CN101965228B - 复合材料板的制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及复合材料板的制造装置。通过具备将已涂敷有机溶液的基材加热至有机溶剂的残留量为10-15％，并设置有非活性气体提供单元(18)的预加热单元(12)；以及加热至有机溶剂的残留量为1％以下，并设置有加热辊(21)、非活性气体提供单元(23)及加热单元(22)的固化炉(13)的复合材料板的制造装置，可以防止已涂敷有机溶液的基材的氧化，并且不会产生卷曲地固化有机溶液。由此，能够连续地制造具有优良的耐热性、耐老化性、耐弯曲性、形状维持性、剥离强度等的高质量的复合材料板。

Description

复合材料板的制造装置
技术领域
本发明涉及复合材料板的制造装置，特别是涉及具备在基材上固化有机溶质而得的树脂的薄膜层的复合材料板的制造装置。
背景技术
在以往，在基材上具备树脂的薄膜层的复合材料板被用于各种领域。
例如，将以金属薄膜的一种的铜箔为基材的复合材料板作为挠性印刷电路基板，以不锈钢箔为基材(SUS箔)的复合材料板作为HDD(硬盘)的弹性材料，此外，以锌白铜为基材的复合材料板作为绝缘保护层，另外，以PET(聚酯膜)、PEN、PES、丁缩醛树脂，尼龙等为基材的材料被用作耐热膜或电子用覆盖膜。
在制造这样的跨越多种利用领域的复合材料板时，利用滚道等搬运单元将尺寸较长的基板搬运至涂覆加工位置，并且，在涂覆加工位置使用模具涂覆或凹版涂覆等涂覆加工方法将有机溶液涂敷在上述基材上，然后，干燥上述有机溶液并通过除去有机溶液中的溶媒来进行上述有机溶质的固化。其结果，得到了在上述基材上固化上述有机溶质而形成树脂薄膜层的复合材料板。
专利文献1：日本特开2001-179919号公报
然而，在以往，在复合材料板成形时，在通过使涂敷在基材上的有机溶液干燥并固化从而在基材上形成树脂薄膜层的阶段，出现了复合材料板的宽度方向的两个边缘向树脂的薄膜层侧卷起，从而产生使膜整体带有圆度，被称为卷曲的现象的问题。
特别是随着近年来的移动电话，液晶电视及其它的电子设备不断的小型化、复杂化，对于这些设备所使用的以铜箔为基材的复合材料板构成的挠性印刷电路基板，要求其实现进一步的薄膜化，并且，具有优良的耐热性、耐老化性、耐弯曲性、形状维持性、剥离强度等，这些要求也还未得到满足。
进一步进行说明，涂敷在铜箔上的树脂为聚酰亚胺树脂，该聚酰亚胺树脂是将树脂的先躯物的酰胺酸溶液作为涂敷原料，在干燥时除去上述溶液内的NMP溶媒，进行固化(硬化)并使其反应从而生成聚酰亚胺树脂，因而，与其它树脂相比该聚酰亚胺树脂由反应导致的收缩明显较大，从而更容易产生卷曲。
此外，聚酰亚胺树脂是难以使NMP溶媒从有机溶液中挥发的树脂，这也被认为是导致聚酰亚胺树脂容易产生卷曲的一个因素。
此外，若没有几乎100％除去该NMP溶媒，则在布线时的焊锡接线处，在加热至250℃以上的情况下，聚酰亚胺树脂内的NMP溶媒蒸发，使铜箔与聚酰亚胺树脂剥离，抗剥强度明显降低，最差的情况是出现铜箔与聚酰亚胺树脂剥离的缺陷。
因此，在以往，在以酰胺酸溶液涂敷铜箔之后，将涂敷后的材料卷绕在不锈钢网板上，并将卷绕物放入在氮气环境内的炉中加热，若在500℃～700℃的温度下加热不足四十八小时，则有未除去NMP溶媒，从而不能作为产品的缺陷。此外，在铜箔上残留有不锈钢网痕迹的凹凸，作为产品存在产生问题的情况。特别是在多层时存在空气进入痕迹的可能性，不适用于多层的挠性基板。
发明内容
因此，一直以来，迫切期望一边搬运一边连续地制造优质的复合材料板的制造装置。
本发明是鉴于这些情况而做出的，其目的在于，提供能够实现复合材料板的薄膜化，有效地防止卷曲的产生并能够连续地制造，并且能够得到具有优良的耐热性、耐老化性、耐弯曲性、形状维持性、剥离强度等的高质量的复合材料板的复合材料板的制造装置。
为实现前述目的，本发明的第一方案的复合材料板的制造装置，其在连续的基材上涂敷了由有机溶质与溶媒构成的有机溶液之后，通过使该基材上的有机溶液在规定的环境气体温度下干燥并固化，从而制造具备在上述基材上固化上述有机溶质而得的树脂的薄膜层的复合材料板，其特征是，设置有预加热单元，其对在长度方向上搬运的已涂敷有机溶液的基材进行加热干燥直至上述有机溶液中的溶媒残留10～15％；设置有固化炉，其将利用预加热单元进行了预加热的已涂敷有机溶液的基材在其长度方向上自由地搬入、搬出；设置有非活性气体提供单元，其在上述预加热单元中，将刚要搬入上述固化炉之前的已涂敷有机溶液的基材保持在非活性气体环境气体内，从而防止基材的氧化；在上述固化炉内设有辊、非活性气体提供单元及加热单元；该辊用于使上述基材的未涂敷应干燥的有机溶液的面绕过并对其搬送，并且加热上述基材及有机溶液；该非活性气体提供单元用于在该辊与基材之间形成非活性气体膜，并且使上述固化炉内维持防止上述基材氧化的低氧浓度；该加热单元用于将涂敷在绕过上述辊的基材上的有机溶液加热至上述树脂的玻璃化转变温度以上的温度，从而使上述有机溶液中的溶媒的残留量为1％以下(优选为0.5％以下)。
并且，若采用这样的装置，将已涂敷有机溶液的基材利用预加热单元加热干燥至上述有机溶液中的溶媒残留10～15％，并且，在刚要搬入固化炉之前的部分保持在由非活性气体提供单元形成的非活性气体环境气体内，从而防止基材的氧化。在这种状态下，使非活性气体薄膜介于未涂敷应干燥的有机溶液的面与处于加热状态的辊的外圆周面之间并对从预加热单元搬入固化炉内的已涂敷有机溶液的基材进行搬送，在搬送期间通过防止固化炉内的基材的氧化的低氧浓度的环境气体内，从而防止基材的氧化。同时，上述有机溶液通过由辊及加热单元给予的热量加热至树脂的玻璃化转变温度以上，从而充分地除去溶媒至残留量为1％以下(优选为0.5％以下)并使树脂固化。由此，能够连续地制造完全没有卷曲的薄膜状的，并且具有优良的耐热性、耐老化性、耐弯曲性、形状维持性、剥离强度等的高质量的复合材料板。
此外，本发明的第二方案的复合材料板的制造装置是在第一方案中，其特征是，上述基材为铜的薄膜，树脂为聚酰亚胺树脂，非活性气体为氮气，上述预加热单元的非活性气体提供单元部分的氧浓度为500～1000PPM，上述固化炉内的氧浓度为100～500PPM。
并且，若采用这样的装置，在使用铜箔等由铜的薄膜构成的基材的情况下，能够利用氮气有效地防止作为基材的铜的氧化，并且能够几乎完全除去含有聚酰亚胺树脂的溶媒并使其固化，从而得到高品质的复合材料板。
本发明的效果是，若采用本发明的复合材料板的制造装置，能够实现复合材料板的薄膜化，有效地防止卷曲的产生，能够起到连续地制造，并且得到具有优良的耐热性、耐老化性、耐弯曲性、形状维持性、剥离强度等的高质量的复合材料板等优良的效果。
附图说明
图1是表示本发明的复合材料板的制造装置的一个实施方式的概略主视图。
图2是表示本发明的固化炉的一个实施方式的概略剖视图。
图3是本发明的复合材料板的侧视图。
具体实施方式
接下来，参照图1至图3对本发明的复合材料板的制造装置进行说明。
图1至图2表示本发明的复合材料板的制造装置的一个实施方式。
在本实施方式的制造装置1中，以在由如图3所示的铜箔等的铜的薄膜构成的基材2上层叠有聚酰亚胺树脂3的复合材料板4的制造情况为例进行说明。
图1至图2所示的制造装置1具有从基材2的解卷辊5至卷绕装置6的基材2的搬运路线，在该一系列的搬运路线中配设有保持基材2的搬运的多个引导辊7。在解卷辊5的下游具有送出卷绕在该解卷辊5上的尺寸较长的基材2的送出装置8。在该送出装置8的下游配设有涂覆加工装置覆9，该涂覆加工装置9在从上述送出装置8送出的基材2的表面上涂敷作为聚酰亚胺树脂的先躯物的酰胺酸溶液(有机溶质与溶媒的混合物)。作为该涂覆加工装置9配设模具涂覆机、反向涂覆机、刮刀涂覆机或凹版辊的直径为50mm以下的微型凹版涂覆机即可。由于聚酰亚胺树脂因吸水性强而卷入空气引起粘度的变化，或引起白浊化，涂覆后失去聚酰亚胺树脂的特性的可能性较高，因而在本实施方式中使用不与空气接触的模具涂覆机。在该涂覆加工装置9的下游一侧连续设置有加热干燥至使基材2上的有机溶液中的溶媒残留10～15％的作为预加热单元的多个干燥炉10、11、12。在这些干燥炉10、11、12的下游侧配设有使有机溶质最终地固化，使其成为聚酰亚胺树脂3的固化炉13。在该固化炉13的下游侧配设有平缓地冷却高热状态的复合材料板4的缓冷装置14。在该缓冷装置14与卷绕装置6之间配设有卷绕驱动已冷却的复合材料板4的卷绕驱动装置15。
在作为上述预加热单元的多个干燥炉10、11、12中，在上游侧的两个干燥炉10、11形成为，以与有机溶液面对的方式配设有多个利用红外线或远红外线的加热器16，将已涂敷有机溶液的基材2平缓地加热至约150℃左右。在配设于干燥炉10、11的下游侧的干燥炉12形成为，将多个利用红外线或远红外线的加热器17配设在与有机溶液面对的一侧以及根据需求配设在与基材2面对的一侧，最终，将已涂敷有机溶液的基材2平缓地加热至约300～350℃左右，使其加热干燥至有机溶液中的溶媒残留10～15％。再有，对于在刚要搬入固化炉13之前的已涂敷有机溶液的基材2，还在与有机溶液面对的一侧以及与基材2面对的一侧的双方配设有加热器17，并且，配设有向两加热器17之间提供作为非活性气体的氮气，从而形成氧浓度为500～1000PPM的非活性气体环境气氛的作为非活性气体提供单元的氮气喷嘴18。由此，在刚要搬入固化炉13之前的干燥炉12内使基材2保持在非活性气体环境内以防止氧化。
在配置在干燥炉12的下游侧的固化炉13的上表面开设有将复合材料板4沿其长度方向自由地搬入/搬出的入口19与出口20。在固化炉13内的中央部横向架设有能够自由旋转的直径为200～1000mm的辊21，该辊21用于使复合材料板4的基材2的未涂敷应该干燥的有机溶剂的面绕过并对其进行搬送。该辊21形成为能够自由地切换成自由旋转与驱动旋转。在不对基材2施加不必要的张力的情况下，使辊21自由旋转即可。此外，在辊21内装有用于使基材2保持在比聚酰亚胺树脂3的玻璃化转变温度(约350℃)低的温度的低温加热器(未图示)。此外，作为用于为使有机溶液聚酰亚胺化而将有机溶液加热至玻璃化转变温度以上(例如，380～420℃)的加热单元，在与有机溶液面对的圆弧状的位置配设有利用红外线或远红外线的加热器22。以该加热器22及辊21内的加热器进行加热，使涂敷在基材2上的有机溶液中的溶媒的残留量降至1％以下(优选为0.5％以下)，从而形成优质的聚酰亚胺树脂。此外，为了在辊21与复合材料板4的基材2之间形成非活性气体膜，配设有将非活性气体的一种的氮气朝向辊21的上部外圆周面喷出的膜形成用氮气喷嘴23。为了可靠地形成该非活性气体膜，以对辊21的外圆周面进行粗化，使其由细小的凹凸构成的粗糙化处理为宜。此外，为使固化炉13内处于低氧浓度(例如，100～500PPM)，配设有提供必要量的非活性气体的一种的氮气的至少一个氮气喷嘴24。形成有非活性气体提供单元，其利用这些膜形成用氮气喷嘴23与氮气喷嘴24在辊21与基材2之间形成非活性气体膜，并且维持固化炉13内的低氧浓度，从而防止作为基材2的铜的薄膜的明显氧化。为了维持固化炉13内的低氧浓度，在入口19与出口20处分别配设有形成氮气帘的气帘用氮气喷嘴25即可。
在配置于固化炉13的下游侧的缓冷装置14中，为了将高热状态的复合材料板4平缓地冷却至常温，在与聚酰亚胺树脂3面对的一侧和根据需求在与基材2面对的一侧配设有多个利用红外线或远红外线的加热器26，从而可实现基材2的铜的结晶化的稳定性，并维持聚酰亚胺树脂3及基材2的平坦性。
接下来，对本实施方式的作用进行说明。
首先，从解卷辊5经由送出装置8将基材2搬运至涂覆加工装置9部分之后，在该基材2上涂敷作为有机溶质聚酰亚胺树脂的先躯物的酰胺酸溶液。在这种情况下，处于完工状态的复合材料板4的基材2的厚度约为9μm，聚酰亚胺树脂3的厚度约为10μm。
然后，在基材2上涂敷有机溶液之后，将该基材2搬运至作为预加热单元的多个干燥炉10、11、12内，在各干燥炉10、11、12内，通过使基材2上的有机溶液在规定的环境气体温度下干燥来促进有机溶质的固化。此时，以通过使用鼓风机等送风机向有机溶质的表面吹送热风来高效地进行干燥为宜。在本实施方式中，在预加热单元的上游侧的两个干燥炉10、11中，将已涂敷有机溶液的基材2平缓地加热至约150℃左右。接着，在配设于这些干燥炉10、11的下游侧的干燥炉12中，利用多个加热器17最终地将已涂敷有机溶液的基材2平缓地加热至约300～350℃左右，并加热干燥直至有机溶剂中的溶媒残留10～15％。另外，对于刚要搬入固化炉13之前的已涂敷有机溶液的基材2，向配设在与有机溶液面对的一侧及与基材2面对的一侧的双方的两加热器17之间从氮气喷嘴18提供作为非活性气体的氮气，由于形成氧浓度为500～1000PPM的非活性气体环境，因而能有效地防止由两加热器17加热至高温的基材2的铜的氧化。
在固化炉13的上游侧平缓地加热至约300～350℃左右的基材2的铜的薄膜与有机溶液按顺序通过由气帘用氮气喷嘴25形成的约300℃左右的氮气帘及入口19搬入固化炉13内。为提高基材2的铜的薄膜与聚酰亚胺树脂3的结合性，将表面稍微粗化即可。
由氮气喷嘴24提供的约300℃左右的氮气使该固化炉13内维持在100～500PPM的低氧浓度。在使固化前的与涂敷有应干燥的聚酰亚胺树脂22的面相反一侧的面绕过自由旋转状态的辊21时，以从膜形成用氮气喷嘴23喷出的约300℃左右的氮气沿辊21的外圆周面，更具体地说，由在该外圆周面上形成的粗糙化部分卷入氮气的方式保持基材2，从而在基材2与辊21的外圆周面之间形成氮气的薄膜。然后，在该状态下，通过将基材2卷绕在保持在比聚酰亚胺树脂3的玻璃化转变温度低的温度的辊21上，从而使基材2保持在该玻璃化转变温度以下的温度。通过这些，基材2的铜的薄膜不会发生氧化作用，此外，也不会被异常地加热。
与此同时，涂敷在基材2的外侧的聚酰亚胺树脂3利用加热器22加热至聚酰亚胺树脂3的玻璃化转变温度(350℃)以上的温度，即加热至380～420℃的温度，所含有的作为溶媒的NMP几乎100％(NMP的残留量为1％以下(优选为0.5％以下))被除去。由此，可靠地进行聚酰亚胺化。另外，在固化炉13内的少许氧在厚度方向上渗透已固化的聚酰亚胺树脂3，到达基材2的铜的薄膜，并将铜稍微氧化，从而进一步增强与聚酰亚胺树脂3的结合性。
这样，将使聚酰亚胺树脂3固化而成为最终产品的复合材料板4从固化炉13按顺序通过出口20及由气帘用氮气喷嘴25形成的约300℃左右的氮气帘，搬出至外部的干燥炉12内。
然后，复合材料板4通过干燥炉12到达缓冷装置14，利用该缓冷装置14平缓地冷却至常温，从而实现基材2的铜的结晶的稳定性，并维持聚酰亚胺树脂3及基材2的平坦性。由此能够得到完全没有卷曲的薄膜状的复合材料板4。例如，能够使作为基材2的铜的薄膜的厚度为9～25μm，使聚酰亚胺树脂3的厚度为10～25μm。并且，该复合材料板4是具有优良的耐热性、耐老化性、耐弯曲性、形状维持性、剥离强度等高质量产品。
然后，将复合材料板4卷绕在卷绕装置6上。
此外，本发明并不限定于上述实施方式，能够根据需要进行各种变更。
例如，作为复合材料板能够在基材的两面形成聚酰亚胺树脂。

Claims (3)

1.一种复合材料板的制造装置，其在连续的基材上涂敷了由有机溶质与溶媒构成的有机溶液之后，通过使该基材上的有机溶液在规定的环境气体温度下干燥并固化，从而制造具备在上述基材上固化上述有机溶质而得的树脂的薄膜层的复合材料板，其特征是，
设置有预加热单元，其对在长度方向上搬运的已涂敷有机溶液的基材进行加热干燥直至上述有机溶液中的溶媒残留10～15%；
设置有固化炉，其将利用预加热单元进行了预加热的已涂敷有机溶液的基材在其长度方向上自由地搬入、搬出；
设置有非活性气体提供单元，其在上述预加热单元中，将刚要搬入上述固化炉之前的已涂敷有机溶液的基材保持在非活性气体环境气体内，从而防止基材的氧化；
在上述固化炉内设有辊、非活性气体提供单元及加热单元；该辊用于使上述基材的未涂敷应干燥的有机溶液的面绕过并对其搬送，并且加热上述基材及有机溶液；该非活性气体提供单元用于在该辊与基材之间形成非活性气体膜，并且使上述固化炉内维持防止上述基材氧化的低氧浓度；该加热单元用于将涂敷在绕过上述辊的基材上的有机溶液加热至上述树脂的玻璃化转变温度以上的温度，从而使上述有机溶液中的溶媒的残留量为1%以下，该加热单元以与上述基材面对的方式形成为圆弧状。
2.如权利要求1所述的复合材料板的制造装置，其特征是，
上述加热单元用于将涂敷在绕过上述辊的基材上的有机溶液加热至上述树脂的玻璃化转变温度以上的温度，从而使上述有机溶液中的溶媒的残留量为0.5%以下。
3.如权利要求1或2所述的复合材料板的制造装置，其特征是，
上述基材为铜的薄膜，树脂为聚酰亚胺树脂，非活性气体为氮气，上述预加热单元的非活性气体提供单元部分的氧浓度为500～1000PPM，上述固化炉内的氧浓度为100～500PPM。
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DE (1) DE112008003735T5 (zh)
TW (1) TW200940333A (zh)
WO (1) WO2009107310A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5469966B2 (ja) * 2009-09-08 2014-04-16 東京応化工業株式会社 塗布装置及び塗布方法
JP6280194B1 (ja) * 2016-12-12 2018-02-14 中外炉工業株式会社 塗装乾燥装置および塗装乾燥方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005090070A1 (ja) * 2004-03-24 2005-09-29 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. フレキシブルプリント配線板用基板の製造方法
US20070128368A1 (en) * 2005-12-06 2007-06-07 Konica Minolta Opto, Inc. Method for production of functional film, substrate conveyance apparatus, and functional film produced with the method

Family Cites Families (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3362848A (en) * 1964-03-03 1968-01-09 Mc Donnell Douglas Corp Apparatus and method for evaporative coating
US3379803A (en) * 1964-05-04 1968-04-23 Union Carbide Corp Coating method and apparatus for deposition of polymer-forming vapor under vacuum
US3867901A (en) * 1968-06-03 1975-02-25 Eastman Kodak Co Apparatus for production of photographic elements
GB1253124A (zh) * 1969-02-28 1971-11-10
US3565039A (en) * 1969-06-25 1971-02-23 Inca Inks Printing and coating apparatus
US3861351A (en) * 1973-12-06 1975-01-21 Dusenbery Co John Apparatus for coating and stacking printed sheets
US4053990A (en) * 1976-03-03 1977-10-18 Sav-Sol Drying Systems, Inc. Differential pressure drying and solvent recovery unit
DE3038791C2 (de) * 1980-10-14 1985-08-01 Lohmann Gmbh & Co Kg, 5450 Neuwied Vorrichtung zum Trocknen von lösungsmittelhaltigem Material
US4365423A (en) * 1981-03-27 1982-12-28 Eastman Kodak Company Method and apparatus for drying coated sheet material
JPS5879566A (ja) * 1981-11-04 1983-05-13 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 塗布方法およびその装置
JPS6142993A (ja) * 1984-08-07 1986-03-01 三菱電機株式会社 樹脂への導体層形成方法
US4809639A (en) * 1986-07-15 1989-03-07 Yasui Seiki Co. Ltd. Coating device
US5192585A (en) * 1987-05-20 1993-03-09 Kawasaki Steel Corp. Differential pressure sealing apparatus and method
JP2552929B2 (ja) * 1990-02-20 1996-11-13 富士写真フイルム株式会社 処理室壁のウエブ貫通部のガスシール装置
DE4023442A1 (de) * 1990-07-24 1992-01-30 Pagendarm Gmbh Verfahren und vorrichtung zum trocknen einer beschichteten substratbahn
JPH05228418A (ja) * 1991-12-27 1993-09-07 Mitsui Toatsu Chem Inc フレキシブル金属箔積層板の製造方法および製造装置
JP3011366B2 (ja) * 1995-10-26 2000-02-21 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 膜形成素材を含む基板の焼成方法および装置
EP0890068A1 (en) * 1996-03-29 1999-01-13 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for drying a coating on a substrate employing multiple drying subzones
US5621983A (en) * 1996-03-29 1997-04-22 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for deckeling excess air when drying a coating on a substrate
MY143286A (en) * 1996-05-21 2011-04-15 Panasonic Corp Thin film, method and apparatus for forming the same, and electronic component incorporating the same
US5906862A (en) * 1997-04-02 1999-05-25 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for drying a coating on a substrate
US6337102B1 (en) * 1997-11-17 2002-01-08 The Trustees Of Princeton University Low pressure vapor phase deposition of organic thin films
US6045864A (en) * 1997-12-01 2000-04-04 3M Innovative Properties Company Vapor coating method
JP2000127186A (ja) * 1998-10-28 2000-05-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 樹脂薄膜の製造方法
JP4000706B2 (ja) * 1999-03-12 2007-10-31 ソニーケミカル＆インフォメーションデバイス株式会社 シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置
JP2001179919A (ja) 1999-12-24 2001-07-03 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の製造方法
ATE497028T1 (de) * 2000-06-22 2011-02-15 Panasonic Elec Works Co Ltd Vorrichtung und verfahren zum vakuum-ausdampfen
US6468595B1 (en) * 2001-02-13 2002-10-22 Sigma Technologies International, Inc. Vaccum deposition of cationic polymer systems
US6802315B2 (en) * 2001-03-21 2004-10-12 Hollingsorth & Vose Company Vapor deposition treated electret filter media
US6987162B2 (en) * 2001-10-23 2006-01-17 Tien Tsai Lin Method and apparatus of producing high-density polyimide (HPI) film
JP4136509B2 (ja) * 2001-12-18 2008-08-20 三井金属鉱業株式会社 プリプレグの製造方法並びにプリプレグの製造装置並びに絶縁層付銅箔の製造方法
US7112351B2 (en) * 2002-02-26 2006-09-26 Sion Power Corporation Methods and apparatus for vacuum thin film deposition
JP2004050007A (ja) * 2002-07-18 2004-02-19 Konica Minolta Holdings Inc 塗布方法
US6911671B2 (en) * 2002-09-23 2005-06-28 Eastman Kodak Company Device for depositing patterned layers in OLED displays
US6949296B2 (en) * 2002-12-31 2005-09-27 E. I. Du Pont De Nemours And Company Polyimide substrates having enhanced flatness, isotropy and thermal dimensional stability, and methods and compositions relating thereto
US20040191419A1 (en) * 2003-03-26 2004-09-30 Fuji Photo Film Co., Ltd. Drying method and drying apparatus for coating layer
JP4669715B2 (ja) * 2005-02-23 2011-04-13 株式会社康井精機 複合材料シートの製造装置
CA2714149A1 (en) * 2007-02-02 2008-08-07 G24 Innovations Limited Photovoltaic cell arrays
KR101226390B1 (ko) * 2007-12-05 2013-01-24 파나소닉 주식회사 박막 형성 장치 및 박막 형성 방법
US20110117279A1 (en) * 2008-02-20 2011-05-19 Panasonic Corporation Thin film forming method and film forming apparatus
JP5394765B2 (ja) * 2008-03-31 2014-01-22 富士フイルム株式会社 ペロブスカイト型酸化物膜、強誘電体、圧電素子、液体吐出装置
EP2423351A4 (en) * 2009-04-22 2013-02-27 Panasonic Corp APPARATUS FOR FORMING THIN FILM AND METHOD FOR FORMING THIN FILM
JP5439097B2 (ja) * 2009-09-08 2014-03-12 東京応化工業株式会社 塗布装置及び塗布方法
JP5469966B2 (ja) * 2009-09-08 2014-04-16 東京応化工業株式会社 塗布装置及び塗布方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005090070A1 (ja) * 2004-03-24 2005-09-29 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. フレキシブルプリント配線板用基板の製造方法
US20070128368A1 (en) * 2005-12-06 2007-06-07 Konica Minolta Opto, Inc. Method for production of functional film, substrate conveyance apparatus, and functional film produced with the method

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