JP4000706B2 - シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置 - Google Patents

シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4000706B2
JP4000706B2 JP6721399A JP6721399A JP4000706B2 JP 4000706 B2 JP4000706 B2 JP 4000706B2 JP 6721399 A JP6721399 A JP 6721399A JP 6721399 A JP6721399 A JP 6721399A JP 4000706 B2 JP4000706 B2 JP 4000706B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating
sheet
oven
heat treatment
heating oven
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP6721399A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000263561A (ja
Inventor
敏 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dexerials Corp
Original Assignee
Sony Chemical and Information Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Chemical and Information Device Corp filed Critical Sony Chemical and Information Device Corp
Priority to JP6721399A priority Critical patent/JP4000706B2/ja
Publication of JP2000263561A publication Critical patent/JP2000263561A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4000706B2 publication Critical patent/JP4000706B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレキシブルプリント基板に有用なポリイミド配線基板等のシート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ポリイミド配線基板を、ポリイミド前駆体であるポリアミック酸を使用して製造する場合、以下のように製造されている。即ち、ロール状に巻き取られた銅箔を巻き出し、その片面にポリアミック酸溶液を塗布し乾燥してポリアミック酸層(ポリイミド前駆体層)を形成し、更にそのポリアミック酸層をイミド化するための連続加熱オーブンを通過させてポリアミック酸層をポリイミド層とした後に、ロール状に巻き取り、ポリイミド配線基板を得ている。ここで、ポリアミック酸を完全にイミド化するためには、280〜350℃の温度で数十分間、加熱する必要がある。このため、上述したようにポリイミド配線基板を製造する場合には、非常に長い連続加熱オーブンが必要となり、莫大な設備投資と維持費とがかかるという問題がある。
【0003】
そこで、金属箔上にポリアミック酸が積層されたシート状材料をロールに巻いたロール原反自体を、比較的小さな加熱オーブンに投入してバッチ式でイミド化することが行われている。この場合、イミド化の際にポリアミック酸層から揮発する揮発性物質の中には、溶剤や水等の他に、互いに面接触しているシート状材料同士のブロッキングの原因となる「やに」物質が存在する。このため、実際にブロッキングが生じないように、シート状材料をロール巻きする際に、片面が平坦で他面が粗面となっている伴巻き用スペーサーを、粗面がポリアミック酸層に接するように一緒に巻き込むことが試みられている(特願平8−224797号公報)。この伴巻き用スペーサーを使用すると、揮発した「やに」物質が、伴巻き用スペーサーの粗面の連続した凹部からロールの側面を通って排出されるので、ブロッキングを防止できるとされている。
【0004】
【発明が解決すべき課題】
しかしながら、このような伴巻き用スペーサーを使用した場合であっても、揮発した「やに」物質をロールの側面から完全に排出することはかなり困難であり、完全にブロッキングを防止することはできないという問題があった。また、粗面の形状がポリイミド配線基板に転写されてしまうという問題もあった。更に、「やに」物質が伴巻き用スペーサーの粗面の凹部に付着するために、伴巻き用スペーサーの繰り返し使用が制限され、伴巻き用スペーサーの使用がポリイミド配線基板の製造コストを押し上げるという問題もあった。
【0005】
以上説明したようなポリイミド配線基板の問題は、ブロッキングを生じるような揮発性物質を含むシート状材料をロール状で加熱処理する場合に生ずる問題である。
【0006】
本発明は、以上の従来の技術を解決しようとするものであり、ポリイミド配線基板を製造する場合のように、シート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る場合に、伴巻き用スペーサーを使用することなく、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質によってシート状材料のブロッキングが生じないようにすることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ブロッキングを生じさせるような揮発性物質が加熱の初期段階で揮発すること、従ってそのような揮発性物質を加熱オーブン中でロール状に巻取られているシート状材料に付着しないように、揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながら加熱処理を行うことにより上述の目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【0008】
即ち、本発明は、金属箔上にポリアミック酸層が形成されたシート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、ポリアミック酸層をイミド化するために加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る工程を含むポリイミド配線基板の製造方法において、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材料に付着しないように、揮発した揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながら加熱処理することを特徴とするポリイミド配線基板の製造方法を提供する。
【0009】
本発明は、また、以上のシート状材料の加熱処理方法を実施するための装置として、以下の加熱処理装置を提供する。
【0010】
即ち、本発明は、シート状材料を加熱処理するための加熱処理装置であって、シート状材料を加熱するための加熱空間を提供する加熱オーブンと、加熱オーブンのシート状材料搬入口から加熱オーブン内に帯状で搬送されたシート状材料を加熱オーブン内でロール状に巻き取るための巻き取り手段と、加熱用ガスを加熱オーブン中に導入する加熱用ガス導入手段と、加熱オーブン中の加熱用ガスを加熱オーブン外へ排出するための排気手段とを備えた加熱処理装置において:加熱オーブン内には、その加熱空間を分画する円環形状を有する加熱空間分画手段が設けられ、該加熱空間分画手段にはシート状材料導入口とシート状材料導出口とが設けられ、また前記排気手段が接続され、加熱用ガス導入手段から加熱オーブン内に導入された加熱用ガスは、前記シート状材料導入口及びシート状材料導出口の少なくともいずれか一方から加熱空間分画手段内に導入され、排気手段から加熱オーブン外へ排気され、また、加熱オーブン内に搬入されたシート状材料は、シート状材料導入口から加熱空間分画手段内に導入され、加熱空間分画手段内で加熱処理され、ここで、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質が排気手段から加熱オーブン外に排気され、シート状材料がシート状材料導出口から導出され、巻き取り手段でロール状に巻き取られることを特徴とする加熱処理装置を提供する。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明のシート状材料の加熱処理方法は、シート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、それを加熱処理しながら加熱オーブン中でロール状に巻き取る工程を含む。ここで、加熱処理によりシート状材料から揮発性物質が、加熱処理の初期段階で揮発してくる。揮発物質としては、溶剤、水、モノマー、分解物等の様々な物質が挙げられるが、その中にはシート状材料のブロッキングを生じさせるような揮発性の「やに」物質が存在する場合がある。そのような揮発した「やに」物質が加熱オーブン中でロールに巻き取られたシート状材料に付着するとブロッキングを生じさせるので、本発明においては、そのような揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材料に付着しないように、揮発した揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながら加熱処理する。例えば、加熱オーブン中に分画加熱領域を設け、その分画加熱領域において揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながらシート状材料を加熱処理し、その後でシート状材料を分画加熱領域から出し、ロール状に巻き取ればよい。
【0012】
このシート状材料の加熱処理方法は、シート状材料として金属箔上にポリアミック酸層が形成された材料を使用した場合には、ポリイミド配線基板の製造方法となる。即ち、ポリイミド配線基板の製造方法は、金属箔上にポリアミック酸層が形成されたシート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、ポリアミック酸層をイミド化するために加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る工程を含むポリイミド配線基板の製造方法であって、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質であって且つシート状材料のブロッキングを生じさせるような揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材料に付着しないように、揮発した揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながら加熱処理することを特徴とするものである。
【0013】
本発明のシート状材料の加熱処理方法を詳しく説明するために、この加熱処理方法を実施するための加熱処理装置の一例を図面を参照しながら説明する。これにより、本発明のシート状材料の加熱処理方法の技術的利点が明確になる。
【0014】
本発明のシート状材料の加熱処理装置は、シート状材料を加熱処理するため加熱処理装置であり、ロールに巻き取られる前の状態のシート状材料だけでなく、ロールに巻き取られた状態のシート状材料も加熱処理することができる。
【0015】
この加熱処理装置は、シート状材料1を加熱するための加熱空間2を提供する加熱オーブン3と、加熱オーブン3のシート状材料搬入口4から加熱オーブン3内に帯状で搬送されたシート状材料1を、加熱オーブン3内でロール状に巻き取るための巻き取り手段5と、不活性ガス(例えば、窒素ガス)等の加熱用ガス6(図中点線矢印)を加熱オーブン3中に導入するために加熱オーブン3に設置された加熱用ガス導入手段7と、加熱オーブン3中の加熱用ガス6を加熱オーブン3の外部へ排出するための排気手段8とを備えている。更に、加熱オーブン3のシート状材料搬入口4と巻き取り手段5との間に、加熱オーブン3内の加熱空間2を分画する加熱空間分画手段9を有しており、また、この加熱空間分画手段9には、シート状材料導入口9a及びシート状材料導出口9bが設けられ、上述の排気手段8が接続されている。
【0016】
加熱オーブン3内に搬入されたシート状材料1は、シート状材料導入口9aから加熱空間分画手段9内に導入され、加熱空間分画手段9内で加熱処理された後にシート状材料導出口9bから導出され、巻き取り手段5でロール状に巻き取られる。ここで、加熱用ガス導入手段7から加熱オーブン3内に導入された加熱用ガス6は、加熱空間分画手段9のシート状材料導入口9a及びシート状材料導出口9bの少なくともいずれか一方から加熱空間分画手段9内に導入され、加熱空間分画手段9内でシート状材料1を十分に加熱処理する。このため、シート状材料1に含まれている揮発性物質は、この加熱空間分画手段9内において揮発する。そして、揮発した揮発性物質は、加熱空間分画手段9に設けられた排気手段8から加熱オーブン3の外部へ直接排気される。従って、加熱オーブン3内でロール状に巻き取られたシート状材料1には、ブッロキングを生じさせるような揮発性物質が付着しない。しかも、巻き取られたロール状のシート状材料1は、依然として加熱オーブン3の内部に存在しているので、ロール状のまま十分に加熱処理できる。
【0017】
この加熱処理装置を金属箔上のポリアミック酸層のイミド化に利用した場合には、ブロッキングを生じさせるような揮発性物質を、加熱処理の初期段階である加熱空間分画手段9内でポリアミック酸層から揮発させ、加熱オーブン3全体に拡散させることなく加熱オーブン3の外部に直接的に排気することができる。しかも、揮発性物質が除去されたシート状材料(金属箔/ポリアミック酸層)は、加熱オーブン3中、ロール状のまま十分な時間、加熱処理することができるので、ブロッキングすることなく、イミド化することができる。
【0018】
本発明の加熱処理装置においては、加熱空間分画手段9としては、加熱オーブン3の加熱空間を分画し、その分画した空間の中でシート状材料1を加熱処理可能な種々の手段を採用することができる。例えば、直方体状筒体(図1)や円環形状筒体(図2)等を加熱空間分画手段9として利用することができる。中でも、装置の小型化という点から図2に示す円環形状を好ましく採用することができる。
【0019】
本発明の加熱処理装置には、シート状材料1が加熱オーブン3に搬入される前に、シート状材料1を予備加熱するための予備加熱オーブン10を更に設置することが好ましい(図3)。予備加熱オーブン10を設けることにより、シート状材料1を段階的に加熱でき、揮発性物質の急激な揮発により生ずる問題(シート状材料に穴が生ずる等)を回避することができる。
【0020】
なお、本発明の加熱処理装置の加熱空間分画手段9以外の構成要素(例えば、加熱オーブン3、巻き取り手段5、加熱用ガス6、加熱用ガス導入手段7、排気手段8等)については、公知の装置やガスを適宜選択して使用することができる。
【0021】
以上説明した加熱処理処置は、それに投入するシート状材料として金属箔上にポリアミック酸層が形成されたものを作製するための塗布装置(図示せず)とを組み合わせると、ポリイミド配線基板のポリイミド配線基板製造装置として有用なものとなる。
【0022】
【実施例】
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。
【0023】
実施例1
温度コントロラーとジャケット付きの60リットルの反応釜に、パラフェニレンジアミン(PDA、三井化学社製)1.05kg(11.2モル)と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル(DPE、和歌山精化社製)0.86kg(4.8モル)とを、窒素ガス雰囲気下で溶剤N−メチル−ピロリドン(NMP、三菱化学社製)約45kgに溶解した。その後、50℃において、ピロメリット酸二無水物(PMDA、三菱瓦斯化学社製)3.523kg(16.14モル)を徐々に加えながら、3時間反応させた。これにより、固形分約12%、粘度25Pa・S(25℃)のポリアミック酸ワニスを調製した。
【0024】
得られたポリアミック酸ワニスを幅600mm、長さ100mの銅箔(12μm厚、SQ−VLP、三井金属社製)の上に塗布し、80〜170℃の連続炉で乾燥しロールに巻き取った。残存揮発分は30.4%であった。
【0025】
得られたロールを図3の示す加熱処理装置(ラインスピード=1m/分)にセットし、酸素濃度を0.2%以下に調整した加熱窒素ガスを加熱媒体とする予備加熱オーブンで230〜350℃まで予備加熱し、更に同様の加熱窒素ガスで350℃に加熱し、加熱オーブン中でロールに巻き取った。巻き取り終了後、更に15分間350℃に保持し、ポリアミック酸を完全にイミド化してポリイミド配線基板を作製した。加熱終了後、200℃まで窒素ガスで冷却した後に、加熱処理装置から取り出した。
【0026】
得られたロール状に巻き取られたポリイミド配線基板は、ブロッキングしておらず、容易に巻き戻すことができた。
【0027】
【発明の効果】
本発明によれば、ポリイミド配線基板を製造する場合のように、シート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る場合に、伴巻き用スペーサーを使用しなくても、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質によってシート状材料のブロッキングが生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】加熱処理装置の概略図である。
【図2】加熱処理装置の概略図である。
【図3】加熱処理装置の概略図である。
【符号の説明】
1 シート状材料、2 加熱空間、3 加熱オーブン、4 シート状材料搬入口、5 巻き取り手段、6 加熱用ガス、7 加熱用ガス導入手段、8 排気手段

Claims (5)

  1. 金属箔上にポリアミック酸層が形成されたシート状材料を帯状で加熱オーブン中に搬入し、ポリアミック酸層をイミド化するために加熱処理して加熱オーブン中でロール状に巻き取る工程を含むポリイミド配線基板の製造方法において、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材料に付着しないように、揮発した揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながら加熱処理することを特徴とするポリイミド配線基板の製造方法。
  2. 該揮発性物質がロール状に巻き取られたシート状材料に付着しないようにするために、加熱オーブン中に設けられた分画加熱領域において揮発性物質を加熱オーブン外に排出しながらシート状材料を加熱処理した後に、シート状材料を分画加熱領域から出し、ロール状に巻き取る請求項記載の製造方法。
  3. シート状材料を加熱処理するための加熱処理装置であって、シート状材料を加熱するための加熱空間を提供する加熱オーブンと、加熱オーブンのシート状材料搬入口から加熱オーブン内に帯状で搬送されたシート状材料を加熱オーブン内でロール状に巻き取るための巻き取り手段と、加熱用ガスを加熱オーブン中に導入する加熱用ガス導入手段と、加熱オーブン中の加熱用ガスを加熱オーブン外へ排出するための排気手段とを備えた加熱処理装置において:
    加熱オーブン内には、その加熱空間を分画する円環形状を有する加熱空間分画手段が設けられ、該加熱空間分画手段にはシート状材料導入口とシート状材料導出口とが設けられ、また前記排気手段が接続され、
    加熱用ガス導入手段から加熱オーブン内に導入された加熱用ガスは、前記シート状材料導入口及びシート状材料導出口の少なくともいずれか一方から加熱空間分画手段内に導入され、排気手段から加熱オーブン外へ排気され、また、
    加熱オーブン内に搬入されたシート状材料は、シート状材料導入口から加熱空間分画手段内に導入され、加熱空間分画手段内で加熱処理され、ここで、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質が排気手段から加熱オーブン外に排気され、シート状材料がシート状材料導出口から導出され、巻き取り手段でロール状に巻き取られることを特徴とする加熱処理装置。
  4. 加熱オーブンに搬入される前のシート状材料を予備加熱するための予備加熱オーブンが更に設置されている請求項記載の加熱処理装置。
  5. 帯状の金属箔上にポリアミック酸溶液を塗布し乾燥することにより金属箔上にポリアミック酸層が形成されたシート状材料を作成するための塗布装置と、
    そのシート状材料のポリアミック酸層をイミド化してポリイミド層とするための加熱処理を行うための加熱処理装置とを備えたポリイミド配線基板製造装置であって、
    該加熱処理装置はシート状材料を加熱するための加熱空間を提供する加熱オーブンと、加熱オーブンのシート状材料搬入口から加熱オーブン内に帯状で搬送されたシート状材料を加熱オーブン内でロール状に巻き取るための巻き取り手段と、加熱用ガスを加熱オーブン中に導入する加熱用ガス導入手段と、加熱オーブン中の加熱用ガスを加熱オーブン外へ排出するための排気手段とを備え、
    加熱オーブン内には、その加熱空間を分画する加熱空間分画手段が設けられ、該加熱空間分画手段にはシート状材料導入口とシート状材料導出口とが設けられ、また前記排気手段が接続され、
    加熱用ガス導入手段から加熱オーブン内に導入された加熱用ガスは、前記シート状材料導入口及びシート状材料導出口の少なくともいずれか一方から加熱空間分画手段内に導入され、排気手段から加熱オーブン外へ排気され、また、
    加熱オーブン内に搬入されたシート状材料は、シート状材料導入口から加熱空間分画手段内に導入され、加熱空間分画手段内で加熱処理され、ここで、加熱処理によりシート状材料から揮発した揮発性物質が排気手段から加熱オーブン外に排気され、シート状材料がシート状材料導出口から導出され、巻き取り手段でロール状に巻き取られることを特徴とする加熱処理装置を備えたポリイミド配線基板製造装置。
JP6721399A 1999-03-12 1999-03-12 シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置 Expired - Lifetime JP4000706B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6721399A JP4000706B2 (ja) 1999-03-12 1999-03-12 シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6721399A JP4000706B2 (ja) 1999-03-12 1999-03-12 シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000263561A JP2000263561A (ja) 2000-09-26
JP4000706B2 true JP4000706B2 (ja) 2007-10-31

Family

ID=13338420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6721399A Expired - Lifetime JP4000706B2 (ja) 1999-03-12 1999-03-12 シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4000706B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5421237B2 (ja) * 2008-02-29 2014-02-19 株式会社康井精機 複合材料シートの製造装置
JP6869396B1 (ja) 2020-03-30 2021-05-12 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ポリイミド金属積層シートの加熱処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000263561A (ja) 2000-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59162044A (ja) 厚いポリイミドと支持基材とから成る剥離強度の大きいラミネート
KR20140019407A (ko) 폴리이미드 필름의 제조방법, 폴리이미드 필름 제조장치 및 폴리이미드 필름
JP2008266416A (ja) ポリイミドフィルムの製造方法およびポリイミドフィルム
JPH046213B2 (ja)
JP4000706B2 (ja) シート状材料の加熱処理方法及び加熱処理装置
KR20090039643A (ko) 연성 편면 폴리이미드 동장 적층판의 제조 방법
US4915894A (en) Aromatic polyimide film and process for the preparation of the same
US6264866B1 (en) Method for producing polyimide film
JP3973311B2 (ja) ポリイミドフィルムの製造方法及び装置
EP0383461B1 (en) A process for producing a flexible printed base
JP4766247B2 (ja) フレキシブル金属箔片面ポリイミド積層板の製造方法
JP5550010B2 (ja) ポリイミドフィルムの製造方法
JPS61264027A (ja) 寸法安定なポリイミドフイルムの製造法
JP5421237B2 (ja) 複合材料シートの製造装置
JPH0479713B2 (ja)
JPH06106125A (ja) フレキシブル金属箔積層板の製造方法およびこれに用いる装置
JP4889194B2 (ja) フレキシブルプリント配線板用基板の製造方法
JP2958045B2 (ja) フレキシブルプリント回路板の製造方法
JP2001198523A (ja) ポリイミド金属箔積層板の製造方法
JPH04334088A (ja) フレキシブル印刷回路板の製造方法
JP2017074714A (ja) 多層ポリイミドフィルムの製造方法
JP2675251B2 (ja) 複合テープの連続熱処理法
JPH0550547A (ja) 長尺物の処理方法
JP2009233944A (ja) ポリイミドフィルムの製造方法
JPH02288289A (ja) フレキシブルプリント基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040123

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061219

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070208

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070208

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070515

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070524

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20070704

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070724

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070806

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120824

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120824

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130824

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term