单元(52)朝向流延膜(43)吹送第2干燥风(75)。调节第1干燥风(61)及第2干燥风(75)的风速，以使第1干燥单元(51)中的第1干燥风(61)的动压变得小于第2干燥单元(52)中的第2干燥风(75)的动压。

Description

干燥装置、膜的干燥方法及溶液制膜方法
技术领域
本发明涉及一种干燥装置、膜的干燥方法及溶液制膜方法。
背景技术
具有透光性的聚合物膜(以下称为膜)轻质且容易成型，因此作为光学膜广泛使用。其中，利用纤维素酰化物等的纤维素酯类膜用作以照片感光用膜为代表的、近年来市场不断扩大的液晶显示装置的构成部件，即光学膜。作为这种光学膜，例如有相位差膜或偏光板保护膜等。
这种膜通过溶液制膜方法制造。溶液制膜方法的概要为如下。第1，流出包含聚合物和溶剂的聚合物溶液(以下称为浓液)，在移动支撑体上形成流延膜。第2，从流延膜蒸发溶剂直至流延膜成为可独立传送的状态。第3，从移动支撑体剥下流延膜作为湿润膜。之后，通过使溶剂从湿润膜蒸发，能够从湿润膜得到膜。
在溶液制膜方法中为了谋求生产效率的提高，需有效地进行溶剂在流延膜中的蒸发。为此，需对流延膜吹送垂直的干燥风(以下称为正式干燥处理)。但是，若对形成之后的流延膜吹送垂直的干燥风，则导致在流延膜的表面产生折皱(wrinkle)。即使直接从支撑体剥离这种产生折皱的流延膜，最终得到的膜上会残留折皱。
因此，例如，日本专利公开2007-290375号公报中提出有防止折皱的生成的同时有效地干燥流延膜的方法。日本专利公开2007-290375号公报中记载的干燥方法中，相对于形成之后的流延膜，以覆盖流延膜的表面的方式设置干燥导管，从而朝向干燥导管与流延膜的间隙送出相对流延膜成为顺风的预干燥风(以下称为预干燥处理)。通过进行一定时间该预干燥处理，能够在流延膜的表面侧形成表面平滑的干燥层。而且，通过依次进行预干燥处理及正式干燥处理，能够有效地制造表面平滑的膜。
日本专利公开2007-290375号公报中记载的干燥方法中，为了进一步谋求生产效率的提高，必须提高移动支撑体的移动速度。但是，若提高移动支撑体的移动速度，则为了确保干燥层的生成时间而必须增大进行预干燥处理的区域(以下称为预干燥区域)的长度。因此，能够通过使预干燥风的风速随着移动支撑体的移动速度的增大而增大，来兼顾确保干燥层的生成时间以及防止预干燥区域的扩大。
但是，增大预干燥风的风速时，发生欲从支撑体剥离流延膜时部分流延膜残留在支撑体或者剥离的流延膜被撕掉等故障。
发明内容
发明人深刻研究的结果，查明了上述问题起因于正式干燥处理中的干燥效率的下降。本发明是解决这种课题的，其目的在于提供一种即使流延膜的表面平滑又有效地干燥流延膜的干燥装置及膜的干燥方法，及能够有效地制造表面平滑的膜的溶液制膜方法。
本发明的干燥装置为干燥形成于移动支撑体上的膜的干燥装置。所述膜包含聚合物及溶剂。所述干燥装置具备外罩、第1进气口、第1干燥单元、第2进气口、第2干燥单元及控制部。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口送出第1干燥风。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出所述第1干燥风。所述第1干燥单元具有所述外罩和第1进气口。所述第1干燥单元从所述第1进气口送出所述第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第2进气口送出第2干燥风。所述第2进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧而设置。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的第2干燥风。所述第2干燥单元具有所述第2进气口。所述第2干燥单元通过使所述第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述控制部控制所述第1干燥风的风速V1和所述第2干燥风的风速V2中的至少任一方。所述控制部以保证所述第2干燥风朝向所述膜的表面的碰撞的方式控制所述风速V1和所述风速V2中的至少任一方。
优选V1/V2的值为0.6以下。
优选所述干燥装置具备对所述第1干燥风进行排气的排气部。所述排气部设置于所述外罩与所述第2进气口之间。
本发明的干燥装置为干燥形成于移动支撑体上的膜的干燥装置。所述膜包含聚合物及溶剂。所述干燥装置具备外罩、第1进气口、第1干燥单元、第2进气口、第2干燥单元及排气部。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口送出第1干燥风。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述第1干燥单元具有所述外罩和所述第1进气口。所述第1干燥单元从所述第1进气口送出所述第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第2进气口送出第2干燥风。所述第2进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧而设置。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的第2干燥风。所述第2干燥单元具有所述第2进气口。第2干燥单元通过使所述第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述排气部对所述第1干燥风进行排气。所述排气部设置于所述外罩与所述第2进气口之间。
优选该干燥装置具备遮挡从所述第1进气口朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风的挡风板。
本发明的干燥装置为干燥形成于移动支撑体上的膜的干燥装置。所述膜包含聚合物及溶剂。所述干燥装置具备外罩、第1进气口、第1干燥单元、第2进气口、第2干燥单元及挡风板。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口送出第1干燥风。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述第1干燥单元具有所述外罩和所述第1进气口。所述第1干燥单元从所述第1进气口送出所述第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第2进气口送出第2干燥风。所述第2进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧而设置。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的第2干燥风。所述第2干燥单元具有所述第2进气口。所述第2干燥单元通过使所述第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述挡风板遮挡从所述第1进气口朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风。所述挡风板设置于所述外罩与所述第2进气口之间。
本发明的膜的干燥方法为干燥形成于移动支撑体上的膜的膜干燥方法。所述膜包含聚合物及溶剂。所述膜的干燥方法具备第1干燥步骤、第2干燥步骤及控制步骤。所述第1干燥步骤中从所述第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述第2干燥步骤中通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述第2干燥单元具有第2进气口。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风。所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风。所述控制步骤控制所述第1干燥风的风速V1和所述第2干燥风的风速V2中的至少任一方。所述风速V1和所述风速V2中的至少任一方以保证所述第2干燥风向所述膜的表面的碰撞的方式控制。
本发明的膜的干燥方法为干燥形成于移动支撑体上的膜的膜干燥方法。所述膜包含聚合物及溶剂。所述膜的干燥方法具备第1干燥步骤(A步骤)、第2干燥步骤(B步骤)及排气步骤(C步骤)。所述A步骤中从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述B步骤中通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述第2干燥单元具有第2进气口。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风。所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风。所述C步骤中对所述第1干燥风进行排气。所述排气在所述A步骤与所述B步骤之间进行。
本发明的膜的干燥方法为干燥形成于移动支撑体上的膜的膜干燥方法。所述膜包含聚合物及溶剂。所述膜的干燥方法具备第1干燥步骤(D步骤)、第2干燥步骤(E步骤)及挡风步骤(F步骤)。所述D步骤中从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述E步骤中通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述第2干燥单元具有第2进气口。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风。所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风。所述F步骤在所述D步骤与所述E步骤之间遮挡朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风。
本发明的溶液制膜方法为干燥形成于移动支撑体上的膜来制造膜的溶液制膜方法。所述膜包含聚合物及溶剂。所述溶液制膜方法具备第1干燥步骤(G步骤)、第2干燥步骤(H步骤)、控制步骤(I步骤)及剥离步骤(J步骤)。所述G步骤中从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述H步骤中通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述第2干燥单元具有第2进气口。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风。所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风。所述I步骤中控制所述第1干燥风的风速V1和所述第2干燥风的风速V2中的至少任一方。所述风速V1和所述风速V2中的至少任一方以保证所述第2干燥风向所述膜的表面的碰撞的方式控制。所述J步骤中从所述移动支撑体剥离所述H步骤之后的所述膜作为膜。
本发明的溶液制膜方法为干燥形成于移动支撑体上的膜来制造膜的溶液制膜方法。所述膜包含聚合物及溶剂。所述溶液制膜方法具备第1干燥步骤(A步骤)、第2干燥步骤(B步骤)、排气步骤(C步骤)及剥离步骤(K步骤)。所述A步骤中从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外周与所述膜之间送出第1干燥风。所述B步骤中通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述第2干燥单元具有第2进气口。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风。所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风。所述C步骤中对所述第1干燥风进行排气。所述排气在所述A步骤与所述B步骤之间进行。所述K步骤中从所述移动支撑体剥离所述B步骤之后的所述膜作为膜。
本发明的溶液制膜方法为干燥形成于移动支撑体上的膜来制造膜的溶液制膜方法。所述膜包含聚合物及溶剂。所述溶液制膜方法具备第1干燥步骤(D步骤)、第2干燥步骤(E步骤)、挡风步骤(F步骤)及剥离步骤(L步骤)。所述D步骤中从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层。所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口。所述外罩覆盖所述膜。所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置。所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风。所述E步骤中通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发。所述第2干燥单元具有第2进气口。所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风。所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风。所述F步骤遮挡朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风。所述F步骤在所述D步骤与所述E步骤之间进行。所述L步骤中从所述移动支撑体剥离所述E步骤之后的所述膜作为膜。
发明效果
根据本发明，能够防止第1干燥风流入朝向流延膜送出第2干燥风的第2进气口与流延膜之间，因此能够有效地干燥流延膜。因此，根据本发明能够防止因流延膜的干燥不足引起的故障并且能够有效地制造表面平滑的膜。
附图说明
图1是表示溶液制膜设备的概要的说明图。
图2是表示流延装置的概要的说明图。
图3是表示第1干燥单元及第2干燥单元的概要的立体图。
图4是表示第1干燥单元及第2干燥单元的概要的说明图。
图5是表示第1干燥单元的概要的沿图4的V-V线的截面图。
图6是表示第1干燥单元的概要的沿图4的VI-VI线的截面图。
图7是表示第2进气导管及第2进气喷嘴的概要的立体图。
图8是表示第2干燥单元的概要的侧视图。
图9是表示形成之后的流延膜的概要的截面图。
图10是表示已具有干燥层的流延膜的概要的截面图。
图11是示意地表示通过第1干燥风挤出第2干燥风的样子的说明图。
图12是表示第1干燥单元及第2干燥单元的概要的说明图。
具体实施方式
(溶液制膜设备)
对本发明所涉及的第1实施方式进行说明。如图1所示，溶液制膜设备10具有流延装置15、夹子拉幅机17、干燥装置18及卷取装置19。流延装置15由浓液12制作湿润膜13。夹子拉幅机17通过湿润膜13的干燥获得膜16。干燥装置18进行湿润膜13的干燥。卷取装置19将膜16卷绕在卷芯。
(流延装置)
如图1及图2所示，流延装置15具有壳体23、大致水平地排列于壳体23内的水平辊24、25。水平辊24由驱动轴24a和轴着于驱动轴24a的辊主体24b构成。水平辊25由轴25a和轴着于轴25a的辊主体25b构成。水平辊24、25上卷绕环状的流延带26。流延带26通过连结带状片材的两端而获得。
驱动轴24a与辊驱动用马达(未图示)连接。控制部(未图示)控制辊驱动用马达来使水平辊24以预定的速度旋转。流延带26随着水平辊24的旋转向预定的方向循环移动，水平辊25随着流延带26的移动而旋转。以下，将流延带26的移动方向称为X方向，将流延带26的宽度方向称为Y方向，将垂直方向称为Z方向。
优选流延带26的表面(以下称为流延面)26a的移动速度V26a在200m/分钟以下。若移动速度V26a超过200m/分钟，则很难稳定地形成液珠。移动速度V26a的下限值考虑目标膜的生产率即可。移动速度V26a的下限值例如为10m/分钟，即移动速度V26a例如在10m/分钟以上。
流延带26优选为不锈钢制，更优选为具有充分的耐腐蚀性和强度的SUS316制。流延带26的宽度例如优选为浓液12的流延宽度的1.1倍以上2.0倍以下。流延带26的长度例如优选为20m以上200m以下，流延带26的厚度例如优选为0.5mm以上～2.5mm以下。另外，优选使用厚度不均相对于整体厚度在0.5％以下的流延带26。流延面26a优选被研磨，流延面26a的表面粗糙度优选在0.05μm以下。
另外，为了将流延带26的流延面26a的温度设为预定值，优选在水平辊24、25安装有调温装置(未图示)。优选流延带26的表面温度为可调整为10℃～40℃的温度。调温装置在控制部的控制下，使调节成预定温度的热载体在设置于辊主体24b、25b内的流路中循环。通过该热载体的循环能够将辊主体24b、25b的温度维持为预定温度。
另外，在壳体23内从X方向上游侧朝向下游侧依次配设第1～第3密封部件31～33。壳体23内通过第1～第3密封部件31～33从X方向上游侧朝向下游侧隔成流延室23a、干燥室23b及剥离室23c。而且，流延室23a的气密性通过第1～第2密封部件31～32维持。另外，干燥室23b的气密性通过第2～第3密封部件32～33维持。
第1密封部件31由安装于壳体23的挡风板31a和安装于挡风板31a的迷宫式密封件31b构成。挡风板31a具有遮挡壳体23内的气体流动的挡风面。挡风面可与X方向正交也可与X方向倾斜交叉。挡风板31a从壳体23的内壁面突出，朝向流延带26的流延面26a延设。另外，以从顶棚突出的方式设置挡风板31a亦可。
迷宫式密封件31b以靠近流延26a的方式设置于挡风板31a的前端。优选迷宫式密封件31b设置成靠近流延带26中卷绕于水平辊24的部分的流延面26a。迷宫式密封件31b与流延面26a的间隔例如为1.5mm以上2.0mm以下。
第2密封部件32由安装于壳体23内的挡风板32a和安装于挡风板32a的迷宫式密封件32b构成。挡风板32a为与挡风板31a相同的形状，从壳体23内的顶棚突出，朝向流延带26的流延面26a延设。迷宫式密封件32b为与迷宫式密封件31b相同的形状，以靠近流延面26a的方式设置于挡风板32a的前端。优选迷宫式密封件32b设置成靠近流延带26中卷绕于水平辊24的部分的流延面26a。迷宫式密封件32b与流延面26a的间隔例如为1.0mm以上1.5mm以下。
第3密封部件33由安装于壳体23的挡风板33a和安装于挡风板33a的迷宫式密封件33b构成。挡风板33a为与挡风板31a相同的形状，从壳体23内的内壁面突出，朝向流延带26的流延面26a延设。迷宫式密封件33b为与迷宫式密封件31b相同的形状，以靠近流延面26a的方式设置于挡风板33a的前端。迷宫式密封件33b与流延面26a的间隔例如为1.5mm以上2.0mm以下。
(流延室)
流延室23a内设置流延模40和减压单元41。流延模40具有流出浓液12的浓液流出口40a，并以浓液流出口40a与流延带26靠近的方式配设于水平辊24的上方。
流延模40从浓液流出口40a朝向流延带26流出浓液12。从浓液流出口40a流出并到达流延面26a之前的浓液12形成液珠。到达流延面26a的浓液12在X方向上流延的结果形成带状的流延膜43。
减压单元41为用于减压液珠的X方向上游侧的单元，且具有减压室41a、减压扇41b及吸引管41c。减压室41a配置于比流延模40的浓液流出口40a更靠X方向的上游侧。减压扇41b吸引减压室41a内的气体。吸引管41c连接减压扇41b和减压室41a。
(干燥室)
干燥室23b内从X方向上游侧朝向下游侧依次设置对流延膜43供给预定的干燥风的第1干燥单元51～第3干燥单元53。第1干燥单元51及第2干燥单元52配设于架设在水平辊24、25的流延带26的上方。第3干燥单元53配设于架设在水平辊24、25的流延带26的下方。
(第1干燥单元)
如图3及图4所示，第1干燥单元51由第1进气导管57、外罩58、第1排气导管59及第1进气喷嘴60构成。第1进气导管57、外罩58及第1排气导管59从X方向上游侧朝向下游侧依次设置。第1进气喷嘴60设置于第1进气导管57。
(第1进气导管)
如图4及图5所示，第1进气导管57为使第1干燥风61流通的导管，在X方向上靠近第2密封部件32且在Z方向上远离流延膜43而配设。第1进气喷嘴60设置于第1进气导管57的下面57a，且具备送出第1干燥风61的第1进气口60a。第1进气喷嘴60朝向第1干燥风61的送出方向向X方向下游侧延伸。向第1进气导管57的下面57a开口的第1进气口60a从流延膜43的一端延设至另一端。
(第1排气导管)
第1排气导管59为使第1干燥风61流通的导管，在Z方向上远离流延膜43而配设。在第1排气导管59的下面，对第1干燥风61进行排气的第1排气口59a以与流延膜43正对的方式开口。第1排气口59a从流延膜43的一端延设至另一端。
(外罩)
外罩58为向第1排气口59a引导从第1进气口60a送出的第1干燥风61的外罩，在Z方向上以远离流延膜43的状态覆盖流延膜43。外罩58形成为板状，在X方向上从第1进气导管57延设至第1排气导管59，在Y方向上从流延膜43的一端延设至另一端。在外罩58下面具有与流延膜43大致平行的导向面58a。优选导向面58a与第1进气导管57的下面57a和第1排气导管59的下面在同一水平面上。
如图4及图6所示，在Y方向上排列的侧挡风板65从第1进气导管57延伸至第1排气导管59。侧挡风板65从下面57a或导向面58a朝向流延膜43延伸。侧挡风板65的Y方向内侧的面65a优选与第1进气喷嘴60的内面60b在同一水平面上。从第1进气口60a遍及第1排气口59a，在由导向面58a、下面57a、流延膜43及侧挡风板65包围的部分形成从第1进气口60a送出的第1干燥风61的第1干燥风路66。第1干燥风路66在Z方向上的宽度根据流延膜43的宽度W43决定即可，例如优选为(W43-60)mm以上(W43-20)mm以下。第1干燥风路66在X方向上的长度根据制造条件(流延带26的流延面26a的移动速度V26a等)决定即可，例如优选为2000mm以上3000mm以下。
(第2干燥单元)
如图2所示，多个第2干燥单元52在X方向上排列。如图3所示，第2干燥单元52由第2进气导管71、第2排气导管72及第2进气喷嘴73构成。如图4及图7所示，第2进气导管71为使第2干燥风75流通的导管，并远离流延膜43而配设。设置于第2进气导管71的第2进气喷嘴73从第2进气导管71的下面朝向流延膜43大致垂直地延伸。如图4及图8所示，在靠近流延膜43的第2进气喷嘴73的前端设置送出第2干燥风75的第2进气口73a。第2进气口73a与流延膜43的间隔例如优选为100mm以上200mm以下。第2进气口73a从流延膜43的一端延设至另一端。
第2排气导管72具有对第2干燥风75进行排气的第2排气口72a，且配设于比第2进气喷嘴73更靠X方向下游侧。第2排气口72a在比第2进气口73a更靠上方配设于第2进气口73a的Y方向两外侧。优选第2进气口73a和第2排气口72a在X方向上交替配设。
(第3干燥单元)
如图2所示，第3干燥单元53由从X方向上游侧朝向下游侧依次设置的第3排气导管81和第3进气导管82构成。第3排气导管81及第3进气导管82分别远离配设于流延带26。第3排气导管81上设置对第3干燥风84进行排气的第3排气口81a。朝向X方向下游侧开口的第3排气口81a从流延膜43的一端延设至另一端。第3进气导管82上设置送出第3干燥风84的第3进气口82a。朝向X方向上游侧开口的第3进气口82a从流延膜43的一端延设至另一端。
第1干燥单元51～第3干燥单元53中分别设置第1～第3送风扇(未图示)及第1～第3调温机(未图示)。控制部85与第1～第3送风扇及第1～第3调温机连接。控制部85独立调节对第1干燥风61、第2干燥风75及第3干燥风84的温度或风速。
(剥离室)
剥离室23c内设置剥离辊86。剥离辊86从流延带26剥离已成为可剥离状态的流延膜43来作为湿润膜13，并从设置于剥离室23c的出口23o送出湿润膜13。
也可将冷凝包含于壳体23内的气氛中的溶剂的冷凝装置和回收已冷凝的溶剂的回收装置设置于流延装置15。由此能够将包含于壳体23内的气氛中的溶剂的浓度保持在恒定范围内。
回到图1，流延装置15与夹子拉幅机17之间的转送部中排列有多个支撑湿润膜35的支撑辊87。支撑辊87通过未图示的马达以轴为中心旋转。支撑辊87支撑从流延装置15送出的湿润膜35并向夹子拉幅机17引导。另外，图1中，示出在转送部排列2个支撑辊87的情况，但是本发明不限于此，可在转送部排列1个或3个以上的支撑辊87。另外，支撑辊87也可以为自由辊(非驱动辊、驱动辊)。
夹子拉幅机17具有把持湿润膜13的宽度方向两侧缘部的多个夹子，该夹子在拉伸轨道上移动。对被夹子把持的湿润膜13送出干燥风，对湿润膜13实施朝向宽度方向的拉伸处理的同时实施干燥处理。
夹子拉幅机17与干燥装置18之间设置有切边装置88。送出至切边装置88的膜16的宽度方向的两端形成有由于夹子而形成的把持痕迹。切边装置88切掉具有该把持痕迹的两端部分。该被切掉的部分通过送风依次送入截断风机(未图示)及破碎机(未图示)且被切碎，作为浓液等的原料再利用。
干燥装置18具备具有膜16的传送路的壳体、形成膜16的传送路的多个辊18a及调节壳体内的气氛的温度或湿度的空调机(未图示)。导入壳体内的膜16卷绕于多个辊18a的同时被传送。残留的溶剂通过该气氛的温度或湿度的调节从在壳体内传送的膜16蒸发。另外，干燥装置18与通过吸附回收从膜16蒸发的溶剂的吸附回收装置(未图示)连接。
干燥装置18及卷取装置19之间从上游侧依次设置冷却室89、除电棒(未图示)、滚花赋予辊90及切边装置(未图示)。冷却室89冷却膜16直至膜16的温度成为大致室温。除电棒进行对从冷却室89送出并带电的膜16除电的除电处理。滚花赋予辊90对膜16的宽度方向两端赋予卷取用滚花。切边装置以在切断后的膜16的宽度方向两端留有滚花的方式切断膜16的宽度方向两端。
卷取装置19具有压辊19a和卷芯19b。送入卷取装置19的膜16边被压辊19a按压边卷绕于卷芯19b而呈辊状。
接着，对本发明的作用进行说明。如图2所示，通过第1～第3密封部件31～33在壳体23内形成具有气密性的各室23a～23b。流延带26依次通过各室23a～23c。
(流延工序)
在流延室23a中进行在流延带26上形成由浓液12构成的流延膜43的流延工序。流延模40从浓液流出口40a连续流出浓液12。流出的浓液12从流延模40遍及流延带26形成液珠，并在流延带26上流延。这样，流延带26上形成由浓液12构成的流延膜43(参考图9)。
回到图2，减压单元41能够构筑液珠的X方向上游侧的压力低于液珠的X方向下游侧的压力的状态。液珠的X方向上游侧及X方向下游侧的压力差ΔP优选为10Pa以上2000Pa以下。
(干燥工序)
在干燥室23b中，进行对流延膜43吹送预定的干燥风并使溶剂从流延膜43蒸发的干燥工序。干燥工序进行至流延膜43成为可独立传送的状态。干燥工序中，依次进行第1干燥工序、第2干燥工序及第3干燥工序。
(第1干燥工序)
第1干燥工序中，使溶剂从流延膜43蒸发直至在流延膜43的表层形成干燥层43a(参考图10)。如图5所示，第1干燥单元51从第1进气口60a送出第1干燥风61。从第1进气口60a送出的第1干燥风61的方向与Z1方向所成的各角度θ1优选在30°以上60°以下，更优选为45°。从第1进气口60a送出的第1干燥风61通过外罩58引向第1排气口59a。而且，第1干燥风61从第1排气口59a被排气。
能够通过靠近流延膜43的外罩58提高流延膜43表面附近的风速，并促进溶剂从流延膜43的表面蒸发。另外，导向面58a整流第1干燥风61，因此具有抑制流延膜43的干燥斑的效果。通过该第1干燥工序，流延膜43成为具有干燥层43a和湿润层43b的膜(参考图10)。干燥层43a为生成于流延膜43的表面侧且与位于比干燥层43a更靠流延带26侧的湿润层43b相比进一步被干燥的部分。因此，干燥层43a的溶剂含量与湿润层43b相比较低。另外，干燥层43a的表面平滑地形成。对成为具有干燥层43a的膜的流延膜43进行预定的干燥工序时，干燥层43a的表面成为所得到的流延膜43的表面。因此，能够通过在形成之后的流延膜43中形成干燥层43a来获得表面平滑的流延膜43。
在此，溶剂含量为以干量标准示出流延膜或各膜中所含的溶剂的量的含量，从对象膜采取样品，将该样品的质量设为x，干燥样品之后的质量设为y时表示为{(x-y)/y}×100。
第1干燥工序优选对溶剂的含量为250质量％以上400质量％以下的流延膜43进行，更优选对溶剂的含量为300质量％以上350质量％以下的流延膜43进行。第1干燥风61的温度优选为30℃以上80℃以下。另外，第1干燥风61的风速优选为5m/秒以上25m/秒以下。
(第2干燥工序)
如图8所示，在第2干燥工序中，利用第2干燥风75使溶剂从流延膜43蒸发。第2进气喷嘴73对流延膜43垂直地吹送第2干燥风75。其结果，若第2干燥风75与流延膜43的表面接触，则通过第2干燥风75的分支在流延膜43的表面侧附近生成停滞点P。
作为判断流延膜43的表面侧附近是否生成有停滞点P的方法，通过配设于流延膜43的表面侧附近的风幡观察的风向分支时，可判断为生成有停滞点P。
停滞点P中，第2干燥风75的热能易传递至流延膜43。这样，通过与第2干燥风75的接触，溶剂在流延膜43中蒸发。第2膜干燥工序优选对溶剂含量为150质量％以上300质量％以下的流延膜43进行。第2干燥风75的温度优选在30℃以上80℃以下。另外，第2干燥风75的风速优选在5m/秒以上25m/秒以下。
(第3干燥工序)
第3干燥工序中利用第3干燥风84使溶剂从流延膜43蒸发直至成为可独立传送的状态(参考图2)。第3干燥单元53沿流延膜43的表面从X方向下游侧朝向上游侧流出第3干燥风84。这样，通过使第3干燥风84向X方向的反方向流动，与向X方向流动时相比可促进溶剂的蒸发。第3膜干燥工序优选对溶剂含量为20质量％以上150质量％以下的流延膜43进行。第3干燥风84的温度优选在40℃以上80℃以下。另外，第3干燥风84的风速优选在5m/秒以上20m/秒以下。
(剥离工序)
在剥离室23c进行从流延带26剥离已成为可剥离状态的流延膜43的剥离工序。剥离辊86从流延带26剥离已成为可剥离状态的流延膜43来作为湿润膜13，并从设置于剥离室23c的出口23o送出湿润膜13。剥离工序优选对溶剂含量在20质量％以上80质量％以下的流延膜43进行。
回到第1干燥工序，当第1干燥风61的速度增大时，第1干燥风61流入第2进气喷嘴73与流延膜43之间。第2干燥风75通过第1干燥风61向X方向下游侧挤出。其结果，在第2干燥工序中，第2干燥风75不与流延膜43接触。因此，如图11，未生成有关第2干燥风75的停滞点P。另外，在第2干燥工序中与流延膜43接触的第1干燥风61成为与第2干燥风75相比干燥能力较低的风。此时，导致第2干燥工序中的干燥效率下降。
本发明中，第1干燥单元51从第1排气口59a对第1干燥风61进行排气，因此可抑制第1干燥风61流入第2进气喷嘴73与流延膜43之间。因此，根据本发明，能够使流延膜43的表面更加平滑的同时有效地进行流延膜43的干燥。另外，根据进行这种干燥工序的溶液制膜方法，能够有效地制造表面平滑的膜16(参考图1)。
接着，对本发明所涉及的第2实施方式进行说明。如图12所示，第1干燥单元51由从X方向上游侧朝向下游侧依次设置的第1进气导管57、外罩58及第1整流板94构成。
从流延膜43的一端延设至另一端的第1整流板94配设成相对流延膜43竖立。第1整流板94的下端94b靠近流延膜43，第1整流板94的上端94a延伸至比第2进气口73a更靠上方。通过该第1整流板94能够抑制第1干燥风61流入第2进气喷嘴73与流延膜43之间。
另外，可将设置于第1整流板94的上方的上方排气导管95添加到第1干燥单元51。上方排气导管95具备对第1干燥风61进行排气的上方排气口95a。第1整流板94的上端94a优选朝向上方排气口95a延设。另外，可将与第1密封部件31相同结构的第1挡风密封部件96设置于第1干燥单元51与第2干燥单元52之间。
另外，优选第1整流板94的下端94b延伸至第1干燥风路66的X方向下游部。如图示，第1整流板94除了弯曲的板之外还可以是平板，也可以是弯曲的板与平板的组合、多个弯曲的板的组合、多个平板的组合中的任一个。为多个平板的组合或平板与弯曲的板的组合亦可。另外，为了确保流延停止时的保全性，第1整流板94优选通过来自壳体23外部的操作成为可向远离流延带26的方向移动。
另外，如以下，在第1干燥单元51、第2干燥单元52分别设置各干燥风的风速仪，调节第1干燥风61或第2干燥风75的平衡，以使第1干燥风61在第1干燥单元51中的动压变得小于第2干燥风75在第2干燥单元52中的动压。其中，“第1干燥风61在第1干燥单元51中的动压”为第1干燥风61(图中的第1干燥风61x)在外罩58与流延膜43之间的动压。另外，当设置侧挡风板65时，可将“第1干燥风61在第1干燥单元51中的动压”设为第1干燥风61在第1进气喷嘴60中的动压。“第2干燥风75在第2干燥单元52中的动压”为第2干燥风75在第2进气喷嘴73与流延膜43之间的动压。
为了调节第1干燥风61的动压与第2干燥风75的动压的大小关系，设置第1风速仪101(参考图5)和第2风速仪102(参考图8)即可。测定第1干燥风61的风速V61的第1风速仪101可如图5所示将液珠管等设置于第1进气喷嘴60，也可从第1进气导管57的内压转换成风速，还可在配置于第1进气导管57与第1送风扇之间的导管内设置风量仪并根据测定的风量换算。关于第2干燥风75的速度V75的测定，可以测定第2进气喷嘴73的内压并转换为风速，还可在配置于第2进气导管71与第2送风扇之间的导管内设置风量仪并根据测定的风量换算(参考图8)。控制部85从第1风速仪101及第2风速仪102分别读取速度V61、V75。接着，控制部85根据已读取的速度V61、V75控制第1～第2送风扇中至少一方的转速，以使(V61/V75)的值成为0.6以下。这样，能够避免第2干燥风75通过第1干燥风61冲向X方向下游侧的状态(参考图11)。
另外，控制部85可为了避免第1干燥风61向X方向逆流，控制第1～第2送风扇中的至少一方的转速。为了防止第1干燥风61的逆流，优选速度V61在20m/秒以下且(V61/V75)的值在0.2以上0.85以下。
当进行上述那样的第1～第2送风扇的转速的控制时，可省略第1实施方式中的第1排气导管59(参考图5)或第2实施方式中的整流板90、上方排气导管95及挡风密封件92(参考图12)。
另外，可在第1进气导管57与第2密封部件32之间设置挡风板105(参考图5)。挡风板105以相对流延膜43竖立的姿势配设。挡风板105的下端105a朝向比第1进气导管57的下面57a更靠流延膜43侧突出。通过挡风板105能够防止第1干燥风61的逆流。
将流延模40的设置位置设为水平辊24的上方，但是本发明不限于此。将密封部件31～32设置成靠近卷绕于水平辊25的流延带26的部分时，可将流延模40的设置位置设为水平辊24的上方。另外，将支撑流延带26的支撑辊设置于水平辊24、25之间，并将密封部件31～32设置成靠近支撑于支撑辊的流延带26的部分时，可将流延模40的设置位置设为支撑辊的上方。
通过本发明得到的膜16尤其能够用于相位差膜或偏光板保护膜。
膜16的宽度优选为600mm以上，更优选为1400mm以上2500mm以下。并且，本发明在膜16的宽度大于2500mm时也有效。并且膜16的膜厚优选为30μm以上120μm以下。
并且，优选膜16的面内延迟Re为20nm以上300nm以下，优选膜16的厚度方向延迟Rth为-100nm以上300nm以下。
面内延迟Re的测定方法为如下。面内延迟Re使用了在温度25℃、湿度60％RH下对样品膜进行2小时调湿，用自动双折射仪(KOBRA21DH王子计量设备股份有限公司)从632.8nm的垂直方向测定的延迟值。另外Re用下式表示。
Re＝|n1-n2|×d
n1表示慢轴的折射率，n2表示进相轴2的折射率，d表示膜的厚度(膜厚)。
厚度方向延迟Rth的测定方法为如下。根据在温度25℃、湿度60％RH下对样品膜进行2小时调湿，用椭圆偏振计(M150日本分光股份有限公司制)从632.8nm的垂直方向测定的值和边使膜面倾斜边相同地测定的延迟值的外插值，并按照据下述公式计算。
Rth＝{(n1+n2)/2-n3}×d
n3表示厚度朝向的折射率。
(聚合物)
上述实施方式中，成为聚合物膜的原料的聚合物并没有特别限定，例如有纤维素酰化物或环状聚烯烃等。
(纤维素酰化物)
用于本发明的纤维素酰化物的酰基可以仅为1种，或者也可以使用2种以上的酰基。当使用2种以上的酰基时优选其1个为乙酰基。优选用羧酸使纤维素中的羟基酯化的比例、即酰基的取代度满足所有下述公式(I)～(III)。另外，在以下公式(I)～(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，另外B为碳原子数3～22的酰基的取代度。另外，优选三醋酸纤维素(TAC)的90质量％以上为0.1mm～4mm的颗粒。
(I)2.0≤A+B≤3.0
(II)1.0≤A≤3.0
(III)0≤B≤2.0
酰基的全取代度A+B更优选为2.20以上2.90以下，尤其优选为2.40以上2.88以下。并且，碳原子数3～22的酰基取代度B更优选为0.30以上，尤其优选为0.5以上。
作为纤维素酰化物的原料的纤维素，可以是从棉绒纤维、纸浆中的任一个中得到的纤维素。
作为本发明的纤维素酰化物的碳数2以上的酰基，既可以是脂肪族基也可以是芳基，没有特别限定。它们例如为纤维素的烷羰基酯、烯羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷羰基酯等，可以分别具有进一步被取代的基团。作为它们的优选例子，能够举出丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十三烷酰基、十四烷酰基、十六烷酰基、十八烷酰基、异丁酰基、叔丁酰基、环己烷基羰基、油酰基、苯甲酰基、萘羰基计肉桂酰基等。其中更优选为丙酰基、丁酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、叔丁酰基、油酰基、苯甲酰基、萘羰基及肉桂酰基等，尤其优选为丙酰基、丁酰基。
(溶剂)
作为制备浓液的溶剂可以举出芳香族烃(例如，苯及甲苯等)、卤代烃(例如，二氯甲烷及氯苯等)、醇(例如，甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇及二甘醇等)、酮(例如，丙酮及甲乙酮等)、酯(例如，醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯等)及醚(例如，四氢呋喃及甲基溶纤剂等)等。另外，在本发明中，浓液是指将聚合物溶解或分散于溶剂中而得到的聚合物溶液、分散液。
这些当中，优选使用碳原子数1～7的卤代烃，最优选使用二氯甲烷。从聚合物的溶解性、流延膜从支撑体的剥离性、膜的机械性强度等及膜的光学特性等物性的观点考虑，优选除二氯甲烷之外还混合一种至数种碳原子数1～5的醇。醇的含量相对所有溶剂优选为2质量％～25质量％，更优选为5质量％～20质量％。作为醇的具体例子，可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇及正丁醇等，但是优选使用甲醇、乙醇、正丁醇或它们的混合物。
但是，最近以将对环境的影响抑制到最小限度为目的，对不使用二氯甲烷时的溶剂组成也在进行研究，针对该目的，优选使用碳原子数为4～12的醚、碳原子数为3～12的酮、碳原子数为3～12的酯、碳原子数为1～12的醇。有时适当地混合这些来使用。例如，可以举出醋酸甲酯、丙酮、乙醇、正丁醇的混合溶剂。这些醚、酮、酯及醇可以具有环状结构。并且，具有2个以上醚、酮、酯及醇的官能团(即，-O-、-CO-、-COO-及-OH)中的任意一种化合物也能够用作溶剂。
另外，日本专利公开2005-104148号的[0140]段落到[0195]段落中对纤维素酰化物的详细内容进行了记载。这些记载也能够应用于本发明。另外，同样在日本专利公开2005-104148号的[0196]段落到[0516]段落中对溶剂及增塑剂、劣化防止剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟抑制剂、染料、去光剂、剥离剂及剥离促进剂等添加剂进行了详细记载。
上述实施方式中，利用本发明形成流延膜，但本发明不限于此，还可应用于在支撑体上涂布涂布液并在支撑体上形成涂布膜的情况。即，根据本发明能够有效地形成表面平滑的涂布膜。
[实施例]
(实验1)
在图1所示的溶液制膜设备10中制造膜16。流延装置15中依次进行流延工序、干燥工序及剥离工序。干燥工序中依次进行第1干燥工序、第2干燥工序及第3干燥工序。第1干燥工序中以风速V61向流延膜43吹送第1干燥风61。第2干燥工序中，以风速V75向流延膜43吹送第2干燥风75。
(实验2～25)
除了将风速V61、风速V75调节为表1所示的值以外，与实验1相同地制造了膜16。
(评价)
关于实验1～25中得到的膜16，对以下项目进行了评价。
1.剥离性评价
关于流延膜的剥离性，根据以下基准进行。
A：能够从流延带剥离整个流延膜。
B：一部分流延膜残留在支撑体上。
2.面形评价
通过目视观察流延膜的面形并根据以下基准进行。
A：膜表面平滑。
B：膜的表面出现较小的凹凸。
3.第1干燥风逆流的评价
利用压力计测定了挡风板105(参考图5)及流延膜43之间的压力P1和流延室23a内的压力P2。压力P2为通过将连接于压力计的软管的开口端配设于挡风板105(参考图5)与流延膜43之间来进行测定的压力。并且，将从压力P2减去压力P1的压力设为动压。
A：求出的动压不到1.0Pa。
B：求出的动压在1.0Pa以上。
在上述1～3中的任一评价中，A为合格，B为不合格。
将实验1～25中的V61、V75及(V61/V75)的值、上述的评价结果示于表1。另外，添加于表1的评价结果的数字表示添加于上述评价项目的数字。
[表1]

Claims (12)

1.一种干燥装置，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜，其特征在于，所述干燥装置具备如下：
外罩，覆盖所述膜；
第1进气口，其送出第1干燥风，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出所述第1干燥风；
第1干燥单元，其具有所述外罩和第1进气口，所述第1干燥单元从所述第1进气口送出所述第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层；
第2进气口，其送出第2干燥风，所述第2进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧而设置，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的第2干燥风；
第2干燥单元，其具有所述第2进气口，所述第2干燥单元通过使所述第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发；及
控制部，其控制所述第1干燥风的风速V1和所述第2干燥风的风速V2中的至少任一方，所述控制部以保证所述第2干燥风向所述膜的表面的碰撞的方式控制所述风速V1和所述风速V2中的至少任一方。
2.如权利要求1所述的干燥装置，其中，
V1/V2的值为0.6以下。
3.如权利要求1所述的干燥装置，其中，进一步具备：
排气部，其对所述第1干燥风进行排气，所述排气部设置于所述外罩与所述第2进气口之间。
4.一种干燥装置，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜，其特征在于，所述干燥装置具备如下：
外罩，覆盖所述膜；
第1进气口，其送出第1干燥风，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
第1干燥单元，其具有所述外罩和第1进气口，所述第1干燥单元从所述第1进气口送出所述第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层；
第2进气口，其送出第2干燥风，所述第2进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧而设置，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的第2干燥风；
第2干燥单元，其具有所述第2进气口，所述第2干燥单元通过使所述第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发；及
排气部，对所述第1干燥风进行排气，所述排气部设置于所述外罩与所述第2进气口之间。
5.如权利要求1所述的干燥装置，其中，进一步具备：
挡风板，遮挡从所述第1进气口朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风。
6.一种干燥装置，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜，其特征在于，所述干燥装置具备如下：
外罩，覆盖所述膜；
第1进气口，其送出第1干燥风，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
第1干燥单元，其具有所述外罩和所述第1进气口，所述第1干燥单元从所述第1进气口送出所述第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层；
第2进气口，其送出第2干燥风，所述第2进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧而设置，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的第2干燥风；
第2干燥单元，其具有所述第2进气口，所述第2干燥单元通过使所述第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发；及
挡风板，遮挡从所述第1进气口朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风，所述挡风板设置于所述外罩与所述第2进气口之间。
7.一种膜的干燥方法，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜，其特征在于，所述膜的干燥方法具备如下步骤：
从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层，所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口，所述外罩覆盖所述膜，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发，所述第2干燥单元具有第2进气口，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风，所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风；及
控制所述第1干燥风的风速V1和所述第2干燥风的风速V2中的至少任一方，所述风速V1和所述风速V2中的至少任一方以保证所述第2干燥风向所述膜的表面的碰撞的方式控制。
8.一种膜的干燥方法，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜，其特征在于，所述膜的干燥方法具备如下步骤：
A.从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层，所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口，所述外罩覆盖所述膜，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
B.通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发，所述第2干燥单元具有第2进气口，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风，所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风；及
C.对所述第1干燥风进行排气，所述排气在所述A步骤与所述B步骤之间进行。
9.一种膜的干燥方法，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜，其特征在于，所述膜的干燥方法具备如下步骤：
D.从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层，所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口，所述外罩覆盖所述膜，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
E.通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发，所述第2干燥单元具有第2进气口，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风，所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风；及
F.在所述D步骤与所述E步骤之间遮挡朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风。
10.一种溶液制膜方法，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜来制造膜，其特征在于，所述溶液制膜方法具备如下步骤：
G.从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层，所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口，所述外罩覆盖所述膜，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
H.通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发，所述第2干燥单元具有第2进气口，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风，所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风；
I.控制所述第1干燥风的风速V1和所述第2干燥风的风速V2中的至少任一方，所述风速V1和所述风速V2中的至少任一方以保证所述第2干燥风向所述膜的表面的碰撞的方式控制；及
J.从所述移动支撑体剥离所述H步骤之后的所述膜作为膜。
11.一种溶液制膜方法，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜来制造膜，其特征在于，所述溶液制膜方法具备如下步骤：
A.从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层，所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口，所述外罩覆盖所述膜，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
B.通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发，所述第2干燥单元具有第2进气口，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风，所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风；
C.对所述第1干燥风进行排气，所述排气在所述A步骤与所述B步骤之间进行；及
K.从所述移动支撑体剥离所述B步骤之后的所述膜作为膜。
12.一种溶液制膜方法，其干燥形成于移动支撑体上的包含聚合物及溶剂的膜来制造膜，其特征在于，所述溶液制膜方法具备如下步骤：
D.从第1干燥单元的第1进气口送出第1干燥风直至通过所述溶剂的蒸发在所述膜的表面侧形成干燥层，所述第1干燥单元具有外罩和所述第1进气口，所述外罩覆盖所述膜，所述第1进气口比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的上游侧而设置，所述第1进气口朝向所述外罩与所述膜之间送出第1干燥风；
E.通过使来自第2干燥单元的第2干燥风与所述膜的表面碰撞来促进所述溶剂的蒸发，所述第2干燥单元具有第2进气口，所述第2进气口朝向所述膜的表面送出大致垂直的所述第2干燥风，所述第2进气口在比所述外罩更靠所述移动支撑体的移动方向的下游侧送出所述第2干燥风；
F.在所述D步骤与所述E步骤之间遮挡朝向所述第2进气口流动的所述第1干燥风；及
L.从所述移动支撑体剥离所述E步骤之后的所述膜作为膜。
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