CN112809462B - 颤振评价系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供颤振评价系统，在磨削加工的工序内，精度良好地评价工件的表面的颤振量，颤振评价系统(1)具备：尺寸测定装置(14)，在磨削装置(100)中测定工件W的外径；加速度传感器(15)，设置于尺寸测定装置；以及颤振量评价运算装置(200)，基于加速度数据评价颤振量，颤振量评价运算装置具备：基础数据获取部，获取基础数据；FFT解析部，基于基础数据进行FFT解析；第一提取部，提取第一特定频率成分；第一逆FFT解析部，基于第一提取FFT数据进行逆FFT解析；第一位移转换部，将与加速度相关的数据转换为与位移相关的对应的数据；以及颤振量评价部，基于与位移相关的第一逆FFT数据评价第一颤振量。

Description

颤振评价系统
技术领域
本发明涉及颤振评价系统。
背景技术
例如使旋转的工件与高速地旋转的工具接触来进行磨削加工。在使工具旋转来对工件进行加工的情况下，若产生颤振振动，则有加工面精度降低，或者对工具作用过大的负荷的情况。以往，使用了通过确认磨削加工后的工件的表面状态，检测加工时的颤振振动的产生的方法。在磨削加工结束后，通过圆度测定器测定工件的表面状态。由于磨削装置和表面状态测定器分离，所以有即使在工件的表面确认到颤振振动的产生的情况下，将其反馈到加工条件等产生时间差的问题。
与此相对，如日本特开2000－233368号公报所记载的那样，也提出了在工序内进行颤振振动产生的检测的方法。颤振振动检测器例如测定磨削装置或者被加工物的振动加速度、振动位移等，并在检测到超过规定的阈值的振动时判定为产生了颤振振动。通过在磨削装置上进行颤振振动的产生的检测，在检测到颤振振动的情况下，能够变更加工条件来抑制颤振振动。
然而，在日本特开2000－233368号公报所记载的方法中，有由于外部因素所引起的振动等而尽管未产生颤振振动但判定为颤振振动的情况、遗漏微小的颤振振动的情况。
发明内容
本发明的课题在于提供在磨削加工的工序内，精度良好地评价工件的表面的颤振量的颤振评价系统。
(1.第一颤振评价系统)
本发明的颤振评价系统具备：尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；传感器，设置于上述尺寸测定装置，检测在使上述尺寸测定装置与旋转中的上述工件接触的状态下在上述尺寸测定装置产生的振动的加速度数据；以及颤振量评价运算装置，基于通过上述传感器检测出的加速度数据评价颤振量。
上述颤振量评价运算装置具备：基础数据获取部，获取与通过上述传感器检测出的加速度相关的时间序列数据亦即基础数据；FFT解析部，基于上述基础数据进行FFT解析，生成FFT数据；第一提取部，基于上述FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即第一特定频率成分，生成第一提取FFT数据；第一逆FFT解析部，基于上述第一提取FFT数据进行逆FFT解析，生成第一逆FFT数据；第一位移转换部，将与加速度相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述第一提取FFT数据、上述第一逆FFT数据中的任意数据转换为与位移相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述第一提取FFT数据、上述第一逆FFT数据中的任意数据对应的数据；以及颤振量评价部，基于与位移相关的上述第一逆FFT数据评价第一颤振量。
(2.第二颤振评价系统)
本发明的颤振评价系统具备：尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；传感器，在与旋转中的上述工件接触的状态下检测上述工件的表面的位移数据；以及颤振量评价运算装置，基于通过上述传感器检测出的位移数据评价颤振量。
上述颤振量评价运算装置具备：基础数据获取部，获取与通过上述传感器检测出的位移相关的时间序列数据亦即基础数据；FFT解析部，基于上述基础数据进行FFT解析，生成FFT数据；第一提取部，基于上述FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即第一特定频率成分，生成第一提取FFT数据；第一逆FFT解析部，基于上述第一提取FFT数据进行逆FFT解析，生成第一逆FFT数据；增益补偿部，按照频率对上述第一提取部所使用的上述FFT数据或者上述第一逆FFT解析部所使用的上述第一提取FFT数据进行信号强度的补偿；以及颤振量评价部，基于与位移相关的上述第一逆FFT数据评价第一颤振量。
(3.第三颤振评价系统)
本发明的颤振评价系统具备：尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；传感器，设置于上述尺寸测定装置，并检测在使上述尺寸测定装置与旋转中的上述工件接触的状态下在上述尺寸测定装置产生的振动的加速度数据；轴向移动装置，使上述传感器与上述工件的相对位置向上述工件的轴向移动；以及颤振量评价运算装置，基于在上述工件的多个轴向位置通过上述传感器检测出的加速度数据，对上述工件的多个轴向位置上的圆周方向颤振量进行评价。
上述颤振量评价运算装置具备：基础数据获取部，获取与在上述工件的各个轴向位置通过上述传感器检测出的加速度相关的时间序列数据亦即多个基础数据；FFT解析部，基于多个上述基础数据的各个进行FFT解析，生成多个FFT数据；提取部，基于多个上述FFT数据的各个，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即特定频率成分，生成多个提取FFT数据；逆FFT解析部，基于多个上述提取FFT数据的各个进行逆FFT解析，生成多个逆FFT数据；位移转换部，将与加速度相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述提取FFT数据、上述逆FFT数据中的任意数据转换为与位移相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述提取FFT数据、上述逆FFT数据中的任意数据对应的数据；以及颤振量评价部，基于上述工件的各个轴向位置上的与位移相关的多个上述逆FFT数据，评价对于上述工件的轴向位置的圆周方向颤振量。
(4.第四颤振评价系统)
本发明的颤振评价系统具备：尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；传感器，在与旋转中的上述工件接触的状态下，检测上述工件的表面的位移数据；轴向移动装置，使上述传感器与上述工件的相对位置向上述工件的轴向移动；以及颤振量评价运算装置，基于在上述工件的多个轴向位置通过上述传感器检测到的位移数据，对上述工件的多个轴向位置上的圆周方向颤振量进行评价。
上述颤振量评价运算装置具备：基础数据获取部，获取在上述工件的各个轴向位置通过上述传感器检测出的位移相关的时间序列数据亦即多个基础数据；FFT解析部，基于多个上述基础数据的各个进行FFT解析，生成多个FFT数据；提取部，基于多个上述FFT数据的各个，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即特定频率成分，生成多个提取FFT数据；逆FFT解析部，基于多个上述提取FFT数据的各个进行逆FFT解析，生成多个逆FFT数据；颤振量评价部，基于上述工件的各个轴向位置上的位移相关的多个上述逆FFT数据，评价对于上述工件的轴向位置的圆周方向颤振量；以及增益补偿部，按照频率对上述提取部所使用的上述FFT数据或者上述逆FFT解析部所使用的上述提取FFT数据进行信号强度的补偿。
本发明的颤振评价系统能够在磨削加工的工序内，精度良好地评价工件的表面的颤振量。
附图说明
图1是表示磨削装置100的构成的俯视图。
图2是表示磨削装置100的尺寸测定装置14附近的剖视图。
图3是表示磨削装置100的磨削工序的流程图图。
图4是表示第一例的颤振评价系统1的构成的框图。
图5是表示加速度基础数据D11的一个例子的图表。
图6是表示加速度FFT数据D21的一个例子的图表。
图7是表示工件W表面的凹凸形状的形成过程的示意图。
图8是表示加速度逆FFT数据D41的一个例子的图表。
图9是表示位移逆FFT数据D42的一个例子的图表。
图10是表示评价例的位移逆FFT数据D42的图表。
图11是表示参考例的位移逆FFT数据D42的图表。
图12是对参考例与评价例进行比较的图表。
图13是表示第二例的颤振评价系统2的构成的框图。
图14是表示磨削装置101的尺寸测定装置14附近的剖视图。
图15A是表示第三例的颤振评价系统3的构成的框图。
图15B是表示第一增益补偿部的构成的框图。
图16是表示第四例的颤振评价系统4的构成的框图。
图17是表示砂轮不平衡评价运算装置40的评价例的图表。
图18是表示第五例的颤振评价系统5的构成的框图。
图19是表示工件W表面的凹凸形状的形成过程的示意图。
图20是表示工件W表面的凹凸形状的形成过程的示意图。
图21是表示颤振原因评价运算装置50的评价例的图表。
图22是表示磨削装置101的构成的俯视图。
图23是表示第六例的颤振评价系统6的构成的框图。
图24是表示工件W上的尺寸测定装置14的接触位置的示意图。
图25是表示第七例的颤振评价系统7的构成的框图。
图26是表示工件W上的第八例的尺寸测定装置14的接触位置的示意图。
图27是表示第八例的磨削初期的评价结果的图表。
图28是表示第八例的磨削后期的评价结果的图表。
图29是表示磨削装置101的尺寸测定装置14附近的剖视图。
图30是表示第九例的颤振评价系统8的构成的框图。
图31是表示增益补偿部的构成的框图。
附图标记说明
1、2、3、4、5、6、7、8：颤振评价系统，100、101：磨削装置，11：车床，12：砂轮，14：尺寸测定装置，15：加速度传感器，16：线性计量器，17：控制部，21：基础数据获取部，22：FFT解析部，23：提取部，24：逆FFT解析部，25：位移转换部，26：颤振量评价部，27：增益补偿部，27a：增益存储部，27b：调整部，30：显示装置，40：砂轮不平衡评价运算装置，41：获取部，42：第三FFT解析部，43：第三提取部，44：计算部，45：存储部，46：不平衡评价部，50：颤振原因评价运算装置，51：原因基础数据获取部，52：FFT解析部，53：提取部，54：转速评价部，55：转速调节部，56：修整执行部，141：测定件，142：臂，143：轴向移动装置，144：轴向移动控制部，161：测定件，162：臂，163：轴向移动装置，200、201、202、203：颤振量评价运算装置，231：第一提取部，232：第二提取部，241：第一逆FFT解析部，242：第二逆FFT解析部，251：第一位移转换部，252：第二位移转换部，271：第一增益补偿部，272：第二增益补偿部，273：增益存储部，274：调整部，410：基准获取部，420：基准第三FFT解析部，430：基准第三提取部，440：基准计算部，521：第一期间FFT解析部，522：第二期间FFT解析部，531：第一期间提取部，532：第二期间提取部，W：工件，a：磨粒。
具体实施方式
(1.第一个例子)
参照图1～图12对第一例的颤振评价系统1进行说明。第一例的颤振评价系统1在使工件W以及砂轮12旋转的同时对工件W进行磨削的磨削装置100中，评价工件W的表面的颤振量。颤振评价系统1包含设置于磨削装置100的尺寸测定装置14以及加速度传感器15、和颤振量评价运算装置200。
(1－1.磨削装置100的构成)
参照图1以及图2对构成颤振评价系统1的磨削装置100的构成进行说明。如图1所示，磨削装置100具备车床11、砂轮12、砂轮座121、主轴座131、尾座132、主轴台133、以及尺寸测定装置14。工件W由主轴座131以及尾座132支承旋转轴方向的两端并进行旋转。磨削装置100通过使砂轮12与旋转的工件W的外周抵接并进行磨削来形成工件W的形状。
砂轮12以能够绕与Z轴平行的轴线旋转的方式支承于砂轮座121。在车床11上固定有砂轮座引导部122，砂轮座121以能够向X轴方向移动的方式支承于砂轮座引导部122。在砂轮座引导部122设置有使砂轮座121向X轴方向移动的驱动轴123以及驱动驱动轴123的驱动马达124。从砂轮旋转马达125对砂轮12赋予旋转驱动力，使砂轮12绕旋转轴旋转。通过使砂轮座121向X轴方向移动，砂轮12接近在X轴方向分离地设置的工件W，并对工件W进行磨削。
在车床11上，在从砂轮座引导部122向X轴方向分离的位置固定有主轴台引导部134。主轴台引导部134以能够向Z轴方向移动的方式支承主轴台133。在主轴台133之上对置地配置有主轴座131以及尾座132。工件W的两端以能够旋转的方式支承于主轴座131以及尾座132，并被主轴旋转马达135赋予旋转驱动力进行旋转。
如图2所示，尺寸测定装置14具备与工件W表面接触的一对测定件141、和支承测定件141的一对臂142。测定件141设置为在夹着工件W的旋转中心的两点与工件W表面抵接。尺寸测定装置14通过将测定件141的机械位移转换为电信号来检测工件W的外径。
如图2所示，加速度传感器15安装于一对尺寸测定装置14的至少一方，获取在使尺寸测定装置14与旋转中的工件W接触的状态下，在尺寸测定装置14产生的振动的加速度数据。特别是，加速度传感器15在臂142，设置为靠近前端侧的测定件141。因此，加速度传感器15在由于工件W的表面的凹凸而测定件141振动的情况下，能够经由臂142检测测定件141的振动加速度。
(1－2.磨削工序)
磨削装置100通过图3所示的磨削工序对工件W进行磨削。磨削工序根据砂轮进给速度的不同而被划分，按照粗磨工序S1、精磨工序S2、细磨工序S3、以及清磨工序S4的顺序进行。各工序的砂轮进给速度为粗磨工序S1＞精磨工序S2＞细磨工序S3＞清磨工序S4。在粗磨工序S1中，形成工件W的大致的形状。接着在精磨工序S2、细磨工序S3中，减小砂轮进给速度，调整工件W的表面形状。在最后的清磨工序S4中，停止砂轮进给而进行工件W表面的精加工，使工件W完成。
颤振评价系统1虽然可以在磨削加工的任何的工序中使用，但优选对工件W的表面形状大体完成的清磨工序S4中，或者在清磨工序S4后的工件W的表面的颤振量进行评价。此外，在工序内对工件W的表面的颤振量进行评价，然而工序内是指从工件W安装于磨削装置100到取下为止的期间内的处理，也包含清磨工序S4后。特别是，优选颤振评价系统1在工件W的磨削完成后维持工件W的磨削时的旋转的状态下对工件W的表面的颤振量进行评价。
(1－3.颤振量评价运算装置200的构成)
参照图4对构成颤振评价系统1的颤振量评价运算装置200进行说明。颤振量评价运算装置200具备基础数据获取部21、FFT解析部22、提取部23、逆FFT解析部24、位移转换部25、以及颤振量评价部26。第一例的颤振量评价运算装置200首先获取与加速度相关的基础数据亦即加速度基础数据D11。其后，经由FFT解析部22、提取部23、逆FFT解析部24、以及位移转换部25，生成与位移相关的逆FFT数据亦即位移逆FFT数据D42。通过颤振量评价部26基于生成的位移逆FFT数据D42对颤振量进行评价。
(1－3－1.基础数据获取部21)
基础数据D1是指与加速度或者位移相关的时间序列数据。将与加速度相关的基础数据D1称为加速度基础数据D11，将与位移相关的基础数据D1称为位移基础数据D12。此外，将加速度基础数据D11以及位移基础数据D12总称为基础数据D1。一般而言，基础数据D1作为以时间轴为基准的数据获取，然而也可以根据时间以及工件W的旋转速度，转换为以工件W的旋转角度为基准的数据。
基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的加速度数据的信号，获取加速度基础数据D11。加速度传感器15安装于一对尺寸测定装置14的一方，并获取在使尺寸测定装置14与旋转中的工件W接触的状态下在尺寸测定装置14产生的振动的加速度数据。如图5所示，通过基础数据获取部21获取的加速度基础数据D11是使纵轴为加速度，使横轴为时间的时间序列数据。
(1－3－2.FFT解析部22)
FFT数据D2是指基于基础数据D1进行了FFT解析后的数据。根据加速度基础数据D11生成图6所示那样的使横轴为频率，使纵轴为加速度的加速度FFT数据D21。另一方面，根据位移基础数据D12，生成使横轴为频率，使纵轴为位移的位移FFT数据D22。第一例的FFT解析部22基于加速度基础数据D11进行FFT解析，生成加速度FFT数据D21。
(1－3－3.提取部23)
提取部23具备从通过FFT解析部22生成的FFT数据D2提取第一特定频率成分的第一提取部231、和从FFT数据D2提取第二特定频率成分的第二提取部232。通过提取部23提取出的提取FFT数据D3与FFT数据D2相同，使横轴为频率，使纵轴为加速度或者位移，但除去特定频率以外的数值。
(1－3－3－1.第一提取部231)
第一提取部231从FFT数据D2提取与砂轮12的转速对应的转速频率成分亦即第一特定频率成分。这里，生成从加速度FFT数据D21提取了第一特定频率成分的第一加速度提取FFT数据D311。第一特定频率成分是指砂轮12的转速及其整数倍的频率成分。
磨削装置100在使砂轮12旋转的同时对工件W进行磨削。因此，砂轮12的表面形状按照砂轮12的转速出现在工件W的表面。例如，如图7所示，在砂轮12表面有较大地突出的磨粒a的情况下，在工件W表面，在与磨粒a抵接的位置形成被较大地削去的凹部。在旋转方向以等间隔形成凹部，凹部间的间隔与砂轮12的旋转周期一致。在第一提取部231中，通过提取第一特定频率成分，能够提取起因于砂轮12的表面状态或者不平衡状态的颤振振动。
(1－3－3－2.第二提取部)
在第二提取部232中，从FFT数据D2提取与转速频率成分不同的第二特定频率成分。这里，生成从加速度FFT数据D21提取了第二特定频率成分的第二加速度提取FFT数据D312。作为砂轮12的转速以外与颤振振动有关的成分，例如能够列举主轴旋转马达135的旋转、控制砂轮座121、主轴台133的移动的伺服马达的旋转、从外部施加的振动、工件W的形状所引起的自激颤振等。例如，既可以基于主轴的转速、伺服马达的转速等提取第二特定频率成分，也可以提取超过规定的阈值的成分作为第二特定频率成分。
(1－3－4.逆FFT解析部24)
逆FFT解析部24基于通过提取部23生成的提取FFT数据D3进行逆FFT解析，生成逆FFT数据D4。第一逆FFT解析部241基于第一加速度提取FFT数据D311生成第一加速度逆FFT数据D411。第二逆FFT解析部242基于第二加速度提取FFT数据D312生成第二加速度逆FFT数据D412。第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242进行相同的处理，能够使用相同的构成。在图8示出第一加速度逆FFT数据D411的一个例子。第一加速度逆FFT数据D411是使纵轴为加速度，使横轴为时间序列的数据。
(1－3－5.位移转换部25)
位移转换部25将与加速度相关的基础数据D1、FFT数据D2、提取FFT数据D3、逆FFT数据D4中的任意数据转换为与位移相关的基础数据D1、FFT数据D2、提取FFT数据D3、逆FFT数据D4中的任意数据对应的数据。
第一例的位移转换部25将在第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242中生成的第一加速度逆FFT数据D411以及第二加速度逆FFT数据D412转换为第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422。将第一加速度逆FFT数据D411转换为第一位移逆FFT数据D421的位移转换部25被称为第一位移转换部251。将第二加速度逆FFT数据D412转换为第二位移逆FFT数据D422的位移转换部25被称为第二位移转换部252。
第一位移转换部251以及第二位移转换部252进行相同的处理，能够使用相同的构成。在位移转换部25中，能够通过对与加速度相关的数据进行二次积分，转换为与位移相关的数据。图9示出第一位移逆FFT数据D421的一个例子。第一位移逆FFT数据D421是使纵轴为位移，使横轴为时间序列的数据。
(1－3－6.颤振量评价部26)
颤振量评价部26基于位移逆FFT数据D42对工件W的颤振量进行评价。对于颤振量来说，既可以根据第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422，分别作为第一颤振量以及第二颤振量进行评价，也可以将第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422合成，作为综合颤振量进行评价。作为颤振量的评价方法，例如能够通过计算位移逆FFT数据D42的最大值与最小值之差，定量地进行数值化。颤振量评价部26也可以构成为基于预先存储的规定的阈值，判定颤振量超过阈值的工件W的废弃，或者阶段性地划分工件W的完成度。
(1－4.显示装置30)
对构成颤振评价系统1的显示装置30进行说明。如图4所示，优选颤振评价系统1具备显示颤振量评价部26的评价结果的显示装置30。作为显示装置30，能够列举监视器、显示灯等。优选在显示装置30例如显示有位移逆FFT数据D42的波形、通过颤振量评价部26进行了评价的数值、废弃判定、划分结果等。
(1－5.评价例)
使用第一例的颤振评价系统1，对工件W的颤振量进行评价。在图10示出进行了位移转换的第一位移逆FFT数据D421的波形。在图11示出通过圆度测定器测定工件W的表面形状的波形，作为参考例。根据图10、图11可知，通过颤振评价系统1进行了评价的表面形状与以往的圆度测定器的评价大体一致。图12是根据图10以及图11计算出的颤振量的平均值以及最大值、最小值。根据图12也可知基于颤振评价系统1的评价结果的可靠性较高。
(2.第二例)
在上述的第一例中，将位移转换部25配置到逆FFT解析部24之后，按照基础数据获取部21、FFT解析部22、提取部23、逆FFT解析部24、位移转换部25的顺序进行数据的处理。即，在第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242中，生成第一加速度逆FFT数据D411以及第二加速度逆FFT数据D412，之后在第一位移转换部251以及第二位移转换部中，生成第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422。
在颤振量评价运算装置200中，位移转换部25只要在从基于基础数据获取部21的数据处理后到数据送至颤振量评价部26为止的期间，将与加速度相关的数据转换为与位移相关的数据即可。即，位移转换部25能够配置在基础数据获取部21－FFT解析部22间、FFT解析部22－提取部23间、提取部23－逆FFT解析部24间、以及逆FFT解析部24－颤振量评价部26间中的任意数据位置。作为其一个例子，将位移转换部25配置在基础数据获取部21与FFT解析部22之间的例子如图13所示。
参照图13，对将位移转换部25配置在基础数据获取部21－FFT解析部22间的情况亦即第二例的颤振评价系统2进行说明。基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的信号，生成加速度基础数据D11。其后，通过位移转换部25，将加速度基础数据D11转换为位移基础数据D12。FFT解析部22基于位移基础数据D12，生成位移FFT数据D22。
第一提取部231以及第二提取部232根据位移FFT数据D22，生成第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322。第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242基于第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322生成第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422，并送至颤振量评价部26。此外，在本例中，位移转换部25与提取部23相比配置在上游侧，所以不区分第一位移转换部251以及第二位移转换部252，而进行相同的处理。
接下来，对将位移转换部25配置在FFT解析部22－提取部23间的情况进行说明。基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的信号，获取加速度基础数据D11。FFT解析部22基于加速度基础数据D11，生成加速度FFT数据D21。其后，通过位移转换部25，将加速度FFT数据D21转换为位移FFT数据D22。
第一提取部231以及第二提取部232根据位移FFT数据D22，生成第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322。第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242基于第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322生成第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422，并送至颤振量评价部26。此外，在本例中，位移转换部25与提取部23相比也配置在上游侧，所以不区分第一位移转换部251以及第二位移转换部252，而进行相同的处理。
接下来，对将位移转换部25配置在提取部23－逆FFT解析部24间的情况进行说明。基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的信号，获取加速度基础数据D11。FFT解析部22基于加速度基础数据D11，生成加速度FFT数据D21。第一提取部231以及第二提取部232根据加速度FFT数据D21，生成第一加速度提取FFT数据D311以及第二加速度提取FFT数据D312。
其后，通过第一位移转换部251以及第二位移转换部252，将第一加速度提取FFT数据D311以及第二加速度提取FFT数据D312转换为第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322。第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242基于第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322生成第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422，并送至颤振量评价部26。
(3.第三例)
参照图14～图15B对第三例的颤振评价系统3进行说明。如图14所示，第三例的颤振评价系统3代替加速度传感器，而具备位移传感器。
作为位移传感器，例如也能够使用线性计量器16或者尺寸测定装置14。在使用设置于磨削装置的尺寸测定装置14作为位移传感器的情况下，不需要设置线性计量器16等其它的位移传感器。线性计量器16以与旋转中的工件W接触的状态，检测工件W表面的位移数据。
基础数据获取部21基于来自线性计量器16的位移数据的信号，获取位移基础数据D12。FFT解析部22基于位移基础数据D12，生成位移FFT数据D22。第一提取部231以及第二提取部232根据位移FFT数据D22，生成第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322。第一逆FFT解析部241以及第二逆FFT解析部242基于第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322生成第一位移逆FFT数据D421以及第二位移逆FFT数据D422，并送至颤振量评价部26。
优选第三例的颤振量评价运算装置201具备增益补偿部27。通过位移传感器检测出的位移数据的信号有如超过特定的频率则信号强度衰减的趋势。增益补偿部27根据预先存储的频率与信号强度的关系，按照频率对信号强度进行补偿，使输出电平恒定。在本例中，增益补偿部27具备对通过第一提取部231以及第二提取部232生成的第一位移提取FFT数据D321以及第二位移提取FFT数据D322进行增益补偿的第一增益补偿部271以及第二增益补偿部272。增益补偿部27也可以与提取部23相比配置在上游侧。即，也可以对通过FFT解析部22生成的位移FFT数据D22进行增益补偿。
在图15B示出图15A中的第一增益补偿部271的前后的详细。此外，第二增益补偿部272是与第一增益补偿部271相同的构成。第一增益补偿部271具备存储频率与信号强度的关系的增益存储部273、和基于频率与信号强度的关系进行增益补偿的调整部274。预先在增益存储部273存储有频率与信号强度的关系。若对调整部274输入第一位移提取FFT数据D321，则从增益存储部273调出频率与信号强度的关系。调整部274基于该频率与信号强度的关系对第一位移提取FFT数据D321进行增益补偿，并输出。
第三例的颤振量评价运算装置201能够通过线性计量器16，获取与位移相关的基础数据D1。因此，不需要将与加速度相关的各种数据转换为与位移相关的各种数据的位移转换部25。若如第一例那样使用加速度传感器15，则在单位时间的位移较大的情况下，能够迅速对表面的形状转换进行应对，颤振的检测精度优异。另一方面，若如第三例那样使用位移传感器，则在单位时间的位移较小的情况下，颤振的检测精度优异。即使在使用位移传感器的情况下，通过具备增益补偿部27，在单位时间的位移较大的情况下也能够精度良好地检测颤振。
(4.第四例)
参照图16对第四例的颤振评价系统4进行说明。颤振评价系统4除了第一个例子的颤振量评价运算装置200之外，还具备砂轮不平衡评价运算装置40。
(4－1.砂轮不平衡评价运算装置40的构成)
砂轮不平衡评价运算装置40首先通过获取部41，获取驱动轴关系值。其后，通过第三FFT解析部42、第三提取部43、计算部44，对数据进行处理，计算实际砂轮关系值D81。通过不平衡评价部46，根据预先存储于存储部45的基准砂轮关系值D80与实际砂轮关系值D81的差值，评价砂轮12的不平衡状态。
根据制造时的偏差、摩耗的发展情况，而砂轮12偏心的情况较多，为了将砂轮12平衡良好地安装于磨削装置100需要工作人员的熟练度。若砂轮12为不平衡状态，则成为在工件W产生颤振振动的原因。因此，对砂轮12的安装的不平衡状态进行评价有助于产生了颤振振动的情况下的原因追究。另外，通过在加工前对砂轮12的不平衡状态进行评价，能够消除该不平衡状态，使工件W的加工精度提高。
(4－1－1.获取部41)
获取部41在工件W的非加工时使砂轮12空转时，获取与驱动轴关系值相关的时间序列数据D51。驱动轴关系值是驱动使砂轮12与工件W接近分离的驱动轴123的驱动马达124的电流或者施加给驱动轴123的轴力。若使砂轮12以不平衡状态空转，则砂轮座121振动，对驱动轴123以及驱动马达124施加负荷。通过获取驱动马达124的电流或者施加给驱动轴123的轴力作为驱动轴关系值，能够对砂轮12的不平衡状态进行评价。在磨削装置100中，能够根据从调节对驱动马达124的电力供给的控制部17得到的电流值获取驱动轴关系值。获取部41以在接着的第三FFT解析部42中能够进行FFT解析的程度获取驱动轴关系值。
(4－1－2.第三FFT解析部42)
第三FFT解析部42基于与驱动轴关系值相关的时间序列数据D51进行FFT解析，生成第三FFT数据D61。第三FFT数据D61使横轴为频率，使纵轴为驱动轴关系值。
(4－1－3.第三提取部43)
第三提取部43基于第三FFT数据D61提取与砂轮12的转速对应的第三特定频率成分，生成第三提取数据D71。第三特定频率成分是指相当于砂轮12的转速的频率成分。在砂轮12为不平衡状态的情况下，砂轮12的重心从旋转轴偏移，施加给旋转轴的负荷按照砂轮12的旋转周期变动。另一方面，施加给旋转轴的负荷也由于来自外部的振动等而变动，第三FFT数据D61也包含第三特定频率成分以外的振动。通过在第三提取部43中提取第三特定频率成分，能够除去外部振动等，提取起因于砂轮12的不平衡状态的驱动轴关系值的变动。
(4－1－4.计算部44)
计算部44计算相当于第三提取数据D71的振幅的空转时的实际砂轮关系值D81。第三提取数据D71使横轴为频率，使纵轴为驱动轴关系值，计算与提取出的第三特定频率成分对应的驱动轴关系值作为实际砂轮关系值D81。
(4－1－5.存储部45)
存储部45存储实际砂轮关系值D81的基准值，即空转时的基准砂轮关系值D80。基准砂轮关系值D80是指砂轮12平衡良好地安装于磨削装置100的状态的实际砂轮关系值D81。
能够使用预先由熟练者等安装的砂轮12，通过基准获取部410、基准第三FFT解析部420、基准第三提取部430、以及基准计算部440得到基准砂轮关系值D80。各构成能够使用与上述的获取部41、第三FFT解析部42、第三提取部43、计算部44相同的构成。
(4－1－6.不平衡评价部46)
不平衡评价部46基于实际砂轮关系值D81与基准砂轮关系值D80的差值，对砂轮12的不平衡状态进行评价。由显示装置30显示通过不平衡评价部46进行评价的评价结果。不平衡评价部46既可以仅计算实际砂轮关系值D81与基准砂轮关系值D80的差值，也可以设置规定的阈值，阶段性地划分不平衡状态。
砂轮不平衡评价运算装置40的第三FFT解析部42、第三提取部43能够为与颤振量评价运算装置200的FFT解析部22、第一提取部231以及第二提取部232相同的构成。颤振评价系统4通过具备砂轮不平衡评价运算装置40，产生了颤振振动的情况下的原因追究变得容易。另外，通过在加工前对砂轮12的不平衡状态进行评价，能够消除该不平衡状态，使工件W的加工精度提高。
(4－2.评价例)
使用预先知晓不平衡量的砂轮12测定出的不平衡量与实际砂轮关系值D81的关系如图17所示。此外，不平衡量为0时的实际砂轮关系值D81是指基准砂轮关系值D80。根据图17，可知不平衡量与实际砂轮关系值D81处于比例关系。砂轮不平衡评价运算装置40通过使用实际砂轮关系值D81与基准砂轮关系值D80的差值，能够将从基准状态的偏移定量化。
(5.第五例)
参照图18～图21对第五例的颤振评价系统5进行说明。颤振评价系统5具备第一例的颤振量评价运算装置200、第四例的砂轮不平衡评价运算装置40、以及颤振原因评价运算装置50。
(5－1.颤振原因评价运算装置50)
颤振原因评价运算装置50评价砂轮12的转速与工件W的转速之比是否为适当的值。具体而言，评价砂轮12的转速是工件W的转速的整数倍，还是从整数倍偏离一定程度。例如，在砂轮12表面有较大地突出的磨粒a的情况下，在工件W表面，在与磨粒a抵接的位置形成有被较大地削去的凹部。
砂轮12的转速从工件W的转速的整数倍偏离一定程度的情况与砂轮12的转速为工件W的转速的整数倍的情况下的、工件W表面的凹凸形状的形成过程如图19、图20所示。在图中，以下凸的线示出磨粒a，是多次与工件W接触的状态。工件W的上面的粗线部分是磨削后的工件W的表面形状。如图19那样，若砂轮12的转速从工件W的转速的整数倍偏离一定程度，则磨粒a在凹部与凹部之间进行磨削，随着磨削的进行而消除最初在工件W的表面形成的凹凸形状。另一方面，如图20那样，若砂轮12的转速为工件W的转速的整数倍，则磨粒a继续与形成了凹部的位置抵接。这样一来，成为不消除工件W的表面的凹凸形状，而在工件W残留砂轮12的表面形状的状态。
颤振原因评价运算装置50具备在砂轮进给速度不同的第一期间以及第二期间，获取与加速度相关的时间序列数据亦即基础数据D1的原因基础数据获取部51。并且，通过基于各期间的基础数据D1进行FFT解析的FFT解析部52、提取第一特定频率成分的提取部53对数据进行处理，并通过转速评价部54，对砂轮12与工件W的转速比进行评价。并且，具备基于转速评价部54的评价结果，调节砂轮12或者工件W的转速的转速调节部55、和执行砂轮12的修整的修整执行部56。
(5－1－1.原因基础数据获取部51)
原因基础数据获取部51在砂轮进给速度不同的第一期间以及第二期间，基于来自加速度传感器15的信号，获取基础数据D1。只要在第一期间以及第二期间，从磨削工序中的粗磨工序S1、精磨工序S2、细磨工序S3、清磨工序S4选择两个工序即可。将砂轮进给速度不同的两个期间中的砂轮进给速度较快的以方设为第一期间，并将砂轮进给速度比第一期间慢的一方设为第二期间。
作为第一期间，优选为粗磨工序S1，作为第二期间，优选为清磨工序S4。将在第一期间获取的基础数据D1设为第一期间基础数据D1001。将在第二期间获取的基础数据D1设为第二期间基础数据D1002。这里，是与加速度相关的加速度基础数据D11，更具体而言是第一期间加速度基础数据D1101以及第二期间加速度基础数据D1102。以下，在颤振原因评价运算装置50的说明中，省略与加速度相关的数据的记载。
(5－1－2.FFT解析部52)
FFT解析部52具备第一期间FFT解析部521和第二期间FFT解析部522。第一期间FFT解析部521基于第一期间基础数据D1001生成第一期间FFT数据D2001。第二期间FFT解析部522基于第二期间基础数据D1002生成第二期间FFT数据D2002。第一期间FFT解析部521以及第二期间FFT解析部522进行与颤振量评价运算装置200的FFT解析部22相同的处理，能够使用相同的构成。
(5－1－3.提取部53)
提取部53从通过FFT解析部52生成的FFT数据D2提取第四特定频率成分。提取部53具备第一期间提取部531和第二期间提取部532。第一期间提取部531根据第一期间FFT数据D2001，生成第一期间提取FFT数据D3001。第二期间提取部532根据第二期间FFT数据D2002，生成第二期间提取FFT数据D3002。第四特定频率成分是指相当于砂轮12的转速的频率成分。在提取部53中，通过提取第四特定频率成分，仅提取按照砂轮12的转速周期出现的凹凸。第一期间提取部531以及第二期间提取部532能够通过在颤振量评价运算装置200的第一提取部231中仅提取相当于转速的频率成分来代用，能够使用相同的构成。
(5－1－4.转速评价部54)
转速评价部54基于第一期间提取FFT数据D3001的振幅(A1)与第二期间提取FFT数据D3002的振幅(A2)之比，对砂轮12与工件W的转速比进行评价。A2/A1的值越小，越意味着初期形成的工件W表面的凹凸被消除。在将粗磨工序S1时设为第一期间，并将清磨工序S4时设为第二期间的情况下，优选A2/A1的值在0.3以下，更优选在0.15以下。
图21是表示颤振原因评价运算装置50的评价例的图。评价例A是使砂轮12与工件W的转速比为79.5：1的情况，评价例B是使砂轮12与工件W的转速比为80：1的情况。将粗磨工序S1时设为第一期间，将清磨工序S4时设为第二期间，A2/A1的值如图21所示。在评价例A中，在到清磨工序S4为止的期间充分地消除在粗磨工序S1时形成的工件W的表面的凹凸形状，A2/A1的值为0.11。另一方面，在评价例B中，在到清磨工序S4为止的期间未充分地消除在粗磨工序S1时形成的工件W的表面的凹凸形状，A2/A1的值为0.72。
(5－1－5.转速调节部55)
转速调节部55在通过颤振量评价运算装置200的颤振量评价部26评价为有颤振的情况下，在通过转速评价部54评价为A2/A1的值较大的情况下，调节砂轮12或者工件W的转速。在通过转速评价部54评价为A2/A1的值较大的情况下，砂轮12与工件W的转速比并不适当的可能性较高。考虑到由于砂轮12与工件W的转速比并不适当，而产生了颤振，所以有能够通过调节砂轮12或者工件W的转速消除颤振的可能性。
(5－1－6.修整执行部56)
修整执行部56在通过颤振量评价运算装置200的颤振量评价部26评价为有颤振的情况下，在通过转速评价部54评价为A2/A1的值较小的情况下，执行砂轮12的修整。在通过转速评价部54评价为A2/A1的值较小的情况下，砂轮12与工件W的转速比适当。在即使如此仍然评价为有颤振的情况下，需要对砂轮12与工件W的转速比以外的颤振产生因素进行研究。作为颤振产生因素之一，考虑到由于摩耗等，而砂轮12的表面状态劣化。有能够通过由修整执行部56执行砂轮12的修整消除颤振的可能性。
若颤振评价系统5具备颤振原因评价运算装置50，则容易在进行颤振量的评价的同时，确定颤振的原因。因此，在产生了颤振时，能够迅速地应对，抑制不合格品的产生。并且，颤振原因评价运算装置50中的FFT解析部52、提取部53能够转用、共用颤振量评价运算装置200所使用的构成。另外，颤振原因评价运算装置50中的第二期间基础数据能够使用与颤振量评价运算装置200中的基础数据相同的数据，其后的数据处理也大体相同。由此，能够将构成的追加抑制到最小限度，并进行颤振量的评价和原因的确定。
(6.第五例的变形例)
在第五例的颤振评价系统5中，不将通过加速度传感器15获取的数据转换为位移而直接使用。也可以设置与颤振量评价运算装置200的位移转换部25相同的构成，并将与加速度相关的数据转换为与位移相关的数据。另外，也可以如第三例那样，代替加速度传感器15，而使用线性计量器16等位移传感器。
(7.第六例)
第六例的颤振评价系统6在使工件W以及砂轮12旋转的同时对工件W进行磨削的磨削装置101中，对工件的表面的颤振量进行评价。颤振评价系统6具备设置于磨削装置101的尺寸测定装置14以及加速度传感器15、和颤振量评价运算装置202。
(7－1.磨削装置101的构成)
如图22所示，磨削装置101具备车床11、砂轮12、砂轮座121、主轴座131、尾座132、主轴台133、以及尺寸测定装置14。尺寸测定装置14被轴向移动装置143支承，能够向工件W的轴向即Z轴方向移动。通过轴向移动控制部144控制尺寸测定装置14的Z轴方向的移动。
(7－2.颤振量评价运算装置202的构成)
参照图23对构成颤振评价系统6的颤振量评价运算装置202进行说明。颤振量评价运算装置202具备基础数据获取部21、FFT解析部22、提取部23、逆FFT解析部24、位移转换部25、以及颤振量评价部26。
第六例的颤振量评价运算装置202首先在工件W的多个不同的轴向位置，获取与加速度相关的基础数据亦即加速度基础数据D11。其后，经由FFT解析部22、提取部23、逆FFT解析部24、以及位移转换部25，生成与各个加速度基础数据D11对应的与位移相关的逆FFT数据亦即位移逆FFT数据D42。通过颤振量评价部26，基于生成的多个位移逆FFT数据D42评价各轴向位置上的圆周方向颤振量。
基础数据获取部21对工件W的轴向，在多个不同的轴向位置获取基础数据D1。多个不同的轴向位置例如是指图24所示的多个轴向位置。图24表示工件W的侧面，沿着图中粗线所示的线获取加速度基础数据。在第六例中，以在轴向固定尺寸测定装置14与工件W的接触位置的状态下，接触位置在工件W的外周圆状地移动的方式获取外周一周的检测数据。在获取了工件W的外周一周的检测数据之后，向轴向位置进行移动，由此再次以在工件W的外周圆状地移动的方式进行数据的获取。在多个轴向位置进行该动作时，获取多个轴向位置各自上的圆状动作的检测数据，作为工件W各个的轴向位置上的基础数据D1。
基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的加速度数据的信号，获取加速度基础数据D11。加速度传感器15安装于一对尺寸测定装置14的一方，并获取在使尺寸测定装置14与旋转中的工件W接触的状态下在尺寸测定装置14产生的振动的加速度数据。加速度传感器15能够随着尺寸测定装置14在轴向移动装置143上移动，而在工件W的轴向移动。如图5所示，通过基础数据获取部21获取的加速度基础数据D11是使纵轴为加速度，使横轴为时间的时间序列数据。将通过基础数据获取部21获取的多个加速度基础数据设为第一～第n加速度基础数据D111～D11n。
第六例的FFT解析部22基于各第一～第n加速度基础数据D111～D11n进行FFT解析，生成第一～第n加速度FFT数据D211～D21n。提取部23根据各第一～第n加速度FFT数据D211～D21n，生成提取了特定频率成分的第一～第n加速度提取FFT数据D311～D31n。特定频率成分是砂轮12的转速及其整数倍的频率成分。
逆FFT解析部24基于各第一～第n加速度提取FFT数据D311～D31n生成第一～第n加速度逆FFT数据D411～D41n。位移转换部25将在逆FFT解析部24中生成的第一～第n加速度逆FFT数据D411～D41n转换为第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n。
颤振量评价部26基于工件W的各轴向位置上的第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n对工件W的颤振量进行评价。颤振量评价部26首先根据第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n，对工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量进行评价。作为圆周方向颤振量的评价方法，例如能够通过计算位移逆FFT数据D42的最大值与最小值之差，定量地数值化。
接下来，颤振量评价部26基于工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的平均值或者偏差，对工件W整体的圆周方向颤振量进行评价。颤振量评价部26能够构成为在圆周方向颤振量的平均值较大的情况下或者在圆周方向颤振量的偏差较大的情况下，判定工件W的废弃，或者阶段性地划分工件W的完成度。作为工件W的废弃、划分的基准，既可以基于预先存储的规定的阈值进行判定，也可以与磨削初期的圆周方向颤振量的数值进行比较来判定。
另外，颤振量评价部26也能够基于工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的平均值或者偏差，判断砂轮12的修整的必要性。若由于磨削加工，而砂轮12的表面劣化，则在工件W的轴向的整个区域，圆周方向颤振量增大。
因此，在工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的平均值增大的情况下，砂轮12的表面产生劣化的可能性较高。能够基于预先存储的规定的阈值、磨削初始的圆周方向颤振量的平均值，判定圆周方向颤振量的平均值的增大，判断进行砂轮12的修整等。
另外，也有砂轮12在其宽度方向即工件W的轴向，仅一部分劣化的情况。这是由于磨粒的脱落等所引起的，其劣化情况在砂轮12的宽度方向具有偏差。该情况下，虽然有圆周方向颤振量的平均值的增大较少的情况，但工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的偏差增大。在圆周方向颤振量的偏差增大的情况下，砂轮12的表面产生劣化的可能性也较高。能够根据工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的最大值与最小值的差值或者标准偏差评价圆周方向颤振量的偏差。
(7－3.修整执行部56)
优选颤振评价系统6还具备基于颤振量评价部26的评价结果，执行砂轮12的修整的修整执行部56。修整执行部56在颤振量评价运算装置202的颤振量评价部26评价为需要修整的情况下，执行砂轮12的修整。评价为需要修整的情况是指工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的平均值增大的情况，或者工件W的各个轴向位置上的圆周方向颤振量的偏差增大的情况。在这样的情况下，如上述那样，考虑砂轮12的表面状态劣化。有能够通过由修整执行部56执行砂轮12的修整消除颤振的可能性。
(7－4.评价例)
使用第六例的颤振评价系统6，对工件W的外周一周获取检测数据，评价工件W的外周一周的圆周方向颤振量。可知通过颤振评价系统6进行评价的表面形状与以往的基于圆度测定器的评价大体一致。另外，各个位移的平均值几乎一致，对于位移的最大值与最小值的宽度来说也为同等程度。因此，可知颤振评价系统6的评价结果的可靠性较高。
(8.第七例)
在上述的第六例中，将位移转换部25配置在逆FFT解析部24之后，按照基础数据获取部21、FFT解析部22、提取部23、逆FFT解析部24、位移转换部25的顺序进行数据的处理。即，在逆FFT解析部24中生成第一～第n加速度逆FFT数据D411～D41n，之后转换为第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n。
在颤振量评价运算装置202中，位移转换部25只要在从基础数据获取部21的数据处理后到将数据送至颤振量评价部26为止的期间，将加速度相关的数据转换为位移相关的数据即可。即，位移转换部25能够配置在基础数据获取部21－FFT解析部22间、FFT解析部22－提取部23间、提取部23－逆FFT解析部24间、逆FFT解析部24－颤振量评价部26间中的任意数据为止。作为其一个例子，将位移转换部25配置在基础数据获取部21与FFT解析部22之间的例子如图25所示。
参照图25，对将位移转换部25配置在基础数据获取部21－FFT解析部22间的情况亦即第七例的颤振评价系统7进行说明。基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的信号，获取第一～第n加速度基础数据D111～D11n。其后，通过位移转换部25，将第一～第n加速度基础数据D111～D11n转换为第一～第n位移基础数据D121～D12n。
FFT解析部22基于第一～第n位移基础数据D121～D12n，生成第一～第n位移FFT数据D221～D22n。提取部23根据第一～第n位移FFT数据D221～D22n，生成第一～第n位移提取FFT数据D321～D32n。逆FFT解析部24基于第一～第n位移提取FFT数据D321～D32n生成第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n，并送至颤振量评价部26。
接下来，对将位移转换部25配置在FFT解析部22－提取部23间的情况进行说明。基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的信号，获取第一～第n加速度基础数据D111～D11n。FFT解析部22基于第一～第n加速度基础数据D111～D11n，生成第一～第n加速度FFT数据D211～D21n。
其后，通过位移转换部25，将第一～第n加速度FFT数据D211～D21n转换为第一～第n位移FFT数据D221～D22n。提取部23根据第一～第n位移FFT数据D221～D22n，生成第一～第n位移提取FFT数据D321～D32n。逆FFT解析部24基于第一～第n位移提取FFT数据D321～D32n生成第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n，并送至颤振量评价部26。
接下来，对将位移转换部25配置在提取部23－逆FFT解析部24间的情况进行说明。基础数据获取部21基于来自加速度传感器15的信号，获取第一～第n加速度基础数据D111～D11n。FFT解析部22基于第一～第n加速度基础数据D111～D11n，生成第一～第n加速度FFT数据D211～D21n。提取部23根据第一～第n加速度FFT数据D211～D21n，生成第一～第n加速度提取FFT数据D311～D31n。
其后，通过位移转换部25，将第一～第n加速度提取FFT数据D311～D31n转换为第一～第n位移提取FFT数据D321～D32n。逆FFT解析部24基于第一～第n位移提取FFT数据D321～D32n生成第一～第n位移逆FFT数据D421～D42n，并送至颤振量评价部26。
(9.第八例)
参照图26～图28对第八例的颤振评价系统6(模块构成与第六例相同所以附加附图标记6)进行说明。第八例的颤振评价系统6具备第六例的磨削装置101以及颤振量评价运算装置202。在第六例的颤振评价系统6中，以在轴向固定尺寸测定装置14与工件W的接触位置的状态下，使接触位置在工件W的外周圆状地移动的方式获取外周一周的检测数据。与此相对，在第八例的颤振评价系统6中，如图26所示，使尺寸测定装置14与工件W的表面上的接触位置螺旋状地移动来获取检测数据。
在第八例的颤振评价系统6中，基础数据获取部21在使尺寸测定装置14与工件W的表面上的接触位置螺旋状地移动时，获取螺旋状的检测数据。即，在使工件W旋转的状态下，使尺寸测定装置14的测定件141与工件W的表面接触，并通过轴向移动装置143使尺寸测定装置14向工件W的轴向移动。这样一来，尺寸测定装置14与工件W的接触位置移动为在工件W的表面上描绘螺旋状的轨迹。优选尺寸测定装置14的向工件W的轴向的移动速度为工件W的每一圈旋转移动1mm左右。能够通过轴向移动控制部144控制尺寸测定装置14的移动速度。
在螺旋状地获取检测数据的情况下，基础数据获取部21在使尺寸测定装置14向轴向移动的同时连续地获取数据。此时，优选轴向移动控制部144计算数据的获取所需要的工件W的轴向长度，使尺寸测定装置14与工件W的相对位置移动到能够确保工件W中与尺寸测定装置14的接触位置的螺旋状的移动时的轴向移动量的位置。
螺旋状地获取的检测数据被分割为相对于工件W的旋转轴的角度成为各规定角度，并作为工件W的各个轴向位置上的基础数据D1进行获取。通过在圆周方向分割螺旋状的检测数据，能够使其成为在工件W的轴向具有一定的宽度的多个数据。作为分割检测数据的规定角度，优选在90度以下，更优选在45度以下，进一步优选在30度以下。虽然规定角度的下限并不特别限定，但优选分割为具有能够在工件W的表面检测砂轮12的转速周期的程度的圆周方向长度的区间。另外，优选在进行了分割后的各区间，获取200～300点的数据。
由于进行了分割后的各区间的检测数据是螺旋形状的一部分，所以具有圆周方向长度和轴向长度。然而，轴向长度与圆周方向长度相比足够小，所以能够视为同一圆周上的点。另外，工件W的圆周方向的颤振振动起因于砂轮12的旋转的情况较多，按照砂轮12的转速周期反复出现在工件W的表面。因此，即使在圆周方向对检测数据进行分割，也能够利用概算评价圆周方向整周上的颤振量。
如本例那样，若螺旋状地获取检测数据，则能够对工件W的各个轴向位置紧密地连续的多个区域评价圆周方向颤振量。因此，在检测砂轮12的表面状态的宽度方向的偏差时特别优异。另外，在工件W的磨削完成后在工序内进行颤振量评价的情况下，期望尽量缩短到进入下一个工件W的磨削加工为止的间隔。若螺旋状地获取检测数据，则能够迅速获取在工件W的轴向具有宽度的数据。另一方面，在如第六例那样，每隔工件W的外周一周使轴向位置偏移来获取数据的情况下，能够在同一圆周上获取的数据数增加，颤振量的评价精度优异。
使用第八例的颤振评价系统6，进行工件W的颤振量评价。使尺寸测定装置14的向工件W的轴向的移动速度为工件W的每一圈旋转移动1mm，并获取4mm间的数据。将获取的数据分割为相对于工件W的旋转轴的角度每隔22.5度的六十四个区域，获取对各个轴向位置的数据，并对其进行处理。
根据对各个轴向位置的第一～第六十四位移逆FFT数据，计算最大值与最小值的差值作为对于各个轴向位置的圆周方向颤振量。对于对多个工件W连续地进行磨削加工时的磨削初期的工件W的评价结果如图27所示。对观察到砂轮12的劣化的磨削后期的工件W的评价结果如图28所示。
根据图27，在磨削初期对于各个轴向位置的圆周方向颤振量的偏差较小，圆周方向颤振量的平均值也较小。另一方面，根据图28可知，在砂轮12劣化的磨削后期，对于各个轴向位置的圆周方向颤振量的偏差增大，圆周方向颤振量的平均值也增大。这样，通过对在工件W的轴向不同的多个轴向位置评价圆周方向颤振量，能够使砂轮12的劣化情况可视化。
(10.第九例)
参照图29～图31对第九例的颤振评价系统8进行说明。如图29所示，第九例的颤振评价系统8代替加速度传感器15，而具备位移传感器。作为位移传感器，例如也能够使用线性计量器16或者尺寸测定装置14。在使用设置于磨削装置101的尺寸测定装置14作为位移传感器的情况下，不需要设置线性计量器16等其它的位移传感器。
如图29所示，线性计量器16具备与工件W接触的接触部亦即测定件161、和支承测定件161的臂162。线性计量器16在使测定件161与旋转中的工件W接触的状态下，检测工件W表面的位移数据。线性计量器16支承于轴向移动装置163，能够向工件W的轴向即Z轴方向移动。通过轴向移动控制部(未图示)控制线性计量器16的Z轴方向的移动。
基础数据获取部21基于来自线性计量器16的位移数据的信号，获取位移基础数据D12。FFT解析部22基于位移基础数据D12，生成位移FFT数据D22。提取部23根据位移FFT数据D22，生成位移提取FFT数据D32。逆FFT解析部24基于位移提取FFT数据D32生成位移逆FFT数据D42，并送至颤振量评价部26。
优选构成第九例的颤振评价系统8的颤振量评价运算装置203具备增益补偿部27。通过位移传感器检测出的位移数据的信号有若超过特定的频率则信号强度衰减的趋势。增益补偿部27根据预先存储的频率与信号强度的关系，按照频率对信号强度进行补偿，使输出电平恒定。在本例中，增益补偿部27对通过提取部23生成的位移提取FFT数据D32进行增益补偿。也可以颤振增益补偿部27与提取部23相比配置在上游侧。即，也可以对通过FFT解析部22生成的位移FFT数据D22进行增益补偿。
在图31示出图30中的增益补偿部27的前后的详细。增益补偿部27具备存储频率与信号强度的关系的增益存储部27a、和基于频率与信号强度的关系进行增益补偿的调整部27b。在增益存储部27a预先存储有频率与信号强度的关系。若对调整部27b输入位移提取FFT数据D32，则从增益存储部27a调出频率与信号强度的关系。调整部27b基于该频率与信号强度的关系对位移提取FFT数据D32进行增益补偿并输出。
颤振量评价运算装置203能够通过线性计量器16，获取与位移相关的基础数据D1。因此，不需要将与加速度相关的各种数据转换为与位移相关的各种数据的位移转换部25。若如第六例那样使用加速度传感器15，则在单位时间的位移较大的情况下，能够迅速地应对表面的形状转换，颤振的检测精度优异。另一方面，若如本例那样使用位移传感器，则在单位时间的位移较小的情况下，颤振的检测精度优异。即使在使用位移传感器的情况下，通过进行增益补偿，在单位时间的位移较大的情况下也能够精度良好地检测颤振。

Claims (53)

1.一种颤振评价系统，具备：
尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；
传感器，设置于上述尺寸测定装置，检测在使上述尺寸测定装置与旋转中的上述工件接触的状态下在上述尺寸测定装置产生的振动的加速度数据；以及
颤振量评价运算装置，基于通过上述传感器检测出的加速度数据来评价颤振量，
上述颤振量评价运算装置具备：
基础数据获取部，获取与通过上述传感器检测出的加速度相关的时间序列数据亦即基础数据；
FFT解析部，基于上述基础数据进行FFT解析，生成FFT数据；
第一提取部，基于上述FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即第一特定频率成分，生成第一提取FFT数据；
第一逆FFT解析部，基于上述第一提取FFT数据来进行逆FFT解析，生成第一逆FFT数据；
第一位移转换部，将与加速度相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述第一提取FFT数据、上述第一逆FFT数据中的任意数据转换为与位移相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述第一提取FFT数据、上述第一逆FFT数据中的任意数据对应的数据；以及
颤振量评价部，基于与位移相关的上述第一逆FFT数据来评价第一颤振量。
2.根据权利要求1所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价运算装置还具备：
第二提取部，基于上述FFT数据，提取与上述转速频率成分不同的第二特定频率成分，生成第二提取FFT数据；
第二逆FFT解析部，基于上述第二提取FFT数据进行逆FFT解析，生成第二逆FFT数据；以及
第二位移转换部，将与加速度相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述第二提取FFT数据、上述第二逆FFT数据中的任意数据转换为与位移相关的与上述基础数据、上述FFT数据、上述第二提取FFT数据、上述第二逆FFT数据中的任意数据对应的数据，
上述颤振量评价部基于与位移相关的上述第二逆FFT数据来评价第二颤振量。
3.根据权利要求1或者2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部计算与位移相关的上述第一逆FFT数据中的最大值与最小值之差作为上述第一颤振量。
4.根据权利要求2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部计算与位移相关的上述第二逆FFT数据中的最大值与最小值之差作为上述第二颤振量。
5.根据权利要求2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部合成与位移相关的上述第一逆FFT数据以及上述第二逆FFT数据，并计算最大值与最小值之差作为综合颤振量。
6.根据权利要求1或者2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备砂轮不平衡评价运算装置，
上述砂轮不平衡评价运算装置具备：
获取部，获取在上述工件的非加工时使上述砂轮空转时，驱动使上述砂轮与上述工件接近分离的驱动轴的马达的电流或者施加给上述驱动轴的轴力亦即驱动轴关系值；
第三FFT解析部，基于与上述驱动轴关系值相关的时间序列数据进行FFT解析，生成第三FFT数据；
第三提取部，基于上述第三FFT数据提取与上述砂轮的转速对应的上述转速频率成分，生成第三提取数据；
计算部，计算相当于上述第三提取数据的振幅的空转时的实际砂轮关系值；
存储部，存储上述实际砂轮关系值的基准值即空转时的基准砂轮关系值；以及
不平衡评价部，其基于上述实际砂轮关系值与上述基准砂轮关系值的差值，评价上述砂轮的不平衡状态。
7.根据权利要求1或者2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备颤振原因评价运算装置，
上述颤振原因评价运算装置具备：
原因基础数据获取部，获取上述工件的磨削中的第一期间的上述基础数据亦即第一期间基础数据、以及砂轮进给速度比上述第一期间慢的第二期间的上述基础数据亦即第二期间基础数据；
第一期间FFT解析部，基于上述第一期间基础数据进行FFT解析，生成第一期间FFT数据；
第一期间提取部，基于上述第一期间FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的上述转速频率成分亦即第一特定频率成分，生成第一期间提取FFT数据；
第二期间FFT解析部，基于上述第二期间基础数据进行FFT解析，生成第二期间FFT数据；
第二期间提取部，基于上述第二期间FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的上述转速频率成分亦即第二特定频率成分，生成第二期间提取FFT数据；
转速评价部，基于上述第一期间提取FFT数据的振幅与上述第二期间提取FFT数据的振幅之比，对上述砂轮与上述工件的转速比进行评价。
8.根据权利要求7所述的颤振评价系统，其中，
上述第一期间为粗磨工序，
上述第二期间为清磨工序。
9.根据权利要求7所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振原因评价运算装置还具备转速调节部，该转速调节部在通过上述颤振量评价部评价为有颤振的情况下，在通过上述转速评价部，评价为上述第一期间提取FFT数据的振幅(A1)与上述第二期间提取FFT数据的振幅(A2)之比(A2/A1)较大的情况下，基于上述转速评价部的评价结果，调节上述工件或者上述砂轮的转速。
10.根据权利要求7所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振原因评价运算装置还具备修整执行部，该修整执行部在通过上述颤振量评价部评价为有颤振的情况下，在通过上述转速评价部评价为上述第一期间提取FFT数据的振幅(A1)与上述第二期间提取FFT数据的振幅(A2)之比(A2/A1)较小的情况下，执行上述砂轮的修整。
11.根据权利要求1或者2所述的颤振评价系统，其中，
上述传感器检测清磨工序的数据或者清磨工序之后的数据。
12.根据权利要求1或者2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备显示装置，该显示装置显示上述颤振量评价部的评价结果。
13.根据权利要求1或者2所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于评价结果进行上述工件的废弃或者划分。
14.一种颤振评价系统，具备：
尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；
传感器，在与旋转中的上述工件接触的状态下检测上述工件的表面的位移数据；以及
颤振量评价运算装置，基于通过上述传感器检测出的位移数据来评价颤振量，
上述颤振量评价运算装置具备：
基础数据获取部，获取与通过上述传感器检测出的位移相关的时间序列数据亦即基础数据；
FFT解析部，基于上述基础数据进行FFT解析，生成FFT数据；
第一提取部，基于上述FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即第一特定频率成分，生成第一提取FFT数据；
第一逆FFT解析部，基于上述第一提取FFT数据进行逆FFT解析，生成第一逆FFT数据；
增益补偿部，按照频率对上述第一提取部所使用的上述FFT数据或者上述第一逆FFT解析部所使用的上述第一提取FFT数据进行信号强度的补偿；以及
颤振量评价部，基于与位移相关的上述第一逆FFT数据来评价第一颤振量。
15.根据权利要求14所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价运算装置还具备：
第二提取部，基于上述FFT数据，提取与上述转速频率成分不同的第二特定频率成分，生成第二提取FFT数据；以及
第二逆FFT解析部，基于上述第二提取FFT数据进行逆FFT解析，生成第二逆FFT数据，
上述颤振量评价部基于与位移相关的上述第二逆FFT数据来评价第二颤振量。
16.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述增益补偿部具备存储频率与信号强度的关系的增益存储部、和基于频率与信号强度的关系进行增益补偿的调整部。
17.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部计算与位移相关的上述第一逆FFT数据中的最大值与最小值之差作为上述第一颤振量。
18.根据权利要求15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部计算与位移相关的上述第二逆FFT数据中的最大值与最小值之差作为上述第二颤振量。
19.根据权利要求15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部合成与位移相关的上述第一逆FFT数据以及上述第二逆FFT数据，并计算最大值与最小值之差作为综合颤振量。
20.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备砂轮不平衡评价运算装置，
上述砂轮不平衡评价运算装置具备：
获取部，获取在上述工件的非加工时使上述砂轮空转时，驱动使上述砂轮与上述工件接近分离的驱动轴的马达的电流或者施加给上述驱动轴的轴力亦即驱动轴关系值；
第三FFT解析部，基于与上述驱动轴关系值相关的时间序列数据进行FFT解析，生成第三FFT数据；
第三提取部，基于上述第三FFT数据提取与上述砂轮的转速对应的上述转速频率成分，生成第三提取数据；
计算部，计算相当于上述第三提取数据的振幅的空转时的实际砂轮关系值；
存储部，存储上述实际砂轮关系值的基准值即空转时的基准砂轮关系值；以及
不平衡评价部，其基于上述实际砂轮关系值与上述基准砂轮关系值的差值，评价上述砂轮的不平衡状态。
21.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备颤振原因评价运算装置，
上述颤振原因评价运算装置具备：
原因基础数据获取部，获取上述工件的磨削中的第一期间的上述基础数据亦即第一期间基础数据、以及砂轮进给速度比上述第一期间慢的第二期间的上述基础数据亦即第二期间基础数据；
第一期间FFT解析部，基于上述第一期间基础数据进行FFT解析，生成第一期间FFT数据；
第一期间提取部，基于上述第一期间FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的上述转速频率成分亦即第一特定频率成分，生成第一期间提取FFT数据；
第二期间FFT解析部，基于上述第二期间基础数据进行FFT解析，生成第二期间FFT数据；
第二期间提取部，基于上述第二期间FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的上述转速频率成分亦即第二特定频率成分，生成第二期间提取FFT数据；
转速评价部，基于上述第一期间提取FFT数据的振幅与上述第二期间提取FFT数据的振幅之比，对上述砂轮与上述工件的转速比进行评价。
22.根据权利要求21所述的颤振评价系统，其中，
上述第一期间为粗磨工序，
上述第二期间为清磨工序。
23.根据权利要求21所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振原因评价运算装置还具备转速调节部，该转速调节部在通过上述颤振量评价部评价为有颤振的情况下，在通过上述转速评价部，评价为上述第一期间提取FFT数据的振幅(A1)与上述第二期间提取FFT数据的振幅(A2)之比(A2/A1)较大的情况下，基于上述转速评价部的评价结果，调节上述工件或者上述砂轮的转速。
24.根据权利要求21所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振原因评价运算装置还具备修整执行部，该修整执行部在通过上述颤振量评价部评价为有颤振的情况下，在通过上述转速评价部评价为上述第一期间提取FFT数据的振幅(A1)与上述第二期间提取FFT数据的振幅(A2)之比(A2/A1)较小的情况下，执行上述砂轮的修整。
25.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述传感器检测清磨工序的数据或者清磨工序之后的数据。
26.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备显示装置，该显示装置显示上述颤振量评价部的评价结果。
27.根据权利要求14或者15所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于评价结果进行上述工件的废弃或者划分。
28.一种颤振评价系统，具备：
尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；
传感器，设置于上述尺寸测定装置，并检测在使上述尺寸测定装置与旋转中的上述工件接触的状态下在上述尺寸测定装置产生的振动的加速度数据；
轴向移动装置，使上述传感器与上述工件的相对位置向上述工件的轴向移动；以及
颤振量评价运算装置，基于在上述工件的多个轴向位置通过上述传感器检测出的加速度数据，对上述工件的多个轴向位置上的圆周方向颤振量进行评价，
上述颤振量评价运算装置具备：
基础数据获取部，获取与在上述工件的各个轴向位置通过上述传感器检测出的加速度相关的时间序列数据亦即多个基础数据；
FFT解析部，基于多个上述基础数据中的各个基础数据进行FFT解析，生成多个FFT数据；
提取部，基于多个上述FFT数据中的各个FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即特定频率成分，生成多个提取FFT数据；
逆FFT解析部，基于多个上述提取FFT数据中的各个提取FFT数据进行逆FFT解析，生成多个逆FFT数据；
位移转换部，将与加速度相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述提取FFT数据、上述逆FFT数据中的任意数据转换为与位移相关的上述基础数据、上述FFT数据、上述提取FFT数据、上述逆FFT数据中的任意数据对应的数据；以及
颤振量评价部，基于与上述工件的各个轴向位置上的位移相关的多个上述逆FFT数据，评价对于上述工件的轴向位置的圆周方向颤振量。
29.根据权利要求28所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于上述工件的多个轴向位置上的圆周方向颤振量的平均值，评价上述工件的颤振量。
30.根据权利要求29所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部通过对不同的上述工件的上述圆周方向颤振量的平均值进行比较，来评价上述工件的颤振量。
31.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于上述工件的多个轴向位置上的上述圆周方向颤振量的偏差，评价上述工件的颤振量。
32.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部获取在使上述尺寸测定装置与上述工件的表面上的接触位置螺旋状地移动时，相对于上述工件的旋转轴的角度每隔规定角度的螺旋状的检测数据，作为上述工件的各个轴向位置上的上述基础数据。
33.根据权利要求32所述的颤振评价系统，其中，
上述规定角度在90°以下。
34.根据权利要求32所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部在通过上述轴向移动装置，使上述尺寸测定装置与上述工件的相对位置移动到在上述工件能够确保上述接触位置的螺旋状的移动时的轴向移动量的位置之后，获取上述基础数据。
35.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部在多个轴向位置进行在轴向位置固定上述尺寸测定装置与上述工件的表面上的接触位置的状态下移动为圆状的动作时，获取多个轴向位置各自上的圆状动作的检测数据，作为上述工件的各个轴向位置上的上述基础数据。
36.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部在上述工件的磨削完成后维持了上述工件的磨削时的旋转的状态下，获取多个上述基础数据。
37.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备修整执行部，该修整执行部基于上述颤振量评价部的评价结果，执行上述砂轮的修整。
38.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述传感器检测清磨工序的数据或者清磨工序之后的数据。
39.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备显示装置，该显示装置显示上述颤振量评价部的评价结果。
40.根据权利要求28～30中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于评价结果进行上述工件的废弃或者划分。
41.一种颤振评价系统，具备：
尺寸测定装置，测定由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的外径；
传感器，在与旋转中的上述工件接触的状态下，检测上述工件的表面的位移数据；
轴向移动装置，使上述传感器与上述工件的相对位置向上述工件的轴向移动；以及
颤振量评价运算装置，基于在上述工件的多个轴向位置通过上述传感器检测到的位移数据，对上述工件的多个轴向位置上的圆周方向颤振量进行评价，
上述颤振量评价运算装置具备：
基础数据获取部，获取与在上述工件的各个轴向位置通过上述传感器检测出的位移相关的时间序列数据亦即多个基础数据；
FFT解析部，基于多个上述基础数据中的各个基础数据进行FFT解析，生成多个FFT数据；
提取部，基于多个上述FFT数据中的各个FFT数据，提取与上述砂轮的转速对应的转速频率成分亦即特定频率成分，生成多个提取FFT数据；
逆FFT解析部，基于多个上述提取FFT数据中的各个提取FFT数据进行逆FFT解析，生成多个逆FFT数据；
颤振量评价部，基于与上述工件的各个轴向位置上的位移相关的多个上述逆FFT数据，评价对于上述工件的轴向位置的圆周方向颤振量；以及
增益补偿部，按照频率对上述提取部所使用的上述FFT数据或者上述逆FFT解析部所使用的上述提取FFT数据进行信号强度的补偿。
42.根据权利要求41所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于上述工件的多个轴向位置上的圆周方向颤振量的平均值，评价上述工件的颤振量。
43.根据权利要求42所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部通过对不同的上述工件的上述圆周方向颤振量的平均值进行比较，来评价上述工件的颤振量。
44.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于上述工件的多个轴向位置上的上述圆周方向颤振量的偏差，评价上述工件的颤振量。
45.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部获取在使上述尺寸测定装置与上述工件的表面上的接触位置螺旋状地移动时，相对于上述工件的旋转轴的角度每隔规定角度的螺旋状的检测数据，作为上述工件的各个轴向位置上的上述基础数据。
46.根据权利要求45所述的颤振评价系统，其中，
上述规定角度在90°以下。
47.根据权利要求45所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部在通过上述轴向移动装置，使上述尺寸测定装置与上述工件的相对位置移动到在上述工件能够确保上述接触位置的螺旋状的移动时的轴向移动量的位置之后，获取上述基础数据。
48.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部在多个轴向位置进行在轴向位置固定上述尺寸测定装置与上述工件的表面上的接触位置的状态下移动为圆状的动作时，获取多个轴向位置各自上的圆状动作的检测数据，作为上述工件的各个轴向位置上的上述基础数据。
49.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述基础数据获取部在上述工件的磨削完成后维持了上述工件的磨削时的旋转的状态下，获取多个上述基础数据。
50.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备修整执行部，该修整执行部基于上述颤振量评价部的评价结果，执行上述砂轮的修整。
51.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述传感器检测清磨工序的数据或者清磨工序之后的数据。
52.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振评价系统还具备显示装置，该显示装置显示上述颤振量评价部的评价结果。
53.根据权利要求41～43中任意一项所述的颤振评价系统，其中，
上述颤振量评价部基于评价结果进行上述工件的废弃或者划分。
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