JPH10315129A - 研削量制御方法および測定器 - Google Patents
研削量制御方法および測定器Info
- Publication number
- JPH10315129A JPH10315129A JP14855697A JP14855697A JPH10315129A JP H10315129 A JPH10315129 A JP H10315129A JP 14855697 A JP14855697 A JP 14855697A JP 14855697 A JP14855697 A JP 14855697A JP H10315129 A JPH10315129 A JP H10315129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- air
- grinding
- micrometer
- air nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クーラント、ワーク、砥石、研削盤等からの
誤差要因を排除して高精度研削を可能にする。 【解決手段】 平面研削盤のテーブル８上のマグネット
チャック９にワークＷとダミーワークＤＷとを固定し、
砥石車１によりダミーワークＤＷをわずか研削した後、
このダミーワークＤＷの上面位置と未研削のワークＷの
上面位置を、砥石カバー２に取付けた測定ヘッド部５内
のエアノズル７を構成要素とするエアマイクロメータに
より測定して、ワークＷとダミーワークＤＷとの段差を
求める。そして、エアマイクロメータの表示を確認しな
がら、前記段差に必要取り代を加えた分だけ砥石車１を
送り、その位置で砥石車１を固定してワークＷを研削す
る。これにより、必要取り代が１μｍ単位であっても正
確に研削できる。
誤差要因を排除して高精度研削を可能にする。 【解決手段】 平面研削盤のテーブル８上のマグネット
チャック９にワークＷとダミーワークＤＷとを固定し、
砥石車１によりダミーワークＤＷをわずか研削した後、
このダミーワークＤＷの上面位置と未研削のワークＷの
上面位置を、砥石カバー２に取付けた測定ヘッド部５内
のエアノズル７を構成要素とするエアマイクロメータに
より測定して、ワークＷとダミーワークＤＷとの段差を
求める。そして、エアマイクロメータの表示を確認しな
がら、前記段差に必要取り代を加えた分だけ砥石車１を
送り、その位置で砥石車１を固定してワークＷを研削す
る。これにより、必要取り代が１μｍ単位であっても正
確に研削できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面研削盤におけ
る研削量制御方法に係り、より詳しくは１μｍ単位の高
精度研削を可能にする研削量制御方法とその方法の実施
に用いる計測器に関する。
る研削量制御方法に係り、より詳しくは１μｍ単位の高
精度研削を可能にする研削量制御方法とその方法の実施
に用いる計測器に関する。
【０００２】
【従来の技術】研削加工中には、砥石摩耗、熱変位、機
械振動などの多くの外乱が影響するため、ワークを１μ
ｍ単位で高精度に研削仕上げしようとする場合は、いわ
ゆるインプロセスでの計測制御が不可欠となる。そこで
例えば、特開平２−１９８７６８号公報には、平面研削
盤のテーブル上にエアマイクロメータの空気吐出部（エ
アノズル）を設置し、これに砥石を近づけて基準点に対
する砥石研削面の位置を非接触で検出し、その検出結果
に基づいて研削開始点を定める方法が提案されている。
この方法によれば、測定精度の高いエアマイクロメータ
を用いることで、研削量を高精度に制御することができ
るようになる。
械振動などの多くの外乱が影響するため、ワークを１μ
ｍ単位で高精度に研削仕上げしようとする場合は、いわ
ゆるインプロセスでの計測制御が不可欠となる。そこで
例えば、特開平２−１９８７６８号公報には、平面研削
盤のテーブル上にエアマイクロメータの空気吐出部（エ
アノズル）を設置し、これに砥石を近づけて基準点に対
する砥石研削面の位置を非接触で検出し、その検出結果
に基づいて研削開始点を定める方法が提案されている。
この方法によれば、測定精度の高いエアマイクロメータ
を用いることで、研削量を高精度に制御することができ
るようになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に記載の方法によれば、砥石研削面の位置を直接検出
する方式であるため、砥石の粒子間に滞留するクーラン
トによるエアマイクロメータの出力変動を避けることが
できないことに加え、被研削物としてのワークの測定誤
差、砥石の偏摩耗等の影響を吸収することができず、実
際上、１μｍ単位での高精度研削はきわめて困難である
という問題があった。また、エアマイクロメータのエア
ノズルが研削盤のテーブル上に上向きに設置されている
ため、そのエアノズルへのクーラントの浸入が避けられ
ず、この面からもエアマイクロメータの出力が変動し
て、高精度研削を困難にするという問題があった。さら
に、加工基準となるテーブル上からエアを吐出する方式
であるため、エアマイクロメータの測定範囲を超えてワ
ーク寸法が変更される場合は測定不能となり、ワーク寸
法が変更されるごとにエアノズルを交換しなければなら
ず、汎用性に乏しいという問題もあった。
報に記載の方法によれば、砥石研削面の位置を直接検出
する方式であるため、砥石の粒子間に滞留するクーラン
トによるエアマイクロメータの出力変動を避けることが
できないことに加え、被研削物としてのワークの測定誤
差、砥石の偏摩耗等の影響を吸収することができず、実
際上、１μｍ単位での高精度研削はきわめて困難である
という問題があった。また、エアマイクロメータのエア
ノズルが研削盤のテーブル上に上向きに設置されている
ため、そのエアノズルへのクーラントの浸入が避けられ
ず、この面からもエアマイクロメータの出力が変動し
て、高精度研削を困難にするという問題があった。さら
に、加工基準となるテーブル上からエアを吐出する方式
であるため、エアマイクロメータの測定範囲を超えてワ
ーク寸法が変更される場合は測定不能となり、ワーク寸
法が変更されるごとにエアノズルを交換しなければなら
ず、汎用性に乏しいという問題もあった。
【０００４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは、クーラント、ワ
ーク、砥石等からの誤差要因を排除して高精度研削を可
能にすると共に、ワーク寸法に制約されることなく広範
囲に適用できる研削量制御方法を提供し、併せてこの方
法の実施に用いる測定器を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、クーラント、ワ
ーク、砥石等からの誤差要因を排除して高精度研削を可
能にすると共に、ワーク寸法に制約されることなく広範
囲に適用できる研削量制御方法を提供し、併せてこの方
法の実施に用いる測定器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の方法発明は、平面研削盤のテーブ
ル上にワークとダミーワークとを固定し、ダミーワーク
をわずか研削した後、砥石カバーに取付けたエアマイク
ロメータのエアノズルからエアを吐出させて、該エアノ
ズル先端とダミーワークとの距離Ｄ1 および該エアノズ
ル先端とワークとの距離Ｄ0 を測定し、しかる後エアノ
ズルからダミーワークまたはワークに向けてエアを吐出
させてエアマイクロメータの表示を確認しながら、前記
測定距離の差［Ｄ1 −Ｄ0 ］分だけ砥石車をテーブル側
またはその反対側へ送るようにすることを特徴とする。
め、請求項１に記載の方法発明は、平面研削盤のテーブ
ル上にワークとダミーワークとを固定し、ダミーワーク
をわずか研削した後、砥石カバーに取付けたエアマイク
ロメータのエアノズルからエアを吐出させて、該エアノ
ズル先端とダミーワークとの距離Ｄ1 および該エアノズ
ル先端とワークとの距離Ｄ0 を測定し、しかる後エアノ
ズルからダミーワークまたはワークに向けてエアを吐出
させてエアマイクロメータの表示を確認しながら、前記
測定距離の差［Ｄ1 −Ｄ0 ］分だけ砥石車をテーブル側
またはその反対側へ送るようにすることを特徴とする。
【０００６】この請求項１に記載の発明においては、エ
アマイクロメータにより研削後のダミーワークの面と未
研削のワークの面との位置を測定して両者の差（段差）
を求めることで、この差分だけ砥石車をテーブル側また
はその反対側へ送れば、砥石研削面は、研削開始点に正
確に位置決めされる。しかも、エアマイクロメータの表
示を確認しながら砥石車を送るので、研削盤の送り誤差
を無視することができ、砥石研削面をより正確に研削開
始点に位置決めすることができる。
アマイクロメータにより研削後のダミーワークの面と未
研削のワークの面との位置を測定して両者の差（段差）
を求めることで、この差分だけ砥石車をテーブル側また
はその反対側へ送れば、砥石研削面は、研削開始点に正
確に位置決めされる。しかも、エアマイクロメータの表
示を確認しながら砥石車を送るので、研削盤の送り誤差
を無視することができ、砥石研削面をより正確に研削開
始点に位置決めすることができる。
【０００７】こゝで、研削目的によっては、ワークから
必要取り代ｓ分だけ研削したい場合があるが、この場合
は、請求項２に記載の方法発明のように、請求項１に記
載の発明と同様に求めたダミーワークとワークとの段差
［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］に必要取り代ｓを加えた値［δ＋
ｓ］分だけ砥石車をテーブル側またはその反対側へ送る
ようにする。このようにすることで、請求項３に記載の
発明のように、必要取り代ｓが１〜２μｍの微小であっ
ても正確に、その取り代ｓ分だけワークを研削すること
ができる。
必要取り代ｓ分だけ研削したい場合があるが、この場合
は、請求項２に記載の方法発明のように、請求項１に記
載の発明と同様に求めたダミーワークとワークとの段差
［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］に必要取り代ｓを加えた値［δ＋
ｓ］分だけ砥石車をテーブル側またはその反対側へ送る
ようにする。このようにすることで、請求項３に記載の
発明のように、必要取り代ｓが１〜２μｍの微小であっ
ても正確に、その取り代ｓ分だけワークを研削すること
ができる。
【０００８】また、上記目的を達成するため、請求項４
に記載の方法発明は、平面研削盤のテーブル上にワーク
と仕上寸法のゲージとを固定し、研削最終段階で、砥石
カバーに取付けたエアマイクロメータのエアノズルから
エアを吐出させて、該エアノズル先端とワークとの距離
Ｄ0 および該エアノズル先端とゲージとの距離Ｄ2 を測
定し、両距離の差［Ｄ2 −Ｄ0 ］が最終研削代の範囲内
にあれば、エアノズルからゲージに向けてエアを吐出さ
せてエアマイクロメータの表示を確認しながら、Ｄ2 が
Ｄ0 になるように砥石車をテーブル側へ送るようにする
ことを特徴とする。
に記載の方法発明は、平面研削盤のテーブル上にワーク
と仕上寸法のゲージとを固定し、研削最終段階で、砥石
カバーに取付けたエアマイクロメータのエアノズルから
エアを吐出させて、該エアノズル先端とワークとの距離
Ｄ0 および該エアノズル先端とゲージとの距離Ｄ2 を測
定し、両距離の差［Ｄ2 −Ｄ0 ］が最終研削代の範囲内
にあれば、エアノズルからゲージに向けてエアを吐出さ
せてエアマイクロメータの表示を確認しながら、Ｄ2 が
Ｄ0 になるように砥石車をテーブル側へ送るようにする
ことを特徴とする。
【０００９】この請求項４に記載の方法発明において
は、研削最終段階までワークを研削した後、エアノズル
先端とワークとの距離Ｄ0 および該エアノズル先端とゲ
ージとの距離Ｄ2 を測定し、エアマイクロメータの表示
を確認しながら、Ｄ2 がＤ0 になるように砥石車をテー
ブル側へ送ることで、研削盤の送り誤差はもとよりエア
マイクロメータの読取り誤差の介入なしに、最終研削代
すなわち研削残りを正確に研削してワークを所定寸法に
仕上げることができる。この場合、前記最終研削代は、
ワークの材種、砥石の種類等に応じて任意の大きさとす
るが、請求項５に記載の発明のように、１〜２μｍの微
小範囲とすることができる。
は、研削最終段階までワークを研削した後、エアノズル
先端とワークとの距離Ｄ0 および該エアノズル先端とゲ
ージとの距離Ｄ2 を測定し、エアマイクロメータの表示
を確認しながら、Ｄ2 がＤ0 になるように砥石車をテー
ブル側へ送ることで、研削盤の送り誤差はもとよりエア
マイクロメータの読取り誤差の介入なしに、最終研削代
すなわち研削残りを正確に研削してワークを所定寸法に
仕上げることができる。この場合、前記最終研削代は、
ワークの材種、砥石の種類等に応じて任意の大きさとす
るが、請求項５に記載の発明のように、１〜２μｍの微
小範囲とすることができる。
【００１０】本発明にかゝる測定器は、請求項６に記載
のように、アンビル部分を取除いたマイクロメータのス
ピンドルを中空構造とし、該スピンドルの先端にエアマ
イクロメータを構成するエアノズルを設け、該エアノズ
ルを前記スピンドルの中空内部を通じてエアマイクロメ
ータの計測部に連通させる構成としたことを特徴とす
る。
のように、アンビル部分を取除いたマイクロメータのス
ピンドルを中空構造とし、該スピンドルの先端にエアマ
イクロメータを構成するエアノズルを設け、該エアノズ
ルを前記スピンドルの中空内部を通じてエアマイクロメ
ータの計測部に連通させる構成としたことを特徴とす
る。
【００１１】このように構成した測定器においては、荒
加工時は普通のマイクロメータとして用いる一方、仕上
加工時はエアマイクロメータとして用いることで、エア
ノズルを交換することなく広範囲の研削量制御に利用す
ることができる。また、エアマイクロメータは、そのエ
アノズル先端と測定対象との隙間を一定の範囲内に収め
ないと、その出力（読み）が前記隙間に対して直線関係
を維持せず、測定不能となるが、本測定器によれば、マ
イクロメータを利用してエアノズルを簡単に初期測定位
置にセットすることができる。
加工時は普通のマイクロメータとして用いる一方、仕上
加工時はエアマイクロメータとして用いることで、エア
ノズルを交換することなく広範囲の研削量制御に利用す
ることができる。また、エアマイクロメータは、そのエ
アノズル先端と測定対象との隙間を一定の範囲内に収め
ないと、その出力（読み）が前記隙間に対して直線関係
を維持せず、測定不能となるが、本測定器によれば、マ
イクロメータを利用してエアノズルを簡単に初期測定位
置にセットすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基いて説明する。
図面に基いて説明する。
【００１３】図１〜図３は、本発明の第１の実施の形態
を示したものである。本第１の実施の形態においては、
予め平面研削盤の砥石車１を保護する砥石カバー２にブ
ラケット３を用いて測定器４の測定ヘッド部５を取付け
る。この測定器４は、汎用のマイクロメータとエアマイ
クロメータとを組合せたもので、その測定ヘッド部５
は、図３に良く示されるように、汎用のマイクロメータ
からアンビル部分を取除いたマイクロメータ本体部６と
エアマイクロメータを構成するエアノズル７とから成っ
ている。
を示したものである。本第１の実施の形態においては、
予め平面研削盤の砥石車１を保護する砥石カバー２にブ
ラケット３を用いて測定器４の測定ヘッド部５を取付け
る。この測定器４は、汎用のマイクロメータとエアマイ
クロメータとを組合せたもので、その測定ヘッド部５
は、図３に良く示されるように、汎用のマイクロメータ
からアンビル部分を取除いたマイクロメータ本体部６と
エアマイクロメータを構成するエアノズル７とから成っ
ている。
【００１４】マイクロメータ本体部６は、インナスリー
ブ１０およびアウタスリーブ１１から成るスリーブ組立
体１２と、このスリーブ組立体１２に摺動可能に嵌挿さ
れたスピンドル１３と、スリーブ組立体１２に嵌合され
かつスピンドル１３の上端に結合一体化されたシンブル
１４とを備え、そのスリーブ組立体１２が前記砥石カバ
ー２から延ばしたブラケット３に固定されている。スリ
ーブ組立体１２を構成するインナスリーブ１０とアウタ
スリーブ１１との間には、前記スピンドル１３の外周に
設けられたねじ部１５に噛合するナット１６が保持され
ている。このようなマイクロメータ本体部６において
は、シンブル１４を介してスピンドル１３を左回転また
は右回転させれば、スリーブ組立体１２に対してスピン
ドル１３が上昇または下降し、スリーブ組立体１２の外
周およびシンブル１４の外周に付した目盛１７からスピ
ンドル１３の移動量を検出できるようになる。
ブ１０およびアウタスリーブ１１から成るスリーブ組立
体１２と、このスリーブ組立体１２に摺動可能に嵌挿さ
れたスピンドル１３と、スリーブ組立体１２に嵌合され
かつスピンドル１３の上端に結合一体化されたシンブル
１４とを備え、そのスリーブ組立体１２が前記砥石カバ
ー２から延ばしたブラケット３に固定されている。スリ
ーブ組立体１２を構成するインナスリーブ１０とアウタ
スリーブ１１との間には、前記スピンドル１３の外周に
設けられたねじ部１５に噛合するナット１６が保持され
ている。このようなマイクロメータ本体部６において
は、シンブル１４を介してスピンドル１３を左回転また
は右回転させれば、スリーブ組立体１２に対してスピン
ドル１３が上昇または下降し、スリーブ組立体１２の外
周およびシンブル１４の外周に付した目盛１７からスピ
ンドル１３の移動量を検出できるようになる。
【００１５】しかして、上記スピンドル１３には、軸方
向に貫通する貫通孔１８が形成されており、この貫通孔
１８の下端開口部に上記エアノズル７が設定されてい
る。スピンドル１３の貫通孔１８はエアマイクロメータ
の通気路として構成されており、この通気路１８には、
スピンドル１３の上端部に螺着した継手１９を介してエ
アマイクロメータの計測部２０が配管接続されている。
本エアマイクロメータは流量式として構成されており、
その計測部２０はフロート（図示略）を内蔵する表示管
２１と、レギュレータ２２とエア源２３とを備えてい
る。測定に際しては、この計測部２０からエアノズル７
に対してレギュレータ２２で定まる所定圧のエアが給送
され、このエアがエアノズル７から被測定物（ワーク
等）２４に向けて吐出される。この時、エアノズル７か
ら吐出される流量は、エアノズル７の先端と被測定物２
４との間の距離Ｄに応じて変化し、その距離Ｄの変化が
計測部２０において前記フロートの位置変化に変換さ
れ、該フロートと表示管２１に付した目盛２５との対応
から距離Ｄを読取ることができるようになる。
向に貫通する貫通孔１８が形成されており、この貫通孔
１８の下端開口部に上記エアノズル７が設定されてい
る。スピンドル１３の貫通孔１８はエアマイクロメータ
の通気路として構成されており、この通気路１８には、
スピンドル１３の上端部に螺着した継手１９を介してエ
アマイクロメータの計測部２０が配管接続されている。
本エアマイクロメータは流量式として構成されており、
その計測部２０はフロート（図示略）を内蔵する表示管
２１と、レギュレータ２２とエア源２３とを備えてい
る。測定に際しては、この計測部２０からエアノズル７
に対してレギュレータ２２で定まる所定圧のエアが給送
され、このエアがエアノズル７から被測定物（ワーク
等）２４に向けて吐出される。この時、エアノズル７か
ら吐出される流量は、エアノズル７の先端と被測定物２
４との間の距離Ｄに応じて変化し、その距離Ｄの変化が
計測部２０において前記フロートの位置変化に変換さ
れ、該フロートと表示管２１に付した目盛２５との対応
から距離Ｄを読取ることができるようになる。
【００１６】こゝで、エアノズル７の先端と被測定物２
４との距離（隙間）Ｄを一定の範囲内に収めないと、表
示管２１の読み（出力）が前記隙間Ｄに対して直線関係
を維持せず、エアマイクロメータとしての測定が不能と
なるので、本測定器４をマイクロメータとして用いる場
合は、一度、マイクロメータ本体部６のスピンドル１３
を被測定物２４に接触させた後、そのシンブル１４を回
してスピンドル１３の先端、すなわちエアノズル７の先
端を初期測定位置にセットする。なお、表示管２１の目
盛２５の一目盛は、０．５μｍ単位となるように設定さ
れている。
４との距離（隙間）Ｄを一定の範囲内に収めないと、表
示管２１の読み（出力）が前記隙間Ｄに対して直線関係
を維持せず、エアマイクロメータとしての測定が不能と
なるので、本測定器４をマイクロメータとして用いる場
合は、一度、マイクロメータ本体部６のスピンドル１３
を被測定物２４に接触させた後、そのシンブル１４を回
してスピンドル１３の先端、すなわちエアノズル７の先
端を初期測定位置にセットする。なお、表示管２１の目
盛２５の一目盛は、０．５μｍ単位となるように設定さ
れている。
【００１７】本第１の実施の形態は、ワークＷから微小
（１〜２μｍ）な取り代ｓ分だけ研削しようとするもの
で、研削に際しては、前出図１に示したように、平面研
削盤のテーブル８上のマグネットチャック９にワークＷ
とダミーワークＤＷとを固定する。ダミーワークＤＷと
しては、ワークＷと同材質のものを選定するのが望まし
く、また、その厚さもワークＷとそれほど違わないもの
を選定するのが望ましい。ただし、砥石車１とワークＷ
との干渉を避けて、テーブル８を最短距離で移動させる
ことを考慮すれば、ダミーワークＤＷとしては、ワーク
Ｗより１０μｍ程度厚いものを選定するのが望ましい。
（１〜２μｍ）な取り代ｓ分だけ研削しようとするもの
で、研削に際しては、前出図１に示したように、平面研
削盤のテーブル８上のマグネットチャック９にワークＷ
とダミーワークＤＷとを固定する。ダミーワークＤＷと
しては、ワークＷと同材質のものを選定するのが望まし
く、また、その厚さもワークＷとそれほど違わないもの
を選定するのが望ましい。ただし、砥石車１とワークＷ
との干渉を避けて、テーブル８を最短距離で移動させる
ことを考慮すれば、ダミーワークＤＷとしては、ワーク
Ｗより１０μｍ程度厚いものを選定するのが望ましい。
【００１８】上記したようにマグネットチャック９にワ
ークＷとダミーワークＤＷとを固定したら先ず、図示を
略すクーラントノズルからクーラントを放出させなが
ら、テーブル８を定ピッチ送りしてダミーワークＤＷを
わずか（５μｍ程度）研削する。次に、このダミーワー
クＤＷを研削した位置に砥石車１を固定したまま、テー
ブル８を横送りして上記砥石カバー２に取付けた測定ヘ
ッド部５を、図１に示すようにダミーワークＤＷの上方
に移動させる。そして、前記測定器４をエアマイクロメ
ータとして用いて、そのエアノズル７からダミーワーク
ＤＷへ向けてエアを吐出させ、図２の右側に示すよう
に、エアノズル７の先端とダミーワークＤＷとの距離Ｄ
1 を測定する。
ークＷとダミーワークＤＷとを固定したら先ず、図示を
略すクーラントノズルからクーラントを放出させなが
ら、テーブル８を定ピッチ送りしてダミーワークＤＷを
わずか（５μｍ程度）研削する。次に、このダミーワー
クＤＷを研削した位置に砥石車１を固定したまま、テー
ブル８を横送りして上記砥石カバー２に取付けた測定ヘ
ッド部５を、図１に示すようにダミーワークＤＷの上方
に移動させる。そして、前記測定器４をエアマイクロメ
ータとして用いて、そのエアノズル７からダミーワーク
ＤＷへ向けてエアを吐出させ、図２の右側に示すよう
に、エアノズル７の先端とダミーワークＤＷとの距離Ｄ
1 を測定する。
【００１９】次に、砥石車１の位置を固定したまま、テ
ーブル８を横送りして測定ヘッド部５をワークＷの上方
に移動させ、引き続き測定器４をエアマイクロメータと
して用いて、そのエアノズル７からワークＷへ向けてエ
アを吐出させ、図２の左側に示すように、エアノズル７
の先端とワークＷとの距離Ｄ0 を測定する。ダミーワー
クＤＷに対して求めた上記距離Ｄ1 とこのワークＷに対
する距離Ｄ0 との差［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］は、ダミーワー
クＤＷとワークＷとの段差を表しており、したがって、
ワークＷの上面を上記した微小取り代ｓ分だけ研削する
には、この段差［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］に必要取り代ｓを加
えた値［δ＋ｓ］分だけ砥石車１をテーブル８側へ送れ
ば良いことになる（ダミーワークＤＷがワークＷより厚
いと仮定した場合）。そこで、エアノズル７からワーク
Ｗへ向けてのエア吐出をそのまま継続させ、エアマイク
ロメータの計測部２０の表示管２１を確認しながら、前
記［δ＋ｓ］分だけ砥石車１をテーブル８側へ送り、そ
の砥石車１位置でテーブル８を定ピッチ送りし、クーラ
ントを放出させながらワークＷを研削する。これにより
ワークＷは、所望の取り代ｓ分だけ研削されたことな
る。なお、ダミーワークＤＷの初期厚さがワークＷより
小さい場合は、上記段差δはマイナスとなるが、この場
合は、砥石車１をテーブル８と反対側（テーブル８から
離間する方向）へ送ることになる。ただし、この場合
は、砥石車１とワークＷとの干渉を避けるため、距離Ｄ
1 の測定に際してテーブル８をワークＷを迂回して移動
させる必要がある。
ーブル８を横送りして測定ヘッド部５をワークＷの上方
に移動させ、引き続き測定器４をエアマイクロメータと
して用いて、そのエアノズル７からワークＷへ向けてエ
アを吐出させ、図２の左側に示すように、エアノズル７
の先端とワークＷとの距離Ｄ0 を測定する。ダミーワー
クＤＷに対して求めた上記距離Ｄ1 とこのワークＷに対
する距離Ｄ0 との差［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］は、ダミーワー
クＤＷとワークＷとの段差を表しており、したがって、
ワークＷの上面を上記した微小取り代ｓ分だけ研削する
には、この段差［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］に必要取り代ｓを加
えた値［δ＋ｓ］分だけ砥石車１をテーブル８側へ送れ
ば良いことになる（ダミーワークＤＷがワークＷより厚
いと仮定した場合）。そこで、エアノズル７からワーク
Ｗへ向けてのエア吐出をそのまま継続させ、エアマイク
ロメータの計測部２０の表示管２１を確認しながら、前
記［δ＋ｓ］分だけ砥石車１をテーブル８側へ送り、そ
の砥石車１位置でテーブル８を定ピッチ送りし、クーラ
ントを放出させながらワークＷを研削する。これにより
ワークＷは、所望の取り代ｓ分だけ研削されたことな
る。なお、ダミーワークＤＷの初期厚さがワークＷより
小さい場合は、上記段差δはマイナスとなるが、この場
合は、砥石車１をテーブル８と反対側（テーブル８から
離間する方向）へ送ることになる。ただし、この場合
は、砥石車１とワークＷとの干渉を避けるため、距離Ｄ
1 の測定に際してテーブル８をワークＷを迂回して移動
させる必要がある。
【００２０】このように、実際に研削したダミーワーク
ＤＷの上面を基準にしてワークの研削量を求めると共
に、エアマイクロメータの表示を確認しながら砥石車１
を位置決めするので、ワークＷの測定精度や砥石の偏摩
耗、あるいは研削盤の送り誤差などの影響を受けること
なく、砥石車１の研削面を正確に位置決めすることがで
き、１μｍ単位の取り代ｓでも正確に研削することがで
きるようになる。しかも、エアノズル７は下向きに設置
されているので、その内部にクーラントが浸入すること
がないことに加え、ダミーワークＤＷやワークＷの上面
を測定対象としているので、クーラント滞留の影響もな
く、エアマイクロメータの出力は安定するものとなる。
さらに、測定器４の測定ヘッド部５は砥石車１と一体に
移動するので、ワークＷの寸法が変更されても、常にエ
アマイクロメータの測定範囲（１０μｍ程度）内で測定
を行うことができる。
ＤＷの上面を基準にしてワークの研削量を求めると共
に、エアマイクロメータの表示を確認しながら砥石車１
を位置決めするので、ワークＷの測定精度や砥石の偏摩
耗、あるいは研削盤の送り誤差などの影響を受けること
なく、砥石車１の研削面を正確に位置決めすることがで
き、１μｍ単位の取り代ｓでも正確に研削することがで
きるようになる。しかも、エアノズル７は下向きに設置
されているので、その内部にクーラントが浸入すること
がないことに加え、ダミーワークＤＷやワークＷの上面
を測定対象としているので、クーラント滞留の影響もな
く、エアマイクロメータの出力は安定するものとなる。
さらに、測定器４の測定ヘッド部５は砥石車１と一体に
移動するので、ワークＷの寸法が変更されても、常にエ
アマイクロメータの測定範囲（１０μｍ程度）内で測定
を行うことができる。
【００２１】図４および図５は、本発明の第２の実施の
形態を示したものである。なお、こゝで用いる研削盤、
測定器４等は上記第１の実施の形態と同じであるので、
同一部分には同一符号を付し、その説明は省略すること
とする。本第２の実施の形態は、最終研削代を正確に設
定してワークＷを所望の寸法に仕上げるようにするもの
で、テーブル８上のマグネットチャック９には、予めワ
ークＷと仕上寸法のゲージＧとを固定する。なお、ここ
では、ワークＷは、全体として１０μｍを超える取り代
があるものとして説明を行う。
形態を示したものである。なお、こゝで用いる研削盤、
測定器４等は上記第１の実施の形態と同じであるので、
同一部分には同一符号を付し、その説明は省略すること
とする。本第２の実施の形態は、最終研削代を正確に設
定してワークＷを所望の寸法に仕上げるようにするもの
で、テーブル８上のマグネットチャック９には、予めワ
ークＷと仕上寸法のゲージＧとを固定する。なお、ここ
では、ワークＷは、全体として１０μｍを超える取り代
があるものとして説明を行う。
【００２２】上記したようにマグネットチャック９にワ
ークＷとゲージＧとを固定したら、最初は測定器４の測
定ヘッド部５を通常のマイクロメータとして用い、その
スピンドル１３をワークＷに接触させてワークＷの寸法
を確認しながら研削を進め、残りの取り代が１０μｍ以
下になったら、測定器４をエアマイクロメータに切り換
える。そして先ず、測定ヘッド部５をワークＷの上方に
移動させ、そのエアノズル７からワークＷへ向けてエア
を吐出させ、図２の右側に示すように、エアノズル７の
先端とワークＷとの距離Ｄ0 を測定する。次に、測定ヘ
ッド部５をゲージＧの上方に移動させ、そのエアノズル
７からゲージＧへ向けてエアを吐出させ、図２の左側に
示すように、エアノズル７の先端とゲージＧとの距離Ｄ
2 を測定する。このゲージＧに対して求めた距離Ｄ2 と
ワークＷに対して求めた距離Ｄ0との差［Ｄ2 −Ｄ0 ］
は、残りの取り代を表しており、そこで、この残りの取
り代に基づいて研削最終段階までの研削回数を設定す
る。例えば、残りの取り代が９μｍであったら、研削回
数を３回（３μｍ＋３μｍ＋２μｍ）とする。
ークＷとゲージＧとを固定したら、最初は測定器４の測
定ヘッド部５を通常のマイクロメータとして用い、その
スピンドル１３をワークＷに接触させてワークＷの寸法
を確認しながら研削を進め、残りの取り代が１０μｍ以
下になったら、測定器４をエアマイクロメータに切り換
える。そして先ず、測定ヘッド部５をワークＷの上方に
移動させ、そのエアノズル７からワークＷへ向けてエア
を吐出させ、図２の右側に示すように、エアノズル７の
先端とワークＷとの距離Ｄ0 を測定する。次に、測定ヘ
ッド部５をゲージＧの上方に移動させ、そのエアノズル
７からゲージＧへ向けてエアを吐出させ、図２の左側に
示すように、エアノズル７の先端とゲージＧとの距離Ｄ
2 を測定する。このゲージＧに対して求めた距離Ｄ2 と
ワークＷに対して求めた距離Ｄ0との差［Ｄ2 −Ｄ0 ］
は、残りの取り代を表しており、そこで、この残りの取
り代に基づいて研削最終段階までの研削回数を設定す
る。例えば、残りの取り代が９μｍであったら、研削回
数を３回（３μｍ＋３μｍ＋２μｍ）とする。
【００２３】このようにして、研削最終段階まで所定回
数の研削を行ったら、再び測定ヘッド部５のエアノズル
７をワークＷとゲージＧ上に順次移動させ、図５に示し
たと同様の態様でエアノズル７の先端とワークとの距離
Ｄ0 およびエアノズル７の先端とゲージＧとの距離Ｄ2
をそれぞれ測定する。そして、両距離の差［Ｄ2 −Ｄ
0 ］が予定どおりに最終研削代の範囲内に入っていれ
ば、エアノズル７からゲージＧに向けてエアを吐出させ
て、エアマイクロメータの計測部２０の表示管２１を確
認しながら、Ｄ2 がＤ0 になるように砥石車１をテーブ
ル８側へ送る。次に、その砥石車１位置でテーブル８を
定ピッチ送りし、クーラントを放出させながらワークＷ
を研削する。これによりワークＷは、残りの取り代が正
確に研削されて、所望の寸法に仕上がるようになる。
数の研削を行ったら、再び測定ヘッド部５のエアノズル
７をワークＷとゲージＧ上に順次移動させ、図５に示し
たと同様の態様でエアノズル７の先端とワークとの距離
Ｄ0 およびエアノズル７の先端とゲージＧとの距離Ｄ2
をそれぞれ測定する。そして、両距離の差［Ｄ2 −Ｄ
0 ］が予定どおりに最終研削代の範囲内に入っていれ
ば、エアノズル７からゲージＧに向けてエアを吐出させ
て、エアマイクロメータの計測部２０の表示管２１を確
認しながら、Ｄ2 がＤ0 になるように砥石車１をテーブ
ル８側へ送る。次に、その砥石車１位置でテーブル８を
定ピッチ送りし、クーラントを放出させながらワークＷ
を研削する。これによりワークＷは、残りの取り代が正
確に研削されて、所望の寸法に仕上がるようになる。
【００２４】本第２の実施の形態によれば、研削途中で
ワークＷとゲージＧとの上面位置を検出し、最終研削段
階までの取り代を正確に割り出して研削回数を設定する
ので、最終研削段階で残りの取り代が過剰であったり不
足することがなくなる。しかも、エアマイクロメータの
表示を確認しながら、Ｄ2 がＤ0 になるように砥石車を
テーブル側へ送ることで、研削盤の送り誤差はもとより
エアマイクロメータの読取り誤差の介入する余地はなく
なり、最終研削を正確に行って高精度に部品を仕上げる
ことができる。また、計測器４をマイクロメータとエア
マイクメータとに切り換えて、広範囲の測定に利用でき
る。
ワークＷとゲージＧとの上面位置を検出し、最終研削段
階までの取り代を正確に割り出して研削回数を設定する
ので、最終研削段階で残りの取り代が過剰であったり不
足することがなくなる。しかも、エアマイクロメータの
表示を確認しながら、Ｄ2 がＤ0 になるように砥石車を
テーブル側へ送ることで、研削盤の送り誤差はもとより
エアマイクロメータの読取り誤差の介入する余地はなく
なり、最終研削を正確に行って高精度に部品を仕上げる
ことができる。また、計測器４をマイクロメータとエア
マイクメータとに切り換えて、広範囲の測定に利用でき
る。
【００２５】なお、上記各実施の形態において、測定器
４のマイクロメータを流量式として構成したが、このマ
イクロメータは背圧式として良いもので、この場合は、
表示管２１に代えて指示計が用いられることになる。ま
た、本発明は、このマイクロメータの計測部２０の出力
を電気量で取出すようにしても良いもので、この場合
は、出力としての電気量を数値制御装置（ＮＣ）にフィ
ードバックして全自動で研削を行わせることもできる。
４のマイクロメータを流量式として構成したが、このマ
イクロメータは背圧式として良いもので、この場合は、
表示管２１に代えて指示計が用いられることになる。ま
た、本発明は、このマイクロメータの計測部２０の出力
を電気量で取出すようにしても良いもので、この場合
は、出力としての電気量を数値制御装置（ＮＣ）にフィ
ードバックして全自動で研削を行わせることもできる。
【００２６】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明にかゝる
研削量制御方法によれば、ダミーワークまたは仕上寸法
のゲージとワークとの位置を比較して研削量を決定し、
かつエアマイクロメータの表示を確認しながら砥石を位
置決めするので、クーラント、ワーク、砥石、研削盤等
からの誤差要因を排除すると共に、エアマイクロメータ
を有効活用して、１μｍ単位で研削量制御を行うことが
できるようになり、その利用価値は大なるものがある。
また、本発明にかゝる測定器によれば、マイクロメータ
とエアマイクロメータの機能を併せ持つので、ワーク寸
法に制約されることなく広範囲の測定に利用できること
に加え、マイクロメータの機能を用いてエアマイクロメ
ータを初期測定位置に簡単にセットすることができ、本
研削量制御方法の実施に向けて好適となる。
研削量制御方法によれば、ダミーワークまたは仕上寸法
のゲージとワークとの位置を比較して研削量を決定し、
かつエアマイクロメータの表示を確認しながら砥石を位
置決めするので、クーラント、ワーク、砥石、研削盤等
からの誤差要因を排除すると共に、エアマイクロメータ
を有効活用して、１μｍ単位で研削量制御を行うことが
できるようになり、その利用価値は大なるものがある。
また、本発明にかゝる測定器によれば、マイクロメータ
とエアマイクロメータの機能を併せ持つので、ワーク寸
法に制約されることなく広範囲の測定に利用できること
に加え、マイクロメータの機能を用いてエアマイクロメ
ータを初期測定位置に簡単にセットすることができ、本
研削量制御方法の実施に向けて好適となる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の実施要領を示す模
式図である。
式図である。
【図２】第１の実施の形態における測定状態を示す模式
図である。
図である。
【図３】本発明の実施に用いる測定器の構造を一部断面
として示す側面図である。
として示す側面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態の実施要領を示す模
式図である。
式図である。
【図５】第２の実施の形態における測定状態を示す模式
図である。
図である。
１ 砥石車 ２ 砥石カバー ４ 測定器 ５ 測定ヘッド部 ６ マイクロメータ本体部 ７ エアノズル １３ スピンドル ２０ 計測部 ２１ 表示管 Ｗ ワーク ＤＷ ダミーワーク Ｇ ゲージ
Claims (6)
- 【請求項１】 平面研削盤のテーブル上にワークとダミ
ーワークとを固定し、ダミーワークをわずか研削した
後、砥石カバーに取付けたエアマイクロメータのエアノ
ズルからエアを吐出させて、該エアノズル先端とダミー
ワークとの距離Ｄ1 および該エアノズル先端とワークと
の距離Ｄ0 を測定し、しかる後エアノズルからダミーワ
ークまたはワークに向けてエアを吐出させてエアマイク
ロメータの表示を確認しながら、前記測定距離の差［Ｄ
1 −Ｄ0 ］分だけ砥石車をテーブル側またはその反対側
へ送ることを特徴とする研削量制御方法。 - 【請求項２】 平面研削盤のテーブル上にワークとダミ
ーワークとを固定し、ダミーワークをわずか研削した
後、砥石カバーに取付けたエアマイクロメータのエアノ
ズルからエアを吐出させて、該エアノズル先端とダミー
ワークとの距離Ｄ1 および該エアノズル先端とワークと
の距離Ｄ0 を測定し、しかる後、エアノズルからダミー
ワークまたはワークに向けてエアを吐出させてエアマイ
クロメータの表示を確認しながら、前記測定距離の差
［Ｄ1 −Ｄ0 ＝δ］に必要取り代ｓを加えた値［δ＋
ｓ］分だけ砥石車をテーブル側またはその反対側へ送る
ことを特徴とする研削量制御方法。 - 【請求項３】 必要取り代ｓが、１〜２μｍであること
を特徴とする請求項２に記載の研削量制御方法。 - 【請求項４】 平面研削盤のテーブル上にワークと仕上
寸法のゲージとを固定し、研削最終段階で、砥石カバー
に取付けたエアマイクロメータのエアノズルからエアを
吐出させて、該エアノズル先端とワークとの距離Ｄ0 お
よび該エアノズル先端とゲージとの距離Ｄ2 を測定し、
両距離の差［Ｄ2 −Ｄ0 ］が最終研削代の範囲内にあれ
ば、エアノズルからゲージに向けてエアを吐出させてエ
アマイクロメータの表示を確認しながら、Ｄ2 がＤ0 に
なるように砥石車をテーブル側へ送ることを特徴とする
研削量制御方法。 - 【請求項５】 最終研削代の範囲が、１〜２μｍである
ことを特徴とする請求項４に記載の研削量制御方法。 - 【請求項６】 アンビル部分を取除いたマイクロメータ
のスピンドルを中空構造とし、該スピンドルの先端にエ
アマイクロメータを構成するエアノズルを設け、該エア
ノズルを前記スピンドルの中空内部を通じてエアマイク
ロメータの計測部に連通させたことを特徴とする測定
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14855697A JPH10315129A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | 研削量制御方法および測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14855697A JPH10315129A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | 研削量制御方法および測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10315129A true JPH10315129A (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=15455405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14855697A Pending JPH10315129A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | 研削量制御方法および測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10315129A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001038618A (ja) * | 1999-07-26 | 2001-02-13 | Honda Motor Co Ltd | 円筒研削盤におけるクランクシャフトの軸方向位置測定装置 |
| JP2003007653A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
| JP2003017442A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
| JP2003053664A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Nagase Integrex Co Ltd | 工作機械及び加工方法 |
| JP2010052062A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削方法 |
| JP2019199288A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 大森機械工業株式会社 | 変位検出装置、異物検出装置及びシール装置 |
-
1997
- 1997-05-22 JP JP14855697A patent/JPH10315129A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001038618A (ja) * | 1999-07-26 | 2001-02-13 | Honda Motor Co Ltd | 円筒研削盤におけるクランクシャフトの軸方向位置測定装置 |
| JP4530446B2 (ja) * | 1999-07-26 | 2010-08-25 | 本田技研工業株式会社 | 円筒研削盤におけるクランクシャフトの軸方向位置測定装置及び方法 |
| JP2003007653A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
| JP2003017442A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
| JP4669162B2 (ja) * | 2001-06-28 | 2011-04-13 | 株式会社ディスコ | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
| JP2003053664A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Nagase Integrex Co Ltd | 工作機械及び加工方法 |
| JP2010052062A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削方法 |
| JP2019199288A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 大森機械工業株式会社 | 変位検出装置、異物検出装置及びシール装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4195250A (en) | Automatic measuring and tool position compensating system for a numerically controlled machine tool | |
| US3623216A (en) | Automatic tool position compensating system for a numerically controlled machine tool | |
| CN104368886A (zh) | 切削工具的加工方法以及线放电加工机 | |
| JPH0525626B2 (ja) | ||
| CN110732918B (zh) | 复杂多级锥叶片转静子叶尖测量方法和磨削加工方法 | |
| JP2995258B2 (ja) | 歯車測定方法および歯車測定兼用歯車研削盤 | |
| Liu | Repetitive measurement and compensation to improve workpiece machining accuracy | |
| JPH10315129A (ja) | 研削量制御方法および測定器 | |
| KR20170100203A (ko) | Ｃｎｃ선반 내장형 에어마이크로미터를 이용한 내경 자동측정장치 | |
| Novak et al. | Sensing of Workpiece Diameter, Vibration and Out-Off-Roundness by Laser—Way to Automate Quality Control | |
| JP2001030141A (ja) | 薄肉管の加工方法とその装置 | |
| Liu et al. | Error compensation in CNC turning solely from dimensional measurements of previously machined parts | |
| CN109631720B (zh) | 一种环形筒体的测量方法 | |
| Zhan‐Qiang et al. | On‐machine measurement of workpieces with the cutting tool | |
| JP2001269843A (ja) | 回転工具の中心位置測定方法 | |
| CN109282742A (zh) | 盲孔深度大于2米的孔内径测量装置及测量方法 | |
| JPH09220685A (ja) | レーザ加工機における被加工材の測定方法 | |
| Maksoud et al. | In-process detection of grinding wheel truing and dressing conditions using a flapper nozzle arrangement | |
| JP4545501B2 (ja) | 工具芯出し方法および工具測定方法 | |
| JPH05337787A (ja) | 工作機械のボーリング径補正装置 | |
| JP4463901B2 (ja) | 放電加工方法及び装置 | |
| CN112254693A (zh) | 一种深位的精密测量方法 | |
| KR100533347B1 (ko) | 씨엔씨/피씨-엔씨 공작기계의 정적오차 보정장치 및보정방법 | |
| JPS6071162A (ja) | アンギュラ研削盤における位置補正装置 | |
| JP3275583B2 (ja) | ホーニング加工量補正装置および補正方法 |