CN104833400B - 灰尘减少的空气流传感器 - Google Patents

Abstract

一种传感器壳体包括入口流动端口、出口流动端口、流量感测区域以及流动通道，所述流动通道在入口流动端口、流量感测区域以及出口流动端口之间延伸。所述流动通道限定在入口流动端口与流量感测区域之间的三维扭曲的流动路径。在入口流动端口与流量感测区域之间的所述三维扭曲的流动路径可以包括微粒收集区域，其配置为使流体减速并且收集从所述流体中释放的微粒。所述流体流的减速和/或沿着三维扭曲的流动路径在流体流的方向的一个或多个变化可以促使在到达在感测区域内的传感器之前，从流体中释放灰尘和/或其他微粒物质。

Description

灰尘减少的空气流传感器

技术领域

本公开总体上涉及传感器，并且更特殊地，涉及用于减少影响传感器的性能的水分、灰尘、微粒物质和/或其他污染物的方法和装置。

背景技术

湿度、温度、压力以及流量传感器等传感器通常用于感测在流体通道内的流体（例如，气体或液体）的一个或多个性能。这种传感器用于广泛的应用中，包括（例如）医学应用、飞行控制应用、工业过程应用、燃烧控制应用、天气监控应用以及很多其他应用。在某些情况下，灰尘、微粒物质和/或其他污染物能够在使用期间进入传感器，并且随着时间积累。这种污染物能够影响传感器的精度、可重复性、功能和/或其他方面。需要新型的并且改进的系统和方法，用于减少影响传感器的性能的灰尘、微粒物质和/或其他污染物。

发明内容

本公开总体上涉及传感器，并且更尤其地，涉及用于减少影响传感器的性能的灰尘、微粒物质和/或其他污染物的方法和装置。在一个实例中，一种传感器壳体包括：入口流动端口；出口流动端口；以及流动通道，其在入口流动端口与出口流动端口之间延伸。所述流动通道包括：第一流动通道区域，用于接受沿着X-Y-Z坐标系的Y轴进入壳体的入口流动端口内的流体，并且用于使流体转向，以沿着X-Y-Z坐标系的X轴流动；第二流动通道区域，其位于第一流动通道区域的下游，所述第二流动通道区域配置为接受沿着X-Y-Z坐标系的X轴的第一流动通道区域的流体，所述第二流动通道区域具有比所述第一流动通道区域更大的横截面面积；第三流动通道区域，其位于第二流动通道区域的下游，所述第三流动通道区域配置为接受沿着X-Y-Z坐标系的Z轴的第二流动通道区域的流体；以及第四流动通道区域，其位于第三流动通道区域的下游，用于将流体从第三流动通道区域引导到流量感测区域。在某些情况下，传感器可以位于感测区域内。传感器可以（例如）是湿度传感器、温度传感器、压力传感器、流量传感器和/或任何其他合适的传感器。

在另一个实例中，流量传感器壳体包括入口流动端口、出口流动端口、流量感测区域以及流动通道，其在入口流动端口、流量感测区域以及出口流动端口之间延伸。流动通道限定在入口流动端口与流量感测区域之间的三维扭曲的流动路径。此外，在入口流动端口与流量感测区域之间的流动路径包括微粒收集区域，该区域配置为使流过流动通道的流体减速，并且收集从流体中释放的微粒。

在又一个实例中，一种感测在流体中具有一个或多个微粒的流体的流率的方法包括：沿着三维扭曲的流动路径，引导在入口流动端口与流量感测区域之间的流体；使流体减速并且收集在微粒收集区域内释放的微粒；将流体从微粒收集区域引导到流量感测区域；并且感测在流量感测区域中的流体的流率。

提供前述发明内容，以帮助理解本公开独有的一些创新性特征，并非旨在用作完整描述。通过整体考虑整个说明书、权利要求、附图以及摘要，能够获得本公开的彻底理解。

附图说明

考虑到结合附图的各种说明性实施方式的以下描述，可以更完整地理解本公开，其中：

图1为用于测量穿过流动通道的流体的流体流率的说明性流量传感器的示意图；

图2为可用于测量穿过流动通道的流体的流率的说明性流量传感器组件的示意图；

图3A为说明性传感器壳体和连接器的透视图；

图3B为在图3A中显示的流量传感器壳体的顶部平面图；

图4为沿着沿线路4-4的图3A和3B的流量传感器组件的X-Y平面截取的示意性横截面图；

图5为沿着沿线路5-5的图3A和3B的流量传感器组件的Y-Z平面截取的示意性横截面图；

图6A-6C示出了三个不同的流动路径模型；以及

图7A-7C分别示出了通过在图6A-6C中显示的三个不同的流动路径模型的模拟流体流。

虽然本公开服从各种修改和替换的形式，但是在附图中通过实例显示了其细节，并且详细描述这些细节。然而，应理解的是，本发明并非将本公开的方面限于所描述的特定说明性实施方式。相反，本发明用于涵盖在本公开的精神和范围内的所有修改、等同物以及替换物。

具体实施方式

参照附图，阅读以下描述，其中，贯穿这几幅图，相同的附图标记表示相同的部件。说明书和附图示出了几个说明性实施方式，并非旨在以任何方式进行限制。

为了简单起见，下面描述的实例是流量传感器。然而，根据需要，预计传感器可以是任何合适类型的传感器，例如，湿度传感器、温度传感器、压力传感器、流量传感器和/或任何其他合适的传感器。

图1为用于测量穿过流动通道12的流体流14的流体流率的说明性流量传感器10的示意图。根据应用，在本文中使用的术语“流体”能够表示气体或液体。在说明性实施方式中，流量传感器10可以暴露到和/或设置在流动通道12内，以测量流体流14的一个或多个性能。例如，根据需要，流量传感器10可以使用一个或多个热传感器（例如，见图2）、压力传感器、声传感器、光传感器、皮托管和/或任何其他合适的传感器或传感器组合。在某些情况下，流量传感器10可以是通过本申请的受让人可获得的微桥或Microbrick™传感器组件，但是这并非必须。例如，在美国专利号4,478,076；4,478,077；4,501,144；4,581,928；4,651,564；4,683,159；5,050,429；6,169,965；6,223,593；6,234,016；6,502,459；7,278,309；7,513,149以及7,647,842中，公开了被视为适合于测量流体流14的质量流和/或速度的一些说明性方法和传感器配置。根据需要，预计流量传感器10可以包括这些流量传感器配置和方法中的任一个。然而，人们通常会认识到，根据需要，流量传感器10可以是任何合适的流量传感器。

在说明性实例中，流动通道12可以经受流体流14的一系列流率。例如，流动通道12可以包括高容量流体流、中间容量流体流、或低容量流体流。根据需要，实例流体流应用能够包括但不限于呼吸计、流量计、速度计、飞行控制、工业过程流、燃烧控制、天气监控以及任何其他合适的流体流应用。在某些情况下，流量传感器10可以配置为感测与流过流动通道的流体的流体流率相关的测量量。

图2为用于测量穿过流动通道12的流体流14的流率的说明性热流量传感器组件10的示意图。在本文中更详细地进行描述，流动通道12可以限定三维流体流动路径，该路径配置为减少影响流量传感器10的性能的灰尘、微粒物质和/或其他污染物。在某些情况下，并且虽然在图2中没有明确显示，但是流动通道12可以限定在入口流动端口与流量传感器10之间的三维扭曲的流动路径。在某些情况下，三维流动路径可以构造成沿着X-Y-Z坐标系的X轴、Y轴以及Z轴中的每个引导流体，并且在流过流动通道12时，可以促使流体流加速和/或减速，沿着X-Y-Z坐标系的各个轴改变方向。当所述流体沿着三维流动路径流动时流体的加速度和/或减速度和/或至少一个方向变化可以促使在流体到达流量传感器10之前释放并且收集在流体中的灰尘或其他微粒物质。在某些情况下，流动通道12还可以构造成包括一个或多个微粒物质收集区域，用于收集从流体中释放的灰尘和/或其他微粒物质。减少在流量传感器10处的灰尘和/或其他微粒物质可以在更长的时间段内提供流量传感器的更一致的、可靠的、精确的、可重复的和/或稳定的输出。

如图2中所示，流量传感器组件10可以包括一个或多个加热元件（例如，加热元件16）和一个或多个传感器元件18和20，用于感测在流动通道12中的流体的流率。此外，流量传感器组件10可以包括加热元件16、位于加热元件16的上游的第一传感器元件18以及位于加热元件16的下游的第二传感器元件20。虽然第一传感器元件18显示为位于加热元件16的上游，并且第二传感器元件20显示为位于加热元件16的下游，但是这并非旨在进行限制。预计在某些情况下，流动通道12可以是双向流动通道，以便在某些情况下，第一传感器元件18位于加热元件16的下游，并且第二传感器元件20位于加热元件16的上游。在某些情况下，可以提供仅仅一个传感器元件，并且在其他情况下，可以提供三个或多个传感器元件。在某些情况下，传感器元件18和20都可以位于加热元件16的上游（下游）。

在某些情况下，第一传感器元件18和第二传感器元件20可以是热敏电阻，这些电阻具有较大的正或负温度系数，以便电阻随着温度变化。在某些情况下，第一和第二感测元件18和20可以是热敏电阻。在某些情况下，第一传感器元件18、第二传感器元件20以及任何额外的传感器元件可以设置在惠斯登电桥配置中，但是这并非在所有实施方式中必须。

在所显示的实例中，在流动通道12中没有流体流并且将加热元件16加热为高于在流体流28中的流体的环境温度的温度时，产生温度分布，并且在加热元件16周围的大致对称的分布中，将该温度分布传输给上游的传感器元件18和下游的传感器元件20。在这个实例中，上游的传感器元件18和下游的传感器元件20可以感测相同或相似的温度（例如，在25%、10%、5%、1%、0.001%等内）。在某些情况下，这可以在第一传感器元件18和第二传感器元件20中产生相同或相似的输出电压。

在流动通道12中具有流体流28并且将加热元件16加热为高于在流体流28中的流体的环境温度的温度时，可以分布对称的温度分布，并且扰动量可以与在流动通道12中的流体流28的流率相关。流体流28的流率可以促使上游的传感器元件18感测比下游的传感器元件20相对更冷的温度。换言之，流体流28的流率可以在上游的传感器元件18与下游的传感器元件20之间造成与在流动通道12中的流体流28的流率相关的温差。在上游的传感器元件18与下游的传感器元件20之间的温差可以在上游的传感器元件18与下游的传感器元件20之间造成输出电压差。

在另一个说明性实施方式中，通过在加热元件16中提供瞬态高温条件，可以确定流体流28的质量流和/或速度，该瞬态高温条件反过来在流体流28中造成瞬态高温条件（例如，热脉冲）。在流体流28中具有非零流率时，上游的传感器元件18可以比下游的传感器元件20更晚接收瞬态响应。然后，能够使用在上游的传感器元件18与下游的传感器元件20之间的或者在使加热器通电的时间与由一个传感器（例如，下游的传感器元件20）感测相应的高温条件（例如，热脉冲）时之间的时间延迟，计算流体流28的流率。这些仅仅是可以使用的一些示例流量传感器。

图3A为包括在其内形成流动通道12的壳体34的说明性传感器组件30的透视图。图3B为在图3A中显示的流量传感器组件30的顶部平面图。如图3A和3B中所示，壳体34包括顶部部分36，其联接到底部部分38或者在替代方案中，与底部部分一体地形成。壳体34的顶部部分36和底部部分38可以共同保护流量感测元件（未显示）和任何信号调节电路和/或可以在壳体34内提供的其他电连接器。

如图3A和3B中所示，壳体34的顶部部分36可以包括第一流动端口42和第二流动端口44。流动通道12限定在第一流动端口42和第二流动端口44之间延伸的流动路径。感测元件（未显示）暴露到在流动通道12内的流体中。在某些情况下，流动端口42可以是入口流动端口42，并且流动端口44可以是出口流动端口44，但是这并非必须。在某些情况下，预计流量传感器组件30可以是双向流量传感器组件，并且在这种情况下，根据通过流动通道的流体流的电流方向，流动端口42或流动端口44可以用作入口流动端口或出口流动端口。

如图3A中所示，流量传感器组件30可以包括配合的连接器48，例如，带状或电缆连接器，用于使流量传感器组件30和控制器、电路板或者任何其他合适的装置或组件电连接。配合的连接器48可以包括一个或多个电引线或踪迹，其可以与流量传感器和/或位于壳体34内的其他电路进行电通信。

在某些情况下，壳体34的顶部部分36和底部部分38可以由（例如）塑料构成。例如，预计可以通过使塑料注射成型，来形成壳体34。在某些情况下，壳体34（包括顶部部分36和底部部分38）可以作为整块由塑料或其他合适的材料模制。虽然作为实例提供了这些，但是预计根据需要，任何合适的材料和/或制造方法可以用于形成壳体34。例如，在某些情况下，壳体34（包括顶部部分36和底部部分38）可以形成为两个或多个单独的块体，这些块体随后根据需要固定在一起。这些仅仅是一些实例。

图4为沿着在沿线路4-4的图3A和3B中显示的流量传感器组件30的X-Y平面截取的示意性横截面图。图5为沿着在沿线路5-5的图3A中显示的流量传感器组件30的Y-Z平面截取的示意性横截面图。在图4中可以看出，在流量传感器组件30的入口流动端口42与出口流动端口44之间限定流动通道12。流动通道12包括流量感测区域56，该区域具有至少一个流量传感器，例如，参照图1-2描述的流量传感器10。虽然在本文中引用流量传感器，但是根据需要，传感器可以是任何合适的传感器，例如，湿度传感器、温度传感器、压力传感器、流量传感器和/或任何其他合适的传感器。

在某些情况下，流动通道12限定在流动通道12的入口流动端口42与流量感测区域56之间的第一三维流体流动路径52。在某些情况下，流动通道12进一步限定在流量感测区域56与出口流动端口44之间的额外流动路径54。第一流体流动路径52和第二流体流动路径54可以彼此进行流体通信，如在图4中最佳地显示，以便流体通过入口端口42进入流量传感器组件30，顺着由流动通道12限定的第一和第二流动路径，进入至少一个传感器元件58可以感测与流体流率相关的测量量的流量感测区域56，并且通过出口流动44离开流量传感器组件30。

虽然在与位于流量感测区域56的上游侧的第一流动路径52相关时，描述由流动通道12限定的流动路径的形状和配置，但是通常要理解的是，由于流动通道12可以是允许在任一个方向具有流体流的双向流动通道12，所以位于流量感测区域56的下游侧的第二流动路径54可以具有与第一流动路径52相似或者甚至相同的形状或配置。例如，根据应用，第一流动路径52和第二流动路径54均可以被构造成具有共同的形状和配置，以便可以通过端口42或端口44，引入流体。更广泛地说，根据应用，第一流动路径52和第二流动路径54的形状和尺寸可以基本上相同（例如，在制造公差内）或者不同。

现在，转向第一流动路径52，第一流动路径52可以构造为用作三维流体流动路径并且配置为沿着X-Y-Z坐标系49的X、Y和/或Z轴在两个或多个方向（见图3A）朝着包括至少一个流量感测元件58的流动通道12的流量感测区域56引导流体，如在本文中所述。在某些情况下，三维流体流动路径52可以构造为沿着X-Y-Z坐标系49的X、Y和/或Z轴中的每个扭曲，以便至少一部分流动路径52具有三维螺旋形状。在其他情况下。三维流体流动路径52可以沿着X-Y-Z坐标系49的X、Y和/或Z轴中的每个扭曲，以便至少一部分流动路径52具有三维的，拔塞螺旋钻（corkscrew）的，形状。在其他情况下，三维流体流动路径52可以沿着X-Y-Z坐标系的X、Y和/或Z轴中的每个扭曲，以便至少一部分流动路径52具有三维的，扭转（twisted）的，形状。每个三维（例如，拔塞螺旋钻的、螺旋的（spiral）以及扭曲的）形状可以构造成在大致向下的方向从入口端口42朝着流动通道12的流量感测区域56引导流体。此外，在流体移动穿过由流动通道12限定的流体流动路径52时，三维流体流动路径52可以构造成促使流体加速和/或减速。所述流体流的减速和/或沿着X-Y-Z坐标系的X、Y和/或Z轴中的任一个轴在流体流的方向的一个或多个变化可以促使在流体到达流动通道12的流量感测区域56之前，从流体中释放灰尘或微粒物质。在某些情况下，由流动通道12限定的流动路径52可以包括一个或多个微粒物质收集区域60，用于在流体顺着流动路径52时，收集从流体中释放的灰尘或微粒物质。减少在流量感测元件58处的灰尘和/或其他污染物，可以随着时间提供更一致的、可靠的、精确的、可重复的和/或稳定的输出。

在某些情况下，流动通道12可以包括共同至少部分限定三维流体流动路径52的各种流动通道区域和开口（例如，门），并且在某些情况下，可以在沿着流体流动路径52流动时，促使流体流加速和/或减速。例如，如图4中所示，由流动通道12限定的流体流动路径52可以包括第一流动通道区域62，用于接受通过入口流动端口42进入流量传感器组件30的流体。流体可以沿着X-Y-Z坐标系49的Y轴通过入口流动端口42进入第一流动通道区域62，由在图4中所示的箭头64表示。流体流动路径52可以包括位于第一流动通道区域62下游的第二流动通道区域66。第二流动通道区域66可以配置为沿着X-Y-Z坐标系49的X轴接受第一流动通道区域62的流体，由在图4中所示的箭头68表示。在某些情况下，第二流动通道区域66可以具有比第一流动通道区域62更大的容量和/或更大的横截面面积，在进入第二流动通道区域66时，这可以促使流体的流率或平均流速减小。与在流体流的方向的变化联接的流体流率或平均流速的减小，可以促使释放在流体流内存在的灰尘和/或其他微粒物质。在某些情况下，第二流动通道区域66可以包括微粒物质收集区域60，用于在流体从第一流动通道区域62进入第二流动通道区域66时，收集可以从流体中释放的灰尘和/或其他微粒物质。微粒物质收集区域60可以位于所显示的第二流动通道区域的底部部分内。在某些情况下，门74的下表面78可以位于第二流动通道区域66的微粒物质收集区域60之上并且与其隔开，这可以部分帮助限定微粒物质收集区域60。

流体可以继续朝着流量感测区域56从第二流动通道区域66中向下游流入第三流动通道区域70内。在某些情况下，第三流动通道区域70可以配置为至少部分沿着X-Y-Z坐标系49的Z轴72（在该论文内）接受第二流动通道区域66的流体。流体可以通过门74或在第二流动通道区域66的侧壁内的其他孔从第二流动通道区域66中进入第三流动通道区域70内。图5示出了在第二流动通道区域66、门74以及第三流动通道区域70之间的关系。在某些情况下，孔或门74可以具有比第二流动通道区域66的横截面面积更小的横截面面积，在流体通过门74从第二流动通道区域66中进入第三流动通道区域70内时，这可以促使流体流率或平均流速加速。如图5中所示，第三流动通道区域70可以包括额外的微粒物质收集区域76，在流体加速穿过门74并且进入第三流动通道区域70内时，该区域可以收集可能从流体中释放的额外微粒物质。

在某些情况下，流体可以继续朝着流量感测区域56从第三流动通道区域70中向下游流入第四流动通道区域80内。在某些情况下，流体流可以经受至少一个额外的方向变化，并且可以顺着朝着流量感测区域56的扭曲的或弯曲的三维流动路径。扭曲的或弯曲的三维流动路径可以由第四流动通道区域80的一个或多个内壁82限定。在某些情况下，至少一个内壁82可以弯曲，以便在顺着三维流体流动路径52时，在流体内促进减少紊流。在某些情况下，第四流动通道区域80可以包括鳍或其他相似的特征，以便在流量感测区域56内帮助将流体流分层。

使用标准的计算流体动力学模拟软件，来进行计算流体动力学计算机模拟，以便评估三个不同的流动路径模型的灰尘微粒减少能力，每个模型具有一个不同的结构配置。图6A-6C示出了在这些模拟期间评估的三个不同的流动路径配置。第一模型（在图6A中显示的模型1）具有在入口端口84与出口端口86之间限定的比较笔直的流动路径80。第二模型（在图6B中显示的模型2）具有在美国专利7,698,938中显示和描述的流动路径的流动路径90表示，并且在二维流动路径中（沿着X-Y平面）中具有一个或多个弯曲部分。第三模型（在图6C中显示的模型3）具有流动路径100，该路径是在本申请的图4和图5中显示的传感器壳体的三维流动路径的表示。图7A-7C分别示出了通过图6A-6C的每个不同的流动路径模型的模拟流体流。

使用下面在表1中提供的灰尘性能变量，评估在6A-6C中显示的三个不同的流动路径配置的灰尘减少功能。

微粒质量	1.5g/cm<sup>3</sup>	与土壤相似的密度
			微粒直径	0.01mm（10微米）
恢复系数	0.05	1.0=从壁部弹开；0.01粘在壁部上

表1-灰尘性能变量定义。

对于每个模型，在位于三个不同的模型中的每个的入口端口附近，以径向模式（ina radial pattern）引入22个灰尘微粒。将大约50sccm的流率应用于入口表面中。通过比较引入到入口端口内的灰尘微粒的量和在每个模型的流量传感器区域中检测的灰尘微粒的数量，确定灰尘微粒的减少百分比。下面在表2中提供模拟结果。

表2-灰尘微粒减少模拟结果。

从在表2中提供的模拟结果中可以看出，模型3（包括三维流动路径）提供最大的灰尘减少量，平均灰尘减少大约为46%。

虽然这样描述了本公开的几个说明性实施方式，但是本领域的技术人员会理解的是，在所附权利要求的范围内，可以制造和使用其他的实施方式。在以上描述中提出了由本文档涵盖的本公开的多个优点。然而，要理解的是，本公开在很多方面仅仅进行说明。在不超过本公开的范围的情况下，可以在细节上，尤其在部件的形状、尺寸以及设置事宜上进行变化。当然，通过表达所附权利要求的语言，限定本公开的范围。

Claims (13)

1.一种流量传感器壳体，包括：

入口流动端口；

出口流动端口；

流量感测区域；

流动通道，其在入口流动端口、流量感测区域和出口流动端口之间延伸，所述流动通道限定入口流动端口与流量感测区域之间的流动路径，所述流动路径是三维扭曲的；并且

其中，在入口流动端口与流量感测区域之间的所述流动路径包括微粒收集区域，其配置为使流体减速并且收集从所述流体中释放的微粒，

其中，所述流动通道包括：

第一流动通道区域，用于接受沿着X-Y-Z坐标系的Y轴进入所述壳体的入口流动端口的流体，并且用于使流体转向，以沿着X-Y-Z坐标系的X轴流动；

第二流动通道区域，其位于第一流动通道区域的下游，所述第二流动通道区域配置为接受沿着X-Y-Z坐标系的X轴的来自第一流动通道区域的所述流体，所述第二流动通道区域具有比所述第一流动通道区域更大的横截面面积；

第三流动通道区域，其位于第二流动通道区域的下游，所述第三流动通道区域配置为接受沿着X-Y-Z坐标系的Z轴的来自第二流动通道区域的所述流体；以及

第四流动通道区域，其位于第三流动通道区域的下游，用于将流体从第三流动通道区域引导到流量感测区域，

其中，所述第二流动通道区域包括微粒收集区域，

其中，第二流动通道区域包括比第一流动通道区域更大的容量或更大的横截面面积中的至少一个，

其中，位于第二流动通道区域中的门的下表面定位在微粒收集区域之上并且与其间隔开。

2.根据权利要求1所述的流量传感器壳体，还包括在流量感测区域内的流量传感器，用于感测与在所述流量感测区域中流动的所述流体的流体流率相关的测量量。

3.根据权利要求1或2所述的流量传感器壳体，其中，在入口流动端口与流量感测区域之间的流动路径的至少一部分扭曲成三维的螺旋形状。

4.根据权利要求1或2所述的流量传感器壳体，其中，在入口流动端口与流量感测区域之间的流动路径的至少一部分扭曲成三维的拔塞螺旋钻的形状。

5.根据权利要求1或2所述的流量传感器壳体，其中，在入口流动端口与流量感测区域之间的流动路径的至少一部分扭曲成三维的扭转的形状。

6.根据权利要求1或2所述的流量传感器壳体，其中，所述流动通道还限定流量感测区域与出口流动端口之间的同样三维扭曲的流动路径。

7.根据权利要求6所述的流量传感器壳体，其中，在入口流动端口与流量感测区域之间的流动路径以及在流量感测区域与出口流动端口之间的流动路径扭曲成共同的三维形状。

8.根据权利要求1所述的流量传感器壳体，其中，所述第二流动通道区域配置为使在第二流动通道区域中的所述流体减速，并且其中，所述第二流动通道区域包括微粒收集区域以用于收集在所述流体减速时释放的微粒。

9.根据权利要求8所述的流量传感器壳体，其中，所述流体从第二流动通道区域到第三流动通道区域行进穿过门，其中，所述门具有比第二流动通道区域的横截面面积更小的横截面面积。

10.根据权利要求8所述的流量传感器壳体，其中，所述流体从第二流动通道区域到第三流动通道区域行进穿过门，其中，所述门与第二流动通道区域的微粒收集区域隔开。

11.根据权利要求1所述的流量传感器壳体，其中，所述第四流动通道区域沿着扭曲的三维路径将所述流体引导到流量感测区域。

12.根据权利要求11所述的流量传感器壳体，其中，所述扭曲的三维路径由壳体的壁部限定，其中，所述壁部中的至少某些是弯曲的，以有助于减少流体中的紊流。

13.根据权利要求1所述的流量传感器壳体，其中，所述流动通道配置成使得第二流动通道区域中的平均流速小于第一流动通道区域中的平均流速并且小于第三流动通道区域中的平均流速。