CN105373072A - 高精度平面加工系统及方法 - Google Patents

高精度平面加工系统及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105373072A
CN105373072A CN201410441190.0A CN201410441190A CN105373072A CN 105373072 A CN105373072 A CN 105373072A CN 201410441190 A CN201410441190 A CN 201410441190A CN 105373072 A CN105373072 A CN 105373072A
Authority
CN
China
Prior art keywords
processed
reference field
processing
flatness
rectangular node
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410441190.0A
Other languages
English (en)
Inventor
张旨光
吴新元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Yuzhan Precision Technology Co ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Yuzhan Precision Technology Co ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Yuzhan Precision Technology Co ltd, Hon Hai Precision Industry Co Ltd filed Critical Shenzhen Yuzhan Precision Technology Co ltd
Priority to CN201410441190.0A priority Critical patent/CN105373072A/zh
Priority to US14/559,461 priority patent/US20160059371A1/en
Publication of CN105373072A publication Critical patent/CN105373072A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/2452—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces
    • B23Q17/2471—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces of workpieces
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/37—Measurements
    • G05B2219/37402—Flatness, roughness of surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)

Abstract

本发明提供一种高精度平面加工系统，应用于计算装置。该计算装置与CNC加工设备相连接。该系统设定物料的基准面并计算所述基准面的平面度，在物料的待加工区域进行矩形网格切分，通过在切分后的每个矩形网格取起始点与结束点形成加工程序，对确定的矩形网格进行扫描得到多边形面；将所述多边形面的中心点的Z坐标与基准面的平面度之间的差值反馈给CNC加工设备以修正加工刀具的Z坐标；控制加工刀具对物料的待加工区域边检测边加工，再比较加工后物料的待加工区域的平面度是否小于等于加工精度以判断物料是否加工合格。本发明还提供一种高精度平面加工方法。

Description

高精度平面加工系统及方法
技术领域
本发明涉及一种平面加工系统及方法，尤其是一种高精度平面加工系统及方法。
背景技术
高精度平面加工一直是军事、科技及民用等领域的核心制造技术。然而，电脑数字控制(computernumericalcontrol,CNC)加工设备的精度、加工来料问题、加工刀具的磨损及加工环境等因素很难保证平面加工处理的产品达到高精度(如0.001mm)。
发明内容
鉴于以上内容，有必要提供一种高精度平面加工系统及方法，可以自动快速的对物料的待加工区域边检测边加工，以达到指定的加工精度。
一种高精度平面加工系统，运行于与CNC加工设备相连接的计算装置。该系统包括一系列功能模块，利用这些功能模块，该系统控制扫描系统对待加工的物料进行扫描得到不在同一条直线上的第一组扫描点，校正加工刀具，使得所述第一组扫描点所形成的平面的法向量与所述加工刀具的轴线之间的角度小于等于预设值；在所述加工刀具校正完成后，控制所述扫描系统对待加工的物料上至少四个位置进行扫描得到第二组扫描点，将所述第二组扫描点拟合成的平面作为基准面，并计算所述基准面的平面度；对所述待加工的物料的待加工区域进行矩形网格切分，在切分后的每个矩形网格中设置起始点和结束点，根据各个矩形网格的起始点及结束点生成加工路径；根据所述加工路径确定当前需要加工的矩形网格，控制所述扫描系统对确定的矩形网格从起始点到结束点进行扫描，每扫描一次得到至少三个点，该至少三个点形成一个多边形面；计算每个多边形面的的中心点的Z坐标与基准面的平面度之间的差值，将所述差值反馈给所述CNC加工设备以修正所述加工刀具的Z坐标；控制所述CNC加工设备根据所述加工程序利用修正后的加工刀具对确定的矩形网格沿起始点至结束点进行加工；在所有矩形网格加工完成后，将加工后的物料的待加工区域更新为基准面，并计算更新后的基准面的平面度；及判断所述更新后的基准面的平面度是否小于等于预先设定的加工精度，以判断物料是否加工合格。
一种高精度平面加工方法，应用于与CNC加工设备相连接的计算装置。该方法包括：校正步骤，控制所述扫描系统对所述待加工的物料进行扫描得到不在同一条直线上的第一组扫描点，校正所述加工刀具，使得所述第一组扫描点所形成的平面的法向量与所述加工刀具的轴线之间的角度小于等于预设值；第一处理步骤，在所述加工刀具校正完成后，控制所述扫描系统对待加工的物料上至少四个位置进行扫描得到第二组扫描点，将所述第二组扫描点拟合成的平面作为基准面，并计算所述基准面的平面度；路径生成步骤，对所述待加工的物料的待加工区域进行矩形网格切分，在切分后的每个矩形网格中设置起始点和结束点，根据各个矩形网格的起始点及结束点生成加工路径；扫描步骤，根据所述加工路径确定当前需要加工的矩形网格，控制所述扫描系统对确定的矩形网格从起始点到结束点进行扫描，每扫描一次得到至少三个点，该至少三个点形成一个多边形面；第二处理步骤，计算每个多边形面的的中心点的Z坐标与基准面的平面度之间的差值，将所述差值反馈给所述CNC加工设备以修正所述加工刀具的Z坐标；控制步骤，控制所述CNC加工设备根据所述加工程序利用修正后的加工刀具对确定的矩形网格沿起始点至结束点进行加工；第三处理步骤，在所有矩形网格加工完成后，将加工后的物料的待加工区域更新为基准面，并计算更新后的基准面的平面度；及判断步骤，判断所述更新后的基准面的平面度是否小于等于预先设定的加工精度，以判断物料是否加工合格，若所述更新后的基准面的平面度大于预先设定的加工精度，则返回所述扫描步骤。
相较于现有技术，本发明提供的高精度平面加工系统及方法，可以先对待加工区域进行矩形网格切分，形成弓字形的加工路径，再通过边检测边加工迭代多次以达到理想的平面精度。
附图说明
图1是本发明高精度平面加工系统较佳实施例的运行环境图。
图2是本发明高精度平面加工系统较佳实施例的功能模块图。
图3是本发明高精度平面加工方法较佳实施例的流程图。
图4是加工路径的示意图。
主要元件符号说明
计算装置 1
高精度平面加工系统 10
存储器 11
处理器 12
CNC加工设备 2
夹持治具 21
物料 22
加工程序 23
扫描系统 24
加工刀具 25
光学尺 26
矩形网格的宽度 41
数据读取模块 101
校正模块 102
处理模块 103
路径生成模块 104
扫描模块 105
控制模块 106
判断模块 107
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
参阅图1所示，是本发明高精度平面加工系统10较佳实施例的应用环境图。该高精度平面加工系统10应用于计算装置1，该计算装置1连接CNC加工设备2。计算装置1还包括存储器11及处理器12。CNC加工设备2包括夹持治具21、加工程序23、扫描系统24、加工刀具25及光学尺26。
夹持治具21用于夹持待加工的物料22。该夹持治具21是根据待生产的产品的三维图档制作的。
加工程序23用于控制CNC加工设备2对物料22进行加工。
扫描系统24可以为镭射扫描仪，用于对物料22进行镭射扫描，得到扫描点。
加工刀具25用于根据加工程序23来切削物料22。
光学尺26用于在CNC加工设备2加工物料22时读取加工点的坐标。
CNC加工设备2还包括图1中未示出的其他部件，例如放置物料22的工作台，存储加工程序23、扫描系统24及CNC加工设备2运行过程中产生的数据的存储器，等等。
所述的高精度平面加工系统10计算待加工的物料22的基准面的平面度，确定待加工的物料22上指定加工区域的加工路径，通过CNC加工设备2根据所述加工路径对待加工的物料22边检测边加工，使得加工后的物料22的平面度达到指定的加工精度。
参阅图2所示，是本发明高精度平面加工系统较佳实施例的功能模块图。高精度平面加工系统10包括数据读取模块101、校正模块102、处理模块103、路径生成模块104、扫描模块105、控制模块106及判断模块107。模块101-107包括计算机程序化指令，这些计算机程序化指令存储在存储器11。处理器12执行这些计算机程序化指令，提供高精度平面加工系统10的上述功能。模块101-107的具体功能请参阅下文关于图3的介绍。
参阅图3所示，是本发明高精度平面加工方法较佳实施例的流程图。根据不同需求，该流程图中步骤的顺序可以改变，某些步骤可以省略或合并。
步骤S01，将待加工的物料22放置在夹持治具21上，扫描系统24对待加工的物料22进行扫描得到不在同一条直线上的第一组扫描点。数据读取模块101从扫描系统24读取所述第一组扫描点，并存储于存储器11。
在本实施例中，该扫描系统24可以为镭射扫描仪，所述镭射扫描仪有至少三个扫描头，每扫描一次得到至少三个扫描点。所述扫描系统24安装于CNC加工设备2的主轴上。
步骤S02，校正模块102校正加工刀具25，使得所述第一组扫描点所形成的平面的法向量与加工刀具25的轴线之间的角度小于等于预设值(如5度)。在本实施例中，校正模块102测量扫描点所形成的平面的法向量与加工刀具25的轴线之间的角度，若所述角度大于预设值，则通过调整加工刀具25的轴线，也就是调整工作台来使所述角度小于等于预设值。
在加工刀具25完成校正后，步骤S03，扫描系统24对待加工的物料22上至少四个位置进行扫描得到第二组扫描点，处理模块103将所述第二组扫描点拟合成的平面作为基准面，并计算所述基准面的平面度。所述至少四个位置所形成的区域包含待加工的物料22的整个待加工区域。
在本实施例中，处理模块103利用最小二乘法迭代拟合基准面，并找出所述基准面相对于所述第二组扫描点中所有点的最佳位置：所述第二组扫描点中所有的点到基准面的距离的平方和的平均值最小(拟牛顿解非线性方程式)，也就是基准面的平面度，计算公式如下：
步骤S04，路径生成模块104对物料22的待加工区域进行矩形网格切分，在切分后的每个矩形网格中设置起始点和结束点，根据各个矩形网格的起始点及结束点生成加工路径及所述加工程序23。如图4所示，路径生成模块104在切分后的每个矩形网格中设置起始点和结束点，如第一个矩形网格中的起始点1和结束点2，第二个矩形网格中的起始点3和结束点4，第三个矩形网格中的起始点5和结束点6，依此类推。将各个起始点与结束点依次相连，形成弓字形的加工路径。
在本实施例中，路径生成模块104对加工物料22上的待加工区域进行矩形网格切分时，所述矩形网格的宽度41不大于所述加工精度的3倍。
步骤S05，扫描模块105根据所述加工路径确定当前需要加工的矩形网格，控制扫描系统24对确定的矩形网格从起始点到结束点进行扫描，每扫描一次得到至少三个点，该至少三个点形成一个多边形面。
步骤S06，处理模块103计算每个多边形面的中心点的Z坐标与基准面的平面度之间的差值，将所述差值反馈给CNC加工设备2以修正加工刀具25的Z坐标。
步骤S07，控制模块106控制CNC加工设备2根据所述加工程序23利用修正后的加工刀具25对确定的矩形网格沿起始点至结束点进行加工。
在本实施例中，在CNC加工设备2根据加工路径对所述物料22的待加工区域进行加工前，通过扫描系统24中的镭射扫描仪对确定的矩形网格从起始点到结束点进行扫描。首先，通过发射激光束投射到确定的矩形网格起始点进行扫描，每次扫描可得到不在一条直线上的至少三个扫描点，再反射光束回来通过CCD装置接收，并获取至少三个扫描点构成的多边形面的中心点的Z坐标。再计算所述Z坐标与所述基准面的平面度之间的差值，将所述差值反馈给CNC加工设备2以修正加工刀具25的Z坐标。控制模块106控制CNC加工设备2利用修正后的加工刀具25对确定的矩形网格从起始点至结束点进行加工。如此边检测边加工可以保证物料22的所有矩形网格有相同的平面度。
步骤S08，判断模块107判断物料22的待加工区域中所有矩形网格是否加工完成。若物料22的待加工区域中所有矩形网格加工完成，则流程进入步骤S09；若物料22的待加工区域中还有矩形网格未加工，则流程返回步骤S05。
在本实施例中，通过光学尺26读取当前加工点坐标，将所述当前加工点坐标与确定的矩形网格的结束点坐标进行比对判断确定的矩形网格是否加工完成。若所述当前加工点坐标与确定的矩形网格的结束点坐标一致，则说明确定的矩形网格加工完成，则CNC加工设备2根据所述加工程序23移动加工刀具25至下一矩形网格的起始点继续加工。当所述当前加工点坐标与最后一个矩形网格的结束点一致时，所有矩形网格加工完成，流程进入步骤S09；若所述当前加工点坐标与最后一个矩形网格的结束点不一致时，则说明还有矩形网格未加工完，则流程进返回步骤S05。扫描模块105根据所述加工路径确定下一个需要加工的矩形网格。
在所有矩形网格加工完成后，步骤S09，处理模块103将加工后的物料22的待加工区域更新为基准面，并计算更新后的基准面的平面度。在本实施例中，按照步骤S03的方法计算更新后的基准面的平面度。
步骤S10，判断模块107判断所述更新后的基准面的平面度是否小于等于加工精度，以判断物料22是否加工合格。若所述更新后的基准面的平面度大于所述加工精度，则说明物料22加工不合格，流程返回步骤S05；若所述更新后的基准面的平面度小于等于所述加工精度，则说明物料22加工合格，结束流程。
最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种高精度平面加工方法，应用于计算装置，所述计算装置与CNC加工设备相连，所述CNC加工设备包括夹持治具、加工程序、扫描系统和加工刀具，所述夹持治具用于夹持待加工的物料，其特征在于，该方法包括：
校正步骤，控制所述扫描系统对所述待加工的物料进行扫描得到不在同一条直线上的第一组扫描点，校正所述加工刀具，使得所述第一组扫描点所形成的平面的法向量与所述加工刀具的轴线之间的角度小于等于预设值；
第一处理步骤，在所述加工刀具校正完成后，控制所述扫描系统对待加工的物料上至少四个位置进行扫描得到第二组扫描点，将所述第二组扫描点拟合成的平面作为基准面，并计算所述基准面的平面度；
路径生成步骤，对所述待加工的物料的待加工区域进行矩形网格切分，在切分后的每个矩形网格中设置起始点和结束点，根据各个矩形网格的起始点及结束点生成加工路径；
扫描步骤，根据所述加工路径确定当前需要加工的矩形网格，控制所述扫描系统对确定的矩形网格从起始点到结束点进行扫描，每扫描一次得到至少三个点，该至少三个点形成一个多边形面；
第二处理步骤，计算每个多边形面的的中心点的Z坐标与基准面的平面度之间的差值，将所述差值反馈给所述CNC加工设备以修正所述加工刀具的Z坐标；
控制步骤，控制所述CNC加工设备根据所述加工程序利用修正后的加工刀具对确定的矩形网格沿起始点至结束点进行加工；
第三处理步骤，在所有矩形网格加工完成后，将加工后的物料的待加工区域更新为基准面，并计算更新后的基准面的平面度；及
判断步骤，判断所述更新后的基准面的平面度是否小于等于预先设定的加工精度，以判断物料是否加工合格，若所述更新后的基准面的平面度大于预先设定的加工精度，则返回所述扫描步骤。
2.如权利要求1所述的高精度平面加工方法，其特征在于，所述第一处理步骤中的基准面利用最小二乘法迭代拟合而得。
3.如权利要求1所述的高精度平面加工方法，其特征在于，所述第一处理步骤中的至少四个位置所形成的区域包含待加工的物料的整个待加工区域。
4.一种高精度平面加工系统，运行于计算装置，所述计算装置与CNC加工设备相连，所述CNC加工设备包括夹持治具、加工程序、扫描系统和加工刀具，所述夹持治具用于夹持待加工的物料，其特征在于，该系统包括：
校正模块，用于控制所述扫描系统对所述待加工的物料进行扫描得到不在同一条直线上的第一组扫描点，校正所述加工刀具，使得所述第一组扫描点所形成的平面的法向量与所述加工刀具的轴线之间的角度小于等于预设值；
处理模块，用于在所述加工刀具校正完成后，控制所述扫描系统对待加工的物料上至少四个位置进行扫描得到第二组扫描点，将所述第二组扫描点拟合成的平面作为基准面，并计算所述基准面的平面度；
路径生成模块，用于对所述待加工的物料的待加工区域进行矩形网格切分，在切分后的每个矩形网格中设置起始点和结束点，根据各个矩形网格的起始点及结束点生成加工路径；
扫描模块，用于根据所述加工路径确定当前需要加工的矩形网格，控制所述扫描系统对确定的矩形网格从起始点到结束点进行扫描，每扫描一次得到至少三个点，该至少三个点形成一个多边形面；
所述的处理模块，还用于计算每个多边形面的的中心点的Z坐标与基准面的平面度之间的差值，将所述差值反馈给所述CNC加工设备以修正所述加工刀具的Z坐标；
控制模块，用于控制所述CNC加工设备根据所述加工程序利用修正后的加工刀具对确定的矩形网格沿起始点至结束点进行加工；
所述的处理模块，还用于在所有矩形网格加工完成后，将加工后的物料的待加工区域更新为基准面，并计算更新后的基准面的平面度；及
判断模块，用于判断所述更新后的基准面的平面度是否小于等于预先设定的加工精度，以判断物料是否加工合格。
5.如权利要求4所述的高精度平面加工系统，其特征在于，当所述更新后的基准面的平面度大于所述预先设定加工精度时，物料加工不合格，当所述更新后的基准面的平面度小于等于所述预先设定的加工精度时，物料加工合格。
6.如权利要求4所述的高精度平面加工系统，其特征在于，所述处理模块中的基准面利用最小二乘法迭代拟合而得。
7.如权利要求4所述的高精度平面加工系统，其特征在于，所述处理模块中的至少四个位置所形成的区域包含待加工的物料的整个待加工区域。
CN201410441190.0A 2014-09-01 2014-09-01 高精度平面加工系统及方法 Pending CN105373072A (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410441190.0A CN105373072A (zh) 2014-09-01 2014-09-01 高精度平面加工系统及方法
US14/559,461 US20160059371A1 (en) 2014-09-01 2014-12-03 System for machining surface of workpiece and method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410441190.0A CN105373072A (zh) 2014-09-01 2014-09-01 高精度平面加工系统及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105373072A true CN105373072A (zh) 2016-03-02

Family

ID=55375359

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410441190.0A Pending CN105373072A (zh) 2014-09-01 2014-09-01 高精度平面加工系统及方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20160059371A1 (zh)
CN (1) CN105373072A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112355711A (zh) * 2020-10-20 2021-02-12 苏州浩智工业控制技术有限公司 一种基于cnc机床的工件加工方法及系统
CN114770823A (zh) * 2022-06-21 2022-07-22 嘉兴中润光学科技股份有限公司 一种模具改良方法

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107438494B (zh) 2015-02-12 2023-09-19 格罗弗治公司 用于激光加工的视觉预览
US10509390B2 (en) 2015-02-12 2019-12-17 Glowforge Inc. Safety and reliability guarantees for laser fabrication
CN106125666B (zh) * 2016-07-28 2018-06-08 大连理工大学 以切削力波动为约束的曲面加工刀具轨迹规划方法
WO2018098397A1 (en) 2016-11-25 2018-05-31 Glowforge Inc. Calibration of computer-numerically-controlled machine
WO2018098398A1 (en) 2016-11-25 2018-05-31 Glowforge Inc. Preset optical components in a computer numerically controlled machine
CN110226137A (zh) 2016-11-25 2019-09-10 格罗弗治公司 借助图像跟踪进行制造
WO2018098393A1 (en) 2016-11-25 2018-05-31 Glowforge Inc. Housing for computer-numerically-controlled machine
WO2018098399A1 (en) 2016-11-25 2018-05-31 Glowforge Inc. Controlled deceleration of moveable components in a computer numerically controlled machine
WO2018098396A1 (en) 2016-11-25 2018-05-31 Glowforge Inc. Multi-user computer-numerically-controlled machine
CN108548489A (zh) * 2018-05-24 2018-09-18 郑州辰维科技股份有限公司 一种利用光学标志对固面天线进行精度测量的方法
CN108548506A (zh) * 2018-05-24 2018-09-18 郑州辰维科技股份有限公司 一种利用光学标志对高精度平面进行平面度测量的方法
CN113333958B (zh) * 2020-02-17 2023-09-22 Nps株式会社 激光加工系统及方法
CN112462688B (zh) * 2020-12-01 2022-03-04 上海维宏电子科技股份有限公司 针对数控六面钻孔开料机实现刀路规划单钻包的方法、系统、装置、处理器及其存储介质
US11740608B2 (en) 2020-12-24 2023-08-29 Glowforge, Inc Computer numerically controlled fabrication using projected information
US11698622B2 (en) 2021-03-09 2023-07-11 Glowforge Inc. Previews for computer numerically controlled fabrication
CN113601267B (zh) * 2021-07-26 2022-09-20 成都飞机工业（集团）有限责任公司 一种建立零件加工坐标系的方法
CN114894116B (zh) * 2022-04-08 2024-02-23 苏州瀚华智造智能技术有限公司 一种测量数据融合方法及非接触式测量设备

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2929996B2 (ja) * 1996-03-29 1999-08-03 トヨタ自動車株式会社 工具点列発生方法
JP4398044B2 (ja) * 2000-02-03 2010-01-13 東芝機械株式会社 工作機械の数値制御装置および制御方法
DE60136555D1 (de) * 2000-10-16 2008-12-24 Makino Milling Machine Messverfahren und -vorrichtung , mit einer solchenrbeitungsverfahren
CN100339969C (zh) * 2000-11-16 2007-09-26 信越半导体株式会社 晶片形状评价法、装置及器件制造法，晶片及晶片挑选法
JP3769262B2 (ja) * 2002-12-20 2006-04-19 株式会社東芝 ウェーハ平坦度評価方法、その評価方法を実行するウェーハ平坦度評価装置、その評価方法を用いたウェーハの製造方法、その評価方法を用いたウェーハ品質保証方法、その評価方法を用いた半導体デバイスの製造方法、およびその評価方法によって評価されたウェーハを用いた半導体デバイスの製造方法
US7283889B2 (en) * 2003-02-19 2007-10-16 Fanuc Ltd Numerical control device, and numerical control method
US7451013B2 (en) * 2004-04-29 2008-11-11 Surfware, Inc. Engagement milling
WO2006014317A2 (en) * 2004-07-02 2006-02-09 Phase Shift Technology, Inc. Method, system, and software for evaluating characteristics of a surface with reference to its edge
KR100876574B1 (ko) * 2004-09-03 2008-12-31 닛코 킨조쿠 가부시키가이샤 판상 재료의 가공면 결정 방법, 가공 방법 및 이들 장치
DE102005063624B4 (de) * 2004-09-29 2019-06-27 Hoya Corp. Substrat für Maskenrohling, Maskenrohling, Belichtungsmaske und Herstellungsverfahren für Maskenrohlingssubstrat
JP2006159396A (ja) * 2004-11-15 2006-06-22 Fanuc Ltd ワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法
US7608542B2 (en) * 2005-06-17 2009-10-27 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Large-size glass substrate for photomask and making method, computer-readable recording medium, and mother glass exposure method
JP4930052B2 (ja) * 2006-02-15 2012-05-09 住友電気工業株式会社 ＧａＮ基板の裏面の反り測定方法
JP4519196B2 (ja) * 2008-11-27 2010-08-04 Ｄｏｗａエレクトロニクス株式会社 電子デバイス用エピタキシャル基板およびその製造方法
US8165706B2 (en) * 2009-12-29 2012-04-24 Memc Electronic Materials, Inc. Methods for generating representations of flatness defects on wafers
US8340801B2 (en) * 2009-12-29 2012-12-25 Memc Electronic Materials, Inc. Systems for generating representations of flatness defects on wafers
CN102721380B (zh) * 2011-03-30 2016-03-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镭射平面度量测系统及方法
US8614797B2 (en) * 2011-06-27 2013-12-24 Infineon Technologies Ag Wafer orientation sensor
TWI528329B (zh) * 2011-11-01 2016-04-01 鴻海精密工業股份有限公司 產品輪廓影像分析系統及方法
TW201341112A (zh) * 2012-04-02 2013-10-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 拋光加工裝置
CN104416419A (zh) * 2013-08-29 2015-03-18 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 加工机机内断差补偿系统及方法
CN104422406A (zh) * 2013-08-30 2015-03-18 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 平面度量测系统及方法
CN104517318A (zh) * 2013-09-27 2015-04-15 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 三维量测模拟取点系统及方法
CN104679487A (zh) * 2013-11-28 2015-06-03 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 旋转台精度补偿系统及方法
US9483047B2 (en) * 2013-12-04 2016-11-01 The Boeing Company System and method for operating a machine and performing quality assurance
US9575486B2 (en) * 2014-03-26 2017-02-21 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Oscillator-based path planning for machining of a pocket shape in workpiece
US10576603B2 (en) * 2014-04-22 2020-03-03 Kla-Tencor Corporation Patterned wafer geometry measurements for semiconductor process controls
CN103994746B (zh) * 2014-05-12 2017-06-23 上海大学 三坐标测量机测量平面度的测点选取方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112355711A (zh) * 2020-10-20 2021-02-12 苏州浩智工业控制技术有限公司 一种基于cnc机床的工件加工方法及系统
CN112355711B (zh) * 2020-10-20 2021-12-17 苏州浩智工业控制技术有限公司 一种基于cnc机床的工件加工方法及系统
CN114770823A (zh) * 2022-06-21 2022-07-22 嘉兴中润光学科技股份有限公司 一种模具改良方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20160059371A1 (en) 2016-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105373072A (zh) 高精度平面加工系统及方法
US8917942B2 (en) Information processing apparatus, information processing method, and program
CN101314196B (zh) 激光加工装置
TW201525633A (zh) Cnc加工調機系統及方法
CN109894748B (zh) 激光三维飞行打标方法、装置、计算机设备和存储介质
US20160370790A1 (en) System and method for automated object measurement
JP5642819B2 (ja) 接触検出器を使用したテーパ角度補正機能を有するワイヤ放電加工機およびテーパ角度補正方法
US9302345B2 (en) Laser machining calibration method
CN112059413A (zh) 激光振镜校正方法、装置、计算机设备和存储介质
US10203684B2 (en) System and method for virtually calibrating computer numeric controlled machine axes
CN110153582B (zh) 焊接方案生成方法、装置以及焊接系统
US20190086199A1 (en) On-line measuring system, datum calibrating method, deviation measuring method and computer-readable medium
Diakov et al. Large-scaled details flatness measurement method
TW201521940A (zh) 加工治具、雙輪廓加工系統及方法
TW201621493A (zh) 高精度平面加工系統及方法
CN113751887A (zh) 一种激光加工设备的检测方法、装置、设备及存储介质
CN114918723B (zh) 基于表面检测的工件定位控制系统及方法
KR102076790B1 (ko) 3차원 레이저 컷팅 장치
CN112355711B (zh) 一种基于cnc机床的工件加工方法及系统
US20150220079A1 (en) Automatic programming device and method
KR101518005B1 (ko) 오차 정보를 이용한 방전프로그램 생성장치, 그 생성방법 및 이를 이용한 방전시스템
CN111583206B (zh) 一种机器人智能磨削及检测方法、终端设备及存储介质
Nikolova et al. Form deviations measurement of planar surfaces by overlapping measuring positions using reference plane method
CN114295056A (zh) 一种激光加工设备的视觉定位系统快速校正方法及应用
CN108168456B (zh) 一种激光扫描检测中的取点方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20160302