CN104890171A - 流延装置、溶液制膜设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制高速制造薄型薄膜时的台阶形不均故障的产生及空气卷入的流延装置、溶液制膜设备及方法。从模具向行走的传送带流延浓液，从而该模具与传送带之间形成液珠。液珠在传送带上流延而成为流延膜。以往，液珠与传送带相接的流延线的液珠的宽度方向的中央部弯曲成凸状，在该弯曲的顶部附近发生空气的卷入。相对于模具，在传送带行走方向的上游侧，与液珠的两端部相对配置吸引箱，并从吸引口吸引空气。通过液珠的两端部被吸引，流延线仅在流延膜的两端部附近弯曲，且中央部呈直线状。由于中央部呈直线状，因此可抑制空气向液珠的卷入。

Description

流延装置、溶液制膜设备及方法

技术领域

本发明涉及一种流延装置、溶液制膜设备及方法。

背景技术

具有透光性的聚合物薄膜(以下，称为薄膜)广泛用作偏光板的保护膜、相位差膜、防反射膜、透明导电性薄膜等光学薄膜。对于薄膜要求厚度的均匀性和光学特性。以往，主要使用厚度为80μm以上的较厚的薄膜，但近年来，薄膜的薄膜化需求增强，要求厚度为40μm以下的薄膜。

作为薄膜的制造方法有溶液制膜方法。溶液制膜方法为例如通过如下来获得薄膜的方法，即，通过流延模具(以下，称为模具)在金属制滚筒或传送带等流延支承体(以下，称为支承体)上流延将聚合物溶解于溶剂的溶液(以下，称为浓液(dope))来形成流延膜，使其干燥并剥取。

为了提高溶液制膜的生产率，由浓液形成流延膜的流延工序的高速化成为课题。为了高速进行流延工序，例如若提高支承体的行走速度，则在行走的支承体的表面附近产生随着支承体的行走而与支承体一同向行走方向流动的风(以下，称为携带风)。若该携带风吹到从模具至支承体的浓液即液珠上，则液珠振动。该液珠的振动导致在所制造的薄膜的流延方向(支承体的行走方向)上产生厚度不均。因此，例如在日本专利公开2004-114328号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的上游侧靠近液珠而配置挡风物，从而防止携带风进入液珠。

并且，在日本专利公开2010-158834号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的上游侧靠近液珠而配置减压腔室，通过负压吸引携带风，从而抑制由携带风引起的液珠的振动。同样地，在日本专利公开2000-79621号公报中，设置有用于吸引液珠的吸引箱。该吸引箱划分为第1负压区域～第3负压区域而分别进行减压。在第1负压区域中遍及液珠的整个宽度方向而吸引液珠的周边，在第2负压区域中吸引液珠的宽度方向两侧部的周边，在第3负压区域中从液珠的两侧方向吸引。通过该吸引，抑制空气卷入到流延膜与支承体之间(以下，有时称为空气卷入)，且使液珠与支承体相接的流延线稳定化。

若使用吸引箱等吸引装置，则从液珠的宽度方向端部的侧面发生空气的卷入，若提高流延速度(支承体的行走速度)，则被卷入的空气变成气泡而出现在流延膜上，由于该气泡，在延伸时会产生破裂等，生产率下降。因此，在日本专利公开平10-264185号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的下游侧配置喷吹喷嘴或加压箱，从而抑制空气的卷入。

但是，随着近年来的平板显示器的大型化和轻量化，也增进了所制造的薄膜的薄型化。为了更高效地制造薄型薄膜，除了在制膜后的延伸工序中通过延伸来形成为较薄之外，优选在液珠阶段就将厚度设为较薄，还对液珠的薄型化的改良进行了研究。

为了使液珠变薄，例如不改变模具吐出口的液珠厚度，而是提高支承体的行走速度来使液珠将要与支承体相接之前的厚度变薄，并且，将模具的吐出口的液珠厚度设为比以往薄。但是，若较薄地流延液珠，则即使在至今为止的液珠厚度上没有问题，液珠也容易受到与液珠变薄的量相应程度的携带风的影响。

例如，通过日本专利公开2004-114328号公报中记载的挡风物截断伴随支承体的移动的携带风时，若将液珠设为较薄，则在宽度方向上出现较长的厚度不均。该厚度不均在支承体行走方向上发生变化，因此变成在行走方向上变化成波形的台阶形不均故障而出现，要求改善。另外，台阶形不均是指在流延方向上产生的液珠的振动引起的周期性厚度不均，若恶化，则变得可以通过之后说明的评价方法来目视确认。

日本专利公开2010-158834号公报中记载的减压腔室中，随着液珠的薄型化，液珠因通过负压产生的气压振动而变得易振动，出现同样的面状故障。并且，由于液珠的振动，易发生空气的卷入。若在支承体与液珠之间残留有空气，则空气变成气泡而进入在支承体上流延浓液而形成的流延膜与支承体之间。该空气的卷入有时会在流延膜干燥之后从支承体剥下时发展成流延膜的破裂。此时变成流延停止，在开始流延之前需要大量的时间和劳力。因此，要求抑制空气的卷入。

通过日本专利公开2000-79621号公报中记载的吸引箱，将内部划分为3个负压区域来吸引液珠的周边时，由于分为3个负压区域来进行吸引，因此吸引箱本身变成复杂的结构，此外还需要细微地调节各负压区域的压力设定。并且，由于具有3个负压区域，因此需要3个鼓风机，导致设备成本增加。而且，若变成支承体的行走速度为50m/min(m/分钟)以上的高速流延，则随着液珠的薄型化，由于由3个负压区域进行的吸引，很难稳定地维持流延线，导致发生空气卷入。

日本专利公开平10-264185号公报中记载的喷吹喷嘴或加压箱中，相对于液珠配置于支承体行走方向的下游侧，能够将液珠压回上游侧即模具侧，与此相应地，液珠与支承体相接的线路即流延线得以稳定。但是，为了将液珠压回上游侧，需要提高喷吹喷嘴或加压箱的风压，随着液珠的薄型化，液珠变得易振动。由于该振动，在宽度方向上出现较长的厚度不均，这在支承体行走方向上发生变化，因此成为在行走方向上变化成波形的台阶形不均故障。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够在溶液制造薄型薄膜时通过实现高速流延来提高生产率，而且能够抑制发生由台阶形不均故障和空气卷入引起的流延停止等的流延装置、溶液制膜设备及方法。

本发明的流延装置具备行走的支承体、模具、吸引箱及吸引口。模具从吐出口朝向支承体吐出浓液。模具与支承体之间形成液珠并且在支承体的表面形成流延膜。吸引箱吸引液珠的宽度方向两端部与支承体之间的空气。吸引箱在比液珠更靠支承体行走方向的上游侧与液珠的宽度方向两端部对置设置。吸引口形成于吸引箱的与液珠对置的面。吸引口为沿液珠的宽度方向较长的狭缝状。

优选液珠的宽度方向上的吸引口的长度变更自如。

优选从液珠的端部至吸引口的偏移长度变更自如。

优选还具备隔板及吸引管。隔板在吸引箱内配置成沿液珠的宽度方向移动自如。吸引管从被隔板隔开的吸引箱内的吸引室吸引空气。

优选具有多个隔板，并且至少一个隔板具有吸引管，通过吸引管从被多个隔板隔开的吸引室吸引空气。

优选具备前述隔板及前述吸引管，通过隔板的移动来改变吸引口在液珠的宽度方向上的长度。

优选具备前述隔板及前述吸引管，通过隔板的移动来改变偏移长度。

优选具有遮挡行走的支承体的携带风的挡风部件，且挡风部件在吸引箱之间靠近支承体而配置。

优选挡风部件在与支承体对置的面具有遮挡由支承体的行走引起的携带风的迷宫式密封件。

优选吸引箱在与支承体对置的面具有遮挡由支承体的行走引起的携带风的迷宫式密封件。

本发明的溶液制膜设备具备行走的支承体、模具、吸引箱、吸引口及干燥装置。模具从吐出口朝向支承体吐出浓液。模具与支承体之间形成液珠并且在支承体的表面形成流延膜。吸引箱吸引液珠的宽度方向两端部与支承体之间的空气。吸引箱在比液珠更靠支承体行走方向的上游侧与液珠宽度方向的两端部对置设置。吸引口形成于吸引箱的与液珠对置的面。吸引口为沿液珠的宽度方向较长的狭缝状。干燥装置从支承体剥下流延膜并进行干燥。

本发明的溶液制膜方法具备流延膜形成步骤(A步骤)及干燥步骤(B步骤)。A步骤中，利用流延装置形成流延膜。流延装置具有支承体、模具、吸引箱及吸引口。模具从吐出口朝向行走的支承体吐出浓液。模具与支承体之间形成液珠并且在支承体的表面形成流延膜。吸引箱吸引液珠的宽度方向两端部与支承体之间的空气。吸引箱在比液珠更靠支承体行走方向的上游侧与液珠宽度方向的两端部对置设置。吸引口形成于吸引箱的与液珠对置的面。吸引口为沿液珠的宽度方向较长的狭缝状。B步骤中，从支承体剥下流延膜并进行干燥。

优选A步骤中在液珠与支承体之间形成润湿扩展提高层。

优选润湿扩展提高层通过共流延，相对于主流层至少形成于支承体侧。

优选润湿扩展提高层的粘度低于主流层。

优选润湿扩展提高层预先涂布于流延前的支承体。

发明效果

根据本发明，能够抑制台阶形不均故障的产生并且高效地制造薄型薄膜。

附图说明

图1是表示本发明的溶液制膜设备的概要的侧视图。

图2是表示流延装置的模具周围的概要的立体图。

图3是表示第1实施方式中的模具、液珠、吸引箱之间的关系的纵剖视图。

图4是将吸引箱的倾斜板的一部分切开表示的立体图。

图5是将吸引箱的倾斜板的一部分切开表示的俯视图。

图6是表示吸引箱相对于液珠的配置的主视图。

图7是表示通过吸引箱吸引液珠的两端部的状态下的液珠的流延线和流延膜的俯视图。

图8是表示没有吸引液珠的两端部的以往类型的液珠的流延线和流延膜的俯视图。

图9是表示挡风块的迷宫式密封件的侧视图。

图10是表示挡风块的迷宫式密封件的另一实施方式的剖视图。

图11是表示挡风块的迷宫式密封件的另一实施方式的剖视图。

图12是切开倾斜板的一部分来表示用一个转动轴移动多个隔板的另一实施方式的吸引箱的俯视图。

图13是表示具有挡风板及吸引箱的挡风板一体型吸引箱的仰视图。

图14是表示通过共流延形成润湿扩展提高层的另一实施方式的概要的侧视图。

图15是表示通过涂布装置在支承体上形成润湿扩展膜的另一实施方式的概要的侧视图。

具体实施方式

如图1所示，溶液制膜设备10从上游侧依次具备流延装置11、拉幅机12、分切机14、干燥装置13、分切机15及卷取装置16，且该些部件串联连接。

流延装置11具备环状传送带(支承体)23、导向辊24、模具25、吸引箱(吸引部件)26A、26B、挡风块(挡风部件)27、导管(膜干燥机)28A、28B、28C及剥离辊29。传送带23形成为环状，并作为金属制流延支承体发挥功能。该传送带23绕挂在第1滚筒21和第2滚筒22的周面。第1滚筒21通过马达(省略图示)旋转驱动，传送带23沿传送带行走方向Y行走。另外，以下说明中，有时将传送带行走方向Y称为Y方向。导向辊24从里面侧支承上侧的传送带23。

如图2所示，在第1滚筒21的上方配置有模具25。模具25相对于行走中的传送带23的表面，将浓液30作为液珠31连续从吐出口25A(参考图3)流出。由此，在传送带23上形成流延膜32。浓液30在未图示的浓液制造生产线上，例如将纤维素酰化物溶解于溶剂来制造，并供给至模具25。

相对于来自模具25的液珠31，在传送带23的行走方向(支承体行走方向)Y上的上游配置有一对吸引箱26A、26B。

如图1所示，为了提高制造速度，朝向剥离辊29的流延膜32通过第2滚筒22及传送带23被加热。并且，在流延位置中，传送带23通过第1滚筒21被冷却，从而抑制过度的升温。为此，第1滚筒21、第2滚筒22具有未图示的温度调节装置。

导管28A、28B、28C沿着传送带23的行走路线排列配置，并吹出干燥风。温风控制器(未图示)独立控制干燥风的温度、湿度、流量。通过干燥风的温度及流量的控制、及基于第1滚筒21、第2滚筒22本身的温度调节装置的温度控制，调节流延膜32的温度，溶剂从流延膜32蒸发，进行流延膜32的干燥。并且，流延膜32固化至能够以拉幅机12传送的程度(流延膜形成工序)。

相对于模具25，在传送带行走方向Y的上游侧，在第1滚筒21的周面附近配置有剥离辊29。剥离辊29在从传送带23剥下包含溶剂的状态的已进行干燥的流延膜32时，支承流延膜32。剥取的流延膜32作为薄膜33被引导至拉幅机12。

拉幅机12中，通过夹子34把持薄膜33的两侧部，并从导管36送出干燥风，由此传送薄膜33并且赋予薄膜宽度方向X的张力，从而扩大薄膜33的宽度。另外，使薄膜33、流延膜32、液珠31的各宽度方向相互一致，因此均以符号X表示它们的宽度方向，在本说明书中有时称为X方向。

分切机14切除包括由拉幅机12的夹子34引起的保持痕迹在内的两侧部。被切除两侧部的薄膜33被送至干燥装置13。

干燥装置13中，薄膜33卷绕在多个辊38上而被传送。干燥装置13内部气氛的温度或湿度等通过未图示的温度调节机调节，在薄膜33被传送期间，溶剂从薄膜33蒸发。薄膜33通过拉幅机12及干燥装置13，由此溶剂从薄膜33蒸发，从而被干燥(干燥工序)。

经过干燥装置13的薄膜通过分切机15被切除两侧部以例如成为目标产品宽度等。被切除两侧部的薄膜33通过卷取装置16卷取成卷状。通过本发明获得的卷状薄膜33A尤其能够用作相位差膜或偏光板保护膜。

另外，可在干燥装置13的薄膜行走下游侧设置第2拉幅机(未图示)。第2拉幅机为与拉幅机12相同的结构，具有夹子及导管，通过夹子保持薄膜33而向宽度方向延伸。延伸时，通过控制延伸倍率和温度条件等，可获得具有所希望的光学特性的薄膜33。设置第2拉幅机时，优选将分切机15配置于第2拉幅机的下游来切除包括由第2拉幅机的夹子产生的保持痕迹在内的两侧部。

如图2所示，吸引箱26A、26B靠近液珠31而配置于流延膜32的宽度方向(液珠31的宽度方向)X的两端部。吸引箱26A、26B经由支架40安装于模具25。吸引箱26A、26B的传送带对置面形成为相对于传送带的周面保持平行的平滑面。

如图4所示，配置于液珠31的宽度方向X的一端部的吸引箱26A中通过侧板44A、44B堵住由水平板43A、垂直板43B、倾斜板43C构成的三角筒体43的两端，从而形成为三角柱状。水平板43A配置成与传送带23大致平行。并且，倾斜板43C配置成与模具25的前端面平行。

如图3所示，在水平板43A与倾斜板43C之间设有狭缝状间隙。通过该间隙形成有吸引箱26A的吸引口45。

如图4所示，在吸引箱26A内，第1隔板46、第2隔板47安装成相对于液珠31的宽度方向X移动自如。第1隔板46及第2隔板47形成为与侧板44A、44B相同的形状且稍小于侧板44A、44B，且能够在吸引箱内滑动。第1隔板46及第2隔板47上利用导向环51、内螺纹环52安装有第1转动轴53及第2转动轴54。被这些第1隔板46与第2隔板47所夹的吸引箱空间成为吸引室48。第1转动轴53、第2转动轴54通过轴承50以旋转自如的方式安装于侧板44A、44B。

图5中，第1转动轴53中仅在其右半部分形成有外螺纹部53A，而左半部分成为导向部53B。外螺纹部53A上螺合有内螺纹环52的内螺纹部52A，导向部53B上嵌合有导向环51的导向孔51A。由此，如图4所示，若向顺时针方向转动第1转动轴53，则第1隔板46在X方向上向右移动，若向逆时针方向转动第1转动轴，则第1隔板46向左侧移动。同样地，如图5所示，从背面(垂直板43B)侧观察时，第2转动轴54中仅在左半部分形成有外螺纹部54A，而右半部分成为导向部54B。并且，外螺纹部54A上螺合有内螺纹环52的内螺纹部52A，导向部54B上嵌合有导向环51的导向孔51A，因此通过第2转动轴54的转动，第2隔板47在X方向上向右或向左移动。

如图6所示，通过第1隔板46及第2隔板47的X方向的移动，能够改变吸引口45的X方向上的长度(吸引口在液珠31的宽度方向X上的长度(以下，简称为吸引口长度))L1及从液珠31的端部至吸引口45为止的X方向上的偏移量(以下，称为偏移长度)OS。吸引口长度L1例如为10mm以上50mm以下。并且，偏移长度OS例如为5mm以上30mm以下。由此，吸引箱26A、26B能够从液珠的两端朝向中央部吸引例如10mm以上50mm以下的范围。另外，优选根据浓液30的种类或粘度、液珠31的厚度、宽度或长度等来适当变更偏移长度OS。并且，通过变更吸引口长度L1，能够调节吸引风量，因此例如如日本专利公开2000-79621号公报所示，相对于第1～第3负压区域产生不同的负压，因此无需设置3个鼓风机，能够抑制设备成本。

如图5所示，第2隔板47上通过凸缘部55A安装有吸引管55。吸引管55贯穿位于外侧的侧板44B的贯穿环56，连结于外部的吸引源，例如连结于图4所示的抽吸泵57。

配置于液珠31的宽度方向X的另一端部的吸引箱26B也构成为与吸引箱26A相同。但是，设置于吸引箱26B的第1转动轴53、第2转动轴54和吸引管55在液珠31的宽度方向X的中央部，朝向吸引箱26A的第1转动轴53、第2转动轴54、吸引管55的突出侧的相反侧的外侧突出。

本实施方式中，如图7所示，相对于液珠31，在传送带行走方向Y的上游侧，靠近液珠31的两端部而配置有吸引箱26A、26B。通过这些吸引箱26A、26B，在液珠两端部区BSA，液珠31的两端部被吸引。因此，液珠31与传送带23所接触的流延线BLN与沿传送带行走方向Y以凸状弯曲的以往类型的流延线BLO(图中以双点划线表示)相比，流延线BLN如虚线所示，在超过液珠两端部区BSA的液珠中央部区BCA中成为直线状。因此，不会如图8所示的以往类型的流延线BLO那样，空气从弯曲成凸状的顶点部区BTA进入且空气在流延膜32与传送带23之间成为气泡32A，空气卷入的发生得到抑制。

图8表示从平面观察的以往的流延线BLO。流延线BLO中，液珠105的宽度方向X的中央成为顶点T1，通过高速制膜成为沿传送带行走方向Y变长的大致圆弧形。因此，空气从弯曲成凸状的顶点部区BTA进入，在传送带23与流延膜106之间沿传送带行走方向Y产生气泡32A。相对于此，本实施方式中，如图7所示，通过液珠两端部区BSA被吸引，流延线BLN如实线所示，在超过液珠两端部区BSA的液珠中央部区BCA成为直线状。因此，不会如图8所示的以往类型，空气从弯曲成凸状的顶点部区BTA进入且在传送带23与流延膜106之间成为气泡32A，空气卷入的发生得到抑制。因此，流延膜32不会因气泡32A而残留在剥离辊29(参考图1)，不会产生残留引起的流延停止等。

但是，根据薄膜33的薄膜化的要求，需要使传送带23例如在50m/min以下的范围内以高速行走。通过该传送带23的高速行走，传送带23会携带空气，在传送带23的表面产生携带风58。为了排除该携带风58的影响，本实施方式中，如图2所示，在一对吸引箱26A、26B之间配置有挡风块27。挡风块27在液珠31的上游侧遮挡携带风58，因此携带风58不会吹到液珠31。挡风块27经由支架41安装于模具25。

在传送带23与挡风块27之间设有间隙G(参考图9)，挡风块27不会与行走的传送带23接触。因此，未被完全遮挡的携带风58的下层部分通过传送带23与挡风块27之间的间隙G。

在传送带23的行走速度为30m/min左右的以往的情况下，如图8所示，伴随传送带23的行走的携带风对液珠105带来的影响较少，很少会发展成流延膜106的台阶形不均等面状故障。另一方面，随着薄膜化的要求，若将传送带23的行走速度设为50m/min以上的高速，则随着该高速化，液珠105也变薄，变得易受携带风的影响。以往，通过日本专利公开2004-114328号公报中记载的挡风块遮挡携带风，但是通过挡风块与传送带23之间的间隙的携带风的下层部分在通过挡风块之后会产生漩涡。通过本发明人的实验确认到该漩涡的产生及由漩涡引起的对液珠105赋予的振动等。

因此，如图9所示，在挡风块27的传送带对置面27A上形成有迷宫式密封件59。迷宫式密封件59具有第1密封部61、第2密封部62及第3密封部63。第1密封部61在Y方向上具有3个密封单元65，所述密封单元具有与X方向平行的齿(板状突起)65A及在Y方向上与该齿65A相邻且与X方向平行的槽65B。齿65A的高度H1与槽65B的深度相同，优选为1mm以上20mm以下，更优选为3mm以上15mm以下。

优选齿65A的Y方向长度(宽度)L2为1mm以上10mm以下，更优选为1mm以上5mm以下。并且，优选槽65B的Y方向长度(宽度)L31为3mm以上30mm以下，更优选为3mm以上20mm以下。

将第1密封部61中的各密封单元65的排列个数设为3个，但是只要是3个以上即可。另外，密封单元65的排列个数并未特别限定上限，但若从设备效率的观点出发，优选为10个以下，更优选为5个以下。

第2密封部62、第3密封部63也与第1密封部61相同地具有3个密封单元66、67。密封单元66、67具有齿66A、67A及槽66B、67B。各密封单元66、67中，槽66B、67B的宽度L32、L33与第1密封部61的槽宽L31相比，在Y方向上随着朝向液珠31而逐渐变宽，除这一点不同之外，为相同结构。

通过将各密封单元65～67的槽65B～67B的宽度及深度、槽65B～67B与齿65A～67A或者齿65A～67A与槽65B～67B的反复次数设为一定范围，能够抑制由从挡风块27的传送带对置面27A与传送带23之间的间隙G进入的携带风58引起的特定频带的气压振动。该见解通过改变迷宫式密封件59的齿65A～67A及槽65B～67B的尺寸和它们在Y方向上的反复次数(排列个数)的各种实验获得。即，进行各种实验获得如下见解：将槽65B～67B的宽度L31～L33及深度H1、槽65B～67B与齿65A～67A或齿65A～67A与槽65B～67B的反复次数设为一定范围，由此可有效抑制特定频带的气压振动。由此，能够通过迷宫式密封件59抑制或截断携带风58的特定频带的气压振动。

优选间隙G为1mm以上3mm以下。通过设为1mm以上，与小于1mm时相比，挡风块27的传送带对置面27A不会与传送带23接触。该接触由于传送带23的厚度误差或第1滚筒21的周面误差等而产生。并且，通过设为3mm以下，与超过3mm时相比，携带风58一定会通过间隙G，能够降低气压振动。

槽65B、66B、67B的深度H1(齿65A、66A、67A的高度H1)优选为1mm以上20mm以下，更优选为3mm以上15mm以下。通过设为1mm以上，与小于1mm时相比，能够在槽65B～67B内产生风紊流，压力损失上升，挡风效果得到提高。通过设为20mm以下，与超过20mm时相比，气压振动的降低效果不会饱和。若使槽65B～67B的深度超过20mm，则与加工负载的增大相比无法获得更好的效果。

槽65B、66B、67B的宽度L31、L32、L33优选为3mm以上30mm以下，更优选为3mm以上20mm。通过设为3mm以上，与小于3mm时相比，能够在槽65B、66B、67B内产生风紊流，压力损失上升，气压振动的降低效果得到提高。通过设为30mm以下，与超过30mm时相比，气压振动的降低效果不会饱和。若槽65B～67B的长度超过30mm，则与加工负载的增大相比无法获得更好的效果。

优选槽65B、66B、67B的宽度L31、L32、L33结合由携带风58引起的气压振动中的欲截断的频带而决定。例如，通过将槽宽L31、L32、L33设为3mm，能够截断气压振动中的频带为100Hz以上且小于150Hz的气压振动。并且，通过将槽宽L31、L32、L33设为10mm，能够截断气压振动中的频带为50Hz以上且小于100Hz的气压振动。而且，通过将槽宽L31、L32、L33设为20mm，能够截断小于50Hz的气压振动。另外，欲截断的气压振动中的频带与槽宽L31、L32、L33并不限定于上述关系。能够通过改变槽宽L31、L32、L33来改变欲截断的气压振动中的频带。这些关系能够通过形成改变了槽宽以及槽深H1等的齿及槽来进行实验，以此特定具有截断效果的频带。

优选齿65A、66A、67A的宽度L2为1mm以上20mm以下。通过设为1mm以上，与小于1mm时相比，不会变得强度不足，耐久性得到提高。通过设为20mm以下，与超过20mm时相比，能够抑制迷宫式密封件59的Y方向长度变得过长，能够有效地降低气压振动。

另外，迷宫式密封件59的各槽65B～67B的两端部可以开放也可以封闭。但是，若使其开放，则进入各槽65B～67B的风更易从两端部逃出，因此相对于液珠31的挡风效果变高。

进行表示齿65A、66A、67A的高度(槽深)H1；齿65A、66A、67A的宽度L2；槽65B、66B、67B的宽度L31～L33；间隙(clearance)G；及能够截断的气压振动之间的关系的实验。表1是表示实验结果的一览表。实验1中，将槽深H1设为3mm，将齿宽L2设为1mm，将槽宽L31设为3mm，将槽宽L32设为10mm，将槽宽L33设为20mm，将单元个数设为3个时，针对0Hz以上且小于50Hz、50Hz以上且小于100Hz及100Hz以上且小于150Hz的气压振动的频带求出所截断的频率峰值。所截断的频率峰值以与不具备迷宫式密封件的实验5中截断的频率峰值0.8Pa的比较来表示，实验1中所截断的频率峰值为0.4Pa。实验2与实验1相比改变了槽深H1，由此测定槽深H1对截断效果带来的影响。实验3、4与实验1相比改变了单元个数，由此测定单元个数较少时(实验3)及单元个数较多时(实验4)对截断效果带来的影响。另外，通过如下来获得能够截断的频带及频率峰值，即，通过将气压振动捡拾器及放大器连接于FFT分析器(Rion公司制SA-01)，不在模具附近的流延宽度左右及中央部共3处流延的状态下以脱机运行状态进行实测。另外，表1的“槽”的“宽度L3”栏中，密封部编号“1”栏表示槽宽L31，密封部编号“2”栏表示槽宽L32，密封部编号“3”栏表示槽宽L33。

[表1]

表1的实验1中，所截断的频率峰值为0.4Pa，可知具有携带风58的截断效果。相对于此，在从实验1的3mm的槽深H1成为10mm的槽深H1的实验2中，所截断的频率峰值为0.1Pa，可知截断效果最高。并且，将单元个数从实验1的“3”变更为“2”的实验3中，所截断的频率峰值为0.6Pa，截断效果低于实验1。而且，将单元个数设为“5”的实验4中，所截断的频率峰值为0.4，与单元个数为3个时相同。因此，可知单元个数优选为3个以上5个以下。并且，在没有迷宫式密封件的实验5中，所截断的频率峰值为0.8Pa，可知没有截断效果。

图10表示具有向Y方向调换密封单元65～67的齿65A～67A及槽65B～67B的第1密封部71～第3密封部73的第2实施方式的迷宫式密封件69。如此，即使向Y方向调换齿65A～67A及槽65B～67B，也能够截断特定频带的振动。另外，对于与上述实施方式相同的构成部件标注相同符号并省略重复说明。可适当改变第1密封部61、71、第2密封部62、72、第3密封部63、73的在传送带行走方向Y上的排列顺序。各槽65B～67B沿与传送带行走方向Y正交的X方向形成，但槽65B～67B的形成方向只要与传送带行走方向Y交叉即可，交叉角度并不限定于直角。图10中，对设置有迷宫式密封件69的挡风块标注符号70。

图11表示比第1实施方式的迷宫式密封件59中的槽更浅地形成迷宫式密封件74的各槽75B～77B的另一实施方式的挡风块78的第1密封部81～第3密封部83。第1密封部81～第3密封部83具有在Y方向上连续形成的3个密封单元75～77。图11中，对密封单元75、76、77的各齿标注符号75A、76A、77A。即使各槽75B～77B的深度H1比第1实施方式浅，也能够截断特定频带的振动。

上述各实施方式中，基于吸引箱26A、26B的吸引压力BP为-3000Pa以上-150Pa以下，优选为-1000Pa以上-500Pa以下。流延装置11具备容纳模具25、第1滚筒21、第2滚筒22、传送带23等的腔室(未图示)。基于吸引箱26A、26B的吸引压力BP为在该腔室内将吸引箱26A、26B的上方附近的压力作为基准的值，但也可以是将模具25的上方附近的压力作为基准的值。若超过-150Pa，则无法充分进行携带风58的引导。并且，若小于-3000Pa，则液珠本身也由于负压而变形，导致面状恶化。

上述各实施方式中，相对于模具25在传送带行走方向Y的上游侧设置有挡风块27、70、78，但是还可以进一步在挡风块27、70、78的上游侧设置减压腔室。减压腔室吸引挡风块27、70、78的上游侧区的空气来对该区内进行减压，抑制携带风58进入液珠31。优选基于该减压腔室的吸引压力小于吸引箱26A、26B的吸引压力。即，优选减压腔室内的压力大于吸引箱26A、26B的各个内部的压力。并且，可使用减压腔室来代替挡风块27、70、78。

上述实施方式的吸引箱26A、26B利用第1转动轴53、第2转动轴54这两个转动轴分别移动第1隔板46、第2隔板47。但是，如图12所示，也可以设为利用一个转动轴90及一个导向轴91移动第1隔板46、第2隔板47的吸引箱89来代替上述方式。转动轴90经由轴承50以转动自如的方式安装于吸引箱89的两侧板44A、44B。导向轴91通过固定环94固定于两侧板44A、44B。另外，对于与上述实施方式相同的构成部件标注相同符号并省略重复说明。

转动轴90经由内螺纹环92、93贯穿一对隔板即第1隔板46、第2隔板47而被安装。转动轴90从中央朝向两端部具有相互反方向的外螺纹部90A、90B。一个内螺纹环92具有与外螺纹部90A螺合的内螺纹部92A，另一个内螺纹环93具有与外螺纹部90B螺合的内螺纹部93A。导向轴91经由导向环51贯穿一对隔板即第1隔板46、第2隔板47而被安装。导向环51具有滑动自如地保持导向轴91的导向孔51A。

通过使转动轴90向一侧旋转，一对隔板即第1隔板46、第2隔板47经由内螺纹环92、93而靠近，通过向另一侧旋转，第1隔板46、第2隔板47分离。能够由此改变吸引室48的宽度。因此，浓液30的粘度和液珠31的厚度发生变化时，能够通过转动转动轴90来将吸引箱89的吸引口45的宽度设为最佳。通过改变吸引口45的宽度，不改变鼓风机的负压就能够调节吸引风量。另外，使第1隔板46、第2隔板47平行移动的机构不限于上述机构，可以使用各种机构。并且，隔板不限于一对，也可以设置3个以上。此时，将各隔板分别设置成沿液珠的宽度方向X移动自如，并将在吸引箱内被各隔板隔开的吸引室设为两个以上，由此能够更仔细地设定吸引风量和吸引区。

上述实施方式中，将吸引管55设置于第2隔板47，但如图12所示，也可以将吸引管95设置于构成吸引箱89的垂直板43B来代替上述方式。并且，虽省略了图示，但可将吸引管95设置于构成吸引箱89的倾斜板43C。

另外，虽省略图示，但可使用位移机构将吸引箱26A、26B、89安装成沿液珠31的宽度方向移动自如。此时，能够根据浓液30的粘度等对液珠31的两端部的吸引区进行微调。并且，当液珠31的宽度发生变化时也能够轻松应对。

上述实施方式中，将挡风块27配置于吸引箱26A、26B之间，但如图13所示，可代替上述方式将挡风板96设为比流延膜32(参考图2)长，例如设为与模具25的X方向长度相同。在该挡风板96的传送带对置面96A的例如整个面上沿X方向较长地形成有迷宫式密封件59。并且，在挡风板96的上表面的X方向的两端部配置吸引箱26A、26B。此时，能够通过迷宫式密封件59减少来自吸引箱26A、26B与传送带23之间的间隙的携带风的气压振动。并且，可在第1实施方式的吸引箱26A、26B的传送带对置面形成与挡风块27相同的迷宫式密封件59，以代替挡风板96与吸引箱26A、26B的一体类型。

上述例子中，携带风是伴随行走的传送带23的流延有浓液30的一侧表面(传送带面)的携带风，但并不限于此。即，携带风只要是伴随行走的行走体的表面的携带风即可。因此，上述迷宫式密封件59、69、74可设置于靠近与传送带23不同的行走体的表面而配置的挡风部件。作为行走体，有代替传送带23用作支承体且向周向旋转的滚筒。并且，作为行走体的另一例，有在通过涂布制造多层结构的薄膜时在表面涂布涂布液来形成涂膜的长条物(网)。

随着薄膜化和高速流延的要求，将传送带23的行走速度设为100m/min以上，例如设为150m/min的更高速时，因基于吸引箱26A、26B的液珠31的端部吸引及基于挡风块27的挡风，有时也会产生空气卷入。因此，进行进一步分析的结果发现，在超过100m/min的高速制膜中，若组合考虑到液珠31向传送带23润湿扩展的速度的空气携带抑制方法，则可获得良好的结果。具体而言，通过提高液珠31在传送带23上润湿扩展的速度(润湿扩展速度)，在超过100m/min例如150m/min左右的高速制膜中，空气卷入得到抑制。

如图14所示，作为提高液珠111在传送带23上的润湿扩展速度的方法的一例，利用模具110，通过共流延形成由多个层111a～111c(图14中，对主流层标注符号111a，对润湿扩展提高层标注符号111b，对第2表层标注符号111c)构成的液珠111，使液珠111与传送带23接触的一侧的第1表层(支承体侧表层)的粘度低于主流层111a，从而形成润湿扩展提高层111b。在此，主流层111a是指单位体积中的固形物的质量最多的层。固形物是指聚合物和添加剂等构成薄膜33的成分。从提高润湿扩展速度的角度出发，仅降低第1表层即润湿扩展提高层111b的粘度即可。但是，若仅在主流层111a的单侧设置低粘度的润湿扩展提高层111b，则导致仅在一侧形成低粘度的表层，厚度方向的整个层结构变得不均衡，对液珠111和流延膜32作用有不均匀的力。因此，优选在主流层111a的与支承体侧相反的一侧设置与润湿扩展提高层111b相同组成且相同厚度的第2表层111c。另外，润湿扩展提高层111b及第2表层111c并不一定要相同，也可以改变组成或厚度。

进行共流延时，可使用安装有进料头113的模具110，也可使用省略图示的多歧管式模具。使用进料头113时，向进料头113供给主流层111a用的第1浓液115及润湿扩展提高层111b和第2表层111c用的第2浓液116。作为第2浓液116可使用与第1浓液115相同的溶剂且稀释第1浓液115而降低粘度的浓液。另外，也可以仅通过溶剂构成第2浓液116来代替稀释浓液。

关于共流延时的润湿扩展提高层111b和第2表层111c相对于主流层111a的厚度，例如总厚度为25μm时，主流层为19μm，润湿扩展提高层111b和第2表层111c为3μm。并且，将主流层111a的粘度设为Vm，并将润湿扩展提高层111b的粘度设为Vs时，优选0.01×Vm≤Vs≤0.1×Vm。作为粘度的调整方法，改变作为浓液中的固形物的例如纤维素酰化物的浓度、纤维素酰化物的分子量或者分子量分布，或者改变所使用的溶剂的种类、混合溶剂时的比例。另外，粘度(Pa·s)例如通过流变仪测定。

如图15所示，除了共流延之外，作为提高液珠31的润湿扩展速度的方法，可在流延之前，通过涂布装置120在传送带23上涂布湿润扩展提高液123，从而在传送带23与液珠31之间形成润湿扩展提高层124。作为润湿扩展提高液123，可使用稀释浓液或用于浓液的溶剂等，涂布厚度例如为20μm以上200μm以下(干燥之前的湿润厚度(WET厚度))。作为涂布方法，能够以均匀的厚度涂布于传送带23的表面即可，可以采用淋涂方式、喷墨方式或其他各种涂布方法。

并且，虽省略图示，但作为提高液珠的润湿扩展速度的方法，可以加热安装于模具前端的模具唇的支承体侧表层所通过的一侧的唇部，从而降低液珠在支承体侧表层部分的粘度。另外，除了分别使用这些提高液珠的润湿扩展速度的方法之外，还可适当组合这些方法来提高润湿扩展速度。

本发明的溶液制膜设备中，优选作为产品的薄膜33的宽度为600mm以上，更优选为1400mm以上2500mm以下。另外，薄膜33的宽度大于2500mm时也有效。并且，优选薄膜33的膜厚为10μm以上80μm以下，更优选为10μm以上40μm以下。成为薄膜33的原料的聚合物并没有特别限定，例如有纤维素酰化物或环状聚烯烃等。

通过本发明制造的薄膜中的树脂为透明的热可塑性树脂(聚合物)。本实施方式中，作为热可塑性树脂使用纤维素酰化物。

在纤维素酰化物中，优选使用酰基对纤维素的羟基的取代度满足下述公式(1)～(3)的TAC(三醋酸纤维素)。公式(1)～(3)中，A及B表示酰基对纤维素的羟基中的氢原子的取代度，A表示乙酰基的取代度，B表示碳原子数为3～22的酰基的取代度。另外，纤维素酰化物的总酰基取代度Z为通过A+B求出的值。

(1)2.7≤A+B≤3.0

(2)0≤A≤3.0

(3)0≤B≤2.9

并且，还优选代替TAC或除了TAC之外还使用酰基对纤维素的羟基的取代度满足下述公式(4)的DAC(二醋酸纤维素)。

(4)2.0≤A+B＜2.7

从延迟的波长分散性观点出发，优选满足公式(4)并且DAC的乙酰基的取代度A及碳数为3以上22以下的酰基的取代度的总计B满足下述公式(5)及(6)。

(5)1.0＜A＜2.7

(6)0≤B＜1.5

构成纤维素的β-1，4进行键合的葡萄糖单元在2位、3位及6位具有游离的羟基(氢氧基)。纤维素酰化物为通过碳数为2以上的酰基对这些羟基的一部分或全部进行酯化的聚合体(聚合物)。酰基取代度表示纤维素的羟基分别针对2位、3位及6位进行酯化的比例(将100％酯化的情况设为取代度1)。

另外，对于纤维素酰化物的详细内容，记载于日本专利公开2005-104148号的[0140]段落至[0195]段落。这些记载也能够适用于本发明中。并且，对于溶剂及可塑剂、劣化防止剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟控制剂、染料、消光剂、剥离剂、剥离促进剂等添加剂，也同样详细记载于日本专利公开2005-104148号的[0196]段落至[0516]段落。

[实施例]

为了确认基于本发明的吸引箱26A、26B的效果而进行了实验。将该结果示于表2。

[表2]

实施例1～4中，如图2～图4所示，使用吸引箱26A、26B，在传送带行走方向Y的上游侧吸引液珠31的两端部，如图7所示，实现流延线BLN的直线化。并且，使用挡风块27排除由携带风58引起的液珠31的振动的影响。通过图1所示的溶液制膜设备10，在传送带23上形成流延膜32之后，剥下该流延膜32作为薄膜33，经由拉幅机12、干燥装置13制造薄膜33，并将薄膜33卷取成卷状。薄膜33由TAC构成，实施例1中将宽度设为200mm，实施例2中设为400mm，实施例3中设为800mm，各实施例1～3中将厚度设为10μm、30μm、60μm。实施例1～3中，将传送带23的行走速度设为50m/min。实施例4中相对于实施例1，将传送带23的行走速度设为100m/min，除此以外，均设为与实施例1相同。

比较例1中，去掉了实施例1的吸引箱26A、26B及挡风块27，除此以外，以与实施例1相同的条件制造了薄膜33。

比较例2中，设置了图1中以双点划线表示的减压腔室35来代替实施例1的吸引箱26A、26B及挡风块27，除此以外，以与实施例1相同的条件制造了薄膜33。

从表2明确可知，实施例1～3中，将传送带23的行走速度设为50m/min时，未发生空气卷入，也未产生台阶形不均。并且，实施例4中，将传送带23的行走速度设为100m/min时，未发生空气卷入，也未产生台阶形不均。相对于此，比较例1中虽未产生台阶形不均，但发生了空气卷入。并且比较例2中虽未发生空气卷入，但产生了台阶形不均。

另外，表2中，未发生空气卷入时，将空气卷入的发生评价为“A”，当发生空气卷入时，评价为“B”。并且，未产生台阶形不均时，将台阶形不均的产生评价为“A”，当产生台阶形不均时，评价为“B”。

关于空气卷入，通过高速摄像机拍摄包含流延线的流延膜32，将该拍摄的图像放大至5～15倍并显示于显示器。即使卷入有很少的空气，也判定为B，未卷入有空气时视作具有气泡抑制效果，判定为A。另外，空气卷入通过对显示器的目视确认来进行。但是，还能够对显示于显示器的图像进行图像处理并通过图案识别等来自动识别空气的卷入，从而进行判定。

通过如下来评价台阶形不均，即，以规定尺寸对所获得的薄膜进行采样，将所采样的薄膜载置于透明薄膜放置台，利用距离薄膜上方1500mm～2000mm的点光源(USHIO制氙气灯)对薄膜进行照明，将透过薄膜及薄膜放置台的光投影到观察台上，确认从观察台的透射光能否目视观察到台阶形不均。通过目视评价确认到台阶形不均时判定为B，未确认到台阶形不均时判定为A。另外，以相对于观察台在45°以上60°以下的范围内倾斜薄膜放置台的状态下进行了评价。

根据以上结果可知，能够获得台阶形不均的改善效果及气泡的抑制效果。并且，根据这些结果可推测，在实际制造条件下，即，将宽度例如设为1400mm以上2500mm以下或超过该范围，将厚度设为10μm以上60μm以下时，也能够获得相同效果。

为了确认基于本发明的吸引箱26A、26B的效果以及基于设置在液珠111与传送带23之间的润湿扩展提高层111b的效果而进行了实验。将该结果示于表3。

[表3]

实施例5～7中，相对于实施例1～3，将图1所示的溶液制膜设备10的模具25替代为图14所示的模具110，通过共流延在传送带23上形成流延膜32，且将传送带23的行走速度设为150m/min，除此以外，设为与实施例1～3相同。即，实施例5相对于实施例1，设置润湿扩展提高层111b，将传送带23的行走速度设为150m/min，除此以外，均与实施例1相同，实施例6同样相对于实施例2，除了润湿扩展提高层111b及将传送带23的行走速度变更为150m/min以外，均与实施例2相同，实施例7同样相对于实施例3，与实施例6同样地进行了变更，除此以外，均与实施例3相同。如图14所示，共流延使用具有进料头113的模具110，在主流层111a的两侧形成由稀释浓液构成的润湿扩展提高层111b及第2表层111c。薄膜33由TAC构成，实施例5中将宽度设为200mm，实施例6中设为400mm，实施例7中设为800mm，在各实施例5～7中，将厚度设为10μm、30μm、60μm。主流层111a的粘度为20Pa·s，润湿扩展提高层111b与第2表层111c的粘度为0.5Pa。

比较例3中，去掉了实施例5的吸引箱26A、26B及挡风块27，除此以外，以与实施例5相同的条件制造了薄膜33。

比较例4中，设置了图1中以双点划线表示的减压腔室35来代替实施例5的吸引箱26A、26B及挡风块27，除此以外，以与实施例5相同的条件制造了薄膜33。

从表3明确可知，实施例5～7中，即使在将传送带23的行走速度设为150m/min时，既未发生空气卷入，也未产生台阶形不均。相对于此，比较例3及比较例4中发生了空气卷入。

另外，表3中的各评价与表2中的评价相同。根据以上结果可知，即使传送带的行走速度超过100m/min，为150m/min时，通过共流延在液珠111形成润湿扩展提高层111b，由此能够获得台阶形不均的改善效果及气泡的抑制效果。并且，根据这些结果可推测，即使在实际制造条件下，即，将宽度例如设为1400mm以上2500mm以下或超过该范围，且将厚度设为10μm以上60μm以下时，也能够获得相同效果。并且，虽然并未确认基于共流延的润湿扩展提高层111b以外的、基于如图15所示的涂布装置120的润湿扩展提高层124或通过对传送带侧液珠所接触的模具唇进行加热来低粘度化的润湿扩展提高层的效果，但是可以推测，与基于共流延的润湿扩展提高层的低粘度化同样地，表层被低粘度化，且在100m/min以上150m/min以下时，也能够获得相同效果。并且可以推测，即使在超过150m/min的传送带23的行走速度下，通过在液珠31与传送带23之间形成润湿扩展提高层111b、124，只要液珠31的润湿扩展速度比传送带23的行走速度快，就同样能够获得台阶形不均的改善效果及气泡的抑制效果。

Claims (20)

1.一种流延装置，其具备：

行走的支承体；

模具，从吐出口朝向所述支承体吐出浓液，所述模具与所述支承体之间形成液珠并且在所述支承体的表面形成流延膜；

吸引箱，吸引所述液珠的宽度方向两端部与所述支承体之间的空气，所述吸引箱在比所述液珠更靠所述支承体行走方向的上游侧与所述液珠宽度方向的两端部对置设置；及

吸引口，形成于所述吸引箱的与所述液珠对置的面，所述吸引口为沿所述液珠的宽度方向较长的狭缝状。

2.根据权利要求1所述的流延装置，其中，

所述液珠的宽度方向上的所述吸引口的长度变更自如。

3.根据权利要求1或2所述的流延装置，其中，

从所述液珠的端部至所述吸引口的偏移长度变更自如。

4.根据权利要求1或2所述的流延装置，其中，

所述流延装置还具备：

隔板，在所述吸引箱内配置成沿所述液珠的宽度方向移动自如；及

吸引管，从被所述隔板隔开的所述吸引箱内的吸引室吸引空气。

5.根据权利要求3所述的流延装置，其中，

所述流延装置还具备：

隔板，在所述吸引箱内配置成沿所述液珠的宽度方向移动自如；及

吸引管，从被所述隔板隔开的所述吸引箱内的吸引室吸引空气。

6.根据权利要求4所述的流延装置，其中，

所述流延装置具有多个所述隔板，至少一个所述隔板具有所述吸引管，通过所述吸引管从被多个所述隔板隔开的所述吸引室吸引所述空气。

7.根据权利要求5所述的流延装置，其中，

所述流延装置具有多个所述隔板，至少一个所述隔板具有所述吸引管，通过所述吸引管从被多个所述隔板隔开的所述吸引室吸引所述空气。

8.根据权利要求2所述的流延装置，其中，

所述流延装置还具备：

隔板，在所述吸引箱内配置成沿所述液珠的宽度方向移动自如，通过所述隔板的移动，改变所述吸引口在所述液珠的宽度方向上的长度；及

吸引管，从被所述隔板隔开的所述吸引箱内的吸引室吸引空气。

9.根据权利要求3所述的流延装置，其中，

所述流延装置还具备：

隔板，在所述吸引箱内配置成沿所述液珠的宽度方向移动自如，通过所述隔板的移动，改变所述偏移长度；及

吸引管，从被所述隔板隔开的所述吸引箱内的吸引室吸引空气。

10.根据权利要求1或2所述的流延装置，其中，

所述流延装置具有遮挡行走的所述支承体的携带风的挡风部件，所述挡风部件在所述吸引箱之间靠近所述支承体而配置。

11.根据权利要求3所述的流延装置，其中，

所述流延装置具有遮挡行走的所述支承体的携带风的挡风部件，所述挡风部件在所述吸引箱之间靠近所述支承体而配置。

12.根据权利要求10所述的流延装置，其中，

所述挡风部件的与所述支承体对置的面具有遮挡由所述支承体的行走引起的携带风的迷宫式密封件。

13.根据权利要求11所述的流延装置，其中，

所述挡风部件的与所述支承体对置的面具有遮挡由所述支承体的行走引起的携带风的迷宫式密封件。

14.根据权利要求1或2所述的流延装置，其中，

所述吸引箱的与所述支承体对置的面具有遮挡由所述支承体的行走引起的携带风的迷宫式密封件。

15.一种溶液制膜设备，其具备：

行走的支承体；

模具，从吐出口朝向所述支承体吐出浓液，所述模具与所述支承体之间形成液珠并且在所述支承体的表面形成流延膜；

吸引箱，吸引所述液珠的宽度方向两端部与所述支承体之间的空气，所述吸引箱在比所述液珠更靠所述支承体行走方向的上游侧与所述液珠宽度方向的两端部对置设置；

吸引口，形成于所述吸引箱的与所述液珠对置的面，所述吸引口为沿所述液珠的宽度方向较长的狭缝状；及

干燥装置，从所述支承体剥下所述流延膜并进行干燥。

16.一种溶液制膜方法，其具备以下步骤：

(A)使用流延装置形成流延膜的步骤，所述流延装置具有支承体、模具、吸引箱及吸引口，所述模具从吐出口向行走的所述支承体吐出浓液，所述模具与所述支承体之间形成液珠并且在所述支承体的表面形成所述流延膜，所述吸引箱吸引所述液珠的宽度方向两端部与所述支承体之间的空气，所述吸引箱在比所述液珠更靠所述支承体行走方向的上游侧与所述液珠宽度方向的两端部对置设置，所述吸引口形成于所述吸引箱的与所述液珠对置的面，所述吸引口为沿所述液珠的宽度方向较长的狭缝状；及

(B)从所述支承体剥下所述流延膜并进行干燥的步骤。

17.根据权利要求16所述的溶液制膜方法，其中，

所述A步骤中，在所述液珠与所述支承体之间形成润湿扩展提高层。

18.根据权利要求17所述的溶液制膜方法，其中，

所述润湿扩展提高层通过共流延，相对于主流层至少形成于所述支承体侧。

19.根据权利要求18所述的溶液制膜方法，其中，

所述润湿扩展提高层的粘度低于所述主流层。

20.根据权利要求17所述的溶液制膜方法，其中，

所述润湿扩展提高层预先涂布于流延前的所述支承体。