CN102245918A - 机械部件及其超精加工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明在于提供没有交叉角图案的加工痕迹的机械部件，特别是滚动体、轨道圈等的轴承部件；采用它的滚动轴承；进行不产生它们的交叉角图案的加工痕迹的加工的超精加工方法。该方法为对被加工物(8)进行超精加工的方法，该被加工物(8)作为由滚动体、轨道圈等形成的机械部件。旋转的弹性砂轮(4)的加工面(4b)的表面形状为与被加工物(8)的被加工面(8a)相对应的形状。使被加工物(8)旋转，从被加工物(8)的被加工面(8a)的端部，接触旋转的弹性砂轮(4)。对应于该弹性砂轮(4)的被加工物表面而形成的加工面(4b)在沿被加工物(8)的被加工面(8a)的加工轨迹使弹性砂轮(4)移动。如这样进行了超精加工的被加工物(8)的被加工面(8a)为没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面。

Description

机械部件及其超精加工方法
相关申请
本申请要求申请日为2008年12月15日，申请号为日本特愿2008-318108的申请的优先权，通过参照将其整体作为构成本申请的一部分的内容而引用。
技术领域
本发明涉及机械部件，特别是滚动轴承中的滚动体或内外的轨道圈等的轴承部件，与这些机械部件、轴承部件的超精加工方法。
背景技术
过去的超精加工技术按照在对被加工物进行磨削加工之后的后工序，在使非旋转的砂轮摆动的同时作用，改善其面粗糙度的方式进行。在专利文献1中，公开有采用超精加工砂轮，在圆筒状滚动体的表面的细微的凸部上形成凸起的加工方法。在专利文献2中，公开有对自动调心式滚子轴承的球面滚子的外周面进行超精加工的方法和装置。另外，作为对由该滚子轴承中的内圈或外1圈形成的轨道圈进行超精加工的方法或装置的例子，列举有在专利文献3和专利文献4中公开的方法、装置。在专利文献5中，公开有下述的技术，其中，在自动调心式滚子轴承的制造中，确定用于形成外圈轨道的加工条件，抑制各球面滚子的偏斜造成的摩擦和发热。
图7以示意方式表示通过砂轮而对圆筒状被加工物的周面进行超精加工的主要内容的一个例子。在图7中，圆筒状被加工物100像空白箭头100A所示的那样，围绕其轴心而旋转，相对该旋转的被加工物100的周面，在沿顺着被加工物100的轴心方向的空白箭头101A方向横移砂轮101的同时作用，由此，进行被加工物100的周面的超精加工。
在先技术文献
专利文献1：日本特开2004-174641号公报
专利文献2：日本特开2007-168055号公报
专利文献3：日本特开2007-260829号公报
专利文献4：日本特开2007-260830号公报
专利文献5：日本特开2007-333161号公报
发明内容
在专利文献1～5中公开的超精加工方法、装置中，或图7所示的那样的超精加工方法中，非旋转的砂轮的动作和被加工物的旋转均在平时形成一定的角度，在被加工物的表面上形成称为交叉角的筋状的图案。另外，相对凸起形状、对数形状或曲线组合而形成的形状等的复杂形状，超精加工机构无法随动，由此，会发生将被加工物的形状破坏的情况。另外，由于针对每种型号，即针对每种制品规格，被加工物的外径旋转半径变化，故无法避免换产调整工时的增加、换产调整部件的复杂化，在加工效率、生产管理的方面是有问题的。
本发明的目的在于，提供精加工面可为没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面、谋求面粗糙度的提高的机械部件、滚动轴承用滚动体、轨道圈与滚动轴承及其加工方法。
在本发明的机械部件中，表面被精加工，该精加工面为没有被称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面。机械部件为构成机械的部件，作为其代表例包括滚动轴承的滚动体、轨道圈等的机械部件。
由于在该方案的机械部件中，精加工面为没有被称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面，故可谋求面粗糙度的改善，获得该机械部件、与该机械部件接触的对方部件的寿命的提高等的品质的提高的效果。
也可在本发明的机械部件中，外周面通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
在该方案的场合，由于砂轮具有弹性，并且在旋转的同时，作用于被加工物上，故适宜形成没有交叉角图案的平滑面。另外，通过砂轮所具有的弹性作用，也适宜对凸起形状、对数形状或曲线组合而形成的形状等的复杂的形状的超精加工。
也可在本发明的机械部件中，在覆盖外周面和该外周面的边缘的倒角部区域，通过使旋转的弹性砂轮而进行超精加工。该机械部件为比如滚子形状的滚动体，对其外周面以及设置于外周面和端部之间的倒角部进行超精加工。
在该方案的场合，由于在机械部件的外周面和倒角部通过弹性砂轮进行超精加工，故位于这些各个面上的复杂的形状部分均通过旋转的弹性砂轮的超精加工形成没有交叉角图案的平滑面。特别是，由于砂轮具有弹性，故对于在这样的复杂的形状部分进行的超精加工，可在不破坏精密形状的情况下进行加工，可良好地进行复杂的形状部分的超精加工。
作为本发明的机械部件的一种的滚动轴承用滚动体为对表面进行超精加工的钢制的滚动轴承用滚动体。比如，通过旋转的弹性砂轮，对该滚动轴承用滚动体的外周面进行超精加工。
由于上述方案的滚动轴承用滚动体中的精加工面为没有称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面，故可谋求面粗糙度的改善，获得该机械部件、与该机械部件接触的对方部件的寿命的提高等的质量提高的效果。
在机械部件为滚动轴承用滚动体的场合，该滚动体表面的面粗糙度对滚动寿命造成影响。如果这些滚动体表面为没有称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面，则由于面粗糙度的改善、获得这些滚动体的滚动寿命的提高效果，使轴承的寿命提高。
作为本发明的机械部件的一种的滚动轴承用轨道圈为滚动面经过超精加工的钢制的轴承用轨道圈。比如，通过旋转的弹性砂轮，对该滚动轴承用轨道圈的滚动面进行超精加工。
由于同样通过该方案，滚动面为没有称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面，面粗糙度改善，故获得这些轨道圈的滚动寿命的提高效果，使轴承的寿命提高。
也可在本发明的滚动轴承用轨道圈中，滚动面和与该滚动面的两侧邻接的周面部分通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
在该方案的场合，由于滚动面和与该滚动面的两侧邻接的周面部分通过弹性砂轮而进行超精加工，故通过旋转的弹性砂轮的超精加工，位于这些各个面上的复杂的形状部分也形成没有交叉角图案的平滑面。特别是，由于砂轮具有弹性，故对于在这样的复杂形状部分进行的超精加工，可在不破坏精密形状的情况下进行加工，可良好地进行复杂的形状部分的超精加工。
本发明的滚动轴承采用本发明的滚动轴承用滚动体或滚动轴承用轨道圈。
本发明的机械部件的加工方法采用旋转的弹性砂轮对机械部件进行超精加工。按照该发明方法，由于砂轮具有弹性，并且在旋转的同时作用于被加工面上，故可良好地形成没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面，可谋求面粗糙度的改善。
本发明的滚动轴承用滚动体的表面，或滚动轴承的轨道圈的滚动面的超精加工方法采用旋转的弹性砂轮对上述滚动轴承的滚动体的表面，或滚动轴承的轨道圈的滚动面进行超精加工。
作为由滚动轴承用滚动体或轨道圈形成的轴承部件的超精加工方法，可采用下述的方法，其中，旋转的弹性砂轮的加工面的表面形状为与被加工物的被加工面的截面形状成比例的截面形状，该被加工物由作为上述轴承部件的滚动轴承的滚动体或轨道圈形成，使上述被加工物旋转，从被加工物的被加工面的端部接触旋转的弹性砂轮，该弹性砂轮中的与上述被加工物表面的截面形状成比例的截面形状的加工面，按照沿被加工物的被加工面的方式使弹性砂轮移动，由此，对被加工物的被加工面进行超精加工。
按照该发明方法，使具有与被加工面的截面形状成比例的截面形状的加工面的弹性砂轮旋转，该被加工面由作为上述轴承部件的滚动轴承的滚动体或轨道圈形成，同时，从被加工物的被加工面的端部接触，按照沿被加工物的被加工面的方式移动。并且，砂轮具有弹性，在旋转的同时，作用于被加工面上。由此，适宜形成没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面，可谋求面粗糙度的改善。特别是，即使在被加工面为凸起形状、对数形状或曲线组合而形成的形状等的复杂的形状的情况下，仍可在不破坏精密形状的情况下加工，适宜超精加工。另外，由于仅仅通过构成砂轮的旋转轴的主轴的宽度方向设定和砂轮形状完成换产调整，故可减少换产调整工时。通过该技术的确立，可采用通用加工机械，不必新设计机械，可使设计省力。
附图说明
根据参照附图的下面的优选的实施形式的说明，会更清楚地理解本发明。但是，实施形式和附图用于单纯的图示和说明，不应用于确定本发明的范围。本发明的范围由权利要求书确定。在附图中，多个附图中的同一部件标号表示同一或相当的部分。
图1为以示意方式表示实施本发明的第1实施形式的超精加工方法用的超精加工装置的结构图；
图2为表示本发明的第1实施形式的超精加工方法的被加工物的形状、弹性砂轮的形状和弹性砂轮的加工轨迹的关系的图；
图3为表示本发明的第2实施形式的被加工物的形状、弹性砂轮的形状和弹性砂轮的加工轨迹的关系的图；
图4为表示本发明的第3实施形式的被加工物的形状、弹性砂轮的形状和弹性砂轮的加工轨迹的关系的图；
图5为表示采用图1所示的超精加工装置，对另一被加工物进行超精加工的状态的与图1相同的图；
图6为表示采用本发明的第1～3实施形式的轴承部件而组装的滚动轴承的一个例子的剖视图；
图7为过去的超精加工的主要内容的构思立体图。
具体实施方式
结合图1，对本发明的第1实施形式的超精加工方法用的超精加工装置的一个例子进行说明。该加工装置包括基台1；主轴台2，其设置于该基台1上，以可旋转的方式支承主轴2a；尾座3，其设置于基台1上，按照与主轴2a的轴心O2同心的方式可旋转地支承尾座套筒3a；砂轮台5，其按照可围绕与主轴轴心O2平行的驱动轴心O4而旋转的方式支承弹性砂轮4。主轴2a通过设置于基台1或主轴台2上的主轴电动机(图中未示出)而旋转驱动。被加工物8的两端支承于主轴2a和尾座套筒3a之间，该被加工物通过主轴2a的旋转而旋转。尾座3可按照沿主轴轴心O2的方向，对其整体或尾座套筒3a的位置进行调整。
弹性砂轮4为超精加工用的砂轮，其呈圆筒状或圆板状，经由砂轮轴4a，以可旋转的方式支承于砂轮台5上。在后面对由弹性砂轮4的外周面形成的加工面4b的截面形状进行说明。
弹性砂轮4为其弹性比一般使用的砂轮更高的砂轮，采用其杨式模量小于普通的陶瓷(vitrified)砂轮、树脂状物质砂轮(杨式模量：10000～50000MPa)的材质的砂轮。砂轮由磨粒、将该磨粒结合的接合材料构成，弹性砂轮4的结合材料采用陶瓷(vitrified)(陶瓷质)、树脂状物质(resinoid)(酚醛树脂)更软质的树脂，比如，聚乙烯醇、聚氨酯等的软质树脂。弹性砂轮4具体采用下述的砂轮(杨式模量：200～5000MPa)，其由使聚乙烯醇和热硬化树脂反应而形成的结合材料、气孔和磨粒构成。
在砂轮台5上装载有：砂轮旋转驱动用的电动机6；将该电动机6的旋转传递给弹性砂轮4的滑轮、皮带等的驱动传递机构6a。砂轮台5按照可沿与主轴轴心O2相垂直的方向(y轴方向)进退的方式装载于运送台7上，该运送台7按照可沿主轴轴心O2的方向(x轴方向)进退的方式装载于基台1上。通过这些作为活动台的运送台7和砂轮台5，弹性砂轮4可在2维平面上移动。砂轮台5和运送台7的进退驱动分别由设置于运送台7和基台1上的伺服电动机和将该电动机的旋转变换为进退动作的滚珠丝杠等的旋转·直线运动变换机构(均未在图中示出)等构成。
对采用上述结构的超精加工装置，对钢制的被加工物8的超精加工的加工方法进行说明。首先，在主轴2a和尾座套筒3a之间支承被加工物8。图1的被加工物8为圆筒或圆板状，其外周面为被加工面8a。相对这样被支承的被加工物8，使移动运送台7和砂轮台5，使弹性砂轮4的加工面4b接近被加工物8的被加工面8a。在该状态，如箭头a那样，使主轴台2的主轴旋转，如箭头b那样，沿相反方向使弹性砂轮4旋转。
使弹性砂轮4的加工面4b按压于被加工面8a上，加工面4b按照针对各例子，描绘后述的加工轨迹的方式，使砂轮台5和运送台7移动，对被加工物8的被加工面8a进行超精加工。该弹性砂轮4的加工面4b的截面形状为与被加工物8的形状相对应的形状，由此，可对应于各种形状的被加工物8，进行超精加工。
下面针对具有单一曲率的被加工物8的场合，对被加工物8的形状和弹性砂轮4的形状的关系，与弹性砂轮4的加工轨迹的计算例子进行说明。图2所示的被加工物8为钢制的滚动轴承用滚动体，具体来说，为圆筒滚子轴承的非对称形状的圆筒滚子，精加工前的车削、磨削等的前加工步骤完成之物。作为被加工物8的表面的外周面8a和两端面8b、8b中的在本例子中构成被加工面8a的外周面呈相对最大直径位置P1沿轴向是非对称的，但是，单一曲率的圆弧形状的凸起形状。图中的P0、P2表示被加工面8a的完全圆弧面区域的两端的轴向位置。
(1)首先，被加工面8a的相对最大直径位置P1的两侧的圆弧面区域P0-P1之间，以及P1-P2之间的距离根据所采用的滚动轴承的设计参数而计算；
(2)P0-P1之间的距离为A，P1-P2之间的距离为B；
(3)任意地设定弹性砂轮4中的加工面4b的有效宽度D。加工面4b的截面为圆弧状；
(4)计算弹性砂轮4中的加工面4b的有效宽度D中的构成最大直径的位置的两侧部分的加工面区域的距离B’、A’。在此场合，按照被加工物8的距离B∶A的比，与加工面区域的距离B’∶A’的比一致的方式计算。
即，
A’＝(A×D)/(A+B)
B’＝(B×D)/(A+B)
(5)被加工面8a的曲率半径为R，弹性砂轮4的加工面4b的曲率半径为r，计算下述式。
r＝(R×D)/(A+B)
(6)被加工物8的半径R和弹性砂轮4的半径r之和(等效圆)R+r为使弹性砂轮4呈圆弧状移动的路径，即加工轨迹L的半径。
(7)采用具有如上述那样计算的加工面4b的形状的弹性砂轮4，在使弹性砂轮4旋转的同时，如上述那样在圆弧状的加工轨迹L上移动，进行超精加工。
对上述(7)的动作进行说明。在相对围绕主轴轴心O2而旋转的被加工物8的被加工面8a，按压围绕驱动轴心O4而旋转的弹性砂轮4的加工面4b的同时，从被加工面8a的端部，按照绘制圆弧状的加工轨迹L的方式使弹性砂轮4移动，进行被加工面8a的超精加工。绘制上述圆弧状的加工轨迹L的弹性砂轮4的移动通过砂轮台4和运送台7的移动的复合动作而进行。该加工轨迹L的曲率半径为如上述那样计算的被加工物8的被加工面8a的曲率半径R和弹性砂轮4的加工面4b的曲率半径r之和(等效圆)R+r。加工轨迹L和基于它的砂轮台5、运送台7的每个动作模式的动作程序存储于数值控制装置(图中未示出)等中而实施。
如这样，在使弹性砂轮4旋转的同时，沿加工轨迹L而反复横移，作用于被加工物8的被加工面8a上，由此，如图示的那样，对P0-P1-P2的单一曲率的球面进行超精加工。由于在该加工中，形成被加工物8的旋转、弹性砂轮4的旋转与弹性砂轮4的横移的复合动作，故进行超精加工的球面为没有称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面。由此，面粗糙度改善。
另外，在图2中，弹性砂轮4在2个部位绘制轨迹，但是，在此，为了方便，表示1个弹性砂轮4沿加工轨迹L基本跨于该2个部位之间进行横向移动。
图3表示在本发明的第2实施形式的超精加工方法中，兼具多个形状的被加工物8的场合。该图的被加工物8为钢制的滚动轴承用滚动体，具体来说，圆锥滚子轴承中的圆锥滚子中，作为被加工面8a的外周面的截面形状为半径RB的中间圆弧面区域(轴向距离B的部分)，与分别具有半径RA、RC的两侧的端部圆弧面区域(轴向距离A、C的部分)连接的形状。对本场合的被加工物8的形状和弹性砂轮4的形状的关系，以及弹性砂轮4的加工轨迹的计算例子进行说明。
(1)根据所适用的滚动轴承的设计参数，计算被加工物8的被加工面8a中的一个端部的圆弧面区域(P0-P1之间)、中间的圆弧面区域(P1-P2之间)以及其它的端部的圆弧面区域(P2-P3之间)的距离；
(2)P0-P1之间的距离为A，P1-P2之间的距离为B，P2-P3之间的距离为C。
(3)任意地设定弹性砂轮4中的加工面4b的有效宽度D；
(4)在弹性砂轮4中的加工面4b的有效宽度D的内部，计算形成该加工面4b的圆弧状的截面形状的部分的一个端部、中间部分、另一端部的各加工面区域的轴向长度A’、B’、C’。各加工面区域呈具有不同的曲率半径的圆弧状。在该长度中，被加工物8的被加工面8a的各圆弧面区域的长度的比A∶B∶C与各加工面区域的长度的比A’∶B’∶C’一致。即，
A’＝(A×D)/(A+B+C)
B’＝(B×D)/(A+B+C)
C’＝(C×D)/(A+B+C)
(5)被加工物8的被加工面8a的半径为R，弹性砂轮4的半径为r，根据各自的曲率部分，计算下述式。
r＝(R×D)/(A+B)
如果与被加工物8的各曲率半径的圆弧面区域相对应的曲率半径分别为RA、RB、RC，则与弹性砂轮4的加工面4b的各加工面4b的各加工面区域(A’、B’、C’的区域)相对应的相应的曲率半径rA、rB、rC按照下述式：
rA＝(RA×D)/(A+B+C)
rB＝(RB×D)/(A+B+C)
rC＝(RC×D)/(A+B+C)
而计算。
(6)被加工物8的曲率半径RA、RB、RC和弹性砂轮4的曲率半径rA、rB、rC之和(等效圆)RA+rA、RB+rB、RC+rC为使弹性砂轮4呈圆弧状移动的各路径，即，加工轨迹La的各部分的半径。
(7)采用具有如上述那样计算的加工面4b的形状的弹性砂轮4，在使弹性砂轮4旋转的同时，如上述那样针对每个曲率部分，使其在圆弧状的加工轨迹La上移动，进行超精加工。
对上述(7)的动作进行说明。在相对围绕主轴轴心O2而旋转的被加工物8的被加工面8a，按压围绕驱动轴心O4而旋转的弹性砂轮4的加工面4b的同时，从被加工面8a的端部，按照每个加工面区域绘制曲率半径的圆弧状的加工轨迹La的方式使弹性砂轮4动作，进行被加工面8a的超精加工。
加工轨迹La按照复合有3个区域的方式构成，第1区域的曲率半径为被加工面8a中的曲面区域A的曲率区域RA与弹性砂轮4的加工面4b中对应的加工面区域的曲率半径rA之和(等效圆)RA+rA。第2区域的曲率半径为该曲面区域B的曲率区域RB与该加工面区域的曲率半径rB之和(等效圆)RB+rB。第3区域的曲率半径为该曲面区域C的曲率半径RC与该加工面区域的曲率半径rC之和(等效圆)RC+rC。
如这样，在使弹性砂轮4旋转的同时，沿加工轨迹La而反复进行横移，作用于被加工物8的被加工面8a上，由此，如图示的那样，对同时具有P0-P1-P2-P3的多个形状的曲面进行超精加工。由于同样在该加工中，形成被加工物8的旋转、弹性砂轮4的旋转与弹性砂轮4的横移的复合动作，故进行超精加工的曲面为没有称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面。由此，面粗糙度改善。
结合图4，对本发明的第3实施形式的超精加工方法中，倒角部的加工进行说明。该图表示对设置于作为图2所示的圆筒滚子形状的轴承用滚动体的被加工物8中的外周面8a与端面8b之间的角部的倒角部8c进行超精加工的状态。
(1)首先，计算圆弧的半径R，该圆弧连接被加工物8的倒角部8c中的进行超精加工区域的两端(轴向位置P0-P1)；
(2)任意地设定作为弹性砂轮4的截面圆弧状的端部圆弧状部分4c的圆弧半径r；
(3)从被加工物8中的倒角部8c的曲率中心8co绘制半径R+r的圆弧；
(4)分别通过直线而将被加工物8中的倒角部8c的曲率中心8co与打算加工的部分的两侧的端部P0、P1连接；
(5)上述半径R+r的圆弧中的与上述各直线的交点Lb0、Lb1为弹性砂轮4的操作范围。即，上述半径R+r的圆弧中的上述两交点之间的部分为加工轨迹Lb。
(6)如上面给出的那样设置弹性砂轮4，在使弹性砂轮4旋转的同时，沿上述加工轨迹Lb移动动作，由此，进行倒角部8c的超精加工。
对上述(6)的动作进行说明。在相对围绕主轴轴心O2而旋转的被加工物8的倒角部8c，按压围绕驱动轴O4而旋转的弹性砂轮4的端部圆弧状部分4c的同时，使砂轮台5和运送台7动作，按照绘制加工轨迹Lb的方式使弹性砂轮4动作，进行倒角部8c的超精加工。在图4的放大部分，表示绘制2个弹性砂轮4，但是，为分别位于与交点Lb0、Lb1相对应的位置的场合。
如这样，在使弹性砂轮4围绕驱动轴心O4而旋转，并且沿加工轨迹Lb，在交点Lb0-Lb1之间反复进行横移的同时，作用于被加工物8的角部，由此，如图示的那样，对P0-P1之间的倒角部8c进行超精加工，该加工面为没有称为交叉角的图案的加工痕迹的平滑面。
图5表示采用图1的超精加工装置，对作为被加工物的滚动轴承用轨道圈的滚动面和与该滚动面的两侧邻接的周面部分进行超精加工的状态。图示的滚动轴承用轨道圈9为单排的圆筒滚子轴承中的带有两个凸缘部的内圈。该内圈(被加工物)9为中空圆筒状，其外周面构成滚动面9a，还包括到该滚动面9a的两端的凸缘部9b的周面部分也构成被加工面。该被加工物9与上述相同，支承于主轴2a和尾座套筒3a之间。接着，使砂轮台5和运送台7移动，使弹性砂轮4的加工面4b接近被加工物9的被加工面(包括两侧的周面部分)9a。在该状态，如箭头a那样使主轴2a旋转，另外，如箭头b那样的沿相反方向使弹性砂轮4旋转。接着，按照使弹性砂轮4按压于被加工物9的被加工面9a上，并且弹性砂轮4的加工面4b描绘规定的加工轨迹的方式，使砂轮台5和运送台7移动，对被加工物9的被加工面9a进行超精加工。
同样在此场合，选择与被加工物9的形状相对应的弹性砂轮4，安装于其驱动部上。另外，弹性砂轮4的加工轨迹也按照与上述相同的主要内容而计算，按照沿该计算加工轨迹的方式，设定砂轮台5和传送台7的动作模式。如这样进行超精加工的被加工物9的被加工面9a为没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面。特别是，内圈或外圈这样的轨道圈具有凸起形状、对数形状或曲线组合成的复杂的形状，但是，可进行伴随这样的形状的加工，由此，不破坏形状，可谋求面粗糙度的改善。
另外，对于外圈的超精加工，加工被加工物相对主轴2a的安装的场合，与产生弹性砂轮4相对滚动面的作用的场合不同于内圈的场合，但是，可通过与上述相同的方式而实施。
图6以示意方式表示采用通过上述第1～第3实施形式的加工方法而进行超精加工的轴承部件(滚动体8、内圈9和外圈10)而组装的单排的滚动轴承11。该滚动轴承11为滚子轴承，作为滚动体的圆筒状滚子(被加工物)8的外周面8a，作为轨道圈的内圈9的外周面(滚动面)9a，以及作为另一个滚动圈的外圈10的内周面(滚动面)10a为被加工面，通过上述方法而进行超精加工。在组装有这些轴承部件8、9、10和滚动体8的保持器12的滚子轴承11中，由于相互滚动接触的各被加工面8a、9a、10a为没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面，故面粗糙度改善，由此，作为滚动轴承的滚动疲劳寿命为长寿命。
如结合该图2～图6的各例子而说明的那样，由于采用弹性砂轮4，弹性砂轮4的加工面4a的截面形状和加工轨迹L、La、Lb为与被加工面8a的截面形状相对应的形状，故获得下述的各项优点。
(1)获得没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面，面粗糙度改善；
(2)在过去的超精加工技术中，无法对应于复杂的形状，破坏被加工物的形状，但是，通过采用上述实施形式，可实现对凸起形状、曲线组合成的形状等的复杂的形状的加工；
(3)乃至倒角部都可进行超精加工；
(4)由于仅仅通过被加工物8的设定和砂轮形状的变更即可完成换产调整，故可减少换产调整工时；
(5)由于可采用通用的磨床等的加工机械而进行加工，故不必新设计机械，可使设计省力；
另外，图6所示的滚子轴承11为单排的圆筒滚子轴承，但是，也可为多排的圆筒滚子轴承、针状滚子轴承、单排或多排的圆锥滚子轴承以及自动调心式滚子轴承。在这些轴承中，对应于各轴承部件的形状，适当地设定弹性砂轮4的形状和弹性砂轮4的加工轨迹，由此，可使相应的被加工面为没有交叉角图案的加工痕迹的平滑面，这样，面粗糙度被改善，获得与上述相同的各种效果。
如上所述，参照附图，对优选的实施形式进行了说明，但是，如果本领域的技术人员观看本说明书，则会在显然的范围内，容易想到各种变更和修改方式。于是，这样的变更和修改方式应解释为根据权利要求书确定的本发明的范围内。
标号说明
标号4表示弹性砂轮；
标号4a表示砂轮轴；
标号4b表示加工面；
标号8表示滚动体(轴承部件、被加工物)；
标号8a表示外周面(被加工面)；
标号8b表示端面；
标号8c表示倒角部(被加工面)；
标号9表示轨道圈(内圈、轴承部件、被加工物)
标号9a表示滚动面(被加工面)；
标号10表示轨道圈(外圈、轴承部件、被加工物)
标号10a表示滚动面(被加工面)；
标号11表示滚动轴承。

Claims (15)

1.一种机械部件，其表面被精加工，该精加工面为没有被称为交叉角图案的加工痕迹的平滑面。
2.根据权利要求1所述的机械部件，其中，外周面通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
3.根据权利要求2所述的机械部件，其中，在覆盖外周面和该外周面的边缘的倒角部区域，通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
4.一种钢制的滚动轴承用滚动体，其为权利要求1所述的表面进行了超精加工的上述机械部件。
5.根据权利要求4所述的滚动轴承用滚动体，其中，外周面通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
6.根据权利要求5所述的滚动轴承用滚动体，其中，其为滚子形状的滚动体，外周面和设置于该外周面与端面之间的角部的倒角部通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
7.一种钢制的滚动轴承用轨道圈，其为权利要求1所述的滚动面进行了超精加工的上述机械部件。
8.根据权利要求7所述的滚动轴承用轨道圈，其中，滚动面通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
9.根据权利要求8所述的滚动轴承用轨道圈，其中，滚动面和与该滚动面的两侧邻接的周面部分通过旋转的弹性砂轮而进行超精加工。
10.一种滚动轴承，其采用权利要求4所述的滚动轴承用滚动体。
11.一种滚动轴承，其采用权利要求7所述的滚动轴承用轨道圈。
12.一种机械部件的超精加工方法，其采用旋转的弹性砂轮对机械部件进行超精加工。
13.一种滚动轴承用滚动体的超精加工方法，其中，对作为权利要求12所述的机械部件的滚动轴承的滚动体的表面进行超精加工。
14.一种滚动轴承用轨道圈的超精加工方法，其中，对作为权利要求12所述的机械部件的滚动轴承的轨道圈的滚动面进行超精加工。
15.一种轴承部件的超精加工方法，其中，权利要求12所述的机械部件为轴承部件；
旋转的弹性砂轮的加工面的表面形状为与被加工物的被加工面的截面形状成比例的截面形状，该被加工物由作为上述轴承部件的滚动轴承的滚动体或轨道圈形成；
使上述被加工物旋转，从被加工物的被加工面的端部接触旋转的上述弹性砂轮；
该弹性砂轮中的与上述被加工物表面的截面形状成比例的截面形状的加工面按照沿被加工物的被加工面的方式使弹性砂轮移动；
对被加工物的被加工面进行超精加工。
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