JP2005121532A

JP2005121532A - 振動検出装置および振動検出方法ならびに検査システム

Info

Publication number: JP2005121532A
Application number: JP2003358039A
Authority: JP
Inventors: Kazuaki Watanabe; 和明渡辺
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2003-10-17
Filing date: 2003-10-17
Publication date: 2005-05-12
Anticipated expiration: 2023-10-17
Also published as: JP3944784B2

Abstract

【課題】接触共振の影響を受けることなく押し当て方式で振動ピックアップを用いて被測定物の振動を検出することのできる振動検出装置を提供すること
【解決手段】振動ピックアップ２０の先端２０ａに、低反発ゴム２１を貼り付ける。これにより、振動を検出する際には、振動ピックアップと被測定物１０の間に低反発ゴムが介在することになり、接触面の粗さなどの影響を低反発ゴムが吸収するため、接触共振を生じることなく安定した測定ができる。
【選択図】図１

Description

この発明は、振動検出装置および振動検出方法ならびに検査システムに関するものである。

自動車や家電製品などには、モータが組み込まれた回転機器が非常に多く用いられている。例えば自動車を例にとってみると、エンジン，パワーステアリング，パワーシート，ミッションその他の至る所に回転機器が実装されている。また、家電製品では、冷蔵庫，エアコン，洗濯機その他各種の製品がある。そして、係る回転機器が実際に稼働すると、モータ等の回転に伴って音が発生する。

係る音は、正常な動作に伴い必然的に発生するものもあれば、不良に伴い発生する音もある。その不良に伴う異常音の一例としては、ベアリングの異常，内部の異常接触，アンバランス，異物混入などがある。より具体的には、ギヤ１回転について１度の頻度で発生するギヤ欠け，異物かみ込み，スポット傷，モータ内部の回転部と固定部が回転中の一瞬だけこすれ合うような異常音がある。また、人が不快と感じる音としては、例えば人間が聞こえる２０Ｈｚから２０ｋＨｚの中で様々な音があり、例えば約１５ｋＨｚ程度のものがある。そして、係る所定の周波数成分の音が発生している場合も異常音となる。もちろん、異常音はこの周波数に限られない。

係る不良に伴う音は、不快であるばかりでなく、さらなる故障を発生させるおそれもある。さらに、不良品の場合には、スムーズな回転が行なわれないため、動作中に良品とは異なる振動を生じることがある。

そこで、それら各製品に対する品質保証を目的とし、生産工場においては、通常検査員による聴覚や触覚などの五感に頼った「官能検査」を行ない、異常音の有無の判断を行っている。具体的には、耳で聞いたり、手で触って振動を確認したりすることによって行っている。なお、係る官能検査は、官能検査用語ＪＩＳＺ８１４４により定義されている。

ところで、検査員の五感に頼った官能検査では、熟練した技術を要するばかりでなく、判定結果に個人差や時間による変化などのばらつきが大きい。さらには、判定結果のデータ化，数値化が難しく管理も困難となるという問題がある。そこで、係る問題を解決するため、定量的かつ明確な基準による安定した検査を目的とした異音検査システムがある。この異音検査システムは、「官能検査」工程の自動化を目的とした装置であり、製品駆動部の振動や音をセンサで測定し、得られた振動波形から各種の特徴量を抽出し、異常の有無等を自動的に判断するようになっている。なお、「異音検査システム」と称しているが、振動に基づく良否判断も行なわれる。

そして、上記検査システムは、入力装置（測定器）として、音を収集するマイクと、振動を収集する振動ピックアップが備えられている。被測定物の振動加速度をそのまま正確に振動ピックアップに伝達させるには、振動ピックアップと被測定物を一体化させる必要があり、最も強固に一体化させるのにボルトによるねじ止めの方法がある。

しかし、例えば、製造された製品に対する最終的な良否判定を上記異音検査システムを用いて行なうような場合には、多数の被測定物（検査対象）を一個の振動ピックアップにより連続的に測定することになり、振動ピックアップを検査する都度検査対象の製品にボルトでネジ止めし、検査終了に伴い取り外すようなことはできない。

そこで、この振動ピックアップを用いて検査対象物の振動を取得する場合、図１に示すように、振動ピックアップ１を被測定物２の表面に接触させるとともに、振動ピックアップ１を所定の力で被測定物２の接触面に対して押し当てる押し当て方式で振動を測定するようにしている。このとき、振動ピックアップ１の接触面と反対側の端面には防振材３を配置し、防振材３を介して所定の力で押し付けるようにしている。これにより、被測定物２から振動ピックアップ１に伝達される振動は、防振材３で吸収・遮断され、防振材３，振動ピックアップ１を被測定物２側に押し付ける加圧源側には被測定物２の振動が伝わらず、振動ピックアップ１で確実に検出できるようになる。なお、振動ピックアップの具縦粋な構成としては、例えば特許文献１などに開示されている。
特公平７−１０７４９５

しかしながら、上記した従来の技術では、以下に示す問題を有する。すなわち、押し当て方式で振動を測定する場合、振動ピックアップ１と被測定物２の接触面の粗さや材質・形状によって、周波数特性が変化する為、安定した振動計測ができなくなる。これは、振動ピックアップ１の先端部分と、被測定物２との接触面が振動に伴い局部的に変形することで、ばねとして作用し、そのばねと振動ピックアップ１の質量で構成される振動系による共振現象（接触共振）が生じるためと推定できる。

図２は、被測定物２として、任意の周波数の振動を発生できる振動発生装置を用い、周波数を０から２０ｋＨｚまでスイープさせたときに得られた周波数に対する伝達特性を示している。そして、防振材３は「フッ素ゴムスポンジ＋αゲル」を用い、押し当て力は３N／ｃｍ²とした。また、被測定物２の表面は、セラミックであり、振動ピックアップ１の接触面はチタンとした。共振振動などが生じなければ、振動発生装置の振動のみをそのままピックアップすることにより、伝達特性は０ｄＢとなる。

この図から明らかなように、接触共振により、１１から１２ｋＨｚあたりで約＋２０dBのピークが発生している。そして、この接触共振により発生するピーク位置は、測定するごとに変化するため、不良を検出するための特徴量がこの接触共振が発生する周波数に存在すると、正しく判定を行うことができなくなる。つまり、接触共振によるピークに埋もれてしまったり、係るピークにより周波数の変動による検出出力の変動が大きいため、振動周波数の少しのブレが、出力に大きく影響を与えるため、係る周波数範囲では特徴量として使用することができなくなる。

さらに、図示は省略するが、接触共振に基づくピークの発生箇所はばらつくため、接触共振が発生する可能性のある周波数帯域では、接触共振に基づく波形成分か、不良に基づいて発生する周波数成分かが区別できず、係る周波数帯域では特徴量抽出ができなくなる。

この発明は、接触共振の影響を受けることなく押し当て方式で振動ピックアップを用いて被測定物の振動を検出することのできる振動検出装置および振動検出方法ならびに検査システムを提供することを目的とする。

本発明に係る振動検出装置は、被測定物の振動を検知する振動ピックアップを備えた押し当て方式の振動検出装置であって、前記振動ピックアップの被測定物に対する振動検出面に低反発ゴムを装着して、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振を低減させるように構成した。

また、別の解決手段としては、被測定物の振動を検知する振動ピックアップを備えた押し当て方式の振動検出装置であって、前記振動ピックアップの被測定物に対する振動検出面に低反発ゴムを装着するように構成した。

そして、上記各発明において、前記低反発ゴムの厚さが２ｍｍ以下とするとよい。さらに、１ｍｍ以下にするとなお良い。もちろん、本発明は、２ｍｍよりも厚いものも含まれる。

また、本発明に係る振動検出方法は、振動を検知する振動ピックアップを被測定物に押し当てた状態で被測定物の振動を前記振動ピックアップで検出する振動検出方法であって、前記振動ピックアップと前記被測定物の間に低反発ゴムを介在させた状態で振動を検出するようにした。

そして、前記低反発ゴムは、前記振動ピックアップの振動検出面に貼り付けられるようにするとよい。また、前記振動ピックアップと前記被測定物の間に低反発ゴムを介在させることにより、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振の影響を受けないようにするとよい。さらにまた、前記低反発ゴムの厚さを２ｍｍ以下とし、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振の影響と、前記被測定物で生じる高周波成分の振動が前記低反発ゴムによって減衰する影響と、を受けないようにするとよい。

また、本発明に係る検査システムでは、上記した各振動検出装置と、その振動検出装置で検出した被測定物の振動波形データから特徴量を抽出し、抽出した特徴量と予め定められた判定ルールとに基づいて前記被測定物の良否判定を行い、その良否判定結果を出力する検査装置とを備えて構成した。

低反発ゴムは、通常のゴムに比べて反発係数・反発弾性が低いものを言い、無反発ゴムや制振ゴムなどと称されることもある。振動ピックアップと被測定物の接触面の粗さなどの影響を低反発ゴムが吸収するため、低反発ゴムが接触共振の発生を抑制、或いは発生してもそれを吸収することにより、接触共振の影響が出ないようになる。換言すると、係る接触共振の影響が出ないゴムが低反発ゴムともいえる。

これにより、従来接触共振が発生した周波数帯域でも被測定物から発生する振動を確実に検出することができる。その結果、検査システムでは、係る周波数帯域の周波数成分も特徴量として使用することができ、精度のよい良否判定を行うことができる。
振動ピックアップは、加速度ピックアップ，振動センサ，加速度計，振動検出器，加速度センサへなどとも称されるもので、振動を検出できる機器であれば良い。

本発明では、被測定物と振動ピックアップの間に低弾性ゴムを介在させたことにより、接触共振の影響を受けることなく押し当て方式で振動ピックアップを用いて被測定物の振動を精度良く検出することができる。

図３は、本発明に係る検査システムの一実施の形態を示している。この例では、検査対象（ワーク）である被測定物１０に接触・近接配置するマイク（図示せず）および振動検出センサ１１からの信号をアンプ１２で増幅後、ＡＤ変換器１３にてデジタルデータに変更後、検査装置１５に与えるようになっている。また、ＰＬＣ１６からも動作タイミングその他のデータを取得するようにしている。そして、検査装置１５は、マイクで収集した音データや、振動検出センサ１１で収集した振動データに基づく波形データを取得し、特徴量を抽出するとともに、良否判定を行なう。この結果は、例えばＰＬＣ１６に与えられ、所定のメモリエリアに書き込む。すると、このＰＬＣ１６に接続されたプログラマブル表示器（ＰＴ）１７に、判定結果が出力される。なお、図示の便宜上、動作タイミングを与えるＰＬＣと、良否判定結果を表示するＰＴ１７を管理するＰＬＣを同じにしているが、別装置で構成してもよい。

検査装置１５は、例えばパソコンにより実現でき、そのパソコンに実装するアプリケーションプログラムは、図４に示すような機能ブロックを構成することにより実現できる。すなわち、前処理部１５ａ，演算部１５ｂ並びに判定部１５ｃから構成されている。なお、本実施の形態では、ＡＤ変換器１３を設け、デジタルデータを検査装置１５に与えるようにしたが、ＡＤ変換器１３を介さずに、アナログデータを与える用にしてもよい。その場合には、検査装置１５内にＡＤ変換処理部を設けることになる。

そして、前処理部１５ａでは、ＡＤ変換器１３から当たられた演算対象データ（振動検出センサ１１等で検出した穴録は径データをデジタル化してデータ）に対し、特徴量を抽出しやすいようにするための前処理を行なう。一例をとして、バンドパスフィルタにより所定周波数帯域の信号成分を抽出したり、高周波成分増幅処理や、低周波成分増幅処理により不良品等の場合に発生する周波数帯域の信号成分を抽出したり、ＦＦＴ解析等をすることがある。もちろん、前処理の種類は上記したものに限るものではなく、種々変更実施が可能である。

また、特徴量演算部１５ｂは、前処理後のデータから所望の特徴量を抽出するものである。抽出する特徴量としては、振動レベルの大きさを示すＲＭＳ（ＲｏｕｔｅｍｅａｎＳｑｕａｒｅＶａｌｕｅ）や、１フレーム中データの振動レベルの上位ｎ番目までのデータの平均の値を示すＸＰや、１フレーム中のデータの変化量の上位ｎ番目までの平均の値を示すＡＭＸａなどのほか、各種のものを用いることができる。係る特徴量は、各検査対象ワーク（被測定物１０）ごとに求められる。

判定部１５ｃは、特徴量演算部１５ｂで抽出した特徴量値をファジィエンジンに入力し、悪さ度合いを示す推論値を求め、その推論値に基づいて「ＯＫ」，「ＧＲＡＹ」，「ＮＧ」を最終的に決定し、その結果を出力する。

本実施の形態の振動検出センサ１１は、上記した検査システムに実装されるもので、図５はその概略構成を示し、図６は具体的な構成を示している。図に示すように、本実施の形態では、振動ピックアップ２０の先端２０ａに低反発ゴム２１を設けている。この低反発ゴム２１は、無反発ゴム，制振ゴムとも称されるもので、反発弾性（％）が小さい（本実施の形態では、２から１３）ゴムである。また、振動ピックアップ２０の他端に防振材２３を取り付けている。この防振材２３は、例えば、図６に示すように、フッ素ゴムスポンジ２３ａと、インシュレータ２３ｂの２層構造とすることができる。

そして、実際に振動を測定するに際し、振動ピックアップ２０の先端２０ａに設けた低反発ゴム２１を被測定物１０に接触させる。これにより、振動ピックアップ２０と被測定物１０の間に低反発ゴム２１が介在されることにより、接触共振の影響を低減することができる。これは、接触面の粗さなどの影響を低反発ゴムが吸収するため、安定した測定ができると推定できる。

そして、係る振動検出センサ１１は、押し当て方式で振動を検出しても接触共振の影響を受けないので、例えば、図３に示す検査システムを用いて、エンジンなど製品の良否判定を行う場合でも、振動検出センサ１１を被測定物１０たる製品に押し当てることにより、製品の振動を精度良く検出することができる。つまり、ボルトで固定する必要がなく、例えば、ライン上を流れてくる製品に対して、振動検出センサ１１をそのまま押し当てるだけで振動を検出することができる。つまり、インラインでの検査が可能となる。

図７以降は、本発明の効果を実証するために行なった実験結果を示している。まず、図２の結果を得るための実験装置と同様に、被測定物１０の材質はセラミックであり、振動ピックアップ２０の先端２０ａの表面はチタンである。そして、低反発ゴム２１は、内外ゴム株式会社製のハネナイト（登録商標）のＡＰ５０（厚さは１ｍｍ）を用いた。このＡＰ５０の反発弾性は、６％である。そして、押し当て力は３N／ｃｍ²とした。このように所定の低反発ゴム２１を用いた以外は、従来品の実験と同様に行ない、周波数に対する伝達特性を測定した。その結果、図７に示すような実験結果が得られた。図７から明らかなように、１１から１２ｋＨｚ付近にピークが発生していた接触共振に伴が解消され、１０ｋＨｚから２０ｋＨｚにわたり、伝達特性がほぼ０ｄＢの平坦な特性が得られる。もちろん、従来から測定可能な１０ｋＨｚ以下の周波数帯域でも０ｄＢとなる。これにより、ピークが無くなり、広帯域の測定が可能であることが分かる。

次に、使用する低反発ゴムの材質や厚さを変えて、同様の実験を行なった。なお、今回の実験に用いた低反発ゴムは、全て内外ゴム株式会社製の物を用いたため、以下では型番のみ示して特定する。図８は、低反発ゴム２１としてＧＰ３５Ｌを用い、厚さを１，２，３ｍｍと変えた場合の結果である。このＧＰ３５Ｌは、反発弾性は２％と非常に小さいものである。そして、低反発ゴム以外の構成並びに実験方法は、図７の場合と同じにしている。

すると、図８から明らかなように、厚さが１ｍｍの場合には、２０ｋＨｚに至るまでほぼ０ｄＢで平坦となる。また、厚さが２ｍｍ，３ｍｍと増すにつれて、１０ｋＨｚから２０ｋＨｚで出力の信号レベルが低下する。しかし、厚さが２ｍｍの場合には、２０ｋＨｚで−１０ｄＢ程度ですむため、実質実的に問題がない程度ですむ。また、厚さが３ｍｍの場合には、２０ｋＨｚでは−２０ｄＢ程度となり信号レベルとしては小さく、Ｓ／Ｎの問題はあるが、それでも−１０ｄＢまで許容すると１３ｋＨｚ程度までは測定可能となり、しかも、接触共振の場合と異なり、この実験結果には再現性があり、実験の都度、得られた伝達特性が大きく変化することがないため、不良等の場合の特徴量抽出を行うことができる。

さらに、図示は省略するが、厚さが０.５ｍｍの低反発ゴム（ＧＰ３５Ｌ）を用いて実験を行ったところ、１ｍｍの場合とほぼ同じ０ｄＢ付近で一定となることが確認できた。なお、市販品では上記の４種類の製品が販売されているため、それを用いて行ったが、０.５ｍｍ未満の厚さでも低反発ゴムを製造することができれば、十分な効果が発揮できると推定できる。つまり、１０ｋＨｚを超えると、振動の振幅も非常に小さくなるため、例えば０.１ｍｍ等であっても、低反発ゴムの厚さのほうが十分に厚いためである。従って、２０ｋＨｚまでほぼ平坦な特性を得たい場合には、低反発ゴムの厚さが１ｍｍ以下とするのが好ましく、２ｍｍ以下でも広範囲にわたり、安定した測定が可能となる。さらに、従来では、１０ｋＨｚ以上は特徴量の抽出対象とできず、接触共振の発生周波数のばらつきを考慮すると、５ｋＨｚ以上でも判定誤差の要因となるので好ましくないことに鑑みると、厚さが３ｍｍでも十分効果が得られる。

また、低反発ゴムとして、ＧＰ６０Ｌを用い、厚さを１ｍ，２ｍ，３ｍに替え、それ例外は上記と同様の条件で実験を行った。その結果、図９（厚さ１ｍｍ），図１０（厚さ２ｍｍ），図１１（厚さ３ｍｍ）にそれぞれ示す伝達特性が得られた。ＧＰ６０Ｌは、ＧＰ３５Ｌと同様に反発弾性が２％と低く、他の特性が異なるものである。図から明らかなように、厚さが１ｍｍでは、２０ｋＨｚまでほぼ平坦となり、厚さが厚くなるにつれて１０ｋＨｚ以上の周波数帯域で信号レベルが小さくなる。なお、この材料でも、複数回実験を行ったが、ほぼ同様の結果が得らればらつきは少なかった。

次に、低反発ゴムとして、厚さが０．５ｍｍのＡＰ３０（反発弾性は８％）を用い、それ例外は上記と同様の条件で実験を行った。その結果、図１２に示すように、２０ｋＨｚ以下で、ほぼ平坦な特定が得られた。

次に、被測定物の材質を代えて実験を行った。具体的には、上記の実験で使用した振動発生装置の表面にアクリル板（厚さ１ｍｍ）を貼り付け、その他は上記と同様の条件で実験を行った。使用した低反発ゴムは、ＡＰ５０で、厚さが１ｍｍ，２ｍｍ，３ｍｍのものについてそれぞれ調べた。その結果、図１３に示すような伝達特性が得られた。一方、比較例として上記と同様に振動発生装置の表面に１ｍｍのアクリル板を貼り付けたものに対し、低反発ゴムを設けない従来構成のセンサで実験を行った結果、図１４に示す結果が得られた。

図１３から明らかなように、２０ｋＨｚ付近では、厚さが１ｍｍのものでも信号レベルが落ちるが、上記したように各厚さで信号レベルの減衰の程度及び発生状況は一定しているとともに、図１４に示す低弾性ゴムのない比較例と比べると、どの厚さの低弾性ゴムでも十分有効な効果が発揮しているといえる。

さらに、具体的な図示は省略するが、反発弾性が１２％で厚さ１ｍｍの低反発ゴムを用いて実験したところ、反発弾性６％で厚さ１ｍｍの低反発ゴムの実験結果（図７、図１３）とほぼ同様の特性が得られ、接触共振の影響を低減できることがわかった。また、反発弾性が１２％で厚さ２ｍｍの場合、同じく厚さ３ｍｍの場合でも、反発弾性６％で厚さ２ｍｍ、３ｍｍのそれぞれの低反発ゴムの実験結果（図１３）とほぼ同様の特性が得られた。

さらにまた、反発弾性が１３％の低反発ゴムも市販されており、１ｍｍ，２ｍｍ，３ｍｍのそれぞれで同様の実験を試みたところ、反発弾性が１２％のものと変わりなく、同様の実験結果が得られた（図７、図１３とほぼ同様の結果）。

さらには、低反発ゴムの厚さについては、１ｍｍ，２ｍｍ，３ｍｍの実験結果を示したが、それ以外にも、５ｍｍ，１０ｍｍ，１５ｍｍ，２０ｍｍ，３０ｍｍの５種類の低反発ゴムが市販されている。これら５種類の厚さ違いの低反発ゴムでも、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振の影響を低減できることが実験の結果から確認できた。（ただし、一方で被測定物で生じる高周波成分の振動が低反発ゴムによって減衰することもわかった）。

上記した各実験は、いずれも押し当て力を３Ｎ／ｃｍ²として行なったが、押し当て力を変更しても同様の効果が得られることが確認された。一例として、押し当て力を１０Ｎ／ｃｍ²とした場合の実験結果を示す。このとき使用した低反発ゴムの厚さは1ｍｍとし、は、反発弾性は２％のものを用い、１０回計測した。図１５に示すように、低反発ゴムを装着しない従来構成のものでは、接触共振の影響により１０から２０ｋＨｚの範囲内で伝達特性で大きなピークが発生すると共に、その発生位置もばらつくが、低反発ゴムを実装した本発明品の場合には、図１６に示すように接触共振の影響を抑制することが確認された。

従来例を示す図である。従来の測定を示すグラフである。本発明に係る検査システムの好適な一実施の形態を示す図である。検査装置の内部構成を示す図である。本発明に係る振動検出装置（振動検出センサ）の好適な一実施の形態を示す図である。本発明に係る振動検出装置（振動検出センサ）の好適な一実施の形態を示す図である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果である。本発明の効果を実証するための実験結果（比較例）である。本発明の効果を実証するための実験結果（比較例）である。本発明の効果を実証するための実験結果である。

符号の説明

１０被測定物
１１振動検出センサ
１２アンプ
１３ＡＤ変換器
１５検査装置
１６ＰＬＣ
１７プログラマブル表示器
２０振動ピックアップ
２１低反発ゴム
２３防振材
２３ａフッ素ゴムスポンジ
２３ｂインシュレータ

Claims

被測定物の振動を検知する振動ピックアップを備えた押し当て方式の振動検出装置であって、
前記振動ピックアップの被測定物に対する振動検出面に低反発ゴムを装着して、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振を低減させることを特徴とする振動検出装置。
被測定物の振動を検知する振動ピックアップを備えた押し当て方式の振動検出装置であって、
前記振動ピックアップの被測定物に対する振動検出面に低反発ゴムを装着したことを特徴とする振動検出装置。
振動を検知する振動ピックアップを被測定物に押し当てた状態で被測定物の振動を前記振動ピックアップで検出する振動検出方法であって、
前記振動ピックアップと前記被測定物の間に低反発ゴムを介在させた状態で振動を検出することを特徴とする振動検出方法。
前記低反発ゴムは、前記振動ピックアップの振動検出面に貼り付けられることを特徴とする請求項３に記載の振動検出方法。
前記振動ピックアップと前記被測定物の間に低反発ゴムを介在させることにより、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振の影響を受けないようにしたことを特徴とする請求項３に記載の振動検出方法。
前記低反発ゴムの厚さを２ｍｍ以下とし、振動ピックアップと被測定物との接触面で生じる接触共振の影響と、前記被測定物で生じる高周波成分の振動が前記低反発ゴムによって減衰する影響と、を受けないようにしたことを特徴とする請求項５に記載の振動検出方法。
請求項１または２に記載の振動検出装置と、
その振動検出装置で検出した被測定物の振動波形データから特徴量を抽出し、抽出した特徴量と予め定められた判定ルールとに基づいて前記被測定物の良否判定を行い、その良否判定結果を出力する検査装置とを備えたことを特徴とする検査システム。