CN102645249B - 具有集成旁路通道的流量传感器组件 - Google Patents

具有集成旁路通道的流量传感器组件 Download PDF

Info

Publication number
CN102645249B
CN102645249B CN201210087916.6A CN201210087916A CN102645249B CN 102645249 B CN102645249 B CN 102645249B CN 201210087916 A CN201210087916 A CN 201210087916A CN 102645249 B CN102645249 B CN 102645249B
Authority
CN
China
Prior art keywords
flow
fluid
bypass channel
sensor assembly
tap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210087916.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102645249A (zh
Inventor
J·斯佩尔德里奇
L·F·里克斯
C·S·贝克
W·冯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell International Inc
Original Assignee
Honeywell International Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell International Inc filed Critical Honeywell International Inc
Priority to CN201611011420.5A priority Critical patent/CN106840296B/zh
Publication of CN102645249A publication Critical patent/CN102645249A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102645249B publication Critical patent/CN102645249B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/14—Casings, e.g. of special material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/18—Supports or connecting means for meters
    • G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow

Abstract

本发明涉及具有集成旁路通道的流量传感器组件，具体公开了具有提高的流量范围能力的流量传感器组件(38)。在一个示例性实施例中，流量传感器组件(38)包括外壳(40)，其具有入口流端口(88)、出口流端口(90)、在入口流端口和出口流端口之间延伸的流体通道(12)、以及旁路通道(62)，旁路通道具有在分开的位置流体地连接到流体通道的一对龙头(64)。流量传感器(10)可以定位在旁路通道中，用于感测关于流过流体通道的流体的流率的测量值。旁路通道的两个龙头之间的压力差驱动流过流体通道的流体的一部分通过旁路通道。流量传感器组件可以构造成实现、控制和/或平衡通过旁路通道和经过流量传感器的流体流的期望部分。

Description

具有集成旁路通道的流量传感器组件
相关申请
本申请涉及与本申请同日提交的、名称为“FLOW SENSOR WITHENHANCED FLOW RANGE CAPABILITY”的美国申请序列号No._____(代理人案号No.1326.1328101)，其通过参考并入于此。
技术领域
本公开一般地涉及流量传感器，并且更具体地涉及构造成感测流过流动通道的流体流量的流量传感器。
背景技术
流量传感器通常用于感测流过流体通道的流体(例如气体或液体)的流率。这种流量传感器通常使用在广泛的应用中，例如医疗应用、飞行控制应用、工业过程应用、燃烧控制应用、天气监测应用以及许多其他应用。在一些情况下，流量传感器的质量体积流率可能受到限制，因为流量传感器在暴露于较高质量体积流率时可能会变得饱和。在一些应用中，这是不希望出现的。
发明内容
本公开一般地涉及流量传感器，并且更具体地涉及用于提高可被感测的流率范围的方法和装置。在一个示例性实施例中，一种流量传感器组件包括外壳，其具有入口流端口和出口流端口以及在入口流端口和出口流端口之间延伸的流体通道、以及旁路通道。在一些情况中，所述外壳还可以包括一个或多个隔板，其定位在流体通道中以帮助促进流体通道中的层流。所述旁路通道可以包括与流体通道流体连通的两个龙头(tap)。上游龙头可以在第一上游位置处(例如在一个或多个隔板(当被提供时)的上游和所述流体通道的入口流端口的下游)连接到所述流体通道。下游龙头可以在第二下游位置处(例如在一个或多个隔板(当被提供时)的下游和所述流体通道的出口流端口的上游)连接到所述流体通道。流量传感器可以与所述旁路通道流体连通，并且可以感测关于流过所述旁路通道以及因此流体通道的流体的流率的测量值。在一些情况中，可以在上游龙头、下游龙头和/或旁路通道中提供一个或多个特征以限制通过旁路通道的流体流率，从而扩展流量传感器组件的有效流率范围。
在一些情况中，所述外壳可以是单件模制部件，并且可以限定入口和出口流端口、流体通道以及旁路通道的至少一部分。在一些情况中，根据需要，可以将盖安装到所述外壳以例如限定流体通道和旁路通道的剩余部分。在一些情况中，单件模制部件也可以限定所述一个或多个隔板，当被提供时。
所提供的前述发明内容有助于理解本公开的一些特征，并且不意图是完整的描述。通过将整个说明书、权利要求书、附图以及摘要作为整体可获得对本公开的全面理解。
附图说明
考虑本公开的各种示例性实施例的以下详细描述并结合附图，可更全面地理解本公开，附图中：
图1是用于测量流过流体通道的流体的流体流率的示例性流量传感器的示意图；
图2是用于测量流过流体通道的流体的流率的示例性热式流量传感器组件的示意图；
图3是用于测量流过流体通道的流体的流率的示例性热式流量传感器组件的示意图；
图4是示例性封装热式流量传感器组件的俯视图；
图5是具有盖的图4的示例性封装热式流量传感器组件的剖视图；
图6是可以用在图4的封装热式流量传感器组件中的示例性限流器的剖视图；
图7是可以用在图4的封装热式流量传感器组件中的示例性多孔插入件的剖视图；
图8是封装热式流量传感器组件的另一示例性实施例的分解图；
图9是图8的示例性封装热式流量传感器组件的外壳的俯视图；
图10是图8的示例性封装热式流量传感器组件的仰视透视图；以及
图11是图8的示例性封装热式流量传感器组件的剖视图。
具体实施方式
应该参考附图来阅读下面的描述，其中，在遍及几幅附图中，相同的附图标记指示相同的元件。该描述和附图示出了几个实施例，其旨在是示例性的而不是限制性的。
图1是用于测量流过流体通道12的流体流14的流体流率的示例性流量传感器10的示意图。如本文所使用的，术语“流体”根据应用可以指气体流或液体流。在一个示例性实施例中，流量传感器10可暴露于流体通道12和/或设置成与流体通道12流体连通，以测量流体流14的一个或多个特性。例如，流量传感器10可根据需要利用一个或多个热式传感器(例如参见图2)、压力传感器、声学传感器、光学传感器、皮托管、和/或其它适合的传感器或传感器组合来测量流体流14的质量流量和/或速度。在一些情况下，流量传感器10可以是可从本申请的受让人获得的微桥或MicrobrickTM传感器组件(例如参见图3)，但这不是必需的。一些被认为适合于测量流体流14的质量流量和/或速度的示例性方法和传感器构造已经公开在例如美国专利号4,478,076、4,478,077、4,501,144、4,581,928、4,651,564、4,683,159、5,050,429、6,169,965、6,223,593、6,234,016、6,502,459、7,278,309、7,513,149和7,647,842中。所构想的是，根据需要，流量传感器10可包括这些流量传感器构造和方法中的任一个。然而必须意识到，流量传感器10根据需要可以是任何适合的流量传感器。
在该示例性实施例中，流体通道12可经历流体流14的一定范围的流率。例如，流体通道12可包括高体积流体流、中体积流体流或低体积流体流。示例的流体流应用可包括但不限于医疗应用(例如呼吸计、通气机、肺活量计、氧气浓缩器、光谱测定应用、气相色谱应用、睡眠呼吸暂停机、喷雾器、麻醉输送机等)、飞行控制应用、工业应用(例如空气燃料比、光谱测定、燃料电池、气体泄漏检测、煤气表、HVAC应用)、燃烧控制应用、天气监测应用以及根据需要任何其他适合的流体流应用。
转至图2，它是用于测量流过流体通道12的流体流14的流率的示例性热式流量传感器组件的示意图。在图2的示例性实施例中，流量传感器组件包括一个或多个加热器元件(例如加热器元件16)以及一个或多个传感器元件18和20，用于感测流体通道12中的流体流14的流率。如图2所示，第一传感器元件18可设置在加热器元件16的上游，并且第二传感器元件20可设置在加热器元件16的下游。然而，这并不意味着限制并且所构想的是，在一些实施例中，流体通道12可以是双向的流体通道，使得在一些情况下，第一传感器元件18在加热器元件16的下游且第二传感器元件20在加热器元件16的上游。在一些情况下，可以只提供一个传感器元件，而在其他实施例中，可提供三个或更多个传感器元件。在一些情况下，传感器元件18和20均可设置在加热器元件16的上游(或下游)。
在一些情况下，第一传感器元件18和第二传感器元件20可以是热敏感的电阻，其具有相对大的正或负温度系数，使得电阻值随温度而变化。在一些情况下，第一和第二传感元件18和20可以是热敏电阻器。在一些情况下，第一传感器元件18、第二传感器元件20以及任何附加的传感器元件可布置成惠斯通电桥结构，但这并不是必需的。
在所示的例子中，当流体通道12中没有流体流且加热器元件16被加热到高于流体流14中的流体的环境温度的温度时，可形成温度分布，并且该温度分布以围绕加热器元件16的大致对称分布被传递至上游传感器元件18和下游传感器元件20。在该例子中，上游传感器元件18和下游传感器元件20可感测相同或相似的温度(例如在25％、10％、5％、1％、0.001％等之内)。在一些情况中，这样可以在第一传感器元件18和第二传感器元件20中产生相同或相似的输出电压。
当流体通道12中存在非零的流体流14并且加热器元件16被加热到高于流体流14中的流体的环境温度的温度时，对称的温度分布会被扰动并且扰动量可与流体通道12中的流体流14的流率有关。流体流14的流率可导致上游传感器元件18比下游传感器元件20感测到更冷的温度。换句话说，流体流14的流率可导致上游传感器元件18和下游传感器元件20之间的温度差，所述温度差与流体通道12中的流体流14的流率有关。上游传感器元件18和下游传感器元件20之间的温度差可导致上游传感器元件18和下游传感器元件20之间的输出电压差。
在另一个示例性实施例中，流体流14的质量流量和/或速度可通过在加热器元件16中提供瞬态高温条件来确定，其进而在流体流14中引起瞬态高温条件(例如热脉冲)。当流体流14中存在非零的流率时，上游传感器元件18可晚于下游传感器元件20接收到瞬态响应。然后，可使用上游传感器元件18和下游传感器元件20之间的时间间隔，或者加热器被激励的时间和相应的高温条件(例如热脉冲)被其中一个传感器(例如下游传感器20)感测到的时间之间的时间间隔来计算流体流14的流率。
图3是用于测量流过流体通道12的流体流14的流率的示例性热式流量传感器组件的示意图。在一些情况下，热式流量传感器组件可被表现为图3(或图2)所示的流量传感器组件。如图3所示，流量传感器19可以是热式流量传感器(例如，微桥流量传感器、热风速计传感器、基于MEMS的传感器等)，用来测量流过流体通道12的流体流14的流率。在所述示例性实施例中，流量传感器19包括基底34，其限定传感器通道26，用来接收流过流体通道12的流体中的至少一些。在一些实施例中，根据需要，基底34可以是硅基底或其它基底。层28可形成在基底上或基底内，其可支撑一个或多个加热器元件(例如加热器元件22)以及一个或多个传感器元件(例如传感器元件21和24)，用来感测通道26内的流体流14的流率。如图所示，层28可被制作成包括开口30和32，其用于将传感器通道26流体连接到流体通道12。在其它的实施方式中，(一个或多个)加热器元件和传感器元件可直接设置在流体通道12的壁(或者直接设置在流体通道12的壁上的其它基底)上，而不需要附加的传感器通道26(例如，如图4所示)。当流体通道12中存在流体流时，流体流14中的至少一些可穿过开口30流入传感器通道26，经过一个或多个加热器元件(例如加热器元件22)以及一个或多个传感元件(例如传感元件21和24)，并且穿过开口32回到流体通道12中。
图4和图5是流量传感器组件38的顶视图和剖视图。在该示例性实施例中，流量传感器组件38可构造成具有提高的或增强的流量范围，同时在不经历传感器饱和的情况下仍然具有来自流量传感器的稳定、可靠且可重复的输出信号。在流体动力学中，质量体积流率通常规定为SLPM(标准升每分钟)、SCCM(标准立方厘米每分钟)或者SCFH(标准立方英尺每小时)，其通常与流动速度和流动通道的截面积有关。增加流动通道的截面积能够增加流量传感器组件38的质量体积流率(例如范围和/或灵敏度)。而且，将传感元件(例如流量传感器19)定位在流量传感器组件38的旁路通道中使得传感元件仅暴露于流体流率的一部分(基于旁路通道上的压力差)可以进一步提高流量传感器组件38的质量体积流率范围和/或灵敏度。通过将传感器设置在这种旁路通道中，根据流量传感器组件38的具体设计和几何结构，流量传感器组件38的质量体积流率范围可以以例如10或更大的系数、15或更大的系数、20或更大的系数、20或更大的系数、30或更大的系数或其他系数来有效地提高。
在该示例性实施例中，流量传感器组件38可以包括入口端口42和出口端口44、在入口端口42和出口端口44之间延伸的流动通道46、以及与流动通道46流体连通的旁路通道62。如图所示，旁路通道62包括将旁路通道62流体连接到流动通道46的上游龙头64和下游龙头66。在一些情况中，上游龙头64和下游龙头66可以定位成大致垂直于流动通道46，但根据需要也可以使用其它朝向。
在一些情况下，流体通道的几何结构可影响流体流的稳定性。雷诺数(Re)是涉及流体通道内的湍流的指数，其由下式给出：
Re＝ρ*V*d/μ
其中：
ρ是流体密度；
V是平均流动速度；
d是特征长度(水力半径的直径)；并且
μ是粘度。
通常，层流在低雷诺数时出现，其中，粘性力可占主导且特征在于平稳恒定的流体运动，而湍流在高雷诺数时出现并且由惯性力主导，其倾向于产生混沌的涡流、漩涡以及其它流动不稳定性。对穿过流体通道的流体流的层流化可通过调整流体次级通路的几何结构(例如水力半径的直径)以降低流体流的雷诺数(Re)来实现。
在一些情况中，流量传感器组件38可包括流动通道46中的一个或多个隔板(例如隔板48和50)，以至少部分地限定一个或多个流体次级通路或腔室，示作为次级通路52，54和56。在所示的例子中，提供了两个隔板48和50。然而所构想的是，根据需要也可以使用其它数量的隔板，例如，零个、一个或更多个隔板、两个或更多个隔板、三个或更多个隔板、四个或更多个隔板、五个或更多个隔板、六个或更多个隔板、七个或更多个隔板、或任何其他数量的隔板。隔板48和50显示为限定三个流体次级通路52、54和56。然而所构想的是，根据需要也可以提供其他数量的流体次级通路，例如两个或更多个次级通路、三个或更多个次级通路、四个或更多个次级通路、五个或更多个次级通路、六个或更多个次级通路、七个或更多个次级通路、八个或更多个次级通路、或任何其他数量的流体次级通路。
在该示例性实施例中，每个隔板48和50都可构造成具有沿平行于流动通道46的方向延伸的长度，所述长度可大于沿垂直于流动通道46的方向延伸的宽度。在一些情况下，每个隔板48和50的长度和宽度可相同，但在其他情况下，所构想的是，隔板48和50可具有不同的长度和/或宽度。在所示实施例中，每个次级通路52，54和56均在隔板48和50的上游和下游被流体连接至其它次级通路，但这并不是必需的。而且，隔板48和50可以或可以不构造成使次级通路52，54和56沿着隔板48和50的长度彼此流体隔离。例如，如图5所示，隔板48和50可以是翅片型分隔器，其高度沿垂直于流体流的方向仅部分地延伸跨过流动通道46。而且，在一些实施例中，流体次级通路52，54和56可构造成具有相同或基本相似的截面积，使得流过每个流体次级通路52，54和56的流体体积可相同或基本相同。然而所构想的是，根据需要也可以使用截面积不同的流体次级通路52，54和56。
在该示例性实施例中，隔板48和50可通过降低水力半径的直径并因此降低流体次级通路的雷诺数来帮助减少流过流动通道46的流体的湍流。在一些情况下，一个或多个隔板48和50可构造成通过生成更一致的流并减轻流体流的湍流效应来帮助层流化流动通道46中的流体流。在一些情况下，层流可以减少流量传感器19所遇到的噪音，提供流量传感器组件38的更一致、可靠、可重复且稳定的输出。
如图4所示，流量传感器组件38可以具有在上游龙头64处的第一静态压力P1和在下游龙头66处的第二静态压力P2。在上游龙头64和下游龙头66之间的压力差可以驱动流体流的一部分通过旁路通道62。在一些情况中，流体的该部分可以是进入入口端口42的流体流的例如五分之一、十分之一、十五分之一、二十分之一、或任何其他合适的部分。
在一些实施例中，可以设置旁路通道62的尺寸和/或构造以便对于通过流动通道46的给定流率或流率范围提供经过流量传感器19的期望流率或流率范围。通过旁路通道并经过流量传感器19的过大的流体流可导致例如传感器饱和。通过旁路通道的过小流体流可导致传感器输出信号没有足够的动态范围和/或分辨率。在任一情况下，流量传感器19会不精确地测量流过流量传感器组件38的流体的流率。在一些情况中，可以在旁路通道中提供一个或多个特征以限制通过旁路通道的流体流率。这种特征可以包括例如形成在上游龙头、下游龙头、和/或上游龙头和下游龙头之间的旁路通道自身中的一个或多个限流器。这种特征也可以包括定位在上游龙头、下游龙头、和/或上游龙头和下游龙头之间的旁路通道中的一个或多个多孔插入件。在一些情况中，可以相对于旁路通道的截面积来设置旁路通道自身的长度，从而对于通过流动通道46的给定流率或流率范围提供经过流量传感器19的期望流率或流率范围。
在一些情况中，流量传感器组件38可包括外壳40和盖60(如图5所示)。盖60可安装到外壳40上或者以其他方式密封地接合到外壳40。通过这样的构造，外壳40和盖60可限定流动通道46和/或保护流量传感器19和/或任何相关联的信号处理电路，所述电路可提供在流量传感器组件38中。在一些实施例中，盖60可以是其上安装有流量传感器19的电路板(例如印刷电路板)或其他基底。然而，可使用任何其他适当的盖60。
在一些实施例中，外壳40可限定入口端口42、出口端口44、流动通道46的三个或更多个侧面、旁路通道62的三个或更多个侧面、以及隔板48和50(当被提供时)，但这不是必需的。在一些情况中，入口端口42、出口端口44、流动通道46的三个或更多个侧面、旁路通道62的三个或更多个侧面、以及隔板48和50(当被提供时)可由单个部件形成(例如单个模制部件)形成。在这种实施例中，盖60可限定流动通道46的第四个侧面或顶侧并限定旁路通道62的第四个侧面或顶侧。如图5所示，隔板48和50(当被提供时)可构造成具有一定高度使得隔板48和50不接合盖60。然而所构想的是，如果需要，隔板48和50也可构造成具有一定高度使得隔板48和50接合盖60。在一些情况下，所构想的是，根据需要，盖60可构造成限定入口端口42、出口端口44、流动通道46的三个或更多个侧面、旁路通道62的三个或更多个侧面、和/或隔板48和50中的所有或一部分。
在该示例性实施例中，包括外壳40和盖60的外壳可形成为复合件。在一些情况下，这有助于外壳40和盖60的模制。然而所构想的是，根据设计条件，外壳40也可由塑料、陶瓷、金属或任何其它适合的材料模制为单件。还构想的是，外壳可通过注射模制来形成，或根据需要由任何其它合适的方法和材料形成。
在一些实施例中，入口端口42和/或出口端口44可以以相对于流动通道46的一定角度进入。如图4所示，例如，入口端口42和出口端口44可大致垂直于(角度＝90度)流动通道46。然而，也构想了其它角度，包括零角度(与流动通道46在平面内)。在一些实施例中，入口端口42和出口端口44可流体地耦合至更大系统(例如呼吸机)的主流动通道(未示出)，但这不是必需的。
在一些情况下，入口端口42和/或出口端口44可具有相对于旁路通道62减小的直径或截面积。然而所构想的是，根据需要，入口端口42和/或出口端口44也可具有与旁路通道62大约相同或更大的直径和/或截面积。
在该示附性实施例中，流量传感器19设置成与流量传感器组件38的旁路通道62流体连通。当在流动通道46中存在非零流体流时，流体可以流过入口端口42、流动通道46、流体次级通路52、54和56(当存在时)以及出口端口44。该流体流可以在旁路通道62的上游龙头64处建立第一静态压力P1并且在下游龙头66处建立第二静态压力P2。该压力差(P1-P2)将会导致流体的一部分穿过上游龙头64(在一些情况中，隔板48和50的上游)、通过旁路通道62、并且经过流量传感器19，并且从下游龙头66流出并回到流动通道46中(在一些情况中，隔板48和50的下游)。
在该示例性实施例中，流过旁路通道62的流体中的至少一些可进入流量传感器开口30，流过上游传感元件21、加热器元件22和下游传感元件24，并且流出流量传感器开口32并回到旁路通道62中。当加热器元件22被加热到高于流体流中的流体的环境温度的温度时，对称的温度分布被扰动并且扰动量可与流过旁路通道62的流体流的流率有关，其与流过流动通道46的流体流有关。流体流的流率可导致示例性流量传感器19的上游传感器元件21比下游传感器元件24感测到相对更低的温度。换句话说，流体流的流率可导致上游传感器元件21和下游传感器元件24之间的温度差，其可与旁路通道62中的并因而与流动通道46中的流体流的流率有关。上游传感器元件21和下游传感器元件24之间的温度差可导致上游传感器元件21和下游传感器元件24之间的输出电压差。
在一些情况下，流量传感器19可不包括从旁路通道62分离的独立流动通道。相反，在一些情况下，流量传感器19可将加热器元件22以及一个或多个传感器元件21和24直接暴露于流体旁路通道62，以直接测量旁路通道62(而非独立传感器通道)内的流率。在其它情况下，所构想的是，根据需要，流量传感器19可使用热式传感器、压力传感器、声学传感器、光学传感器、皮托管和/或任何其它适当的流量传感器来测量旁路通道62中的流体流14的质量流量和/或速度。
尽管未示出，流量传感器组件38可包括电连接到流量传感器19的一条或多条电引线，其可延伸至外壳的外部。在一些情况下，一条或多条电引线可包括金属，然而根据需要可使用任何合适的导电材料。
在一些实施例中，旁路通道62的上游龙头64和/或下游龙头66可以被确定尺寸或构造为限流器，如图6最佳所示。对于通过流动通道46的给定流率，这些限流器可以帮助降低经过流量传感器19的流体的流率。在图6中，对于旁路通道62上的给定压力降，龙头64可以具有比旁路通道62的直径更小的直径以帮助限制进入旁路通道62的流体流率。通过精确和/或准确地确定龙头64和66和/或旁路通道62的直径和/或长度的大小，更普遍地，流量传感器组件38可以更好地控制和/或平衡流量传感器19处将要被感测的质量流率范围和由流过流动通道46的流体产生的压力差(P1-P2)之间的关系。
虽然图6示出了上游龙头64和下游龙头66两者均被构造为限流器(例如，更普遍地，相对于旁路通道的减小的直径)，但是根据需要，上游龙头64或下游龙头66中的仅一个可构造为限流器(或都不构造为限流器)。此外，所构想的是，如果需要，减小的直径部分的长度可以延伸龙头64和66的整个长度，或者仅延伸龙头64和66的长度的一部分。
在一些实施例中，多孔插入件(例如多孔插入件70和72)可以定位在上游龙头64和/或下游龙头66中，如图7所示。多孔插入件70和72可以帮助使流体流层流化和/或控制流量传感器19上的压力降并因此控制经过流量传感器19的流率。在图7的示例性实施例中，多孔插入件70设置在龙头64中并且多孔插入件72设置在龙头66中。然而所构想的是，如果需要，也可以仅提供多孔插入件70和72中的一个(或都不提供)。
在一些实施例中，多孔插入件70可以被插入、按压、或者以其他方式定位在上游龙头64中或附近。多孔插入件72可以被插入、按压、或者以其他方式定位在下游龙头66中或附近。在一些实施例中，多孔插入件70和72在形状方面可以大体上是圆柱形的。然而所构想的是，根据插入件将要插入的龙头的形状，也可以使用任何合适的形状。在其他情况中，所构想的是，多孔插入件70和72可以是任何形状，并且当被插入龙头64和66时，多孔插入件70和72是可变形的以适应龙头64和66的形状。
多孔插入件70和72可以构造成具有一定长度和密度，从而产生期望或预定的压力降，使得对于流动通道46中的给定流率或流量范围，在流量传感器19处经历期望的流率或流率范围。例如，增加多孔插入件70和72的长度和/或增加多孔插入件70和72的密度(例如减小孔径尺寸)可以增大多孔插入件上的压力降，而减小多孔插入件70和72的长度和/或减小多孔插入件70和72的密度可以降低压力降。在一些情况中，增加上游多孔插入件70的密度(例如减小孔径尺寸)和/或提供相对均匀的孔径尺寸可以帮助提供流过流量传感器19的更层流化的流体。所构想的是，根据旁路通道62中的流体流的期望的层流化和/或压力降，多孔插入件70和72可以使用任何适合的长度和/或密度。在一些实施例中，所构想的是，图6所示的实施例可以与图7所示的实施例结合。换句话说，所构想的是，多孔插入件70和/或72可以被插入龙头64和/或66中，其可以构造为具有减小的直径的限流器。
图8-11是流量传感器组件80的另一个示例性实施例的视图。如图所示，流量传感器组件80可包括外壳82和盖84，用于容纳流量传感器114。盖84构造成安装在外壳82上或者以其它方式密封地接合到外壳82。通过这样的构造，外壳82和盖84可限定流动通道86和/或保护流量传感器114和/或任何相关联的信号处理电路，其可被提供在流量传感器组件80中。如图9和图10所示，外壳82包括入口端口88和出口端口90，以便使流动通道86暴露于流体流。流量传感器组件80可包括流量传感器114，其可与流量传感器19相似，放置在流动通道86中或附近且构造成感测通过流动通道86的流体流率。
流量传感器组件可以还包括与流动通道86流体连通的旁路通道92。如图所示，旁路通道92包括将旁路通道92流体地连接到流动通道86的上游龙头100和下游龙头102。在一些情况中，流量传感器组件80可包括流动通道86中的一个或多个隔板(例如隔板94)，以至少部分地限定一个或多个流体次级通路或腔室，示作为次级通路96和98。在所示的例子中，提供了隔板94。然而可构想的是，根据需要，可以使用其它数量的隔板，例如零个隔板、一个或更多个隔板、两个或更多个隔板、三个或更多个隔板、四个或更多个隔板、五个或更多个隔板、六个或更多个隔板、七个或更多个隔板、或者任何其他数量的隔板。所示的隔板94限定两个流体次级通路96和98。然而所构想的是，根据需要，也可以提供其它数量的流体次级通路，例如两个或更多个次级通路、三个或更多个次级通路、四个或更多个次级通路、五个或更多个次级通路、六个或更多个次级通路、七个或更多个次级通路、八个或更多个次级通路、或者任何其他数量的次级通路。
在该示例性实施例中，隔板94可构造成具有沿平行于流动通道86的方向延伸的长度，所述长度可大于沿垂直于流动通道86的方向延伸的宽度。在所示的实施例中，每个次级通路96和98均在隔板94的上游和下游流体地连接到其它次级通路，但这并不是必需的。而且，隔板94可以或可以不构造成使次级通路96和98的每一个沿着隔板94的长度互相流体地隔离。例如，如图11所示，隔板94可以是翅片型分隔器，其高度在垂直于流体流的方向上仅部分地延伸跨过流体通道46。也就是说，隔板94可以从盖84间隔开。而且，在一些实施例中，流体次级通路96和98可以构造成具有相同或基本相似的截面积，使得流过每个流体次级通路96和98的流体的体积可以相同或基本相同。然而所构想的是，根据需要，流体次级通路96和98也可以使用不同的截面积。
在该示例性实施例中，隔板94可通过降低水力半径的直径并因此降低流体次级通路的雷诺数来帮助减少流过流动通道86的流体中的湍流。在一些情况下，一个或多个隔板94可构造成通过生成更一致的流动并减轻流体流的湍流效应来帮助层流化流动通道86中的流体流。在一些情况下，层流可以减少流量传感器114所遇到的噪音，提供流量传感器组件80的更一致、可靠、可重复且稳定的输出。
在该示例性实施例中，流量传感器组件80可以具有在上游龙头100处的第一静态压力P1和在下游龙头102处的第二静态压力P2。上游龙头100和下游龙头102之间的压力差可以驱动流体流的一部分通过旁路通道92。在一些情况中，流体的该部分可以是进入入口端口88的流体流的例如五分之一、十分之一、十五分之一、二十分之一、或任何其他合适的部分。
例如，如图9所示，上游龙头100可以定位在隔板94的上游端的下游并且下游龙头102可以定位在隔板94的下游端的上游。也就是说，上游龙头100和下游龙头102可以定位在流体次级通路96中。然而所构想的是，上游龙头100也可以定位在隔板94的上游和/或下游龙头102也可以定位在隔板94的下游。
在一些实施例中，可以设置旁路通道92的尺寸和/或构造以便对于通过流动通道86的给定流率或流率范围提供经过流量传感器114的期望流率或流率范围。通过旁路通道并经过流量传感器114的过大的流体流可导致例如传感器饱和。通过旁路通道的过小流体流可导致传感器输出信号没有足够的动态范围和/或分辨率。在任一情况下，流量传感器114会不精确地测量流过流量传感器组件80的流体的流率。在一些情况下，可以在旁路通道中提供一个或多个特征以限制通过旁路通道的流体流率。这种特征可以包括例如形成在上游龙头、下游龙头、和/或在上游龙头和下游龙头之间的旁路通道自身中的一个或多个限流器。这种特征也可以包括定位在上游龙头、下游龙头、和/或在上游龙头和下游龙头之间的旁路通道中的一个或多个多孔插入件。在一些情况中，可以相对于旁路通道的截面积来设置旁路通道自身的长度，从而对于通过流动通道86的给定流率或流率范围提供经过流量传感器114的期望流率或流率范围。
在一些情况中并且如图9所示，旁路通道92可以构造成具有邻近于上游龙头100和/或下游龙头102的大致S形(或部分S形)弯曲部104和106。例如，邻近于上游龙头100的大致S形弯曲部104可以首先弯曲回来朝向入口端口88并且然后弯曲回去朝向出口端口90和流量传感器114。相似地，邻近于下游龙头102的大致S形弯曲部可以首先弯曲朝向出口端口90并且然后弯曲回去朝向入口端口88和流量传感器114。
在一些实施例中，旁路通道92可包括构造成引导流体通过流量传感器114的凸台(boss)108或其它特征。例如，凸台108可包括第一锥形部和第二锥形部，第一锥形部减少旁路通道92的截面积，第二锥形部增加旁路通道92的截面积。在一些情况下，流量传感器114可位于第一锥形部和第二锥形部之间，但这不是必需的。
在一些实施例中，外壳82可限定入口端口88、出口端口90、流动通道86的三个或更多个侧面、旁路通道92的三个或更多个侧面、以及隔板94，但这不是必需的。在一些情况下，入口端口88、出口端口90、流动通道86的三个或更多个侧面、旁路通道92的三个或更多个侧面、以及隔板94(当被提供时)可由单个部件(例如，单个模制部件)形成。在这种实施例中，盖84可限定流动通道86的第四个侧面或顶侧并限定旁路通道92的第四个侧面或顶侧。如图11所示，隔板94可构造成具有一定高度使得隔板94不接合盖84，或者隔板94从盖84间隔开。然而所构想的是，根据需要，隔板94也可构造成具有一定高度使得隔板94接合盖84。
在该示例性实施例中，外壳82和盖84可形成为复合件。在一些情况下，这有助于外壳82和盖84的模制。然而所构想的是，根据设计条件，外壳82和盖84也可由塑料、陶瓷、金属或任何其它适合的材料模制为单件。还可构想的是，外壳可通过注射模制来形成，或者根据需要可由任何其它适当的方法和材料形成。在一些情况下，盖84可以是用于在其上安装流量传感器114的印刷电路板或者其它适当的基底。
在一些实施例中，入口端口88和/或出口端口90可以以相对于流动通道86的一定角度进入。如图9所示，例如，入口端口88和出口端口90可大致垂直于流动通道86(角度＝90度)。然而，也可以构想其它角度，包括零角度(与流动通道86在平面内)。在一些实施例中，入口端口88和出口端口90可流体地耦合至更大系统(例如呼吸机)的主流动通道(未示出)，但这不是必需的。
在该示例性实施例中，流量传感器114可以设置成与流量传感器组件80的旁路通道92流体连通。当在流动通道86中存在非零流体流时，流体可以流过入口端口88、流过流动通道86、流过流体次级通路96和98(由隔板94限定)以及流过出口端口90。该流体流可以在旁路通道86的上游龙头100处建立第一静态压力P1并且在下游龙头102处建立第二静态压力P2。该压力差(P1-P2)将导致流体的一部分通过上游龙头100(在一些情况中，流过次级通路96的流体的一部分)、流过旁路通道92并经过流量传感器114、从下游龙头102流出并且回到流动通道86中(在一些情况中，回到次级通路96中)。
尽管未示出，流量传感器组件80可包括电连接到流量传感器114的一条或多条电引线，其可延伸至外壳的外部。在一些情况下，一条或多条电引线可包括金属，然而根据需要也可使用任何适当的导电材料。
已经描述了本公开的几个示例性实施例，本领域技术人员将会容易地领会在本文所附的权利要求的范围内还可制造和使用其它实施例。本文件所覆盖的本公开的众多优点已由前面的描述阐明。然而将会理解的是，本公开在许多方面都仅是示例性的。在不超出本公开的范围的情况下，可在细节上，特别是形状、尺寸和部件的布置方面作出改变。当然，本公开的范围由所附权利要求中表述的文字来限定。

Claims (10)

1.一种流量传感器组件（38），包括：
模制外壳（40），所述模制外壳（40）限定下列中的至少一部分：
入口流端口（88）；
出口流端口（90）；
流体通道（12），所述流体通道（12）在所述入口流端口（88）和所述出口流端口（90）之间延伸；和
旁路通道（62），所述旁路通道（62）包括上游龙头（100）和下游龙头（102），所述上游龙头（100）在所述入口流端口（88）下游的第一位置处与所述流体通道（12）流体连通，所述下游龙头（102）在所述出口流端口（90）上游的第二位置处与所述流体通道（12）流体连通，其中，所述第二位置位于所述第一位置的下游，并且其中，所述旁路通道（62）具有邻近于所述上游龙头（100）和/或所述下游龙头（102）的S形或部分S形的弯曲部（104，106）；以及
流量传感器（10），所述流量传感器（10）定位成与所述旁路通道（62）流体连通，并且构造成感测关于流过所述旁路通道（62）的流体的流率的测量值，其与流过所述流体通道（12）的流体的流率相关。
2.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），还包括：
一个或多个隔板（48，50），其定位在所述流体通道（12）中以帮助促进所述流体通道（12）中的层流。
3.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），其中，通过所述流量传感器组件（38）的流体流（14）产生沿着所述流体通道（12）并沿着所述旁路通道（62）的压力差。
4.如权利要求3所述的流量传感器组件（38），其中，所述压力差驱动流过所述流体通道（12）的流体的至少一部分通过所述旁路通道（62）。
5.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），其中，所述旁路通道（62）的上游龙头（100）和下游龙头（102）定位成垂直于所述流体通道（12）。
6.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），其中，所述外壳（40）包括模制部件，其限定所述流体通道（12）的三个或更多个侧面以及所述旁路通道（62）的三个或更多个侧面。
7.如权利要求6所述的流量传感器组件（38），还包括盖（60），其定位在所述模制部件上以限定所述流体通道（12）的第四侧面以及所述旁路通道（62）的第四侧面。
8.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），其中，所述上游龙头（100）和所述下游龙头（102）中的至少一个构造为用于所述旁路通道（62）的限流器。
9.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），还包括定位在所述上游龙头（100）和所述下游龙头（102）中的至少一个中的多孔材料。
10.如权利要求1所述的流量传感器组件（38），其中，以基本垂直于所述流体通道（12）的角度设置所述入口流端口（88）和所述出口流端口（90）。
CN201210087916.6A 2011-01-31 2012-01-31 具有集成旁路通道的流量传感器组件 Active CN102645249B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611011420.5A CN106840296B (zh) 2011-01-31 2012-01-31 具有集成旁路通道的流量传感器组件

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/018037 2011-01-31
US13/018,037 2011-01-31
US13/018,037 US8418549B2 (en) 2011-01-31 2011-01-31 Flow sensor assembly with integral bypass channel

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611011420.5A Division CN106840296B (zh) 2011-01-31 2012-01-31 具有集成旁路通道的流量传感器组件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102645249A CN102645249A (zh) 2012-08-22
CN102645249B true CN102645249B (zh) 2016-12-14

Family

ID=45655315

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611011420.5A Active CN106840296B (zh) 2011-01-31 2012-01-31 具有集成旁路通道的流量传感器组件
CN201210087916.6A Active CN102645249B (zh) 2011-01-31 2012-01-31 具有集成旁路通道的流量传感器组件

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611011420.5A Active CN106840296B (zh) 2011-01-31 2012-01-31 具有集成旁路通道的流量传感器组件

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8418549B2 (zh)
EP (2) EP3136062B1 (zh)
CN (2) CN106840296B (zh)
AU (1) AU2012200528B2 (zh)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9003877B2 (en) 2010-06-15 2015-04-14 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly
US8931338B2 (en) * 2011-10-20 2015-01-13 Honeywell International Inc. Flow sensor with bypass taps in laminar flow element laminarizing channel
JP5675705B2 (ja) * 2012-06-15 2015-02-25 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
JP5801761B2 (ja) * 2012-06-15 2015-10-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
US9052217B2 (en) 2012-11-09 2015-06-09 Honeywell International Inc. Variable scale sensor
GR1008114B (el) * 2013-02-28 2014-02-11 Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε., Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου
US9255826B2 (en) * 2013-07-16 2016-02-09 Honeywell International Inc. Temperature compensation module for a fluid flow transducer
EP3035847B1 (en) * 2013-08-19 2018-02-14 Tel Hashomer Medical Research Infrastructure And Services Ltd. Spirometer system and method for determining lung functional residual capacity (frc) with a non-occluding shutter
US9297679B2 (en) * 2014-01-14 2016-03-29 General Electric Company Flowmeter with a flow conditioner formed by a protrusion having restriction provided upstream of the measurement section
WO2016044407A1 (en) * 2014-09-17 2016-03-24 Honeywell International Inc. Flow sensor with self heating sensor elements
US20160146779A1 (en) * 2014-11-21 2016-05-26 Breathometer, Inc. Pumpless breath analysis system
US20160150995A1 (en) * 2014-11-28 2016-06-02 Breathometer, Inc. Portable device for personal breath quality and dehydration monitoring
US10760934B2 (en) 2014-12-05 2020-09-01 Natural Gas Solutions North America, Llc Using localized flow characteristics on electronic flow meter to quantify volumetric flow
US10139259B2 (en) * 2014-12-05 2018-11-27 General Electric Company System and method for metering gas based on amplitude and/or temporal characteristics of an electrical signal
US20160161307A1 (en) 2014-12-05 2016-06-09 General Electric Company System and method for metering gas
GB2553681B (en) 2015-01-07 2019-06-26 Homeserve Plc Flow detection device
US10107662B2 (en) * 2015-01-30 2018-10-23 Honeywell International Inc. Sensor assembly
GB201501935D0 (en) 2015-02-05 2015-03-25 Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd Water flow analysis
US9952079B2 (en) * 2015-07-15 2018-04-24 Honeywell International Inc. Flow sensor
JP6644505B2 (ja) * 2015-09-24 2020-02-12 日本光電工業株式会社 エアウェイアダプタおよび呼吸気流量センサ
US11433211B2 (en) 2016-03-17 2022-09-06 Zoll Medical Corporation Flow sensor for ventilation
CN206959930U (zh) * 2016-04-12 2018-02-02 美新微纳传感系统有限公司 具有高动态范围的流量传感组件
CN207050794U (zh) * 2016-09-06 2018-02-27 美新微纳传感系统有限公司 具有旁路的流量传感模块
KR102536893B1 (ko) * 2016-10-20 2023-05-25 헬스업 에스피. 제트 오.오. 휴대용 폐활량계
US10837812B2 (en) 2017-11-09 2020-11-17 Honeywell International Inc Miniature flow sensor with shroud
US20190293467A1 (en) 2018-03-20 2019-09-26 Honeywell International Inc. Mass air flow sensor with absolute pressure compensation
DE102018205502A1 (de) * 2018-04-11 2019-10-17 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH Sensorvorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer Flüssigkeit und Waschmaschine
KR20210060450A (ko) 2018-09-18 2021-05-26 스웨이지락 캄파니 유체 모니터링 모듈 장치
US10883865B2 (en) 2018-09-19 2021-01-05 Swagelok Company Flow restricting fluid component
CN111220224B (zh) * 2018-11-26 2021-07-13 苏州原位芯片科技有限责任公司 一种mems流量传感器芯片
US11408984B2 (en) 2019-05-08 2022-08-09 Ford Global Technologies, Llc Sensor-drainage apparatus
JP7415412B2 (ja) 2019-10-08 2024-01-17 オムロン株式会社 流量測定装置
US11965762B2 (en) 2019-10-21 2024-04-23 Flusso Limited Flow sensor
US11280649B2 (en) 2019-10-21 2022-03-22 Flusso Limited Sensor assembly
GB2588397A (en) 2019-10-21 2021-04-28 Flusso Ltd Flow sensor assembly
US11460546B2 (en) * 2020-03-09 2022-10-04 Ford Global Technologies, Llc Sensor-drainage apparatus
US11786845B2 (en) 2021-04-15 2023-10-17 Pall Corporation Filter element
US11927555B2 (en) * 2021-05-25 2024-03-12 Siargo Ltd. Micromachined thermal time-of-flight fluidic concentration metering device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101943590A (zh) * 2009-07-01 2011-01-12 欧姆龙株式会社 流量测定装置

Family Cites Families (233)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR377743A (fr) 1907-05-13 1907-09-13 Jules Paul Lajoie Appareil destiné à éviter les coups de bélier sur le compteur d'eau et à empecher leur encrassement
US2746296A (en) 1950-07-14 1956-05-22 Stover Emory Frank Gage for flowmeters
US3216249A (en) 1961-05-18 1965-11-09 Johnson Service Co Differential pressure responsive signal circuit
US3433069A (en) 1965-10-01 1969-03-18 Technology Inc Mass flowmeter structure
US3410287A (en) 1966-05-16 1968-11-12 Bendix Corp Pure fluid velocity sensor control apparatus
US3895531A (en) 1968-02-16 1975-07-22 Robert R Lambert Apparatus for sensing volumetric rate of air flow
US3559482A (en) 1968-11-27 1971-02-02 Teledyne Inc Fluid flow measuring apparatus
US3640277A (en) 1968-12-09 1972-02-08 Marvin Adelberg Medical liquid administration device
US3838598A (en) 1969-03-28 1974-10-01 Brunswick Corp Capillary flow meter
US3785206A (en) 1972-04-26 1974-01-15 Teledyne Inc Fluid flow measuring device
JPS49120131A (zh) 1973-03-23 1974-11-16
US3830104A (en) 1973-03-30 1974-08-20 Chrysler Corp Vortex swirl flowmeter sensor probe
USRE31570E (en) 1973-04-09 1984-05-01 Tylan Corporation Fluid flowmeter
CA992348A (en) 1974-03-22 1976-07-06 Helen G. Tucker Measurement of at least one of the fluid flow rate and viscous characteristics using laminar flow and viscous shear
US3981074A (en) 1974-08-23 1976-09-21 Nitto Electric Industrial Co., Ltd. Method for producing plastic base caps for split cavity type package semi-conductor units
GB1505682A (en) 1975-08-05 1978-03-30 Litre Meter Ltd Metering of fluid flows
US4041757A (en) 1975-12-30 1977-08-16 Teledyne, Inc. Fluid flowmeter
US4100801A (en) 1976-02-09 1978-07-18 Tylan Corporation Mass flow sensing system
US4326214A (en) 1976-11-01 1982-04-20 National Semiconductor Corporation Thermal shock resistant package having an ultraviolet light transmitting window for a semiconductor chip
US4343194A (en) 1977-11-07 1982-08-10 Environmental Elements Corporation Flow sensing apparatus
JPS5735718A (en) 1980-08-12 1982-02-26 Citizen Watch Co Ltd Rectifying element
US4444060A (en) 1981-03-06 1984-04-24 Nihon Cambridge Filter Kabushiki Kaisha Fluid pressure sensing apparatus
JPS5826221A (ja) 1981-08-10 1983-02-16 Hitachi Ltd 内燃機関の空気流量測定装置
US4411292A (en) 1981-11-30 1983-10-25 Arminio Schiller Fluid flow restrictor device
US4546655A (en) 1982-02-11 1985-10-15 Michael Victor Flow measuring device with multiple-static pressure holes
GB2123564A (en) 1982-03-29 1984-02-01 Furness Controls Ltd Fluid flow measurement
EP0094497A1 (en) 1982-03-31 1983-11-23 Honeywell Inc. Gas flow sensing apparatus
JPS58221119A (ja) 1982-06-17 1983-12-22 Nippon Denso Co Ltd 気体流量測定装置
US4478076A (en) 1982-09-30 1984-10-23 Honeywell Inc. Flow sensor
US4683159A (en) 1982-09-30 1987-07-28 Honeywell Inc. Semiconductor device structure and processing
US4501144A (en) 1982-09-30 1985-02-26 Honeywell Inc. Flow sensor
US4651564A (en) 1982-09-30 1987-03-24 Honeywell Inc. Semiconductor device
US4478077A (en) 1982-09-30 1984-10-23 Honeywell Inc. Flow sensor
US4548078A (en) * 1982-09-30 1985-10-22 Honeywell Inc. Integral flow sensor and channel assembly
JPS5988622A (ja) * 1982-11-12 1984-05-22 Ohkura Electric Co Ltd 熱式質量流量計
US4481828A (en) 1983-01-27 1984-11-13 Phillips Petroleum Company Differential flow rate sensor
US4790181A (en) 1983-12-01 1988-12-13 Aine Harry E Thermal mass flow meter and method of making same
US4691566A (en) * 1984-12-07 1987-09-08 Aine Harry E Immersed thermal fluid flow sensor
US4829818A (en) 1983-12-27 1989-05-16 Honeywell Inc. Flow sensor housing
US4648270A (en) * 1984-02-22 1987-03-10 Sirris Flow Technology, Inc. Mass flowmeter
US4672997A (en) 1984-10-29 1987-06-16 Btu Engineering Corporation Modular, self-diagnostic mass-flow controller and system
US4581945A (en) 1984-12-24 1986-04-15 Tibor Rusz Pressure to voltage converter for measuring gas glow rates
US4668102A (en) 1985-05-08 1987-05-26 Honeywell Inc. Temperature and flow station
US4653321A (en) 1985-06-07 1987-03-31 Enron Corp. Method of automatically measuring fluid flow rates
US4655088A (en) 1985-10-07 1987-04-07 Motorola, Inc. Unibody pressure transducer package
US4696194A (en) 1986-02-20 1987-09-29 Taurus Controls Limited Fluid flow measurement
US4677858A (en) 1986-03-13 1987-07-07 Ohnhaus Buford U Double-acting pitot tube
US4828769A (en) 1986-05-05 1989-05-09 Galic/Maus Ventures Method for injection molding articles
JPS6333663A (ja) 1986-07-28 1988-02-13 Yamatake Honeywell Co Ltd 流速測定装置
US4768386A (en) 1986-08-14 1988-09-06 Cambridge Filter Corp. Air pressure measurement element and system incorporating same
US4800754A (en) 1987-10-07 1989-01-31 Sierra Instruments, Inc. Wide-range, adjustable flowmeter
US4839038A (en) 1988-06-09 1989-06-13 Schlumberger Industries, Inc. Fluid strainer and flow corrector for fluid measurement device
US4856328A (en) 1988-06-30 1989-08-15 Honeywell Inc. Sampling probe flow sensor
DE58907267D1 (de) 1988-07-09 1994-04-28 Wildfang Dieter Gmbh Durchflussbegrenzer.
FI84757C (fi) 1988-12-12 1992-01-10 Instrumentarium Oy Foer stroemningsmaetning avsett gasens stroemning begraensande och styrande organ.
GB8902173D0 (en) 1989-02-01 1989-03-22 Sev Trent Water Authority Fluid flow meters
DE3905746A1 (de) 1989-02-24 1990-08-30 Bosch Gmbh Robert Luftmessvorrichtung
US4961344A (en) 1989-05-12 1990-10-09 Rodder Jerome A Multiple tube flowmeter
DE69016658T2 (de) 1989-07-20 1995-10-05 Univ Salford Business Services Strömungskonditionierer.
JPH0663804B2 (ja) 1989-09-13 1994-08-22 日本タイラン株式会社 質量流量センサ
US5063787A (en) 1989-11-22 1991-11-12 General Electric Company Venturi arrangement
US5050429A (en) 1990-02-22 1991-09-24 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Microbridge flow sensor
US5000478A (en) 1990-03-15 1991-03-19 Monroe Auto Equipment Company Shock absorber with Doppler fluid velocity sensor
US5081866A (en) 1990-05-30 1992-01-21 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Respiratory air flowmeter
US5253517A (en) 1990-05-30 1993-10-19 Siemens Aktiengesellschaft Flow converter
JP2571720B2 (ja) * 1990-07-10 1997-01-16 山武ハネウエル株式会社 流量計
US5107441A (en) 1990-10-31 1992-04-21 Otis Engineering Corporation System for evaluating the flow performance characteristics of a device
US5231877A (en) 1990-12-12 1993-08-03 University Of Cincinnati Solid state microanemometer
US5161410A (en) 1991-02-27 1992-11-10 Intertech Development Company Mass flow sensor for very low fluid flows
WO1992021940A1 (en) 1991-05-28 1992-12-10 Honeywell Inc. Mass air flow sensor
US5295394A (en) * 1991-06-13 1994-03-22 Mks Japan Inc. Bypass unit for a flowmeter sensor
US5220830A (en) 1991-07-09 1993-06-22 Honeywell Inc. Compact gas flow meter using electronic microsensors
US5249462A (en) 1991-07-09 1993-10-05 Honeywell Inc. Safe channel design for flow sensor chip microbridges
JP2851960B2 (ja) 1991-12-24 1999-01-27 日本碍子株式会社 内燃機関の吸入空気量測定装置
ATA9792A (de) 1992-01-22 1994-08-15 Winter Udo Ing Mag Verfahren und minenräumgerät zum räumen auf einzelne panzertypen abgestimmter panzerminen
NL9200414A (nl) 1992-03-06 1993-10-01 Bronkhorst High Tech Bv Laminair stromingselement met geintegreerd turbulentiefilter.
US5385046A (en) 1992-04-10 1995-01-31 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Gas flow type angular velocity sensor
DE4219454C2 (de) 1992-06-13 1995-09-28 Bosch Gmbh Robert Massenflußsensor
US5379650A (en) * 1992-09-23 1995-01-10 Korr Medical Technologies Inc. Differential pressure sensor for respiratory monitoring
US5535633A (en) * 1992-09-23 1996-07-16 Korr Medical Technologies, Inc. Differential pressure sensor for respiratory monitoring
US5332005A (en) 1992-11-06 1994-07-26 Aalborg Instruments & Controls, Inc. Laminar flow element and method for metering fluid flow
US5319973A (en) 1993-02-02 1994-06-14 Caterpillar Inc. Ultrasonic fuel level sensing device
US5400973A (en) 1993-07-30 1995-03-28 Cohen; Amir Pressure responsive regulated flow restrictor useful for drip irrigation
JPH0783713A (ja) 1993-09-17 1995-03-31 Kyocera Corp 気体計測用流量計
US5341841A (en) 1993-10-19 1994-08-30 Acute Ideas, Inc. Fluid distribution device
WO1995017651A1 (en) 1993-12-23 1995-06-29 Honeywell Inc. Flow sensor package having dual integrated restrictors
US5634592A (en) 1994-04-07 1997-06-03 Flow-Rite Controls, Ltd. Flow control apparatus and method for making same
US5481925A (en) 1994-09-09 1996-01-09 Environmental Technologies, Inc. Low turbulence airflow sensor
US5537870A (en) 1994-10-03 1996-07-23 Ford Motor Company Contaminant free backflow reducing insert for mass air flow sensors
JP3246851B2 (ja) 1995-04-10 2002-01-15 東京計装株式会社 超音波流量計用検出器
JP3229168B2 (ja) 1995-06-14 2001-11-12 日本エム・ケー・エス株式会社 流量検出装置
DE19534890C2 (de) 1995-09-20 2003-12-18 Bosch Gmbh Robert Temperaturfühler
US5817950A (en) 1996-01-04 1998-10-06 Rosemount Inc. Flow measurement compensation technique for use with an averaging pitot tube type primary element
AU1579797A (en) 1996-01-17 1997-08-11 Micro Motion, Inc. Bypass type coriolis effect flowmeter
IL117326A (en) 1996-03-01 1999-11-30 Cohen Amir Regulated flow-restrictor devices particularly useful in drip irrigation
US5735267A (en) 1996-03-29 1998-04-07 Ohmeda Inc. Adaptive control system for a medical ventilator
US5736651A (en) 1996-05-23 1998-04-07 Bowers; James R. High temperature gas flow sensing element
US5789660A (en) 1996-07-15 1998-08-04 Novametrix Medical Systems, Inc. Multiple function airway adapter
US5763787A (en) 1996-09-05 1998-06-09 Rosemont Inc. Carrier assembly for fluid sensor
US5750892A (en) 1996-09-27 1998-05-12 Teledyne Industries, Inc. Laminar flow element with inboard sensor taps and coaxial laminar flow guides
US5781291A (en) 1996-10-22 1998-07-14 Pittway Corporation Smoke detectors utilizing a hydrophilic substance
US5942694A (en) 1996-11-12 1999-08-24 Beckman Instruments, Inc. Pressure detector for chemical analyzers
DE19647086A1 (de) 1996-11-14 1998-05-28 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums
US5792958A (en) 1997-01-21 1998-08-11 Honeywell Inc. Pressure sensor with a compressible insert to prevent damage from freezing
US5866824A (en) 1997-01-24 1999-02-02 American Meter Company Gas turbine meter
JPH10239130A (ja) 1997-02-24 1998-09-11 Omron Corp フローセンサ
JP3630916B2 (ja) 1997-05-06 2005-03-23 株式会社山武 燃焼ガス流量測定装置
JP3099230B2 (ja) 1997-07-01 2000-10-16 藤田クローム工業 株式会社 切削液の浄化装置
DE19741031A1 (de) 1997-09-18 1999-03-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums
CA2303970C (en) 1997-09-19 2009-09-08 Respironics, Inc. Medical ventilator
CA2249797C (en) 1997-10-16 2001-03-27 Yasuo Yamamoto Fluid pressure detector and air flow rate measuring apparatus using same
US6234016B1 (en) 1997-12-31 2001-05-22 Honeywell International Inc. Time lag approach for measuring fluid velocity
US6223593B1 (en) 1997-12-31 2001-05-01 Honeywell International Inc. Self-oscillating fluid sensor
US6169965B1 (en) 1997-12-31 2001-01-02 Honeywell International Inc. Fluid property and flow sensing via a common frequency generator and FFT
US6128963A (en) 1998-05-28 2000-10-10 Instrumentarium Corp. Gas flow restricting and sensing device
US6164143A (en) 1998-08-08 2000-12-26 Dieterich Standard, Inc. Tip flow barrier for a pitot tube type of fluid flowmeter
US20030062045A1 (en) 1998-09-18 2003-04-03 Respironics, Inc. Medical ventilator
JP4069521B2 (ja) 1998-10-05 2008-04-02 松下電器産業株式会社 流量計測装置
JP4189070B2 (ja) 1998-12-07 2008-12-03 株式会社堀場エステック マスフローメータの流量検出機構
US6322247B1 (en) * 1999-01-28 2001-11-27 Honeywell International Inc. Microsensor housing
US7258003B2 (en) * 1998-12-07 2007-08-21 Honeywell International Inc. Flow sensor with self-aligned flow channel
JP3475853B2 (ja) 1998-12-21 2003-12-10 三菱電機株式会社 流量測定装置
US6119730A (en) 1998-12-21 2000-09-19 Mcmillan Company Precision laminar flow element for use in thermal mass flow sensors and flow controllers
AU1402700A (en) * 1998-12-22 2000-07-12 Sensirion Ag Method and sensor for measuring a mass flow
DE19922226C1 (de) 1999-05-14 2000-11-30 Honeywell Bv Regeleinrichtung für Gasbrenner
US6308553B1 (en) 1999-06-04 2001-10-30 Honeywell International Inc Self-normalizing flow sensor and method for the same
KR20010039993A (ko) 1999-10-06 2001-05-15 오카무라 가네오 유량 및 유속 측정장치
US6655207B1 (en) 2000-02-16 2003-12-02 Honeywell International Inc. Flow rate module and integrated flow restrictor
US6761165B2 (en) 2000-02-29 2004-07-13 The Uab Research Foundation Medical ventilator system
EP1132438B1 (en) 2000-03-10 2005-10-12 Canon Kabushiki Kaisha Method for ink-jet printing
CH694474A5 (de) 2000-06-23 2005-01-31 Sensirion Ag Gaszähler und Verwendung des Gaszählers.
DE10035054C1 (de) 2000-07-19 2001-10-25 Draeger Medical Ag Atemstromsensor
US6826966B1 (en) 2000-08-09 2004-12-07 Honeywell International Inc. Flow sensor package
US6729181B2 (en) * 2000-08-23 2004-05-04 Sensiron Ag Flow sensor in a housing
US6502459B1 (en) 2000-09-01 2003-01-07 Honeywell International Inc. Microsensor for measuring velocity and angular direction of an incoming air stream
US6626175B2 (en) 2000-10-06 2003-09-30 Respironics, Inc. Medical ventilator triggering and cycling method and mechanism
JP3706300B2 (ja) 2000-10-13 2005-10-12 三菱電機株式会社 流量測定装置
US6591674B2 (en) 2000-12-21 2003-07-15 Honeywell International Inc. System for sensing the motion or pressure of a fluid, the system having dimensions less than 1.5 inches, a metal lead frame with a coefficient of thermal expansion that is less than that of the body, or two rtds and a heat source
JP2002250649A (ja) * 2001-02-23 2002-09-06 Osaka Gas Co Ltd ガスメータおよびその校正方法
DE10135142A1 (de) 2001-04-20 2002-10-31 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines in einer Leitung strömenden Mediums
WO2003038381A1 (en) 2001-10-30 2003-05-08 Board Of Trustees Of Michigan State University Oscillating hot wire or hot film flow sensor
US6681623B2 (en) 2001-10-30 2004-01-27 Honeywell International Inc. Flow and pressure sensor for harsh fluids
WO2003042678A1 (fr) 2001-11-15 2003-05-22 Riken Keiki Co., Ltd. Capteur de gaz
DE10205757B4 (de) 2002-02-12 2005-04-21 Siemens Ag Messrohr für einen Luftmassensensor und Verfahren zu dessen Herstellung
US7353719B2 (en) 2002-03-28 2008-04-08 Seiko Epson Corporation Pressure sensor and method for fabricating the same
WO2003083424A1 (fr) 2002-03-29 2003-10-09 Sanyo Electric Co., Ltd. Capteur de pression et procede de fabrication de celui-ci
EP1527326B1 (en) 2002-05-15 2019-05-01 Aarhus Universitet Sampling device and method for measuring fluid flow and solute mass transport
US6928865B2 (en) 2002-05-29 2005-08-16 Ckd Corporation Thermal flowmeter having a laminate structure
US6904799B2 (en) 2002-06-12 2005-06-14 Polar Controls, Inc. Fluid velocity sensor with heated element kept at a differential temperature above the temperature of a fluid
US7032463B2 (en) 2002-07-24 2006-04-25 Versamed Medical Systems Ltd. Respiratory flow sensor
US6904907B2 (en) 2002-11-19 2005-06-14 Honeywell International Inc. Indirect flow measurement through a breath-operated inhaler
CH696006A5 (de) 2002-12-23 2006-11-15 Sensirion Ag Vorrichtung zur Messung des Flusses eines Gases oder einer Flüssigkeit in einem Nebenkanal.
US7082825B2 (en) * 2002-12-27 2006-08-01 Yamatake Corporation Smoking device including a flowmeter
US6769299B2 (en) 2003-01-08 2004-08-03 Fetso Corporation Integral dual technology flow sensor
US6886401B2 (en) 2003-02-26 2005-05-03 Ckd Corporation Thermal flow sensor having sensor and bypass passages
US6843139B2 (en) 2003-03-12 2005-01-18 Rosemount Inc. Flow instrument with multisensors
DE10317166A1 (de) 2003-04-15 2004-11-04 Abb Research Ltd. Gaszähleranordnung mit verbesserter Strömungsgeometrie
US6907787B2 (en) 2003-04-30 2005-06-21 Honeywell International Inc. Surface acoustic wave pressure sensor with microstructure sensing elements
US7878980B2 (en) 2003-06-13 2011-02-01 Treymed, Inc. Gas flow diverter for respiratory monitoring device
SE0301767D0 (sv) 2003-06-18 2003-06-18 Siemens Elema Ab User interface for a medical Ventilator
US7028560B2 (en) 2003-06-24 2006-04-18 Pontificia Universidad Católica del Peru Method to linearly measure gas volume flow in ducts and flow sensor
EP1646848B1 (de) * 2003-07-14 2016-09-07 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur bestimmung wenigstens eines parameters eines in einer leitung strömenden mediums
US6957586B2 (en) 2003-08-15 2005-10-25 Saudi Arabian Oil Company System to measure density, specific gravity, and flow rate of fluids, meter, and related methods
US20050039809A1 (en) 2003-08-21 2005-02-24 Speldrich Jamie W. Flow sensor with integrated delta P flow restrictor
US6871537B1 (en) 2003-11-15 2005-03-29 Honeywell International Inc. Liquid flow sensor thermal interface methods and systems
JP4234024B2 (ja) 2004-01-23 2009-03-04 サーパス工業株式会社 インライン型圧力センサー
US7386166B2 (en) 2004-02-12 2008-06-10 Xerox Corporation Systems and methods for connecting regions image data having similar characteristics
JP2005265819A (ja) 2004-02-19 2005-09-29 Keyence Corp 分流式流量センサ装置
US7000298B2 (en) 2004-04-20 2006-02-21 Honeywell International Inc. Method a quartz sensor
DE102004019521B4 (de) 2004-04-22 2011-05-12 Abb Ag Durchflussmessgerät
JP4140553B2 (ja) 2004-04-28 2008-08-27 株式会社デンソー 空気流量測定装置
DE102004021303A1 (de) * 2004-04-29 2005-11-24 Abb Patent Gmbh Durchflussmessgerät
JP4079116B2 (ja) * 2004-04-30 2008-04-23 オムロン株式会社 流量計
US20050247106A1 (en) 2004-05-06 2005-11-10 Honeywell International, Inc. Relative humidity sensor enclosed with ceramic heater
US20050247107A1 (en) 2004-05-06 2005-11-10 Honeywell International, Inc. Relative humidity sensor enclosed with kapton type heater
US20060201247A1 (en) 2004-05-06 2006-09-14 Honeywell International, Inc. Relative humidity sensor enclosed with formed heating element
US7568383B2 (en) 2004-05-24 2009-08-04 Ford Global Technologies, Llc Portable vehicle exhaust flow sensor
US7036366B2 (en) 2004-05-25 2006-05-02 Delphi Technologies, Inc. Air flow measurement system having reduced sensitivity to flow field changes
WO2005121718A1 (ja) 2004-06-10 2005-12-22 Yamatake Corporation 流量計
US20060017207A1 (en) 2004-07-23 2006-01-26 Honeywell International, Inc. Clutch spring optimization
US20060099298A1 (en) 2004-11-05 2006-05-11 Hayes Michael S Mold flash trap, process using and parts made thereby
US7107834B2 (en) 2004-11-12 2006-09-19 Mks Instruments, Inc. Thermal mass flow rate sensor including bypass passageways and a sensor passageway having similar entrance effects
US7121139B2 (en) * 2004-11-12 2006-10-17 Mks Instruments, Inc. Thermal mass flow rate sensor having fixed bypass ratio
JP2006153677A (ja) 2004-11-30 2006-06-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 差圧式流量計、流量制御装置および基板処理装置
JP4120637B2 (ja) * 2004-11-30 2008-07-16 オムロン株式会社 流速測定装置
US7347785B2 (en) 2005-03-24 2008-03-25 American Axle & Manufacturing, Inc. Propshaft with constant velocity joint attachment
US20060225488A1 (en) 2005-04-09 2006-10-12 Honeywell International, Inc. Humidity sensor for measuring supersaturated water vapor utilizing a mini-heater
DE102005026709A1 (de) 2005-06-09 2006-12-21 Siemens Ag Strömungssensor
US7373819B2 (en) 2005-09-30 2008-05-20 Honeywell International Inc. Stress sensitive humidity sensor based on a MEMS structure
US20070151328A1 (en) 2005-12-30 2007-07-05 Asml Holding N.V. Vacuum driven proximity sensor
US20070176010A1 (en) 2006-01-06 2007-08-02 Honeywell International Inc. System for heating liquids
JP4845187B2 (ja) * 2006-02-07 2011-12-28 株式会社山武 センサのパッケージ構造及びこれを有するフローセンサ
US7892488B2 (en) 2006-02-10 2011-02-22 Honeywell International, Inc. Thermal liquid flow sensor and method of forming same
US7343823B2 (en) 2006-02-17 2008-03-18 Honeywell International Inc. Ultra low pressure drop flow sensor
US7278309B2 (en) 2006-03-01 2007-10-09 Honeywell International Inc. Interdigitated, full wheatstone bridge flow sensor transducer
US7243541B1 (en) 2006-03-30 2007-07-17 Honeywell International Inc. Combi-sensor for measuring multiple measurands in a common package
EP1840536B1 (en) * 2006-03-31 2011-01-19 Sensirion Holding AG Flow sensor with flow-adaptable analog-digital-converter
CN101050974A (zh) * 2006-04-03 2007-10-10 杭州中矽微电子机械技术有限公司 上下游温度分布二次差动流量测量方法、传感器、及应用
EP2275793A1 (en) 2006-05-23 2011-01-19 Sensirion Holding AG A pressure sensor having a chamber and a method for fabricating the same
DE102006024745A1 (de) 2006-05-26 2007-12-06 Siemens Ag Massenstromsensorvorrichtung
JP4729442B2 (ja) 2006-06-12 2011-07-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量測定装置，流量測定通路及びその製造方法
JP5066675B2 (ja) 2006-07-05 2012-11-07 Ｓｍｃ株式会社 フローセンサ
JP4888040B2 (ja) * 2006-10-18 2012-02-29 株式会社島津製作所 熱式質量流量計
US8252158B2 (en) 2006-11-01 2012-08-28 Honeywell International Inc. Oxygen sensors
US7430918B2 (en) 2006-12-04 2008-10-07 Honeywell International Inc. Amplified flow through pressure sensor
US7520051B2 (en) * 2007-01-04 2009-04-21 Honeywell International Inc. Packaging methods and systems for measuring multiple measurands including bi-directional flow
EP1959242A3 (en) 2007-02-19 2009-01-07 Yamatake Corporation Flowmeter and flow control device
JP4404104B2 (ja) 2007-03-29 2010-01-27 株式会社デンソー 空気流量測定装置
WO2008152769A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-18 Yamatake Corporation 流量計
US7832269B2 (en) 2007-06-22 2010-11-16 Honeywell International Inc. Packaging multiple measurands into a combinational sensor system using elastomeric seals
US7454984B1 (en) 2007-08-31 2008-11-25 Delphi Technologies, Inc. Flow meter for measuring a flow rate of a flow of a fluid
US7647835B2 (en) 2007-09-19 2010-01-19 Honeywell International Inc. Pressure sensor stress isolation pedestal
JP5052275B2 (ja) * 2007-09-20 2012-10-17 アズビル株式会社 フローセンサの取付構造
US7730793B2 (en) 2007-11-16 2010-06-08 Honeywell International Inc. Venturi flow sensor
US7654157B2 (en) 2007-11-30 2010-02-02 Honeywell International Inc. Airflow sensor with pitot tube for pressure drop reduction
US7513149B1 (en) 2007-11-30 2009-04-07 Honeywell International Inc. Robust MEMS flow die with integrated protective flow channel
US7603898B2 (en) 2007-12-19 2009-10-20 Honeywell International Inc. MEMS structure for flow sensor
JP4576444B2 (ja) * 2008-03-31 2010-11-10 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
EP2107347B1 (en) 2008-04-04 2016-08-31 Sensirion AG Flow detector with a housing
US8145454B2 (en) 2008-04-22 2012-03-27 Honeywell International Inc. Method and apparatus for improving fatigue life of a wobblefram
US8164007B2 (en) 2008-07-16 2012-04-24 Honeywell International Conductive elastomeric seal and method of fabricating the same
US7647842B1 (en) 2008-07-25 2010-01-19 Honeywell International Inc. Pressure-based fluid flow sensor
US7631562B1 (en) * 2008-08-19 2009-12-15 Honeywell International Inc. Mass-flow sensor with a molded flow restrictor
JP4705140B2 (ja) * 2008-10-06 2011-06-22 株式会社堀場エステック 質量流量計及びマスフローコントローラ
US8104340B2 (en) 2008-12-19 2012-01-31 Honeywell International Inc. Flow sensing device including a tapered flow channel
US7891238B2 (en) 2008-12-23 2011-02-22 Honeywell International Inc. Thermal anemometer flow sensor apparatus with a seal with conductive interconnect
US7905153B2 (en) 2009-04-24 2011-03-15 Mann+Hummel Gmbh Flow vortex suppression apparatus for a mass air flow sensor
US8656772B2 (en) 2010-03-22 2014-02-25 Honeywell International Inc. Flow sensor with pressure output signal
US8397586B2 (en) 2010-03-22 2013-03-19 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly with porous insert
US8113046B2 (en) 2010-03-22 2012-02-14 Honeywell International Inc. Sensor assembly with hydrophobic filter
US8756990B2 (en) 2010-04-09 2014-06-24 Honeywell International Inc. Molded flow restrictor
US8695417B2 (en) 2011-01-31 2014-04-15 Honeywell International Inc. Flow sensor with enhanced flow range capability
JP7083713B2 (ja) 2018-07-05 2022-06-13 パイロットインキ株式会社 難燃性変色体

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101943590A (zh) * 2009-07-01 2011-01-12 欧姆龙株式会社 流量测定装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106840296A (zh) 2017-06-13
CN102645249A (zh) 2012-08-22
US20120192642A1 (en) 2012-08-02
US8418549B2 (en) 2013-04-16
CN106840296B (zh) 2020-03-17
AU2012200528B2 (en) 2015-07-23
AU2012200528A1 (en) 2012-08-16
EP3136062B1 (en) 2023-03-08
EP2482043B1 (en) 2016-09-21
US9091577B2 (en) 2015-07-28
EP3136062A1 (en) 2017-03-01
US20130213131A1 (en) 2013-08-22
EP2482043A1 (en) 2012-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102645249B (zh) 具有集成旁路通道的流量传感器组件
CN102620792B (zh) 具有提高的流量范围能力的流量传感器
US8756990B2 (en) Molded flow restrictor
US7520051B2 (en) Packaging methods and systems for measuring multiple measurands including bi-directional flow
EP2199758B1 (en) Flow sensing device including a tapered flow channel
US7631562B1 (en) Mass-flow sensor with a molded flow restrictor
CN100535609C (zh) 热流量检测装置及利用该装置检测流量的方法
JP3288913B2 (ja) 流量センサ・デバイスおよびその方法
CN104833400B (zh) 灰尘减少的空气流传感器
JPH11183228A (ja) ガスメータ
US20060101923A1 (en) Methods and systems for sensing air vehicle airspeed
Svedin et al. A lift force sensor with integrated hot-chips for wide range flow measurements
JPH04157325A (ja) 熱式空気流量計
CN107796452A (zh) 气体流量计
JP2002202166A (ja) 流量計
Cao et al. A Flip Chip Package for Thermal Mass Flowmeter

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant