KR100807090B1 - 기판 지지장치와 이를 이용한 엘씨디 셀의 씰패턴 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 지지장치 및 이를 이용한 LCD 셀의 씰패턴 검사장치로서,

기판을 상면에 흡착시키는 흡착 노즐이 설치되고 소정각도록 회동이 가능한 가변스테이지, 상기 가변스테이지와 이격되어 설치되며, 상향으로 공기를 분사하는 플로팅 노즐 및 하향으로 공기를 흡입하는 흡착 노즐이 형성된 고정스테이지, 상기 가변 스테이지의 일 측에 결합하여 상기 가변스테이지를 회동시키는 구동순단을 포함하는 기판 지지장치와,

상기 기판지지장치의 양측에 위치하는 지지대, 상기 기판 지지장치의 상향에 위치하며 상기 지지대를 연결하는 브리지, 브리지에 결합하여 기판의 씰 패턴을 검사 및 보수하는 보정장치로 구성된 갠트리부를 포함하는 LCD 셀의 씰 패턴 검사장치이다.

본 발명에 따른 기판 지지장치 및 이를 이용한 LCD 셀의 씰 패턴 검사장치는 기판이 안착되는 스테이지를 분할하여 기판을 쉽게 정렬할 수 있는 효과가 있다.

정렬장치, 씰 패턴, 갠트리, 가변스테이지, 고정스테이지

Description

기판 지지장치와 이를 이용한 엘씨디 셀의 씰패턴 검사장치{A DEVICE FOR SUPPORTING SUBSTRATE AND EXAMINER FOR SEAL PATTERN OF LCD CELL USING THE SAME}

도 1은 LCD 셀의 공정도

도 2는 LCD 대형기판의 평면도

도 3은 LCD 대형기판을 검사하는 검사장치

도 4는 본 발명에 따른 기판 지지장치의 분해사시도

도 5는 본 발명에 따른 가변스테이지와 고정스테이지의 평면도

도 6은 본 발명에 따른 구동수단의 확대사시도

도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 기판 지지장치의 작용도

도 8은 본 발명에 따른 기판 지지장치를 포함한 LCD 셀의 씰패턴 검사장치의 사시도

※ 도면에 사용된 부호에 대한 설명※

10 : 베이스 20 : 가변스테이지

21 : 흡착 노즐 22 : 핀공

23 : 핀 24 : 돌출편

25 : 삽입홈 26 : 가이드

30 : 고정스테이지 31 : 플로팅 노즐

32 : 흡착노즐 33 : 핀

34 : 핀공 40 : 구동수단

41 : 구동모터 42 : 이송축

43 : 이동체 44 : 미끄럼롤러

50 : 기판 지지장치 60 : 갠트리부

61 : 지지대 62 : 지지대

63 : 브리지 64 : 보정장치

100 : 로봇팔

본 발명은 기판 또는 각종 패널을 검사할 때, 기판 또는 각종 패널을 지지하거나 정렬할 수 있는 장치로서, 구체적으로는 스테이지를 가변스테이지와 고정스테이지로 분할하고 가변스테이지를 회동하게 함으로써 기판 또는 각종 패널을 지지 또는 정렬할 수 있는 지지장치이다.

오늘날 각종 회로기판 또는 각종 패널들을 제작하는 공정에 있어서, 이송식 컨베이어벨트 또는 각 공정간의 소정의 이동수단을 이용하여 기판을 이송시켜 각 공정을 진행하고 있다. 그리고, 이송된 기판을 정확한 위치에 위치시키고 각 공정 에 따른 작업을 시작하기 위해 각종 수단들을 구비하고 있다.

한편, 정밀한 작업을 요하는 반도체 제조 공정이나 LCD 패널제조공정 등에서는 기판의 정확한 위치 결정이 더욱 중요하다.

이때 LCD(Liquid Crystal Display)란 '액정표시장치'라고도 하며, 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 상기 두 전극이 서로 대향하도록 배치하고, 상기 두 기판 사이에 액정을 주입한 다음, 상기 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직여 빛의 투과율을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.

여기서 간단히 액정패널의 제조 공정인 셀 공정에 대하여 설명한다.

액정패널 제조공정은 셀 공정이라고 칭하며, 상기 셀 공정은 박막 트랜지스터가 배열된 어레이 기판과 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판에 액정을 한 방향으로 배향시키기 위한 배향공정과 두 기판을 합착시켜 일정한 갭(Gap)을 유지시키기 위한 셀갭(cell gap) 형성공정, 셀 절단(cutting) 공정, 액정주입 공정으로 크게 나눌 수 있다.

상술한 각 셀 공정에 대해 도 1을 참조하여 좀 더 자세히 설명하기로 한다.

공정의 첫 번째 단계는 배향막 형성 공정으로서 박막 트랜지스터가 각 화소별로 배열된 어레이 기판과 상기 어레이 기판의 화소에 대응하여 적, 녹, 청색 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판에 고분자 물질인 폴리이미드(Polyimide)를 코팅하여 배향막을 형성하는 것이다(s1). 어레이 기판 및 컬러필터 기판의 전면에 균일한 두께로 주로 롤 코팅 방식에 의해 일정 패턴을 갖도록 상기 폴리이미드인 배향막을 인쇄한다. 이후, 상기 배향막이 인쇄된 두 기판은 예비 건조 및 소성 과정을 진행하여 경 화된 배향막을 형성하게 된다.

상기 경화된 배향막이 형성된 상부 및 하부기판은 셀 공정의 두 번째 단계인 러빙공정을 진행한다(s2). 상기 경화된 배향막 표면을 러빙포로 균일한 압력과 속도로 마찰시켜 배향막 표면의 고분자 사슬을 일정한 방향으로 정렬시킨다. 상기 러빙은 액정의 초기 배열방향을 결정하는 주요한 공정으로, 정상적인 액정의 구동과 균일한 디스플레이(Display)특성을 갖게 한다.

상기 러빙된 두 기판은 세 번째 단계인 씰 패턴 형성과 은(Ag) 도포 및 스페이서 산포 공정을 진행한다(s3). 이때, 하부기판인 어레이 기판은 씰 패턴 형성 공정 및 은 도포 공정을 진행하고, 상부기판인 컬러필터 기판은 스페이서 산포 공정을 진행하거나 또는 컬러필터 기판에 씰 패턴 형성과 은 도포를 실시하고, 어레이 기판에는 스페이서 산포를 진행한다. 액정패널에 있어 씰 패턴은 액정 주입을 위한 갭(gap) 형성과 주입된 액정을 새지 않게 하는 두 가지 역할을 한다. 이때, 상기 씰 패턴 형성공정은 열경화성 수지인 실란트(sealant)를 기판의 테두리에 일정하게 원하는 패턴으로 형성시키는 공정으로, 씰 스크린 인쇄 장치를 이용한 스크린 마스크법 또는 씰 디스펜싱 장치를 통한 디스펜서법에 의해 기판 상에 형성되고 있으며, 최근 들어 기판이 점점 대형화되면서 디스펜서법이 주류를 이루고 있다.

다음, 상기 씰 패턴이 형성된 어레이 기판(컬러필터 기판)에 은 도포 공정을 진행한다(s4). 이때, 상기 은(Ag) 도포는 상부기판과 하부기판의 도통을 위해 어레이 기판 상의 소정의 위치에 일정량의 은(Ag) 패이스트를 도포하는 것이다.

다음, 전술한 어레이 기판(컬러필터 기판)에 씰 패턴 형성 및 은 도포 공정 을 진행하는 동안 컬러필터 기판(어레이 기판)에는 액티브 영역의 셀갭 형성을 위해 볼 스페이서를 기판 전면에 균일한 밀도로 뿌려주는 스페이서 산포 공정을 진행한다. 스페이서 산포에는 건식법과 습식법이 있으며, 주로 +와 -로 대전시켜 스페이서의 뭉침없이 산포하는 건식법이 주로 사용된다. 최근에는 셀갭 유지를 위해 컬러필터 기판 제작시 상기 기판 상에 일정한 간격을 갖는 패턴드(patterned) 스페이서를 형성하기도 한다. 따라서, 패턴드 스페이서가 구비된 컬러필터 기판의 경우 스페이서 산포공정은 생략된다.

다음, 상기 어레이 기판(또는 컬러필터 기판)에 씰 패턴 형성과 은 도포 공정과 컬러필터 기판(또는 어레이 기판)에 스페이서 산포 공정이 끝나면, 네 번째 공정인 합착공정을 진행한다(s4).

어레이 기판과 컬러필터 기판의 합착을 위해서는 상부기판의 컬러필터 패턴과 하부기판의 화소가 정확히 일치하도록 해주어야 하는데 이를 합착 정렬이라 한다. 이때, 상기 합착 정열 정도는 각 기판의 설계 시 주어지는 마진(Margin)에 의해 결정되며, 상기 합착 마진은 컬러필터 기판상의 블랙 매트릭스(Black Matrix)와 어레이 기판상의 화소전극의 오버랩 정도에 기인하며, 보통 수 ㎛의 정밀도가 요구된다. 두 기판의 합착 오차범위를 벗어나면, 빛이 새어나오게 되어 액정 셀의 구동시 원하는 화질 특성을 얻지 못하게 된다. 합착 정렬 후 상기 상부 및 하부기판이 합착되어 원판패널을 이룬 후, 상기 원판패널에 균일한 압력을 가하며, 동시에 상기 씰 패턴에 열을 가함으로써 일정한 셀갭을 유지하도록 하여 상기 씰 패턴을 단단히 경화시킨다.

다음으로, 원판패널을 절단하는 셀 절단공정을 진행한다(s5). 이전 단계까지를 거치며 제작된 원판패널을 단위 셀로 절단하는 공정이다. 셀 절단 공정은 유리기판보다 경도가 높은 다이아몬드 재질 또는 초경합금 재질의 절단휠로 원판패널 표면에 절단선을 형성하는 스크라이브(Scribe)공정과 상기 절단선에 힘을 가해 파단 분리하는 브레이크(Break)공정으로 이루어진다.

다음, 상기 절단공정을 진행하여 단위 셀로 절단된 액정패널에 액정주입 공정을 진행한다(s6). 상기 액정주입 공정은 수 ㎛의 셀갭을 갖는 액정패널 내부를 진공화 한 후 모세관 현상과 대기압 차이를 이용하여 액정을 상기 액정패널의 내부로 주입한다. 이후 액정주입이 완료되면, 상기 액정이 주입된 주입구를 봉지제로 밀봉하고 자외선을 쪼여 봉지제를 경화시킨다.

다음, 액정패널의 패드 부위 쇼팅바를 제거하는 그라인딩(grinding) 공정과 불량 유무를 판정하는 검사공정을 진행하여 액정패널을 완성한다.

이와 같은 제조공정을 거치는 LCD 셀은 최근에는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(1)이 대형화되면서 하나의 기판(1) 내에 그 크기를 달리하는 두 모델 이상의 씰 패턴(2)(3)이 섞여 구비되고 있는 실정이다. 즉, 기판(1)의 면적 이용 효율을 높이기 위해서 메인이 되는 대형 모델 씰 패턴(2)과 그 나머지 영역에 중형 또는 소형 모델 씰 패턴(3)을 배치하고 있다.

이처럼 씰 패턴(2)이 형성된 기판을 검사 및 보수하는 것이 씰 디스펜서 장치이다. 도 3은 씰 디스펜서를 포함하는 씰 디스펜서 장치 일부를 도시한 것이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 씰 패턴(2)(3)을 형성해야 할 어레이 기판(1)이 상기 씰 디스펜서 장치(7)의 스테이지(4) 위에 위치하게 되면, 상기 스테이지(4) 상부에 위치한 내부에 실란트를 채운 씰 디스펜서(5)가 씰 패턴(2)(3)의 형성 시작 위치에 정렬을 하게 되고, 이미 상기 씰 디스펜서 장치(7)에 입력된 씰 패턴 모양에 대한 프로그램에 의해 기판(1) 상의 테두리를 따라 씰 패턴(2)(3)을 형성한다.

상기 씰 디스펜서 장치(7)에는 상기 기판(1) 상에 형성된 씰 패턴(2)(3)의 단선 및 씰 패턴(2)(3)의 선폭을 측정하기 위한 카메라(6)가 부착되어 있어, 씰 패턴(2)(3)을 형성한 후, 상기 형성된 씰 패턴(2)(3)을 따라 이동하며, 씰 패턴(2)(3)의 단선 유무를 검사하며, 모델별로 서로 다른 위치가 지정된 다수의 포인트에 있어서는 상기 카메라(5)를 통해 씰 패턴(2)(3)의 선폭을 측정한다.

이때, 씰 디스펜서 장치(8)에는 각 모델별로 씰 패턴(2)(3)의 적당한 선폭 데이터가 입력되어 있어 측정한 선폭 데이터와 비교함으로써 오차범위를 초과할 경우 경보 등을 발생하여 씰 패턴(2)(3) 형성 불량이 발생하였음을 알리고 있다.

씰 패턴(2)(3)에 단선이 발생하면, 합착 후 액정이 세는 불량이 발생하게 되고, 또한 씰 패턴의 선폭이 오차범위를 벗어나게 되면 액정주입량의 차이가 생기고 또한, 셀갭이 차이 생기게 되어 액정의 두께 차에 의한 표시품질이 저하되는 문제가 발생한다.

따라서, 이러한 검사 및 보수 공정은 매우 중요하기 때문에 검사 정밀도의 향상을 위해 기판(1)의 정렬상태가 매우 중요하게 되었다.

그런데, 기판 또는 패널이 대형화되면서 로봇팔 등에 의해 이송되어 스테이 지(4) 위에 안착하는 기판(1)이 정확한 지정위치(align point)에 위치시키는 것이 어려워졌다. 따라서, 스테이지(4)를 조절하거나 소정의 조절수단을 이용하여 대형 기판을 미세하게 조절하여 정렬해야만 했다. 그러나, 스테이지(4)를 조절하거나 소정의 조절수단을 이용하여 하여 대형기판(1)을 지정위치(align point)로 정렬하는 데 큰 동력이 요구되었다. 또한, 대형기판(1) 전체를 조절하기 위해서는 조절 시간이 늘어나 전체 공정시간이 길어지는 문제점이 있었다.

이에 따라, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 놓을 수 있는 스테이지를 분할하여 쉽게 기판을 정렬할 수 있는 장치를 제공함을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 작은 동력으로 기판을 정렬할 수 있는 기판 지지장치를 제공함을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 간단한 구조만으로 기판을 정렬할 수 있는 장치를 제공함으로써 작업장 공간효율의 극대화를 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 짧은 시간 안에 기판을 정렬함으로써 전체 공정시간을 단축할 수 있는 장치를 제공함을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 전체 공정시간을 단축하여 공정비용을 절감할 수 있는 장치를 제공함으로 그 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한 것으로서, 기판이 안착되어 공정이 진행되는 기판 지지장치에 있어서, 기판을 상면에 흡착시키는 흡착 노즐이 설치되고 소정각도로 회동이 가능한 가변스테이지, 상기 가변스테이지와 이격되어 설치되며, 상향으로 공기를 분사하는 플로팅 노즐 및 하향으로 공기를 흡입하는 흡착 노즐이 형성된 고정스테이지, 상기 가변스테이지의 일 측에 결합하여 상기 가변스테이지를 회동시키는 구동수단을 포함하여 구성된다.

이때 상기 구동수단은, 구동모터, 상기 구동모터와 결합하는 이송축, 상기 이송축과 결합하여 상기 이송축의 길이방향으로 움직이는 이동체, 상기 이동체의 일 측에 결합하는 미끄럼 롤러로 구성되고, 상기 가변스테이지는 상기 구동수단의 미끄럼롤러를 수용하는 삽입홈이 형성된 돌출편을 포함하여 상기 구동수단의 구동력으로 상기 가변스테이지가 회동할 수 있어 바람직하다.

또한, 상기 가변스테이지는 저면에 상기 가변스테이지의 회동을 안내하는 가이드를 포함함으로써 가변스테이지의 회동이 용이하게 될 수 있어 바람직하다.

본 발명의 다른 측면인 LCD 셀의 씰 패턴 검사장치는 상기 기판 지지장치를 포함하고, 상기 기판지지장치의 양측에 위치하는 지지대, 상기 기판 지지장치의 상향에 위치하며 상기 지지대를 연결하는 브리지, 브리지에 결합하여 기판의 씰 패턴을 검사 및 보수하는 보정장치로 구성된 갠트리부로 구성되는 것이 기판을 정렬하기 위해 바람직하다.

이하, 상기와 같은 본 발명에 따른 기판 지지장치의 실시례를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 기판 지지장치의 분해사시도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 지지장치는 베이스(10), 가변스테이지(20), 고정스테이지(30), 구동수단(40)으로 구성된다.

베이스(10)는, 철골을 격자상으로 조합한 강고한 구성이고, 내부에 진동을 흡수하는 제진(除振)유닛(미도시)을 포함하는 정반(定盤)으로 구성된다. 특히, 정반은 석정반(石定盤)을 사용하는데, 이 같은 석정반을 사용하는 이유는 철 등의 금속보다도 열팽창율이 작고, 또한 강도가 높은 석재로 이루어져 공정 진행시 발생할 수 있는 열 또는 외부의 충격에 견딜 수 있어 더 바람직하기 때문이다.

도 5는 가변스테이지와 고정스테이지를 나타낸 평면도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 기판(미도시)이 안착되는 가변스테이지(20)는 상기 베이스(10)의 상면에 결합하고, 내부에 기판을 상면에 흡착시키는 흡착 노즐(21)이 설치되고, 소정 각도로 회동이 가능케 되어 있다.

또한, 가변스테이지(20)의 상면에 다수 개 설치되며 회동방향과 동일방향으로 길게 형성된 핀공(22)이 형성되어 있다. 상기 핀공(22)의 일 방향이 길게 형성된 이유는 가변스테이지(20)가 회동시 저면에 설치된 소정의 핀(23)을 안내해야 하기 때문이다. 상기 핀(23)은 기판이 장치에 로딩될 때 기판을 이송하는 로봇팔 등이 기판을 지정위치(align point)에 위치시킨 후 로봇팔이 빠져나갈 수 있는 공간을 만들어 주기 위해 승강이 가능하도록 설치된다.

또한, 가변스테이지(20)의 중앙부 저면에는 후술할 구동수단의 미끄럼롤러를 수용하는 돌출편(24)이 설치되되, 일 방향으로 길게 형성된 삽입홈(25)이 형성되어 가변스테이지(20)가 회동할 때 미끄럼롤러의 이탈을 방지하고, 가변스테이지의 회동을 용이하게 할 수 있다.

상기 베이스(10)와 상기 가변스테이지(20) 사이에 위치하여 가변스테이지(20)의 회동을 안내하는 세 개의 가이드(26)는 R가이드로 마련된다. R가이드는 호 형태의 R레일(26a)과 R레일(26a)을 따라 이동하는 R블록(26b)으로 구성된 가이드이다.

상기 R가이드는 가변스테이지(20)의 회동을 미세하게 조절하기 위해 한 개 이상을 설치하는 것이 바람직하다. 또한 설치되는 세 개의 가이드(26)는 모두 동일한 중심을 가진 R레일(26a)로 구성됨으로써 상기 가변스테이지(20)의 회동이 안정적으로 이루어지게 할 수 있다.

고정스테이지(30)는 상기 베이스(10)의 상면에 결합하고, 가변스테이지(20)와 이격되어 설치된다. 가변스테이지(20)와 이격되어 설치되는 이유는 상기 가변스테이지(20)가 회동시 가변스테이지(20)의 회동을 하기 위한 공간을 확보할 뿐 아니라 고정스테이지(30)와의 충돌을 방지하기 위해서이다.

이와 같이 설치되는 고정스테이지(30)에는 상향으로 공기를 분사하는 플로팅 노즐(31) 및 하향으로 공기를 흡입하는 흡착노즐(32)이 형성되어 있다. 상기 플로팅 노즐(31)은 기판이 장치로 로딩되어 정렬이 되기 전에 상향으로 공기를 분사하 여 기판이 유동성을 띨 수 있도록 하며, 이후 기판 정렬이 끝난 후에는 흡착 노즐(32)이 공기를 흡입하여 기판을 고정스테이지(30) 상면에 흡착시킨다.

이 같은 플로팅 노즐(31) 및 흡착 노즐(32)은 본 실시례에서는 각각 구성된 것으로 표현하였지만, 동일한 노즐에 공기를 흡입 및 분사할 수 있는 장치를 마련하여도 같은 효과를 얻을 수 있다.

또한, 고정스테이지(30)의 다수 영역에는 가변스테이지(20)와 마찬가지로 하부에서 상승하는 핀(34)을 수용하는 핀공(33)이 형성되되, 가변스테이지(20)와는 달리 고정스테이지(30)는 회동하지 않으므로 일 방향이 길게 형성될 필요는 없다.

도 6은 본 발명에 따른 구동수단을 나타낸 확대사시도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 구동수단(40)은 상기 베이스(10)의 정면에 결합되고, 구동모터(41), 구동모터(41)의 회전력을 전달하며 나사산이 형성된 이송축(42), 이송축(42)과 결합하며 이송축(42)의 회전에 따라 이송축(42)의 나사산을 타고 이동하는 이동체(43), 상기 이동체(43)의 상부에 결합하며 공회전하는 미끄럼롤러(44)로 구성된다. 이때 미끄럼롤러(44)는 상술한 돌출편(24)의 삽입홈(25)에 수용되어 상기 구동모터(41)의 구동력에 의해 직선으로 이동하는 이동체(43)의 힘을 돌출편(24)으로 전달한다.

상술한 설명에 따라 본 발명에 따른 기판 지지장치의 기능 및 작용에 대해 설명한다.

도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 기판 지지장치의 작동상태도이다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 로봇팔(100)은 기판(1)을 가변스테이지(20)와 고정스테이지(30)의 상부로 돌출되는 핀(23)(33) 위로 기판(1)을 안착시킨 후 제자리로 원위치하게 된다.

이후 상기 핀(23)(33)은 아래로 하강하여 기판(1)이 가변스테이지(20)와 고정스테이지(30)의 상면에 안착되는데, 이때 가변스테이지(20)에 설치된 흡착노즐(21)은 공기를 흡입하여 기판(1)이 가변스테이지(20)의 상면에 흡착되고, 고정스테이지(30)의 플로팅 노즐(31)은 상향으로 공기를 분사하여 기판(1)이 유동성을 띠게 하여 가변스테이지(20)만을 회동하여도 기판 전체가 회동될 수 있도록 한다.

다음, 도 7b내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 구동모터(41)에 의해 이동체(43)가 이동하고 이동체(43)의 직선운동하는 힘은 상부에 결합된 미끄럼롤러(44)를 통해 돌출편(24)에 전달된다. 이때 상기 돌출편(24)의 삽입홈(25)은 상기 미끄럼롤러(44)를 수용하되, 삽입홈(25)의 내측면과 미끄럼롤러(44)의 외주면이 미끄럼마찰을 통해 힘이 전달되고, 일 방향으로 길게 형성된 삽입홈(25)의 형상으로 인해 미끄럼롤러(44)는 삽입홈(25)에서 이탈하지 않고 일정한 힘을 전달할 수 있다.

또한, 돌출편(24)은 가변스테이지(20)와 결합되어 있고, 가변스테이지(20)는 저면에 설치된 가이드(26)와 결합되어 있으므로, 일 방향으로 힘을 받았을 때 돌출편(24) 및 가변스테이지(20) 전체가 이동하는 병진운동을 하지 않고 가이드(26)에 안내되어 회동을 하게 된다. 따라서, 이 같은 작용으로 가변스테이지(20)를 회동시켜 상면에 흡착된 기판(1)도 연동하여 회동하게 된다.

다음, 상술한 작용으로 기판(1)을 해당 공정에 맞는 지정위치(align point)에 정렬하고 난 후, 고정스테이지(30)의 흡착 노즐이 작용하여 고정스테이지(30)의 상면에 안착된 기판(1)을 상면에 완전히 흡착시켜 검사 및 보수공정을 진행하게 된다.

본 발명의 다른 측면은 상술한 기판 지지장치를 포함한 LCD 셀의 검사장치이다. 도 8은 본 발명에 따른 검사장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 8에 도시된 바와 같이, LCD 셀의 검사장치는 기판 지지장치(50)의 양측에 위치하는 두 지지대(61)(62) 사이를 브리지(63)로 연결한 형태인 갠트리부(60)를 포함하고 있다.

이러한 갠트리부(60)는 레일(rail) 형태의 소정의 리니어 가이드 및 모터를 구비하여 형성된다. 또한, 브리지(63)에는 기판 지지장치(60)의 상부에 로딩되는 기판을 검사 및 보수할 수 있는 보정장치(64)가 결합된다.

이와 같이 구성된 LCD 셀의 검사장치에 기판 지지장치(50)의 상부로 씰 패턴이 형성된 LCD 셀이 로딩되면, 보정장치(64)의 검사 시작점과 대응하도록 LCD 셀을 정렬하기 위해 상술한 방법으로 기판 지지장치(50)를 작용하여 LCD 셀을 정렬한 후, 갠트리부(60)의 보정장치(64)가 씰패턴을 검사하고 결함이 있는 곳은 보수를 하게 된다.

본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며 첨부된 특허청구 범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 변형할 수 있는 범위까지 본 발명의 청구 범위 내에 있다는 것이 이해될 것이다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 지지장치 및 이를 이용한 LCD 셀의 씰패턴 검사장치는 기판이 안착되는 스테이지를 분할하여 기판을 쉽게 정렬할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 분할된 스테이지만으로 기판을 정렬하므로 작은 동력으로도 기판을 정렬할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 분할된 스테이지만을 움직이는 동력원을 갖춤으로써 간단한 구조만으로도 기판을 정렬할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 분할된 스테이지만을 조절하여 짧은 시간에 기판을 정렬함으로써 전체 공정시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 공정시간을 단축하여 공정비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 기판이 안착되어 공정이 진행되는 기판 지지장치에 있어서,

   기판을 상면에 흡착시키는 흡착 노즐이 설치되고 소정각도로 회동이 가능한 가변스테이지;

   상기 가변스테이지와 이격되어 설치되며, 상향으로 공기를 분사하는 플로팅 노즐 및 하향으로 공기를 흡입하는 흡착 노즐이 형성된 고정스테이지;

   상기 가변스테이지의 일 측에 결합하여 상기 가변스테이지를 회동시키는 구동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지장치
2. 제 1항에 있어서,

   상기 구동수단은,

   구동모터, 상기 구동모터와 결합하는 이송축, 상기 이송축과 결합하여 상기 이송축의 길이방향으로 움직이는 이동체, 상기 이동체의 일 측에 결합하는 미끄럼 롤러로 구성되고, 상기 가변스테이지는 상기 구동수단의 미끄럼롤러를 수용하는 삽입홈이 형성된 돌출편을 포함하는 것을 특징으로 기판 지지장치
3. 제 1항에 있어서,

   상기 가변스테이지는 저면에 상기 가변스테이지의 회동을 안내하는 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지장치
4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항의 기판 지지장치를 포함하고,

   상기 기판지지장치의 양측에 위치하는 지지대, 상기 기판 지지장치의 상향에 위치하며 상기 지지대를 연결하는 브리지, 브리지에 결합하여 기판의 씰 패턴을 검사 및 보수하는 보정장치로 구성된 갠트리부를 포함하는 LCD 셀의 씰 패턴 검사장치

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