CN101916084A - 板状材料的加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供板状材料加工面的确定方法、加工方法及其装置。在平台上安装板状材料，测定该板状材料的任意平面位置的高度，以使得到的高度数据的最大值与最小值之差为最小的方式使板状材料倾斜进行机械加工，从而对有变形的板状材料按均匀的厚度进行表面加工。
Description
本申请为2005年6月27日提交的、申请号为200580029522.3的、发明名称为“板状材料加工面的确定方法、加工方法及其装置”的申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及到由具有2、3维变形的板状材料得到加工费用最少、平坦且厚度均匀的板状材料所用的表面加工的板状材料的加工面的确定方法、加工方法及其装置。
背景技术
溅射靶等陶瓷制烧结板和轧制或锻造的金属板，在制造工艺中因受热或加工引起的应变而几乎都伴随有2～3维的变形。为了由具有如此3维变形的板状材料得到平坦且厚度均匀的板状材料，而进行切削加工、磨削加工和电火花加工等机械加工。
目前，具有如此变形的材料，是由操作者将其原封不动地安装于加工机械上进行加工，或是由操作者事先用直尺等对各个板状材料的变形进行大致测定，在将其安装于加工机械上的时候放入调整垫，使其呈现平坦性。但是，在这种情况下，一般是通过操作者估计而进行。在依靠操作者估计、例如进行磨削加工的情况下，即使是熟练的操作者，为了制出平面，也需要进行所需量以上的磨削。否则的话，就不能维持平坦性和均匀厚度的精度。因此，需要将材料本身的加工费用设定得大一些，这就成为原材料利用率低的原因。另外，当然也导致加工机械的运转时间的增加。
就现有技术来说，列举如下：可精密测定含有翘曲的板状工件各自具有的厚度的装置(例如，参照专利文献1)；具有翘曲的测定装置，即由测定基准部、测定部、变换为电气信号的变位测定器、翘曲量显示部、控制部所构成的基板翘曲测定装置(例如，参照专利文献2)；对陶瓷材料粉末进行加压成形、在其表面照射光线、接受反射光测定表面状态的陶瓷制品的制造方法(例如，参照专利文献3)；设置有阶梯状部分的尺寸测定陶瓷量规。(例如，参照专利文献4)；由测定平面度的向下测定器、板支承销、上下运动的驱动器、压力调节部所构成的板平面度测定装置(例如，参照专利文献5)；利用红外线热像法对陶瓷基板的形状不规则性进行测定的方法(例如，参照专利文献6)。
但是，这些技术只是平面度测定、变位测定或是对形状不规则性进行测定的方法或装置，不具有在进行切削加工、磨削加工、电火花加工等机械加工的表面加工时、以提高原材料利用率为目的的想法。
专利文献1：特开平6-66549号公报
专利文献2：特公昭59-36202号公报
专利文献3：特开昭63-173607号公报
专利文献4：特开平7-128002号公报
专利文献5：特许第3418819号公报
专利文献6：特许第3183935号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种通过切削加工、磨削加工、电火花加工等进行表面加工时的板状材料的加工面的确定方法以及为此而用的装置，溅射靶等陶瓷制烧结板、轧制或锻造的金属板在制造工艺中由于受热或加工所引起的变形往往伴随有2～3维的变形，但要由这种具有2～3维变形的板状材料得到平坦且厚度均匀的板状材料，得到加工费用最少、平坦且厚度均匀的板状材料。
为了解决上述问题，本发明人进行了深入研究，其结果得到了如下见解：测定任意平面位置的标准平面的高度Z1～n，测定由此得到的高度数据的最大值Zmax和最小值Zmin之差的绝对值，同时，以使加工费用最少的方式调整工作台上的板状材料的倾斜度进行表面加工，由此，可得到原材料利用率高、平坦且厚度均匀的板状材料。
根据该见解，本发明提供了如下方法：
1)一种板状材料的加工面的确定方法，一种板状材料的加工面的确定方法，该方法将具有2、3维变形的板状材料加工为均匀厚度时，使加工费用为最少，其特征在于：将测定装置的平台面设为表示坐标(X，Y)的坐标平面，并设定与该坐标平面垂直的表示Z坐标的Z轴，从而构成表示三维坐标(X，Y，Z)的三维坐标系，在该平台上装夹作为被测定物的板状材料，利用计算机假想地构成距该平台的距离为H、且与XY平面平行的平面ABCD，改变坐标(X，Y)的同时，对从该平面ABCD的坐标(Xm，Yn)至作为被测定物的板状材料上表面的坐标(Xm，Yn)的距离Zm，n，在X方向上针对m个值、在Y方向上针对n个值，在被测定板状材料的整个区域上进行测定，将测定得到的数据存储在计算机的存储装置中，对进行上述测定的全部坐标点搜出Zm，n的最大值和最小值，计算其差值，将该差值作为对测定值不进行任何操作时的差值H0.0，0.0，接着进行如下操作：对于在Z轴方向上确定的最大振幅和间隔，固定平面ABCD的端A并分别以规定的振幅B、C上下移动端B和端C，从而利用计算机使平面ABCD相对平台倾斜，每次改变该倾斜时，计算从平面ABCD上的全部坐标点(Xm，Yn)至板状材料上表面所对应的坐标点的距离(Zm，n)B，C，搜出该(Zm，n)B，C的最大值和最小值并计算其差值H(B，C)，并针对预先设定的全部振幅B和振幅C的组合重复该操作，将具有以全部振幅B和振幅C的组合计算的H(B，C)中的最小值的平面ABCD确定为与加工费用最少的平面平行的平面。
2)如上述1所述的板状材料的加工面的确定方法，其特征在于：使所述板状材料翻转并装夹于加工机械的平台上时，在如权利要求1确定的与加工费用最少的平面平行的平面ABCD中，将从平面ABCD至板状材料的距离Z为最小值时的测定点搜索出，将其设定为与平台的接触点。
3)如上述1或2所述的板状材料的加工面的确定方法，其特征在于：使所述板状材料进行翻转并安装于加工机械的平台上时，预先从板状材料四个角的测定点的高度中减去从与加工费用最少的平面平行的平面ABCD至板状材料的距离Z的最小值Zmin，将由此得到的值作为在加工机械上安装板状材料时放入四个角的调整垫的厚度。
4)如上述3所述的板状材料的加工面的确定方法，其特征在于：在板状材料的厚度有偏差的情况下，按其偏差大小对调整垫的厚度进行修正。
5)如上述1所述的板状材料的加工面的确定方法，其特征在于：在板状材料的坐标轴X方向及Y方向上，均在20mm以下的间隔位置测定从平面ABCD至板状材料的距离Z。
6)如上述1所述的板状材料的加工面的确定方法，其特征在于：利用激光式距离传感器或接触式距离传感器，对从平面ABCD至板状材料的距离Z进行测定。
7)如上述3所述的板状材料的加工面的确定方法，其特征在于：调整可进行NC控制的加工机械的两轴倾转式加工工作台的倾斜度，以代替手动在板状材料的四个角放入调整垫。
8)一种加工方法，其特征在于：根据上述1～7中的任一项所述的方法确定板状材料的加工面，据此，对具有2、3维的变形的板状材料按均匀的厚度进行切削加工、磨削加工、电火花加工中的至少一种机械加工。
9)一种加工方法，其特征在于：根据上述1～7中的任一项所述的方法确定板状材料的加工面，据此，对板状材料的一面进行平面磨削，然后再将其翻转并装夹于平台上，对其背面进行加工。
10)一种加工方法，该方法是通过粘接或电磁吸附于机械平台，将板状材料固定得不晃动，利用上述1～7中的方法进行测定，确定最合适的倾斜条件后，不对材料进行翻转，而使用加工机械的平台的两轴倾斜机构，使平台与在最合适的倾斜条件下得到的平面平行地倾斜，以该倾斜状态进行加工。
另外，本发明还提供如下装置：
11)一种用于确定板状材料的加工面的装置，该装置在对具有2、3维变形的板状材料按均匀的厚度进行加工时，使加工费用为最少，其具有：用于如下用途的系统：将测定装置的平台面设为表示坐标(X，Y)的坐标平面，并设定与该坐标平面垂直的表示Z坐标的Z轴，从而构成表示三维坐标(X，Y，Z)的三维坐标系，在该平台上装夹作为被测定物的板状材料，利用计算机假想地构成距该平台的距离为H、且与XY平面平行的平面ABCD；同一系统，其在改变坐标(X，Y)的同时，对从该平面ABCD的坐标(Xm，Yn)至作为被测定物的板状材料上表面的坐标(Xm，Yn)的距离Zm，n，在X方向上针对m个值、在Y方向上针对n个值，在被测定板状材料的整个区域上进行测定，将测定得到的数据存储在计算机的存储装置中，对进行上述测定的全部坐标点搜出Zm，n的最大值和最小值，计算其差值，将该差值作为对测定值不进行任何操作时的差值H0.0，0.0；同一系统，接着进行如下操作，其对于在Z轴方向上确定的最大振幅和间隔，固定平面ABCD的端A并分别以规定的振幅B、C上下移动端B和端C，从而利用计算机使平面ABCD相对平台倾斜，同一系统，其在每次改变该倾斜时，计算从平面ABCD上的全部坐标点(Xm，Yn)至板状材料上表面所对应的坐标点的距离(Zm，n)B，C，搜出该(Zm，n)B，C的最大值和最小值并计算其差值H(B，C)，并针对预先设定的全部振幅B和振幅C的组合重复该操作，将具有以全部振幅B和振幅C的组合计算的H(B，C)中的最小值的平面ABCD确定为与加工费用最少的平面平行的平面。
12)如上述11所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：将所述板状材料翻转并装夹于加工机械的平台上时，在如权利要求1确定的与加工费用最少的平面平行的平面ABCD中，搜索出从平面ABCD至板状材料的距离Z为最小值时的测定点，将其设定为与平台的接触点。
13)如上述11或12所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：具有调整垫，其放入在加工机械上安装板状材料时的四个角，当将所述板状材料翻转并安装于加工机械的平台上时，预先从板状材料四个角的测定点的高度中减去从与加工费用最少的平面平行的平面ABCD至板状材料的距离Z的最小值Zmin，由此得到的值为调整垫的厚度。
14)如上述13所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：具有在板状材料的厚度有偏差的情况下，按其偏差大小对调整垫的厚度进行修正的装置。
15)如上述11所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：设有对具有2、3维变形的板状材料按均匀的厚度进行切削加工、磨削加工、电火花加工中的至少一种机械加工的装置。
16)如上述11所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：具有将板状材料的一面进行切削加工之后、再翻转并装夹于平台上、对其背面进行加工的装置。
17)如上述11所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：具有在板状材料的坐标轴X方向及Y方向上，均以20mm以下的间隔的位置测定从平面ABCD至板状材料的距离Z的装置。
18)如上述11所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：具有用激光式距离传感器或接触式距离传感器对从平面ABCD至板状材料的距离Z进行测定的装置。
19)如上述13所述的用于确定板状材料的加工面的装置，其特征在于：具有调整可进行NC控制的加工机械的两轴倾转式加工工作台的倾斜度、以代替手动在板状材料的四个角放入调整垫的装置。
20)平面磨床、铣床及电火花加工机中的任意一种用的平面加工装置，其特征在于：具有权利要求11～19所述的装置。
本发明具有如下优良效果：由具有2、3维的复杂变形的板状材料，以最少的加工费用，通过对制品进行切削加工、磨削加工、电火花加工等机械加工所进行的表面加工，可得到平坦且厚度均匀的板状材料。
即，更具体的说，在制造规定厚度的制品的情况下，可减小材料加工前的厚度加工余量，与现有的方法相比，可较小地设定机械加工费用，并可提高原材料利用率，缩短加工时间。
另外，在通过机械加工由有变形的材料制造厚度没有要求的材料的情况下，可增加现有技术产品的厚度。
并且，在加工机械的工作台上安装材料时的调试错误也不会发生，即使不是熟练的操作者，也可很容易地以最少的加工费用进行加工。
如上所述，本发明具有显著的效果。
附图说明
图1是以测定装置的传感器位置为高度方向的原点，测定至材料S的任意平面位置(xm，yn)的高度(Zm，n)时的说明图。
图2是在计算机内假想地构成与材料S同样大小的平面(ABCD)、将平面ABCD的端A固定、仅将端C移动至规定高度时的说明图。
图3是在计算机内假想地构成与材料S同样大小的平面(ABCD)，将平面ABCD的端A固定，而使端B、C移动至规定高度时的说明图。
具体实施方式
下面，根据需要，参照附图对本发明进行具体的说明。但是，下面的说明，仅是表示为了容易理解本发明而用于说明的一例，本发明并不受其限制。即，根据本发明的技术思想进行的变形、其他的构造或构成，当然包含于本发明中。
如陶瓷制烧结板、轧制或锻造的金属板那样，将具有2、3维的复杂变形的板状材料置于具有一定的平坦度的平台上，使其不晃动。
为了说明方便，将该材料的平面方向的坐标轴设为X、Y，高度方向的坐标轴设为Z。在平台上，距平台保持一定的高度，设置可沿平台的XY方向平行移动的激光式距离测定装置等测定装置。将该传感器的Z轴原点移动的与平台平行的平面设定为平面P。
如图1所示，将该测定装置的传感器的位置设定为高度方向的原点，对至材料S的任意平面位置(Xm，Yn)的高度(Zm，n)进行测定。测定的X、Y坐标点需要根据制品的变形状况进行变更，例如，X方向、Y方向均采用20mm的间隔。
高度的测定方法，可采用激光式距离传感器、接触式距离传感器等适当的方法。并且，在此所说的高度(Z坐标)是从测定装置的传感器移动的平面P的坐标(X，Y)所作的垂线到达材料S表面的距离。
X、Y坐标的定位精度、Z坐标的测定精度取决于材料S的机械加工费用的削减要求。例如，对贵金属那样的高价材料来说，通过提高本装置的测定精度，以有效实现由材料加工出成品板时的原材料利用率；而对钢铁那样的廉价材料来说，精度可以低些。
另外，像陶瓷那样花费加工时间的情况下，提高本装置的精度，削减加工费用，缩短加工时间是有效的；而像切削性好的金属材料那样，在加工时间不成问题的情况下，测定精度也可以低些。
根据材料的大小，全部测定(X0，Y0)～(Xx，Yy：最终坐标)的高度(Z0、0～Zx、y)。可将全部测定结果以表格形式等容易进行数据整理的形式，暂时保存于计算机的存储装置中。
首先，假想测定装置的Z方向的原点即高度H的平面S。各测定点的高度可称为距该假想面的高度。
高度数据的最大值(Zmax)与最小值(Zmin)之差，就是现在的加工费用。这是由于以现在的状态将材料S安装于加工机械的工作台上后，加工机械的刀具从高度的最低点(Zmin)开始接触，随着加工的进行，达到最高点(Zmax)的时候，材料S就变成了平面。因此，为了能使材料以最少的加工费用进行加工，使材料S倾斜，以使高度(Zmin)与(Zmax)之差的绝对值为最小即可。
但是，材料本来是有变形的，所以，对其倾斜时的高度变化进行计算稍微复杂一些。因此，可使平面P倾斜以代替材料S倾斜，并再次计算高度。
利用计算机使平面倾斜的方法有多种，但是，由于根据实际情况并且计算容易，可将计算结果直接反映于调整垫的厚度上，所以，采用下面的方法。在计算机内假想构成位于平面P上且与材料S大小相同的平面(ABCD)。此时，由平面ABCD内的坐标(Xm，Yn)至材料的坐标(Xm，Yn)的高度(Zm，n)就是最初测定的高度。
平面ABCD的坐标(m，n)的高度表现为(Zm，n)/0.0，0.0。0.0，0.0表示在测定值上不加任何操作，即平面(ABCD)不倾斜。
对测定的所有坐标点，搜索出Z(m，n)0.0，0.0的最大值(Zm，n)0.0，0.0max和最小值(Zm，n)0.0，0.0min，其差值H 0.0，0.0通过下式计算。
H0.0，0.0＝(Zm，n)0.0，0.0max-(Zm，n)0.0，0.0min
接着，如图2及图3所示，将平面ABCD的端A固定，使端B，C以规定的高度(例如0.1mm间隔)沿Z轴方向在规定的范围内顺次进行上下移动(例如±3.0mm)。
图2是将平面ABCD的端A固定、仅使端C移动至规定高度的情况；图3是将平面ABCD的端A固定、使端B，C移动至规定高度的情况。
端D是在ABC确定后自动地确定的。例如，首先计算设B为-3.0mm、C为-3.0mm情况下，从平面ABCD的各坐标至材料对应的坐标点的距离，并设定为新的高度(Zm，n)-3.0，-3.0。-3.0，-3.0表示B点比原点下降3.0mm，C点也比原点下降3.0mm。
对所有的测定点实施该操作，搜索出Z(m，n)-3.0，3.0的最大值(Zm，n)-3.0，-3.0max和最小值(Zm，n)-3.0，-3.0min，其差H-3.0，-3.0根据下式计算。H(-3.0，-3.0)＝(Zm，n)-3.0，-3.0max-(Zm，n)-3.0，-3.0min。
接着，设C为-2.9mm，反复进行同样的操作，求出H(-3.0，-2.9)。同样地，使C每次增加0.1mm，求出所有对应的H(-3.0，C)(C＝-2.9、H-2.8、H-2.7……H0……H+3.0)
该操作结束之后，设B为-2.9，使C从-3.0增至+3.0，同时，反复进行同样的操作，全部求出H(-2.9，C)。进而，设B为-2.8，-2.7，-2.6……0……+3.0，将与其对应的H(B，C)全部求出。在该例中，B有60种，C有60种，因而，H(B，C)有60×60＝3600种。
该3600种的表示H中最小值的H(B，C)即H(B，C)min的组合成为与该材料所对应的最少加工费用的平面平行的平面。
另外，从平面ABCD至材料表面的距离，由于平面的倾斜使坐标错位，为了期待其正确，需要对角度进行修正，但是相对于材料的长度而言，由于倾斜量较小，因而在实际中也可以忽略不计。
接着，在该H(B，C)min中的测定点中，找出从平面ABCD至材料的高度Z为最小值的测定点Zmin/H(B，C)min。在实际加工时，由于将材料上下翻转并装夹于加工机械的平台上，因此，该点是与平台接触的唯一的点。但是，在成为Zmin/H(B，C)min的点有多个的情况下，所有的点都与平台接触。
另外，从材料四个角的测定点H(B，C)min中的高度Z(X0，Y0)、Z(Xx，Y0)、Z(X0，Yy)、Z(Xx，Yy)中，减去Zmin/H(B，C)min。由此得到的值在将材料安装于加工机械上时，就成为放入四个角下方的调整垫的厚度。
实际上，由于传感器位于上部，所以，将材料安装于加工机械上时应上下翻转。此时，材料的厚度如果由于位置不同产生偏差，由上述方法确定的调整垫的厚度，未必可以说能实现最合适的表面，但是，像本例这样，材料的厚度偏差小到可以忽略的程度，是不需要修正的。
在材料的厚度偏差不能忽略的情况下，预先测定四个角的厚度，计算其平均值Ave.(X0Y0，XzY0，X0Yz，XzYz)，将该平均值和各个角的厚度之差在调整垫的高度上进行加减，由此，可简易地确定实际应用中的最合适表面。
在平面磨床、正面铣床等平面加工机床的工作台上测定材料时正反翻转，并且，以将调整垫垫在规定的四个角下方的状态进行固定。在这种状态下进行加工的话，可以加工费用为最少的状态得到整面切削的平面。
另外，由于加工机械上X、Y两轴是可动的，设置可以设定可动引起的平面倾斜的装置，设置使利用该装置计算的最合适表面在XY平面上关于Z轴方向对称的表面得以实现的倾斜度，由此，可以无调整垫的方式实现最合适表面。但是，在这种情况下，为了防止四个角晃动，优选垫入调整垫，其用于对在平面ABCD为水平时、即最初测定时的状态下的材料四角的高度差进行修正。
该调整垫的高度，等于从最初测定时的平面ABCD至材料的四个角的测定点的高度减去最小高度处的测定点的高度所得的值。
利用计算机假想一个包含有测定的Z方向原点的面，同时，求出高度数据的最大值Zmax与最小值Zmin之差的绝对值。
假想平面的高度可通过下式算出。但是，使烧结体倾斜所引起的X、Y方向的位置偏移，假设根据工件的大小可忽略不计，则假想平面的格子点、Z坐标轴通过下式求出：
Z＝Z1/(n-1)×i+Z2/(m-1)×j
其中，n表示X方向的测定点数，m表示Y方向的测定点数，i、j分别表示从0点开始的测定顺序号。
根据以上所述，利用计算机使板状材料倾斜，同时，根据该数据，在平台与板状材料之间放入调整垫，可调整板状材料的倾斜。另外，根据该数据，可对能进行NC控制的加工机械的两轴倾转式加工工作台的倾斜进行调整。
这样，可由具有2、3维的复杂变形的板状材料，以最少的加工费用对制品进行切削加工、磨削加工、电火花加工等表面加工。而且，还可以在对板状材料的一面进行平面磨削后，翻过来安装于平台上，对其背面进行加工。
产业上的可利用性
本发明的板状材料的表面加工方法，可以最少的加工费用，通过对制品切削加工、磨削加工、电火花加工等机械加工所进行的表面加工，由具有2、3维的复杂变形的板状材料得到平坦且厚度均匀的板状材料。
即，在制造厚度确定的制品时，可减少材料加工前的厚度加工余量，与现有的方法相比，可较少地设定机械加工费用，提高原材料利用率，缩短加工时间。
另外，由有变形的材料通过机械加工制造厚度没有指定的材料时，可加厚现有技术产品的厚度。
并且，在加工机械的工作台上安装材料时的调试错误也不会发生，即使不是熟练的操作者，也可很容易地以最少的加工费用进行加工。
根据上述，通过切削加工、磨削加工、电火花加工等机械加工所进行的表面加工，可以最少的加工费用，得到平坦且厚度均匀的板状材料，因而，适于制造价格较高的溅射靶等。
Claims (4)
1.一种板状材料的加工方法，该方法是通过粘接或电磁吸附于机械平台，将板状材料固定得不晃动，并且利用板状材料的加工面确定方法来确定加工面，
所述加工面确定方法在将2、3维变形的所述板状材料加工为均匀厚度时，使加工费用为最少，其中，
将测定装置的平台面设为表示坐标(X，Y)的坐标平面，并设定与该坐标平面垂直的表示Z坐标的Z轴，从而构成表示三维坐标(X，Y，Z)的三维坐标系，在该平台上装夹作为被测定物的板状材料，利用计算机假想地构成距该平台的距离为H、且与XY平面平行的平面ABCD，
改变坐标(X，Y)的同时，对从该平面ABCD的坐标(Xm，Yn)至作为被测定物的板状材料上表面的坐标(Xm，Yn)的距离Zm，n，在X方向上针对m个值、在Y方向上针对n个值，在被测定板状材料的整个区域上进行测定，将测定得到的数据存储在计算机的存储装置中，
对进行上述测定的全部坐标点搜出Zm，n的最大值和最小值，计算其差值，将该差值作为对测定值不进行任何操作时的差值H0.0，0.0，
接着进行如下操作：对于在Z轴方向上确定的最大振幅和间隔，固定平面ABCD的端A并分别以规定的振幅B、C上下移动端B和端C，从而利用计算机使平面ABCD相对平台倾斜，
每次改变该倾斜时，计算从平面ABCD上的全部坐标点(Xm，Yn)至板状材料上表面所对应的坐标点的距离(Zm，n)B，C，搜出该(Zm，n)B，C的最大值和最小值并计算其差值H(B，C)，
并针对预先设定的全部振幅B和振幅C的组合重复该操作，将具有以全部振幅B和振幅C的组合计算的H(B，C)中的最小值的平面ABCD确定为与加工费用最少的平面平行的平面，
确定与加工费用最少的平面平行的平面ABCD后，不对材料进行翻转，而使用加工机械的平台的两轴倾斜机构，使平台与平面ABCD平行地倾斜，以该倾斜状态进行加工。
2.如权利要求1所述的板状材料的加工方法，其特征在于：使所述板状材料翻转并装夹于加工机械的平台上时，在如权利要求1确定的与加工费用最少的平面平行的平面ABCD中，将从平面ABCD至板状材料的距离Z为最小值时的测定点搜索出，将其设定为与平台的接触点。
3.如权利要求1所述的板状材料的加工方法，其特征在于：在板状材料的坐标轴X方向及Y方向上，均在20mm以下的间隔位置测定从平面ABCD至板状材料的距离Z。
4.如权利要求1所述的板状材料的加工方法，其特征在于：利用激光式距离传感器或接触式距离传感器，对从平面ABCD至板状材料的距离Z进行测定。
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Address after: Tokyo, Japan, Japan Patentee after: JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION Address before: Tokyo, Japan, Japan Patentee before: JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd. |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
| CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: Tokyo, Japan Patentee after: JKS Metal Co.,Ltd. Address before: Tokyo, Japan Patentee before: JKS Metal Co.,Ltd. |