JP2007208381A - 超音波振動子およびそれを用いた流体の流れ計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計測流路11に取付けられ、かつ導電性の有天状ケース1の頂壁内面に圧電体2の上部電極3側を固定するとともに、前記ケース1の下方開口部には導電性の端子板5を固定して超音波振動子を構成し、前記ケース1と計測流路11との間には電気絶縁部材13を介在させたものである。したがって、計測流路加工時に発生した導電性の加工バリなどの異物でケース1と計測流路11とが短絡されることがなく、信頼性の高い超音波振動子が得られる。
【選択図】図1
Description
図1において、キャップ状の導電性ケース1の頂壁内面に圧電体2の上部電極3を接着し、またその下方開口縁に形成したフランジ4に導電性の端子板5を電気溶接などの手段で溶接してこのケース1を密閉している。
子7を介して他方の端子8にそれぞれ接続される。
図2は、実施の形態2を示すもので、ケース1の外頂面に接着剤などの接合手段14を介して音響整合層15を配置したものであり、電気絶縁部材13はケース1の音響整合層15が存在しない部位を覆うようにしたものである。
図3は、実施の形態3を示すもので、接合手段14をケース1の外周面上端まで延長して、ケース1の外周面に直接的に配置した電気絶縁性の防振部材10と共に同ケース1を包囲するようにしたものである。
なお、図3において、図1,2と同一作用を行なう構成については同一符号を付し、具体的説明は実施の形態1,2のものを援用する。
振部材10で覆われる構成のため、実施の形態1,2と同様に、ケース1と計測流路11との間で電気的短絡を発生することがない。
図4は、実施の形態4を示すもので、ケース1の外周面に配置した電気絶縁性の防振部材10をその外頂面外周部まで延長して音響整合層15の外周に接合したものである。
図5は、実施の形態1〜4のいずれかに記載した超音波振動子を搭載した流体の流れ計測装置を示すものである。
t1=L/(C+Vcosθ) (1)
で示される。
t2=L/(C−Vcosθ) (2)
で示される。
V=L/2cosθ(1/t1−1/t2) (3)
の式が得られる。
を実現することができる。
2 圧電体
3 上部電極
5 端子板
10 防振部材
11 計測流路
13 電気絶縁部材
14 接合部材
15 音響整合層
16,17 超音波振動子
Claims (7)
- 計測流路に取付けられ、かつ導電性の有天状ケースの頂壁内面に圧電体の上部電極側を固定するとともに、前記ケースの下方開口部には導電性の端子板を固定したものであって、前記ケースと計測流路との間には電気絶縁部材を介在させた超音波振動子。
- 計測流路に取付けられ、かつ、導電性の有天状ケースの頂壁内面に圧電体の上部電極側を、頂壁外面に音響整合層をそれぞれ固定するとともに、前記ケースの下方開口部には導電性の端子板を取着したものであって、前記音響整合層を固定した部位を除く前記ケースと計測流路との間には電気絶縁部材を介在させた超音波振動子。
- 電気絶縁性の防振部材を介して計測流路に取付けられ、かつ、導電性の有天状ケースの頂壁内面に圧電体の上部電極側を、頂壁外面に音響整合層をそれぞれ固定するとともに、前記ケースの下方開口部には導電性の端子板を取着したものであって、前記頂壁外面に電気絶縁性の接合部材を介して音響整合層を固定し、前記防振部材および接合部材によってケースの外面を覆った超音波振動子。
- 電気絶縁性の防振部材を介して計測流路に取付けられ、かつ、導電性の有天状ケースの頂壁内面に圧電体の上部電極側を、頂壁外面に音響整合層をそれぞれ固定するとともに、前記ケースの下方開口部には導電性の端子板を取着したものであって、前記音響整合層、および防振部材によってケースの外面を覆った超音波振動子。
- 電気絶縁部材を音響的減衰特性の大きい材料で形成した請求項1または2記載の超音波振動子。
- 防振部材を音響的減衰特性の大きい材料で形成した請求項3または4記載の超音波振動子。
- 請求項1〜6いずれか1項記載の超音波振動子を計測流路の上流側と下流側に設置し、これら超音波振動子間の超音波伝播時間にもとづいて前記計測流路を流れる流体の流れ状態を計測するようにした流体の流れ計測装置。
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