JP2009078440A - 流延ダイ、溶液製膜設備及び溶液製膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】裏面層と表面層との膜厚差を抑えつつ、フイルムを製造する。
【解決手段】流延ダイ５２は、積層ドープ６１が通過するスロット１０６を有する。スロット１０６は、第１スロット部１１１、第２スロット部１１２及び第１幅縮小スロット部１１６を有する。第２スロット部１１２は、方向ＳＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＳＤの流路幅よりも狭く、第１幅縮小スロット部１１６は、方向ＳＤの流路幅が、第１スロット部１１１側から第２スロット部１１２側に向かうに従い次第に狭くなるように形成される。スロット１０６の方向ＳＤの流路幅は、内壁面１００ａ、１０１ａによって決定される。また、１対の内壁面１００ａ、１０１ａは、対称面ＳＦに対して、面対称に形成される。ここで、対称面ＳＦとは、方向Ｂ１に直交する断面において、内壁面１００ａと内壁面１０１ａとの間に位置し、方向ＬＤと略平行な直線として現れる平面である。
【選択図】図５

Description

本発明は、流延ダイ、溶液製膜設備及び溶液製膜方法に関する。

ポリマーフイルム（以下、フイルムと称する）は、優れた光透過性や柔軟性および軽量薄膜化が可能であるなどの特長から光学機能性フイルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フイルムは、強靭性を有し、低複屈折率であることから、写真感光用フイルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置（ＬＣＤ）の構成部材である偏光板の保護フイルムまたは光学補償フイルムなどの光学機能性フイルムに用いられている。

フイルムの主な製造方法としては、溶融押出方法と溶液製膜方法とがある。溶融押出方法とは、ポリマーをそのまま加熱溶解させた後、押出機で押し出してフイルムを製造する方法であり、生産性が高く、設備コストも比較的低額であるなどの特徴を有する。しかし、膜厚精度を調整することが難しく、また、フイルム上に細かいスジ（ダイライン）ができるために、光学機能性フイルムへ使用することができるような高品質のフイルムを製造することが困難である。一方、溶液製膜方法は、ポリマーと溶媒とを含んだポリマー溶液（ドープ）を支持体上に流延して形成した流延膜が自己支持性を有するものとなった後、これを支持体から剥がして湿潤フイルムとし、さらに、この湿潤フイルムを乾燥させてフイルムとする方法である。溶融押出方法と比べて、光学等方性や厚み均一性に優れるとともに、含有異物の少ないフイルムを得ることができるため、光学機能性フイルムは、主に溶液製膜方法で製造されている。

この溶液製膜方法では、セルローストリアセテートなどのポリマーをジクロロメタンや酢酸メチルを主成分とする溶媒に溶解した高分子溶液（以下、ドープと称する）を用いる。そして、このドープに所定の添加剤を添加・混合し、流延用のドープを調製する。このドープを流延ダイより吐出させて、キャスティングドラムやエンドレスバンドなどの支持体上に流延膜を形成する。そして、流延膜の冷却により、流延膜のゲル化を進行させ、流延膜に自己支持性を発現させる。その後、この流延膜を、支持体から湿潤フイルムとして剥ぎ取り、この湿潤フイルムを乾燥させたものをフイルムとして巻き取る。

また、近年では、特許文献１のように、主ドープと副ドープとが層をなす積層ドープを用いた溶液製膜方法（以下、共流延方式と称する）が行われることが多い。この共流延方式の溶液製膜方法の概要について説明する。図９のように、流延ダイ３００は、走行する支持体３０１の支持面３０１ａ上に積層ドープ３０２を吐出する。支持面３０１ａ上の積層ドープ３０２は、流延膜３０３となる。この流延膜３０３は、主ドープからなる中間層３０３ａと、副ドープとからなり、支持面３０１ａと接触する裏面層３０３ｂと、副ドープとからなり、この裏面層３０３ｂと反対側の表面層３０３ｃとが、厚さ方向において、層をなす構造を有する。このような層構造を有する流延膜３０３を支持面３０１ａから剥ぎ取り、所定の乾燥工程を行うと、流延膜３０３と略同様の層構造を有するフイルムを製造することができる。この共流延方式の溶液製膜方法において、主ドープとして、フイルムの強度や光学的機能に適するドープを用い、副ドープとして、主ドープに比べて粘度の低いドープ、或いは、所定の添加剤を添加されたドープを用いると、製造工程におけるフイルム表面のシワの発生の防止や、剥ぎ取り性などの製造時の取り扱い性の向上を図りつつ、所望の光学特性のフイルムを容易に製造することができる。
特開昭５６−１６２６１７号公報

近年において、液晶表示装置の需要の急速な増加に伴い、生産効率の高い溶液製膜方法が強く望まれている。したがって、光学性機能フイルムを効率よく製造できる溶液製膜方法及び溶液製膜設備が検討されている。

ところが、高速の製膜速度（例えば、４０ｍ／分以上）で共流延方式の溶液製膜方法を行うと、シャークスキンなどの厚みムラが発生し、これに起因して、フイルムの幅方向におけるレターデーションなど光学特性のムラが生じることがわかった。

図１０に、共流延方式の溶液製膜方法により製造された、膜厚１００μｍのフイルムについて、フイルムの幅方向における、裏面層３０３ｂ及び表面層３０３ｃの膜厚の変化量を示す。縦軸は、各層３０３ｂ、３０３ｃの膜厚を表し、横軸は、フイルムの幅方向における位置を表し、Ｐｅは、フイルムの幅方向における両側端部を、Ｐｅはフイルムの幅方向における中央部を表す。また、図中の実線は裏面層３０３ｂの膜厚を、破線は、表面層３０３ｃの膜厚を表す。図１０より、共流延方式の溶液製膜方法により製造されたフイルムにおいて、フイルムの両側端部Ｐｅでは、裏面層３０３ｂの膜厚と表面層３０３ｃの膜厚との差がほとんど見られないが、フイルムの幅方向の中央部Ｐｃ近傍では、裏面層３０３ｂの膜厚と表面層３０３ｃの膜厚との間に、裏面層３０３ｂや表面層３０３ｃの平均膜厚の５〜１５％程度の膜厚差が生じることがわかった。そして、裏面層３０３ｂと表面層３０３ｃの膜厚の差が、フイルムの光学特性のムラの主たる原因であることがわかった。

本発明は、上記課題を解決するものであり、裏面層と表面層の膜厚の差が略等しいフイルムを効率よく製造することができる流延ダイ、溶液製膜設備及び溶液製膜方法を提供することを目的とする。

本発明は、ポリマーと溶媒とを含むドープが供給される供給口と、前記ドープが流延ビードとして流延される流出口と、前記供給口と前記流出口とを連通するスロットとを有し、前記ドープの流出方向に直交する断面における前記スロットの形状が、第１方向に長い１対の第１内壁面と前記第１方向に直交する第２方向に短い１対の第２内壁面とによりスリット状に形成されている流延ダイにおいて、前記スロットは、前記流出口の上流側に設けられる第１スロット部と、前記第１スロット部の上流側に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第１スロット部のものよりも広い第２スロット部と、前記第１スロット部と前記第２スロット部との間に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第１スロット部から前記第２スロット部に向かうに従い次第に広くなる第１接続スロット部とを有し、前記各スロット部は、前記流出口の前記第２方向における中心を通り前記１対の第１内壁面に平行な中心面を対称面として、前記１対の第１内壁面が面対称に形成されることを特徴とする。

前記第２スロット部の上流側に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第２スロット部のものよりも広い第３スロット部と、前記第２スロット部と前記第３スロット部との間に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第２スロット部から前記第３スロット部に向かうに従い次第に広くなる第２接続スロット部とを有し、前記第３スロット部及び前記第２接続スロット部の前記１対の第１内壁面が前記中心面を対称面として、面対称に形成されていることが好ましい。また、前記第２スロット部の上流側に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第２スロット部のものよりも広い第１ポケット部を備え、前記第１ポケット部は、前記第２スロット部との間で下流側から順に、前記１対の第１内壁面間の流路幅が上流側に向かうに従い次第に広くなる縮流内壁面と、前記１対の第１内壁面間の流路幅が変わらないポケット本体内壁面と、前記１対の第１内壁面間の流路幅が上流側に向かうに従い次第に狭くなる拡流内壁面と、を有することが好ましい。

前記１対の第１内壁面に沿って副ドープを、前記副ドープ間に主ドープを積層状に供給する積層ドープ供給部を有することが好ましい。

前記第１接続スロット部の前記第１内壁面と前記第１スロット部の前記第１内壁面との接合部、または、前記第１接続スロット部の前記第１内壁面と前記第２スロット部の前記第１内壁面との接合部を断面略円弧状に面取りした第１湾曲接続面を備えることが好ましい。また、前記第２接続スロット部の前記第１内壁面と前記第２スロット部の前記第１内壁面との接合部、または、前記第２接続スロット部の前記第１内壁面と前記第３スロット部の前記第１内壁面との接合部を断面略円弧状に面取りした第２湾曲接続面を備えることが好ましい。更に、前記第１湾曲接続面、または前記第２湾曲接続面の曲率半径が、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることが好ましい。

前記第１接続スロット部の前記１対の第１内壁面に形成され、前記第１スロット部及び前記第２スロット部の前記１対の第１内壁面よりも動摩擦係数が小さい低摩擦層を備えることが好ましい。また、前記第２接続スロット部の前記１対の第１内壁面に形成され、前記第２スロット部及び前記第３スロット部の前記１対の第１内壁面よりも動摩擦係数が小さい低摩擦層を備えることが好ましい。

本発明の溶液製膜設備は、上記流延ダイのうちいずれか１つと、前記流延ダイに前記ドープを供給するドープ供給装置と、前記流延ビードを支持して流延膜を形成する支持体と、前記支持体上で自己支持性を有するに至った前記流延膜を、前記支持体から剥ぎ取り乾燥する乾燥装置とを備えることを特徴とする。

前記支持体の走行速度が４０ｍ／分以上であることが好ましい。また、前記支持体が、軸を中心に回転するドラムであることが好ましい。

本発明の溶液製膜方法は、上記流延ダイのうちいずれか１つを用いて、前記ドープを支持体上に流出し、前記支持体上の前記ドープから前記流延膜を形成し、前記支持体から剥ぎ取った前記流延膜を乾燥することを特徴とする。

前記ドープは、セルロースアシレートを含むことが好ましい。

本発明によれば、ドープが通過するスロットが、流出口の前記第２方向における中心を通り１対の第１内壁面に平行な中心面を対称面として、１対の第１内壁面が面対称に形成されたため、裏面層と表面層との膜厚を略等しくすることができる。特に、フイルムの幅方向の中央部近傍では、スロット中を流れる積層ドープの挙動により、裏面層と表面層との膜厚の差が生じやすいが、本発明によれば、中央部近傍における裏面層と表面層との膜厚を略等しくすることができる。また、裏面層や表面層にはレターデーション制御剤や紫外線吸収剤やマット剤などの添加剤が含まれていることが多い。したがって、本発明によれば、これら裏面層と表面層との膜厚を略等しくすることができるため、シャークスキンなどの厚みムラを抑え、フイルム全体としての光学特性が、幅方向において略均一なフイルムを効率よく製造することができる。

以下に、本発明の実施態様について詳細に説明する。ただし、本発明はここに挙げる実施態様に限定されるものではない。

（溶液製膜方法）
図１に、本実施形態で用いるフイルム製造ライン１０の概略図を示す。フイルム製造ライン１０は、流延室１２とピンテンタ１３とクリップテンタ１４と乾燥室１５と冷却室１６と巻取室１７とを有する。

ストックタンク２０は、後述する流路を介して流延室１２と接続する。ストックタンク２０には、モータ２０ａで回転する攪拌翼２０ｂとジャケット２０ｃとが備えられており、その内部には、溶媒とフイルム２２の原料となるポリマーとを含むドープ２４が貯留されている。ストックタンク２０は、常時、その外周面に設けられているジャケット２０ｃにより、ドープ２４の温度が略一定となるように調整されるとともに、攪拌翼２０ｂの回転により、ポリマーなどの凝集を抑制しながら、ドープ２４を均一の状態に保持する。

ストックタンク２０と後述するフィードブロックとの間には、中間層用ドープ流路３０ａと裏面層用ドープ流路３０ｂと表面層用ドープ流路３０ｃとが接続されている。ドープ２４は、それぞれの流路３０ａ〜３０ｃに設けられているポンプ３１ａ〜３１ｃにより送液される。ポンプ３１ａ〜３１ｃは、図示しない制御部に接続する。この制御部により、ポンプ３１ａ〜３１ｃは、所定の流量で各ドープを送り出す。ポンプ３１ａ〜３１ｃとしては、ギアポンプを用いることが好ましい。このギアポンプとしては、公知のギアポンプであればいずれでもよい。

中間層用ドープ流路３０ａには、配管を介してストックタンク３３ａが接続する。ストックタンク３３ａには、中間層用添加液３４ａが貯留する。流路３０ａとストックタンク３３ａとを接続する配管には、ポンプ３５ａが設けられる。ストックタンク３３ａ中の中間層用添加液３４ａは、ポンプ３５ａにより中間層用ドープ流路３０ａに送液され、中間層用ドープ流路３０ａ中のドープ２４に添加される。その後、ドープ２４と中間層用添加液３４ａとは、中間層用ドープ流路３０ａに設けられる静止型混合器（スタティックミキサ）３８ａにより攪拌混合されて均一となる。以下、このドープを中間層用ドープ３９ａと称する。中間層用添加液３４ａには、例えば紫外線吸収剤，レターデーション制御剤や可塑剤などの添加剤が予め含まれた溶液（または分散液）が入れられている。

裏面層用ドープ流路３０ｂには、配管を介してストックタンク３３ｂが接続する。ストックタンク３３ｂには、裏面層用添加液３４ｂが貯留する。流路３０ｂとストックタンク３３ｂとを接続する配管には、ポンプ３５ｂが設けられる。ストックタンク３３ｂ中の裏面層用添加液３４ｂは、ポンプ３５ｂにより裏面層用ドープ流路３０ｂに送液され、裏面層用ドープ流路３０ｂ中のドープ２４に添加される。その後、ドープ２４と裏面層用添加液３４ｂとは、裏面層用ドープ流路３０ｂに設けられる静止型混合器３８ｂにより攪拌混合されて均一となる。以下、このドープを裏面層用ドープ３９ｂと称する。

表面層用ドープ流路３０ｃには、配管を介してストックタンク３３ｃが接続される。ストックタンク３３ｃには、表面層用添加液３４ｃが貯留する。流路３０ｃとストックタンク３３ｃとを接続する配管には、ポンプ３５ｃが設けられる。ストックタンク３３ｃ中の表面層用添加液３４ｃは、ポンプ３５ｃにより表面層用ドープ流路３０ｃに送液され、表面層用ドープ流路３０ｃ中のドープ２４に添加される。その後、ドープ２４と表面層用添加液３４ｃとは、表面層用ドープ流路３０ｃに設けられる静止型混合器３８ｃにより攪拌混合されて均一となる。以下、このドープを表面層用ドープ３９ｃと称する。

裏面層用添加液３４ｂや表面層用添加液３４ｃには、支持体である流延バンドからの剥離を容易とする剥離促進剤（例えば、クエン酸エステルなど）、フイルムをロール状に巻き取った際にフイルム面間での密着を抑制するマット剤（例えば、二酸化ケイ素など）や劣化防止剤などの添加剤が予め含有されている。なお、裏面層用添加液３４ｂや表面層用添加液３４ｃには、可塑剤，紫外線吸収剤やレターデーション制御剤などの光学特性制御剤などの添加剤が含まれていても良い。

（ドープの粘性）
本実施形態では、中間層を形成するドープ、いわゆる主ドープとして中間層用ドープ３９ａを用い、裏面層を形成するドープ及び表面層を形成するドープ、いわゆる副ドープとして、裏面層用ドープ３９ｂ及び表面層用ドープ３９ｃをそれぞれ用いる。中間層用ドープ３９ａとしては、製造する光学機能性フイルムの強度や光学的機能に適するドープを用い、ドープ３９ｂ、３９ｃとしては、光学機能性フイルムの平面性や滑り性を良くするためのドープを用いる。また、上記に加え、ドープ３９ｂ、３９ｃとして、中間層用ドープ３９ａよりも粘性が低いものを用いることが好ましい。これにより、後述する流延膜や湿潤フイルムの表面におけるスジやムラの生成や、厚さムラなどを防ぐことができる。

（ドープ濃度）
なお、中間層用ドープ３９ａに含まれるポリマー濃度は、１５重量％以上３０重量％以下であることが好ましく、２０重量％以上２５重量％以下であることがより好ましい。表層形成用ドープに含まれるポリマー濃度は、１０重量％以上２５重量％以下であることが好ましく、１５重量％以上２５重量％以下であることがより好ましく、１９重量％以上２２重量％以下であることが特に好ましい。

流延室１２には、３種類のドープ３９ａ〜３９ｃから、後述する積層ドープをつくるフィードブロック５１と、積層ドープを流出する流延ダイ５２と、支持体であり、積層ドープから流延膜５３を形成するキャスティングドラム（以下、流延ドラムと称する）５４と、流延ドラム５４から流延膜５３を剥ぎ取る剥取ローラ５５と、温調装置５６、５７と凝縮器（コンデンサ）５８と回収装置５９とが備えられている。また、制御部６０は、流延ドラム５４、温調装置５６、５７、回収装置５９と接続する。

また、凝縮器５８は、流延室１２内に気化する溶媒を凝縮液化する。制御部６０の制御の下、回収装置５９は、凝縮器５８により凝縮液化した溶媒を回収し、流延室１２内の雰囲気のガス露点ＴＲを、所定の範囲に保つ。ガス露点とは、流延室１２内の雰囲気に気化する溶媒の凝縮液化が開始する温度である。回収された溶媒は再生装置で再生された後に、ドープ調製用溶媒として再利用される。制御部６０の制御の下、温調装置５７は、流延室１２内の雰囲気の温度を所定の範囲に保つ。

（流延ドラム）
図１及び図２のように、流延ドラム５４は、制御部６０の制御の下、図示を省略した駆動装置により軸５４ａを中心に、方向Ｚ１へ回転する。流延ドラム５４の回転により、周面５４ｂは方向Ｚ１へ所定の速度ＺＶで走行する。温調装置５６は、制御部６０の制御の下、所望の温度に調節された伝熱媒体を、流延ドラム５４内に設けられる流路中を循環させる。この伝熱媒体の循環により、流延ドラム５４の周面５４ｂの温度を所望の温度ＴＳに保つことができる。

流延ドラム５４の幅は特に限定されるものではないが、ドープの流延幅の１．１倍〜２．０倍の範囲のものを用いることが好ましい。周面５４ｂの表面粗さは０．０１ｍ以下となるように研磨したものを用いることが好ましい。周面５４ｂの表面欠陥は最小限に抑制する必要がある。具体的には、３０μｍ以上のピンホールが無く、１０μｍ以上３０μｍ未満のピンホールは１個／ｍ²以下であり、１０μｍ未満のピンホールは２個／ｍ²以下であることが好ましい。流延ドラム５４の回転に伴う周面５４ｂ上下方向の位置変動は２００μｍ以下であることが好ましい。流延ドラム５４の速度変動を３％以下とし、流延ドラム５４が一回転する際に生じる幅方向の蛇行は３ｍｍ以下とすることが好ましい。

流延ドラム５４の材質は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有するようにＳＵＳ３１６製であることがより好ましい。流延ドラム５４の周面５４ｂに施されるクロムメッキ処理はビッカース硬さＨｖ７００以上、膜厚２μｍ以上、いわゆる硬質クロムメッキであることが好ましい。

フィードブロック５１は、流路３０ａ〜３０ｃから送られる各ドープ３９ａ〜３９ｃを合流させて、積層ドープ６１をつくり、所定の流量の積層ドープ６１を流延ダイ５２へ送る。そして、流延ダイ５２は、回転する流延ドラム５４の周面５４ｂに向けて、積層ドープ６１を吐出する。その後、流延ドラム５４の周面５４ｂ上の積層ドープ６１から流延膜５３が形成される。そして、流延ドラム５４が約３／４回転する間に、ゲル化による自己支持性が流延膜５３に発現し、流延膜５３は剥取ローラ５５によって流延ドラム５４から剥ぎ取られる。

また、図１のように、減圧チャンバ６３を、流延ダイ５２に対し、方向Ｚ１の上流側に配置してもよい。減圧チャンバ６３は、流延ビードの背面（後に、流延ドラム５４の周面５４ｂに接する面）側を所望の圧力まで減圧する。図示しない制御部の制御の下、減圧チャンバ６３は、流延ビードの背面側を−１０Ｐａ以上−２０００Ｐａ以下の範囲で減圧することができる。流延ビードの背面側の減圧により、流延ドラム５４の回転により発生する同伴風の影響を少なくし、流延ダイ５２と流延ドラム５４との間に安定した流延ビードを形成し、膜厚ムラの少ない流延膜５３を形成することができる。

流延室１２の下流には、渡り部６５、ピンテンタ１３、クリップテンタ１４が順に設置されている。渡り部６５は、剥取ローラ５５によって剥ぎ取られた湿潤フイルム６８を、ローラ６６により、ピンテンタ１３に導入する。ピンテンタ１３は、湿潤フイルム６８の両側縁部を貫通して保持する多数のピンプレートを有し、このピンプレートが軌道上を走行する。ピンプレートにより走行する湿潤フイルム６８に対し乾燥風が送られ、湿潤フイルム６８は乾燥し、フイルム２２となる。

クリップテンタ１４は、フイルム２２の両側縁部を把持する多数のクリップを有し、このクリップが延伸軌道上を走行する。クリップにより走行するフイルム２２に対し乾燥風が送られ、フイルム２２には、フイルム幅方向への延伸処理とともに乾燥処理が施される。

ピンテンタ１３及びクリップテンタ１４の下流にはそれぞれ耳切装置７０ａ、７０ｂが設けられている。耳切装置７０ａ、７０ｂはフイルム２２の両側縁部を裁断する。この裁断した両側縁部は、送風によりクラッシャ７１ａ、７１ｂに送られて、粉砕され、ドープ等の原料として再利用される。

乾燥室１５には、多数のローラ７５が設けられており、これらにフイルム２２が巻き掛けられて搬送される。乾燥室１５内の雰囲気の温度や湿度などは、図示しない空調機により調節されており、乾燥室１５の通過によりフイルム２２の乾燥処理が行われる。乾燥室１５には吸着回収装置７６が接続されており、フイルム２２から蒸発した溶媒が吸着回収される。

乾燥室１５の出口側には冷却室１６が設けられており、この冷却室１６でフイルム２２が室温となるまで冷却される。冷却室１６の下流には強制除電装置（除電バー）８０が設けられており、フイルム２２が除電される。さらに、強制除電装置８０の下流側には、ナーリング付与ローラ８１が設けられており、フイルム２２の両側縁部にナーリングが付与される。巻取室１７には、プレスローラ８３を有する巻取機８４が設置されており、フイルム２２が巻き芯にロール状に巻き取られる。

（フィードブロック）
図３のように、フィードブロック５１は、流路３０ａ〜３０ｃと接続する第１〜第３流入口９１ａ〜９１ｃと、流延ダイ５２と接続する流出口９２と、第１流入口９１ａ及び流出口９２を接続する主流路９３とを備える。副流路９４ｂは、第２流入口９１ｂと主流路９３とを連通し、副流路９４ｃは、第３流入口９１ｃと主流路９３とを連通する。副流路９４ｂ、９４ｃとの連通部よりも下流側の主流路９３に合流部９５が設けられる。合流部９５では、各ドープ３９ａ〜３９ｃが方向ＳＤにおいて層をなす積層ドープ６１がつくられる。主流路９３との連通部の直前の副流路９４ｂ、９４ｃには、円柱状に形成されたディストリビューションピン９６ｂ、９６ｃが、横たわるように設けられる。なお、方向ＳＤとは、流出口１０５の近傍における流延ドラム５４（図２参照）の周面５４ｂ（図２参照）の走行方向を指す。

図４のように、ディストリビューションピン９６ｂの周面上には、副流路９４ｂの上流側と下流側とを連通する切欠溝９７が設けられる。軸方向Ａ１における切欠溝９７の幅は、周方向ＳＡ１に沿って、幅ＷＡ１から幅ＷＡ２まで次第に狭くなるように形成される。切欠溝９７の幅とは、ディストリビューションピン９６ｂの軸Ａ１方向における切欠溝９７の長さである。切欠溝９７の溝深さＤ１は、０ｍｍより大きく５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０ｍｍより大きく４ｍｍ以下であることが好ましい。溝深さＤ１が５ｍｍを超えると、最外層の膜厚分布が確保することが困難となるため好ましくない。なお、ディストリビューションピン９６ｃも、ディストリビューションピン９６ｂと同様の形状に形成される。

図３のように、駆動部９８ｂ、９８ｃは、ディストリビューションピン９６ｂ、９６ｃと接続し、ディストリビューションピン９６ｂ、９６ｃを、軸Ａ１（図４参照）を中心に、方向ＳＡ１またはＳＡ２へ回動させる。駆動部９８ｂ、９８ｃにより、副流路９４ｂ、９４ｃの断面積を所望の範囲に調節することができる。

（流延ダイ）
図５及び図６のように、流延ダイ５２は、リップ板１００、１０１と側板１０２、１０３とから構成され、フィードブロック５１の流出口９２と連通する流入口１０４と、積層ドープ６１を流出する流出口１０５と、流入口１０４と流出口１０５とを連通するスロット１０６と、を備える。流出口１０５は、流延ダイ５２の先端に設けられる。

インナーディッケル板１０８、１０９が、方向ＳＤに垂直な方向ＬＤに対し、スロット１０６の両側端部に設けられる。インナーディッケル板１０８、１０９は、図示しないパッキンを介して、リップ板１００、１０１と側板１０２、１０３と密着するように設けられる。

こうして、リップ板１００の内壁面１００ａとリップ板１０１の内壁面１０１ａとディッケル板１０８の内壁面１０８ａとディッケル板１０９の内壁面１０９ａとにより、スロット１０６が形成される。

スロット１０６の形状は、積層ドープ６１がスロット１０６中を流れる方向Ｂ１に直交する断面において、方向ＬＤに伸びるように形成される１対の内壁面１００ａ、１０１ａと、方向ＬＤと異なる方向に、内壁面１００ａ、１０１ａよりも短く伸びるように形成される１対の内壁面１０８ａ、１０９ａとにより、スリット状に形成される。方向Ｂ１に直交する断面におけるスロット１０６の形状は、１対の方向ＬＤに伸びる第１辺と、方向ＬＤに垂直な方向に第１辺よりも短く伸びる１対の第２辺と、からなる略矩形に形成される。なお、方向Ｂ１に直交する断面におけるスロット１０６の形状は、略矩形のものに限られず、例えば、１対の第１辺をつなぐ第２辺が略円弧状に形成されてもよいし、第１辺と第２辺とは、垂直に接続せずに、当該接続部が略円弧上に接続してもよい。

スロット１０６には、流入口１０４から流出口１０５に向かって、第１スロット部１１１と、第２スロット部１１２と、第３スロット部１１３とが設けられる。また、第１スロット部１１１と第２スロット部１１２との間には、第１幅縮小スロット部１１６が設けられ、第２スロット部１１２と第３スロット部１１３との間には、第２幅縮小スロット部１１７が設けられる。

第１スロット部１１１は、方向ＬＤの流路幅が、下流に向かうに従い次第に広くなるように形成される。第２スロット部１１２は、方向ＳＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＳＤの流路幅よりも狭くなるように形成され、第２スロット部１１２の方向ＬＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＬＤ流路幅と略同一になるように形成される。第３スロット部１１３は、方向ＳＤの流路幅が、第２スロット部１１２の方向ＳＤの流路幅よりも狭くなるように形成され、第３スロット部１１３の方向ＬＤの流路幅が、下流に向かうに従い次第に広くなるように形成される。

第１幅縮小スロット部１１６は、方向ＳＤの流路幅が、第１スロット部１１１側から第２スロット部１１２側に向かうに従い次第に狭くなるように形成され、方向ＬＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＬＤの流路幅と略同一になるように形成される。第２幅縮小スロット部１１７は、方向ＳＤの流路幅が、第２スロット部１１２側から第３スロット部１１３側に向かうに従い次第に狭くなるように形成され、方向ＬＤの流路幅が、第２スロット部１１２の流路幅と略同一になるように形成される。

ここで、方向ＬＤの流路幅とは、一対のディッケル板１０８の内壁面１０８ａとディッケル板１０９の内壁面１０９ａとの距離であり、方向ＳＤの流路幅とは、一対のリップ板１００の内壁面１００ａとリップ板１０１の内壁面１０１ａとの距離である。

また、１対の内壁面１００ａ、１０１ａは、対称面ＳＦに対して、面対称に形成される。ここで、対称面ＳＦとは、方向Ｂ１に直交する断面において、流出口１０５の短手方向における略中心を通り、内壁面１００ａ、１０１ａに平行な面である。なお、対称面ＳＦを、方向Ｂ１に直交する断面において、内壁面１００ａと内壁面１０１ａとの間に位置し、方向ＬＤと略平行な直線として現れる平面としてもよい。

第１幅縮小スロット部１１６を構成する内壁面１００ａ、１０１ａと方向Ｂ１とがなす角度θ１は、３０°以上４０°以下であることが好ましい。また、第２幅縮小スロット部１１７を構成する内壁面１００ａ、１０１ａと方向Ｂ１とがなす角度θ２は、３０°以上４０°以下であることが好ましい。

フィードブロック５１及び流延ダイ５２を構成するリップ板１００、１０１とインナーディッケル板１０８、１０９の材質は析出硬化型のステンレス鋼を用いることが好ましい。その熱膨張率が２×１０^-5 （℃^-1 ）以下の素材を用いることが好ましい。また、電解質水溶液での強制腐食試験でＳＵＳ３１６と略同等の耐腐食性を有するものを用いることもできる。さらに、その素材はジクロロメタン、メタノール、水の混合液に３ヵ月浸漬しても気液界面にピッティング（孔開き）が生じない耐腐食性を有するものを用いる。さらに、鋳造後１ヶ月以上経過したものを研削加工して流延ダイ５２を作製することが好ましい。これにより流延ダイ５２のスロット１０６内を流れる積層ドープ６１の面状が一定に保たれる。

スロット１０６並びに、主流路９３及び副流路９４ｂ、９４ｃ（図２参照）の内壁面の仕上げ精度は表面粗さで３μｍ以下、真直度はいずれの方向にも１μｍ／ｍ以下のものを用いることが好ましい。方向ＳＤにおけるスロット１０６の流路幅の平均値が、自動調整により０．５ｍｍ〜３．５ｍｍの範囲で調整可能なものを用いる。流延ダイ５２のリップ先端の接液部の角部分について、Ｒはスリット全巾に亘り５０μｍ以下のものを用いる。また、スロット１０６内でのドープ３９ａ〜３９ｃの剪断速度は１（１／秒）〜５０００（１／秒）となるように調整されているものを用いることが好ましい。

製膜中は、所定の温度に保持されるように温調機（例えば、ヒータ，ジャケットなど）を取り付けることが好ましい。また、流延ダイ５２にはコートハンガー型のものを用いることが好ましい。さらに、厚み調整ボルト（ヒートボルト）を所定の間隔で設けてヒートボルトによる自動厚み調整機構を取り付けることがより好ましい。ヒートボルトは予め設定されるプログラムによりポンプ（高精度ギアポンプが好ましい）３１ａ〜３１ｃ（図１参照）の送液量に応じてプロファイルを設定し製膜を行うことが好ましい。また、フイルム製造ライン１０中に、図示しない厚み計（例えば、赤外線厚み計）のプロファイルに基づく調整プログラムによってフィードバック制御を行っても良い。流延エッジ部を除いて任意の２点の厚み差は１μｍ以内に調整し、幅方向厚みの最小値で最も大きな差が３μｍ以下となるように調整することが好ましい。また、厚み精度は±１．５μｍ以下に調整されているものを用いることが好ましい。

次に、図１を用いて、フイルム製造ライン１０によりフイルム２２を製造する方法の一例を説明する。ストックタンク２０では、ジャケット２０ｃの内部に伝熱媒体を流すことによりドープ２４の温度を２５℃以上３５℃以下の範囲で略一定となるように調整するとともに、攪拌翼２０ｂの回転により常に均一化している。

ストックタンク２０に貯留するドープ２４と所定の中間層用添加液３４ａとから中間層用ドープ３９ａが調製される。調製された中間層用ドープ３９ａは、流路３０ａを介して、フィードブロック５１へ送られる。同様にして、ドープ２４と所定の添加液３４ｂとから裏面層用ドープ３９ｂが、ドープ２４と所定の添加液３４ｃとから表面層用ドープ３９ｃが、それぞれ調製される。調製された裏面層用ドープ３９ｂは、流路３０ｂを介して、調製された表面層用ドープ３９ｃは、流路３０ｃを介して、フィードブロック５１へ送られる。

図２のように、フィードブロック５１は、各ドープ３９ａ〜３９ｃが、方向ＳＤに層を成す積層ドープ６１をつくり、流延ダイ５２へ積層ドープ６１を送る。流延ドラム５４は、軸５４ａを中心に回転する。これにより、周面５４ａは、速度ＺＶで方向Ｚ１へ走行する。速度ＺＶは、４０ｍ／分以上２００ｍ／分以下であることが好ましく、４０ｍ／分以上１５０ｍ／分以下であることがより好ましい。流延ダイ５２は、積層ドープ６１を流延ドラム５４へ流延し、流延膜５３を形成する。その後、剥取ローラ５５は、自己支持性が発現した流延膜５３を、流延ドラム５４から湿潤フイルム６８として剥ぎ取る。

図１のように、流延ドラム５４から剥ぎ取った湿潤フイルム６８を、渡り部６５を介して、ピンテンタ１３へ案内する。ピンテンタ１３では、多数のピンを湿潤フイルム６８の両側端部に差し込んで固定した後、この湿潤フイルム６８を搬送する間に乾燥を促進させてフイルム２２とする。そして、まだ溶媒を含んでいる状態のフイルム２２をクリップテンタ１４に送り込む。このとき、クリップテンタ１４に送られる直前でのフイルム２２の残留溶媒量は、５０〜１５０重量％であることが好ましい。なお、本発明では、フイルム中に残留する溶媒量を乾量基準で示したものを残留溶媒量とする。また、その測定方法は、対象のフイルムからサンプルを採取し、このサンプルの重量をｘ、サンプルを乾燥した後の重量をｙとするとき、｛（ｘ−ｙ）／ｙ｝×１００で算出する。

クリップテンタ１４では、チェーンの動きによりエンドレスで走行する多数のクリップによりフイルム２２の両側端部を挟持した後、このフイルム２２を搬送する間に、乾燥を促進させる。このとき、対面するクリップ間距離（フィルム幅）を拡げてフイルム２２の幅方向に張力を付与することでフイルム２２を延伸する。このように、フイルム２２の幅方向への延伸処理により、フイルム２２中の分子が配向し、所望のレターデーション値をフイルム２２に付与することができる。

ピンテンタ１３及びクリップテンタ１４を出たフイルム２２は、耳切装置７０ａ、７０ｂによって両側端部が裁断される。両側端部が切断されたフイルム２２は、乾燥室１５と冷却室１６とを経由し、巻取室１７内の巻取機８４によって巻き取られる。また、耳切装置７０ａ、７０ｂによって切断された両側端部はクラッシャ７１ａ、７１ｂにより粉砕されて、ドープ調製用チップとなり再利用される。

巻取機８４で巻き取られるフイルム２２は、長手方向（流延方向）に少なくとも１００ｍ以上とすることが好ましい。また、フイルム２２の幅が６００ｍｍ以上であることが好ましく、１４００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることがより好ましい。また、本発明は、２５００ｍｍより幅広の場合にも効果がある。さらに、フイルム２２の厚みが２０μｍ以上または８０μｍ以下の薄いフイルムを製造する際にも本発明は適用される。

フイルム２２のうち、中間層用ドープ３０ａからなる中間層の厚さをＤｇ１とし、裏面層用ドープ３０ｂからなる裏面層の厚さをＤｇ２とすると、Ｄｇ２／Ｄｇ１が、０．０１以上０．５以下であることが好ましく、０．０４以上０．３以下であることがより好ましい。なお、表面層の厚さについては、上記式にて、表面層用ドープ３０ｃからなる裏面層の厚さをＤｇ２とすればよい。

図５及び図６のように、流延ダイ５２の流入口１０４には、フィードブロック５１の流出口９２より、各ドープ３９ａ〜３９ｃが、方向ＳＤに層を成す積層ドープ６１（図２参照）が供給される。流入口１０４に供給された積層ドープ６１は、スロット１０６を介して、流出口１０５から流出し、流延ドラム５４の周面５４ｂ上で流延膜５３（図２参照）となる。

スロット１０６に送られた積層ドープ６１は、第１スロット部１１１及び第１幅縮小スロット部１１６を介して、第２スロット部１１２に流入する。第２スロット部１１２を通過した積層ドープ６１は、第２幅縮小スロット部１１７及び第３スロット部１１３を介して、流出口１０５から流出する。

方向ＳＤにおける第１幅縮小スロット部１１６の流路幅は、第１スロット部１１１側から第２スロット部１１２側に向かうに従い狭くなるため、第１幅縮小スロット部１１６に流入した積層ドープ６１は、第１幅縮小スロット部１１６の内壁面１００ａ、１０１ａと接触する。積層ドープ６１は、内壁面１００ａ、１０１ａとの接触により、方向ＬＤに広がりながら第１幅縮小スロット部１１６を通過する。積層ドープ６１が第１幅縮小スロット部１１６を通過する際、積層ドープ６１は、内壁面１００ａ、１０１ａとの接触によりせん断応力を受け、このせん断応力により、積層ドープ６１に含まれるポリマー分子に歪が生じる。同様にして、方向ＳＤにおける第２幅縮小スロット部１１７の流路幅は、第２スロット部１１２側から第３スロット部１１３側に向かうに従い狭くなるため、第２幅縮小スロット部１１７に流入した積層ドープ６１は、第２幅縮小スロット部１１７の内壁面１００ａ、１０１ａと接触する。積層ドープ６１は、内壁面１００ａ、１０１ａとの接触により、方向ＬＤに広がりながら第２幅縮小スロット部１１７を通過する。積層ドープ６１が第２幅縮小スロット部１１７を通過する際、積層ドープ６１は、内壁面１００ａ、１０１ａとの接触によりせん断応力を受け、このせん断応力により、積層ドープ６１に含まれるポリマー分子に歪が生じる。

一定量のポリマー分子の歪が残留する積層ドープ６１が、流出口１０５から流出すると、流出口１０５から周面５４ｂまでにおける積層ドープ６１の流れが非定常な流れとなる。この非定常な流れは、いわゆるメルトフラクチャーを誘発し、結果として、流延膜５３の厚さムラ故障の原因となる。

この厚みムラ故障を誘発するポリマー分子の歪の発生を抑えるために、方向ＳＤ、ＬＤにおける流路幅が、上流側から下流側にかけて略均一のスロットを用いて積層ドープ６１を流延すると、スロットを通過の際、粘度の高い積層ドープ６１は、ＬＤ方向に十分に広がらないまま流出口１０５から流出してしまい、結果として、厚さムラ故障のほか、フイルム幅が均一でない幅ムラ等が生じてしまう。

本発明では、内壁面１００ａ、１０１ａが、対称面ＳＦに対して対称に形成されるため、スロット１０６を通過した積層ドープ６１において、方向ＳＤにおけるポリマー分子の歪の大きさの分布は、対称面ＳＦにおいて略対称となり、裏面層となる裏面層用ドープ３９ｂと、表面層となる表面層用ドープ３９ｃとにおけるポリマー分子の歪の大きさは、略等しくなる。そして、スリット１０６中での積層ドープ６１の方向ＳＤの幅は、ほとんどそのまま、各ドープ３９ａ〜３９ｃが膜厚方向に層をなす流延膜５３（図２参照）の膜厚となり、ポリマー分子の歪が残留する積層ドープ６１が流出口１０５から吐出されると、ポリマー分子の歪が回復し、この歪の回復量に応じて、流延膜５３の膜厚が厚くなる。したがって、内壁面１００ａ、１０１ａが、対称面ＳＦに対して対称なスリット１０６を通過した積層ドープ６１から形成された流延膜５３では、裏面層と表面層との膜厚が略等しくなる。この流延膜５３から所定の工程を経て、裏面層と表面層との膜厚が略等しいフイルム２２を製造することができる。

また、裏面層や表面層にはレターデーション制御剤や紫外線吸収剤やマット剤などの添加剤が含まれていることが多い。したがって、本発明によれば、これら裏面層と表面層との膜厚を略等しくすることができるため、シャークスキンの発生を抑え、フイルム全体としての光学特性が略均一であり、フイルムの表面が平滑のフイルムを効率よく製造することができる。

共流延方式の溶液製膜方法において、製膜速度を向上させるためには、流延ドラムの走行速度を向上させつつ、流延ダイからの積層ドープの流速を増大させる必要がある。このような高速の共流延方式の溶液製膜方法を行うと、積層ドープ６１が各幅縮小スロットの通過する際に生じるポリマー分子の歪の量が増大する。したがって、本発明の効果は、高速の共流延方式の溶液製膜方法において、より顕著に発揮される。

上記実施形態では、フィードブロック５１を流延ダイ５２の上流側に設けたが、本発明はこれに限られず、フィードブロック５１と流延ダイ５２とが一体となったものを流延ダイとして用いてもよい。なお、この場合には、フィードブロック５１の流路９３、９４ｂ、９４ｃ、或いはこれらに相当するものが、対称面ＳＦにおいて、面対称に形成されることが好ましい。

上記実施形態では、スロット１０６における積層ドープ６１の流れ方向Ｂ１の上流側から下流側に向かうに従って、方向ＳＤの流路幅が次第に狭くなるようにスロット１０６を形成したが、本発明はこれに限られず、方向Ｂ１の上流側から下流側に向かうに従って、方向ＳＤの流路幅が次第に広くなるような部分を含むスロットでもよい。

以下、本発明の第２の流延ダイについて説明する。上記実施形態と同一の部材や同一の部品などには、同一の符号を付し、その詳細の説明は省略する。図７に示すように、流延ダイ１５２は、第１スロット部１１１の上流側のスロット１０６に、第４スロット部１５４と、幅拡大スロット部１５５とを備える。

第４スロット部１５４は、方向ＳＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＳＤの流路幅よりも狭くなるように形成され、方向ＬＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＬＤの流路幅と略同一になるように形成される。幅拡大スロット部１５５は、方向ＳＤの流路幅が、第４スロット部１５４側から第１スロット部１１１側に向かうに従い次第に広くなるように形成され、方向ＬＤの流路幅が、第１スロット部１１１の方向ＬＤの流路幅と略同一になるように形成される。

第４スロット部１５４を流れる積層ドープ６１の送液方向Ｂ１と内壁面１００ａ、１０１ａとがなす角度θ３は、３０°以上４０°以下であることが好ましい。

積層ドープ６１が、第４スロット部１５４及び幅拡大スロット１５５を通過すると、上流側から下流側に向かうに従って方向ＳＤにおける流路幅が次第に広くなるため、積層ドープ６１に残留するポリマー分子の歪が緩和される。また、内壁面１００ａと内壁面１０１ａとは、面ＳＦに対して対称に形成されるため、内壁面１００ａと接触する裏面層用ドープ３９ｂにおけるポリマー分子の歪の緩和量と、内壁面１０１ａと接触する表面層用ドープ３９ｃにおけるポリマー分子の歪の緩和量とが略等しくなるため、結果として、フイルム２２の裏面層の膜厚と表面層の膜厚との差を抑えることができる。

第１幅縮小スロット部１１６や第２幅縮小スロット部１１７の内壁面１００ａ、１０１ａには、低摩擦層が略一様に形成されることが好ましい。内壁面１００ａ、１０１ａに低摩擦層を設けることにより、内壁面１００ａ、１０１ａとの接触により生じる、積層ドープ６１に含まれるポリマー分子の歪を低減することができる。なお、低摩擦層の厚さは、５μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。

低摩擦層の動摩擦係数は、第１スロット部１１１〜第３スロット部１１３及び第４スロット１５４を構成する内壁面１００ａ、１０１ａの動摩擦係数よりも低い。低摩擦層の動摩擦係数は、０．４以下であることが好ましく、０．２以下であることがより好ましい。本明細書における動摩擦係数は、(株)東洋精機製作所製、スラスト磨耗試験機を使用し、ASTM D-1894 に規定される方法に従って測定することができる。

厚みムラの抑制効果を十分に発現させるため、低摩擦層の表面粗さＲａは、０．０１μｍ以上３μｍ以下であることが好ましく、０．０１μｍ以上２μｍ以下であることがより好ましい。表面粗さＲａの測定方法は、ＪＩＳ Ｂ ０００１による。

低摩擦層の硬さＨｖは、３５０以上であることが好ましく、６００以上であることがより好ましい。硬さＨｖの測定方法は、ＪＩＳ Ｚ ２２４４による。

低摩擦層の形成方法は、特に限定されるものではないが、セラミックスコーティング、ハードクロムメッキ、窒化処理方法などが挙げられる。低摩擦層としてセラミックスを用いる場合には、研削でき気孔率が低く脆くなく耐腐食性が良く、かつ流延ダイ７１と密着性が良く、ドープと密着性がないものが好ましい。具体的には、タングステン・カーバイド（ＷＣ），Ａｌ₂ Ｏ₃ ，ＴｉＮ，Ｃｒ₂Ｏ₃ などが挙げられるが、特に好ましくはＷＣを用いることである。ＷＣコーティングは、溶射法や蒸着法等で行うことができる。また、低摩擦層として、フッ素コーティングを用いることも可能である。

なお、リップ板１００、１０１の先端、すなわち、流出口１０５の周縁に低摩擦層が形成されていることがより好ましい。

また、積層ドープ６１が流出口１０５から流出する前に、積層ドープ６１に含まれるポリマー分子の歪を回復させるため、第２スロット部１１２を構成する内壁面１００ａ、１０１ａに、または、第３スロット部１１３を構成する内壁面１００ａ、１０１ａに、低摩擦層を設けることが好ましい。また、低摩擦層の形成位置が流出口１０５から近くなるほど、流出口１０５から流出する際の積層ドープ６１に含まれるポリマー分子の歪を低減することができるため、好ましい。

また、積層ドープ６１が流出口１０５から流出する前に、スリット１０６中で積層ドープ６１に含まれるポリマー分子の歪を効率よく回復させるため、スロット１０６を構成する内壁面１００ａ、１０１ａ、１０８ａ、１０９ａに、低摩擦層を設けてもよい。

図８のように、内壁面１００ａ、１０１ａのうち第２スロット部１１２を構成する内壁面１１２ａと、内壁面１００ａ、１０１ａのうち第２幅縮小スロット部１１７を構成する内壁面１１７ａとの間に、上流湾曲接続面１７１が設けられる。上流湾曲接続面１７１は、内壁面１１２ａと内壁面１１７ａとを接合し、その接合部は断面略円弧状に面取りされている。また、内壁面１００ａ、１０１ａのうち第２幅縮小スロット部１１７を構成する内壁面１１７ａと、内壁面１００ａ、１０１ａのうち第３スロット部１１３を構成する内壁面１１３ａとの間に、下流湾曲接続面１７２が設けられる。下流湾曲接続面１７２は、内壁面１１３ａと内壁面１１７ａとを接合し、その接合部は断面略円弧状に面取りされている。

そして、各湾曲接続面１７１〜１７２の接合部は、曲率半径ＲＫが１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることが好ましく、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることが好ましい。

このように、上流湾曲接続面１７１や下流湾曲接続面１７２を設けることにより、スロット１０６の内壁面１１７ａと接する裏面層用ドープ３９ｂ及び表面層用ドープ３９ｃ二発生する第１法線応力差の増大が抑えられるため、積層ドープ６１がスロット１０６を通過する際、積層ドープ６１に含まれるポリマー分子が歪にくくなり、結果として、フイルム２２の裏面層と表面層との膜厚の差を抑えることができる。

そして、裏面層用ドープ３９ｂ及び表面層用ドープ３９ｃに発生する第１法線応力差は、０Ｐａ以上２００００Ｐａ以下とすることが好ましく、０Ｐａ以上１６０００Ｐａ以下とすることがより好ましく、０Ｐａ以上６０００Ｐａ以下とすることが好ましい。裏面層用ドープドープ３９ｂ及び表面層用ドープ３９ｃに発生する第１法線応力差が、２００００Ｐａを超えると、厚みムラ故障が発生するため好ましくない。加えて、同一のせん断ひずみ速度下では、裏面層用ドープ３９ｂ及び表面層用ドープ３９ｃに発生する第１法線応力差が、中間層用ドープ３９ａに発生する第１法線応力差よりも小さくなることにより、厚みムラ故障の発生がより確実に抑えられる。

上記実施形態では、第２スロット部１１２と第２幅縮小スロット部１１７とを接続する湾曲接続面１７１、及び第２幅縮小スロット部１１７と第３スロット部１１３とを接続する湾曲接続面１７２を設けたが、本発明はこれに限られず、第１スロット部１１１と第１幅縮小スロット部１１６との接合部や第１幅縮小スロット部１１６と第２スロット部１１２との接合部に湾曲面を設けてもよい。また、各スロット部１１１〜１１７の接合部のうち、すくなくともいずれか１つの接合部に湾曲接続面を設けてもよい。なお、湾曲接続面を形成する位置は、流出口１０５から近い方が好ましい。

上記実施形態では、第１スロット部１１１、第２スロット部１１２、第１幅縮小スロット部１１６、第２幅縮小スロット部１１７の方向ＬＤの流路幅が、上流側から下流側まで、略一定としたが、本発明はこれに限られず、方向ＬＤの流路幅が、上流側から下流側になるに従い、広くなってもよい。

上記実施形態では、内壁面１００ａ、１０１ａに、低摩擦層や湾曲接続面を設けたが、いずれも、対称面ＳＦに対して対称になるように設けることが好ましい。

複数層のフイルムを製造するために複数のドープを流延する方法としては、前述の同時積層共流延でも良いし、逐次流延でも良いし、双方を組み合わせても良い。同時積層共流延を行う際には、本実施形態のように流延ダイ５２にフィードブロック５１を取り付けても良いし、マルチマニホールド型流延ダイ（図示しない）を用いても良い。複層構造のフイルムは、共流延により多層からなるフイルムは、空気面側の層（エアー面層）の厚さ及び／又は支持体側の層の厚さがそれぞれ全体のフイルム厚さ中で０．５％〜３０％であることが好ましい。さらに、同時積層共流延を行う場合に、ダイスリットから支持体にドープを流延する際に、高粘度ドープを低粘度ドープで包み込まれることが好ましい。また、同時積層共流延を行う場合に、ダイスリットから支持体にドープを流延する際に内部のドープは、そのドープよりもアルコールの組成比が大きなドープで包み込まれることが好ましい。なお、本発明は、１つの種類のドープを流延する流延工程や溶液製膜方法に用いることができる。

上記実施形態では、流延ダイ５２にフィードブロック５１を取りつけて、同時積層共流延を行ったが、本発明はこれに限られず、フィードブロック５１を用いずに、１種類の流延ドープから流延膜を形成する形態にも適用することができる。

なお、本実施形態では、ポリマーフイルムとしてフイルム２２を用いて説明を行ったが、本発明は各種ポリマーフイルムに適用可能である。

上記実施形態では、支持体として、流延ドラム５４を用いたが、本発明はこれに限られず、ローラに掛け渡され、ローラの回転により、エンドレスに走行する流延バンドを用いてもよい。

上記実施形態では、冷却により流延膜５３に自己支持性を発現させたが、本発明はこれに限られず、流延膜５３に含まれる溶媒の乾燥により流延膜５３に自己支持性を発現させてもよい。

（ポリマー）
以下、本発明においてドープ２４を調製する際に使用する原料について説明する。

本実施形態では、ポリマーとしてセルロースアシレートを用いており、セルロースアシレートとしては、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）が特に好ましい。そして、セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基へのアシル基の置換度が下記式(Ｉ)〜(ＩＩＩ)の全てを満足するものがより好ましい。なお、以下の式(Ｉ)〜(ＩＩＩ)において、ＡおよびＢは、セルロースの水酸基中の水素原子に対するアシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、Ｂは炭素原子数が３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０重量％以上が０．１〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。ただし、本発明に用いることができるポリマーは、セルロースアシレートに限定されるものではない。
（Ｉ） ２．５≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ） ０≦Ａ≦３．０
（ＩＩＩ） ０≦Ｂ≦２．９

セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位および６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位および６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化の場合を置換度１とする）を意味する。

全アシル化置換度、すなわち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６の値は、２．００〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）の値は、０．２８以上が好ましく、より好ましくは０．３０以上であり、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２は、グルコース単位における２位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合（以下、２位のアシル置換度と称する）であり、ＤＳ３は、グルコース単位における３位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合（以下、３位のアシル置換度と称する）であり、ＤＳ６は、グルコース単位において、６位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合（以下、６位のアシル置換度と称する）である。

本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでもよいし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていてもよい。２種類以上のアシル基を用いるときには、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位および６位の水酸基がアセチル基により置換されている度合いの総和をＤＳＡとし、２位，３位および６位の水酸基がアセチル基以外のアシル基によって置換されている度合いの総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、２．２２〜２．９０であることが好ましく、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。

また、ＤＳＢは０．３０以上であることが好ましく、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢは、その２０％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましく、より好ましくは２５％以上であり、３０％以上がさらに好ましく、特には３３％以上であることが好ましい。さらに、セルロースアシレートの６位におけるＤＳＡ＋ＤＳＢの値が０．７５以上であり、さらに好ましくは、０．８０以上であり、特には０．８５以上であるセルロースアシレートも好ましく、これらのセルロースアシレートを用いることで、より溶解性に優れた溶液（ドープ）を作製することができる。特に、非塩素系有機溶媒を使用すると、優れた溶解性を示し、低粘度で濾過性に優れるドープを作製することができる。

セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター，パルプのどちらから得られたものでもよい。

本発明におけるセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でもよく、特に限定はされない。例えば、セルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステル、芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどが挙げられ、それぞれ、さらに置換された基を有していてもよい。これらの好ましい例としては、プロピオニル基、ブタノイル基、ペンタノイル基、ヘキサノイル基、オクタノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、トリデカノイル基、テトラデカノイル基、ヘキサデカノイル基、オクタデカノイル基、ｉｓｏ−ブタノイル基、ｔ−ブタノイル基、シクロヘキサンカルボニル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などが挙げられる。これらの中でも、プロピオニル基、ブタノイル基、ドデカノイル基、オクタデカノイル基、ｔ−ブタノイル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などがより好ましく、特に好ましくは、プロピオニル基、ブタノイル基である。

（溶媒）
ドープを調製する溶媒としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）およびエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明においてドープとは、ポリマーを溶媒に溶解または分散させることで得られるポリマー溶液または分散液を意味している。

上記のハロゲン化炭化水素の中でも、炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フイルムの機械的強度および光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶媒全体に対して２〜２５重量％が好ましく、より好ましくは、５〜２０重量％である。アルコールとしては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノール、あるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。

最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない溶媒組成も検討されている。この場合には、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素数１〜１２のアルコールが好ましく、これらを適宜混合して用いる場合もある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶媒が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステルおよびアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステルおよびアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−および−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も溶媒として用いることができる。

セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４０］段落から［０１９５］段落に記載されており、これらの記載も本発明に適用することができる。また、溶媒および可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤（ＵＶ剤），光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤，剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されており、これらの記載も本発明に適用することができる。

次に、本発明の実施例を説明する。なお、以下の各実施例において、実施例１、２は本発明の実施様態の例であり、比較例１、２は、実施例１、２に対する比較実験である。また、各実施例の説明は実施例１で詳細に行い、実施例２及び比較例１、２については、実施例１と同じ条件の箇所の説明は省略する。

次に、本発明の実施例１について説明する。フイルム製造に使用したポリマー溶液（ドープ）の調製に際しての配合を下記に示す。

［ドープの調製］
ドープ２４の調製に用いた化合物の処方を下記に示す。
セルローストリアセテート（置換度２．８） ８９．３重量％
可塑剤Ａ（トリフェニルフォスフェート） ７．１重量％
可塑剤Ｂ（ビフェニルジフェニルフォスフェート） ３．６重量％
の組成比からなる固形分（溶質）を
ジクロロメタン ８０重量％
メタノール １３．５重量％
ｎ−ブタノール ６．５重量％
からなる混合溶媒に適宜添加し、攪拌溶解してドープ２４を調製した。なお、ドープ２４のＴＡＣ濃度は略２３重量％になるように調整した。ドープ２４を濾紙（東洋濾紙（株）製，＃６３ＬＢ）にて濾過後さらに焼結金属フィルタ（日本精線（株）製０６Ｎ，公称孔径１０μｍ）で濾過し、さらにメッシュフイルタで濾過した後にストックタンク２０に入れた。

［セルローストリアセテート］
なお、ここで使用したセルローストリアセテートは、残存酢酸量が０．１重量％以下であり、Ｃａ含有率が５８ｐｐｍ、Ｍｇ含有率が４２ｐｐｍ、Ｆｅ含有率が０．５ｐｐｍであり、遊離酢酸４０ｐｐｍ、さらに硫酸イオンを１５ｐｐｍ含むものであった。また６位水酸基の水素に対するアセチル基の置換度は０．９１であった。また、全アセチル基中の３２．５％が６位の水酸基の水素が置換されたアセチル基であった。また、このＴＡＣをアセトンで抽出したアセトン抽出分は８重量％であり、その重量平均分子量／数平均分子量比は２．５であった。また、得られたＴＡＣのイエローインデックスは１．７であり、ヘイズは０．０８、透明度は９３．５％であった。このＴＡＣは、綿から採取したセルロースを原料として合成されたものである。以下の説明において、これを綿原料ＴＡＣと称する。

ＵＶ剤ａ（２（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール），ＵＶ剤ｂ（２（２’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−アミルフェニル）５−クロルベンゾトリアゾール）とレターデーション制御剤（N,N’−di−M−トリル−N’’−p−メトキシフェニル−１、３、５−トリアジン−２、４、６−トリアミン）と混合溶媒Ａとドープ２４とを混合させた中間層用添加液３４ａをストックタンク３３ａに入れた。中間層用添加液３４ａをポンプ３５ａにより中間層用ドープ流路３０ａ中のドープ２４に送液した。そして、静止型混合器３８ａを介して混合させて、中間層用ドープ３９ａとした。

マット剤である二酸化ケイ素（粒径１５ｎｍ モース硬度 約７）を０．０５重量部と剥離促進剤であるクエン酸エステル混合物（クエン酸，クエン酸モノエチルエステル，クエン酸ジエチルエステル，クエン酸トリエチルエステル）を０．００６重量部とドープ２４と混合溶媒Ａとを溶解または分散させて裏面層用添加液３４ｂとした。裏面層用添加液３４ｂをストックタンク３３ｂに入れ、ポンプ３５ｂを用いて所望の流量で裏面層用ドープ流路３０ｂ中に流れているドープ２４に送液した。そして、静止型混合器３８ｂで混合させて、裏面層用ドープ３９ｂを作製した。添加量は、全固形分濃度が２０．５重量％、フイルム形態でマット剤濃度が０．０５重量％、フイルム形態で剥離促進剤濃度が０．０３重量％となるように行った。

二酸化ケイ素０．０５重量部を混合溶媒Ａに分散させて表面層用添加液３４ｃを調製しストックタンク３３ｃに入れた。表面層用添加液３４ｃをポンプ３５ｃにより表面層用ドープ流路３９ｃ中のドープ２４に送液した。そして、静止型混合器３８ｃを介して混合させて、表面層用ドープ３９ｃを作製した。添加量は、全固形分濃度が２０．５重量％、フイルム形態でマット剤濃度が０．１重量％となるように行った。

フイルム製造ライン１０を用いてフイルム２２を製造した。ポンプ３１ａ〜３１ｃは、ストックタンク２０内のドープ２４を、流路３０ａ〜３０ｃを介して、各ドープ３９ａ〜３９ｃとして、フィードブロック５１へ送った。フィードブロック５１は、各ドープ３９ａ〜３９ｃから積層ドープ６１をつくり、積層ドープ６１を流延ダイ５２へ送った。積層ドープ６１の温度を略３４℃に調整するために、流延ダイ５２にジャケット（図示しない）を設けてジャケット内に供給する伝熱媒体の温度を調節した。

流延ドラム５４としては、ステンレス製の円柱であり、その周面５４ｂにクロムメッキ及び鏡面加工処理が施されたものを用いた。制御部６０の制御の下、軸５４ａの駆動により、流延ドラム５４を回転させた。周面５４ｂの走行方向Ｚ１における速度ＺＶを、略１００ｍ／分とした。制御部６０の制御の下、温調装置３６は、流延ドラム５４の周面５４ｂの温度ＴＳを、略−１０℃に調節した。流延ドラム５４上での乾燥雰囲気における酸素濃度は５ｖｏｌ％に保持した。なお、この酸素濃度を５ｖｏｌ％に保持するために空気を窒素ガスで置換した。

フィードブロック５１及び流延ダイ５２は、フイルム２２の厚みが８０μｍとなるように、そして、中間層、裏面層、表面層の膜厚がそれぞれ６４μｍ，８μｍ，８μｍとなるように、積層ドープ６１を周面５４ｂ上に流延し、周面５４ｂに流延膜５３を形成した。減圧チャンバ６３は、流延ビードの背面側を減圧し、流延ビードの長さが２０ｍｍ〜５０ｍｍとなるように流延ビードの前面側と背面側との圧力差を調節した。流延ダイ５２に設けられるスロット１０６は、内壁面１００ａ、１０１ａと、内壁面１０８ａ、１０９ａとから構成した。スロット１０６には、第２スロット１１２と第２幅縮小スロット１１７と第３スロット１１３とを設けた。θ２は３５°であった。一対の内壁面１００ａ、１０１ａは、対称面ＳＦに対して対称に形成した。

冷却により、流延膜５３が自己支持性を有するものとなった後、剥取ローラ５５を用いて、流延ドラム５４から流延膜５３を湿潤フイルム６８として剥ぎ取った。剥取不良を抑制するために流延ドラム５４の速度に対して剥取速度（剥取ローラドロー）は１００．１％〜１１０％の範囲で適切に調整した。

剥取ローラ５５は、湿潤フイルム６８に渡り部６５に案内した。渡り部６５では、温度が略６０℃の乾燥空気を湿潤フイルム６８にあてて、湿潤フイルム６８を乾燥させた。渡り部６５に設けられるローラ６６は、湿潤フイルム６８をピンテンタ１３に案内した。

ピンテンタ１３では、湿潤フイルム６８に乾燥空気をあてて、湿潤フイルム６８を乾燥した。この乾燥により湿潤フイルム６８からフイルム２２を得た。その後、ピンテンタ１３は、フイルム２２をクリップテンタ１４に送った。ピンテンタ１４では、フイルム２２に乾燥空気をあてて、フイルム２２を乾燥しながら、幅方向に延伸処理を施した。

ピンテンタ１３、クリップテンタ１４から送られたフイルム２２の両側縁部を、耳切装置７０ａ、７０ｂにて、切断した。ＮＴ型カッターを用いて、幅が略５０ｍｍの両側縁部をカットし、カットされた側縁部はカッターブロワ（図示しない）によりクラッシャ７１ａ、７１ｂに風送して平均８０ｍｍ² 程度のチップに粉砕した。このチップは、再度ドープ調製用原料としてＴＡＣフレークと共にドープ製造の際の原料として利用した。

耳切装置７１ｂを経たフイルム２２を、乾燥室１５に送った。耳切装置７１ｂから送り出されたフイルム２２の残留溶媒量が乾量基準で略１０重量％であった。乾燥室１５では、フイルム２２に温度が略１４０℃の乾燥空気をあてて、フイルム２２を乾燥した。

そして、フイルム２２を巻取室１７に搬送した。巻取室１７は、室内温度２８℃，湿度７０％に保持した。巻取室１７の内部には、フイルム２２の帯電圧が−１．５ｋＶ〜＋１．５ｋＶとなるようにイオン風除電装置（図示しない）も設置した。最後に、プレスローラ８３で所望のテンションを付与しつつ、フイルム２２を巻取室１７内の巻取ローラ８４で巻き取った。

流延ダイ１５２を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、フイルムを製造した。
θ１〜θ３は、それぞれ、３５°、３５°、３５°であった。

（比較例１）
リップ板１０１に代えて、方向Ｂ１との角度θ２が０°である内壁面を備えるリップ板を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、フイルムを製造した。

（比較例２）
リップ板１０１に代えて、方向Ｂ１との角度θ１〜θ３が、それぞれ、０°、０°、０°である内壁面を備えるリップ板を用いたこと以外は、実施例２と同様にして、フイルムを製造した。

〔評価〕
各実施例及び比較例における製造条件及び評価結果を、表１に纏めて示す。なお、表１中の評価結果は、裏面層と表面層との膜厚差の評価結果であり、評価方法は次のとおりである。

得られたフイルムのうち、フイルム全体の膜厚ＴＨｘ、裏面層の膜厚ＴＨｂ及び表面層の膜厚ＴＨｃを測定し、フイルムの幅方向に沿って、ΔＴＨ（＝１００×｜ＴＨｂ−ＴＨｃ｜／ＴＨｘ）の値の変化を調べた。そして、各実施例及び比較例で得られたフイルムについてのΔＴＨの最大値を、以下基準で評価した。
ΔＴＨが１．３％未満・・裏面層と表面層との膜厚が略等しい（◎）。
ΔＴＨが１．３％以上２％未満・・裏面層と表面層との膜厚に若干の差が生じている（○）。
ΔＴＨが２％以上・・裏面層と表面層との膜厚に、大きな差が生じている（×）。

フイルム全体の膜厚Ｔｘは、次のようにして測定した。フイルムを２５℃，６０ＲＨ％下でアンリツ電気社製、電子マイクロメーターを用いて、幅方向に沿って、４０箇所を測定した。そして、これらの測定値の平均値を、フイルム全体の膜厚Ｔｘとした。また、裏面層の膜厚ＴＨｂ及び表面層の膜厚ＴＨｃは、次のようにして測定した。蛍光Ｘ線分析装置を用いて、幅方向に沿って４０箇所について、裏面層及び表面層におけるマット剤（二酸化ケイ素）の含有濃度をそれぞれ測定した。そして、所定の膜厚に形成された裏面層や表面層のマット剤の含有濃度を基準として、マット剤の含有濃度の測定値から裏面層及び表面層の厚みを換算した。

上記実施例より、本発明により、対称面ＳＦに対して面対称な内壁面１００ａ及び１０１ａを有する流延ダイを用いることにより、裏面層と表面層との膜厚が略等しいフイルムを製造することができる。

フイルム製造ラインの概要を示す説明図である。 流延ダイ及び流延ドラムの概要を示す斜視図である。 フィードブロックの断面図である。 ディストリビューションピンの概要を示す斜視図である。 方向ＬＤに直交する断面における第１の流延ダイの断面図である。 方向ＳＤに直交する断面における第１の流延ダイの断面図である。 方向ＬＤに直交する断面における第２の流延ダイの断面図である。 方向ＬＤに直交する断面における第２幅縮小スロット部近傍の断面図である。 共流延方式の溶液製膜方法の概要を示す説明図である。 フイルムの幅方向における、裏面層及び表面層の膜厚の分布を示すプロット図である。

符号の説明

１０ フイルム製造ライン
１２ 流延室
１３ ピンテンタ
１４ クリップテンタ
１５ 乾燥室
１６ 冷却室
１７ 巻取室
２０ ストックタンク
２２ フイルム
２４ ドープ
５１ フィードブロック
５２、１５２ 流延ダイ
５３ 流延膜
５４ 流延ドラム
５４ａ 軸
５４ｂ 周面
５５ 剥取ローラ
６１ 積層ドープ
９３ 主流路
９４ｂ、９４ｃ 副流路
１０６ スリット
１１１〜１１３ 第１〜第３スロット部
１１６〜１１７ 第１〜第２接続スロット部
１１１ａ〜１１３ａ、１１６ａ、１１７ａ 内壁面
１７１〜１７２ 湾曲接続面
１５４ 第４スロット部

Claims (14)

1. ポリマーと溶媒とを含むドープが供給される供給口と、前記ドープが流延ビードとして流延される流出口と、前記供給口と前記流出口とを連通するスロットとを有し、前記ドープの流出方向に直交する断面における前記スロットの形状が、第１方向に長い１対の第１内壁面と前記第１方向に直交する第２方向に短い１対の第２内壁面とによりスリット状に形成されている流延ダイにおいて、
   前記スロットは、
   前記流出口の上流側に設けられる第１スロット部と、
   前記第１スロット部の上流側に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第１スロット部のものよりも広い第２スロット部と、
   前記第１スロット部と前記第２スロット部との間に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第１スロット部から前記第２スロット部に向かうに従い次第に広くなる第１接続スロット部とを有し、
   前記各スロット部は、前記流出口の前記第２方向における中心を通り前記１対の第１内壁面に平行な中心面を対称面として、前記１対の第１内壁面が面対称に形成されることを特徴とする流延ダイ。
2. 前記第２スロット部の上流側に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第２スロット部のものよりも広い第３スロット部と、
   前記第２スロット部と前記第３スロット部との間に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第２スロット部から前記第３スロット部に向かうに従い次第に広くなる第２接続スロット部とを有し、
   前記第３スロット部及び前記第２接続スロット部の前記１対の第１内壁面が前記中心面を対称面として、面対称に形成されていることを特徴とする請求項１記載の流延ダイ。
3. 前記第２スロット部の上流側に設けられ、前記１対の第１内壁面間の流路幅が前記第２スロット部のものよりも広い第１ポケット部を備え、
   前記第１ポケット部は、前記第２スロット部との間で下流側から順に、
   前記１対の第１内壁面間の流路幅が上流側に向かうに従い次第に広くなる縮流内壁面と、
   前記１対の第１内壁面間の流路幅が変わらないポケット本体内壁面と、
   前記１対の第１内壁面間の流路幅が上流側に向かうに従い次第に狭くなる拡流内壁面と、
   を有すること特徴とする請求項１または２記載の流延ダイ。
4. 前記１対の第１内壁面に沿って副ドープを、前記副ドープ間に主ドープを積層状に供給する積層ドープ供給部を有することを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の流延ダイ。
5. 前記第１接続スロット部の前記第１内壁面と前記第１スロット部の前記第１内壁面との接合部、または、前記第１接続スロット部の前記第１内壁面と前記第２スロット部の前記第１内壁面との接合部を断面略円弧状に面取りした第１湾曲接続面を備えることを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項記載の流延ダイ。
6. 前記第２接続スロット部の前記第１内壁面と前記第２スロット部の前記第１内壁面との接合部、または、前記第２接続スロット部の前記第１内壁面と前記第３スロット部の前記第１内壁面との接合部を断面略円弧状に面取りした第２湾曲接続面を備えることを特徴とする請求項２ないし５のうちいずれか１項記載の流延ダイ。
7. 前記第１湾曲接続面、または前記第２湾曲接続面の曲率半径が、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項５または６記載の流延ダイ。
8. 前記第１接続スロット部の前記１対の第１内壁面に形成され、前記第１スロット部及び前記第２スロット部の前記１対の第１内壁面よりも動摩擦係数が小さい低摩擦層を備えることを特徴とする請求項１ないし７のうちいずれか１項記載の流延ダイ。
9. 前記第２接続スロット部の前記１対の第１内壁面に形成され、前記第２スロット部及び前記第３スロット部の前記１対の第１内壁面よりも動摩擦係数が小さい低摩擦層を備えることを特徴とする請求項２ないし８のうちいずれか１項記載の流延ダイ。
10. 請求項１ないし９のうちいずれか１項記載の流延ダイと、
    前記流延ダイに前記ドープを供給するドープ供給装置と、
    前記流延ビードを支持して流延膜を形成する支持体と、
    前記支持体上で自己支持性を有するに至った前記流延膜を、前記支持体から剥ぎ取り乾燥する乾燥装置とを備えることを特徴とする溶液製膜設備。
11. 前記支持体の走行速度が４０ｍ／分以上であることを特徴とする請求項１０記載の溶液製膜設備。
12. 前記支持体が、軸を中心に回転するドラムであることを特徴とする請求項１０または１１記載の溶液製膜設備。
13. 請求項１ないし９のうちいずれか１項記載の流延ダイを用いて、前記ドープを支持体上に流出し、
    前記支持体上の前記ドープから前記流延膜を形成し、
    前記支持体から剥ぎ取った前記流延膜を乾燥することを特徴とする溶液製膜方法。
14. 前記ドープは、セルロースアシレートを含むことを特徴とする請求項１３記載の溶液製膜方法。

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