CN104512042A - 流延装置、溶液制膜设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种在共流延时抑制流延膜的层与层的界面混乱的流延装置、溶液制膜设备及方法。流延装置具备进料块及流延模具(52)，进料块将第1浓液～第3浓液合流而形成层状浓液流。合流部将第2浓液的剪切粘度ηm除以第1浓液的剪切粘度ηsa之比设定为既定的范围。流延模具(52)朝向流出(69o)而具有第1层流狭槽部(77)、第2层流狭槽部(78)、流出狭槽部(79)作为内部流路(69)。关于边缘板(71)的内壁面中第2层流狭槽部(78)与所述流出狭槽部(79)的边界，以距流出(69o)的距离从X方向的中央起朝向侧缘逐渐减小的方式形成。将该中央设定为曲率半径(R)为100mm以上的曲线形状。

Description

流延装置、溶液制膜设备及方法

技术领域

本发明涉及一种流延装置、溶液制膜设备及方法。

背景技术

具有光透射性的聚合物膜(以下称为膜)作为光学膜而被用于多方面。所谓光学膜，例如有照相感光用膜、作为液晶显示装置的构成构件的偏光板的保护膜或相位差膜等。

作为具有光透射性的聚合物膜，具代表性的是以酰化纤维素作为聚合物成分的酰化纤维素膜。酯膜被用于以照相感光用膜为代表、作为近年来市场不断扩大的液晶显示装置的构成构件的偏光板的保护膜或相位差膜等光学膜。

膜的主要制造方法有熔融挤出方法及溶液制膜方法，但酰化纤维素膜大多数是通过溶液制膜方法来制造。溶液制膜方法为以下制膜方法：使用流延模具向支撑体流出含有聚合物及溶剂的聚合物溶液(以下称为浓液)，由此形成流延膜，将流延膜从支撑体上剥取并加以干燥。

作为酰化纤维素膜的聚合物成分的酰化纤维素例如有二乙酰纤维素(Diacetyl cellulose，DAC)或三乙酰纤维素(Triacetyl cellulose，TAC)等。DAC由于与支撑体的密接力强，所以难以从支撑体上剥取流延膜。因此，在使用DAC的情况下，通过众所周知的共流延来流延以DAC作为聚合物成分的DAC浓液与以TAC作为聚合物成分的TAC浓液，形成在DAC层的两面上积层TAC层而成的流延膜。TAC为价格较DAC更高的原料，为了实现膜的成本降低，理想的是将TAC层形成得更薄。

此外，关于共流延，为了使浓液流稳定而制造厚度更均匀的膜，提出了各种流延模具。例如专利文献1的流延模具在内部流路中形成有将浓液扩宽(扩大浓液流的宽度)的歧管(manifold)，将从歧管到流出口为止的狭槽(slot)设定为特定形状。该狭槽以扩宽方向的中心为基准而在5mm～20mm的范围内且在流延模具的入口方向上具有曲面形状(该曲面形状具有特定的曲率半径)。另外，专利文献2的流延模具在随后设有流出口的流路中，设置限制浓液流宽度的既定形状的内定边板(inner deckle plate)。设置有该内定边板的内部流路具有将浓液流扩宽的狭槽部、使经扩宽的浓液流的厚度变薄的狭槽部、及将已变薄的浓液流引向流出口的狭槽部。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2009-066943号公报

[专利文献2]日本专利特开2012-131097号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

然而，在TAC浓液与DAC浓液的如上文所述的共流延中，流延膜中DAC层与TAC层的界面混乱而各层的厚度的比例变得不均匀。对由该流延膜所形成的膜照射光时，可以确认到模糊不均。该不均通常是在膜的宽度方向中央在300mm～1000mm左右的区域内可见，以在流延时的流延方向上凸出的形状而被确认到。即便使用专利文献1、专利文献2中记载的流延模具，也无法消除此种不均。

因此，本发明的目的在于提供一种在共流延时抑制流延膜中的层与层的界面混乱的流延装置、溶液制膜设备及方法。

[解决问题的手段]

本发明是以如下方案而构成：在使第1浓液与第2浓液在内部流路中合流，由此形成第1浓液与第2浓液以层状重叠而成的层状浓液流，将层状浓液流扩宽并使之从流出口中流出的流延装置中，内部流路具有第1浓液狭槽部、第2浓液狭槽部、合流部、第1层流狭槽部、第2层流狭槽部及流出狭槽部，其中所述第1浓液是用来形成成为流延膜的一个膜面的第1层，所述第2浓液的粘度高于第1浓液，且是用来形成较第1层更厚的第2层，所述第1浓液狭槽部中流动所供给的第1浓液，所述第2浓液狭槽部中流动所供给的第2浓液，且与第2浓液流动方向正交的截面积大于第1浓液狭槽部的截面积，所述合流部通过将第1浓液狭槽部与第2浓液狭槽部连接而使第1浓液与第2浓液合流，且将第2浓液的剪切粘度ηm除以第1浓液的剪切粘度ηs之比ηm/ηs设定为2以上、10以下的范围，所述第1层流狭槽部中流动层状浓液流，且朝向流出口，厚度方向的第1长度一定，宽度方向的第2长度逐渐增大，所述第2层流狭槽部是继第1层流狭槽部之后设置，且朝向流出口，第2长度一定并且第1长度从第1层流狭槽部的第1长度起逐渐减小，所述流出狭槽部是继第2层流狭槽部之后设置，第1长度及第2长度与第2层流狭槽部的第1长度及第2长度分别相等，且随后设有流出口；并且构成内部流路的内壁面中在厚度方向上相对向的壁面部的第2层流狭槽部与流出狭槽部的边界，以距流出口的距离从宽度方向的中央起朝向侧缘逐渐减小的方式形成，且将中央设定为曲率半径为100mm以上的曲线形状。

第1层流狭槽部的第1长度LTa与流出狭槽部的第1长度LTb优选的是满足5≤LTa/LTb≤20的条件。

本发明的溶液制膜设备是以如下方案而构成：具备流延装置、支撑体及干燥装置，所述流延装置使第1浓液与第2浓液在内部流路中合流，由此形成第1浓液与第2浓液以层状重叠而成的层状浓液流，将层状浓液流扩宽并使之从流出口中流出，其中所述第1浓液是用来形成成为流延膜的一个膜面的第1层，所述第2浓液的粘度高于第1浓液，且是用来形成较第1层更厚的第2层，所述支撑体以移动的支撑面来连续地支撑从流延装置中流出的层状浓液流，由此形成流延膜，所述干燥装置将从支撑体上剥取的流延膜干燥；并且内部流路具有第1浓液狭槽部、第2浓液狭槽部、合流部、第1层流狭槽部、第2层流狭槽部及流出狭槽部，所述第1浓液狭槽部中流动所供给的第1浓液，所述第2浓液狭槽部中流动所供给的第2浓液，且与第2浓液的流动方向正交的截面积大于第1浓液狭槽部的截面积，所述合流部通过将第1浓液狭槽部与第2浓液狭槽部连接而使第1浓液与第2浓液合流，且将第2浓液的剪切粘度ηm除以第1浓液的剪切粘度ηs之比ηm/ηs设定为2以上、10以下的范围，所述第1层流狭槽部中流动层状浓液流，且朝向流出口，厚度方向的第1长度一定，宽度方向的第2长度逐渐增大，所述第2层流狭槽部是继第1层流狭槽部之后设置，朝向流出口，第2长度一定并且第1长度从第1层流狭槽部的第1长度起逐渐减小，所述流出狭槽部是继第2层流狭槽部之后设置，第1长度及第2长度与第2层流狭槽部的第1长度及第2长度分别相等，且随后设有流出口；并且构成内部流路的内壁面中在厚度方向上相对向的壁面部的第2层流狭槽部与流出狭槽部的边界，以距流出口的距离从宽度方向的中央起朝向侧缘逐渐减小的方式形成，且将中央设定为曲率半径为100mm以上的曲线形状。

第1层流狭槽部的第1长度LTa与流出狭槽部的第1长度LTb优选的是满足5≤LTa/LTb≤20的条件。

本发明的溶液制膜方法：使用所述流延装置在行进的支撑体上形成流延膜，从支撑体上将流延膜以膜的形式剥下，并将膜干燥。

[发明的效果]

根据本发明，共流延时流延膜的层与层的界面混乱得到抑制。因此，对多层膜照射光时在宽度方向中央部产生的模糊不均得到抑制。

附图说明

图1为多层膜的截面概略图。

图2为溶液制膜设备的概略图。

图3为表示流延装置的概要的立体图。

图4为进料块的YZ平面的截面概略图。

图5为表示剪切粘度与剪切速度的关系的图表。

图6为流延模具的YZ平面的截面概略图。

图7为沿着图6的VII-VII线的流延模具的截面概略图。

图8为层状浓液流的XY平面的截面图。

图9为流延膜的概略截面图。

图10为实施本发明的流延鼓的概略图。

图11为多层膜的不均的说明图。

图12为说明多层膜的不均部分的概略截面图。

[符号的说明]

10：多层膜

10a、21a：第1层

10b、21b：第2层

10c、21c：第3层

11：溶液制膜设备

12：流延室

13：夹具拉幅机

15：干燥室

16：冷却室

17：卷取室

20：流延装置

21：流延膜

22：流延带

22a：支撑面

23、24：旋转辊

23a、24a：旋转轴

25：剥取辊

26：调温装置

27a～27d：送风装置

29：转送部

30：湿润膜

32、37：辊

34：切边装置

35：破碎机

38：滚花赋予辊

39：压辊

40：卷取机

41：卷芯

45a：第1浓液

45b：第2浓液

45c：第3浓液

51：进料块

51i：入口

51o：出口

52：流延模具

53、69：内部流路

54a～54c：泵

57：分隔构件

57a：分隔块

57b：叶片

57c：摇动轴

59a：第1浓液狭槽部

59b：第2浓液狭槽部

59c：第3浓液狭槽部

62：合流部

63：第1引导狭槽部

64：分配销

66：控制部

69i：流入口

69o：流出口

71：边缘板

72：侧板

76：第2引导狭槽部

77：第1层流狭槽部

78：第2层流狭槽部

79：流出狭槽部

80：内定边板

90：层状浓液流

90a～90c：厚度

120：流延鼓

120a：轴

120b：鼓本体

120c：周面

K：两点链线

LTa、LTb：第1长度

R：曲率半径

THa、THb、THc：厚度

WI、W2：宽度

X、Y、Z：方向

具体实施方式

利用实施本发明的后述溶液制膜设备11所得的经卷取成卷状的多层膜10如图1所示，第1层10a、第2层10b及第3层10c依次重叠。第1层10a及第3层10c为形成多层膜10的膜面的外层，第2层10b为位于第1层10a与第3层10c之间的中央层。此外，图1中为便于说明而图示了各层的边界，但有时即便通过目测或显微镜等进行观察也看不到该边界。

在本实施形态中，构成第1层10a与第3层10c的聚合物是设定为相同物质，采用TAC(三乙酰纤维素)。但是，构成第1层10a与第3层10c的聚合物也可互不相同。另外，构成第2层10b的聚合物与构成第1层10a及第3层10c的聚合物不同。本实施形态中，使用DAC(二乙酰纤维素)作为构成第2层10b的聚合物。

第2层10b承担作为多层膜10的大部分光学特性。因此，构成第2层10b的聚合物满足多层膜10所要求的光学特性，并且第2层10b的厚度相较于第1层10a及第3层10c而极厚。

在本实施形态中，将第2层10b的厚度THb设定为40μm。但是，第2层10b的厚度THb不限于此。在第2层10b的厚度THb为第1层10a的厚度THa及第3层10c的厚度THc的20倍以上、50倍以下的范围的情况下，本发明的效果可靠，其中30倍以上、50倍以下的范围的情况下本发明的效果显著。

另一方面，构成第1层10a的聚合物是使用以下聚合物：与构成第2层10b的聚合物相比较，更容易从后述流延带22(参照图2)或流延鼓120(参照图10)上剥取，此外不会损及第2层10b所发挥的光学特性。另外，构成第3层10c的聚合物是使用不会损及第2层10b所发挥的光学特性的聚合物。此外，关于构成各层10a～层10c的聚合物的详细情况将于下文中描述。

本实施形态中，第1层10a的厚度THa与第3层10c的厚度THc相等，均设定为1.5μm。但是，第1层10a的厚度THa及第3层10c的厚度THc不限于此，另外，可彼此相等也可互不相同。在第1层10a的厚度THa为0.8μm以上、2.0μm以下的范围的情况下进一步抑制流延膜的界面混乱，其中0.8μm以上、1.3μm以下的情况下所述效果特别显著。

(溶液制膜设备)

溶液制膜设备11是用来制造多层膜10，如图2所示，从上游侧开始依次具有流延室12、夹具拉幅机13、干燥室15、冷却室16及卷取室17。

在流延室12中，具备形成层状浓液流并使之流出的流延装置20、由所流出的层状浓液流来形成流延膜21的流延带22、旋转辊23及旋转辊24、从流延带22上剥取流延膜21的剥取辊25、调温装置26以及送风装置27a～送风装置27d等。

在旋转辊23、旋转辊24上架设着流延带22。流延带22成为环状。旋转辊23、旋转辊24具有旋转轴23a、旋转轴24a，通过旋转轴23a、旋转轴24a利用驱动装置(未图示)进行旋转，而在圆周方向上旋转。流延带22伴随着该旋转而连续移动。在本实施形态中，流延模具52是设置在旋转辊23的上方，但也可以设置在从旋转辊23向旋转辊24的流延带22的上方。这里，将相互平行的旋转轴23a、旋转轴24a的轴方向设定为X方向，与X方向正交的水平方向设定为Y方向，与水平面正交的方向设定为Z方向。

关于流延带22，将移动速度设定为10m/min以上、200m/min以下的范围内，由此将流延速度设定为10m/min以上、200m/min以下。此外，若流延速度为10m/min以上，则膜的生产性提高。另外，若流延速度为200m/min以下，则更稳定地形成从流延装置20中流出的层状浓液(液珠)，流延膜21的膜面的平滑性变得更良好。

调温装置26是用来将支撑流延膜21的流延带22的支撑面22a(参照图3)的温度设定为既定的值。调温装置26是安装在旋转辊23、旋转辊24上，具备调节导热介质的温度的温度调节部(未图示)，使经调节为所需温度的导热介质在温度调节部与设置在旋转辊23、旋转辊24内的流路之间循环。通过该导热介质的循环，经由旋转辊23、旋转辊24来调节流延带22的温度。

送风装置27a～送风装置27d是用来将流延膜21干燥，对经过的流延膜21吹附干燥风。送风装置27a～送风装置27d是设置在较流延模具52更靠流延带22的移动方向下游侧。也可以在流延模具52与送风装置27a之间设置遮挡干燥风的迷宫式密封(labyrinth seal，未图示)。通过设置该迷宫式密封，由刚流延后的流延膜21与干燥风的接触所引起的流延膜21的表面性状变动得到抑制。

在较流延模具52更靠流延带22的移动方向上游侧，也可以配置减压室(未图示)。该减压室是用来防止液珠的断裂或振动。减压室对流延带22的移动方向上的较液珠更靠上游侧的环境进行抽吸，由此使液珠的上游侧的压力较下游侧的压力更低。通过该压力调整而液珠稳定。

通过剥取辊25来剥取流延膜21，由此形成湿润膜30。在从流延室12到夹具拉幅机13的转送部29中，配置着多个用来将湿润膜30引导到夹具拉幅机13中的辊32。在由多个辊32所设定的湿润膜30的搬送路线的附近，设置有送风装置(未图示)。该送风装置对转送部29中的湿润膜30吹附既定的风来进行湿润膜30的干燥。

夹具拉幅机13具备多个作为保持构件(该保持构件保持湿润膜30的侧缘部)的夹具，通过该夹具的移动来搬送湿润膜30。另外，通过在湿润膜30的宽度方向上移动夹具，可以进行将湿润膜30的宽度扩大、或缩窄、或保持为一定值等的宽度控制。在夹具拉幅机13上设置有送风装置(未图示)，由送风装置对所搬送的湿润膜30吹送干燥风。由此湿润膜30干燥，成为多层膜10。

在夹具拉幅机13的下游也可以设置切边装置34，切边装置34将多层膜10的宽度方向两侧缘部切去。通过送风将经切去的两侧缘部送到破碎机(crusher)35中进行粉碎，再利用作浓液等的原料。

干燥室15是用来一面搬送多层膜10一面进一步进行干燥。干燥室15中设置有多个辊37，一面在辊37上分别绕挂多层膜10一面进行搬送。干燥室15内的环境的温度或湿度等是由未图示的空调机来调节。此外，在干燥室15上连接着吸附回收装置，将从多层膜10中蒸发的溶剂吸附到吸附材料上并加以回收。

在干燥室15的下游侧设置有冷却室16，在该冷却室16中将多层膜10冷却到例如室温为止。在冷却室16的下游设置有滚花(knurling)赋予辊38，对多层膜10的两侧缘部赋予滚花。在卷取室17中设置有具有压辊39的卷取机40，卷取机40将多层膜10卷取到卷芯41上。

此外，多层膜10的第1层10a是由第1浓液45a所形成，第2层10b是由第2浓液45b所形成，第3层10c是由第3浓液45c所形成。此外，各浓液45a～浓液45c的详细情况将于下文中描述。

如图3所示，流延装置20具备进料块51及流延模具52，将各浓液45a～浓液45c独立地引导到进料块51中，使之在进料块51内合流而成为以层状重叠的层状浓液流90(参照图4)。该层状浓液流90被引导到进料块51下游的流延模具52中，向流延带22流出。此外，进料块51及流延模具52中分别设置有未图示的调温部，由此对在内部流动的各浓液45a～浓液45c及层状浓液流90的温度进行调整。

如图4所示，在进料块51的内部，形成有各浓液45a～浓液45c及层状浓液流90的流路(以下称为内部流路)53。将该内部流路53及后述内部流路69视为流延装置20的内部流路。内部流路53的上侧端部是由2个分隔构件57一分为三。在进料块51的上表面，位于Y方向中央的一个上游端作为第2浓液45b的入口51i而开口，在进料块51的Y方向上相对向的面上，其他2个上游端作为第1浓液45a及第3浓液45c的入口而开口。由此，将内部流路53的上侧端部设定为所供给的第1浓液45a流动的第1浓液狭槽部59a、第2浓液45b流动的第2浓液狭槽部59b、及第3浓液45c流动的第3浓液狭槽部59c。各狭槽部59a～狭槽部59c在下游端彼此连接，由此形成第1浓液45a～第3浓液45c合流的合流部62。通过该合流部62而形成层状浓液流90。合流部62的下游是设定为将合流部62中形成的层状浓液流90引向出口51o的第1引导狭槽部63。

分隔构件57具有分隔块57a及叶片(vane)57b。如图4所示，截面楔状的叶片57b是以锐角的顶端部分朝向合流部62的方式配置。在位于该顶端部分的相反侧的叶片57b的端部设置有摇动轴57c，叶片57b以该摇动轴57c为中心而自如地摇动。

另外，在第1浓液狭槽部59a的出口及第3浓液狭槽部59c的出口设置有分配销(distributionpin)64。分配销64是设定为在图4的纸面向内方向即X方向上延伸的圆柱状。在分配销64上形成有将圆周方向的一部分切去的切口槽。切口槽的深度或X方向上的长度是随着朝向圆周方向而逐渐增大或逐渐减小。

通过分配销64在圆周方向上的旋转及各叶片57b的摇动，来分别独立地调节第1浓液狭槽部59a的出口的Y方向上的间隔、第2浓液狭槽部59b的出口的Y方向上的间隔、及第3浓液狭槽部59c的出口的Y方向上的间隔。使第1浓液狭槽部59a及第3浓液狭槽部59c的与各第1浓液45a、第3浓液45c的流动方向正交的各截面积，小于第2浓液狭槽部59b的与第2浓液45b的流动方向正交的截面积。由此制造第1层10a及第3层10c较第2层10b更薄的多层膜10。

控制部66分别与各泵54a～泵54c、各摇动轴57c及各分配销64连接。藉此，在控制部66的控制下，泵54a～54c将各浓液45a～浓液45c以既定的体积流量向进料块51送出。另外，在控制部66的控制下，叶片57b及分配销64是以成为既定的朝向的方式设置。

将第1浓液45a的剪切粘度设定为ηsa、第3浓液45c的剪切粘度设定为ηsc、第2浓液45b的剪切粘度设定为ηm。合流部62中，将剪切粘度ηm除以剪切粘度ηsa之比ηm/ηsa、与剪切粘度ηm除以剪切粘度ηsc之比ηm/ηsc均设定为2以上、10以下的范围。此外，本实施形态中，使比ηm/ηsa与比ηm/ηsc相等，因此将这些比汇总记载为“ηm/ηs”。比ηm/ηs优选5以上、10以下的范围，更优选5以上、8以下的范围。

为了将合流部62中的第1浓液45a～第3浓液45c的各剪切粘度之比ηm/ηs设定为所述范围，如下文所述那样形成合流部62。首先，利用剪切速度测定机来求出第1浓液45a～第3浓液45c的各剪切速度。剪切速度测定机也可为市售品，本实施形态中使用毛细管流变仪(capillary rheometer)(Rheosol-CR100，UBM(股)公司制造)。在这种市售的剪切速度测定机中，供测定对象物流动的挤出喷嘴的形状为圆筒形，另一方面，进料块51的各狭槽部59a～狭槽部59c的与各浓液45a～浓液45c的流动方向正交的平面的截面形状及合流部62的XY平面的截面形状为矩形。因此，各狭槽部59a～狭槽部59c及合流部62的剪切粘度是根据毛细管流变仪的剪切粘度且由毛细管流变仪的剪切速度而求出。

图5表示利用毛细管流变仪测定的剪切粘度与剪切速度的关系。纵轴为剪切粘度，图5中越向上方越大。横轴为剪切速度，图5中越向右方越大。如此，剪切粘度与剪切速度之间有一定关系，成为大致向右下延伸的曲线。根据该剪切粘度与剪切速度的关系，求出与利用毛细管流变仪所测定的剪切粘度η相对应的剪切速度γ(k)。

这里，若将剪切速度设定为γ(k)、剪切应力设定为τ、剪切粘度设定为η、毛细管流变仪的挤出流量设定为Q、挤出喷嘴的孔的内径设定为RI、挤出喷嘴的长度设定为L、压降设定为ΔP，则有以下关系。

γ(k)＝4×Q/τ×R³…(1)

τ＝RI×δP/2×L…(2)

η＝τ/γ(k)…(3)

在将挤出喷嘴换成矩形的各狭槽部59a～狭槽部59c及合流部62的情况下，如众所周知那样，剪切速度γ是由6×Q/(W×h²)所求出，因此使用通过毛细管流变仪的测定而先求出的剪切速度γ(k)，设定为

γ(k)＝6×Q/(W×h²)…(4)。

此外，Q为合流部62中的第1浓液45a～第3浓液45c的流量之和，W为合流部62的X方向的长度，h为合流部62的Y方向的长度。由该式(4)来求出h，形成具有该h的合流部62。藉此，剪切粘度之比ηm/ηs成为所述范围。

此外，所述例中，各剪切粘度ηm、剪切粘度ηsa、剪切粘度ηsc的调节是通过调节第2浓液狭槽部59b的出口与第1浓液狭槽部59a的出口、第3浓液狭槽部59c的出口的Y方向的各间隔来进行。但是，也有代替该方法或除此以外也调整各浓液45a～浓液45c的粘度的方法。例如，为了增大比ηm/ηsa或比ηm/ηsc，只要制造粘度更大的第1浓液45a即可。

如图6、图7所示，流延模具52具备一对边缘板71及一对侧板72。在X方向上延伸的一对边缘板71在Y方向上相对向。一对侧板72分别配置在一对边缘板71的X方向的各端部，这些侧板在X方向上相对向。在各侧板72的内壁，配置有限制层状浓液流90的宽度的内定边板80。内定边板80是以在X方向(宽度方向)上相对向且随后设有流出口69o的方式设置，作为将经扩宽的层状浓液流90限制于一定宽度的限制部而发挥功能。流延模具52的内部流路69是由一对边缘板71及设置于一对侧板72的内侧的内定边板80包围而形成。此外，也可不设置内定边板80，或将内定边板80与侧板72设置成一体，该情况下，侧板72作为限制部而发挥功能。

内部流路69是以在Z方向上贯穿流延模具52的方式形成。内部流路69的上端在流延模具52的上部作为层状浓液流90的流入口69i而开口，下端在流延模具52的下部作为层状浓液流90的流出口69o而开口。与流动方向正交的XY平面上的内部流路69的截面形状成为在X方向上长、在Y方向上短的矩形形状。

内部流路69从流入口69i起朝向流出口69o而具有第2引导狭槽部76、第1层流狭槽部77、第2层流狭槽部78及流出狭槽部79。第2引导狭槽部76是继进料块51的第1引导狭槽部63之后设置，将从进料块51流入的层状浓液流90引向第1层流狭槽部77。如图6所示，关于XY面中的内部流路69的Y方向的第1长度，在第2引导狭槽部76、第1层流狭槽部77、流出狭槽部79中分别一定，在第2层流狭槽部78中朝向流出口69o而连续地逐渐减小。另外，第2引导狭槽部76与第1层流狭槽部77的Y方向的第1长度相等。另一方面，如图7所示，关于XY平面中的内部流路69的X方向的第2长度，在第2引导狭槽部76中一定，从该第2引导狭槽部76的流出口69o侧端部(图7中为下端)起朝向内定边板80的流入口69i侧端部(图7中为上端)逐渐增大，在内定边板80相对向的部位中一定。第1层流狭槽部77中，包含X方向的第2长度朝向流出口69o而逐渐增大的部分、及成为一定的部分。从第2引导狭槽部76起在第1层流狭槽部77中流动并经扩宽的层状浓液流90是通过内定边板80而被限制于一定宽度，依照该宽度而从流出口69o中流出。

在边缘板71的内壁面，关于第2层流狭槽部78与流出狭槽部79的边界，如图7所示，以从X方向的中央起朝向侧缘，距流出口69o的距离连续地逐渐减小的方式形成。该边界的中央是设定为曲线形状，该曲线形状描画出向流入口69i侧凸出的圆弧，该曲率半径R是设定为100mm以上。设定为该曲率半径R的中央的宽度W1优选的是设定为10mm以上、200mm以下的范围。第1层流狭槽部77与第2层流狭槽部78的边界是和第2层流狭槽部78与流出狭槽部79的边界同样地形成，所述两个边界的间隔成为一定间隔。

另外，第1层流狭槽部77的第1长度LTa与流出狭槽部79的第1长度LTb满足5≤LTa/LTb≤20的条件。

然后，对所述构成的作用加以说明。在控制部66的控制下，由泵54a～泵54c送到进料块51中的各浓液45a～浓液45c通过合流部62而合流。通过该合流，形成第3浓液45c、第2浓液45b及第1浓液45a的各液流在Y方向上重叠而成的层状浓液流90。

如上文所述，合流部62是以剪切粘度之比ηm/ηsa成为2以上、10以下的范围的方式构成。因此，第1浓液45a与第2浓液45b一面形成并无凹凸的平滑界面或接近平滑的凹凸界面，一面在第1引导狭槽部63中流动。同样地，合流部62是以剪切粘度之比ηm/ηsc成为2以上、10以下的范围的方式构成。因此，第3浓液45c与第2浓液45b一面形成并无凹凸的平滑界面或接近平滑的凹凸界面，一面在第1引导狭槽部63中流动。

进料块51中形成的层状浓液流90是由第1引导狭槽部63引向流延模具52。被送到流延模具52中的层状浓液流90依次经过第2引导狭槽部76、第1层流狭槽部77、第2层流狭槽部78及流出狭槽部79。

第1层流狭槽部77一面将层状浓液流90引向第2层流狭槽部78一面连续地扩大其宽度(X方向的长度)。第2层流狭槽部78一面将层状浓液流90的宽度保持为第1层流狭槽部77中的宽度，一面朝向流出狭槽部79使厚度(Y方向的长度)连续地逐渐减小。流出狭槽部79在将层状浓液流90的宽度及厚度保持为在第2层流狭槽部78中的宽度及厚度的状态下将层状浓液流90引向流出口69o并使之流出。

经过流出狭槽部79的层状浓液流90从流出口69o向移动的流延带22流出。由此，层状浓液流90在流延带22上成为3层结构的流延膜21。如图9所示，流延膜21具备由第1浓液45a所形成的与流延带22接触的第1层21a、由第2浓液45b所形成的第2层21b及由第3浓液45c所形成的第3层21c。

边缘板71的内壁面中，关于第2层流狭槽部78与流出狭槽部79的边界，如上文所述，以距流出口69o的距离自X方向的中央起朝向侧缘逐渐减小的方式形成，且将中央设定为曲率半径R为100mm以上的曲线形状。因此，如图9所示，形成有第1层21a与第2层21b的界面、及第3层21c与第2层21b的界面均为平滑的面或接近平滑的凹凸面的流延膜21。此外，图9为流延膜21的宽度方向的中央。由此与曲率半径R小于100nm的情况相比较，层状浓液流90的压力集中于第2层流狭槽部78中央上部的情况得到抑制，形成第1层21a、第3层21c的浓液流的厚度变薄的情况消失。因此，层状浓液流90的界面混乱得到抑制。

相对于此，使用合流部中的剪切粘度之比ηm/ηsa、ηm/ηsc不满足所述范围的合流部来形成层状浓液流，该层状浓液流经过具有不满足第2层流狭槽部78与流出狭槽部79的所述边界形状的内壁的边缘板71的情况下，流延膜的各层的界面成为阶差更大的凹凸。具体来说，如图9的两点链线K所示，形成第1层21a以倒M字状进入第2层21b中、第3层21c以M字状进入第2层21b中的流延膜。该情况是出于以下的(1)～(3)的理由。此外，该图9示出X方向的流延膜21的中央部截面，该截面位置与沿着图11的IX-IX线的多层膜10的截面位置相对应。

(1)合流部中第1浓液45a、第3浓液45c不易被第2浓液45b牵拉，在合流部的下游，第2浓液45b进入第1浓液45a、第3浓液45c中，然后第1浓液45a、第3浓液45c将第2浓液45b挤回，因此在层状浓液流90中在浓液间的界面上产生凹凸。

(2)具有这种凹凸界面的层状浓液流90经过边缘板71时，在第1层流狭槽部77与第2层流狭槽部78的边界中的X方向的中央，由第1浓液45a、第3浓液45c所形成的层的厚度因应力的集中而变得极薄。

(3)由如此这样变得极薄的第1浓液45a、第3浓液45c所形成的层在到达流出口69o之前的期间中，在X方向上滞留时间产生差异。

另外，第1层流狭槽部77的第1长度LTa与流出狭槽部79的第1长度LTb满足5≤LTa/LTb≤20的条件。因此，与LTa/LTb小于5的情况相比较，流延模具52中的各浓液45a～浓液45c将压力保持得更大，层状浓液流90的各层的厚度90a～厚度90c各自在宽度方向上变均匀。另外，与LTa/LTb为20以上的情况相比较，流延模具52中的各浓液45a～浓液45c将压力保持得更小，因此流延适性优异。所谓“流延适性优异”，是指流延膜面的被称为鲨鱼皮(shark skin)的表面性状不良得到抑制。该鲨鱼皮大多是由在流延模具52的内部中浓液的压力过高的情况下，从流延模具的流出口中流出时的急剧的压力降低所引起。

从流延模具52中流出的层状浓液流90在流延带22上形成流延膜21。在流延带22上，流延膜21经来自送风装置27a～送风装置27d的干燥风干燥，在被剥取之前胶化。剥取辊25将以可搬送的程度胶化的流延膜21从流延带22上以带状的湿润膜30的形式剥取，经剥取的湿润膜30经过转送部29而被引向夹具拉幅机13。

剥取时的流延膜21的残留溶剂量优选10质量％以上、100质量％以下的范围。此外，在本说明书中，以干量基准来表示残留在流延膜21、湿润膜30及多层膜10中的溶剂量，将其作为残留溶剂量。另外，从对象膜中采取样品，将该样品的质量设定为x、干燥样品后的质量设定为y时，以{(x-y)/y}×100计算而求出残留溶剂量。

利用转送部29的送风装置对湿润膜30吹附风而促进干燥。风的温度优选20℃以上、250℃以下。从夹具拉幅机13中送出的多层膜10是利用切边装置34将在夹具拉幅机13中经握持的部分即包含握持痕迹的侧缘部切除后，被送往干燥室15。

干燥室15一面利用辊37支撑多层膜10一面向下游侧输送。通过经过环境的温度或湿度等经调节的干燥室15，而将多层膜10进一步干燥。多层膜10经过冷却室16，由此被冷却到例如室温为止。

将多层膜10冷却后，利用滚花赋予辊38对两侧缘部赋予滚花。在卷取室17中，将被赋予滚花的多层膜10以卷状卷取到卷芯41上。

如上文所述，形成有各层21a～层21c的界面比以前更平滑的流延膜21，因此制造如图1所示的各层10a～层10c的各界面比以前更平滑的多层膜10。由此，多层膜10更均匀地透射照射光，模糊不均得到抑制。

所述实施形态中，通过流延膜21所含的溶剂的干燥来使流延膜21表现出自支撑性，但不限于此。例如，也可以通过冷却来使流延膜21表现出自支撑性。

所述实施形态中，作为形成流延膜21的支撑体，使用挂在辊上并通过该辊的旋转而移动的流延带22，但不限于此。例如也可以使用流延鼓120代替流延带22。在此时的流延室12的内部，如图10所示，具备流延装置20、流延鼓120、调温装置26等。此外，该情况下，优选的是使用后述针板拉幅机(未图示)来代替夹具拉幅机13。

流延鼓120具有以成为水平的方式配置的轴120a、及固定在轴120a上的鼓本体120b。这里，轴120a的轴方向为X方向。在控制部(未图示)的控制下，轴120a利用驱动装置(未图示)旋转，鼓本体120b与轴120a一体地在圆周方向上旋转。通过鼓本体120b的旋转，鼓本体120b的周面120c以既定的速度(例如50m/min以上、200m/min以下)移动。在鼓本体120b上连接调温装置26。

利用调温装置26将周面120c的温度在-10℃以上、10℃以下的范围内保持于大致一定，由此流延膜21经冷却，在被剥取之前胶化。剥取辊25将以可搬送的程度胶化的流延膜21从流延带22上以带状的湿润膜30的形式剥取，经剥取的湿润膜30经过转送部29而被引向针板拉幅机。剥取时的流延膜21的残留溶剂量优选200质量％以上、300质量％以下。

针板拉幅机具有贯穿保持湿润膜30的两侧缘部的多根针。于能在既定的轨道上移动的多个针板(pin plate)上，分别设置有多根针。两侧缘部经针握持的湿润膜30是通过针板的移动而被搬送。对所搬送的湿润膜30吹送干燥风。由此，湿润膜30干燥而成为多层膜10。此外，也可以在针板拉幅机与干燥室15之间配置上文所述的夹具拉幅机13。夹具拉幅机13是用于将多层膜10在宽度方向上延伸的情况。由延伸所得的扩宽程度是根据目标光学特性而设定。

所述实施形态中形成的流延膜21或所制造的多层膜10为3层结构，但本发明不限于此，也可以设定为2层或4层以上的多层结构。2层的情况下，形成包含第1浓液45a及第2浓液45b的流延膜。4层以上的情况下，使用第1浓液45a来作为形成与流延带22或流延鼓120接触的第1层21a的浓液，且使用第3浓液45c来作为露出的另一外层。另外，4层以上的情况下，使用第2浓液45b来分别作为与第1浓液45a接触重叠的浓液及与第3浓液45c接触重叠的浓液。

以下，对原料及各浓液加以说明。第1浓液45a及第3浓液45c是使构成第1层10a及第3层10c的聚合物溶解在溶剂中而成。第2浓液45b是使构成第2层10b的聚合物溶解在溶剂中而成。

第2浓液45b的粘度高于第1浓液45a及第3浓液45c。另外，第1浓液45a的粘度与第3浓液45c的粘度可相等也可不同。各浓液45a～浓液45c的粘度可以根据日本工业标准(Japanese Industrial Standards，JIS)K 7117来求出。由该测定方法所得的各浓液的粘度并无特别限定，例如第2浓液45b的粘度优选40 Pa·s以上、150 Pa·s以下，更优选50 Pa·s以上、100 Pa·s以下。另外，第1浓液45a、第3浓液45c的粘度优选20 Pa·s以上、80 Pa·s以下，更优选30 Pa·s以上、50 Pa·s以下。

构成第1层10a及第3层10c的聚合物例如可以使用酰化纤维素。酰化纤维素特别优选三乙酰纤维素(triacetyl cellulose，TAC)。而且，酰化纤维素系树脂中，更优选的是以羧酸将纤维素的羟基酯化的比例、即酰基的取代度满足下述式(I)～式(III)全部。此外，以下的式(I)～式(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，另外B为碳原子数3～22的酰基的取代度。此外，优选的是TAC的90质量％以上为0.1mm～4mm的粒子。

(I)2.5≤A+B≤3.0

(II)0≤A≤3.0

(III)0≤B≤2.9

构成纤维素的β-1，4所键结的葡萄糖单元在2位、3位及6位上具有游离的羟基。酰化纤维素是利用碳数2以上的酰基将这些羟基的一部分或全部酯化而成的聚合物(polymer)。酰基取代度是指在各2位、3位及6位上，纤维素的羟基酯化的比例(100％酯化为取代度1)。

总酰基化取代度、即DS2+DS3+DS6优选2.00～3.00，更优选2.22～2.90，特别优选2.40～2.88。另外，DS6/(DS2+DS3+DS6)优选0.28以上，更优选0.30以上，特别优选0.31～0.34。这里，DS2为酰基对葡萄糖单元的2位的羟基的取代度(以下也称为“2位的酰基取代度”)，DS3为酰基对3位的羟基的取代度(以下也称为“3位的酰基取代度”)，DS6为酰基对6位的羟基的取代度(以下也称为“6位的酰基取代度”)。

用于酰化纤维素的酰基可仅为一种，或者也可使用两种以上的酰基。当使用两种以上的酰基时，优选的是其中之一为乙酰基。若将“2位、3位及6位的羟基”的取代度的总和设定为DSA、“2位、3位及6位的羟基”中的“乙酰基以外的酰基”的取代度的总和设定为DSB，则DSA+DSB的值更优选2.22～2.90，特别优选2.40～2.88。另外，DSB为0.30以上，特别优选0.7以上。进而，DSB的20％以上为6位羟基的取代基，更优选25％以上为6位羟基的取代基，进而优选30％以上，特别优选33％以上为6位羟基的取代基。另外，也可进一步列举酰化纤维素的6位的取代度为0.75以上、进而为0.80以上、特别是0.85以上的酰化纤维素。由这些酰化纤维素可以制作溶解性良好的溶液(浓液)。特别在非氯系有机溶剂中可以制作良好的溶液。进而可以制作粘度低、过滤性良好的溶液。

酰化纤维素的碳数2以上的酰基可为脂肪族基也可为芳基，并无特别限定。该些基团例如为纤维素的烷基羰基酯、烯基羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷基羰基酯等，分别可以具有进一步经取代的基团。所述基团的优选例可以举出：丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十三烷酰基、十四烷酰基、十六烷酰基、十八烷酰基、异丁酰基、叔丁酰基、环己烷羰基、油酰基、苯甲酰基、萘基羰基、肉桂酰基等。这些基团中，更优选丙酰基、丁酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、叔丁酰基、油酰基、苯甲酰基、萘基羰基、肉桂酰基等，特别优选丙酰基、丁酰基。

此外，关于酰化纤维素的详细情况，是记载于日本专利特开2005-104148号的[0140]段落～[0195]段落中。这些记载也可以应用到本发明中。另外，关于溶剂及塑化剂、防劣化剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟控制剂、染料、消光剂、剥离剂、剥离促进剂等添加剂，也同样详细地记载于日本专利特开2005-104148号的[0196]段落～[0516]段落中。

构成第2层10b的聚合物优选酰化纤维素，其中优选二乙酰纤维素。

各浓液45a～浓液45c中所用的溶剂可由单一的溶剂成分所构成，也可为多种溶剂成分的混合物。另外，各浓液45a～浓液45c的溶剂的配方可彼此相同也可不同。在各浓液45a～浓液45c的溶剂配方不同的情况下，优选的是各浓液45a～浓液45c含有共同的溶剂成分。

溶剂可以举出：芳香族烃(例如苯、甲苯等)、卤化烃(例如二氯甲烷、氯苯等)、醇(例如甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇、二乙二醇等)、酮(例如丙酮、甲基乙基酮等)、酯(例如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯等)及醚(例如四氢呋喃、甲基溶纤剂等)等。此外，所谓浓液，是指将聚合物溶解或分散于溶剂中所得的聚合物溶液、分散液。

这些溶剂中，可以优选地使用碳原子数1～7的卤化烃，可以最优选地使用二氯甲烷。从TAC的溶解性、流延膜从支撑体上的剥取性、膜的机械强度等及膜的光学特性等物性的观点来看，优选的是除了二氯甲烷以外混合一种或多种碳原子数1～5的醇。相对于溶剂总体，醇的含量优选2质量％～25质量％，更优选5质量％～20质量％。醇的具体例可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇等，可以优选地使用甲醇、乙醇、正丁醇或这些醇的混合物。

为了将对环境的影响抑制于最小限度，在不使用二氯甲烷的情况下，可以优选地使用碳原子数为4～12的醚、碳原子数为3～12的酮、碳原子数为3～12的酯、碳数1～12的醇。有时将这些溶剂适当地混合使用。例如可以举出乙酸甲酯、丙酮、乙醇、正丁醇的混合溶剂。这些醚、酮、酯及醇也可以具有环状结构。另外，具有醚、酮、酯及醇的官能基(即-O-、-CO-、-COO-及-OH)中的任意2个以上的化合物也可以用作溶剂。

[实施例]

进行实施例1～实施例4作为本发明的实施例。各实施例是通过溶液制膜设备11来实施，改变合流部62中的剪切粘度之比ηm/ηsa、ηm/ηsc及上文所述的曲率半径R来进行实施例。将各剪切粘度之比及曲率半径R示于表1中。此外，任一实施例中，合流部62中的第1浓液45a的剪切粘度ηsa与第3浓液45c的剪切粘度ηsc相等，因此表1中将剪切粘度之比简单地记作“ηm/ηs”。

通过调节与合流部62连接的第1浓液狭槽部59a、第3浓液狭槽部59c与第2浓液狭槽部59b的Y方向的间隔，来调节剪切粘度之比。

[表1]

所制造的多层膜10的宽度为1500mm。对所制造的多层膜10评价光的透射性。评价是利用以下方法来进行。从各实施例中所得的多层膜10中在长度方向上切出200mm，作为评价对象的样品膜。从光源对该样品膜的宽度方向的中央的宽度1000mm的区域照射光。使用卤素灯作为光源。

从垂直方向对与经光照射的膜面为相反侧的膜面进行观察时的不均如图11所示，模糊部位是以具有宽度的线的形式被确认到。例如图11所示，这种不均是以在形成流延膜时的流延方向上凸出的形状被确认到。并无不均的部位的截面如图12中实线所示，第1层10a、第3层10c的厚度THa、厚度THc在宽度方向上分别成为一定，并且第2层10b的厚度也在宽度方向上成为一定。

相对于此，关于存在不均的部位的截面，所述各层10a～层10c的厚度在多层膜10的宽度方向上变化。亦即，如图11所示，若对模糊部位的沿着宽度方向的截面(沿着XII-XII线的截面)进行确认，则如图12中两点虚线所示，第1层10a及第3层10c的厚度相对于第2层10b的厚度的比例在宽度方向上不同。具体来说，第1层10a及第3层10c的各厚度THa、厚度THc在模糊部位中分别增厚ΔTHa、ΔTHc的量，并且第2层10b的厚度减薄ΔTHa与ΔTHc之和的量。在ΔTHa及ΔTHc分别为3μm以上的情况下，作为模糊不均而被目测确认到。而且，该模糊部位的宽度W2与图12中厚度的比例变化的部位相对应。

将长度方向上可见该不均的个数作为评价结果。此外，图11中示出2个凸出在宽度方向上相连的形状，但有时该不均的凸出数在宽度方向上为1个，或有时3个以上相连。与在宽度方向上相连的凸出形状的个数无关而将不均的个数以“1”来计数。将评价结果示于表1中。

[比较例]

改变合流部62中的剪切粘度之比ηm/ηsa、剪切粘度之比ηm/ηsc以及上文所述的曲率半径R，实施比较例1～比较例4。将各比较例的条件示于表1中。此外，比较例1～比较例4中，也与实施例1～实施例4同样地使合流部62中的第1浓液45a的剪切粘度ηsa与第3浓液45c的剪切粘度ηsc相等，因此表1中将剪切粘度之比简单地记作“ηm/ηs”。

Claims (5)

1.一种流延装置，使第1浓液与第2浓液在内部流路中合流，由此形成所述第1浓液与所述第2浓液以层状重叠而成的层状浓液流，将所述层状浓液流扩宽并将经扩宽的所述层状浓液流限制于一定宽度，使之从流出口中流出，其中所述第1浓液是用来形成成为流延膜的一个膜面的第1层，所述第2浓液的粘度高于所述第1浓液，且是用来形成较所述第1层更厚的第2层，并且所述流延装置的特征在于：

所述内部流路具有：

第1浓液狭槽部，流动所述第1浓液；

第2浓液狭槽部，流动所述第2浓液，且与所述第2浓液的流动方向正交的截面积大于所述第1浓液狭槽部的与所述第1浓液的流动方向正交的截面积；

合流部，通过将所述第1浓液狭槽部与所述第2浓液狭槽部连接而使所述第1浓液与所述第2浓液合流，且将所述第2浓液的剪切粘度ηm除以所述第1浓液的剪切粘度ηs之比ηm/ηs设定为2以上、10以下的范围；

第1层流狭槽部，流动所述层状浓液流，且朝向所述流出口，厚度方向的第1长度一定，宽度方向的第2长度逐渐增大；

第2层流狭槽部，继所述第1层流狭槽部之后设置，且朝向所述流出口，所述第1长度从所述第1层流狭槽部的所述第1长度起逐渐减小；

流出狭槽部，继所述第2层流狭槽部之后设置，所述第1长度与所述第2层流狭槽部的所述第1长度相等，且随后设有所述流出口；以及

限制部，以在所述宽度方向上相对向并且随后设有所述流出口的方式设置，将经扩宽的所述层状浓液流限制于一定宽度；并且

构成所述内部流路的内壁面中在所述厚度方向上相对向的壁面部的所述第2层流狭槽部与所述流出狭槽部的边界，以距所述流出口的距离从所述宽度方向的中央起朝向侧缘逐渐减小的方式形成，且将所述中央设定为曲率半径为100 mm以上的曲线形状。

2.根据权利要求1所述的流延装置，其特征在于：所述第1层流狭槽部的所述第1长度LTa与所述流出狭槽部的所述第1长度LTb满足5≤LTa/LTb≤20的条件。

3.一种溶液制膜设备，其特征在于具备：

流延装置，使第1浓液与第2浓液在内部流路中合流，由此形成所述第1浓液与所述第2浓液以层状重叠而成的层状浓液流，将所述层状浓液流扩宽，将经扩宽的所述层状浓液流限制于一定宽度并使之从流出口中流出，其中所述第1浓液是用来形成成为流延膜的一个膜面的第1层，所述第2浓液的粘度高于所述第1浓液，且是用来形成较所述第1层更厚的第2层；

支撑体，以移动的支撑面连续地支撑从所述流延装置中流出的所述层状浓液流，由此形成所述流延膜；以及

干燥装置，将从支撑体上剥取的所述流延膜干燥；并且

所述内部流路具有：

第1浓液狭槽部，流动所述第1浓液；

第2浓液狭槽部，流动所述第2浓液，且与所述第2浓液的流动方向正交的截面积大于所述第1浓液狭槽部的与所述第1浓液的流动方向正交的截面积；

合流部，通过将所述第1浓液狭槽部与所述第2浓液狭槽部连接而使所述第1浓液与所述第2浓液合流，且将所述第2浓液的剪切粘度ηm除以所述第1浓液的剪切粘度ηs之比ηm/ηs设定为2以上、10以下的范围；

第1层流狭槽部，流动所述层状浓液流，并且朝向所述流出口，厚度方向的第1长度一定，宽度方向的第2长度逐渐增大；

第2层流狭槽部，继所述第1层流狭槽部之后设置，并且朝向所述流出口，所述第1长度从所述第1层流狭槽部的所述第1长度起逐渐减小；

流出狭槽部，继所述第2层流狭槽部之后设置，所述第1长度与所述第2层流狭槽部的所述第1长度相等，且随后设有所述流出口；

限制部，以在所述宽度方向上相对向并且随后设有所述流出口的方式设置，将经扩宽的所述层状浓液流限制于一定宽度；并且

构成所述内部流路的内壁面中在所述厚度方向上相对向的壁面部的所述第2层流狭槽部与所述流出狭槽部的边界，以与所述流出口的距离从所述宽度方向的中央起朝向侧缘逐渐减小的方式形成，且将所述中央设定为曲率半径为100mm以上的曲线形状。

4.根据权利要求3所述的溶液制膜设备，其特征在于：所述第1层流狭槽部的所述第1长度LTa与所述流出狭槽部的所述第1长度LTb满足5≤LTa/LTb≤20的条件。

5.一种溶液制膜方法，其特征在于：

使用根据权利要求1或2所述的所述流延装置在行进的支撑体上形成流延膜，

从所述支撑体上将所述流延膜以膜的形式剥下；以及

将所述膜干燥。