JP2002164136A - Bga用icソケット - Google Patents

Bga用icソケット

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JP2002164136A
JP2002164136A JP2000361856A JP2000361856A JP2002164136A JP 2002164136 A JP2002164136 A JP 2002164136A JP 2000361856 A JP2000361856 A JP 2000361856A JP 2000361856 A JP2000361856 A JP 2000361856A JP 2002164136 A JP2002164136 A JP 2002164136A
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bga
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dut
socket
positioning
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Isao Kimura
勇夫 木村
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NEC Ibaraki Ltd
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NEC Ibaraki Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0483Sockets for un-leaded IC's having matrix type contact fields, e.g. BGA or PGA devices; Sockets for unpackaged, naked chips

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】被測定BGA型IC(DUT)をICソケット
へ着脱する際の不具合をなくし、コンタクト位置決めを
容易にする。 【解決手段】トッププレート10a上にDUT1を載置
してDUT1の半田ボール7とプローブピン6とのコン
タクト位置決めを行い、DUT1の電気的特性測定を行
うBGA用ICソケットであって、載置したDUT1の
4辺を囲むように4個の位置調整部材3を設置し、この
位置調整部材3を調整ネジ13で四方から押してDUT
1のコンタクト位置の位置決めを行い、位置決めの確認
はDUT1の四隅と一致する位置関係に配置された上下
で一対をなす透過タイプ光センサ12a、12bの4対
を目視で確認することによって行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICの電気的特性
測定を行う際に使用するICソケットに関するもので、
特にBGA型ICの測定に使用するための位置決め手段
を備えたBGA用ICソケットに関する。
【0002】
【従来の技術】現在、ICパッケージの高密度多ピン化
に伴って開発されたBGA型ICパッケージが広く使用
されている。このBGA型ICパッケージは、リードピ
ンに替わる電極端子としてパッケージ裏面に半田ボール
を2次元的に配列して外部接続用の端子とした構造を備
えている。そして、このBGA型ICの電気的特性測定
を行うために、各種のBGA用ICソケットが使用され
ている。
【0003】このようなBGA用ICソケットの一例と
して、従来は、図4の側面断面図及び図5の平面図に示
すような構造のICソケットが使用されている。図4、
図5において、配線が形成されたボード5上に絶縁材か
らなるピン固定ブロック4が取り付けられ、ピン固定ブ
ロック4は周囲4辺を壁部材11で囲まれた凹部状をな
し、凹部底面を貫通してプローブピン6が植立固定さ
れ、プローブピン6は先端が被測定デバイス(DUT)
であるBGA型IC1の半田ボール7と弾力的に接触す
ることによって電気的導通を可能とし、下端はボード5
の配線に接続されている。
【0004】さらに、ピン固定ブロック4の凹部内に
は、スプリングとガイドピンで構成されるフローティン
グ機構8によって4個所で支持されるとともにこのガイ
ドピンに嵌まって上下に可動するトッププレート10が
設けられている。このトッププレート10は、被測定用
のBGA型IC(以下、被測定BGA型ICをDUTと
略称する)1を載置する機能のほかにDUT1の位置決
め機能を兼ねており、DUT1がちょうど嵌まる大きさ
の位置決め用の凹部を有している。また、凹部底面には
プローブピン6の先端が貫通する孔が開けられ、測定の
際に押し下げられる時以外は、プローブピン6の先端は
この貫通孔から突出しない位置にとどまっている。
【0005】そして、DUT1をトッププレート10の
凹部に挿入して底面に載置することによって半田ボール
7とプローブピン6との位置決めがなされ、次いで、加
圧ヘッド2を降下させてDUT1をトッププレート10
に押圧することによって半田ボール7とプローブピン6
とのコンタクトが取れるようになっている。このコンタ
クトの際には、最近のBGA型ICが高密度多ピン化に
伴って半田ボール間隔が挟ピッチとなっているため、対
応するプローブピンと半田ボールとの間でかなりの高精
度で位置決めされないと十分な電気的導通が得られない
ことになる。
【0006】しかし、この従来のBGA用ICソケット
は、トッププレート10がDUT1の位置決め機能を兼
ねており、DUT1の外形寸法のばらつきを考慮してト
ッププレート10の凹部の寸法精度が決められている。
そこで、位置決め精度を高めるために凹部寸法のクリア
ランスを小さくすると、DUT1装着の際にDUT1が
トッププレート10の凹部に嵌まり込んで取り出せない
ことがある。反対にクリアランスを大きくすると、DU
T1の挿入および取り出しには問題がないものの、位置
決め機能を果たすことができなくなる。
【0007】このように、トッププレートにDUTを載
置して機械的に位置決めを行う方法として、クリアラン
スを考慮して位置決めを行うのではなく、例えば、特開
平11−125659号公報にあるように、DUTの裏
面に設けられている半田ボールのうち外周縁部の半田ボ
ールだけが接触できるようなテーパ壁面を有する凹部を
設け、この凹部上にDUTを載せることによって半田ボ
ールがテーパ壁面に接触して位置規制され、DUTの位
置決めを行う方法が提案されている。しかし、半田ボー
ルにもばらつきがあり、また、精度を出すためのテーパ
加工も困難であるため、実用的な方法とは言えない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、最近
のBGA型ICは高密度多ピン化に伴って半田ボール間
隔も挟ピッチとなり、これに対応するBGA用ICソケ
ットのプローブピン間隔も挟ピッチとなっている。その
ため、半田ボールとプローブピンの両者を確実にコンタ
クトさせ良好な電気的導通を取るようにするには、両者
間の許容クリアランス精度はかなり高いものが要求され
ることになる。そして、この要求を満足できる位置決め
精度を有するBGA用ICソケットが要求されている。
【0009】しかるに、従来のBGA用ICソケット
は、トッププレートに設けられた凹部にDUTを装着す
るだけで位置決めを行うようになっているため、DUT
の外形寸法のばらつきやトッププレートの凹部加工精
度、組立精度などによって、DUTと凹部とのクリアラ
ンスにばらつきが生じ、両者の間で高精度なクリアラン
スを維持した状態で位置決めを行うことは困難である。
そのため、DUTとトッププレートの凹部との間でがた
つきを生じたり、あるいは嵌まり込んで抜けなくなると
いう問題が常に発生していた。
【0010】本発明はこれらの問題点を解消するために
なされたもので、DUTをソケットへ脱着する際の不具
合をなくし、DUTのコンタクト位置決めを容易に行う
ことができるとともにコンタクト位置決め精度を向上さ
せることができるBGA用ICソケットを提供すること
を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、プローブピン
を植立したピン固定ブロックと、プローブピンの先端が
貫通する孔とDUTを位置決めする部分とを有するとと
もにピン固定ブロックに設けられたフローティング機構
を介して上下に可動するトッププレートとを備え、トッ
ププレート上にDUTを載置してDUTの半田バンプと
プローブピンとのコンタクト位置決めを行い、加圧ヘッ
ドを降下させて半田バンプとプローブピンとを押圧接触
させDUTの電気的特性測定を行うBGA用ICソケッ
トにおいて、前記トッププレートはDUTを載置する部
分と位置決めする部分とに分離され、この分離されたD
UTを位置決めする部分は、前記載置する部分に置かれ
たDUTのコンタクト位置を微調整するための位置調整
部材を備えて構成されている。
【0012】また、前記トッププレートのDUTを位置
決めする部分は、トッププレートの前記載置する部分に
置かれたDUTを四方から押してコンタクト位置の微調
整を行うための4個の位置調整部材を有し、この位置調
整部材はそれぞれ調整ネジによって単独で前進後退でき
るように構成され、また、この位置調整部材はそれぞれ
前記ピン固定ブロックに螺合する調整ネジの一端に取り
付けられ、調整ネジの他端に取り付けられた調整ツマミ
で可動するようになっている。
【0013】また、本発明のBGA用ICソケットは、
DUTの電気的特性測定を行う際、前記半田ボールと前
記プローブピンとのコンタクト位置決めがなされたかど
うかを確認するための光センサを備えて構成されてい
る。この光センサは上下で1対をなす透過タイプの光セ
ンサの4対で構成され、それぞれの対はDUTの四隅と
一致する位置関係に配置され、この位置を基準としてD
UTの微調整を行う構成となっている。また、この上下
1対をなす光センサのうち、上部の光センサは前記加圧
ヘッドに取り付けられ、下部の光センサは前記トッププ
レートに取り付けられている。
【0014】また、本発明のBGA用ICソケットは、
前記加圧ヘッドを降下させる際にDUTの直前で一旦停
止させ、前記位置調整部材を可動させてDUTの微調整
が完了した後再び降下させ、DUTの半田バンプをプロ
ーブピンに押圧接触させるように構成されている。
【0015】
【発明の実施の形態】次に、本発明のBGA用ICソケ
ットの実施の形態について、図面を参照して説明する。
図1は本発明の実施の形態を示す側面断面図、図2はそ
の平面図である。なお、従来技術と同じ部品は、同じ符
号を用いて説明する。
【0016】図1及び図2に示すように、本発明のBG
A用ICソケットは、配線が形成されたボード5上に絶
縁材からなるピン固定ブロック4が取り付けられ、ピン
固定ブロック4は周囲4辺を壁部材11で囲まれた凹部
状をなし、凹部底面を貫通してプローブピン6が植立固
定され、プローブピン6は先端がDUT1の半田ボール
7と弾力的に接触することによって電気的導通を可能と
し、下端はボード5の配線に接続されている。
【0017】さらに、ピン固定ブロック4の凹部内に
は、スプリングとガイドピンで構成されるフローティン
グ機構8によって4個所で支持されるとともにこのガイ
ドピンに嵌まって上下に可動するトッププレート10a
が設けられている。このトッププレート10aは、DU
T1を載置する平面板からなりプローブピン6の先端部
が貫通する孔が開けられ、測定の際に押し下げられる時
以外は、プローブピン6の先端はこの貫通孔から突出し
ない位置にとどまっている。
【0018】さらに、トッププレート10aの周辺部上
には、DUT1を四方から押して位置決めを行うための
4個の位置調整部材3が設けられ、この位置調整部材3
はそれぞれピン固定ブロック4に螺合された調整ネジ1
3の一端に取り付けられ、調整ネジ13の他端には調整
ツマミ9が取り付けられ、調整ツマミ9を回すことによ
って位置調整部材3はそれぞれ単独で前進後退が可能と
なっている。そして、載置したDUT1の微調整を行っ
て位置決めした後、加圧ヘッド2をシリンダ等によって
降下させ、DUT1をトッププレート10aに押圧する
ことによって半田ボール7とプローブピン6とのコンタ
クトが取れるようになっている。
【0019】この位置調整部材3を可動させ位置決めを
行う際の目安として、透過タイプの光センサを設けてい
る。この光センサは、DUT1のパッケージの四隅と一
致する位置関係に配置され、それぞれ上下一対の透過タ
イプの光センサを4対設置している。なお、この4対の
光センサの配置位置は、正確にはDUT1の四隅の角部
と一致する位置ではなく角部からわずかずらした辺部に
位置させている。そして、下方の光センサ12bはトッ
ププレート10aに埋め込まれ、上方の光センサ12a
は加圧ヘッド2に設置されている。トッププレート10
aと加圧ヘッド2とは、あらかじめ一体の機構(図示せ
ず)に組み込まれて上下の位置合わせがなされているた
め、光センサ12aと12bの位置関係に狂いが生ずる
ことはない。
【0020】また、DUT1の位置決めがなされたかど
うかの確認は、例えば、光センサに光ファイバーを用い
た場合には、光ファイバーの発光によって光センサ12
aあるいは12bを直接目視で確認することが可能とな
る。すなわち、発光しない光センサ対があればDUT1
によって光が遮られているためであるから、まだ位置決
めが完了していないことになり、4対の光センサが同時
に発光すればDUT1が正しい位置に位置決めされたこ
とが分かる。また、発光受光型の光センサを用いた場合
には、光センサからの信号を別に取り出して他の発光手
段を動作させ、別の位置から目視確認を行うようにして
もよい。
【0021】次に、このような構造を有する本発明のB
GA用ICソケットの動作について図1及び図2を用い
て説明すると、まず、BGA型ICの電気的特性測定を
行うLSIテスタのテストヘッド上にBGA用ICソケ
ットのボード5をセットし、トッププレート10a上に
DUT1を載置する。次いで、加圧ヘッド2を降下させ
DUT1に接触する直前の位置で一旦停止させる。この
時点でDUT1の載置位置にずれがあれば、このDUT
1に遮られていずれかの光センサ対が動作しないためま
だ位置決めが完了していないことが分かる。そこで、調
整ツマミ9により位置調整部材3を可動させ、DUT1
を4対の光センサが動作する位置にまで押し動かして位
置決め調整を行う。位置が決まった時点で押した方向の
向かい側の位置調整部材3を動作させてDUT1を挟持
する。この際、DUT1をあまり強く挟持しないように
軽く接触する程度にとどめる。
【0022】位置決め完了後、加圧ヘッド2を下降させ
てDUT1をトッププレート10aに押圧し、プローブ
ピン6とDUT1の半田ボール7とをコンタクトさせ
る。その結果、プローブピン6と半田ボール7とが電気
的に接続され、電気的特性の測定が可能となる。測定が
完了したら調整ツマミ9を緩め、加圧ヘッド2を上昇さ
せてDUT1をトッププレート10aから取り外す。
【0023】
【発明の効果】本発明によれば、BGA型ICの電気的
特性測定を行う際に使用するBGA用ICソケットにお
いて、従来、DUTを位置決めする部分を兼ねていたト
ッププレートをDUTを載置する部分と位置決めする部
分とに分離させ、この位置決めする部分はDUTを四方
から押して微調整を行うための位置調整部材を有する構
造とし、この位置調整部材を調整ネジによって移動させ
ることによってDUTの半田ボールとBGA用ICソケ
ットのプローブピンとのコンタクト位置決めを行うよう
にしたので、従来のトッププレートに見られたように位
置決めする部分を兼ねる必要がなくなり、DUTとの間
のクリアランスの問題や加工精度、組立精度に関係なく
DUTの位置決め精度の向上を図ることができ、かつ、
DUTがトッププレートに嵌まって取り出せないなどの
不具合を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す側面断面図である。
【図2】図1の平面図である。
【図3】従来のBGA用ICソケットの側面断面図であ
る。
【図4】図3の平面図である。
【符号の説明】
1 被測定BGA型IC(DUT) 2 加圧ヘッド 3 位置調整部材 4 ピン固定ブロック 5 ボード 6 プローブピン 7 半田ボール 8 フローティング機構 9 調整ツマミ 10,10a トッププレート 11 壁部材 12a、12b 光センサ 13 調整ネジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G003 AA07 AG01 AG10 AG12 AG16 AH04 AH05 AH07 2G011 AA10 AA15 AA16 AB01 AB04 AB05 AB07 AB08 AC06 AC14 AE22 AF02 2G032 AA00 AF02 AF04 AJ07 AL03 5E024 CA18

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プローブピンを植立したピン固定ブロッ
    クと、プローブピンの先端が貫通する孔と被測定BGA
    型ICを位置決めする部分とを有するとともにピン固定
    ブロックに設けられたフローティング機構を介して上下
    に可動するトッププレートとを備え、トッププレート上
    に被測定BGA型ICを載置して被測定BGA型ICの
    半田バンプとプローブピンとのコンタクト位置決めを行
    い、加圧ヘッドを降下させて半田バンプとプローブピン
    とを押圧接触させ被測定BGA型ICの電気的特性測定
    を行うBGA用ICソケットにおいて、前記トッププレ
    ートは被測定BGA型ICを載置する部分と位置決めす
    る部分とに分離され、この分離された被測定BGA型I
    Cを位置決めする部分は、前記載置する部分に置かれた
    被測定BGA型ICのコンタクト位置を微調整するため
    の位置調整部材からなることを特徴とするBGA用IC
    ソケット。
  2. 【請求項2】 前記トッププレートの被測定BGA型I
    Cを位置決めする部分は、トッププレートの前記載置す
    る部分に置かれた被測定BGA型ICを四方から押して
    コンタクト位置の微調整を行うための4個の位置調整部
    材を有することを特徴とする請求項1記載のBGA用I
    Cソケット。
  3. 【請求項3】 前記位置調整部材は、それぞれ調整ネジ
    によって単独で前進後退できることを特徴とする請求項
    2記載のBGA用ICソケット。
  4. 【請求項4】 前記位置調整部材は、それぞれ前記ピン
    固定ブロックに螺合する調整ネジの一端に取り付けら
    れ、調整ネジの他端に取り付けられた調整ツマミで可動
    することを特徴とする請求項2記載のBGA用ICソケ
    ット。
  5. 【請求項5】 前記被測定BGA型ICの電気的特性測
    定を行う際、前記半田ボールと前記プローブピンとのコ
    ンタクト位置決めがなされたかどうかを確認するための
    光センサを備えたことを特徴とする請求項1記載のBG
    A用ICソケット。
  6. 【請求項6】 前記光センサは上下で1対をなす透過タ
    イプの光センサの4対で構成され、それぞれの対は被測
    定BGA型ICの四隅と一致する位置関係に配置され、
    この位置を基準として被測定BGA型ICの微調整を行
    うことを特徴とする請求項5記載のBGA用ICソケッ
    ト。
  7. 【請求項7】 前記上下1対をなす光センサのうち、上
    部の光センサは前記加圧ヘッドに取り付けられ、下部の
    光センサは前記トッププレートに取り付けられているこ
    とを特徴とする請求項6記載のBGA用ICソケット。
  8. 【請求項8】 前記加圧ヘッドを降下させる際に被測定
    BGA型ICの直前で一旦停止させ、前記位置調整部材
    を可動させて被測定BGA型ICの微調整が完了した後
    再び降下させ、被測定BGA型ICの半田バンプをプロ
    ーブピンに押圧接触させることを特徴とする請求項1記
    載のBGA用ICソケット。
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005191436A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Renesas Technology Corp 半導体装置およびその製造方法
EP1625409A2 (en) * 2003-05-01 2006-02-15 Celerity Research Inc. Planarizing and testing of bga packages
US7059870B2 (en) * 2004-07-14 2006-06-13 Ricoh Company, Ltd. IC socket
JP2006331666A (ja) * 2005-05-23 2006-12-07 Nec Electronics Corp Icソケット
US7420382B2 (en) 2004-12-08 2008-09-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for testing semiconductor chip
JP2009047512A (ja) * 2007-08-17 2009-03-05 Koyo Technos:Kk 検査冶具および検査装置
JP2009064677A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Nec Corp 高密度電極用ソケットおよび高密度電極用ソケットを用いた電子部品パッケージの装着方法と位置調整ユニット
CN102095946A (zh) * 2009-12-15 2011-06-15 日月光封装测试(上海)有限公司 通用型封装构造电性测试装置
JP2012186185A (ja) * 2012-07-06 2012-09-27 Nec Corp 高密度電極用ソケットを用いた電子部品パッケージの装着方法
KR101392399B1 (ko) 2013-01-10 2014-05-08 주식회사 아이에스시 테스트용 번인 소켓
EP2664934A3 (de) * 2012-05-18 2015-07-22 Micronas GmbH Testsystem für Funktionstest einer integrierten Schaltung mit Sensorvorrichtung
CN105352469A (zh) * 2015-11-22 2016-02-24 苏州光韵达光电科技有限公司 一种bga锡球表面圆度的检测装置
CN106290993A (zh) * 2015-06-10 2017-01-04 鸿劲科技股份有限公司 测试装置的测试单元定位机构及其应用的测试设备
EP3553534A1 (en) * 2018-04-13 2019-10-16 ams AG Testing apparatus for singulated semiconductor dies with sliding layer
JP2020159760A (ja) * 2019-03-25 2020-10-01 日本発條株式会社 プローブユニット
CN113203936A (zh) * 2021-03-15 2021-08-03 江西创成微电子有限公司 芯片测试装置、系统及芯片测试的方法
US11569601B2 (en) 2021-03-11 2023-01-31 Enplas Corporation Socket and inspection socket
CN116930557A (zh) * 2023-05-15 2023-10-24 扬州京柏自动化科技有限公司 一种导通测试治具
EP4407323A1 (en) * 2023-01-27 2024-07-31 Officina Meccanica Di Precisione G.3 Socket for testing of an integrated circuit

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1625409A4 (en) * 2003-05-01 2006-06-14 Celerity Res Inc PROCEDURE FOR PLANARIZING AND TESTING BGA HOUSINGS
EP1625409A2 (en) * 2003-05-01 2006-02-15 Celerity Research Inc. Planarizing and testing of bga packages
US7847388B2 (en) 2003-12-26 2010-12-07 Renesas Electronics Corporation Method of manufacturing a semiconductor device
JP4537702B2 (ja) * 2003-12-26 2010-09-08 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置およびその製造方法
US8063478B2 (en) 2003-12-26 2011-11-22 Renesas Electronics Corporation Method of manufacturing a semiconductor device
JP2005191436A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Renesas Technology Corp 半導体装置およびその製造方法
US8319328B2 (en) 2003-12-26 2012-11-27 Renesas Electronics Corporation Method of manufacturing a semiconductor device
US7059870B2 (en) * 2004-07-14 2006-06-13 Ricoh Company, Ltd. IC socket
US7420382B2 (en) 2004-12-08 2008-09-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for testing semiconductor chip
JP2006331666A (ja) * 2005-05-23 2006-12-07 Nec Electronics Corp Icソケット
JP2009047512A (ja) * 2007-08-17 2009-03-05 Koyo Technos:Kk 検査冶具および検査装置
JP2009064677A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Nec Corp 高密度電極用ソケットおよび高密度電極用ソケットを用いた電子部品パッケージの装着方法と位置調整ユニット
CN102095946B (zh) * 2009-12-15 2013-03-27 日月光封装测试(上海)有限公司 通用型封装构造电性测试装置
CN102095946A (zh) * 2009-12-15 2011-06-15 日月光封装测试(上海)有限公司 通用型封装构造电性测试装置
EP2664934A3 (de) * 2012-05-18 2015-07-22 Micronas GmbH Testsystem für Funktionstest einer integrierten Schaltung mit Sensorvorrichtung
US9110097B2 (en) 2012-05-18 2015-08-18 Micronas Gmbh Test system
JP2012186185A (ja) * 2012-07-06 2012-09-27 Nec Corp 高密度電極用ソケットを用いた電子部品パッケージの装着方法
KR101392399B1 (ko) 2013-01-10 2014-05-08 주식회사 아이에스시 테스트용 번인 소켓
CN106290993A (zh) * 2015-06-10 2017-01-04 鸿劲科技股份有限公司 测试装置的测试单元定位机构及其应用的测试设备
CN105352469A (zh) * 2015-11-22 2016-02-24 苏州光韵达光电科技有限公司 一种bga锡球表面圆度的检测装置
CN113015912A (zh) * 2018-04-13 2021-06-22 ams有限公司 用于具有滑动层的单体化的半导体管芯的测试设备
WO2019197295A1 (en) * 2018-04-13 2019-10-17 Ams Ag Testing apparatus for singulated semiconductor dies with sliding layer
EP3553534A1 (en) * 2018-04-13 2019-10-16 ams AG Testing apparatus for singulated semiconductor dies with sliding layer
US11651980B2 (en) 2018-04-13 2023-05-16 Ams Ag Testing apparatus for singulated semiconductor dies with sliding layer
CN113015912B (zh) * 2018-04-13 2023-11-28 ams有限公司 用于具有滑动层的单体化的半导体管芯的测试设备
JP2020159760A (ja) * 2019-03-25 2020-10-01 日本発條株式会社 プローブユニット
JP7220109B2 (ja) 2019-03-25 2023-02-09 日本発條株式会社 プローブユニット
US11569601B2 (en) 2021-03-11 2023-01-31 Enplas Corporation Socket and inspection socket
CN113203936A (zh) * 2021-03-15 2021-08-03 江西创成微电子有限公司 芯片测试装置、系统及芯片测试的方法
EP4407323A1 (en) * 2023-01-27 2024-07-31 Officina Meccanica Di Precisione G.3 Socket for testing of an integrated circuit
CN116930557A (zh) * 2023-05-15 2023-10-24 扬州京柏自动化科技有限公司 一种导通测试治具
CN116930557B (zh) * 2023-05-15 2024-05-17 扬州京柏自动化科技有限公司 一种导通测试治具

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