CN102016697A - 支架载置台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种支架载置台，在基板处理系统中该支架载置台排列玻璃基板以及/或者支架的位置，以便玻璃基板能够以排列并安装在支架上的状态被加载到基板装载盘上。根据本发明的支架载置台(100)用于装载并收纳支架(140)以及与该支架(140)相对应的玻璃基板(10)，该支架载置台(100)包括：同时排列支架(140)和玻璃基板(10)的对准部(200)，以及旋转上述对准部(200)的对准旋转部(150)。
Description
技术领域
本发明涉及一种支架载置台，特别涉及在负责平板显示器的制造工序中的蒸镀工序或退火工序的基板处理系统中，排列玻璃基板及/或支架的位置，以便能够将玻璃基板以排列安装在支架上的状态加载到基板装载盘上的支架载置台。
背景技术
使用于平板显示器制造的基板处理系统大致分为蒸镀装置和退火装置。
蒸镀装置是负责形成构成平板显示器核心结构的透明导电层、绝缘层、金属层或者硅层的工序的装置。作为蒸镀装置有像LPCVD(low pressure chemical vapor deposition：低压化学气相沉积)、PECVD((plasma enhanced chemical vapor deposition：等离子体增强化学气相沉积)等这样的化学气相蒸镀装置和像溅射装置(sputtering)这样的物理气相蒸镀装置。另外，退火装置是负责为了蒸镀工序之后的结晶化、相变化等而伴随的热处理工序的装置。
通常，为了执行如上所述的蒸镀工序和退火工序，需要经过将玻璃基板以安装在支架上的状态加载到提供基板处理空间的处理腔室内的过程。
最近，为了提高基板处理的生产率，使用同时处理多个玻璃基板的批处理式基板处理系统的情况逐渐在增加。在批处理式基板处理系统中，以多个玻璃基板分别安装在各个支架上而被加载到基板装载盘的状态，将基板装载到处理腔室内进行基板处理。因此，通过批处理式基板处理系统执行基板处理的时候，需要经过将安装在支架上的玻璃基板从支架载置台输送到基板装载盘的过程。
另一方面，为了使玻璃基板和支架被加载到基板装载盘(substrate boat)的规定位置，需要使玻璃基板和支架排列并加载在支架载置台上的规定位置。如果不这样，则在输送过程中玻璃基板和支架同支架载置台及/或基板装载盘碰撞而导致玻璃基板和支架受到损伤，或者发生玻璃基板和支架从传输臂上掉下的事故等，引起传输过程不顺利的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述现有技术问题而做出的，其目的在于提供一种支架载置台，能够将所加载的玻璃基板及/或支架正确地排列到规定位置，从而能够为了基板处理而将玻璃基板和支架顺利地输送至基板装载盘。
为了达到上述目的，根据本发明的支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其包括：对准部，其同时排列上述支架和上述玻璃基板；以及对准旋转部，其旋转上述对准部。
上述对准旋转部可以包括：对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。上述对准部可以包括：支架对准部，其排列上述支架；以及玻璃对准部，其排列上述玻璃基板。
上述对准部可以设置在上述支架和上述玻璃基板的四个角部。
上述对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部。
上述支架对准部可以包括：第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。
上述玻璃对准部可以包括：第二对准托架，其固定在上述第一对准托架上；以及玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。
另外，为了达到上述目的，根据本发明的支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其包括：对准部，其排列上述支架或上述玻璃基板；以及对准旋转部，其旋转上述对准部。
上述对准旋转部可以包括：对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。
上述对准部可以是排列上述支架的支架对准部或者排列上述玻璃基板的玻璃对准部中的任一个。
上述支架对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部，上述玻璃对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的其余两个角部上。
上述支架对准部可以包括：第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。
上述玻璃对准部可以包括：第二对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。
上述支架材质可以为石墨。
可以在上述支架的表面上涂覆有碳化硅。
根据如上构成的本发明，将加载在支架载置台上的玻璃基板及/或支架正确地排列到规定位置，因此，具有使得将玻璃基板和支架从支架载置台输送至基板装载盘的过程变得顺利的效果。
另外，根据本发明，使得将玻璃基板和支架从支架载置台输送至基板装载盘的过程变得顺利，从而具有提高基板处理的生产率且降低基板处理成本的效果。
附图说明
图1是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台结构的侧视图；
图2是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台结构的俯视图；
图3是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台的第一对准部的设置状态的立体图；
图4和图5是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台的第一对准部结构的分解立体图以及组装状态图；
图6和图7是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台的第二对准部结构的分解立体图以及组装状态图；
图8是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台结构的俯视图；
图9是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的支架对准部以及玻璃对准部的设置状态的立体图；
图10是图9的A部分的详细示意图；
图11是图9的B部分的详细示意图；
图12和图13是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第一支架对准部结构的分解立体图以及组装状态图；
图14和图15是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第二支架对准部结构的分解立体图以及组装状态图；
图16和图17是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第一玻璃对准部结构的分解立体图以及组装状态图；
图18和图19是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第二玻璃对准部结构的分解立体图以及组装状态图。
附图标记
10：玻璃基板；
100、100a：支架载置台；
110：底板(base plate)；
120；支杆；
130：支撑销；
140：支架；
150：对准旋转轴；
160：旋转致动器；
200：对准部；
200a：第一对准部；
200b：第二对准部；
220a、220b：支架对准部；
222a、222b：第一对准托架；
224a、224b：固定片；
226a、226b：支架对准帽；
260a、260b：玻璃对准部；
262a、262b：第二对准托架；
264a、264b：玻璃对准帽；
300：支架对准部；
300a：第一支架对准部；
300b：第二支架对准部；
322a、322b：第一对准托架；
324a、324b：固定片；
326a、326b：支架对准帽；
400：玻璃对准部；
400a：第一玻璃对准部；
400b：第二玻璃对准部；
422a、422b：第一对准托架；
462a、462b：第二对准托架；
464a、464b：玻璃对准帽。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明的构成。
由于制造平板显示器时所使用的基板处理系统以及利用该基板处理系统的基板处理过程、蒸镀或者退火(热处理)工序的内容是本技术领域的公知技术，因此省略详细说明。尤其是，与本发明相关的基板处理系统的主要构成，即提供基板处理空间的处理腔室、装载并收纳基板的基板装载盘、装载并收纳支架的支架载置台以及在基板装载盘和支架载置台之间输送基板的传送机器人等构成为本技术领域中的公知技术，因此省略详细说明。
第一实施例
图1是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100结构的侧视图。
图2是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100结构的俯视图。
参照图1，支架载置台100可以包括基本框架50、底板110、支杆120、支撑销130、支架140、对准旋转轴150、旋转致动器160以及对准部200等而构成。
首先，基本框架50起到支撑支架载置台100的作用。基本框架50可以包括水平框架52和垂直框架54而构成，其中，该水平框架52设置在地面上，并从下部支撑支架载置台100，该垂直框架54与支架载置台100的后述的对准旋转轴150平行地铅直设置且支撑对准旋转轴150。
底板110稳定地支撑对准旋转轴150。通过底板110在支架载置台100内分割出装载并收纳各支架140的空间。
支杆120起到支撑支架140的作用。在支架载置台100内支架140安装在支杆120上。优选以能够支撑支架140的两短边侧的方式设置支杆120。
支撑销130起到支撑玻璃基板10的作用。支撑销130设置成能够贯通位于支杆120上的支架140。为此，在支架140上形成支撑销130能够贯通的孔(未图示)。为了稳定地支撑玻璃基板10，设置有多个支撑销130，与此对应地也形成多个支架140的孔(未图示)。
再有，支撑销130还起到分离玻璃基板10和支架140的作用。通过这种支撑销130的作用，在结束基板处理工序之后返回到支架载置台100的玻璃基板10以及支架140中，利用传送机器人只将玻璃基板10输送到基板台(即，装载并保管玻璃基板的基板装载盒)，以此备用于基板处理工序之后的工序。
支架140起到防止玻璃基板10的变形的作用。即，将基板10以安装在支架140上的状态加载到处理腔室内进行基板处理工序，是为了抑制因在基板处理工序中施加到玻璃基板10上的热而导致玻璃基板10发生弯曲现象。尤其是，随着最近LCD等的平板显示器大面积化而使玻璃基板的面积也变大，因此抑制这种玻璃基板的变形逐渐被认为重要。因此，优选在将玻璃基板10用支架140支撑的状态下进行基板处理，更优选在用支架140完全支撑玻璃基板10整个面的状态下进行基板处理。
支架140的材质优选为石英。但是，由于石英的热传导率(1.66W/m.K)较低，因此，在基板处理过程中因基板位置不同而有可能出现基板的升温或冷却速度不均的现象。尤其是，在基板处理之后的基板的冷却过程中，由于基板中央部的冷却速度比基板周边部的冷却速度慢，因此发生基板中央部鼓起的变形。因此，支架的材质优选热传导率比石英高的石墨(graphite：热传达率26W/m.K)，如果这样，则在基板冷却时能够实现基板整体均匀冷却，从而能够抑制如上所述的因冷却速度的差异而产生的基板的变形。但是，由于石墨的硬度较低，因此优选在石墨表面涂覆高硬度材质的碳化硅(SiC)来制造支架。
对准旋转部150起到为了玻璃基板10和支架140的排列而旋转后述的对准部200的作用。对准旋转轴150设置在玻璃基板10和支架140的四个角部，每个角部设置两个。此时，玻璃基板10和设置在支架140的短边侧上的对准旋转轴150上连接有后述的第一对准部200a，玻璃基板10和设置在支架140的长边侧的对准旋转轴150上连接有后述的第二对准部200b。对准旋转轴150与垂直框架54连接而被支撑，从而能够执行稳定的旋转动作。另一方面，优选以加载/卸载玻璃基板10时不妨碍玻璃基板10输送的方式将对准旋转轴150设置到支架载置台100上。
旋转致动器160起到为了玻璃基板10和支架140的排列而在对准旋转轴150旋转时驱动对准旋转轴150的作用。为此，旋转致动器160通过规定的动力传递机构、即驱动齿轮或驱动皮带连接到对准旋转轴150的下端部侧。但是，并不限定于此，根据情况，旋转致动器160可以连接在对准旋转轴150的上端部侧，也可以同时连接在对准旋转轴150的上端部侧和下端部侧，也可以不通过规定的动力传递机构而直接连接在对准旋转轴150上。
另一方面，对准旋转轴150和旋转致动器160也可以起到以下的作用，即，在将玻璃基板10加载/卸载到支架载置台100上时旋转对准部200，从而使玻璃基板10和对准部200之间不产生干涉。
对准部200起到将玻璃基板10和支架140同时排列到支架载置台100内的规定位置上的作用。对准部200与对准旋转轴150连接，并设置成能够与装载到支架载置台100内的多个玻璃基板10和支架140分别对应。对准部200可以设置在玻璃基板10和支架140的四个角部，根据情况，也可以只设置在玻璃基板10和支架140的四个角部中的相向的两个角部。
对准部200可以由第一对准部200a和第二对准部200b构成，其中，第一对准部200a与玻璃基板10和支架140的短边侧接触，第二对准部200b与玻璃基板10和支架140的长边侧接触。
图3是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100的第一对准部200a的设置状态的立体图。
参照图3，第一对准部200a与玻璃基板10以及支架140的短边侧接触，从而将玻璃基板10和支架140排列到规定的位置。第一对准部200a通过后述的第一对准托架222a与对准旋转轴150连接。
图4和图5是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100的第一对准部200a的结构的分解立体图以及组装状态图。
参照图4和图5，第一对准部200a可以包括将支架140以及玻璃基板10分别排列到支架载置台100内的规定位置上的支架对准部200a和玻璃对准部260a构成。
支架对准部220a可以包括第一对准托架222a、固定片224a以及支架对准帽226a构成。另外，将支架对准帽226a连接到固定片224a的旋转轴上，连接有弹性挡圈230a、轴承232a、套环234a。
第一对准托架222a对构成第一对准部200a的结构要素进行固定。第一对准托架222a的一端弯折成
字型，弯折部位与对准旋转轴150的一侧连接。为了使第一对准托架222a便于与对准旋转轴150连接，也可以在第一对准托架222a的弯折部位形成螺栓孔。
后述的支架对准帽226a连接到固定片224a上。固定片224a形成为平板形状。固定片224a相互平行地形成在第一对准托架222a的另一端、即与对准旋转轴150连接的部分的相反一侧的上部和下部。
支架对准帽226a与支架140的短边侧接触，并且排列支架140。支架对准帽226a通过旋转轴连接在两个固定片224a之间。支架对准帽226a形成为其上部的长度大于下部长度的梯子形状的断面结构。在此，弹性挡圈230a、轴承232a、套环234a连接到将支架对准帽226a连接到固定片224a上的旋转轴上，从而能够使支架对准帽226a的旋转变得容易。
作为参考，在图4中旋转轴图示成螺栓形状并省略了单独的附图标记，在下面进行说明的关于旋转轴的附图标记也一样。
玻璃对准部260a可以包括第二对准托架262a以及玻璃对准帽264a构成。另外，在将玻璃对准帽264a连接到第二对准托架262a上的旋转轴上，连接有轴承270a、弹性挡圈272a、套环274a。
第二对准托架262a将玻璃对准部260a固定到第一对准托架222a上。第二对准托架262a通过螺栓固定到形成在第一对准托架222a上的固定片224a中的上部侧固定片224a的上部面上。第二对准托架262形成为平板形状。此时，在固定片224a中第二对准托架262a所处的部位优选形成为凹状，以便固定在螺栓上的第二对准托架262a不因外力而移动。
玻璃对准帽264a与玻璃基板10的短边侧接触并排列玻璃基板10。玻璃对准帽264a通过旋转轴连接在第二对准托架262a的端部上。玻璃对准帽264a形成为具有上部长度大于下部长度的梯子形状的断面结构。在此，轴承270a、弹性挡圈272a、套环274a连接在将玻璃对准帽264连接到第二对准托架262a上的旋转轴上，从而使玻璃对准帽264a的旋转变得容易实现。优选使与玻璃对准帽264a连接的旋转轴的上端被内置到玻璃对准帽264a的内部，以避免排列作业途中与外部物体碰撞。
另一方面，支架对准帽226a、226b和玻璃对准帽264a、264b的侧面优选形成为倾斜状。这是为了使支架140以及玻璃基板10和支架对准帽226a、226b以及玻璃对准帽264a、264b的接触面积最小化，从而防止在接触过程中支架140以及玻璃基板10受到损伤。
图6和图7是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100的第二对准部200b的结构的分解立体图以及组装状态图。
参照图6和图7，第二对准部200b的基本结构与第一对准部200a相同。第二对准部200b与第一对准部200a的差异只在于对准托架的大小上，因此，下面详细说明该差异。
如该图所示，优选第二对准部200b的第一对准托架222b的大小小于第一对准部200a的第一对准托架222a。这是为了在玻璃基板10加载/卸载到支架载置台100上时防止玻璃基板10和对准部200之间的干涉。总之，第一对准托架222a、222b的大小是可以综合考虑玻璃基板10的输送路径、对准旋转轴150的位置以及与对准旋转轴150相连接的第一以及第二对准部200a、200b之间的距离来设定的。
说明如上构成的本发明第一实施例的动作为如下。
首先，多个支架140被装载到支架载置台100上而被收纳。此时，支撑销130贯通形成于支架140上的孔(未图示)而突出。
将玻璃基板10加载到支架载置台100之前，通过旋转致动器160旋转对准旋转轴150而使第一以及第二对准部200a、200b不位于玻璃基板10的输送路径内。
之后，利用基板传送机器人将玻璃基板10加载到支架载置台100内，并将玻璃基板10安装到设置在支杆120上的支撑销130上。在被支撑销130分离的玻璃基板10和支架140之间所形成的空间，是在利用基板传送机器人将玻璃基板10向基板支架载置台(即，装载并保管玻璃基板的基板装载盒)输送时使用。
之后，用旋转致动器160旋转对准旋转轴150而使第一以及第二对准部200a、200b返回到原位置。如果第一以及第二对准部200a、200b返回，则支架对准部220a、220b同时与支架140的短边侧和长边侧接触，玻璃对准部260a、260b同时与玻璃基板10的短边侧和长边侧接触。
通过第一以及第二对准部200a、200b的动作进行的玻璃基板10和支架140的排列过程如下。
首先，如果第一以及第二对准部200a、200b返回到原位置，则支架对准帽226a的侧面与支架140的两短边侧接触，支架对准帽226b的侧面与支架140的两长边侧接触。另外，玻璃对准帽264a的侧面与玻璃基板10的两短边侧接触，玻璃对准帽264b的侧面与玻璃基板10的两长边侧接触。
在此，在支架140和玻璃基板10被加载到规定位置的情况下，支架140的短边侧和长边侧都以相同的压力与支架对准帽226a、226b接触，玻璃基板10的短边侧和长边侧都以相同的压力与玻璃对准帽264a、264b接触，因此支架140和玻璃基板10的位置不会有变动。
但是，如果支架140和玻璃基板10没有被加载到规定位置的情况下，支架对准帽226a、226b以及/或者玻璃对准帽264a、264b分别以不同的压力与支架140以及/或者玻璃基板10接触。此时，支架对准帽226a、226b以及/或者玻璃对准帽264a、264b从接触压力大的一侧向接触压力小的一侧推出支架140以及/或者玻璃基板10。此时，玻璃基板10以及/或者140向与支架对准帽226a、226b以及/或者玻璃对准帽264a、264b的接触压力相同的位置，即在支架载置台100内向支架140和玻璃基板10的规定位置移动，从而实现排列。这种排列过程可以对装载并收纳在支架载置台100的所有多个支架140和玻璃基板10同时进行。
另一方面，在上述说明中，假设支架140和玻璃基板10都脱离规定位置的情况进行了说明，但只有支架140或玻璃基板10中的某一个脱离规定位置的情况下，也能够与上述一样进行排列。与此同时，多个支架140中的只有一部分或多个玻璃基板10中的只有一部分脱离规定位置的情况下，也能够与上述过程相同地完成排列。
最后，如果支架140和玻璃基板10的排列结束，则利用支架传送机器人将安装在支架140上的玻璃基板10加载到基板装载盘上进行后面的基板处理过程。
如上所述，根据本实施例，将加载在支架载置台上的玻璃基板以及/或者支架正确地排列到规定位置上，从而使得将玻璃基板和支架从支架载置台向基板装载盘输送的过程变得顺利，具有基板处理的生产率提高且基板处理成本下降的优点。
第二实施例
图8是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台100a结构的俯视图。
首先，支架载置台100a可以包括基本框架50、底板110、支杆120、支撑销130、支架140、对准旋转轴150、旋转致动器160、支架对准部300以及玻璃对准部400而构成。
在此，由于基本框架50、底板110、支杆120、支撑销130、旋转致动器160以及对准旋转轴150的结构与上述的本发明的第一实施例相同，因此在本实施例中省略对其详细说明。
参照图8，支架对准部300起到将支架140排列到支架载置台100a内的规定位置上的作用。支架对准部300与对准旋转轴150连接，并设置成能够分别与装载在支架载置台100a内的多个支架140对应。支架对准部300可以设置在支架140的四个角部中的相向的两个角部。
支架对准部300可以由第一支架对准部300a和第二支架对准部300b构成，其中，该第一支架对准部300a与支架140的短边侧接触，该第二支架对准部300b与支架140的长边侧接触。
玻璃对准部400起到将玻璃基板10排列到支架载置台100a内的规定位置上的作用。玻璃对准部400与对准旋转轴150连接，并设置成能够分别与装载在支架载置台100a内的多个玻璃基板10对应。玻璃对准部400可以设置在玻璃基板140的四个角部中的相向的两个角部，可以设置成与设有支架对准部300的两个角部错开。
玻璃对准部400可以由第一玻璃对准部400a和第二玻璃对准部400b构成，其中，该第一玻璃对准部400a与玻璃基板10的短边侧接触，该第二玻璃对准部400b与玻璃基板10的长边侧接触。
总结上述的内容，在本实施例中，支架载置台300设置在支架140以及玻璃基板10的四个角部中的相向的两个角部，玻璃对准部400可以设置在支架140以及玻璃基板10的四个角部中的、没有设置支架对准部300的相向的两个角部。但是，对于装载并收纳在支架载置台100a内的所有支架140和玻璃基板10，如上所述的支架对准部300和玻璃对准部400的排列不需要设定成相同。对此，下面参照图9至图11进行说明。
图9是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台100a的支架对准部300a以及玻璃对准部400a的设置状态的立体图。
图10是图9的A部分的详细示意图，图11是图9的B部分的详细示意图。
参照图9至图11，能够确认在支架载置台100a内，支架对准部300和玻璃对准部400的排列状态随着支架140以及玻璃基板10的位置而改变。即，将支架载置台100a分成两个部分，在上半部按照与图8中的排列相同的排列设置支架对准部300和玻璃对准部400(参照图9的A部分以及图10)，在下半部按照与图8中的排列相反的排列设置支架对准部300和玻璃对准部400(参照图9的B部分以及图11)。
如上所述，在本实施例中，根据支架载置台100a内的支架对准部300和玻璃对准部400的排列来能够鉴别支架140或玻璃基板10并进行排列，可以同时排列支架140以及玻璃基板10，根据支架载置台100a内的支架140以及/或者玻璃基板10的装载位置来能够鉴别支架140或玻璃基板10并进行排列。即，根据本实施例，可以进行支架140以及/或者玻璃基板10的排列，以便能够容易对应基板处理过程的多种环境变化。
图12和图13是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台100a的第一支架对准部300a结构的分解立体图以及组装状态图。
参照图12和图13，第一支架对准部300a可以包括第一对准托架322a、固定片324a以及支架对准帽326a而构成。另外，在将支架对准帽326a连接到固定片324a的旋转轴上连接有弹性挡圈330a、轴承332a，套环334a。
第一对准托架322a固定构成第一支架对准部300a的结构要素。第一对准托架322a与对准旋转轴150的一侧相连接。第一对准托架322a的一端被弯折成
字型，弯折部位连接到对准旋转轴150的一侧上。可以在第一对准托架322a的弯折部位形成螺栓孔，以便第一对准托架322a容易与旋转轴150连接。
后述的支架对准帽326a固定到固定片324a上。固定片324a形成为平板形状。固定片324a相互平行地形成在第一对准托架322a的另一端即与对准旋转轴150相结合的部分的相反侧的一侧上部和下部上。
支架对准帽326a与支架140的短边侧接触并排列支架140。支架对准帽326a通过旋转轴连接在两个固定片324a之间。支架对准帽326a形成为上部的长度长于下部的长度的梯子形状的断面结构。在此，弹性挡圈330a、轴承332a以及套环334a连接到将支架对准帽326a连接到固定片324a上的旋转轴上，从而使得支架对准帽326a的旋转容易实现。
图14和图15是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台100a的第二支架对准部300b结构的分解立体图以及组装状态图。
参照图14和图15，除了支架对准帽326b与支架140的长边侧接触之外，第二支架对准部300b的结构与第一支架对准部300a基本相同。第二支架对准部300b和第一支架对准部300a只在对准托架的大小上有差异，因此下面详细说明该差异。
如图所示，优选第二支架对准部300b的第一对准托架322b的大小小于第一支架对准部300a的第一对准托架322a。这是为了在玻璃基板10被搬入/搬出支架载置台100a时避免玻璃基板10和支架对准部300a、300b之间干涉。总之，第一对准托架322a、322b的大小是可以综合考虑玻璃基板10的输送路径、对准旋转轴150的位置以及连接在对准旋转轴150上的支架对准部300a、300b之间的距离来设定。
图16和图17是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台100a的第一玻璃对准部400a结构的分解立体图以及组装状态图。
参照图16和图17，第一玻璃对准部400a可以包括第一对准托架422a、第二对准托架462a以及玻璃对准帽464a而构成。另外，在将玻璃对准帽464a连接到第二对准托架462a的旋转轴上，连接有轴承470a、弹性挡圈472a、套环474a。
第一对准托架422a将第一玻璃对准部400a连接到对准旋转轴150上。第一对准托架422a可以与第一支架对准部400a的第一对准托架322a相同地构成，因此，在此省略对其详细说明。
第二对准托架462a将后述的玻璃对准帽464a固定到第一对准托架422a上。第二对准托架462a通过螺栓被固定到形成在第一对准托架422a上的固定片424a中的上部侧固定片424a的上部面上。第二对准托架462a形成为平板状。此时，在固定片424中优选将第二对准托架462a所处的部位形成为凹状，以便固定在螺栓上的第二对准托架462a不被外力所移动。
另外，玻璃对准帽464a与玻璃基板10的短边侧接触并排列玻璃基板10。玻璃对准帽464a通过旋转轴连接在第二对准托架462a的端部上。玻璃对准帽464a形成为上部长度的大于下部长度的梯子形状的断面结构。另外，轴承470a、弹性挡圈472a、套环474a被连接到将玻璃对准帽464a连接到第二对准托架462a的旋转轴上，由此使玻璃对准帽464a的旋转容易实现。优选将连接在玻璃对准帽464a上的旋转轴的上端内置到玻璃对准帽464a的内部，以便在排列作业途中不与外部的物体碰撞。
图18和图19是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台100a的第二玻玻对准部400b的一个结构例的分解立体图以及组装状态图。
如图18和图19所示，第二玻璃对准部400b除了玻璃对准托架346b与玻璃基板10的长边侧接触之外，其余结构基本与第一玻璃对准部400a相同。但是，第二玻璃对准部400b同第一玻璃对准部400a相比，第一对准托架422a、422b的大小有差异。在第一玻璃对准部400a和第二玻璃对准部400b中第一对准托架422a、422b的大小有差异的理由，与在第一支架对准部300a以及第二支架对准部300b中第一对准托架322a、322b的大小有差异的理由相同，因此对其省略详细说明。
另一方面，优选支架对准帽326a、326b和玻璃对准帽464a、464b的侧面倾斜形成。这是为了使支架140以及玻璃基板10和支架对准帽326a、326b以及玻璃对准帽464a、464b的接触面积最小化，防止在上述接触过程中支架140以及玻璃基板10受到损伤。
另一方面，比较本实施例和本发明的第一实施例时，支架载置台内的支架对准部和玻璃对准部的一部分的排列不同，由此，只是构成支架对准部和玻璃对准部的一部分构成要素存在差异之外，基本的支架以及/或者玻璃基板的排列过程相同，因此，省略与根据本实施例结构的动作有关的详细说明。
举出如上所述的优选实施例，图示并说明了本发明，但本发明不限定于上述实施例。在不脱离本发明的主旨的范围内，具有本发明所属技术领域的一般知识的技术人员可以进行多种变形和变更。但是，这些变形以及变更应当被认为属于本发明和所附的权利要求的范围内。
Claims (15)
1.一种支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其特征在于，包括：
对准部，其同时排列上述支架和上述玻璃基板；以及
对准旋转部，其旋转上述对准部。
2.如权利要求1所述的支架载置台，其特征在于，
上述对准旋转部包括：
对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及
对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。
3.如权利要求1所述的支架载置台，其特征在于，
上述对准部包括：
支架对准部，其排列上述支架；以及
玻璃对准部，其排列上述玻璃基板。
4.如权利要求3所述的支架载置台，其特征在于，
上述对准部设置在上述支架和上述玻璃基板的四个角部。
5.如权利要求3所述的支架载置台，其特征在于，
上述对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部。
6.如权利要求3所述的支架载置台，其特征在于，
上述支架对准部包括：
第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及
支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。
7.如权利要求6所述的支架载置台，其特征在于，
上述玻璃对准部包括：
第二对准托架，其固定在上述第一对准托架上；以及
玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。
8.一种支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其特征在于，包括：
对准部，其排列上述支架或上述玻璃基板；以及
对准旋转部，其旋转上述对准部。
9.如权利要求8所述的支架载置台，其特征在于，
上述对准旋转部包括：
对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及
对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。
10.如权利要求8所述的支架载置台，其特征在于，
上述对准部是排列上述支架的支架对准部或者排列上述玻璃基板的玻璃对准部中的任一个。
11.如权利要求10所述的支架载置台，其特征在于，
上述支架对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部，上述玻璃对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的其余两个角部。
12.如权利要求10所述的支架载置台，其特征在于，
上述支架对准部包括：
第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及
支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。
13.如权利要求10所述的支架载置台，其特征在于，
上述玻璃对准部包括：
第二对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及
玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。
14.如权利要求1或8所述的支架载置台，其特征在于，
上述支架的材质为石墨。
15.如权利要求14所述的支架载置台，其特征在于，
在上述支架的表面涂覆有碳化硅。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2008-0040921 | 2008-04-30 | ||
| KR20080040921A KR100942066B1 (ko) | 2008-04-30 | 2008-04-30 | 홀더 스테이지 |
| PCT/KR2009/002282 WO2009134088A2 (ko) | 2008-04-30 | 2009-04-30 | 홀더 스테이지 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102016697A true CN102016697A (zh) | 2011-04-13 |
| CN102016697B CN102016697B (zh) | 2013-07-03 |
Family
ID=41255562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200980114297.1A Expired - Fee Related CN102016697B (zh) | 2008-04-30 | 2009-04-30 | 支架载置台 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5364156B2 (zh) |
| KR (1) | KR100942066B1 (zh) |
| CN (1) | CN102016697B (zh) |
| WO (1) | WO2009134088A2 (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8826693B2 (en) * | 2010-08-30 | 2014-09-09 | Corning Incorporated | Apparatus and method for heat treating a glass substrate |
| KR101355213B1 (ko) * | 2011-10-18 | 2014-01-28 | 주식회사 테라세미콘 | 기판 정렬 장치 |
| KR101445686B1 (ko) * | 2012-06-29 | 2014-10-02 | 주식회사 테라세미콘 | 기판 정렬장치 |
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-
2008
- 2008-04-30 KR KR20080040921A patent/KR100942066B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-04-30 JP JP2011507350A patent/JP5364156B2/ja active Active
- 2009-04-30 WO PCT/KR2009/002282 patent/WO2009134088A2/ko active Application Filing
- 2009-04-30 CN CN200980114297.1A patent/CN102016697B/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5364156B2 (ja) | 2013-12-11 |
| JP2011519482A (ja) | 2011-07-07 |
| WO2009134088A2 (ko) | 2009-11-05 |
| KR100942066B1 (ko) | 2010-02-11 |
| KR20090115002A (ko) | 2009-11-04 |
| CN102016697B (zh) | 2013-07-03 |
| WO2009134088A3 (ko) | 2010-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130703 Termination date: 20140430 |