CN85102013B - 一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法 - Google Patents
一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN85102013B CN85102013B CN85102013A CN85102013A CN85102013B CN 85102013 B CN85102013 B CN 85102013B CN 85102013 A CN85102013 A CN 85102013A CN 85102013 A CN85102013 A CN 85102013A CN 85102013 B CN85102013 B CN 85102013B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- profile
- unidirectional
- measured zone
- randomized
- randomized profile
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法，现有的校准样块无法标出轮廓的起点，只能校验触针式量仪的Ｒａ值（０．１５μｍ～１．５μｍ）。本发明采用研磨工艺，在光滑参考基准平面的中部分段加工出具有单向随机轮廓的测量区域。利用光滑参考基准平面和测量区域的交线来标出单向随机轮廓的起点，Ｒａ值可达０．０１５μｍ～１．５μｍ。除可用于校验触针式量仪的Ｒａ值外，还可对各种粗糙度量仪、测试方法的测量参数和轮廓图形进行标定和比对。
Description
本发明的技术领域属于不规则表面及轮廓的计量。
国际标准化组织确定的ISO/DP5436标准中，规定了采用单向随机轮廓的D型校准样块，作为触针式表面粗糙度量仪的校验基准，西德PTB（PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT）已研制出符合ISO/DP5436技术要求的D型校准样块。样块是带有一个工作表面的长方形六面体块，其工作表面的测量区域由若干段呈周期性重复的单向随机轮廓的表面组成，每段重复的周期，即每段单向随机轮廓的宽度，对应于表面粗糙度测量中的评定长度。
这种校准样块，是采用磨轮在高精度专用设备上磨削加工的。轮廓的算术平均偏差Ra为0.15μm至1.5μm，对应的评定长度为4mm。见WERKSTATTSTECHNIK 55（1965）S.380-382。
上述校准样块无法标出测量区域单向随机轮廓的起点，因此，只能校验触针式量仪的轮廓算术平均偏差，而不能对各种表面粗糙度量仪和测试方法测量的粗糙度轮廓图形进行标定和比对。另外，由于这种校准样块采用磨削工艺进行加工，Ra只能达到0.15μm至1.5μm，不能满足Ra为0.015μm至0.15μm的高精度表面粗糙度计量测试的需要。
本发明的任务是：（a）提供一种可以标出单向随机轮廓起点的表面粗糙度量仪校准样块，其Ra值为0.015μm至1.5μm，（b）解决校准样块的制造方法。
解决任务的方法是：在随机轮廓表面粗糙度校准样块的光滑参考基准平面的中部，分段加工出具有单向随机轮廓表面的测量区域，每段单向随机轮廓表面的宽度对应于表面粗糙度测量中的评定长度（0.4mm或1.25mm或4mm），整个测量区域由若干段呈周期性重复的单向随机轮廓的表面组成。在测量区域的两测或中间或两侧和中间有光滑参考基准平面，利用测量区域和光滑参考基准平面的交线来标出单向随机轮廓的起点。
测量区域的单向随机轮廓表面可以按照两种方式制造，第一种方式，测量区域由若干段连续的单向随机轮廓表面组成，其表面粗糙度的轮廓算术平均偏差Ra为0.015μm至1.5μm范围内，主要用于校验表面粗糙度量仪的各种测量参数的数值。第二种方式，测量区域由若干段不连续的单向随机轮廓表面组成，中间以光滑参考基准平面隔开，用于检查在相邻评定长度上单向随机轮廓的周期重复性。二者都可对表面粗糙度量仪和测式方法测试的轮廓图形进行标定和比对。
采用本发明的随机轮廓表面粗糙度校准样块，不仅可对触针式表面粗糙度量仪的轮廓算术平均偏差Ra、轮廓十点平均高度Rz、轮廓最大高度Ry、轮廓平均波距Sm等参术进行校验，并使其校验范围由Ra为0.15μm至1.5μm扩大到Ra为0.015μm至1.5μm，还可对各种表面粗糙度量仪和测试方法测量的表面粗糙度轮廓图形进行标定和比对。例如，可对触针式表面粗糙度量仪、光学干涉显微镜、双管显微境、扫描电境测试表面粗糙度的轮廓图形进行标定和比对，可对表面形貌三维测试方法和仪器进行标定和比对，作为磨擦、磨损、润滑理论研究中的一项实验手段，还可以对磨损前后表面形貌的变化过程进行实验比对。
采用本发明的校准样块对触针式表面粗糙度量仪进行校验时，由于采用了光滑参考基准平面作为传感器导头的支承面，与现有校准样块相比，可减少导头运动误差对测试结果的影响。
本发明的随机轮廓表面粗糙度校准样块在专门设计的研磨设备上进行加工，在加工具有单向随机轮廓的测量区域之前，首先采用研磨的方法对样块的工作表面进行预加工，使其成为表面粗糙度和不平度误差极小的光滑参考基准平面。然后根据测量区域Ra值的不同要求，选择适当粒度的研磨工具，在光滑参考基准平面的中部研磨出作为测量区域的单向随机轮廓表面。在研磨平台上开有两条以上的沟槽，以便对单向随机轮廓表面分段进行加工。在研磨过程中采用可调节研磨压力的专用研磨装置，通过调节研磨压力的大小，加工出不同Ra值的校准样块。整个研磨过程在专用研磨设备的导轨的引导下进行，其目的是保证在不同的法向截面内单向随机轮廓的均匀一致性。
利用附图所示的例子，对发明做进一步说明。
图1为一种随机轮廓表面粗糙度校准样块。
图2为校验触针式量仪时，传感器导头的两种不同支承方式。
参照图1，一种随机轮廓表面粗糙度校准样块，其测量区域（2）由若干呈周期性重复的单向随机轮廓的表面Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ……组成。在图1中，这些单向随机轮廓表面按照连续方式制成，每段单向随机轮廓表面的宽度对应于表面粗糙度测量中的取样长度（0.4mm，1.25mm或4mm）。在测量区域（2）的两端具有光滑参考基准平面（1），利用光滑参考基准平面（1）和测量区域（2）的交线来标出测量区域单向随机轮廓的起点。图中±0.1μm，±0.2μm表示轮廓的相对高度。
在测量区域内任意一段评定长度上测量，理轮上都可获得恒定的表面粗糙度参数的量值，以此对表面粗糙度量仪的测量参数进行校验。在测量区域的任意法向截面内测量，都可以获得完全相同的以S为起点，以E为终点的表面粗糙度轮廓图形，以此对各种表面粗糙度量仪和测试方法测试的表面粗糙度轮廓图形进行标定和比对。
图2表示校验触针式表面粗糙度量仪时，传感器导头的两种不同支承方式。图2a表示现有的单向随机轮廓的校验样块，传感器导头（3）和触针（4）都与具有单向随机轮廓的表面（2）相接触，导头的运动误差会影响测试精度。图2b表示本发明的校准样块，传感器导头（3）与光滑参考基准平面（1）接触，触针（4）与测量区域的单向随机轮廓表面（2）接触，可以大大减少导头运动误差对测试结果的影响。
Claims (8)
1、一种随机轮廓表面粗糙度校准样块，它是带有一个工作表面的长方形六面体块，其工作表面中部的测量区域由若干呈周期性重复的单向随机轮廓的表面组成，其特征是测量区域（2）的两侧或/和中间有一个以上的光滑参考基准平面（1），上述的测量区域（2）和光滑参考基准平面（1）之间的交界线对应单向随机轮廓的起点。
2、按权利要求1所述的校准样块，其特征是上述的测量区域单向随机轮廓的算术平均偏差Ra为0.015μm至1.5μm。
3、一种专用于制造权利要求1所述的随机轮廓表面粗糙度校准样块的方法，其特征是采用研磨方法对上述的光滑参考基准平面和测量区域分别进行加工。
4、按权利要求3所述的制造方法，其特征是：
（1）用研磨的方法预加工上述样块的光滑参考基准平面;
（2）根据测量区域Ra值的不同，选择适合粒度的研磨工具，在光滑参考基准平面的中部研磨出作为测量区域的单向随机轮廓表面;
（3）采用开有两条以上沟槽的研磨平台沿导轨对单向随机轮廓表面分段进行加工，以保证在不同法向截面内单向随机轮廓均匀一致。
5、按权利要求4所述的制造方法，其特征是测量区域不同Ra值的加工还可以通过调节研磨压力的大小进行控制。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN85102013A CN85102013B (zh) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN85102013A CN85102013B (zh) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN85102013A CN85102013A (zh) | 1986-12-31 |
| CN85102013B true CN85102013B (zh) | 1988-04-20 |
Family
ID=4792201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN85102013A Expired CN85102013B (zh) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN85102013B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1727201B (zh) * | 2004-07-26 | 2010-12-01 | 佳能株式会社 | 成像装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7382992B2 (en) | 2004-07-26 | 2008-06-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Sheet material identification apparatus and image forming apparatus therewith |
| JP4527120B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2010-08-18 | 日鉱金属株式会社 | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及びこれらの装置 |
| CN103278125A (zh) * | 2013-05-28 | 2013-09-04 | 上海铁路局科学技术研究所 | 钢轨平直度测量仪校验平台及其应用方法 |
| CN104864802B (zh) * | 2015-06-03 | 2018-02-23 | 西安航空学院 | 便携式粗糙度对比块 |
| CN109855572A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-06-07 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 用于校准光学轮廓仪粗糙度的线距样板及制备方法 |
-
1985
- 1985-07-03 CN CN85102013A patent/CN85102013B/zh not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1727201B (zh) * | 2004-07-26 | 2010-12-01 | 佳能株式会社 | 成像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN85102013A (zh) | 1986-12-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110595351B (zh) | 具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法 | |
| CN85102013B (zh) | 一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法 | |
| Stout | Optical assessment of surface roughness: The effectiveness of a low-cost, commercially-available instrument | |
| Messelink et al. | Exploiting the process stability of fluid jet polishing | |
| JPH10315129A (ja) | 研削量制御方法および測定器 | |
| Cardew | Surface Measurement Technology Advances | |
| CN208567762U (zh) | 一种简易组合式井盖平面度检测装置 | |
| CA1096608A (en) | Gear pitch gauge | |
| CN213208929U (zh) | 一种圆弧砂轮修整器笔尖旋转半径测量仪 | |
| Kerner | Slip gauge quality | |
| Jusko et al. | High precision 3D-calibration of cylindrical standards | |
| Singh | Metrology | |
| Zhong | Surface texture characterization using a chroma meter | |
| Ramesh et al. | Measurement of surface finish using an optical diffraction technique | |
| Bram et al. | Inspection and Measurement | |
| RU2036485C1 (ru) | Способ изготовления вогнутых подложек дифракционных решеток | |
| Mizera et al. | The Problems of Measuring Selected Geometric Deviations on a CMM After Machining | |
| Nielsen | Using the ISO Guide to the Expression of Uncertainty in Measurements to determine calibration requirements | |
| Zhuravlev | Controlling the curvature of thread gauges | |
| Theocaris et al. | THE SLIT SOURCE AND GRATING METHOD IN PLANE STRESS PROBLEMS | |
| Lazar et al. | The National Measurement System for Length and Related Dimensional Measurements | |
| Haussman | Assessing Tolerances (Part 1) | |
| KR920001847Y1 (ko) | 버어니어 캘리퍼스를 이용한 한계게이지 | |
| JPH0139045B2 (zh) | ||
| CN111928791A (zh) | 一种圆弧砂轮修整器笔尖旋转半径测量仪及其测量方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C13 | Decision | ||
| GR02 | Examined patent application | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |