JPS5936202B2 - 基板のそり測定装置 - Google Patents
基板のそり測定装置Info
- Publication number
- JPS5936202B2 JPS5936202B2 JP14423276A JP14423276A JPS5936202B2 JP S5936202 B2 JPS5936202 B2 JP S5936202B2 JP 14423276 A JP14423276 A JP 14423276A JP 14423276 A JP14423276 A JP 14423276A JP S5936202 B2 JPS5936202 B2 JP S5936202B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- warpage
- measuring device
- amount
- section
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子部品等の実装されるハイブリッドＩＣの
セラミック基板（以下基板という）のそり量を測定する
そり測定装置である。
セラミック基板（以下基板という）のそり量を測定する
そり測定装置である。
最近、基板の電子部品等の実装が高密化され、これに伴
い基板の端子部も高密度化されるようになつてきた。
い基板の端子部も高密度化されるようになつてきた。
基板の端子部にそりがあるとコネクタとの接続が困難で
あつたり接触不良を生じたりするため、あらかじめ検査
にて良否判定をする必要がでてきた。従来、この種の基
板のそり判定方法には定盤の上に基板を置き、ダイヤル
ゲージ等を使用して端子部の上を渭らしＴ測る方法やす
きまゲージで定盤と基板とのすきまを測る方法が取られ
ていた。このような従来の方法では、全て手作業で行な
う牟め作業性が悪く判定値も不均一になり非能率的であ
つた。本発明の目的は上述の欠点を除去し、基板のそり
測定を高精度かつ能率的に行なうとともに、取扱いが簡
単なそり測定装置を提供することにある。
あつたり接触不良を生じたりするため、あらかじめ検査
にて良否判定をする必要がでてきた。従来、この種の基
板のそり判定方法には定盤の上に基板を置き、ダイヤル
ゲージ等を使用して端子部の上を渭らしＴ測る方法やす
きまゲージで定盤と基板とのすきまを測る方法が取られ
ていた。このような従来の方法では、全て手作業で行な
う牟め作業性が悪く判定値も不均一になり非能率的であ
つた。本発明の目的は上述の欠点を除去し、基板のそり
測定を高精度かつ能率的に行なうとともに、取扱いが簡
単なそり測定装置を提供することにある。
本発明によれば、被検査基板に対し測定基準となる平面
を有し、かつ上下運動を行なう測定基準部と、前記被検
査基板の各辺に相対応して配置し各々独立して接触し、
かつ垂盲運動を行なう測定部と、前記測定部と相対向し
て配置し測定部の各々の変位量を測定し電気的信号に変
換する変位測定器と、前記変位測定器に接続し測定した
各々の電気的信号を数値に変換して表示するそり量表示
部と、前記測定基準部およびそり量表示部に接続し、各
々の動作を制御する中央制御部とで構成した基板のそり
測定装置が得られる。次に本発明の基板のそり測定装置
の一実施例について図を参照して説明する。
を有し、かつ上下運動を行なう測定基準部と、前記被検
査基板の各辺に相対応して配置し各々独立して接触し、
かつ垂盲運動を行なう測定部と、前記測定部と相対向し
て配置し測定部の各々の変位量を測定し電気的信号に変
換する変位測定器と、前記変位測定器に接続し測定した
各々の電気的信号を数値に変換して表示するそり量表示
部と、前記測定基準部およびそり量表示部に接続し、各
々の動作を制御する中央制御部とで構成した基板のそり
測定装置が得られる。次に本発明の基板のそり測定装置
の一実施例について図を参照して説明する。
第１図は本発明の基板のそり測定装置を用いて検査され
る基板の概略図、第２図は本発明の基板のそり測定装置
の一実施例の構成を示す斜視図、第３図は第２図の断面
図で、同図ａはマスタープレートにて検査装置の校正を
している状態図、同図ｂは基板を検査している状態図で
ある。
る基板の概略図、第２図は本発明の基板のそり測定装置
の一実施例の構成を示す斜視図、第３図は第２図の断面
図で、同図ａはマスタープレートにて検査装置の校正を
している状態図、同図ｂは基板を検査している状態図で
ある。
第１図において、１は接続端子２を有る基板、３は基板
１の辺である。第２図において、１１は測定基準部で、
測定の基準となる平面１３を有する基準プロツク１２と
、基準プロツク１２に上下運動を与えるシリンダ１４と
で構成している。１５は測定部で、基板１の各辺３毎に
独立して接触し各々のそり量を垂直方向の移動量で測定
する測定プロツク１６と、測定ブｂツク１６の垂直運動
の案内をするシヤフトＩＴと、測定プロツク１６を常に
押し上げる力を与えているばね１８とで構成している。
１の辺である。第２図において、１１は測定基準部で、
測定の基準となる平面１３を有する基準プロツク１２と
、基準プロツク１２に上下運動を与えるシリンダ１４と
で構成している。１５は測定部で、基板１の各辺３毎に
独立して接触し各々のそり量を垂直方向の移動量で測定
する測定プロツク１６と、測定ブｂツク１６の垂直運動
の案内をするシヤフトＩＴと、測定プロツク１６を常に
押し上げる力を与えているばね１８とで構成している。
１９は各測定プロツク１６と相対応して配置し、測定プ
ロツク１６の移動量を電気的信号に変換する変位測定器
であり、２０はマスタープレート２２の時にそり量が零
を示すように校正されたそり量表示部で、各変位測定器
１９に接続し、各変位測定器１９が発した電気的信号を
基板１のそり量（Ｌ，，Ｌ２）として数値に変換して表
示する。
ロツク１６の移動量を電気的信号に変換する変位測定器
であり、２０はマスタープレート２２の時にそり量が零
を示すように校正されたそり量表示部で、各変位測定器
１９に接続し、各変位測定器１９が発した電気的信号を
基板１のそり量（Ｌ，，Ｌ２）として数値に変換して表
示する。
２１は中央制御部で全体の動作時間と順序とを制御する
ためシリンダ１４およびそり量表示部２０に接続してい
る。
ためシリンダ１４およびそり量表示部２０に接続してい
る。
次に以上のように構成した本発明の基板のそり測定装置
の一実施例の動作について説明する。
の一実施例の動作について説明する。
第２図および第３図Ａ，ｂに示すように基板１を各測定
プロツク１６上に設置すると、シリンダ１４の駆動にて
基準プロツク１２が降下し、基準プロツク１２の平面１
３が基板１に接触して所定位置で保持する。この時基板
１の移動に追従して各測定プロツク１６も移動し、各測
定プロツク１６の移動量は各変位測定器１９で測定され
て電気的信号に変換される。次に、マスタープレート２
２の時にそり量が零を示すように校正されたそり量表示
部２０が作動して、各変位測定器１９が発した電気的信
号を基板１のそり量（Ｌ，，Ｌ２）として数値に変換し
て表示する。そり量が表示されるとシリンダ１４の駆動
にて基準プロツク１２が再び上昇して基板１が開放され
るので、この基板１を取り出すことによりそり測定作業
が終了となる。以上説明したように本発明によれば、基
板に傷をつけることもなく、測定が自動的に行なわれ非
常に能率的であり、測定精度もよく操作が簡単でその効
果は大である。
プロツク１６上に設置すると、シリンダ１４の駆動にて
基準プロツク１２が降下し、基準プロツク１２の平面１
３が基板１に接触して所定位置で保持する。この時基板
１の移動に追従して各測定プロツク１６も移動し、各測
定プロツク１６の移動量は各変位測定器１９で測定され
て電気的信号に変換される。次に、マスタープレート２
２の時にそり量が零を示すように校正されたそり量表示
部２０が作動して、各変位測定器１９が発した電気的信
号を基板１のそり量（Ｌ，，Ｌ２）として数値に変換し
て表示する。そり量が表示されるとシリンダ１４の駆動
にて基準プロツク１２が再び上昇して基板１が開放され
るので、この基板１を取り出すことによりそり測定作業
が終了となる。以上説明したように本発明によれば、基
板に傷をつけることもなく、測定が自動的に行なわれ非
常に能率的であり、測定精度もよく操作が簡単でその効
果は大である。
第１図は本発明装置を用いて検査される基板の概略図、
第２図は本発明装置の一実施例の構成を示す斜視図、第
３図は第２図の断面図で、同図ａはそりのない基板を検
査している状態図、同図ｂはそりのある基板を検査して
いる状態図で、１は基板、３は辺、１１は測定基準部、
１２は基準プロツク、１３は平面、１４はシリンダ、１
５は測定部、１６は測定プロツク、ＩＴはシヤフト、１
８はばね、１９は変位測定器、２０はそり量表示部、２
１は中央制御部、２２はマスタープレートである。
第２図は本発明装置の一実施例の構成を示す斜視図、第
３図は第２図の断面図で、同図ａはそりのない基板を検
査している状態図、同図ｂはそりのある基板を検査して
いる状態図で、１は基板、３は辺、１１は測定基準部、
１２は基準プロツク、１３は平面、１４はシリンダ、１
５は測定部、１６は測定プロツク、ＩＴはシヤフト、１
８はばね、１９は変位測定器、２０はそり量表示部、２
１は中央制御部、２２はマスタープレートである。
Claims (1)
- １ 被検査基板に対し測定基準となる平面を有しかつ上
下運動を行なう測定基準部と、前記被検査基板の各辺に
対応して配置し各辺毎に独立して接触し各辺各々の前記
測定基準部の基準平面に対する対向変位量をそり量とし
て測定する測定部と、前記測定部と相対応して配置し測
定部の測定した各々のそり量を電気的信号に変換する変
位測定器と、前記変位測器に接続し電気的信号に変換し
たそり量を数値に変換して表示するそり量表示部と、前
記測定基準部およびそり量表示部に接続し各々の動作を
制御する中央制御部とで構成したことを特徴とする基板
のそり測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14423276A JPS5936202B2 (ja) | 1976-11-30 | 1976-11-30 | 基板のそり測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14423276A JPS5936202B2 (ja) | 1976-11-30 | 1976-11-30 | 基板のそり測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5369069A JPS5369069A (en) | 1978-06-20 |
| JPS5936202B2 true JPS5936202B2 (ja) | 1984-09-03 |
Family
ID=15357305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14423276A Expired JPS5936202B2 (ja) | 1976-11-30 | 1976-11-30 | 基板のそり測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936202B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006027885A1 (ja) | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及びこれらの装置 |
| WO2007105417A1 (ja) | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及び加工面を決定する装置並びに平面加工装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4221053A (en) * | 1978-11-13 | 1980-09-09 | Libbey-Owens-Ford Company | Inspection apparatus |
| JPS5985902U (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-11 | 安藤電気株式会社 | 曲り測定器具 |
| JPS59180303A (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-13 | Shimadzu Corp | 曲げ撓み検出装置 |
| US4513613A (en) * | 1983-06-07 | 1985-04-30 | International Business Machines Corporation | Particle detection system |
-
1976
- 1976-11-30 JP JP14423276A patent/JPS5936202B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006027885A1 (ja) | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及びこれらの装置 |
| WO2007105417A1 (ja) | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 板状材料の加工面の決定方法、加工方法及び加工面を決定する装置並びに平面加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5369069A (en) | 1978-06-20 |
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