JPS63173607A - セラミツクス製品の製造方法 - Google Patents
セラミツクス製品の製造方法Info
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- JPS63173607A JPS63173607A JP415787A JP415787A JPS63173607A JP S63173607 A JPS63173607 A JP S63173607A JP 415787 A JP415787 A JP 415787A JP 415787 A JP415787 A JP 415787A JP S63173607 A JPS63173607 A JP S63173607A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 13
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Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明はセラミックス製品の製造方法に関する。
（従来の技術）
セラミックス材料は強度などの優れた特性を有するため
に広い分野の機械構造部品に用いられている。
に広い分野の機械構造部品に用いられている。
従来、セラミックス製品を製造するためには、セラミッ
クス材料粉末を加圧して成形体を成形し、次いで成形体
を焼結して焼結体を形成し、その後に焼結体に研削加工
や切削加工などの機械加工を施して製品に仕上げる方法
が採用されている。
クス材料粉末を加圧して成形体を成形し、次いで成形体
を焼結して焼結体を形成し、その後に焼結体に研削加工
や切削加工などの機械加工を施して製品に仕上げる方法
が採用されている。
（発明が解法しようとする問題点）
しかしながら、このように焼結体に機械加工を行なう従
来のセラミックス製品の製造方法においては、次の様な
問題がある。
来のセラミックス製品の製造方法においては、次の様な
問題がある。
すなわち、切削加工や研削加工などの機械加工を施すこ
とにより焼結体に外力が加わシ、この外力によシ焼結体
に亀裂が生じたシ、焼結体の内部に応力が残存し、この
残存応力にょシ製品に仕上げられた後の焼結体に亀裂が
生じることがある。
とにより焼結体に外力が加わシ、この外力によシ焼結体
に亀裂が生じたシ、焼結体の内部に応力が残存し、この
残存応力にょシ製品に仕上げられた後の焼結体に亀裂が
生じることがある。
このため、焼結体に機械加工を施したセラミックス製品
の信頼性の上で問題がある。また、焼結体く機械加工を
流すことによシ、セラミックス製品の製造コストが高く
なる。
の信頼性の上で問題がある。また、焼結体く機械加工を
流すことによシ、セラミックス製品の製造コストが高く
なる。
本発明は前記事情に基づいてなされたもので。
信頼性が高いセラミックス製品を経済的に製造できるセ
ラミックス製品の製造方法を提供することを目的とする
。
ラミックス製品の製造方法を提供することを目的とする
。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段と作用）前記目的を達成
するために本発明のセラミックス製品の製造方法は、セ
ラミックス材料粉末を加圧して成形体の表面に光線を照
射し、この成形体で反射した光線を受は成形体の表面状
態を測定する工程を具備することを特徴とするものであ
る。
するために本発明のセラミックス製品の製造方法は、セ
ラミックス材料粉末を加圧して成形体の表面に光線を照
射し、この成形体で反射した光線を受は成形体の表面状
態を測定する工程を具備することを特徴とするものであ
る。
本発明はＳｔ Ｎ 、 ＳｉＣ−ＡＬＮ 、ＺｒＯ２
などのファインセラミックスからなる製品を製造する方
法を対象としている。
などのファインセラミックスからなる製品を製造する方
法を対象としている。
本発明のセラミックス製品の製造方法の工程について説
明する。
明する。
セラミックス材料粉末を加圧して所定形状の成形体を成
形する。この場合、成形体は形状寸法が高精度で、表面
に肌荒れや傷がないようにして成形することが重要であ
る。
形する。この場合、成形体は形状寸法が高精度で、表面
に肌荒れや傷がないようにして成形することが重要であ
る。
次に、成形体の表面にレーデ光などの光線を照射し、こ
の成形体で反射した光ｌｓヲ受けて成形体の表面状態を
測定し、次いで、その測定結果を所定の基準に照し合わ
せて成形体の合否を決定する。
の成形体で反射した光ｌｓヲ受けて成形体の表面状態を
測定し、次いで、その測定結果を所定の基準に照し合わ
せて成形体の合否を決定する。
ここで、成形体の表面状態を測定する基準とは、この成
形体を焼結して得た焼結体の表面が製品として要求され
る表面状態すなわち寸法精度、表面平滑性、傷の存在な
どの各要素の製品として要求される水準を維持できるこ
とである。つま夛、成形体を焼結することにより製品と
して要求される表面状態を有する焼結体を得られること
である。
形体を焼結して得た焼結体の表面が製品として要求され
る表面状態すなわち寸法精度、表面平滑性、傷の存在な
どの各要素の製品として要求される水準を維持できるこ
とである。つま夛、成形体を焼結することにより製品と
して要求される表面状態を有する焼結体を得られること
である。
そして、表面状態の測定結果が基準に合格した成形体は
焼結工程に回送し、測定結果が基準に合格しなかった成
形体は製造工程から排除する。また、この測定結果を成
形体の成形工程にフィードバックすることによシ、この
測定結果に基づいて一層良好な状態の表面を有する成形
体を得るように成形工程の条件を改善することもできる
。そして、成形体の表面にレーデ光などの光線を照射し
て表面状態を測定するので、測定子を成形体の表面に接
触させない非接触法によシ成形体の表面を損傷させるこ
となく表面状態を高精度で測定することができる。つま
シ、接触子を成形体の表面に接触させる接触法によシ表
面状態を測定すると、成形体の表面が接触子によシ破損
するので、焼結後に焼結体の表面に機械加工を施す必要
が生じる。
焼結工程に回送し、測定結果が基準に合格しなかった成
形体は製造工程から排除する。また、この測定結果を成
形体の成形工程にフィードバックすることによシ、この
測定結果に基づいて一層良好な状態の表面を有する成形
体を得るように成形工程の条件を改善することもできる
。そして、成形体の表面にレーデ光などの光線を照射し
て表面状態を測定するので、測定子を成形体の表面に接
触させない非接触法によシ成形体の表面を損傷させるこ
となく表面状態を高精度で測定することができる。つま
シ、接触子を成形体の表面に接触させる接触法によシ表
面状態を測定すると、成形体の表面が接触子によシ破損
するので、焼結後に焼結体の表面に機械加工を施す必要
が生じる。
次いで、前記表面状態の測定により基準を合格した成形
体を焼結して焼結体を形成する。得られた焼結体の表面
は製品として要求される表面状態すなわち寸法精度、平
滑度および損傷の存在などの各項目の製品としての水準
を有しているために、機械加工ｔ−施して仕上げる必要
がない。従って、仕上げ用の機械加工を省略して焼結体
をそのままセラミックス製品として得ることができ、製
品に無理な外力を与えないとともＫ、製造コストを低減
させることができる。
体を焼結して焼結体を形成する。得られた焼結体の表面
は製品として要求される表面状態すなわち寸法精度、平
滑度および損傷の存在などの各項目の製品としての水準
を有しているために、機械加工ｔ−施して仕上げる必要
がない。従って、仕上げ用の機械加工を省略して焼結体
をそのままセラミックス製品として得ることができ、製
品に無理な外力を与えないとともＫ、製造コストを低減
させることができる。
本発明のセラミックス製品の製造方法において、成形体
の表面状態を測定する方法について説明を加える。この
測定方法は成形体の表面に対して光線を照射し、その反
射光線を受けて表面状態を測定する方法であるが、この
測定方法には例えばレーデ光を利用した変位測定装置を
使用する。
の表面状態を測定する方法について説明を加える。この
測定方法は成形体の表面に対して光線を照射し、その反
射光線を受けて表面状態を測定する方法であるが、この
測定方法には例えばレーデ光を利用した変位測定装置を
使用する。
この変位測定装置は測定物に半導体レーデにょるレーデ
光を照射し、測定物で反射したレーデ光を光位置素子で
受光してスポット状に結像するようになりておシ、測定
物が変位すると光位置検出素子上のスポット像が移動し
、この移動量ｔ−電気信号に変換し演算して出力する。
光を照射し、測定物で反射したレーデ光を光位置素子で
受光してスポット状に結像するようになりておシ、測定
物が変位すると光位置検出素子上のスポット像が移動し
、この移動量ｔ−電気信号に変換し演算して出力する。
このため、測定物の変位させてレーデ光が照射する表面
を変化させることによシ、測定物の表面状態を連続的Ｋ
ｌ！ｌｌ定することができる。
を変化させることによシ、測定物の表面状態を連続的Ｋ
ｌ！ｌｌ定することができる。
従りて、レーデ変位測定装置を用いて成形体の表面状態
を測定するに際しては、測定装置を固定して測定物であ
る成形体を変位させる。
を測定するに際しては、測定装置を固定して測定物であ
る成形体を変位させる。
平板形をなす成形体の表面状態を測定する方法を第１図
について説明するｅ２個のレーデ変位測定装置１，１を
同一軸線上に間隔を存して対向配置し、固定具２，２で
固定する。測定物である平板状の成形体３は、レーデ変
位測定１ｉｃｔ１９１の間の空間に該装置１，１を配置
した軸線に対し直交して配置する。レーデ変位測定装置
１，１は成形体３の両側から両方の側面に夫々レーデ光
を照射し、その反射したレーデ光を受けて成形体３の両
側面の表面状態を夫々測定する。そして、成形体３をレ
ーデ変位測定装置１，１に対し直交する方向に平行移動
させると、レーデ変位測定装置１゜１からのレーデ光を
照射する成形体３の両側面の位置が連続的に変化するの
で、成形体３０両側面の表面状態を連続的に測定できる
。これによシ成形体３の両側面の平面度を夫々測定でき
るとともに１両側面の測定信号を組合せて成形体３の厚
みの変位およびうねシを測定できる。このため、これら
各測定項目の測定結果に基づいて成形体３の寸法形状の
精度を測定し、この寸法形状の精度が所定の基準すなわ
ち成形体を焼結して得た焼結体の表面が機械加工を施さ
ないで製品として要求される表面状態が得られることに
合格してｂるか、否かを判定する。そして、前記所定の
基準に合格した成形体を焼結工程に回送する。
について説明するｅ２個のレーデ変位測定装置１，１を
同一軸線上に間隔を存して対向配置し、固定具２，２で
固定する。測定物である平板状の成形体３は、レーデ変
位測定１ｉｃｔ１９１の間の空間に該装置１，１を配置
した軸線に対し直交して配置する。レーデ変位測定装置
１，１は成形体３の両側から両方の側面に夫々レーデ光
を照射し、その反射したレーデ光を受けて成形体３の両
側面の表面状態を夫々測定する。そして、成形体３をレ
ーデ変位測定装置１，１に対し直交する方向に平行移動
させると、レーデ変位測定装置１゜１からのレーデ光を
照射する成形体３の両側面の位置が連続的に変化するの
で、成形体３０両側面の表面状態を連続的に測定できる
。これによシ成形体３の両側面の平面度を夫々測定でき
るとともに１両側面の測定信号を組合せて成形体３の厚
みの変位およびうねシを測定できる。このため、これら
各測定項目の測定結果に基づいて成形体３の寸法形状の
精度を測定し、この寸法形状の精度が所定の基準すなわ
ち成形体を焼結して得た焼結体の表面が機械加工を施さ
ないで製品として要求される表面状態が得られることに
合格してｂるか、否かを判定する。そして、前記所定の
基準に合格した成形体を焼結工程に回送する。
次に曲面を有する成形体の表面状態を測定する方法を第
２図につｂて説明する。この方法では１個のレーデ変位
測定装置１を固定具２で固定して使用する。曲面を有す
る成形体３は図示しない回転装置によシその形状中心ｏ
ｙｋ回転中心として。
２図につｂて説明する。この方法では１個のレーデ変位
測定装置１を固定具２で固定して使用する。曲面を有す
る成形体３は図示しない回転装置によシその形状中心ｏ
ｙｋ回転中心として。
つまシ曲面半径をもつ・て回転させる。レーデ変位測定
装置１は成形体３の曲面にレーデ光を照射し、その反射
したレーデ光を受けて成形体３の表面状態を測定する。
装置１は成形体３の曲面にレーデ光を照射し、その反射
したレーデ光を受けて成形体３の表面状態を測定する。
これにより成形体３における曲面の半径寸法およびうね
シの精度を測定する。
シの精度を測定する。
このようにセラミックス成形体の表面をレーデ光を用い
た非接触法によシ測定することにより、成形体の表面状
態すなわち寸法形状の精度を成形体の表面を傷つけるこ
となく正確に管理評価することができる。
た非接触法によシ測定することにより、成形体の表面状
態すなわち寸法形状の精度を成形体の表面を傷つけるこ
となく正確に管理評価することができる。
（実施例）
実施例として窒化けい素粉床の焼結体からなる平板体を
製作した。この平板体の製品仕上９寸法を３．ＯＷ±０
．２５ ｒｒｒｔｘとし、且つこの仕上シ寸法に対応し
た成形体の基準寸法を３．８圏±０．３瓢とした。これ
は焼結による成形体の収縮などを考慮して設定する。そ
して、窒化けい素粉床を加圧して成形した成形体の厚さ
をレーデ変位測定装置忙よシ測定し念。その後、基準寸
法範囲内にある成形体と基準寸法範囲外にある成形体を
夫々焼結して得られた焼結体の厚さ寸法をレーデ変位測
定装置によシ測定した。その結果、成形体の時基準寸法
内にあった焼結体の厚さ寸法は２，９０〜３．１５ ｗ
ｍで製品仕上り寸法の範囲に収まりたが、成形体の時に
基準寸法外にあった焼結体の厚さ寸法は２，７０■で製
品仕上シ寸法に収まらなかった。
製作した。この平板体の製品仕上９寸法を３．ＯＷ±０
．２５ ｒｒｒｔｘとし、且つこの仕上シ寸法に対応し
た成形体の基準寸法を３．８圏±０．３瓢とした。これ
は焼結による成形体の収縮などを考慮して設定する。そ
して、窒化けい素粉床を加圧して成形した成形体の厚さ
をレーデ変位測定装置忙よシ測定し念。その後、基準寸
法範囲内にある成形体と基準寸法範囲外にある成形体を
夫々焼結して得られた焼結体の厚さ寸法をレーデ変位測
定装置によシ測定した。その結果、成形体の時基準寸法
内にあった焼結体の厚さ寸法は２，９０〜３．１５ ｗ
ｍで製品仕上り寸法の範囲に収まりたが、成形体の時に
基準寸法外にあった焼結体の厚さ寸法は２，７０■で製
品仕上シ寸法に収まらなかった。
［発明の効果］
以上説明したように本発明のセラミックス製品の製造方
法によれば、光線を用いた非接触法によシセラミックス
成形体の表面状態を測定してその表面を管理することに
よシ、焼結体に対する機械加工を不要とすることを前提
して良質な表面状態を有するセラミックス成形体を選択
し、焼結体に対する機械加工を不要にすることができる
。従って、焼結体をそのままセラミックス製品として得
ることができ、製品に無理に外力を加えることがなく製
品の信頼性を向上できるとともに、製品の製造コストを
低減できる。
法によれば、光線を用いた非接触法によシセラミックス
成形体の表面状態を測定してその表面を管理することに
よシ、焼結体に対する機械加工を不要とすることを前提
して良質な表面状態を有するセラミックス成形体を選択
し、焼結体に対する機械加工を不要にすることができる
。従って、焼結体をそのままセラミックス製品として得
ることができ、製品に無理に外力を加えることがなく製
品の信頼性を向上できるとともに、製品の製造コストを
低減できる。
第１図および第２図は本発明の製造方法における成形体
の表面状態を測定する方法を示す説明図である。 １・・・レーデ変位測定装置、２・・・成形体。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦Ｉ 第１図 第２図
の表面状態を測定する方法を示す説明図である。 １・・・レーデ変位測定装置、２・・・成形体。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦Ｉ 第１図 第２図
Claims (5)
- （１）セラミックス材料粉末を加圧して成形した成形体
の表面に光線を照射し、この成形体で反射した前記光線
を受けて前記成形体の表面状態を測定する工程を具備す
ることを特徴とするセラミックス製品の製造方法。 - （２）セラミックス製品に光線を照射する測定装置を固
定し、セラミックス製品を可動とする特許請求の範囲第
１項に記載のセラミックス製品の製造方法。 - （３）セラミックス製品を直線移動させる特許請求の範
囲第２項記載のセラミックス製品の製造方法。 - （４）セラミックス製品を回転させる特許請求の範囲第
２項記載のセラミックス製品の製造方法。 - （５）セラミックス製品に照射する光線はレーザ光であ
る特許請求の範囲第１項ないし第４項いずれかに記載の
セラミックス製品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP415787A JPS63173607A (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | セラミツクス製品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP415787A JPS63173607A (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | セラミツクス製品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63173607A true JPS63173607A (ja) | 1988-07-18 |
Family
ID=11576911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP415787A Pending JPS63173607A (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | セラミツクス製品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63173607A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006027885A1 (ja) | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及びこれらの装置 |
| WO2007105417A1 (ja) | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及び加工面を決定する装置並びに平面加工装置 |
-
1987
- 1987-01-13 JP JP415787A patent/JPS63173607A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006027885A1 (ja) | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及びこれらの装置 |
| US7650201B2 (en) | 2004-09-03 | 2010-01-19 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Determination method and processing method of machined surface of plate-like material, and apparatus for use in said methods |
| WO2007105417A1 (ja) | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及び加工面を決定する装置並びに平面加工装置 |
| US7991501B2 (en) | 2006-03-06 | 2011-08-02 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Method for determining machining plane of planar material, machining method and device for determining machining plane and flat surface machining device |
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