JP4120637B2

JP4120637B2 - 流速測定装置

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Publication number: JP4120637B2
Application number: JP2004346724A
Authority: JP
Inventors: 大介葛山; 敏光藤原
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2004-11-30
Filing date: 2004-11-30
Publication date: 2008-07-16
Anticipated expiration: 2024-11-30
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Description

本発明は、流体の速度を検出する流速測定装置に関する。

冷却ファンによって空冷するパソコンを始めとする電子機器などでは、フィルタの目詰まりによる風量低下が冷却能力の低下を招き、その機能に障害が発生するおそれがあるため、流速測定装置で常時風量を監視して、風量が低下したときにはファンの回転数を上げたり、ユーザに対して警報を発したりするようになっている。従来、このような用途に用いられるような流速測定装置は、流路中にセンサ素子を配置して空気の流速を測定する構造になっていた。しかしながら、従来の流速測定装置を長時間使用していると、空気中の塵や埃がセンサ素子に付着、堆積して精度が低下するという問題があった。

特許文献１には、前記問題を解決するために、流路にトラップ壁を設けて、塵埃の慣性によって空気流中の塵埃をトラップ壁に補足させてから空気流をセンサ素子に導く流速測定装置が記載されている。しかしながら、塵埃が装置内に蓄積し、やがて流路が閉塞してしまう欠点や、流速測定装置を設置した機器を持ち運んだりすると、装置内に堆積した塵埃がセンサ素子に付着する危険がある。また、被測定流体の導入口と排出口との間隔が大きく、短い流路に設置することができないという問題もある。

特許文献２には、本体に溝を設けることで、円弧状の流路と、円弧状の流路から円弧の内側方向に分岐した分岐流路とを構成し、円弧状の流路内で流体に含まれる塵埃を遠心力（慣性力）により円弧外側に偏らせ、円弧内側の塵埃の少ない流体を分岐流路に導くことで塵埃が少ない流体の流れを得、この流体の速度をセンサ素子で検出する流速測定装置が記載されている。さらに、特許文献２の流速測定装置は、円弧状の流路より分岐流路の深さが浅くなるように段差を設けることで、流速が遅いときには重力を利用して塵埃を分離できるようにしている。しかしながら、特許文献２の流速測定装置は、センサ素子を有する回路基板によって本体の溝の上部開口を封止することで流路を構成するので、回路基板側には円弧状の流路と分岐流路との段差を設けることができず、上下逆に設置すると流速が遅いときに塵埃を十分に分離できないという問題がある。さらに、回路基板と本体との間に漏れがあると測定精度が低下してしまうので、高精度の流速測定装置を実現するためには、回路基板と本体との間にパッキンを挟み込むことが必要になり構造が複雑になる。さらに、特許文献２の流速測定装置は、特許文献１の流速測定装置と同様に、被測定流体の流れ方向に長いという欠点がある。
特許第３１２４４５７号米国特許第４９１４９４７号

また、流速測定装置は、流速測定装置を組み込んだ機器の小型化のために、被測定流体の流れ方向の寸法が短いと共に、流れ方向に直角な流れを遮断する面積が小さいことが望まれる。よって、特許文献１および２の流速測定装置は、導入口と排出口との位置が離れているので、単に導入口および排出口を横に向けて開口させるだけでは、流れ方向の寸法を短くできても流れを遮断する面積が大きくなってしまう問題がある。

上記の問題点に鑑みて、本発明は、被測定流体の流れ方向の寸法が小さく、被測定流体の流れを遮断する面積が小さい、構造の簡単な流速測定装置を提供すること課題とする。

前記課題を解決するために、本発明による流速測定装置は、本体の表面に設けられ、被測定流体の上流に向かって開口する導入口と、前記本体の内部に、前記導入口から直線的に延伸してから円弧状に彎曲した導入流路と、前記導入流路の前記円弧状に彎曲した部分から前記彎曲の内側方向に分岐して前記導入流路の前記直線的に延伸する部分と平行に延伸し、末端が前記本体の表面に開口する第１排出口に接続された分岐流路と、前記導入流路の末端と連通し、前記導入流路の前記直線的に延伸する部分と平行に延伸して末端が前記本体の表面に開口する第２排出口に接続された排出流路と、前記分岐流路からさらに分岐して末端が前記本体の表面に開口する第３排出口に接続され、その中にセンサ素子が設けられた測定流路とを有し、前記測定流路は、前記導入流路から前記分岐流路への分岐点における前記導入流路の流路方向および前記分岐流路の流路方向に対して直角な方向に、前記排出流路と重なり合う部分を有するものとする。

この構成によれば、円弧状の流路から円弧の内向きに分岐を設けることで、流体に含まれる塵埃の質量による慣性力を利用して塵埃を分離し、さらにもう１つの分岐で塵埃を分離した流体の速度をセンサ素子で測定するので、センサ素子に塵埃が付着して精度が低下することがない。さらに、測定流路を流路の分岐と直角方向に重ねたので、流路の構成が立体的になり、流速測定装置の寸法が小さくなる。

また、本発明の流速測定装置において、前記導入流路から前記分岐路への分岐点における前記分岐流路の流路方向は、前記導入口の対向する方向と直角な方向であってもよい。

この構成によれば、流路の分岐は、被測定流体の流れに垂直な面内に設けられるので、被測定流体の流れ方向の寸法が小さくなる。

また、本発明の流速測定装置において、前記本体は、接合面で互いに接合される２つの半体からなり、前記排出流路は、前記半体の接合面に設けた溝に連通し、前記半体の側面の開口部から前記半体の接合面に平行に延伸し、少なくとも一部分が前記接合面に開放せず、奥部で前記溝と連通する横穴からなってもよい。

この構成によれば、前記溝と前記横穴を有する半体は３分割の金型を用いた公知の射出成形方法で成型することが可能であり、部品点数を増加することなく被測定流体の流れ方向に重なり合う流路を形成することができる。

また、本発明の流速測定装置において、前記導入流路、前記分岐流路および前記測定流路は、前記半体の接合面に設けた溝からなってもよい。

この構成によれば、接合面に設けた溝により平面的に構成した流路と、横穴によって構成した流路とを重ねた流路構成を容易に実現できる。

また、本発明の流速測定装置において、前記横穴は、前記半体の側面の開口部において、前記接合面と反対側の表面にも開口し、該開口部の側面側がもう一方の半体に設けた壁部で封止されてもよい。

この構成によれば、流速測定装置に導入または排出される流体が、被測定流体の流れ方向に沿って流入または流出するので、流速測定装置の周囲の物体よって流速測定装置内の流体の流れが乱されることがなく、正確な流速の測定が可能になる。

また、本発明の流速測定装置において、前記半体の接合面にさらに設けた溝によって、前記測定流路に隣接し、前記測定流路に開口するセンサ開口を有する収納部が画定され、前記センサ素子は、前記収納部内に前記半体の接合方向に端面を向けて収納された基板上に設けられ、前記センサ開口から前記測定流路の内側に露出してもよい。

この構成によれば、基板は、センサ素子の周囲の僅かな部分だけが流路に露出するようになり、半体の接合面を広範囲に封止する必要がない。さらに、基板を収納するために半体に設けた溝の形状により、センサ素子の周囲部分をセンサ開口の外壁に、半体の接合力とは無関係に強く密接させることができる。このため、基板と半体との間に流路からの漏れが発生しにくく、パッキンのような密封のための部品が不要である。

また、本発明の流速測定装置において、前記半体の接合面に設けた溝は、前記２つの半体の両接合面に設けた深さが不連続に変化する溝であってもよく、好ましくは、記導入流路を画定する部分より前記分岐流路を画定する部分が浅く、前記分岐流路を画定する部分より前記測定流路を画定する部分が浅くなっているとよい。

この構成によれば、流路の上下に段差または邪魔板を設けることができる。このため、流速測定装置が上下反対に設置されても重力による塵埃の分離ができるので、センサ素子に塵埃が付着して精度が損なわれることがない。

また、本発明の流速測定装置において、前記重なり合う部分を有する流路は、前記排出流路であってもよい。

この構成によれば、流路の分岐毎に段差を設けて流路を被測定流体の流れ方向に狭くして、塵埃の重力による分離を行うようにしたとき、必然的に被測定流体の流れ方向に最も広くなる導入流路の末端に被測定流体の流れ方向に偏った排出流路を接続することで、他の流路と重なり合うための被測定流体の流れ方向のずれを容易に実現できる。このため、被測定流体の流れ方向の寸法が小さく、被測定流体の流れを遮断する面積も小さい被測定流体が容易に構成できる。

また、この構成によれば、流路の分岐毎に段差を設けて流路を被測定流体の流れ方向に狭くして、塵埃の重力による分離を行うようにしたとき、必然的に被測定流体の流れ方向に最も狭くなる測定流路と、被測定流体の流れ方向に偏った排出流路とを重ね合わせるので、さらに、被測定流体の流れ方向のずれを実現し易く、容易に被測定流体の流れ方向の寸法を小さくできる。

また、本発明の流速測定装置において、前記導入口、前記第１排出口、第２排出口および第３排出口は、すべて前記本体の１つの端部付近に開口してもよい。

この構成によれば、流速測定装置の一端のみを被測定流体の流れの中に露出させるだけで流速を測定できる。これにより、流速測定装置は被測定流体の流れを阻害しない。

また、本発明の流速測定装置において、前記第１排出口、第２排出口および第３排出口は、前記本体の背面に開口する１つの排出口からなってもよい。

この構成によれば、流速測定装置の本体かから流出する流体を１つにまとめてから排出するので、流速測定装置の周囲の物体の影響で各流路に異なる背圧が加わって各流路間の流量の比率が変動することがない。これにより、流速測定装置は被測定流体の流速を正確に測定できる。

以上のように、本発明の流速測定装置は、被測定装置の流れ方向に垂直に塵埃分離のための分岐を設けるので、被測定流体の流れ方向の寸法が小さく、流路を重ね合わせるので、被測定流体の流れを遮断する面積も小さく、部品点数が少なく構造も簡単である。

これより、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１および図２は、本発明の１実施形態である流速測定装置１のそれぞれ前面および背面を上にした様子を示す。図１において、流速測定装置１は、上方から下方に流れる被測定流体の中に設置される。流速測定装置１は、略直方体の本体２を有し、本体２は、被測定流体の上流側の前側半体３と、下流側の後側半体４とに２分割され、本体２内部に基板５が挟み込まれている。流速測定装置１の本体２の長手方向の一端には、前側半体３の前面に開口する導入口６が設けられ、本体２の他端には、前側半体３および後側半体４を貫通し、両面に座ぐり７を有する取付穴８が設けられている。また、流速測定装置１の本体２の取付穴８が設けられた側の端面には、基板５上に設けられたコネクタ９が露出している。さらに、導入口６が設けられた側の本体２の端部の背面には後側半体４に設けた排出口１０が開口しており、排出口１０は、本体２の側面部分が前側半体３に突設した壁部１１で封止されている。

図３に、流速測定装置１を分解した様子を示す。図示するように、前側半体３および後側半体４には、両者の接合面に設けた溝によって、被測定流体が通過する流路１２と、基板５を収納する収納部１３とが形成されている。流路１２は、導入口６から（被測定流体の流れ方向と直角な）接合面上を直線的に延伸してから接合面上で円弧状に湾曲した導入流路１４と、導入流路１４の湾曲部から湾曲の内側方向に分岐して導入流路１４の直線部分と平行に延伸する分岐流路１５と、分岐流路１５から横方向に分岐し、途中に収納部１３と連通するセンサ開口１７が設けられ、末端が分岐流路１５と並ぶように画定された測定流路１６と、後述する横穴（排出流路）２７とからなっている。

収納部１３は、測定流路１６に隣接し、導入流路１４および分岐流路１５と平行に設けられた溝である。収納部１３は、基板５の端面と係合する保持溝１８で基板５を両半体３，４の接合面に直立させて挟み込むようになっており、センサ開口１７の反対側の壁から突出し、基板をセンサ開口１７に押し当てる補助壁１９が設けられ、コネクタ９を露出させるコネクタ穴２０が本体２の端面に開口し、本体２の側面には基板５に設けられるトリマを操作するための２つのトリマ穴２１が設けられている。この収納部１３に、基板５は、長辺の端面を両半体３，４の接合面に向けて、つまり、被測定流体の流れ方向に端面を向けて収納される。

基板５に設けられたセンサ素子２２は、センサ開口１７を貫通して測定流路１６の中に露出し、測定流路１６内の流体の速度を計測する。センサ素子２２は発熱体と測温体とからなる公知の流速センサである。センサ素子２２の出力は、基板５上に設けた回路によって処理されて、コネクタ９を介して外部の制御機器などに送信されるようになっている。

また、前側半体３と後側半体４とは、前側半体３に設けた圧入部材２３を後側半体４に設けた係合穴２４に挿入することで一体に接合される。

図４に、基板５を収納した前側半体３と後側半体４とを異なる角度から見た図を示す。導入流路１４から分岐流路１５への分岐点および分岐流路１４から測定流路１６への分岐点には、それぞれ段差２５および段差２６が、前側半体３と後側半体４の両方に設けられ、導入流路１４より分岐流路１５そして分岐流路１５より測定流路１６の方が溝の深さが浅くなっている。また、導入流路１４の端部は、さらに深い穴になっており、後側半体４の端面（短辺の側面）から延伸する横穴２７と連通している。

さらに、図５に流速測定装置１を横穴２７が開口する端面側から見た様子を示す。横穴２７は、後側半体４の端面から前側半体３との接合面に平行に直線的に延伸しており、奥部で導入流路１４と連通している。分岐流路１５、測定流路１６および横穴２７は、後側半体４の端面および背面に開口する排気口１０に通じており、流路１２の末端は、全て排気口１０で本体２の外部に開口している。つまり、導入流路１４は、末端に接続した横穴（排出流路）２７を介して外部に開放している。

図６は、流速測定装置１を厚みを等分するように切断した様子を示す。横穴２７は、分岐流路１５と並行して測定流路１６と重なり合うように設けられ、末端が測定流路１６および分岐流路１５と連通して後側半体４の背面に開口している。

図７に、流速測定装置１の図６におけるＡ−Ａ断面矢視図、図８に流速測定装置１の図６におけるＢ−Ｂ断面矢視図、図９にＣ−Ｃ断面矢視図、そして、図１０にＤ−Ｄ断面矢視図を示す。図示するように、横穴２７は、部分的に、測定流路１６と本体２の厚み方向（被測定流体の流れ方向）に重なりを有している。また、導入流路１４、分岐流路１５そして測定流路１６は、順に、本体２の厚み方向に溝の深さが浅くなっており、導入流路１４から分岐流路１５への分岐には段差２５があり、分岐流路１５から測定流路１６への分岐には段差２６があることが分かる。

続いて、以上の構成からなる流速測定装置１において、被測定流体の流速がどのようにして測定されるかを説明する。
図１１は、流速測定装置１の使用例を示す。流速測定装置１は、電化製品などの内部を冷却するための空気の流量を測定するためなどに用いられ、空気取り入れ口のフィルタ４１とフィルタ４１を通して外気を吸入する吸気ファン４２との間に、導入口６をフィルタ４１に正対し、排出口１０を吸気ファン４２に正対して空気の流れの端に設置される。通常、フィルタ４１と冷却ファン４２との間の距離Ｌは短い方が電化製品を小型化する上で好ましい。また。図１２に、流速測定装置１の配置を空気の流れ方向の下流側から見た様子を示す。流速測定装置１は、排出口１０が設けられた端部だけが空気の流れの中に突出するように固定され、図中に斜線で示した部分の面積Ｓが、実質的に空気の流れを遮断する面積である。

以上のように設置された流速測定装置１は、例えば図１０に矢印で示すように、被測定流体である空気の流れに正対する導入口６から空気を内部の流路１２に取り込む。取り込まれた空気は、外部の空気の流れ方向に直角な方向に延伸する導入流路１４に沿って流れる。そして、図６に示すように、取り入れた空気は導入流路１４の後半部の湾曲に沿って流れ、導入流路１４の湾曲の中心方向に分岐する分岐流路１５に一部の空気が分流し、残る空気は横穴２７を通って排出口１０から本体２の外部に排出される。導入流路１４の湾曲部において空気中に含まれる塵埃は、自身の質量と流速とによって働く遠心力で湾曲の外側に偏るので分岐流路１５には塵埃が流入しにくい。さらに、分岐流路１５は導入流路１４から横方向に分岐しているので、導入流路１４を流れる空気の一部は、急激に流れの向きを変えて分岐流路１５に流れ込む。このとき、空気中に含まれる塵埃は、自身の質量に作用する慣性力のために急激に方向転換することができずに分岐流路１５に流れ込む空気の流れから離脱して、導入流路１４に沿って通り過ぎる。さらに、分岐流路１５を流れる空気の一部は、分岐流路１５から横方向に分岐した測定流路１６に分流する。ここでも、空気中の塵埃は、慣性力によって分岐流路１５を直進しようとするので、測定流路１６には塵埃が分離された清浄な空気が流れ込むことになる。分岐流路１５を直進した空気および測定流路１６に分岐して流入した空気は、それぞれ排気口１０に達し、横穴２７を通過した空気とともに本体２の外部に排出される。

測定流路１６の途中にはセンサ開口１７が設けられ、センサ素子２２が測定流路１６の内部に露出しているので、測定流路１６に流入した空気の速度はセンサ素子２２によって計測される。この測定流路１６内の空気の速度は、流速測定装置１の外部の空気の速度と相関関係があるため、センサ素子２２が計測した空気の速度から被測定流体である空気の流速が算出される。測定流路１６は、センサ開口１７で収納部１３と連通する溝として設けられているが、基板５が補助壁１９によってセンサ開口１７に強く押し当てられるので、センサ開口１７は基板５によって封止され、測定流路１６から収納部１３に空気が漏れ出すことを防いでいる。本発明によって、基板５は、センサ開口１７の僅かな当接面を封止するだけでよいので、補助壁１９のような構造で基板５をセンサ開口１７の当接面に密接させることが可能となっており、パッキンなどのシール部材が不要である。

また、外部の空気の流れが遅い場合、上述の慣性力や遠心力は小さなものになり、空気中の塵埃を十分に分離できない。そして、空気の流速が遅い場合、空気中の塵埃は重力によって下方に沈降し流路１２の下方をゆっくりと空気の流れに沿って移動する。しかし、流速測定装置１が図１１の向きに取り付けられている場合、分岐流路１５は導入流路１４の上方にあるため、塵埃は分岐流路１５に流れ込むことができない。同様に、図１１のフィルタ４１と冷却ファン４２の間に流速測定装置１を上下左右いかなる方向から設置しても、空気の流速が遅い場合は、流路１２の流路間に上下の並びができるので塵埃が分離される。そして、外部の空気の流れが上下方向である場合、流速測定装置１は導入流路１４、分岐流路１５および測定流路１６が水平方向に並んで配置されることになるが、導入流路１４から分岐流路１５への分岐に段差２５が設けられており、さらに、分岐流路１５から測定流路１６への分岐にも段差２６が設けられている。このため、流路１２内で下方に沈降した塵埃は、段差２５，２６を乗り越えることができずに分岐する空気の流れから取り残され、導入流路１４または分岐流路１５を直進する。本発明により、前側半体３および後側半体４の両方に溝を設けて流路１２を構成しているので、流速測定装置１を上下逆にしても段差２５，２６があり、塵埃が測定流路１６に流れ込んでセンサ素子２２に付着することがない。

流速測定装置１の後側半体４の横穴２７は、後側半体４の端面から前側半体３との接合面と平行に直線的に設けられており、横穴２７並びに分岐流路１５および測定流路１６の開口でもある排出口１０の本体２の端面側は、前側半体３に突出して設けた壁部１１によって封止されている。このため、横穴２７、分岐流路１５および測定流路１６は、後側半体４の背面にのみ開口している。後側半体４は、横穴２７が端面から直線的に設けられている、前側半体３との接合方向に分割される２つの金型と、排気口１０が設けられた端面側に分離される１つの金型とによる３分割の金型を使用して射出成形により成形することができる。このような３分割金型は射出成形においては平易な技術であるので、後側半体４が高価になることはない。そして、流速測定装置１は、この後側半体４と、２分割の金型で成形できる前側半体３と、通常の構成からなる基板５との３つの部品のみで構成することができ、構造が簡単で製造コストが低いという長所を有している。また、排気口１０が背面にのみ開口していることで周囲の物体の影響で流路１２の中の空気の流れに影響が及びセンサ素子２２による流速の計測値が不正確になる危険が小さい。

また、本発明による流速測定装置１は、導入流路１４、分岐流路１５および測定流路１６が被測定流体の流れ方向に対して垂直な面内に並んで設けられているため、被測定流体の流れ方向の厚み寸法が小さく、フィルタ４１と冷却ファン４２との間の距離Ｌが短くても設置可能である。同時に、横穴２７を最も細い測定流路１６と被測定流体の流れ方向に重なるように配置することで、被測定流体の流れに対向する表面積をも小さくしている。さらに、流入口６と排出口１０とが本体２の１つの端部の表裏に集中して設けられているので、フィルタ４１と冷却ファン４２との間の空気の流れに露出して被測定流体の流れを遮断する面積Ｓはさらに小さくなっている。このため、流速測定装置１は、冷却ファン４２の効率を低下させない。

以上の実施形態の流速装置１においては、後側半体４に設けた横穴２７によって排出流路が構成されているが、導入流路を前側半体に設けた横穴によって構成し、分岐流路、測定流路および排出流路を両半体の接合面に設けた溝によって構成することもできる。また、各流路のレイアウトによっては、分岐流路の後半部分や測定流路の一部分を横穴で構成することも可能である。

また、各流路の排出口１０は、必ずしも１つにまとめる必要はなく、それぞれ個別に本体２の外表面に開口してもよい。また、横穴をそのまま本体２の側面に開口してもよい。

本発明の流速測定装置の前方からの斜視図。図１の流速測定装置の後方からの斜視図。図１の流速測定装置の分解斜視図。図１の流速測定装置の異なる角度からの分解斜視図。図１の流速測定装置の端面方向からの分解斜視図。図１の流速測定装置の断面図。図６の流速測定装置のＡ−Ａ断面図。図６の流速測定装置のＢ−Ｂ断面図。図６の流速測定装置のＣ−Ｃ断面図。図６の流速測定装置のＤ−Ｄ断面図。図１の流速測定装置の使用例を示す斜視図。図１１の使用例の背面図。

符号の説明

１流速測定装置
２本体
３前側半体
４後側半体
５基板
６導入口
１０排出口
１１壁部
１２流路
１３収納部
１４導入流路
１５分岐流路
１６測定流路
１７センサ開口
２２センサ素子
２７横穴（排出流路）

Claims

本体の表面に設けられ、被測定流体の上流に向かって開口する導入口と、
前記本体の内部に、前記導入口から直線的に延伸してから円弧状に彎曲した導入流路と、
前記導入流路の前記円弧状に彎曲した部分から前記彎曲の内側方向に分岐して前記導入流路の前記直線的に延伸する部分と平行に延伸し、末端が前記本体の表面に開口する第１排出口に接続された分岐流路と、
前記導入流路の末端と連通し、前記導入流路の前記直線的に延伸する部分と平行に延伸して末端が前記本体の表面に開口する第２排出口に接続された排出流路と、
前記分岐流路からさらに分岐して末端が前記本体の表面に開口する第３排出口に接続され、その中にセンサ素子が設けられた測定流路とを有し、
前記測定流路は、前記導入流路から前記分岐流路への分岐点における前記導入流路の流路方向および前記分岐流路の流路方向に対して直角な方向に、前記排出流路と重なり合う部分を有することを特徴とする流速測定装置。
前記導入流路から前記分岐路への分岐点における前記分岐流路の流路方向は、前記導入口の対向する方向と直角な方向であることを特徴とする請求項１に記載の流速測定装置。
前記本体は、接合面で互いに接合される２つの半体からなり、
前記排出流路は、前記半体の接合面に設けた溝に連通し、前記半体の側面の開口部から前記半体の接合面に平行に延伸し、少なくとも一部分が前記接合面に開放せず、奥部で前記溝と連通する横穴からなることを特徴とする請求項１または２に記載の流速測定装置。
前記導入流路、前記分岐流路および前記測定流路は、前記半体の接合面に設けた溝からなることを特徴とする請求項３に記載の流速測定装置。
前記横穴は、前記半体の側面の開口部において、前記接合面と反対側の表面にも開口し、該開口部の側面側がもう一方の半体に設けた壁部で封止されたことを特徴とする請求項３または４に記載の流速測定装置。
前記半体の接合面にさらに設けた溝によって、前記測定流路に隣接し、前記測定流路に開口するセンサ開口を有する収納部が画定され、
前記センサ素子は、前記収納部内に前記半体の接合方向に端面を向けて収納された基板上に設けられ、前記センサ開口から前記測定流路の内側に露出することを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の流速測定装置。
前記半体の接合面に設けた溝は、前記２つの半体の両接合面に設けた深さが不連続に変化する溝であることを特徴とする請求項６に記載の流速測定装置。
前記半体の接合面に設けた溝は、前記導入流路を画定する部分より前記分岐流路を画定する部分が浅く、前記分岐流路を画定する部分より前記測定流路を画定する部分が浅くなっていることを特徴とする請求項７に記載の流速測定装置。
前記導入口、前記第１排出口、第２排出口および第３排出口は、すべて前記本体の１つの端部付近に開口することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の流速測定装置。
前記第１排出口、第２排出口および第３排出口は、前記本体の背面に開口する１つの排出口からなることを特徴とする請求項９に記載の流速測定装置。