JP2675251B2 - 複合テープの連続熱処理法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、２種類以上の異種の材
質のフィルムや箔を積層させた複合テープの熱処理法に
関するものであり、例えば銅箔とポリアミック酸フィル
ムの複合テープに熱処理を施すことにより得られる銅箔
とポリイミドとの複合テープは半導体素子実装用のＴＡ
Ｂ（Tape Automated Bonding）テープとして、またポリ
エステルテープ上に磁性体の分散液を塗布後、熱処理す
ることにより得られる複合テープは磁気記録テープとし
て利用することができる。

【０００２】

【従来の技術】従来上述した様な複合テープは広幅でフ
ローティングドライヤーやアーチ状に配置したロールの
曲率を利用することにより上層が加熱収縮しカールが発
生するのを抑えながら熱処理を行った後、必要な幅にス
リットし製品としてきたが、今日では少量多品種、ある
いは試作的にテープを少量作りたいといったニーズに対
応できなかった。

【０００３】例えば、ポリアミック酸フィルムにデバイ
スホールやスプロケットホール等に必要な孔加工を施
し、銅箔と熱圧着した後、熱処理することにより２層Ｔ
ＡＢテープを得ることができるが、たいていの場合ＴＡ
Ｂのパターンは汎用性がなく１つの最終製品に１種類と
いうように少量多品種の生産が求められる。一方、先に
述べた様に広幅のポリアミック酸フィルムを用い同時に
複数条の孔加工を施した後に広幅の銅箔に熱圧着し、更
に広幅のまま熱処理した後、所定の幅にスリットするこ
とにより大量のＴＡＢテープを一度に製造することがで
きるが、このような方法は汎用性のあるごく一部のＴＡ
Ｂを除いて、ポリアミック酸フィルムを打ち抜く金型や
複数条処理（ラミネートおよび熱処理）できる装置を新
設しなくてはならない等コスト的な制約がある。

【０００４】そこで、個別のテープを１本づつ独立して
熱処理できる装置の開発が求められていたが、細いテー
プ状の複合材料の熱収縮によるカールを防ぎながら熱処
理を施すには、フローティングドライヤーではサインカ
ーブの密度を増して曲率を増加する必要が、またアーチ
状にロールを配置する場合もロールの間隔を狭めしかも
曲率を増すような工夫が必要となり、設備が大がかりに
なってしまうといった問題点を有していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、２種類以上の異種の材質のフィルムや箔を積層
させたＴＡＢテープや磁気記録テープとして利用可能な
複合テープを製造するために熱処理するに当たって、溶
剤の蒸発および各層の熱膨張係数の違いによりテープが
カールするのを防ぎ、連続的に熱処理する方法を提供す
ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、柔軟な複合テ
ープを加熱・乾燥炉の中で回転する円筒体に螺旋状に巻
き付けて曲率を付け、円筒体の回転に伴って加熱・乾燥
炉を通過させ、連続的に熱処理を行う複合テープの連続
熱処理法である。

【０００７】本発明における回転する円筒体は、複合テ
ープが規則正しく螺旋状に進行するようにガイドを設け
ることが好ましい。ガイドの形状はフィルムを規則正し
く誘導できるものであれば特に限定されないが、一般に
螺旋状に凸部もしくはコの字状のガイドを設けるのがよ
い。また円筒体に螺旋状の凹部を付けてもよい。本装置
は連続熱処理を行うために通常巻出しおよび巻取り装置
を設置することが望ましい。熱処理に必要な乾燥炉は、
導体箔等が酸化されると好ましくない材質を有する複合
テープを熱処理する場合には、炉内の雰囲気は窒素ガス
等を流して不活性状態にしておくことが好ましい。生産
性向上の面から、同一の乾燥炉内に複数の回転軸を設け
並行して数列同時に熱処理することも可能である。

【０００８】通常の平置き型の連続炉にて複合テープを
加熱・乾燥すると、溶剤の蒸発および各層の熱膨張係数
の違いによりテープがカールしてしまい、均一に熱処理
することができない。一方、テープを螺旋状に巻きつけ
て曲率を持たせた状態にして乾燥炉中を搬送することに
より、テープがカールするのを防ぐことができる。円筒
体の直径は特に限定されないが、複合テープに歪が残ら
ないようにしながら、テープのカールを防ぐためには、
熱処理するテープの幅の0.5〜10倍程度が好ましい。こ
の円筒体として用いることのできる材料としては、加熱
・乾燥時にかかる以上の雰囲気において軟化や酸化の影
響を受けにくい材料であれば特に限定されないが、ステ
ンレスやチタン等の金属材料が挙げられる。

【０００９】

【作用】本発明の方法によれば、２種類以上の異種の材
質のフィルムや箔を積層させたＴＡＢテープや磁性記録
テープとして利用可能な複合テープの熱処理に際し、加
熱・乾燥炉中を曲率を持たせた状態で搬送することによ
り、溶剤の蒸発および各層の熱膨張係数の違いにより発
生するテープのカールを防ぎながら、容易にかつ安価
に、生産性・収率よく連続した熱処理を施すことができ
る。

【００１０】

【実施例】温度計、撹拌装置、還流コンデンサー及び乾
燥窒素ガス吹込み口を備えた４つ口セパラブルフラスコ
に、精製した無水のパラフェニレンジアミン108ｇと4,
4'-ジアミノジフェニルエーテル200ｇをとり、これに無
水のN-メチル-2-ピロリドン90重量％とトルエン10重量
％の混合溶剤を、全仕込原料中の固形分割合が20重量％
になるだけの量を加えて溶解した。乾燥窒素ガスは反応
の準備段階より生成物取り出しまでの全工程にわたり流
しておいた。次いで、精製した無水の3,3',4,4'-ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物294ｇとピロメリット酸
二無水物218ｇを撹拌しながら少量ずつ添加するが、発
熱反応であるため、外部水槽に約15℃の冷水を循環させ
てこれを冷却した。添加後、内部温度を20℃に設定し、
５時間撹拌し、反応を終了してポリアミック酸溶液を得
た。

【００１１】市販のポリエステルフィルム上に、このポ
リアミック酸溶液をバーコーターでイミド化後の厚みが
25μｍになるように塗布し、110℃、15分乾燥を行い、
離型フィルムの付いたポリアミック酸フィルムを得、35
mm幅にスリットした後、金型を用いて孔加工を行い、市
販の35mm幅の銅箔粗化面上にポリアミック酸フィルムを
重ね合わせ、ロール式のラミネータを用いて、90℃、15
kg／cm²、0.2ｍ／分で、加熱・圧着を行い、ポリエステ
ルフィルムを剥離して銅箔テープ上に形成された半硬化
状態のポリアミック酸フィルムを得た。

【００１２】このポリアミック酸フィルム付銅箔テープ
を40mm間隔にコの字型のガイドが螺旋状に入ったステン
レス製の回転する直径20cmの円筒体に、このガイドに沿
ってポリアミック酸フィルム面が外側になるように螺旋
状に巻き付け、円筒体を回転させることによりテープを
前進させながら窒素置換した100℃,200℃,300℃,400℃
の４つの加熱・乾燥ゾーンを有する加熱・乾燥炉を合計
で40分かけて通過させイミド化を完結させることにより
２層ＴＡＢテープ用基板を得た。

【００１３】得られた２層基板を用い、導体箔上に所定
のレジストパターン及び穴埋め処理を施し、エッチング
処理を施すことにより導体パターンを形成した後、導体
箔上に残留するレジスト及び穴埋め材を除去し、打ち抜
き加工によりスプロケットホールを設けることにより２
層ＴＡＢテープを得た。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、熱処理を施すと収縮や
熱膨張係数の違いによりカールが発生するためにこれま
で難しかった、２層ＴＡＢテープ、磁気記録テープ等に
使用される複合テープを連続的に熱処理することが可能
となった。また本方法はテープを螺旋状に進行させるた
め、乾燥器内での滞在時間を稼ぐことができるため、乾
燥炉の長さを短くでき装置全体の製造コストを軽減する
こともできる。さらに複数の円筒体を同一の乾燥炉内に
並行して設置することにより複数本のテープを同時に熱
処理できるなど、工業的な複合テープの熱処理方法とし
て好適なものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｌ 9:00 (56)参考文献 特開 平５−50547（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 柔軟な複合テープを加熱・乾燥炉の中で
   回転する円筒体に螺旋状に巻き付けて曲率を付け、円筒
   体の回転に伴って加熱・乾燥炉を通過させ、連続的に熱
   処理を行うことを特徴とする複合テープの連続熱処理
   法。