CN106573357A - 抛光工具 - Google Patents

Abstract

一种用于抛光加工工件的旋转对称的工件区段的抛光工具(300)，在抛光加工的情况中，工件绕工件旋转轴旋转，其具有：切割介质载体(310)和切割衬面(320)，切割衬面固定在切割介质载体处。切割衬面具有切割面(325)，切割面设置成用于在抛光加工的情况中面式地压靠到工件区段处。切割衬面定义大致平行于工件旋转轴取向的纵向(L)和垂直于纵向伸延的横向(Q)。切割面(325)具有在横向上凹形的形状，切割面的在横向(Q)上测得的有效宽度在切割面的纵向(L)上变化。

Description

抛光工具

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的抛光工具。

背景技术

也被称为超级抛光的抛光是利用几何上不确定的刀具的切削的精加工方法。通过抛光，可加工在工件处的旋转对称的或非旋转对称的工件区段的工件表面，工件例如为曲轴、凸轮轴、变速器轴或其它用于产生期望的表面微观结构的用于发动机和工作机械的构件。在以穿透方法抛光的情况中，被填有颗状切割介质的抛光工具被压靠到待加工的周缘面处。为了产生用于材料磨蚀所需的切割速度，使工件绕其工件轴旋转。同时，在工件与贴靠在周缘面处的抛光工具之间产生平行于工件轴振荡的相对运动。通过工件的旋转运动和叠加的振荡运动的组合，可产生交叉研磨模型，由此被加工的工件表面例如尤其适合作为用于滑动轴承或滚动轴承等的工作面。待加工的工件区段例如可以是主轴承或曲轴的连杆轴承或凸轮轴轴承或者其它轴、例如平衡轴的轴承。

根据所使用的抛光工具的类型，分成两种不同的抛光过程，即，带式抛光和利用抛光石的抛光。在带式抛光中，切割介质载体是柔性的带，其被涂覆了颗粒的切割介质的相对薄的层。在利用抛光石抛光时，使用具有刚性的切割介质载体的抛光工具，在切割介质载体处固定有或多或少厚的、相对硬的切割衬面，切割衬面具有分布在化合物中的切割介质颗粒。切割介质载体在其面向工件的侧处具有切割面，其设置成用于在抛光加工的情况中面式地压靠工件区段。切割衬面定义大致平行于工件旋转轴取向的纵向和垂直于纵向伸延的横向。切割面具有在横向上凹形的形状，以便切割面可大面积地压靠到待加工的旋转对称的工件区段。切割面通常大致呈柱形地弯曲。

与研磨不同地，抛光是热中性的加工方法，在其中，不产生以微裂缝或表面应力穿过的软表皮。抛光常常也在研磨过程之后用作过程链的最后的切削加工的加工方法，以便于除去软表皮，再次释放原来的组织结构，提高粗糙的表面结构的承载部分并且在圆度方面和在轴向上的短波缺陷方面改善构件几何外形。

在抛光加工旋转对称的轴承部位的情况中，通常前提是保持轴向轮廓。在柱形的轴承部位处的形状值的改善主要在径向方向上进行，并且与预加工强烈相关。那么，例如，可相对过程可靠地改善例如带有大于在周缘处15波的短波的缺陷部分，而通过抛光通常不能正面地影响长波部分，例如椭圆、三角形或四边形。通过抛光过程的切削量通常在约10μm之下。为了尽可能地保持几何形状，在正常情况中使抛光过程的材料磨蚀与预加工协调。

研磨通常是最后的成型的加工操作。这意味着，旋转对称的轴承部位基本上通过连接在抛光过程之前的研磨过程而实现具有轮廓。为了轴承部位的成型和设计，砂轮的连续修整是强制必须的。根据对轴承部位的要求和图纸公差，减小或延长修整周期。但是，研磨过程通常不能够获得可通过抛光加工获得的表面性能。

在加工在轴处的轴承区段的情况中，几何形状要求常常是如此的，即，单个的或所有轴承区段应具有稍微凸圆的外形。旋转对称的轴承区段的凸圆的(圆筒形的、凸形的)外形可有助于避免由于在轴承中共同作用的组件的对准和形状误差引起的轴承损害。在凸度方面的相应的由用户规定的最终包络线要求通常表述成在(凸圆形的)轴承区段的不同轴向位置之间几微米的直径偏差。

在研磨曲轴轴承区段的情况中，可通过相应地修整在研磨时使用的研磨盘的周缘面实现凸圆形的宏观形状(例如参考EP 1 181 132 B1，图5)。

文献EP 1 514 642 A2描述了一种用于抛光加工轴、特别是曲轴和凸轮轴的装置，其带有工具架和无端部的研磨带，研磨带具有柔性的载体和带有硬质材料的研磨介质层。该装置用于加工绕其旋转轴旋转的工件。在工件加工期间，研磨带驱动部连续地驱动研磨带。设置用于研磨带的张紧装置。工具架具有带有两个彼此间隔开的带转向部的加工头部，带转向部限制加工头部的工作区域，其中，研磨带经由带转向部被引导并且在工作区域中经过工件的待加工的周缘面处。在工作区域之外，环绕的研磨带关联有用于修整研磨介质层的装置，该装置具有在工件加工期间可抵靠到以与工件加工协调的带速度环绕的研磨带的研磨介质层上的修整工具。在一实施形式中，修整工具横向于带卷提方向具有凸圆形的轮廓，其在修整时被传递到研磨介质层上。由此，在已加工的工件区段处可借助于带式抛光产生稍微凸圆形的轮廓。

发明内容

本发明的目标是，提供一种用于抛光过程的器件，其允许，不仅保持且必要时稍微改善借助于抛光加工从预加工中得到的已加工的工件区段的形状值，而且也可根据需要有目的地影响并产生、确切地说改变该形状值。

为了实现该目标，本发明提供带有权利要求1的特征的抛光工具。在从属权利要求中说明有利的改进方案。所有权利要求的内容参考说明书的内容。

要求保护的本发明提供一种抛光工具，在使用该抛光工具的情况中实现，通过借助于几何上不确定的刀具的抛光的过程、也就是说通过磨蚀材料的抛光加工，以简单的方式有目的地影响并且必要时相对于预加工有目的地改变工件区段的轴向轮廓。可在不改变抛光机械自身的情况下实现这种新的功能性。

为此，在根据要求保护的本发明的抛光工具的情况中设置成，切割面的在横向上测得的有效宽度在切割面的纵向上变化。在此，概念“有效宽度”表示在横向上测得的这样的宽度，即，切割介质可在工件加工时在该宽度上与待加工的工件表面处于接合。在加工时在切割衬面的确定的轴向区段中的有效宽度越大，在用于磨蚀材料的加工的该轴向区段之内提供的切割介质越多。另一方面，在加工时间相同时，与在邻近区域中相比，在有效宽度更小的轴向区域中发生更少的材料磨蚀。由此，如果切割面的有效宽度在切割面的纵向上变化，在抛光工具作用在其处的工件区段的区域中在轴向上观察可获得不均匀的材料磨蚀。由此，可有目的地改变已加工的工件区段或其包络线形状的外形。在此，有效宽度在最小有效宽度与最大有效宽度之间的变化幅度以及有效宽度在纵向上的分布基本上确定可通过抛光加工获得的工件区段的外形。

有效宽度的变化幅度在不同的实施形式中可为不同的。优选地，在最小有效宽度的轴向区段中的有效宽度是在带有最大有效宽度的区段中的有效宽度的20%与80%之间。然而也实现更强或更弱的变化。

在一些实施形式中，切割面的有效宽度在纵向上观察在切割面的中间区段中最小并且连续地或非连续地朝向轴向端部区段增加。在轴向中心中，可存在最小有效宽度。切割介质部分在纵向上观察可相对于切割面的中间平面镜像对称地伸延。通过切割介质部分的减小、确切地说在切割面的中间区域中的有效宽度的减小，根据宽度走向的构造方案，可有目的地减小或加强在工件区段处的期望的凸度，以在完成抛光加工之后在形状公差之内保持期望的包络线形状。

存在用于实现切割面在纵向上的有效宽度变化的不同可能性。例如可行的是，给出切割面整体上与矩形不同的外形并且切割面连续地或无中断地均匀地被切割介质覆盖。那么，通过切割面的实际宽度的变化确定有效宽度的变化，实际宽度在切割面的外边缘之间在横向上测得。切割衬面例如可具有渐缩的形状，在其中，切割衬面在中间区域中在横向上观察比在轴向端部区域中更窄。也可行的是，为了获得已加工的工件区段的锥形的外形，设置整体楔形的切割面。

在优选的实施形式中设置成，切割衬面具有至少一个凹口，其通入切割面中，从而在凹口的区域中切割面的有效宽度相对于不带有该凹口的切割面减小。如果在切割面中设置至少一个这种类型的凹口，在凹口的轴向区域中，有效宽度小于切割衬面的在纵向棱边之间在横向上测得的宽度。借助于至少一个凹口所实现的是，切割衬面设计成，使得切割面在其外侧中被矩形地限制，尽管如此，其中，有效宽度在纵向上变化。在此，概念“凹口”表示在切割面的外限制部之内的无切割介质的区域。

在切割面之内可设置多个凹口，其中，例如其空间密度和/或其大小如此在切割面的纵向上变化，即在横向上得到有效宽度的期望的分布。优选地，在切割衬面中设置仅仅唯一的凹口，如此选择其外形，即，其得到有效宽度的期望的轴向分布。带有仅仅唯一的凹口的抛光工具可尤其简单地制造并且此外其特征在于尤其高的机械稳定性。

在一些实施形式中，凹口具有平行四边形的外形或菱形，优选地以这样的方式，即，凹口在切割面的轴向中心中具有其在横向上的最大延伸，其中，凹口的宽度在横向上朝向凹口的轴向端部线性减小。

也可行的是，凹口具有透镜形的外形，即，双凸形的形状，其宽度在切割面的中间区域中最大并且朝向轴向端部根据非线性函数逐渐减小到零。

可行的是，有效宽度在切割面的整个长度上变化。相反地，在一些实施形式中设置成，切割面的有效宽度在纵向上观察在边缘区域中、即在切割面的轴向端部区域中在一定的轴向长度上是恒定的。恒定的有效宽度的范围可例如相应地在切割面的轴向长度的5%与20%之间。

原则上不需要的是，在切割面中的凹口引导穿过整个切割衬面直至切割介质载体。为了减小在切割面中的切割介质部分，足够的是，切割介质相对于切割面充分远地后置。

然而，在一些实施形式中，通过以下方式利用带有凹口的设计方案的另一优点，即，切割介质载体具有至少一个冷却介质通道，其通入在切割衬面中的至少一个凹口中。由此可实现，冷却润滑剂在加工期间穿过切割介质或切割衬面准确地被输送到加工部位处。由此，尽管可能的最大切削功率，在抛光时可获得充分的冲洗效应。

本发明还涉及一种用于抛光加工在工件处的旋转对称的工件区段的周缘面的方法。在该方法中，使抛光工具以压紧力压靠工件的待加工的工件区段。为了产生材料磨蚀，使工件绕工件旋转轴旋转，并且在工件与抛光工具之间产生平行于工件旋转轴振荡的相对运动。在该方法中，使用在此提出的类型的抛光工具。由此实现，可在不改变抛光机械的结构情况下，仅仅通过设计抛光工具，借助于抛光加工使已加工的工件区段有目的地具有轮廓。

本发明也涉及一种用于抛光加工在工件处的旋转对称的工件区段的周缘面的装置，在其中，使用所描述的类型的抛光工具。

附图说明

从权利要求和以下对本发明的优选的实施例的描述中得到本发明的其它优点和方面，以下根据附图阐述这些实施例。其中：

图1显示了在用于抛光加工的方法的实施例中的加工情况的侧视图；

图2在平行于工件旋转轴的方向上显示了图1中的加工情况的视图；

图3显示了带有在切割衬面中的菱形的凹口的抛光工具的实施例；

图4显示了带有在切割衬面中的双凸形的凹口的抛光工具的实施例；以及

图5显示了用于不同抛光工具和由此工件区段的可获得的不同包络线形状的示意性示例。

具体实施方式

根据图1和2阐述对于理解本发明有帮助的关联性和概念。图1显示了在用于抛光加工在工件190处的旋转对称的工件区段的周缘面195的方法的实施例中典型的加工情况的侧视图，工件借助于用于产生工件绕工件旋转轴192的旋转运动的旋转装置以恒定的旋转速度旋转。待加工的工件区段例如可为曲轴的主轴承或其它轴、例如凸轮轴或平衡轴的轴承面。

为了借助于抛光在工件区段处引起材料磨蚀，抛光工具100借助于抛光机械的压紧装置以大致径向相对于工件旋转轴作用的压紧力F压靠待加工的周缘面或待加工的工件区段。

通过以下方式辅助材料磨蚀，即借助于抛光机械的振荡装置产生平行于工件旋转轴取向的在工件与抛光工具之间的振荡的相对运动(见双箭头OSZ)。在该示例情况中，振荡装置安装在抛光工具的侧上，从而使抛光工具振荡地运动，而工件仅仅绕工件旋转轴192旋转。也可行的是，轴向振荡地驱动工件或工件夹紧装置，而不使工具轴向振荡。振荡运动的轴向行程或振幅例如可在0.5mm至3mm的范围中，如有可能也可在其之上或之下。工件的典型的旋转速度例如可在50min^-1至300min^-1的范围中，如有可能也可在其之上或之下。

装配在工具架180的自由的端部处的抛光工具100包括由工具钢或另一金属的材料制成的切割介质载体110，并且在其后侧处包括用于将抛光工具装配在工具架180处的装置。在切割介质载体的前侧处例如借助于粘合剂或借助于螺钉固定切割衬面120。由烧结材料组成的切割衬面包含多个切割介质颗粒，其在示例情况中均匀地分布在金属的基质之内。切割介质颗粒例如可为由金刚石颗粒或由立方氮化硼(CBN)组成的颗粒。在此处描述的应用中，典型的平均颗粒大小例如可在10μm至50μm的范围中，尤其地在15μm至40μm的范围中。

切割衬面在其面向切割介质载体的基础侧处具有矩形横截面。根据定义，切割衬面的纵向L是这样的方向，即，其在抛光加工中平行于工件旋转轴伸延。横向Q以这样的方式垂直于纵向L伸延，即，纵向和横向位于垂直于压紧方向、也就是说垂直于工件旋转轴的径向的平面中。

在背对切割介质载体的侧上，切割衬面形成研磨的切割面125，切割衬面在抛光加工期间利用该切割面125面积或多或少地大面积地贴靠在待加工的周缘面处。如可在图2中良好地看出的那样，切割面具有凹形-柱形的形状，其曲率半径基本上相应于待加工的工件区段在抛光加工结束时的理论曲率半径。弯曲部在横向Q上伸延。

抛光工具100的特点在于，在切割衬面120之内形成唯一的中央凹处或凹口160，其从(在切割介质载体110处的)切割衬面的基础面延伸直至带有恒定横截面形状的切割面125。用于这种类型的凹口的可能的形状的示例在图3至5中示出。凹口160是在切割衬面的内部中的没有切割介质的区域。在烧结时已经可通过烧结模型的相应的造型产生该凹口或者例如事后借助于火花侵蚀或以其它方式实现凹口。由此，在凹口160的区域中，在凹形柱形弯曲的切割面的侧处不存在切割介质，从而在该区域中不进行材料磨蚀。相反地，在切割衬面的轴向端部区段E1,E2中(在纵向上在凹口之前和之后)在整个在横向Q上测得的切割衬面的宽度上均存在切割介质。显然，由于凹口160，切割面的在横向上测得的有效宽度在切割面125的纵向L上变化，确切地说以这样的方式，即，在轴向端部区段E1和E2中切割面的(对于材料磨蚀有效的)宽度大于在凹口160的区域中。

抛光工具100实现了内部的冷却润滑剂输送，也就是说，实现冷却润滑剂通过抛光工具、确切地说通过切割衬面到加工部位处的输送。为此，在切割介质载体110中设置有冷却介质通道170，其从切割介质载体的面向工件架180的后侧穿过直至前侧，并且在凹口160的区域中通入其中。在工具架180中构造有对应的冷却介质通区段182，其经由冷却介质管路联接到冷却介质泵175处并且在抛光工具完成装配的情况下通入抛光工具的冷却介质通道170中。如此，抛光工具可在抛光加工期间从内部被冷却介质冲洗，从而在高的切削功率的情况下也可极为有效地从加工部位处运出被磨蚀的材料。

在使用该抛光工具的情况中，仅仅由于抛光工具在已加工的工件区段处的这种配置而获得材料磨蚀，该材料磨蚀在工件区段的轴向上(平行于工件旋转轴192的方向上)变化。在此，与在位于凹口160的区域中的位于中间的区段相比，在抛光工具振荡的情况中主要或仅仅由轴向的端部区段E1和E2加工的区段中，在趋势上产生更强的材料磨蚀。这由此而引起，即在轴向端部区段E1,E2中，在切割衬面的整个宽度上，切割介质与工件外侧处于接合，而在中间区段中、也就是说在凹口160的区域中，仅仅在切割面的侧向的边缘区域中(在横向上在凹口旁边)进行材料磨蚀。在带有凹口的区域之内，有效宽度再次与凹口的宽度互补地在横向上变化。

根据图3中的抛光工具300阐述带有中央凹口360的抛光工具的可能的设计方案。在图1和2中的抛光工具100可设计成与此相同或者具有与该凹口不同的形状。

在抛光工具300中，在切割衬面320中的凹口360具有菱形的形状，其在纵向L上的长度约为其在横向Q上的(最大)宽度的双倍。凹口360在切割衬面的整个厚度上从切割面325延伸到切割介质载体310。在轴向端部区段E1和E2的区域中，切割面的对于材料磨蚀有效的在横向Q上宽度相应于在横向上测得的切割面的几何的宽度。在切割衬面的轴向中心M中，也就是说凹口在横向上宽度最大的部位处，切割面的在横向上测得的有效宽度仅仅为在轴向的端部区段中的40%与60%之间，因为在凹口的区域中没有切割介质。从在中间平面M中的最小有效宽度的轴向部位开始，有效宽度在轴向上朝向两个端部根据凹口的菱形形状线性地且相对于中心对称地增加，并且达到在凹口的轴向顶端的区域中在端部区域中的最大值。于是，有效宽度在轴向的端部区段的区域中是恒定的并且相对于中间平面对称地具有V形的走向连同在切割衬面的轴向中心中的最小值。

可直接看出，在使用这种类型的抛光工具时，与在其中抛光工具在切割面的整个几何宽度上与工件表面研磨接合的轴向端部区域中相比，在振荡运动的情况中凹口在其中运动的区域中，单位时间的材料磨蚀更小。由此，与在中间的区域中相比，在轴向的端部区域中磨蚀更多的材料，由此，得到已加工的工件区段的带有凸形弯曲的包络线形状的整体凸圆形的形状。

在图4中的抛光工具400的变型方案中，凹口460在固定在切割介质载体410处的切割衬面420中具有双凸形的透镜形状，其在纵向L上的长度约为在凹口的轴向中心中在横向Q上测得的最大宽度的2至3倍那么大。在此，切割面425的完全以切割介质覆盖的轴向端部区段E1和E2比在图3中的实施形式的情况中更窄(约在切割衬面的轴向长度的约10%与约5%之间)。在凹口的区域中，有效宽度相应于带有在轴向中心中的局部最小值的光滑曲线在轴向的端部区域中的最大值与在轴向中心中的最小值之间变化。

根据图5示例性地阐述，通过不同地设计在切割衬面的中央中的唯一的凹口560的尺寸(左侧的部分图)在加工工件区段的情况中可以何种方式获得不同的凸形的包络线形状(右侧的部分图)。在此，图5A例如相应于图3中的变型方案，在其中，在切割面的中心中、也就是说在菱形的凹口的宽度最大的部位处切割面的有效宽度仅仅为在端部区域中的最大有效宽度的约30%至40%。由此，通过抛光加工可产生带有更大或更小连续凸形弯曲的包络线形状的相对大的凸度。

在图5B的变型方案中，在中央的区域中凹口560更窄，从而在中心中的有效宽度约为切割面在轴向端部区域中的有效宽度的40%与50%之间。由此，在相应地使尺寸与振荡行程(振荡运动的偏转)相匹配的情况中，可获得带有更平的中间区域的同样凸形的包络线形状。

那么，当如例如在图5C中示意性地示出的那样产生有效宽度在纵向上仍更小的变化时，使已加工的工件区段的基本上凸圆形的外形的中间区域的更加扁平。在此，在轴向的中间区域中的有效宽度约为在轴向端部区域中的最大有效宽度的约60%至80%。由此，必要时可获得这样的包络线形状，即，其在其中间区域中或多或少是柱形的，并且仅仅在已加工的工件区段的轴向端部区域中凸形地弯曲。

在此示出的形式的抛光工具以及在申请文献中描述的变型方案允许，有目的地在其轴向轮廓中影响旋转对称的、如有可能首先或多或少柱形的工件区段。可能的是，与利用传统的抛光工具相比，借助于这种类型的刚性的抛光工具可更好地修正在轴向上的长波的缺陷。

Claims (13)

1.一种用于抛光加工工件(190)的旋转对称的工件区段的抛光工具(100,300,400)，在抛光加工的情况中，所述工件(190)绕工件旋转轴(192)旋转，其带有：

切割介质载体(110,310,410)，

切割衬面(120,320,420)，其固定在所述切割介质载体处并且具有切割面(125,325,425)，所述切割面设置成用于在抛光加工的情况中面式地压靠到所述工件区段处，其中，所述切割衬面定义大致平行于工件旋转轴取向的纵向(L)和垂直于所述纵向伸延的横向(Q)，并且，所述切割面(125,325,425)具有在横向上凹形的形状，

其特征在于，

所述切割面的在横向(Q)上测得的有效宽度在所述切割面的纵向(L)上变化。

2.根据权利要求1所述的抛光工具，其特征在于，在最小有效宽度的轴向区段中的所述有效宽度为在带有最大有效宽度的区段中的所述有效宽度的20%与80%之间。

3.根据权利要求1或2所述的抛光工具，其特征在于，所述切割面的有效宽度在纵向(L)上观察在所述切割面的中间区段中、尤其地在所述切割面的轴向中心(M)处最小并且在所述切割面的轴向端部区段(E1,E2)的方向上增加。

4.根据前述权利要求中任一项所述的抛光工具，其特征在于，所述切割面(125,325,425)的切割介质部分在纵向(L)上观察可相对于所述切割面的中间平面(M)镜像对称地伸延。

5.根据前述权利要求中任一项所述的抛光工具，其特征在于，所述切割衬面具有至少一个凹口(160,360,460,560)，其通入所述切割面(125,325,425)中，从而所述切割面在所述凹口的区域中的有效宽度相对于没有凹口的切割面减小。

6.根据前述权利要求中任一项所述的抛光工具，其特征在于，所述切割面(125,325,425)矩形地被限制。

7.根据权利要求5或6所述的抛光工具，其特征在于，在所述切割衬面(120,320,420)中设置仅仅唯一的凹口(160,360,460,560)，其外形选择成，使得得到所述切割面的有效宽度的期望的轴向分布。

8.根据权利要求5、6或7所述的抛光工具，其特征在于，所述凹口(360,560)具有菱形形状，优选地以如下方式，即所述凹口在所述切割面的轴向中心中具有其在横向(Q)上的最大延伸，其中，所述凹口的宽度在横向上相对所述凹口的轴向端部线性减小。

9.根据权利要求5、6或7所述的抛光工具，其特征在于，所述凹口(460)具有透镜形的外形，其宽度在所述切割面的中间区域中最大并且朝向轴向端部根据非线性函数逐渐减小。

10.根据前述权利要求中任一项所述的抛光工具，其特征在于，所述切割面(125,325,425)的有效宽度在纵向(L)上观察在所述切割面的轴向端部区域(E1,E2)中是恒定的。

11.根据权利要求5至10中任一项所述的抛光工具，其特征在于，所述切割介质载体(110)具有至少一个冷却介质通道(170)，其通入在所述切割衬面(120)中的至少一个凹口(160)中。

12.一种用于抛光加工在工件处的旋转对称的工件区段的周缘面的方法，在其中，使抛光工具以压紧力压靠待加工的周缘面，并且为了产生材料磨蚀，使工件绕工件轴旋转，并且在所述工件与所述切割介质之间产生平行于所述工件轴振荡的相对运动，其特征在于，使用根据前述权利要求中任一项所述的抛光工具。

13.一种用于抛光加工在工件处的旋转对称的工件区段的周缘面的装置，其带有：

用于产生所述工件(190)绕工件旋转轴(192)的旋转运动的旋转装置；

用于使抛光工具(100,300,400)如此压靠待加工的周缘面的压紧装置，即，使所述抛光工具利用压紧力(F)压靠到所述周缘面处；以及

用于在所述工件(190)与所述抛光工具之间产生平行于所述工件旋转轴取向的振荡的相对运动的振荡装置，

其特征在于，所述抛光工具根据权利要求1至11中任一项来构造。