CN102130104B - 发光器件及制造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 130
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 5
- GVFOJDIFWSDNOY-UHFFFAOYSA-N antimony tin Chemical compound [Sn].[Sb] GVFOJDIFWSDNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 3
- AZIWVSJAOBQANT-UHFFFAOYSA-M N.[O-2].[O-2].[O-2].[OH-].O.[In+3].[Sn+4] Chemical compound N.[O-2].[O-2].[O-2].[OH-].O.[In+3].[Sn+4] AZIWVSJAOBQANT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- SBCUTCPGAKZWFT-UHFFFAOYSA-M N.[O-2].[O-2].[OH-].O.[Zn+2].[In+3] Chemical compound N.[O-2].[O-2].[OH-].O.[Zn+2].[In+3] SBCUTCPGAKZWFT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 229910020923 Sn-O Inorganic materials 0.000 claims description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N indium;oxozinc;tin Chemical compound [In].[Sn].[Zn]=O HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 24
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920005644 polyethylene terephthalate glycol copolymer Polymers 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 2
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- -1 ethyl cyclopentadienyl Chemical group 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000026267 regulation of growth Effects 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005118 spray pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
- H01L33/46—Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L33/38—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
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- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
- H01L33/42—Transparent materials
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H—ELECTRICITY
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1203—Rectifying Diode
- H01L2924/12032—Schottky diode
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0016—Processes relating to electrodes
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
Abstract
本发明涉及一种发光器件及制造方法。一种发光器件,包括与两个半导体层之一相邻形成的透明导电层,在所述两个半导体层之间具有有源层。所述透明导电层包括具有不同电导率的第一和第二透明导电区域。电导率的差异控制进入与所述透明导电层相邻的半导体层的电流的量或流速,并且电极与所述第二透明导电区域至少部分对齐。
Description
对相关申请的交叉引用
本发明要求2009年12月21日提交的韩国申请No.10-2009-0128391的优先权,该申请通过引用并入本文。
技术领域
本文公开的一个或更多个实施方案涉及光发射。
背景技术
发光二极管(LED)是将电流转化成光的半导体器件。发射光的波长基于所用的半导体材料而变化,更具体是基于半导体材料的带隙而变化。LED通常用作显示器、车辆和其它照明应用的光源。然而,在其设计、性能和制造方面需要改进。
发明内容
本文描述的一个或更多个实施方案提供一种具有新结构的发光器件、所述发光器件的制造方法、用于所述发光器件的封装和包括所述发光器件的照明系统。
本文所述的一个或更多个实施方案还提供一种光效率得到改善的发光器件、所述发光器件的制造方法、用于所述发光器件的封装和包括所述发光器件的照明系统。
在一个实施方案中,一种发光器件包括:导电支撑层;在所述导电支撑层上的透明导电层,所述透明导电层包括具有第一电导率的第一区域和具有比所述第一电导率低的第二电导率的第二区域;在所述透明导电层上的发光结构层,所述发光结构层包括第一导电型半导体层、第二导电型半导体层和位于所述第一导电型半导体层和所述第二导电型半导体层之间的有源层;以及电极,其中所述电极的至少一部分设置在所述发光结构层的垂直交叠所述第二区域的区域中。
在另一实施方案中,一种发光器件封装包括:主体;在所述主体上的第一和第二电极层;在所述主体上电连接所述第一和第二电极层的发光器件;和在所述主体上围绕所述发光器件的模制构件,其中所述发光器件包括:导电支撑层;在所述导电支撑层上的透明导电层,所述透明导电层包括具有第一电导率的第一区域和具有比所述第一电导率低的第二电导率的第二区域;在所述透明导电层上的发光结构层,所述发光结构层包括第一导电型半导体层、第二导电型半导体层和位于所述第一导电型半导体层和所述第二导电型半导体层之间的有源层;以及电极,其中所述电极的至少一部分设置在所述发光结构层的垂直交叠所述第二区域的区域中。
在另一实施方案中,一种利用发光器件作为光源的照明系统包括:衬底;和所述衬底上的至少一个发光器件,其中所述发光器件包括:导电支撑层;在所述导电支撑层上的透明导电层,所述透明导电层包括具有第一电导率的第一区域和具有比所述第一电导率低的第二电导率的第二区域;在所述透明导电层上的发光结构层,所述发光结构层包括第一导电型半导体层、第二导电型半导体层和位于所述第一导电型半导体层和所述第二导电型半导体层之间的有源层;以及电极,其中所述电极的至少一部分设置在所述发光结构层的垂直交叠所述第二区域的区域中。
在另一实施方案中,一种制造照明系统的方法包括:在生长衬底上形成发光结构层;形成透明导电层,所述透明导电层包括与所述发光结构层的第一区域接触的第一透明导电层和与所述发光器件的第二区域接触的第二透明导电层;在所述透明导电层上形成导电支撑层;移除所述生长衬底;和在通过移除所述生长衬底所暴露出的所述发光结构层上形成电极,以允许所述电极的至少一部分垂直交叠所述第二区域,其中所述第一透明导电层和所述第二透明导电层利用彼此不同的沉积工艺或沉积工艺条件由彼此相同的材料形成。
在另一实施方案中,一种制造发光器件的方法包括:形成第一半导体层;形成与所述第一半导体层相邻的有源层;形成与所述有源层相邻的第二半导体层,所述有源层设置在所述第一和第二半导体层之间;形成透明导电层,所述透明导电层包括与所述第二半导体层的第一区域接触的第一透明导电区域和与所述第二半导体层的第二区域接触的第二透明导电区域;在所述透明导电层上形成导电支撑层;和形成与所述第一半导体层相邻的电极,以允许所述电极的至少一部分与所述第二区域垂直对齐,其中所述第一和第二半导体层具有不同的导电类型。
所述第一和第二透明导电区域可由相同和不同类别的材料或由相同或不同的材料形成。
如果由相同的材料或相同类别的材料形成,则所述第一和第二透明导电区域可以利用不同的沉积工艺或相同沉积工艺的不同条件形成。此外,所述第一或第二透明导电区域之一利用溅射工艺形成,而所述第一或第二透明导电区域中的另一个利用蒸发工艺形成。此外,所述第一和第二透明导电区域形成为具有不同的功函数。
或者,所述第一和第二透明导电区域由不同的材料形成。
此外,所述第一和第二透明导电区域具有不同的电导率和/或不同的功函数和/或不同的比接触电阻率。所述第一或第二透明导电区域之一与所述第二半导体层欧姆接触,其中所述第一或第二透明导电区域中的另一个与所述第二半导体层肖特基接触。
此外,根据一个变化方案,电流以不同的速率或以不同的量通过所述第一和第二透明导电区域流入所述第二半导体层。通过所述第一区域流入所述第二半导体层的电流量大于通过所述第二区域流入所述第二半导体层的电流量。
所述方法还可以包括在所述第一和第二导电区域与所述导电支撑层之间形成反射层。
此外,在一个实施方案中,所述第一和第二区域基本位于同一平面内。在另一实施方案中,所述第二区域与所述第一区域间隔开。在另一实施方案中,所述第一区域接触所述第二区域。
此外,所述第二区域可由在所述第一区域和所述导电支撑层之间延伸的材料形成。在所述第一区域和所述导电支撑层之间延伸的材料的宽度与所述第二区域的宽度之和小于所述第一半导体层、所述有源层或所述第二半导体层中的至少其一的宽度。或者,第一区域可由在所述第二区域和所述导电支撑层之间延伸的材料制成。
附图说明
图1是根据第一实施方案的发光器件的视图。
图2是根据第二实施方案的发光器件的视图。
图3是根据第三实施方案的发光器件的视图。
图4是根据第四实施方案的发光器件的视图。
图5是根据第五实施方案的发光器件的视图。
图6-11是显示发光器件制造方法的一个实施方案的各个制造阶段的视图。
图12是发光器件封装的一个实施方案的视图,该发光器件封装包括发光器件的任意实施方案。
图13是背光单元的一个实施方案的视图,该背光单元包括发光器件或发光器件封装的任意实施方案。
图14是照明单元的一个实施方案的视图,该照明单元包括发光器件或发光器件封装的任意实施方案。
具体实施方式
图1显示发光器件的第一实施方案,其包括导电支撑层80、在导电支撑层80上的反射层70以及在反射层70上的透明导电层60,所述透明导电层60包括第一透明导电层61和第二透明导电层62。发光器件还具有在透明导电层60上的发光结构层50和在发光结构层50上的电极90,所述发光结构层50包括第一导电型半导体层20、有源层30和第二导电型半导体层40。
导电支撑层80可由Cu、Ti、Cr、Ni、Al、Pt、Au、W或导电半导体材料中的至少一种形成。反射层70可由包括Ag、Al、Cu、Ni中的至少一种金属或具有高反光性的其它材料形成。反射层70可以选择性地形成,并且反射层70不是必须设置在导电支撑层80和透明导电层60之间。
第一透明导电层61的一部分垂直交叠并可接触发光结构层50,而第一透明导电层61的其余部分设置在发光结构层50之外。第一透明导电层61的设置在发光结构层50之外的部分(即第一透明导电层61的外围部分)可以在例如用于将发光结构层50分成单元芯片的隔离蚀刻工艺期间防止反射层70或导电支撑层80产生碎片。
第二透明导电层62的一部分可以设置在第一透明导电层61的下方,而第二透明导电层62的另一部分可以设置在半导体层40和反射层70之间。第二透明导电层62可具有大于第一透明导电层61的面积。此外,第二透明导电层62的一部分可以在发光结构层50的方向上突出。
透明导电层60可由透明导电氧化物(TCO)、透明导电氮化物(TCN)、或透明导电氮氧化物(TCON)中的至少一种形成。在其它实施方案中可以使用不同的材料。
根据一个实施方案,透明导电层60可由透光率为约50%以上且表面电阻为10Ω/□以下的材料形成。可以将In、Sn、Zn、Cd、Ga、Al、Mg、Ti、Mo、Ni、Cu、Ag、Au、Sb、Pt、Rh、Ir、Ru或Pd中的至少一种与O或N中的至少一种结合以形成透明导电层60。
例如,TCO可以为氧化铟锡(ITO)、ZnO、掺杂铝的氧化锌(AZO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锑锡(ATO)、氧化锌铟锡(ZITO)、Sn-O、In-O或Ga-O中的一种,TCN可以是TiN、CrN、TaN或In-N中的至少一种。透明导电氮氧化物可以是氮氧化铟锡(ITON)、ZnON、O-In-N或氮氧化铟锌(IZON)中的一种。
第一透明导电层61和第二透明导电层62可由相同的材料形成,并且可以利用相同或不同的沉积工艺形成。这些工艺可包括例如蒸发工艺、溅射工艺、喷涂热解工艺、CVD工艺、浸涂工艺、反应离子镀覆工艺、湿涂覆工艺、丝网印刷工艺或激光技术中的至少一种。
第一透明导电层61和第二透明导电层62可以根据沉积工艺而具有彼此不同的电学性质,即使第一和第二透明导电层由相同的材料形成也是如此。此外,第一透明导电层61和第二透明导电层62可以具有彼此不同的电学性质,即使第一和第二透明导电层利用相同的沉积工艺和材料形成也是如此。
例如,第一透明导电层61可利用溅射工艺形成,第二透明导电层62可利用蒸发工艺由与第一透明导电层61相同的材料形成。在该情况下,第一透明导电层61可由功函数大于第二导电透明层62的功函数的材料形成。
例如,当利用溅射工艺形成第一透明导电层61时,可以将等离子体功率设定为低值。当利用溅射工艺形成第二透明导电层62时,可以将等离子体功率设定为高值。在该情况下,第一透明导电层61可以具有高于第二透明导电层62的功函数。
在根据第一实施方案的发光器件中,相对于发光结构层50的第二导电型半导体层40,第一透明导电层61和第二透明导电层62可以具有彼此不同的电学性质。例如,相对于第二导电型半导体层40,第二透明导电层62可以具有低于第一透明导电层61的电流注入性能。也就是说,当与第一透明导电层61比较时,第二透明导电层62可具有降低的电导率。在不同的实施方案中可存在电学性质上的其它差异。
第一透明导电层61可以与半导体层40进行欧姆接触,第二透明导电层62可与半导体层40进行肖特基接触。因此,在电极90和导电支撑层80之间流动的多数电流都可以流入第一透明电极层61与半导体层40接触的区域。
第二透明导电层62与半导体层40接触的区域的至少一部分可以垂直交叠电极90。因此,在电极90和导电支撑层80之间流动的电流可以通过第一透明导电层61和半导体层40广泛地或大部分流入发光结构层50,以提高发光器件的光效率。
根据一个实施方案,由于第一透明导电层61和第二透明导电层62由相同的材料形成,所以可以不将第一透明导电层61与第二透明导电层62进行明确区分。然而,在透明导电层60(即第一透明导电层61和第二透明导电层62)由一种或相同材料形成的情况下,第一透明导电层61和第二透明导电层62可根据其区域而具有彼此不同的电学性质。更具体而言,垂直交叠电极90的部分的电导率可低于不交叠电极90的部分的电导率。
例如,第一透明导电层61与第二导电型半导体层40接触的区域可以是具有第一电导率的第一区域。此外,第二透明导电层62与第二导电型半导体层40接触的区域可以是具有第二电导率的第二区域。尽管可以不明确区分第一透明导电层61和第二透明导电层62,但是透明导电层60的至少一部分可以垂直交叠电极90。因此,透明导电层60可以包括具有相对低电导率的第二区域和具有高于第二区域的电导率的第一区域。
发光结构层50的一个或更多个层可由GaN基半导体材料形成,所述GaN基半导体材料例如但不限于GaN、InGaN、AlGaN或InAlGaN。在其它实施方案中可以使用不同的半导体材料。
例如,第一导电型半导体层20可以包括由半导体材料形成的N型半导体层,所述半导体材料具有例如组成式InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)例如InAlGaN、GaN、AlGaN、AlInN、InGaN、AlN或InN,并且掺杂有N型掺杂剂如Si、Ge或Sn。
有源层30是其中通过第一导电型半导体层20注入的电子(或空穴)与通过第二导电型半导体层40注入的电子(空穴)相遇从而由于能带的带隙差而发射光的层,所述能带的带隙差取决于有源层30的形成材料。
有源层30可具有单量子阱结构、多量子阱结构(MQW)、量子点结构、量子线结构以及多种其它结构中的一种。有源层30可由具有组成式InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)的材料形成。当有源层30具有MQW结构时,可以堆叠多个阱层和多个势垒层以形成有源层30。例如,有源层30可具有InGaN阱层和/或GaN势垒层的循环。
可以在有源层30之上/或下设置其中掺杂有N型或P型掺杂剂的覆层(未显示)。覆层(未显示)可以利用AlGaN层或InAlGaN层实现。
例如,第二导电型半导体层40可利用由半导体材料形成的P型半导体层实现,所述半导体材料具有例如组成式InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1)例如InAlGaN、GaN、AlGaN、AlInN、InGaN、AlN或InN,并且掺杂有P型掺杂剂如Mg、Zn、Ca、Sr或Ba。
根据一个实施方案,第一导电型半导体层20可包括P型半导体层,第二导电型半导体层40可包括N型半导体层。此外,可以在第二导电型半导体层40上设置包括N型或P型半导体层的第三半导体层(未显示)。因此,发光结构层50可以具有np结结构、pn结结构、npn结结构或pnp结结构中的至少一种。此外,可以将杂质以均匀或非均匀的浓度掺杂到第一导电半导体层20和第二导电型半导体层40中。
因此,包括第一导电型半导体层20、有源层30和第二导电型半导体层40的发光结构层50可以具有多种结构,而不限于实施方案中示意性例举的发光结构层50的结构。
电极90可设置在第一导电型半导体层20上,并且可以包括Au、Al或Pt中的至少一种金属以便于进行导线接合工艺。
根据第一实施方案的发光器件可以控制通过透明导电层60进入发光结构50中的电流的流动。因为透明导电层60具有约50%以上的透光率,所以在有源层30中产生的大部分光可不被吸收到透明导电层60中,而是可被反射层70反射。因此,因为大部分光被发射到外侧(外部),所以可以提高发光器件的光效率。
图2显示发光器件的第二实施方案,其可以具有与根据第一实施方案的发光器件相同的结构,只是透明导电层60的结构不同。
更具体而言,在第一实施方案中,第二透明导电层62可以设置在第一透明导电层61和反射层70之间的基本整个区域上。然而,在第二实施方案中,第二透明导电层62部分设置在第一透明导电层61和反射层70之间。因此,反射层70的一部分可以直接接触第一透明导电层61
此外,不一定必须提供反射层70。例如,当未设置反射层70时,导电支撑层80的一部分可以直接接触第一透明导电层61。
图3显示发光器件的第三实施方案,其具有与第一实施方案相同或相似的结构,只是透明导电层60的结构不同。在第一实施方案中,第二透明导电层62可以设置在第一透明导电层61和反射层70之间的整个区域上。然而,在第三实施方案中,第二透明导电层62不设置在第一透明导电层61和反射层70之间。
相反,第一透明导电层61设置在与第二透明导电层62基本相同的层中,并且第一透明导电层61和第二透明导电层62不相互垂直交叠。因此,反射层70的一部分可以直接接触第一透明导电层61,并且反射层70的其余部分可以不直接接触第二透明导电层62。
在第三实施方案中,不一定必须提供反射层70。例如,当未设置反射层70时,导电支撑层80的一部分可以直接接触第一透明导电层61,而导电支撑层80的其余部分可以直接接触第二透明导电层62。
图4显示发光器件的第四实施方案,其具有与根据第一实施方案的发光器件相同或相似的结构,只是透明导电层60的结构不同。在第一实施方案中,第二透明导电层62设置在第一透明导电层61和反射层70之间的整个区域上。
然而,在第四实施方案中,第二透明导电层62不设置在第一透明导电层61和反射层70之间。此外,第一透明导电层61设置在第二透明导电层62的一部分和反射层70之间。因此,反射层70的一部分可以直接接触第一透明导电层61,而反射层70的其余部分可以不直接接触第二透明导电层62。
在该实施方案中,不一定必须提供反射层70。例如,当未设置反射层70时,导电支撑层80的一部分可以直接接触第一透明导电层61,而导电支撑层80的其余部分可以直接接触第二透明导电层62。
图5显示发光器件的第四实施方案,其可以具有与根据第一实施方案的发光器件相同或相似的结构,只是透明导电层60的结构不同。在第一实施方案中,第二透明导电层62设置在第一透明导电层61和反射层70之间的基本整个区域上。
然而,在第五实施方案中,第二透明导电层62不设置在第一透明导电层61和反射层70之间,而是可以设置在与第一透明导电层61基本相同的平面内。此外,第一透明导电层61和第二透明导电层62彼此间隔开,并且反射层70的一部分设置在第一和第二透明导电层61和62之间。此外,反射层70的这些部分可以直接接触发光结构层50。
在该实施方案中,不一定必须提供反射层70。例如,当未设置反射层70时,导电支撑层80的一部分可以直接接触第一透明导电层61和第二透明导电层62,而导电支撑层80的其余部分可以直接接触发光结构层50。
图6至11显示在一个方法实施方案中所包含的步骤的结果,所述方法可用于制造发光器件的任意实施方案。
参考图6,在生长衬底10上形成包括第一导电型半导体层20、有源层30和第二导电型半导体层40的发光结构层50。此外,在发光结构层50上形成第一透明导电层61
尽管未显示,但是可以在生长衬底10上形成包括缓冲层(未显示)的未掺杂氮化物层(未显示),并且随后可以在未掺杂氮化物层上形成第一导电型半导体层20。衬底10可由蓝宝石(Al2O3)、Si、SiC、GaAs、ZnO或MgO中的一种形成,而未掺杂氮化物层可以包括GaN基半导体层。例如,通过与氢气和氨气一起向室中注入三甲基镓(TMGa)生长的未掺杂GaN层可以用作未掺杂氮化物层。
可以将包含三甲基镓(TMGa)气体和N型杂质(例如Si)的硅烷气体(SiH4)与氮气和氨气一起注入室中以生长第一导电型半导体层20。然后,在第一导电型半导体层20上形成有源层30和第二导电型半导体层40。
如上所述,有源层30可以具有单量子阱结构或多量子阱(MQW)结构。例如,有源层30可以具有InGaN阱层/GaN势垒层的堆叠结构。
可以将含有三甲基镓(TMGa)气体和P型杂质(例如Mg)的二(乙基环戊二烯基)镁(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}气体与氮气和氨气一起注入室中以生长第二导电型半导体层40。
在除第二导电型半导体层40的部分区域之外的区域形成第一透明导电层61。其中不形成第一透明导电层61的区域是其中电极90的至少一部分(其将在下文描述)可以垂直交叠的区域。第一透明导电层61可以利用例如溅射工艺形成。
参考图7,在第一透明导电层61和第二导电型半导体层40的一部分区域上形成第二透明导电层62。第二透明导电层62可利用例如蒸发工艺形成。
第一透明导电层61和第二透明导电层62可以包括透明导电氧化物层、透明导电氮化物层或透明导电氮氧化物层中的至少一种。此外,第一透明导电层61和第二透明导电层62可由相同的材料形成。
第一透明导电层61可以具有第一电导率,第二透明导电层62可以具有比第一电导率低的第二电导率。
或者,第一透明导电层61可以具有第一功函数,第二透明导电层62可以具有比第一功函数低的第二功函数。
或者,第一透明导电层61可以在接触第二导电型半导体层62的表面上具有第一比接触电阻率,第二透明导电层62可以在接触第二导电型半导体层62的表面上具有比第一比接触电阻率高的第二比接触电阻率。
或者,第一透明导电层61可以与第二导电型半导体层40进行欧姆接触,第二透明导电层62可以与第二导电型半导体层40进行肖特基接触。
可以改变形成第一透明导电层61和第二透明导电层62的方法以形成图1-5的实施方案。
为了形成图1中的第一实施方案,形成第一透明导电层61以使其中央部分暴露于第二导电型半导体层40上,并在第二导电型半导体层40的中央部分和第一透明导电层61的整个区域上形成第二透明导电层62。
为了形成图2中的第二实施方案,形成第一透明导电层61以使其中央部分暴露于第二导电型半导体层40上,并在第二导电型半导体层40的中央部分和第一透明导电层61的部分区域上形成第二透明导电层62。
为了形成图3中的第三实施方案,形成第一透明导电层61以使其中央部分暴露于第二导电型半导体层40上,并在第二导电型半导体层40的中央部分上形成第二透明导电层62。
为了形成图4中的第四实施方案,在第二导电型半导体层40的中央部分上形成第二透明导电层62,并在第二透明导电层62的部分区域和第二导电型半导体层40上形成第一透明导电层61。
为了形成图5中的第五实施方案,在第二导电型半导体层40的中央部分上形成第一透明导电层61,并在第二导电型半导体层40上形成第二透明导电层62以使第二透明导电层62与第一透明导电层61间隔开。
参考图8和9,可以在透明导电层60上形成反射层70,并且可以在反射层70上形成导电支撑层80。
参考图10和11,移除生长衬底10。尽管未显示,但是在移除生长衬底10之后,可以进行将发光器件分成单元芯片的隔离蚀刻工艺以使第一透明导电层61的一部分向上暴露出,如图1-5所示。
在第一导电型半导体层20上形成电极90。电极90可设置为允许其至少一部分垂直交叠第二透明导电层62与第二导电型半导体层40接触的区域。
图12显示发光器件封装的一个实施方案,其包括主体200、设置在主体200上的第一和第二电极层210和220、设置在主体200上且电连接至第一和第二电极层210和220的发光器件100、以及围绕发光器件100的模制构件400。主体200可由硅材料、合成树脂材料或金属材料形成,并且在发光器件100周围可形成倾斜表面。
第一和第二电极层210和220彼此电隔离并向发光器件100供电。此外,第一和第二电极层210和220可反射发光器件100中产生的光以提高光效率。此外,第一和第二电极层210和220可以排出发光器件100中产生的热。
发光器件100可以应用于图1至5中所示的发光器件,并且发光器件100可以设置在主体200上或第一或第二电极层210或220上。此外,发光器件100可通过导线200与第一电极层210和/或第二电极层220电连接。由于在该实施方案中描述的是垂直型发光器件100,所以只使用一根导线200。然而,在其它实施方案中和/或对于其它类型的LED,可以使用多根导线。
模制构件400可以围绕发光器件100以保护发光器件100。此外,模制构件400中可包含磷光体以改变发光器件100所发射的光的波长。
多个发光器件封装可以阵列布置在衬底上。可以在从发光器件封装所发射的光的光路上设置诸如导光板、棱镜片、散射片和/或荧光片的光学构件。所述发光器件封装、衬底和光学构件可以用作背光单元或照明单元。更具体而言,可以利用本文所述的实施方案形成照明系统,包括背光单元、照明单元、指示装置、灯或街灯。
图13显示背光单元1100的一个实施方案,其具有底框1140、设置在底框1140中的导光构件1120和设置在导光构件1120的至少一侧或底表面上的发光模块1110。可以在导光构件1120下方设置反射片1130。
底框1140可以具有开放上侧的盒形状以容纳导光构件1120、发光模块1110和反射片1130。底框1140可由例如金属或树脂材料形成。
发光模块1110可包括衬底700和安装在衬底700上的多个发光器件封装600。多个发光器件封装600可以向导光构件1120提供光。在发光模块1110中,虽然以发光器件封装600设置在衬底700上作为示例,但是其它实施方案可以直接设置。
如图13所示,发光模块1110可以设置在底框1140的多个内表面中的任一表面上。因此,发光模块1110可以朝向导光构件1120的至少一个侧面提供光。
此外,发光模块1110可以设置在底框1140下方以朝向导光构件1120的上表面提供光。这可以根据背光单元1100的设计而变化。
导光构件1120可以设置在底框1140内并且可以接收发光模块1110所提供的光以产生平面光,然后将平面光导向液晶面板(未显示)。
例如,导光构件1120可以是导光板(LGP)。LGP可以由基于树脂的材料如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)树脂、环烯烃共聚物(COC)树脂或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)树脂中的一种形成。
光学片1150可以设置在导光构件1120上方。
例如,光学片1150可以包括散射片、集光片、增亮片或荧光片中的至少一种。例如,可以堆叠散射片、集光片、增亮片和荧光片以形成光学片1150。在该情况下,散射片1150可以将发光模块1110所发射的光均匀散射,并且可以将散射光通过集光片聚集到显示面板(未显示)。
集光片所发射的光可以是随机偏振光,而增亮片可以提高集光片所发射的光的偏振程度。集光片可以为例如水平和/或垂直的棱镜片,而增亮片可以为双增亮膜。荧光片可以为包含磷光体的透光板或膜。
反射片1130可以设置在导光构件1120下方,并且可以将经由导光构件1120下表面发射的光朝向导光构件1120的发光表面反射。反射片可由具有优异反射性的材料如PET、PC或PVC树脂形成。
图14是显示照明单元1200的一个实施方案,包括根据本文所述任意实施方案的发光器件或发光器件封装。参考图14,照明单元1200可包括壳体1210、设置在壳体1210上的发光模块1230、设置在壳体1210上以接收来自外部电源的电力的连接端子1220。
壳体1210可由具有良好散热性的材料如金属材料或树脂材料形成。
发光模块1230可包括衬底700和安装在衬底700上的至少一个发光器件封装600。在发光模块1110中,虽然以发光器件封装600设置在衬底700上作为示例,但是发光器件100可以直接设置。
可以将电路图案印刷在电介质上以形成衬底700。例如,衬底700可包括印刷电路板(PCB)、金属芯PCB、柔性PCB和陶瓷PCB。此外,衬底700可由有效反射材料形成或具有从其表面有效反射光的颜色,如白色或银色。
至少一个发光器件封装600可以安装在衬底700上并且可以包括至少一个发光二极管(LED)。LED可包括分别发射红色、绿色、蓝色和白色光的彩色LED和发射UV(紫外)光的紫外(UV)LED。
发光模块1230可具有各种LED组合以获得彩色效果和亮度。例如,可以组合白色、红色和绿色LED以获得高显色指数(CRI)。
此外,可以在发光模块1230所发射的光的路径上设置荧光片。荧光片改变发光模块1230所发射的光的波长。例如,当发光模块1230所发射的光为蓝色波段内的光时,荧光片可以包含黄色磷光体。因此,发光模块1230所发射的光穿过荧光片后最终发射出白光。
连接端子1220可以电连接至发光模块1230以向其供电。参考图14,连接端子1220可以以插座方式螺旋连接至外部电源,但是在其它实施方案中可以使用不同的连接布置。例如,连接端子1220可以具有插针形状并可由此插入外部电源。或者,连接端子1220可以通过导线与外部电源连接。
如前所述,可以在发光模块所发射的光的路径上设置导光构件、散射片、集光片、增亮片和荧光片中的至少其一以获得期望的光学效果。
此外,如前所述,因为照明系统可包括因电流扩散特性而具有优异光效率的发光器件封装,所以所述照明系统可具有优异的光效率。
应理解,当层(或膜)被称为在另一层或衬底“上”时,其可以直接位于另一层或衬底上,或者也可以存在中间层。此外,还应理解,当层被称为在另一层“下”时,其可以直接位于另一层下,或者也可以存在一个或更多个中间层。另外,关于每一层的“上”和“下”的描述是基于附图而言的。
在附图中,为了便于描述和清楚起见,每个层的厚度或尺寸被放大、省略或示意性示出。此外,每个元件的尺寸并不完全反应实际尺寸。
该说明书中提及的“一个实施方案”、“实施方案”、“示例性实施方案”等是指关于实施方案所描述的具体特征、结构或特征包含在本发明的至少一个实施方案中。说明书中各处使用的这类短语不一定都是指相同的实施方案。此外,当针对任意实施方案描述具体的特征、结构或特征时,针对实施方案的其它特征、结构或特性来实现该特征、结构或特性也在本领域技术人员的范围内。任意一个实施方案的技术特征可以与其余实施方案的一个或多个技术特征进行组合。
虽然已经参照本发明的多个示例性实施方案描述本发明,但是应理解,本领域的技术人员可以设计多种其它修改方案和实施方案,它们也在本公开内容的原理的精神和范围内。更具体地,可以对本公开内容、附图和所附权利要求中的主题组合布置的组成部分和/或布置进行各种变化和修改。除了对组成部分和/或布置进行变化和修改之外,替代用途对本领域的技术人员而言也是明显的。
Claims (20)
1.一种发光器件,包括:
导电支撑层;
透明导电层,所述透明导电层包括与所述导电支撑层相邻的第一透明导电区域和与所述第一透明导电区域和所述导电支撑层相邻的第二透明导电区域,所述第二透明导电区域具有比所述第一透明导电区域低的电导率;
在所述透明导电层和所述导电支撑层之间的反射层;
与所述透明导电层相邻的第一半导体层;
与所述第一半导体层相邻的有源层;
与所述有源层相邻的第二半导体层,所述有源层位于所述第一半导体层和所述第二半导体层之间;和
与所述第二半导体层相邻的电极,其中:
所述导电支撑层、所述透明导电层、所述第一半导体层、所述有源层、所述第二半导体层和所述电极在第一方向上堆叠,
所述第一半导体层和所述第二半导体层具有不同的导电类型,
所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域在第二方向上彼此相邻,和
所述电极在所述第一方向上至少部分交叠所述第二透明导电区域,
其中所述第二透明导电区域的至少一部分在所述第一半导体层的底表面的中央部分处接触所述第一半导体层,并且所述第一透明导电区域的至少一部分在所述第一半导体层的底表面的外围部分处接触所述第一半导体层,和
其中所述反射层接触所述第一透明导电区域的底表面的外围部分和所述第二透明导电区域。
2.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域是不同的导电层。
3.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域由非绝缘材料制成。
4.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域具有第一功函数,所述第二透明导电区域具有比所述第一功函数低的第二功函数。
5.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域与所述第一半导体层欧姆接触,所述第二透明导电区域与所述第一半导体层肖特基接触。
6.如权利要求1所述的发光器件,其中所述透明导电层由透光率为约50%以上和表面电阻为约10Ω/□以下的材料形成。
7.如权利要求1所述的发光器件,其中所述透明导电层由透明导电氧化物(TCO)、透明导电氮化物(TCN)或透明导电氮氧化物(TCON)中的至少一种形成。
8.如权利要求7所述的发光器件,其中所述透明导电氧化物包括氧化铟锡(ITO)、ZnO、掺杂铝的氧化锌(AZO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锑锡(ATO)、氧化锌铟锡(ZITO)、Sn-O、In-O或Ga-O中的一种,所述透明导电氮化物包括TiN、CrN、TaN或In-N中的至少一种,并且所述透明导电氮氧化物包括氮氧化铟锡(ITON)、ZnON、O-In-N或氮氧化铟锌(IZON)中的一种。
9.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域由不同的材料形成。
10.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域由同一类材料形成。
11.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域由相同的材料形成。
12.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域的一部分垂直交叠所述第二透明导电区域。
13.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第二透明导电区域由在所述第一透明导电区域下方延伸的材料制成,并且其中所述第二透明导电区域的宽度和所述在所述第一透明导电区域下方延伸的材料的宽度之和小于所述第一半导体层、所述第二半导体层和所述有源层中的每一个的宽度。
14.如权利要求1所述的发光器件,其中所述第二透明导电层的一部分垂直交叠所述第一透明导电区域。
15.一种封装,包括如权利要求1所述的发光器件。
16.一种照明系统,包括如权利要求1所述的发光器件。
17.一种发光器件,包括:
导电支撑层;
透明导电层,所述透明导电层包括与所述导电支撑层相邻的第一透明导电区域和与所述第一透明导电区域和所述导电支撑层相邻的第二透明导电区域,所述第二透明导电区域具有比所述第一透明导电区域低的电导率;
在所述透明导电层和所述导电支撑层之间的反射层;
与所述透明导电层相邻的第一半导体层;
与所述第一半导体层相邻的有源层;
与所述有源层相邻的第二半导体层,所述有源层位于所述第一半导体层和所述第二半导体层之间;和
与所述第二半导体层相邻的电极,其中:
所述导电支撑层、所述透明导电层、所述第一半导体层、所述有源层、所述第二半导体层和所述电极在第一方向上堆叠,
所述第一半导体层和所述第二半导体层具有不同的导电类型,
所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域在第二方向上彼此相邻,和
所述电极在所述第一方向上至少部分交叠所述第二透明导电区域,
其中所述第二透明导电区域在所述第一半导体层的底表面的中央部分处接触所述第一半导体层,并且所述第一透明导电区域的至少一部分在所述第一半导体层的底表面的外围部分处接触所述第一半导体层,
其中所述第一透明导电区域和所述第二透明导电区域的至少一个表面是共平面的,和
其中所述反射层接触所述第二透明导电区域和所述第一透明导电区域。
18.如权利要求17所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域具有第一功函数,所述第二透明导电区域具有比所述第一功函数低的第二功函数。
19.如权利要求17所述的发光器件,其中所述第一透明导电区域与所述第二透明导电区域在所述第一半导体层的底表面的中央部分处间隔开。
20.如权利要求19所述的发光器件,其中所述反射层接触所述第二透明导电区域、所述第一半导体层和所述第一透明导电区域。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20090128391A KR101020945B1 (ko) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
KR10-2009-0128391 | 2009-12-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102130104A CN102130104A (zh) | 2011-07-20 |
CN102130104B true CN102130104B (zh) | 2013-10-23 |
Family
ID=43828412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201010598857XA Expired - Fee Related CN102130104B (zh) | 2009-12-21 | 2010-12-10 | 发光器件及制造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8102484B2 (zh) |
EP (1) | EP2337098B1 (zh) |
JP (3) | JP5379116B2 (zh) |
KR (1) | KR101020945B1 (zh) |
CN (1) | CN102130104B (zh) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8148733B2 (en) * | 2007-06-12 | 2012-04-03 | SemiLEDs Optoelectronics Co., Ltd. | Vertical LED with current guiding structure |
KR101039946B1 (ko) * | 2009-12-21 | 2011-06-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
KR101020945B1 (ko) * | 2009-12-21 | 2011-03-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
KR101047655B1 (ko) * | 2010-03-10 | 2011-07-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템 |
JP5620846B2 (ja) * | 2011-02-16 | 2014-11-05 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
CN102832299B (zh) * | 2011-06-17 | 2015-10-21 | 广东量晶光电科技有限公司 | 一种层状透明导电层led芯片的制备方法 |
KR101916144B1 (ko) | 2012-05-16 | 2018-11-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자, 발광소자 패키지 및 라이트 유닛 |
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JP6595801B2 (ja) * | 2014-05-30 | 2019-10-23 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | 発光素子 |
CN104779332B (zh) * | 2015-04-14 | 2017-07-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 光源及背光模组 |
KR102656859B1 (ko) * | 2016-10-21 | 2024-04-12 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 반도체 소자 및 이를 포함하는 반도체 소자 패키지 |
JP6824501B2 (ja) * | 2017-02-08 | 2021-02-03 | ウシオ電機株式会社 | 半導体発光素子 |
JP7360822B2 (ja) * | 2019-06-13 | 2023-10-13 | ローム株式会社 | 半導体発光装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6995401B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-02-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Light emitting device and method of fabricating the same |
JP4159865B2 (ja) * | 2002-12-11 | 2008-10-01 | シャープ株式会社 | 窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法 |
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KR101428088B1 (ko) | 2008-08-12 | 2014-08-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR100962899B1 (ko) | 2008-10-27 | 2010-06-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR100962898B1 (ko) | 2008-11-14 | 2010-06-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR100992776B1 (ko) | 2008-11-14 | 2010-11-05 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR101064070B1 (ko) | 2008-11-25 | 2011-09-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 |
KR100974776B1 (ko) | 2009-02-10 | 2010-08-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 |
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KR101117642B1 (ko) * | 2009-11-16 | 2012-03-05 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR101039946B1 (ko) * | 2009-12-21 | 2011-06-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
KR101020945B1 (ko) * | 2009-12-21 | 2011-03-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 패키지 및 발광 소자 제조방법 |
KR100999747B1 (ko) * | 2010-02-10 | 2010-12-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 |
JP5853804B2 (ja) * | 2012-03-23 | 2016-02-09 | 東洋紡株式会社 | 真空蒸着装置 |
-
2009
- 2009-12-21 KR KR20090128391A patent/KR101020945B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-12-10 CN CN201010598857XA patent/CN102130104B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-14 JP JP2010278058A patent/JP5379116B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-15 EP EP10195174.7A patent/EP2337098B1/en active Active
- 2010-12-21 US US12/974,360 patent/US8102484B2/en active Active
-
2011
- 2011-12-21 US US13/333,593 patent/US8564738B2/en active Active
-
2013
- 2013-09-26 JP JP2013199676A patent/JP5882276B2/ja active Active
- 2013-10-17 US US14/056,668 patent/US9166113B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-02-04 JP JP2016019674A patent/JP6267245B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120091492A1 (en) | 2012-04-19 |
EP2337098A2 (en) | 2011-06-22 |
JP6267245B2 (ja) | 2018-01-24 |
JP2011129921A (ja) | 2011-06-30 |
US8102484B2 (en) | 2012-01-24 |
US20140110734A1 (en) | 2014-04-24 |
JP5379116B2 (ja) | 2013-12-25 |
US8564738B2 (en) | 2013-10-22 |
EP2337098A3 (en) | 2014-06-18 |
US20110147780A1 (en) | 2011-06-23 |
CN102130104A (zh) | 2011-07-20 |
US9166113B2 (en) | 2015-10-20 |
JP5882276B2 (ja) | 2016-03-09 |
JP2016129235A (ja) | 2016-07-14 |
EP2337098B1 (en) | 2019-06-19 |
KR101020945B1 (ko) | 2011-03-09 |
JP2013254991A (ja) | 2013-12-19 |
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KR20130064251A (ko) | 발광 소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131023 Termination date: 20191210 |