JP2009202277A - 超仕上げ加工工程における仕上げ状態の判定装置及び判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワーク表面の超仕上げを行う超仕上げ加工工程において超仕上げ加工の間にその仕上げ状態を判定する。
【解決手段】仕上げ状態判定装置１６は、ワークＷの表面に超仕上げ加工を施す加工装置１に設けられるＡＥセンサ１５と、対象となるワークＷの超仕上げ加工の前に行われる他のワークに対する超仕上げ加工の際にＡＥセンサ１５から出力されるＡＥ信号をマスタ信号１００として記憶するマスタ信号記憶部３４と、対象となるワークＷの超仕上げ加工の際にＡＥセンサから出力されるＡＥ信号である検査信号２００をマスタ信号記憶部３４に記憶されたマスタ信号１００と比較する信号比較部３６と、信号比較部３６による比較結果に基づき仕上げ状態の良否を判定する判定部３７と、を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、細かい砥粒の砥石などをワーク表面に押し付けて表面の超仕上げを行う超仕上げ加工工程において、その仕上げ状態の良否を判定する判定装置及び判定方法に関する。

超仕上げとは、細かい砥粒の砥石などを低い圧力でワーク表面に押し付けた状態で加工物に回転を与えるとともに、砥石とワークとの間で相対往復運動を与え、ワーク表面を滑らかな表面に仕上げる加工方法である。
図１の（Ａ）及び（Ｂ）は、超仕上げによる加工方法の説明図である。図示の例では、ワークであるベアリング内輪Ｗに設けられたベアリング軌道面５０の表面に超仕上げ加工を施す様子を示している。

ベアリング内輪Ｗの外周に設けられたベアリング軌道面５０を超仕上げを行う際には、矢印Ａ１に示す向きにベアリング内輪Ｗをその軸心ＡＲを回転軸として回転させる。そして、ベアリング内輪Ｗを回転させる間に、図１の（Ｂ）に示す偏芯した枢動軸Ｃを中心にして砥石２０に回転運動を与え矢印Ａ２に示す向きに回転往復運動させる。図１の（Ａ）に示す構成例では、砥石２０に回転運動を与えるために回転シャフト２２を介してモータ２１を砥石に接続する。

ＡＥ（Acoustic Emission）センサについてはＮＤＩＳのＮｏ．２１０６−７９、２１０６−９１などに、ＡＥセンサを使用した研削盤については下記特許文献１などに記載されるように広く知られているので、ＡＥセンサ及び研削盤の詳しい説明は省略する。

特開平６−１１４６９２号公報

従来、超仕上げ加工工程においては仕上げ状態の良否を判定する方法がなかった。このため、予め定めた所定時間だけ研磨を行うことによって仕上げ加工工程が完了したと見なしていた。このため、実際の加工に先だって加工装置やワーク毎に適正な時間を設定する必要があった。
また、それぞれの加工作業中に何らかの問題が発生することにより期待する加工精度が実現できていない場合でもそれを判定することができなかった。さらに、設定された加工時間が長すぎる場合には、必要な加工精度を達成した後も加工を続けてしまうため、スループットが低下するという問題があった。

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ワーク表面の超仕上げを行う超仕上げ加工工程において、超仕上げ加工の間にその仕上げ状態を判定することを可能とすることを目的とする。

上記目的を達成するため、本判定装置は、ワークの表面に超仕上げ加工を施す加工装置に設けられるＡＥセンサと、対象となるワークの超仕上げ加工の前に行われる他のワークに対する超仕上げ加工の際にＡＥセンサから出力されるＡＥ信号をマスタ信号として記憶するマスタ信号記憶部と、対象となるワークの超仕上げ加工の際にＡＥセンサから出力されるＡＥ信号である検査信号をマスタ信号記憶部に記憶されたマスタ信号と比較する信号比較部と、信号比較部による比較結果に基づき前記対象となるワークに対する仕上げ状態の良否を判定する判定部と、を備える。

また本方法では、対象となるワークの超仕上げ加工の前に行われる他のワークに対する超仕上げ加工の際にこれらワークの表面に超仕上げ加工を施す加工装置に設けられたＡＥセンサから出力されるＡＥ信号をマスタ信号として記憶し、
対象となるワークの超仕上げ加工の際にＡＥセンサから出力されるＡＥ信号である検査信号と記憶された前記マスタ信号との比較結果に基づき対象となるワークに対する超仕上げ加工の良否を判定する。

ワーク表面の超仕上げを行う超仕上げ加工工程において、超仕上げ加工の間にその仕上げ状態を判定することが可能となる。

以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図２の（Ａ）〜（Ｃ）は、本方法を概略的に説明する説明図である。ワークと砥石とを接触させて検索する研削盤において、砥石とワークとの間の接触検出にＡＥ（Acoustic Emission）センサが使用される。ＡＥセンサは対象とする周波数などに応じて各種の方式があるが、研削盤などの加工装置で使用するＡＥセンサは数十ｋＨｚ〜数百ＭＨｚの超音波領域を対象とし、圧電素子などで構成される。

ワーク表面の超仕上げを行う加工装置にＡＥセンサを設けると、加工中のワークとの間の摺動により振動が生じる。ＡＥセンサはこの振動を検出したＡＥ信号を出力する。図２の（Ａ）は正常に超仕上げ加工が行われた際の波形を示す。超仕上げ加工では、ワークを回転させるだけでなく砥石とワークとの間で相対往復運動を与える。このため、図２の（Ａ）に示されるように、この往復運動の周期に応じた周期性のある変動がＡＥ信号に生じる。

本方法では、予めワークに対して正常に超仕上げ加工が行われた状態でＡＥセンサが検出したＡＥ信号をマスタ信号１００として記憶しておく。
次に、図２の（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、実際の加工対象のワークに超仕上げ加工を施す際に検出したＡＥ信号である検査信号２００とマスタ信号１００とを比較する。上述の通り、ＡＥ信号には砥石とワークとの間で相対往復運動の周期に応じた周期性のある変動が存在するので、検査信号とマスタ信号との比較の際には、互いの波形の間の位置合わせを行う。そして、図２の（Ｂ）に示すように、検査信号とマスタ信号との間の違い小さくその差が所定の範囲内である場合にはワークの表面の加工状態が良好であり、超仕上げ加工が完了したと判定する。また図２の（Ｂ）に示すように、検査信号とマスタ信号との間の違いが大きくその差が所定の範囲内にない場合にはワークの表面の加工状態が良好でなく、超仕上げ加工が完了していないと判定する。

図３の（Ａ）は、本判定装置を設けた加工装置の全体構成の例を示す構成図であり、図３の（Ｂ）は図３の（Ａ）のワーク駆動機構部分の立面図を示したものである。加工装置１は、図１の（Ａ）及び（Ｂ）を参照して説明したような、ベアリング内輪Ｗに設けられたベアリング軌道面５０の表面に超仕上げ加工を行う装置である。以下、本明細書では、ベアリング軌道面の表面の超仕上げ加工を例として説明を行うが、本発明は特定のワークへ適用されるように限定されて解釈されるべきではなく、様々なワークの表面の超仕上げ加工における仕上げ状態の良否の判定に適用可能である。

ベース１１の上には、ワークであるベアリング内輪Ｗをその軸心を回転軸として矢印Ａ１に示す向きに回転させる回転台１１と、偏芯した枢動軸Ｃを中心に砥石２０を矢印Ａ２に示す向きに回転往復運動させるモータ２１と、砥石２０を回転往復運動させるべきモータ２１の回転運動を伝達する回転シャフト２２と、モータ２１をベース１１に固定する砥石支持アーム１３とを備えている。
加工装置１は、加工機制御装置１４によって制御され、矢印Ａ１に示す向きにベアリング内輪Ｗを回転させる。その間に、加工装置１は、砥石２０をベアリング内輪Ｗの外周に設けられたベアリング軌道面５０に接触させて回転往復運動させることにより、ベアリング軌道面５０の超仕上げ加工を行う。

砥石支持アーム１３には、砥石２０とベアリング内輪Ｗとの間の摺動により発生する振動を検出してＡＥ信号を出力するＡＥセンサ１５が設けられる。仕上げ状態判定装置１６は、ＡＥ信号を処理してベアリング軌道面５０における超仕上げ加工の仕上げ状態の良否を判定し、超仕上げ加工が完了した場合にはその旨を加工機制御装置１４に通知する。
また、仕上げ状態判定装置１６は、ＡＥ信号を処理して加工装置１の加工工程に異常が発生したことを検出して、その旨を表示装置やプリンタ装置などであるデータ出力装置１７に出力する。

図４は、仕上げ状態判定装置１６の構成例を示すブロック図である。図示のように仕上げ状態判定装置１６は、ＡＥセンサ１５が出力するアナログＡＥ信号を所定の強度の信号に増幅する増幅器３０と、増幅されたアナログＡＥ信号をディジタルＡＥ信号に変換するアナログ／ディジタル変換器３１と、ディジタルＡＥ信号に背景雑音除去処理などの所定の信号処理を施す信号処理部３２を備える。

また仕上げ状態判定装置１６は、実際の加工対象のベアリング内輪Ｗに対する加工を開始する前に、正常に超仕上げ状態に加工されたベアリング内輪と砥石２０との発生波をＡＷセンサ１５で検出したときに、信号処理部３２が出力するＡＥ信号をマスタ信号として取得するマスタ信号取得／生成部３３と、マスタ信号取得／生成部３３により取得されたマスタ信号を記憶するメモリ３４を備える。マスタ信号の取得方法の例は後述する。

仕上げ状態判定装置１６は、実際の加工対象のベアリング内輪Ｗの加工の際に信号処理部３２が出力するＡＥ信号（以下「検査信号」と示す）の波形をメモリ３４に記憶されたマスタ信号の波形に位置合わせする位置合わせ処理部３５と、位置合わせされた検査信号の波形とマスタ信号の波形とを比較する比較する比較部３６と、比較部３６による比較結果に基づいて加工中のベアリング内輪Ｗの仕上げ状態の良否を判定する判定部３７と、を備える。
さらに仕上げ状態判定装置１６は、後述する指標値決定部３８と異常検出部３９とを備えている。

図５は、本方法の第１例を示すフローチャートである。ステップＳ１では、マスタ信号取得／生成部３３がマスタ信号を取得する。ここでマスタ信号として、ベアリング内輪Ｗのベアリング軌道５０が正常に超仕上げされている状態においてＡＥセンサ１５により検出されたＡＥ信号を、信号処理部３２で調整した信号を取得する。
例えばオペレータは、実際の超仕上げ加工作業を始まる前に、超仕上げ状態に加工されたベアリング内輪を加工装置１にセットして砥石２０による研磨作業を開始する。その後オペレータが、図示しない仕上げ状態判定装置１６の操作部を操作してマスタ信号の取得を指示し、マスタ信号取得／生成部３３が操作部から生じる指示信号に従って信号処理部３２から出力されるＡＥ信号をマスタ信号として取得する。

図６の（Ａ）はマスタ信号の波形を示す図である。上述の通り、超仕上げにおいてはワークであるベアリング内輪Ｗが回転するだけでなく、ベアリング内輪Ｗと砥石２０との間に相対往復運動が与えられる。このためＡＥセンサ１５が出力するＡＥ信号には、相対往復運動の周期Ｔに応じた周期性を有する信号レベルの変動が現れる。例えば、図６の（Ｂ）に示すようなベアリング内輪Ｗと砥石２０との間の相対往復運動の例では、モータ２１によって、偏芯した枢動軸Ｃを中心に砥石２０を矢印Ａ２に示す向きに回転往復運動させると、実線で示す２０ａの位置に砥石２０がある場合には接触面積が比較的大きくなり、ＡＥ信号の信号レベルが大きくなる。一方で点線で示す２０ｂの位置に砥石２０がある場合には砥石２０とベアリング軌道５０との接触面積が小さくなり、ＡＥ信号の信号レベルが小さくなる。このため図６の（Ａ）に示すＡＥ信号には、ベアリング内輪Ｗと砥石２０との間に相対往復運動の周期Ｔの半分の周期で強弱が周期的に現れる。

ステップＳ２では、マスタ信号取得／生成部３３が取得したマスタ信号１００が、メモリ３４に記憶する。そして続くループ処理Ｓ３〜Ｓ１２を処理すべきワーク（ベアリング内輪Ｗ）の数だけ繰り返す。
ステップＳ４では、実際の加工対象であるベアリング内輪Ｗを加工装置１にセットして砥石２０による研磨作業を開始し、そのときＡＥセンサ１５が出力するＡＥ信号を採取する。ステップＳ５では、ＡＥ信号に対して信号処理部３２によって背景雑音の除去処理などが行われ、信号処理部３２から検査信号が出力される。

ステップＳ６において、図４に示す異常検出部３９は、検査信号の信号レベルに基づいて、加工装置１による加工工程に異常があるか否かを検出する。図７の（Ａ）及び図７の（Ｂ）は、異常検出部３９による異常検出処理を説明する図である。
異常検出部３９は、例えば径が過大なベアリング内輪Ｗがセットされたり、又は砥石２０とベアリング内輪Ｗとが衝突するなどの原因により、ＡＥ信号の信号レベルが異常に大きく、所定の閾値Ｔ１よりも大きくなった場合には、加工装置１による加工工程に異常があると検出する。図７の（Ａ）は信号レベルが異常に大きいＡＥ信号の例を示しており、期間ｔ１〜ｔ７においてＡＥ信号の信号レベルが所定の閾値Ｔ１を上回っている。

また、異常検出部３９は、例えば砥石２０が欠損している等の原因によりＡＥ信号の信号レベルが異常に小さく、処置の閾値Ｔ２よりも小さくなった場合には、加工装置１による加工工程に異常があると検出する。図７の（Ｂ）は信号レベルが異常に小さいＡＥ信号の例を示しており、期間ｔ１０〜ｔ１１においてＡＥ信号の信号レベルが所定の閾値Ｔ２よりも小さくなっている。
ステップＳ６にて異常があると判定した場合には、ステップＳ１３にて異常検出部３９は、異常検出信号を出力する。異常検出信号はデータ出力装置１７を介してオペレータに提示される。また異常検出部３９を異常検出信号を加工機制御装置１４に出力して、自動的に加工を停止させてもよい。ステップＳ６にて異常がないと判定した場合には処理をステップＳ７に進める。

ステップＳ７では、位置合わせ処理部３５は、信号処理部３２から出力される検査信号の波形の位置を、メモリ３４に記憶されたマスタ信号の波形の位置に合わせる。例えば、位置合わせ処理部３５は、検査信号に周期的に現れるピークの位置を検出し、検出されたピーク位置とマスタ信号の波形に現れるピーク位置との差を検査信号とマスタ信号との間のシフト量として決定してよい。そして位置合わせ処理部３５は、比較部３６が検査信号とマスタ信号との間で位置合わせされた状態で対応する互いの信号レベル同士を比較できるように、このシフト量を比較部３６へ出力してよい。
または、位置合わせ処理部３５は、検査信号とマスタ信号とを相対シフトさせながら各時刻における検査信号とマスタ信号との信号レベルの差の合計を求め、この合計値が最も小さくなるシフト量を算出してもよい。

ステップＳ８では、比較部３６は、位置合わせ処理部３５により位置合わせされた検査信号の信号波形とマスタ信号の波形との信号波形を比較する。例えば、位置合わせ処理部３５において検査信号とマスタ信号との間のシフト量が検出される場合には、このシフト量だけ検査信号とマスタ信号とを相対シフトした時刻同士の信号レベル同士が比較される。比較部３６は、検査信号とマスタ信号との間の差の大きさの指標となる比較結果を算出する。比較結果は例えば、ある期間内における検査信号とマスタ信号との信号レベルの差分の積分値であってよい。または、検査信号とマスタ信号とのピーク値の差として算出してもよい。比較結果の算出方法は加工装置１やワークの種類に応じて様々なものを利用してよい。

ステップＳ９では、比較部３６により算出された比較結果に基づいて、判定部３７が、現在加工中のベアリング内輪Ｗに対する仕上げ状態の良否を判定する。図８の（Ａ）及び図８の（Ｂ）は、判定部による仕上げ状態の良否の判定処理を説明する図である。
判定部３７は、比較部３６により算出された比較結果が所定の閾値より小さく、すなわち検査信号２００とマスタ信号１００との間の差が所定の範囲内である場合には、ワークの表面の加工状態が良好であると判定する（図８の（Ａ））。
一方で、判定部３７は、比較部３６により算出された比較結果が所定の閾値より大きく、検査信号２００とマスタ信号１００との間の差が所定の範囲内にない場合にはワークの表面の加工状態が良好でないと判定する（図８の（Ｂ））。

検査信号２００とマスタ信号１００との間の差が所定の範囲内にない場合には、処理をステップＳ４へ戻し、所定の範囲内に入るまでステップＳ４〜Ｓ９を繰り返す。検査信号２００とマスタ信号１００との間の差が所定の範囲内に至った場合には、超仕上げ処理が完了したと判定して、超仕上げ加工が完了した旨を加工機制御装置１４に通知し、ワークの交換を促すとともに、処理をステップＳ１０に移す。

ステップＳ１０では、図４に示す指標値決定部３８は、個々のワーク、即ちベアリング内輪Ｗに対して行った超仕上げ加工における加工作業のそれぞれの状況を示す所定の指標値を算出する。
これらの指標値は、個々の加工作業に対する評価を与えるために生成されるものであってよく、例えば、超仕上げ加工の開始時からステップＳ９による加工完了時までの所要時間や、この間における検査信号とマスタ信号との間の差分の積分値、または超仕上げ加工の開始時における検査信号の信号レベル強度など、様々な指標値を設定可能である。例えば、加工開始時から完了時までの所要時間の長短や信号レベルの積分値は、砥石の摩耗状況などを知る手がかりを与える。

そして指標値決定部３８は、繰り返しループＳ３〜Ｓ１２を実行するたびに、ステップＳ１１において、当該ループで加工したベアリング内輪Ｗに対して行った超仕上げ加工に関する上記指標値を、順次、データ出力装置１７を介して出力する。これにより、複数回行われる超仕上げ加工に関する指標値が時系列順に出力されることになる。

図９の（Ａ）及び図９の（Ｂ）は指標値決定部が決定する各ワークに対する指標値を時系列順に並べたグラフの例を示す。図９の（Ａ）のグラフは、超仕上げ加工の開始時から加工完了時までにおける検査信号とマスタ信号との間の差分の積分値を指標値としてその時間的推移を示し、図９の（Ｂ）は超仕上げ加工の開始時から加工完了時までの所要時間を指標値としてその時間的推移を示している。ユーザはこのような指標値の推移を観察することにより、加工装置１側の状態変化をモニタすることができる。これにより次回のメンテナンス時期を予測することが可能となる。

図１０は、本方法の第２例を示すフローチャートである。図においてステップＳ１〜Ｓ１３に示した各ステップの処理内容は図５に示すフローチャートと同様である。本方法では、個々のワークＷに対する超仕上げ加工が終了したステップＳ９の後のステップＳ２０において、マスタ信号取得／生成部３３は、各ワークＷの超仕上げ加工が完了した時点において信号処理部３２から出力されるＡＥ信号をメモリ３４に記憶すると共に、過去の直近の所定回数（例えば直近１０回）のワークＷの超仕上げ加工の終了時に取得したＡＥ信号の平均波形をマスタ信号として生成し、次回の良否判定に使用するマスタ信号をこの生成した信号に更新する。

このようにマスタ信号を使用経過に応じて更新していくことにより、作業中の砥石の温度変化によるＡＥ信号の微妙な変動にも追従することができる。

本判定装置によれば、超仕上げ加工の際に発生するＡＥ信号を測定し、予め取得した正常な加工時のＡＥ信号であるマスタ信号と比較することで、現在の仕上げ状態をリアルタイムで確認することができる。なお判定は仕上げ加工中に行われ、仕上げ加工後に新たに良否判定の工程を行うものではないので、本判定のためにスループットが低下することがない。また、従来のようにみなし所要時間による研磨に比べて、最小限の時間で加工を行うことができるので、加工工程のスループットの向上が期待できる。
また、本判定装置では、各ワークに対する超仕上げ加工における加工作業の状況を示す所定の指標値を各々決定し、これら指標値を時系列順に並べて出力できるので、砥石２０の劣化等の加工装置１側の状態変化をモニタすることができる。これにより次回のメンテナンス時期を予測することが可能となる。

本発明は、細かい砥粒の砥石などをワーク表面に押し付けて表面の超仕上げを行う超仕上げ加工工程において、その仕上げ状態の良否を判定する判定装置及び判定方法に適用可能である。

（Ａ）及び（Ｂ）は、超仕上げによる加工方法の説明図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、本方法を概略的に説明する説明図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、本判定装置を設けた加工装置の全体構成の例を示す構成図である。 仕上げ状態判定装置の構成例を示すブロック図である。 本方法の第１例を示すフローチャートである。 （Ａ）はマスタ信号の波形を示す図であり、（Ｂ）はワークと砥石との間の往復運動の説明図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、異常検出部による異常検出処理を説明する図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、判定部による仕上げ状態の良否の判定処理を説明する図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は指標値決定部が決定する各ワークに対する指標値を時系列順に並べたグラフである。 本方法の第２例を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 加工装置
１１ ベース
１２ 回転台
１３ 砥石支持アーム
１５ ＡＥセンサ
２０ 砥石
２１ モータ
５０ ベアリング軌道
Ｗ ベアリング内輪

Claims (10)

1. ワークの表面に超仕上げ加工を施す間にその仕上げ状態を判定する超仕上げ加工工程における仕上げ状態の判定装置であって、
   ワークの表面に超仕上げ加工を施す加工装置に設けられるＡＥセンサと、
   対象となるワークの超仕上げ加工の前に行われる他のワークに対する超仕上げ加工の際に、前記ＡＥセンサから出力されるＡＥ信号をマスタ信号として記憶するマスタ信号記憶部と、
   前記対象となるワークの超仕上げ加工の際に前記ＡＥセンサから出力されるＡＥ信号である検査信号を前記マスタ信号記憶部に記憶されたマスタ信号と比較する信号比較部と、
   前記信号比較部による比較結果に基づき前記対象となるワークに対する仕上げ状態の良否を判定する判定部と、
   を備えることを特徴とする仕上げ状態の判定装置。
2. 前記検査信号の信号波形と前記マスタ信号の信号波形との位置合わせを行う位置合わせ処理部を、さらに備え、
   前記信号比較部は、互いに位置合わせがされた前記検査信号と前記マスタ信号とを比較することを特徴とする請求項１に記載の判定装置。
3. 前記対象となるワークの超仕上げ加工の前に行われる他のワークへの複数回の超仕上げ加工の際に前記ＡＥセンサから出力されるＡＥ信号の平均値を、前記マスタ信号として作成するマスタ信号作成部を備えることを特徴とする請求項１に記載の判定装置。
4. 前記検査信号の信号強度が所定の範囲内にないとき、加工作業の状況の異常を検出する異常検出部を備えることを特徴とする請求項１に記載の判定装置。
5. 複数のワークについて、各ワークに対する超仕上げ加工における加工作業の状況を示す所定の指標値を各々決定する指標値決定部と、
   前記複数のワークの各々について決定した前記指標値を時系列順に並べて出力する指標値出力部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の判定装置。
6. ワークの表面に超仕上げ加工を施す間にその仕上げ状態を判定する超仕上げ加工工程における仕上げ状態の判定方法であって、
   対象となるワークの超仕上げ加工の前に行われる他のワークに対する超仕上げ加工の際に、これらワークの表面に超仕上げ加工を施す加工装置に設けられたＡＥセンサから出力されるＡＥ信号をマスタ信号として記憶し、
   前記対象となるワークの超仕上げ加工の際に前記ＡＥセンサから出力されるＡＥ信号である検査信号と記憶された前記マスタ信号との比較結果に基づき前記対象となるワークに対する超仕上げ加工の良否を判定する、
   ことを特徴とする仕上げ状態の判定方法。
7. 前記検査信号と前記マスタ信号との比較の際に、前記検査信号の信号波形と前記マスタ信号の信号波形との間の位置合わせを行うことを特徴とする請求項６に記載の判定方法。
8. 前記対象となるワークの超仕上げ加工の前に行われる他のワークへの複数回の超仕上げ加工の際に前記ＡＥセンサから出力されるＡＥ信号の平均値を、前記マスタ信号として作成することを特徴とする請求項６に記載の判定方法。
9. 前記検査信号の信号強度が所定の範囲内にないとき、加工作業の状況に異常が生じたことを検出することを特徴とする請求項６に記載の判定方法。
10. 複数のワークについて、各ワークに対する超仕上げ加工における加工作業の状況を示す所定の指標値を各々決定し、
    前記複数のワークの各々について決定した前記指標値を時系列順に並べて出力することを特徴とする請求項６に記載の判定方法。

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