JP2019155516A - 加工装置及び加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】加工前のワークの振動を測定することで当該ワークの品質データを取得し、この品質データに基づいてワークの加工条件を変更することにより、加工品質を向上させることができる加工装置を提供する。【解決手段】ワークＷの加工を行う加工部と、加工前のワークの振動を測定する振動センサ２０と、この振動センサ２０により測定された前記ワークＷの振動を解析する解析部と、この解析部の解析により得られる前記ワークの品質データに基づいて、前記加工部による当該ワークＷの加工条件を変更する加工条件変更部と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は加工装置及び加工方法に関する。

軸受装置の外輪は環状の金属部材からなっており、その内周面には、通常、切削加工及び研削加工が施される。かかる外輪（以下、「ワーク」ともいう）の内周面の加工は、従来、切削加工を経て研削加工前のワークの真円度について抜き取り検査を行う。そして、この検査に合格したロットについてはワークの真円度が安定しているという前提条件において、研削装置の加工条件（ワークの回転数、砥石の送り速度等）を一定にして研削加工を行っている。そして、研削工程の後工程においてワークの真円度についての検査を行い、当該検査において異常が連続又は多発したときに研削加工の条件や、研削工程の前工程である切削加工の状態等の検討を行っている。

しかし、治具の摩耗等の経年変化や外部要因（環境温度の変化等）により、前工程である切削のための装置の加工状態又は条件が変化すると、これに伴い、抜き取り検査に合格したロットであっても当該ロット内に真円度にばらつきがあるワーク（規格外の真円度を有するワークを含む）が多く含まれる恐れがある。真円度にばらつきがあるワークが研削装置に入ってきた際、前記のように当該研削装置の加工条件が一定であると、ワークの真円度に異常が発生する恐れがある。真円度に異常があるワーク（不良品）が多発すると歩留まりが低下するだけでなく、研削装置、及び場合によっては切削装置を停止させて加工条件や加工状態等を検討する必要があり、生産効率が低下する。

環状のワークの研削加工において、その生産性を向上させるために、加工途中又は加工終了時にワークの真円度を求める技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１記載の研削装置では、研削途中又は研削終了後のワークの外径寸法について当該ワークを回転させながら測定した複数回数分のデータを周波数解析することで、当該ワークの真円度を算出している。そして、算出した真円度に基づいて、不良品の判定や補正データの作成を行っている。

特開２００５−２４６４９４号公報

しかし、特許文献１記載の技術は、研削加工の途中又は終了後におけるワークの真円度を求めるものであり、研削加工前のワークの真円度を求めるものではない。このため、補正データにより加工条件の変更等を事後的に行うとしても、研削加工前のワーク全数について個別に品質チェックするものではない。そのため、品質にばらつきのあるワークを研削加工する恐れがあることから、前述した歩留まりや生産効率の向上の点において更なる改良が望まれる。

本発明は、ワークの品質を向上させることができる加工装置及び加工方法を提供することを目的としている。

本発明の加工装置は、
（１）ワークの加工を行う加工部と、加工前のワークの振動を測定する振動センサと、この振動センサにより測定された前記ワークの振動を解析する解析部と、この解析部の解析により得られる前記ワークの品質データに基づいて、前記加工部による当該ワークの加工条件を変更する加工条件変更部と、を備える。

本発明の加工装置は、加工前のワークの振動を測定することで当該ワークの品質データを取得し、この品質データに基づいてワークの加工条件を変更している。これにより、加工前のワークの品質にばらつきがあった場合でも、個々に取得可能なワークの品質データに基づいて加工条件を変更することで、加工後のワークの品質を向上させることができる。その結果、加工後のワークの歩留まりを向上させることができる。また、規格外の品質を有する不良品が発生することを抑制することができるので、加工装置の稼働を停止して加工条件等を検討することを減らすことができ、生産効率を向上させることができる。なお、本明細書において、「品質データ」とは、ワークに要求される寸法、形状、特性等の品質に関するデータのことをいい、例えば軸受装置の外輪の場合、当該外輪の内周面の真円度を例示することができる。また、「加工条件」とは、ワークに所定の加工を行う際の加工部における条件のことである。例えば、ワークを回転させて当該ワークに砥石をあてて研削加工を行う場合、ワークの回転速度、砥石の回転速度、砥石の送り速度等を加工条件としてあげることができる。

（２）上記（１）の加工装置において、前記ワークは円板状又は環状の部材であり、前記品質データは、加工前のワークを回転させた状態における当該ワークの振動加速度を周波数解析して得られる周波数成分データとすることができる。この場合、回転する加工前のワークの振動加速度を周波数解析して得られる周波数成分データから、当該ワークの真円度の状態を推定することができ、この真円度の状態に基づいて加工条件を変更することで、加工後のワークの真円度を向上させることができる。変更する加工条件としては、円板状又は環状のワークに研削加工を施す場合、ワークの回転数や砥石の回転数をあげることができる。

（３）上記（１）又は（２）の加工装置において、前記加工部は前記ワークに接触して当該ワークを支持するワーク受け治具を備えており、
前記振動センサが前記ワーク受け治具に取り付けられていることが望ましい。ワークに研削加工を施す場合、加工装置としての研削装置は、通常、研削加工時に当該ワークを支持するためのワーク受け治具を備えているので、現状の設備を利用して本発明の加工装置を構成する振動センサを搭載することができる。換言すれば、現状の設備を利用して簡単に本発明の加工方法を実施することができる。

（４）上記（３）の加工装置において、前記ワークは軸受装置の外輪であり、前記加工部は、前記外輪の内周面を研削加工する研削装置であり、前記外輪の外周面と接触するワーク受け治具に前記振動センサが取り付けられるものとすることができる。この場合、軸受装置の外輪の内周面を研削加工するに際し当該内周面の真円度を向上させることができる。

（５）本発明の加工方法は、ワークの加工を行う加工方法であって、
加工前のワークの振動を測定する測定工程と、
測定された振動を解析する解析工程と、
解析により得られる前記ワークの品質データに基づいて、当該ワークを加工する際におけるワークの加工条件を変更する加工条件変更工程と
を含む。

本発明の加工方法では、加工前のワークの振動を測定することで当該ワークの品質データを取得し、この品質データに基づいてワークの加工条件を変更している。これにより、加工前のワークの品質にばらつきがあった場合でも、個々に取得可能なワークの品質のデータに基づいて加工条件を変更することで、加工後のワークの品質を向上させることができる。その結果、加工後のワークの歩留まりを向上させることができる。また、規格外の品質を有する不良品が発生することを抑制することができるので、加工装置の稼働を停止して加工条件等を検討するのを減らすことができ、生産効率を向上させることができる。

本発明によれば、ワークの品質を向上させることができる加工装置及び加工方法を提供することができる。

本発明の加工装置の一実施形態を含む加工システムの説明図である。 図１に示される研削装置の構成を示す説明図である。 研削装置に搭載された環状のワーク周辺を軸方向からみた説明図である。 判定ユニットの構成の一例を示す概略図である。 図２に示される研削装置でワークを加工中の当該ワーク周辺の説明図である。 ワークの振動加速度の周波数解析の一例を示す図である。 本発明の加工方法の一実施形態のフローチャートである。

以下、添付図面を参照しつつ、本発明の加工装置及び加工方法の実施形態を詳細に説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

〔加工装置〕
図１は、本発明の一実施形態に係る加工装置である研削装置１を含む加工システムの説明図であり、図２は、図１に示される研削装置１の構成を示す説明図である。
研削装置１は、ワークである外輪Ｗを研削する装置である。より詳細には、研削装置１は、環状の部材である外輪Ｗの内周面に対し研削加工を施す装置である。研削装置１は、加工部１０と、振動センサ２０と、判定ユニット３０とを備えている。研削装置１の前段には切削装置２が設けられており、切削装置２及び研削装置１は、同一の製造ライン上に配置される。

外輪Ｗは、図１に示される矢印Ｆ方向に、切削装置２及び研削装置１の順に搬送される。従って、切削装置２が製造ラインの上流側に配置され、研削装置１が当該製造ラインの下流側に配置されている。換言すれば、切削装置２による切削加工が、研削装置１による研削加工の前工程であり、当該研削加工は、前記切削加工の後工程である。なお、研削装置１の下流側には、図示しない検査装置が設けられており、研削装置１で研削加工された外輪Ｗの真円度、円筒度等の検査が行われる。

加工部１０は、図２に示されるように、外輪Ｗを保持して回転させる切込台１１と、先端に研削砥石１２が装着された回転する砥石軸１３を有するホイルヘッド１４と、ホイルヘッド１４の砥石軸１３をベルト１５を介して回転させるホイルヘッド駆動用モータ１６と、切込台１１をホイルヘッド１４に対して相対移動させて研削砥石１２に外輪Ｗに対する切込み動作（研削加工）を行わせる切込みモータ１７とを備えている。加工部１０は、さらに、外輪Ｗの内周の加工寸法を規定するための定寸装置であるインプロセスゲージ１８を備えている。

本実施形態の加工部１０は、図３に示されるように、研削加工時に外輪Ｗの外周面と接触して当該外輪Ｗを支持する一対のワーク受け治具１９ａ，１９ｂを備えている。一方のワーク受け治具１９ａは外輪Ｗの下部と接触し、他方のワーク受け治具１９ｂは、ワーク受け治具１９ａから周方向に９０°離れた外輪Ｗの側部と接触している。外輪Ｗの側部と接触する受け部１９ｂの後端面（外輪Ｗと接触する側の端面と反対側の端面）に振動センサ２０が取り付けられている。また、加工部１０は、当該加工部１０を制御する加工部制御ユニット１００を備えている（図４参照）。

判定ユニット３０はコンピュータからなっており、図４に示されるように、演算処理の中枢として機能する判定部３１と、判定部３１で実行するプログラムが格納されたＲＯＭ及び判定部３１が制御動作を行う際にデータ等が一時的に書き込まれたり、その書き込まれたデータが読みだされたりするＲＡＭを含む記憶部３２と、振動センサ２０からデータを受信する受信部３３と、加工部１０の加工部制御ユニット１００に、後述する変更された加工条件のデータ等を送信する送信部３４とを備えている。判定部３１は、振動センサ２０からのデータを解析する解析部３５と、この解析部３５の解析により得られる外輪Ｗの品質データに基づいて当該外輪Ｗの加工条件、例えば外輪Ｗの回転速度、研削砥石１２の回転速度、研削砥石１２の送り速度等を変更する加工条件変更部３６とを含んでいる。

ホイルヘッド１４及びホイルヘッド駆動用モータ１６は、図示しないベース上に設けられている。研削加工に際しては、まず、待機位置にあるベースが、研削砥石１２が外輪Ｗの中に入り込むまで当該外輪Ｗの軸方向に沿って外輪Ｗに向かって所定距離だけ移動する。ついで、切込台１１が、外輪Ｗの内周面に研削砥石１２が接触する位置まで前記軸方向と直交する方向に移動する。外輪Ｗの内周面に接触した研削砥石１２が砥石軸１３の回転に従って回転することによって、外輪Ｗの内周面が研削砥石１２によって研削加工される。研削完了後、切込台１１は、前述した移動方向と逆方向に移動して研削砥石１２を外輪Ｗの内周面から離間させ、ついで、前記ベースが外輪Ｗの軸方向に沿って当該外輪Ｗから離れる方向に所定距離だけ移動して待機位置に戻る。

図５は、加工中の外輪Ｗ周辺の説明図である。インプロセスゲージ１８は研削砥石１２の近傍に設けられる。インプロセスゲージ１８のゲージ部１８ａは、研削加工中に外輪Ｗの内周面と接触して当該外輪Ｗの内径を測定する。インプロセスゲージ１８は判定ユニット３０に通信可能に接続されており、当該インプロセスゲージ１８の出力信号は判定ユニット３０の受信部３３に送信される。

〔加工方法〕
前述した研削装置１を用いて、本発明の加工方法の一実施形態である研削加工が行われる。研削加工は、通常、割出工程、準急工程、黒皮工程、粗工程、仕上工程及びスパークアウト（ＳＯ）工程を含んでおり、これらの工程がこの順で行われる。割出工程では、研削砥石１２は外輪Ｗと非接触の状態にある。続く準急工程において、研削砥石１２は外輪Ｗの軌道の肩に接触する。かかる準急工程では、研削砥石１２は外輪Ｗの内周面全体に接触するまでには至らず、黒皮工程の途中において、全面接触となる。続く粗工程では研削砥石１２は所定研削量だけ外輪Ｗの内周面を研削し、次の仕上工程で、表面粗さが所定精度となるように研削が行われる。そして、切込みを与えずに研削砥石１２を回転させるスパークアウト（ＳＯ）工程が最後に行われる。

本実施形態に係る研削加工では、割出工程が行われる前の段階、すなわち研削加工が施される前（加工前）の外輪Ｗの振動加速度が測定される（測定工程）。この測定工程に際し、外輪Ｗは、ワーク受け治具１９ａ、１９ｂにより支持され、且つ、回転可能な状態にされている。測定工程では、図示しない主軸により外輪Ｗだけが回転され、研削砥石１２は回転されない。外輪Ｗは、振動センサ２０が取り付けられたワーク受け治具１９ｂと接触しており、当該振動センサ２０は回転する外輪Ｗからの振動加速度を収集する。得られた振動加速度のデータは、判定ユニット３０の受信部３３に送られ、当該判定ユニット３０の解析部３５において周波数解析（ＦＦＴ解析）される。

図６は、かかる周波数解析の一例を示す図であり、横軸は回転する外輪Ｗからの振動加速度の周波数（Ｈｚ）を示しており、縦軸は当該振動加速度の強度（ｍ／Ｓ^２）を示している。図６において、太い実線は規格内の正常な真円度を有する外輪Ｗを示しており、細い実線は、前工程である切削工程において所定の切削工程が行われておらず、規格外の異常な真円度を有する外輪Ｗを示している。規格外の異常な真円度として、例えば外輪Ｗの周面において径方向のひずみが２山又は３山存在する場合を例示することができる。図６の細い実線は、３つのひずみの山が存在する外輪Ｗの振動加速度の周波数解析の結果を示しており、ｆ_１（Ｈｚ）近傍、ｆ_２（Ｈｚ）近傍、及びｆ_４〜ｆ_５（Ｈｚ）近傍の３か所に振動強度のピークが表れており、特にｆ_１（Ｈｚ）近傍に大きなピークが表れている。なお、円環状の外輪Ｗにおいて、振動センサ２０が取り付けられたワーク受け治具１９ｂの先端が接触する外周面にひずみが存在する場合、当該ひずみの径方向内側に位置する外輪Ｗの内周面にも、外周面のひずみに対応するひずみが存在する。すなわち、例えば外周面に、真円を基準として径方向外側に向かって凸となるひずみが存在する場合、内周面には、真円を基準として径方向外側に向かって凹となるひずみが存在する。したがって、外輪Ｗの外周面のひずみに起因すると考えられる、振動センサ２０により得られる前記振動強度のピークの状態から、当該外輪Ｗの内周面の真円度の状態を推定することが可能である。

規格内の正常な真円度を有する外輪Ｗでは、太い実線で示されるように、外輪Ｗの回転速度がｆ_２の定数倍の場合、振動強度はｆ_２（Ｈｚ）近傍に１か所のピークを有するだけである。従って、正常な真円度を有する外輪Ｗについて予め求めておいたピーク周波数（振動強度のピークが表れる周波数）と、測定対象の外輪Ｗのピーク周波数とを比較し、後者のピーク周波数が前者の正常な真円度を有する外輪Ｗのピーク周波数と一致しない場合、より詳細には、両ピーク周波数の差が所定の閾値（例えば、１０Ｈｚ）を超える場合に、加工前の外輪Ｗの真円度が規格外であると判断して、加工条件変更部３６によって、前述した外輪Ｗの加工条件を変更する。そして、加工条件変更部３６により変更された加工条件が送信部３４から加工部１０の加工部制御ユニット１００に送信され、変更された加工条件に基づいて加工部１０の主軸の回転数や研削砥石１２の送り速度等が制御される。

図７は、本実施形態に係る研削方法のフローチャートを示す。
まず、ステップＳ１において、判定ユニット３０の判定部３１は、前工程である切削工程を経た外輪Ｗが、切込台１１の所定位置に送られたか否かを判断する。すなわち、外輪Ｗの外周面にワーク受け治具１９ａ，１９ｂが接触し当該外輪Ｗがワーク受け治具１９ａ，１９ｂにより支持された状態（ローディング完了）であるか否かが判断される。外輪Ｗのローディングが完了していると判断されると、判定部３１は、ステップＳ２に処理を進め、当該ステップＳ２において、外輪Ｗを回転させる主軸（図示せず）の回転を開始させる。

ついで、ステップＳ３において、判定部３１は、主軸の回転数、すなわち外輪Ｗの回転数が設定回転数に到達したか否かを判断する。設定回転数としては、例えばｆ_２×６０ｒｐｍとすることができる。外輪Ｗの回転数が設定回転数に到達していると判断されると、判定部３１は、ステップＳ４に処理を進める。

ステップＳ４では、振動センサ２０からの振動加速度のデータが所定数だけ取集される。振動加速度のデータは、例えば５ＫＨｚのデータ周期でサンプリングすることができる。この場合、データは０．０００２秒（１秒／５０００）毎に取集される。後述するステップＳ５におけるＦＦＴ解析における周波数分解能を１Ｈｚ以下にするために、本実施形態では、８１９２（２の１３乗）点のデータを取集している。この場合、分解能は、以下に示すように、０．６Ｈｚとなる。 なお、解析上限及びライン数の算出に際し用いた「２．５６」は、周波数レンジを１０進数表記とするための定数である。
解析上限：５０００Ｈｚ／２．５６＝１９５３Ｈｚ
ライン数：８１９２点／２．５６＝３２００ライン
分解能：１９５３Ｈｚ／３２００ライン＝０．６Ｈｚ
０．０００２秒毎に合計８１９２点のデータを取集していることから、データの取集開始から終了までに、０．０００２秒×８１９２≒１．６秒の時間を要する。

ステップＳ４において収集された振動加速度のデータは、続くステップＳ５において、判定部３１の解析部３５により周波数解析（ＦＦＴ解析）される。
ついで、ステップＳ６において、判定部３１は、ステップＳ５における周波数解析により得られる振動強度がピークとなる周波数が、予め求めておいた規格内の真円度を有する外輪Ｗから得られる周波数と一致するか否かを判断する。具体的に、判定部３１は、ステップＳ５で得られた周波数と、規格内の真円度を有する外輪Ｗから得られる周波数との差が、例えば±５Ｈｚ以内であるときに、両周波数は一致するとして、ステップＳ７に処理を進める。そして、前述した割出工程からスパークアウト工程までの研削工程を行い、スパークアウト工程が終了すると研削加工が完了する（ステップＳ１６）。一方、判定部３１は、両周波数が一致しないと判断すると、ステップＳ８に処理を進める。

ステップＳ８において、判定部３１の加工条件変更部３６は、例えば外輪Ｗを回転させる主軸の回転数を設定回転数の９５％の回転数に変更させる。回転数として、研削砥石１２の回転数を変更することも可能であるが、研削加工における外輪Ｗの一般的な回転数（Ｆ_Ｗｒｐｍ程度）に対して当該研削砥石１２の回転数は一般的にＦ_Ｇ（Ｆ_Ｇ＞＞Ｆ_Ｗ）ｒｐｍ程度である。このため、外輪Ｗの回転数に比べてかなり大きいことから、短時間で変更が可能であるという点より、外輪Ｗの主軸の回転数を変更する方が好ましい。主軸の回転数を変更するに際しては、研削砥石１２の回転数が当該主軸の回転数の整数倍にならないようにすることが望ましい。研削砥石１２の回転数が主軸の回転数の整数倍又はその近傍になっていると、研削砥石１２と外輪Ｗが周方向においてほぼ同じ箇所同士が当たることになるので、外輪Ｗの内周面のひずみを効率よく解消するという点からは、整数倍にならないように設定することが望ましい。

ついで、ステップＳ９において、判定部３１は、研削加工を開始させて前述した割出工程から黒皮工程までの各工程を行う。

ついで、ステップＳ１０において、判定部３１は、研削加工のために予め設定されている工程信号に基づいて前記黒皮工程に続く粗工程に移るか否かの判断を行う。ステップＳ１０において、判定部３１は、粗工程開始の工程信号を受信していると判断すると、ステップＳ１１に処理を進める。ステップＳ１１において、判定部３１の加工条件変更部３６は、加工速度（研削砥石１２の送り速度）を低速化して粗工程を行う。具体的に、粗工程における加工速度Ｖａを設定された速度の９０％の速度に低速化させた状態で粗工程を行う。真円でない外輪Ｗの内周面を研削砥石１２で研磨して、当該内周面のひずみを修正するに際し、研削砥石１２の送り速度を設定値よりも小さくすると当該研削砥石１２のダメージを小さくすることができる。このことは、後述するステップＳ１３における仕上工程においても同様である。

ついで、ステップＳ１２において、判定部３１は、研削加工のために予め設定されている工程信号に基づいて前記粗工程に続く仕上工程に移るか否かの判断を行う。ステップＳ１２において、判定部３１は、仕上工程開始の工程信号を受信していると判断すると、ステップＳ１３に処理を進める。ステップＳ１３において、判定部３１の加工条件変更部３６は、加工速度（研削砥石１２の送り速度）を低速化して仕上工程を行う。具体的に、仕上工程における加工速度Ｖｓを設定された速度の９０％の速度に低速化させた状態で仕上工程を行う。

ついで、ステップＳ１４において、判定部３１は、研削加工のために予め設定されている工程信号に基づいてスパークアウト工程までの所定の研削工程が完了したか否かの判断を行う。判定部３１は、ステップＳ１４において所定の研削工程が完了していると判断すると、ステップＳ１５に処理を進め、当該ステップＳ１５において、ステップＳ８、ステップＳ１１及びステップＳ１３において変更した加工条件を元の設定された条件に戻し、ついで、研削工程が完了する（ステップＳ１６）。

〔その他の変形例〕
本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内において種々の変更が可能である。
例えば、前述した実施形態では、加工装置として研削装置を実施形態とし、「加工前のワーク」として、研削装置の前段に設けられた切削装置で切削加工が施された外輪としているが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、切削加工として、２段階の切削加工を施す場合、後段の仕上げ用の切削装置を本発明の加工装置の実施形態とし、この仕上げ用の切削装置の前段に設けられた粗削り用の切削装置で切削加工されたワークを「加工前のワーク」とすることもできる。

また、前述した実施形態では、加工条件の変更例として、外輪Ｗを回転させる主軸の回転数を設定回転数の９５％の回転数にしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、加工前の外輪Ｗの内周面の真円度の状態に応じて、例えば設定回転数の９０％、８５％、８０％等に変更することもできる。同様に、研削砥石１２の送り速度についても、設定された速度の９０％に変更する場合に限定されるものではなく、例えば設定された速度の８０％、７０％等に変更することもできる。

また、前述した実施形態では、外輪Ｗを回転させる主軸の回転数を変更しているが、前述したように、研削砥石の回転数を変更することも可能である。さらに、外輪Ｗを回転させる主軸及び研削砥石の両回転数を変更することも可能である。

また、前述した実施形態では、外輪Ｗの振動加速度を周波数解析して得られる周波数成分データに基づいて、研削加工時の加工条件を変更しているが、振動センサにより取得可能な他の情報、例えば振動加速度の大きさ（振幅）に基づいて、研削加工時に加工条件を変更することもできる。
また、前述した実施形態では、ワークとして環状の部材である外輪を研削する装置を例示しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば芯押し台を有する装置及び方法に対して、本発明を適用することができる。
また、前述した実施形態では、ワークとして外輪を例示しているが、本発明におけるワークは環状（円筒状）の部材であれば何でもよい。

１：研削装置 １０：加工部 １１：切込台
１２：研削砥石 １３：砥石軸 １４：ホイルヘッド
１５：ベルト １６：ホイルヘッド駆動モータ
１７：切込みモータ １８：インプロセスゲージ
１９ａ，１９ｂ：ワーク受け治具 ２０：振動センサ ３０：判定ユニット
３１：判定部 ３２：記憶部 ３３：受信部
３４：送信部 ３５：解析部 ３６：加工条件変更部
１００：加工部制御ユニット

Claims (5)

1. ワークの加工を行う加工部と、加工前のワークの振動を測定する振動センサと、この振動センサにより測定された前記ワークの振動を解析する解析部と、この解析部の解析により得られる前記ワークの品質データに基づいて、前記加工部による当該ワークの加工条件を変更する加工条件変更部と、を備える加工装置。
2. 前記ワークは円板状又は環状の部材であり、
   前記品質データは、加工前のワークを回転させた状態における当該ワークの振動加速度を周波数解析して得られる周波数成分データである、請求項１に記載の加工装置。
3. 前記加工部は前記ワークに接触して当該ワークを支持するワーク受け治具を備えており、
   前記振動センサが前記ワーク受け治具に取り付けられている、請求項１又は請求項２に記載の加工装置。
4. 前記ワークは軸受装置の外輪であり、前記加工部は、前記外輪の内周面を研削加工する研削装置であり、前記外輪の外周面と接触するワーク受け治具に前記振動センサが取り付けられる、請求項３に記載の加工装置。
5. ワークの加工を行う加工方法であって、
   加工前のワークの振動を測定する測定工程と、
   測定された振動を解析する解析工程と、
   解析により得られる前記ワークの品質データに基づいて、当該ワークを加工する際におけるワークの加工条件を変更する加工条件変更工程と
   を含む、加工方法。
   
   
   
   

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