CN102307042B - 压电设备、使用它的电子设备及汽车 - Google Patents
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Abstract
本发明是提供一种压电设备、使用它的电子设备及汽车,该压电设备构成为具有:引线(12),其一端电连接于电路图案;和压电振子(13),其具有与引线(12)的另一端电连接的端子(13a),压电振子(13)由引线(12)的另一端悬空保持,在引线(12)的另一端上的与压电振子(13)的连接面(12a)的背面(12b)设置了支撑部件(14)。
Description
本申请为专利申请案(国际申请日2011年11月7日,PCT申请进入国家阶段日2010年5月5日,申请号200880114772.0,发明名称为“压电设备、使用它的电子设备及汽车”)的分案申请。
技术领域
本发明涉及在数字照相机等电子设备或汽车的传感功能等中使用的压电设备。
背景技术
以往的这种压电设备,如图10所示,具有:引线2,其一端电连接于电路图案;和压电振子3,其具有与引线2的另一端电连接的端子3a。该压电振子3由引线2的另一端悬空保持,引线2承担向压电振子3传递电信号的作用和对压电振子3进行支撑的作用。
而且,作为与该申请相关的现有技术文献信息,例如,公知专利文献1。
这样的以往的压电设备,由于电特性的可靠性低而成为问题。
即,在上述以往的结构中,引线2承担了向压电振子3传递电信号的作用和对压电振子3进行支撑的作用。因此,当在引线2与压电振子3的连接面即端子3a及其附近局部地施加应力时,在该连接面即端子3a及其附近引起电连接不良等,使电特性的可靠性降低。
[专利文献1]JP特开2007-167854号公报
发明内容
本发明提供一种在用引线支撑压电振子的压电设备中提高了其电特性的可靠性的压电设备。
即,本发明的压电设备,具有:引线,其一端电连接于电路图案;和压电振子,其具有与所述引线的另一端电连接的端子。所述压电振子由所述引线的所述另一端悬空保持,在所述引线的所述另一端上的与所述压电振子的连接面的背面设置了支撑部件。
本发明的压电设备,设置了在引线的另一端上的与压电振子的连接面的背面的支撑部件,使施加于引线与压电振子之间的应力在该支撑部件内分散。因此,在引线与压电振子的连接面上,能够降低局部施加应力的可能性。其结果,本发明的压电设备能够提高电特性的可靠性。
附图说明
图1是本发明的实施方式1中的压电设备的剖视图。
图2是表示本发明的实施方式1中的压电设备的其它实施例的剖视图。
图3是本发明的实施方式1中的压电设备的俯视图。
图4是表示本发明实施方式1中的压电设备的另一其它实施例的俯视图。
图5是表示本发明实施方式1中的压电设备的另一其它实施例的俯视图。
图6是本发明的实施方式2中的压电设备的剖视图。
图7是表示本发明的实施方式2中的压电设备的其它实施例的剖视图。
图8是安装了本发明的实施方式1及2中的压电设备的电子设备的平面图。
图9是安装了本发明的实施方式1及2中的压电设备的汽车的侧视图。
图10是以往的压电设备的剖视图。
图中:12-引线,12a-连接面,12b-背面,13-压电振子,13a-端子,14-支撑部件。
具体实施方式
以下,针对本发明的一个实施方式,采用附图来进行说明。在以下的附图中,为了易于理解结构,而将厚度方向的尺寸进行了放大表示。而且,对相同元件赋予了相同符号,所以有时省略说明。
(实施方式1)
以下,针对本发明的实施方式1中的压电设备,参照附图进行说明。
图1是本发明的实施方式1中的压电设备的剖视图。
本实施方式1中的压电设备,如图1所示,具有:引线12,其一端电连接于配置在外容器11的底面11a的电路图案(未图示);和压电振子13,其具有与该引线12的另一端电连接的端子13a。而且,本实施方式1中的压电设备构成为压电振子13由引线12的另一端悬空保持。
具体而言,在陶瓷封装等的外容器11的底面11a上装载引线12的一端,并且由支撑基板15支撑该引线12的一端的上面。然后,在底面11a上驱动本实施方式1的压电设备,并且形成对来自压电设备的信号进行检测的IC(未图示)、和与该IC电连接的电路图案(未图示)。该电路图案与引线12的一端电连接,引线12的另一端与压电振子13的端子13a电连接。而且,电路图案通过采用TAB(TapeAutomatedBonding)基板来构成,能够构成更薄型的压电设备。
而且,在引线12的另一端构成为:在与该压电振子13的连接面12a的背面12b上设置了支撑部件14。该支撑部件14例如采用聚酰亚胺或环氧树脂等具有耐热性的树脂来构成。具体而言,通过将这些树脂固化成板状后利用粘接剂等粘贴于引线12及压电振子13等来构成。
通过这样的结构,在引线12的另一端的与压电振子13的连接面12a的背面面12b上设置的支撑部件14,使施加于引线12与压电振子13之间的应力在支撑部件14内分散。由此,在引线12与压电振子13的连接部,能够降低局部施加应力的可能性。其结果,能够提高机械特性或电特性等的可靠性。
而且,在本实施方式中,引线12的另一端上的与压电振子13的连接面12a构成为:与外容器11的底面11a即装载引线12的一端的外容器11的载放面对置的面的背面。然而,也可以构成为:将与引线12的另一端上的装载面对置面作为与压电振子13的连接面,并在其背面形成支撑部件14。即,可以构成为:夹着引线12的另一端,且压电振子13与支撑部件14的上下方向的位置关系与图1所示的关系相反。
但是,如图1所示,引线12的另一端上的与压电振子13的连接面12a构成为:与外容器11的装载面对置的面的背面。通过设为这样的位置关系,由于引线12的存在,从而不用规定或限制压电振子13的形状,使设计自由度变大,因此优选。
图2是表示本发明实施方式1中的压电设备的其它实施例的剖视图。如图2所示,构成为:从引线12的另一端上的与压电振子13的连接面12a的背面12b到经由压电振子13上的与引线12的端子13a连接的连接面13b为止设置支撑部件14a。即,支撑部件14a覆盖连接面13b,并且以到其周围的引线12的另一端上的背面12b为止进行覆盖的方式来配置。
通过这样的结构,能够扩大支撑部件14a与引线12及压电振子13的接触面积。由此,引线12与压电振子13的电连接更稳定地被保持,所以能够提高电可靠性,因此优选。这样的支撑部件14a,能够在引线12及压电振子13的连接面13b上涂覆了例如聚酰亚胺或环氧树脂等具有耐热性的液状树脂之后,通过固化来形成。
图3是本发明的实施方式1中的压电设备的俯视图。图3是表示压电振子13由基部13c与脚部13d构成,且引线12的另一端连接于该基部13c的情况。如图3所示,支撑部件14的面积设为基部13c上的与引线12的连接面相同的面积、或比它大的面积。
通过这样的结构,经由面积大的支撑部件14,能够在更广的范围内分散在压电振子13上产生的应力,因此优选。
并且,图3所示的压电振子13的形状,不局限于这样的音叉型,可以根据需要的用途采用最佳的形状。
图4及图5是表示本发明实施方式1中的压电设备的另一其它实施例的俯视图。
如图4及图5所示的压电振子13可以构成为:对于一个基部13c,根据其用途而具有多个脚部13d。
(实施方式2)
以下,针对本发明的实施方式2中的压电设备,参照附图进行说明。
图6是本发明的实施方式2中的压电设备的剖视图。本实施方式2中的压电设备,如图6所示,具有:外容器21,其由陶瓷封装等构成,且在其底面21a上具有凹部21b;和引线22,其一端装载于该外容器21的底面21a,并且其一端的上面支撑于支撑基板25。并且,该引线22的另一端向凹部21b的内部延伸,该引线22的另一端连接了压电振子23。
在此,虽然未进行图示,但在底面21a或凹部21b的底面21c驱动本实施方式2的压电设备,并且,形成对来自该压电设备的信号进行检测的IC和与该IC电连接的电路图案。引线22的一端与该电路图案电连接,引线22的另一端与压电振子23的端子23a电连接。通过这样连接,压电振子23与IC等进行信号的接收发送,作为整体使压电设备动作。而且,电路图案通过采用TAB基板的结构,能够构成更薄型的压电设备。
图6所示的压电设备,构成为:在引线22的另一端,在与该压电振子23的连接面22a的背面22b上设置了支撑部件24。该支撑部件24例如采用聚酰亚胺或环氧树脂等具有耐热性的树脂来构成。具体而言,能够通过将这些树脂固化成板状后利用粘接剂等粘贴于引线22及压电振子23等来构成。
通过这样的结构,在引线22的另一端的与压电振子23的连接面22a的背面22b上设置的支撑部件24,使施加于引线22与压电振子23的应力在支撑部件14内分散。由此,在引线22与压电振子23的连接部,能够降低局部施加应力的可能性。其结果,能够提高机械特性或电特性等的可靠性。
而且,在本实施方式2中,引线22的另一端上的与压电振子23的连接面22a构成为:面向外容器21的凹部21b的内部的底面21c一侧的面。然而,也可以构成为:不是图6所示的结构,而是在引线22的另一端上的面向外容器21的凹部21b的底面21c一侧的面的背面连接压电振子23,并且在面向外容器21的凹部21b的底面21c一侧的面配置支撑部件24。即,也可以构成为:夹着引线22的另一端,且压电振子23与支撑部件24的上下方向的位置关系与图6所示的关系相反。
但是,如图6所示,引线22的另一端上的与压电振子23的连接面22a构成为:面向外容器21的凹部21b的内部一侧的面。通过这样的位置关系,由于引线22的存在,所以若压电振子23的形状在凹部21b的体积的范围内,则没有规定或限制,设计自由度变大,因此优选。
图7是表示本发明的实施方式2中的压电设备的其它实施例的剖视图。如图7所示,构成为:从引线22的另一端上的与压电振子23的连接面22a的背面22b到经由压电振子23上的与引线22的端子23a连接的连接面23b为止设置支撑部件24a。即,支撑部件24a覆盖连接面123b,并且以到其周围的引线22的另一端上的背面22b为止进行覆盖的方式来配置。
通过这样的结构,能够扩大支撑部件24a与引线22及压电振子23的接触面积。由此,引线22与压电振子23的电连接更稳定地被保持,所以能够提高电可靠性,因此优选。这样的支撑部件24a,能够在引线22及压电振子23的连接面23b上涂覆了例如聚酰亚胺或环氧树脂等具有耐热性的液状树脂之后,通过固化来形成。
此外,可以与实施方式1相同,压电振子23由基部与脚部构成,引线22的另一端与基部连接。在这样的情况下,支撑部件24的面积设为与基部上的引线22的连接面23b相同的面积、或比它大的面积,能够在更广的范围内分散在压电振子23中产生的应力,因此优选。
而且,压电振子23的形状,例如若是具有与图3、图4及图5所示的压电振子13相同的基部与脚部的结构,则能够发挥上述效果。
而且,能够在数字照相机等的电子设备或汽车等中安装本发明实施方式1及2所示的薄型压电设备。
图8是安装了本发明的实施方式1及2中的压电设备的电子设备的平面图。图9是安装了本发明的实施方式1及2中的压电设备的汽车的侧视图。
在图8的电子设备200中,安装了例如图1所示的压电设备100。该压电设备100具有:引线12,其一端电连接于图1所示的电路图案(未图示);和压电振子13,其具有与该引线12的另一端电连接的端子13a。而且,压电设备100,压电振子13由引线12的另一端悬空保持,在与该引线12的另一端上的压电振子13的连接面12a的背面12b上设置了支撑部件14。
此外,压电设备100也可以构成为:如图2所示,从引线12的另一端上的与压电振子13的连接面12a相邻的背面12b到压电振子13上的与引线12的连接面为止设置支撑部件14a。
通过在数字照相机等的电子设备200中安装这样结构的电特性等的可靠性高的压电设备100,能够实现能进行更可靠的传感的电子设备。
此外,在图9的汽车300中安装了上述图1及图2所示的电特性等的可靠性高的压电设备100,能够实现能进行更可靠的传感的汽车300。
具体而言,将本实施方式1及2所示的压电设备分别安装为手机用或者车载用的导航传感器、车辆控制系统用传感器、摄像元件的手抖动校正用传感器等。由此,能够降低产生电故障的可能性。能够实现能够进行更可靠且稳定的传感的电子设备或汽车等。
(产业上的利用可能性)
本发明的压电设备,具有高的电特性等的可靠性,在汽车或各种电子设备中稳定且可靠地工作,因此有用。
Claims (13)
1.一种压电设备,具有:
引线,其一端电连接于电路图案;和
压电振子,其具有与所述引线的另一端电连接的端子,
所述压电振子由所述引线的所述另一端悬空保持,
在所述引线的所述另一端上的与所述压电振子连接的连接面的背面设置了支撑部件,
所述支撑部件覆盖所述压电振子上的与所述引线连接的连接面,并且以直到其周围的所述引线的所述另一端上的背面为止进行覆盖的方式来配置,
从所述引线的所述另一端上的与和所述压电振子连接的所述连接面相邻的所述背面到所述压电振子上的与所述引线连接的连接面为止设置了所述支撑部件。
2.根据权利要求1所述的压电设备,其特征在于,
所述支撑部件由树脂粘接剂构成。
3.根据权利要求1所述的压电设备,其特征在于,
所述引线的所述另一端上的与所述压电振子连接的所述连接面设为与外容器的装载面对置的面的背面,所述外容器装载所述引线的所述一端。
4.根据权利要求1所述的压电设备,其特征在于,
具有外容器,该外容器在底面具有凹部,
在所述外容器的底面装载所述引线的所述一端,
所述压电振子配置于所述凹部内部。
5.根据权利要求4所述的压电设备,其特征在于,
所述支撑部件由树脂粘接剂构成。
6.根据权利要求4所述的压电设备,其特征在于,
所述引线的所述另一端上的与所述压电振子连接的所述连接面设为面向所述凹部的内部一侧的面。
7.根据权利要求1所述的压电设备,其特征在于,
所述支撑部件以横跨多个所述引线的方式设置。
8.一种安装了压电设备的电子设备,该压电设备具有:
引线,其一端电连接于电路图案;和
压电振子,其具有与所述引线的另一端电连接的端子,
所述压电振子由所述引线的所述另一端悬空保持,
在所述引线的所述另一端上的与所述压电振子连接的连接面的背面设置了支撑部件,
所述支撑部件覆盖所述压电振子上的与所述引线连接的连接面,并且以直到其周围的所述引线的所述另一端上的背面为止进行覆盖的方式来配置,
从所述引线的所述另一端上的与和所述压电振子连接的所述连接面相邻的所述背面到所述压电振子上的与所述引线连接的连接面为止设置了所述支撑部件。
9.根据权利要求8所述的电子设备,其特征在于,
具有外容器,该外容器在底面具有凹部,
在所述外容器的底面装载所述引线的所述一端,
所述压电振子配置于所述凹部内部。
10.根据权利要求8所述的电子设备,其特征在于,
所述支撑部件以横跨多个所述引线的方式设置。
11.一种安装了压电设备的汽车,该压电设备具有:
引线,其一端电连接于电路图案;和
压电振子,其具有与所述引线的另一端电连接的端子,
所述压电振子由所述引线的所述另一端悬空保持,
在所述引线的所述另一端上的与所述压电振子连接的连接面的背面设置了支撑部件,
所述支撑部件覆盖所述压电振子上的与所述引线连接的连接面,并且以直到其周围的所述引线的所述另一端上的背面为止进行覆盖的方式来配置,
从所述引线的所述另一端上的与和所述压电振子连接的所述连接面相邻的所述背面到所述压电振子上的与所述引线连接的连接面为止设置了所述支撑部件。
12.根据权利要求11所述的汽车,其特征在于,
具有外容器,该外容器在底面具有凹部,
在所述外容器的底面装载所述引线的所述一端,
所述压电振子配置于所述凹部内部。
13.根据权利要求11所述的汽车,其特征在于,
所述支撑部件以横跨多个所述引线的方式设置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8450913B1 (en) * | 2011-03-31 | 2013-05-28 | Georgia Tech Research Corporation | Tunable Piezoelectric MEMS Resonators suitable for real-time clock applications |
DE102011121456B4 (de) * | 2011-12-16 | 2021-12-09 | HELLA GmbH & Co. KGaA | Fahrzeug mit Foliensensor sowie Nachrüstsatz einer Erfassungseinrichtung mit Foliensensor |
JP2014197731A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、振動デバイスの製造方法、電子機器、移動体 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1983658A (zh) * | 2005-12-15 | 2007-06-20 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 振子的布线构造及压电泵 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4847290A (zh) * | 1971-10-18 | 1973-07-05 | ||
JPS54154986A (en) * | 1978-05-29 | 1979-12-06 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Temperature compensated crystal oscillator unit |
JP2730352B2 (ja) * | 1991-10-25 | 1998-03-25 | 日本電気株式会社 | Tabテープ |
JPH0828396B2 (ja) * | 1992-01-31 | 1996-03-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
KR100248035B1 (ko) * | 1994-09-29 | 2000-03-15 | 니시무로 타이죠 | 반도체 패키지 |
JP4234840B2 (ja) * | 1999-04-20 | 2009-03-04 | 北陸電気工業株式会社 | 加速度センサユニット |
JP2001258879A (ja) * | 2000-03-15 | 2001-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波トランスデューサシステムおよび超音波トランスデュー |
US6628048B2 (en) * | 2000-11-29 | 2003-09-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Crystal oscillator with improved shock resistance |
JP3826875B2 (ja) * | 2002-10-29 | 2006-09-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよびその製造方法 |
JP3966237B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2007-08-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、圧電デバイスを搭載した電子機器 |
JP3864952B2 (ja) * | 2003-12-01 | 2007-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子デバイス及びそれを備えた電子機器並びに振動子デバイスの製造方法 |
JP4442526B2 (ja) * | 2005-07-20 | 2010-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動ジャイロセンサ及び圧電振動ジャイロセンサを備えた電子機器 |
JP4534912B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2010-09-01 | 株式会社デンソー | 角速度センサの取付構造 |
JP4379478B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよび圧電デバイスを搭載する電子機器。 |
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Patent Citations (1)
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