JP6101922B2 - 超音波流量計測ユニット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明第1の実施の形態における超音波流量計測ユニットの流れ方向断面図を示している。
に、超音波送受信器5から出た超音波パルスが超音波送受信器6に到達する伝搬時間t1は、
t1=L/(C+Vcosθ) (1)
で示される。
t2=L/(C−Vcosθ) (2)
で示される。
そして、(1)と(2)の式から伝搬時間の逆数差を計算して流体の音速Cを消去すると、
V=L/2cosθ(1/t1−1/t2) (3)
の式が得られる。
経路2:超音波送受信器5→超音波送受信器固定部材4→計測回路8→超音波送受信器固定部材4→超音波送受信器6
経路3:超音波送受信器5→超音波送受信器固定部材4→超音波送受信器6
これら経路の中で、計測回路8を通って伝わる計測のノイズとなる振動は、絶縁性制振部材13の形成形状によって、ある程度変更することができる。例えば、計測のノイズとなる振動の進行方向に対して、絶縁性制振部材13の厚みの高さを変えることで実現できる。絶縁性制振部材13の厚みは、まったく形成していない状態から、複数の高さを選択することで実現できる。例えば、0mmと3mmの繰り返しを行うことで効果的に計測のノイズとなる振動を低減することができる。
に薄くすることができ、一方の超音波送受信器より発生した振動によって生じる、流路あるいは、計測回路、リード線を伝って、他方の超音波送受信器に伝達する筐体伝搬ノイズや、個々の部材に伝わった振動によって誘発する残響ノイズを効果的に低減できるだけでなく、本実施の形態のように絶縁性制振部材13を金型内で一体的に成型する場合、圧力、温度等の外的要因に対し耐性があるため、不良率が低減する。
図6は、本発明第2の実施の形態における超音波計測ユニットの製造手順を示す断面図である。
図7は、本発明第3の実施の形態における超音波流量計測ユニットの流れ方向部分の拡大断面図である。
筒状の金属ケース43と、前記金属ケース43の天部内壁面に収容される圧電体17と、前記金属ケース43の天部外壁の音波放射面に備えられた音響整合体15とを備え、圧電体17と前記ケース43と音響整合体15とは、平面部分で接着剤、導電ペースト等で接着される。リード線18は、前記圧電体17の一方の電極に電気的に接続され、他方の電極には前記金属ケース43を介して電気的に接続されている。前記金属ケース43と圧電体17との導通は、接合部に接着剤を用いた場合はオーミックコンタクトによって電気的に接続されている。絶縁性制振部材13は、圧電体17の外周を覆うように形成され、前記金属ケース43と超音波送受信器固定部材4との当接面だけでなく、圧電体取り付け側にも、金属ケース43の外周を覆うように、かつ、一定強度の接着力を与えるように一体的に形成されている。
図8は、本発明第4の実施の形態における超音波流量計測ユニットの流れ方向部分の拡大断面図である。
ることが出来、高精度な流量計測を実現することが出来る。
2 他方の開口端
3 流路
4 超音波送受信器固定部材
5、6、42、44 超音波送受信器
7 当接部
8 計測回路
9 当接面
13 絶縁性制振部材
15 音響整合体
16 金属板
18 リード線
45 溝
17、46 圧電体
43 金属ケース
Claims (8)
- 被測定流体を一方の開口端から他方の開口端に通す流路に配置される超音波流量計測ユニットにおいて、
前記流路に当接するように配置され、少なくとも圧電体および音響整合体を備える一対の超音波送受信器と、
前記流路に当接するように配置され、前記一対の超音波送受信器間の伝搬時間に基づいて流量を算出する計測回路と、
前記超音波送受信器と前記流路との当接面と、前記圧電体外周と、前記計測回路それぞれの少なくとも一部を覆うように形成された絶縁性制振部材と、を備えたことを特徴とする超音波流量計測ユニット。 - 前記超音波送受信器と前記計測回路を電気的に接続するリード線を備え、
前記絶縁性制振部材は、前記リード線の少なくとも一部を覆っていることを特徴とする請求項1記載の超音波流量計測ユニット。 - 前記超音波送受信器は、金属板と、前記金属板の一方の面に固定した音響整合体と、他方の面に固定した圧電体とを備える請求項1又は2記載の超音波流量計測ユニット。
- 前記超音波送受信器は、天部、側壁部、この側壁より外側に延びる支持部を有する有天筒状の金属ケースと、前記金属ケースの天部内壁面に収容される圧電体と、前記金属ケース天部外壁の音波放射面に備えた音響整合体とを備える請求項1又は2記載の超音波流量計測ユニット。
- 前記超音波送受信器の圧電体は、金属ケースの天部内壁面に収容される溝を有する構成とした請求項4に記載の超音波流量計測ユニット。
- 前記計測回路は、フレキシブル基板とした請求項1〜5のいずれか1項に記載の超音波流量計測ユニット。
- 前記リード線はフラットケーブルとした請求項2〜6のいずれか1項に記載の超音波流量
計測ユニット。 - 前記絶縁性制振部材は、ガラス転移点が流量計測における温度保障下限以下であり、接着性を有する熱可塑性樹脂であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の超音波流量計測ユニット。
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