JP2000147067A - プローブカードの位置決め機構 - Google Patents
プローブカードの位置決め機構Info
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- JP2000147067A JP2000147067A JP10320537A JP32053798A JP2000147067A JP 2000147067 A JP2000147067 A JP 2000147067A JP 10320537 A JP10320537 A JP 10320537A JP 32053798 A JP32053798 A JP 32053798A JP 2000147067 A JP2000147067 A JP 2000147067A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 きわめて簡単な機構でコンタクトピンとの位
置合わせができるとともに汎用性も向上し得るプローブ
カードの位置決め機構を提供すること。 【解決手段】 検査対象の部品５１を位置決めして搭載
するベース２１に部品５１の表面に配列した接点端子５
２の配列を挟んで位置決め孔２２ａ，２２ｂを設け、各
接点端子５２にそれぞれ導通する２個のプローブ４ａ，
４ｂを配列したプローブカード１には位置決め孔２２
ａ，２２ｂに嵌まり込む位置決めピン５，６を設け、接
点端子５２の配列方向についてのベース２１に対するプ
ローブカード１の位置決めだけで、プローブ４ａ，４ｂ
の配列と接点端子５２の配列を整合させて導通可能とす
る。
置合わせができるとともに汎用性も向上し得るプローブ
カードの位置決め機構を提供すること。 【解決手段】 検査対象の部品５１を位置決めして搭載
するベース２１に部品５１の表面に配列した接点端子５
２の配列を挟んで位置決め孔２２ａ，２２ｂを設け、各
接点端子５２にそれぞれ導通する２個のプローブ４ａ，
４ｂを配列したプローブカード１には位置決め孔２２
ａ，２２ｂに嵌まり込む位置決めピン５，６を設け、接
点端子５２の配列方向についてのベース２１に対するプ
ローブカード１の位置決めだけで、プローブ４ａ，４ｂ
の配列と接点端子５２の配列を整合させて導通可能とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばＩＣ装置
やＬＥＤ等のプリント配線基板等を含む電子機器につい
て機能部の電気的な特性を測定・検査するためのプロー
ブカードに係り、特に検査対象に対して簡単に位置決め
でき接点どうしの接合を高精度で実行できるようにした
プローブカードの位置決め機構に関する。
やＬＥＤ等のプリント配線基板等を含む電子機器につい
て機能部の電気的な特性を測定・検査するためのプロー
ブカードに係り、特に検査対象に対して簡単に位置決め
でき接点どうしの接合を高精度で実行できるようにした
プローブカードの位置決め機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種の電子機器の部品として備えるプリ
ント配線基板等の製造工程では、その製作の後に各機能
素子等への導通の状況や電気的特性の検査のための測定
が行われる。この検査・測定のための検査装置には、検
査対象の機器側にモジュールとして配置されているコン
タクトピンに接続して導通させるためのプローブカード
が備えられている。
ント配線基板等の製造工程では、その製作の後に各機能
素子等への導通の状況や電気的特性の検査のための測定
が行われる。この検査・測定のための検査装置には、検
査対象の機器側にモジュールとして配置されているコン
タクトピンに接続して導通させるためのプローブカード
が備えられている。
【０００３】このプローブカードは、検査装置本体側の
フレームボードに対して移動自在に連接されたもので、
プローブカード側に接点端子として備えた複数のプロー
ブを検査対象側のコンタクトピンにそれぞれ位置合わせ
動作する。このような位置合わせは、コンタクトピンが
約０．５ｍｍ程度のピッチで配列されているようなもの
が多いので、プローブカードの動作には高い精密度が必
要とされている。
フレームボードに対して移動自在に連接されたもので、
プローブカード側に接点端子として備えた複数のプロー
ブを検査対象側のコンタクトピンにそれぞれ位置合わせ
動作する。このような位置合わせは、コンタクトピンが
約０．５ｍｍ程度のピッチで配列されているようなもの
が多いので、プローブカードの動作には高い精密度が必
要とされている。
【０００４】プローブカードの位置調整として、たとえ
ば特公平６−８０７１６号公報に記載されているように
ＣＣＤカメラを利用する画像処理を適用したものがあ
る。これは、プローブカードをＸ，Ｙの直交座標系内に
おいてそれぞれＸ，Ｙ方向に移動させるとともに原点周
りに回転させるシステムとしたものである。そして、プ
ローブカードの姿勢をＣＣＤカメラによる測定によって
知ることで、検査対象のコンタクトピンとプローブとの
間の相対位置を画像処理によって検知し、この検知に基
づいてプローブカードの位置調整と位置決めが実行され
る。
ば特公平６−８０７１６号公報に記載されているように
ＣＣＤカメラを利用する画像処理を適用したものがあ
る。これは、プローブカードをＸ，Ｙの直交座標系内に
おいてそれぞれＸ，Ｙ方向に移動させるとともに原点周
りに回転させるシステムとしたものである。そして、プ
ローブカードの姿勢をＣＣＤカメラによる測定によって
知ることで、検査対象のコンタクトピンとプローブとの
間の相対位置を画像処理によって検知し、この検知に基
づいてプローブカードの位置調整と位置決めが実行され
る。
【０００５】このような画像処理を適用するものでは、
プローブカードの位置合わせが高い精度で得られる。し
たがって、たとえば複数のコンタクトピンが狭いピッチ
間隔で配列された検査対象についても、確実な測定検査
が期待される。
プローブカードの位置合わせが高い精度で得られる。し
たがって、たとえば複数のコンタクトピンが狭いピッチ
間隔で配列された検査対象についても、確実な測定検査
が期待される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検査装
置には、画像処理のための光学系のシステムと、プロー
ブカードをＸ，Ｙ軸方向へ移動させるとともに原点周り
に回転させるための駆動機構とが必要である。このた
め、装置構成だけでなく、ＣＣＤカメラによる画像情報
を基にしたＸ，Ｙ軸方向及び原点周りの動作のための制
御も複雑になる。したがって、コスト高となるほか、測
定検査を高精度で維持するためには駆動機構等の保守の
頻度も増えることになり、ユーザー側の負担増に陥る。
置には、画像処理のための光学系のシステムと、プロー
ブカードをＸ，Ｙ軸方向へ移動させるとともに原点周り
に回転させるための駆動機構とが必要である。このた
め、装置構成だけでなく、ＣＣＤカメラによる画像情報
を基にしたＸ，Ｙ軸方向及び原点周りの動作のための制
御も複雑になる。したがって、コスト高となるほか、測
定検査を高精度で維持するためには駆動機構等の保守の
頻度も増えることになり、ユーザー側の負担増に陥る。
【０００７】また、製品の検査のための装置であること
から、新製品や既存の製品の仕様変更等にも対応させる
必要がある。しかしながら、画像処理のプログラム変更
等を伴うことや、プローブカードの移動ストロークや回
転角度の調整も必要となるので、汎用性に欠ける。
から、新製品や既存の製品の仕様変更等にも対応させる
必要がある。しかしながら、画像処理のプログラム変更
等を伴うことや、プローブカードの移動ストロークや回
転角度の調整も必要となるので、汎用性に欠ける。
【０００８】このように、たとえば画像処理等を適用し
てプローブカードの位置決めをする検査装置では、高精
度の操作ができるものの、コスト面や汎用性の面では必
ずしも十分とはいえない状況にある。
てプローブカードの位置決めをする検査装置では、高精
度の操作ができるものの、コスト面や汎用性の面では必
ずしも十分とはいえない状況にある。
【０００９】本発明において解決すべき課題は、きわめ
て簡単な機構でコンタクトピンとの位置合わせができる
とともに汎用性も向上し得るプローブカードの位置決め
機構を提供することにある。
て簡単な機構でコンタクトピンとの位置合わせができる
とともに汎用性も向上し得るプローブカードの位置決め
機構を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、検査装置の電
気回路に導通させたプローブを備えるプローブカード
と、複数配列の条として接点端子を表面に形成した検査
対象の部品を位置決めして搭載するベースとを備え、前
記プローブのプローブピンを前記接点端子に接触させる
位置に前記プローブカードを位置決めする機構であっ
て、前記プローブを、そのプローブピンが前記接点端子
の条のそれぞれに対応して少なくとも２点以上で接触す
る複数配置とし、前記プローブカードと前記ベースとの
間に、互いの突き合わせ面の凹凸係合によって前記接点
端子の条の配列方向の相対位置を位置決めする関係を持
たせてなることを特徴とする。
気回路に導通させたプローブを備えるプローブカード
と、複数配列の条として接点端子を表面に形成した検査
対象の部品を位置決めして搭載するベースとを備え、前
記プローブのプローブピンを前記接点端子に接触させる
位置に前記プローブカードを位置決めする機構であっ
て、前記プローブを、そのプローブピンが前記接点端子
の条のそれぞれに対応して少なくとも２点以上で接触す
る複数配置とし、前記プローブカードと前記ベースとの
間に、互いの突き合わせ面の凹凸係合によって前記接点
端子の条の配列方向の相対位置を位置決めする関係を持
たせてなることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、検査装
置の電気回路に導通させたプローブを備えるプローブカ
ードと、複数配列の条として接点端子を表面に形成した
検査対象の部品を位置決めして搭載するベースとを備
え、前記プローブのプローブピンを前記接点端子に接触
させる位置に前記プローブカードを位置決めする機構で
あって、前記プローブを、そのプローブピンが前記接点
端子の条のそれぞれに対応して少なくとも２点以上で接
触する複数配置とし、前記プローブカードと前記ベース
との間に、互いの突き合わせ面の凹凸係合によって前記
接点端子の条の配列方向の相対位置を位置決めする関係
を持たせてなるプローブカードの位置決め機構であり、
検査対象の接点端子の条の配列に合わせてプローブカー
ドに備えたプローブのそれぞれのプローブピンを接触さ
せることができるという作用を有する。
置の電気回路に導通させたプローブを備えるプローブカ
ードと、複数配列の条として接点端子を表面に形成した
検査対象の部品を位置決めして搭載するベースとを備
え、前記プローブのプローブピンを前記接点端子に接触
させる位置に前記プローブカードを位置決めする機構で
あって、前記プローブを、そのプローブピンが前記接点
端子の条のそれぞれに対応して少なくとも２点以上で接
触する複数配置とし、前記プローブカードと前記ベース
との間に、互いの突き合わせ面の凹凸係合によって前記
接点端子の条の配列方向の相対位置を位置決めする関係
を持たせてなるプローブカードの位置決め機構であり、
検査対象の接点端子の条の配列に合わせてプローブカー
ドに備えたプローブのそれぞれのプローブピンを接触さ
せることができるという作用を有する。
【００１２】請求項２に記載の発明は、前記突き合わせ
面の凹凸係合は、前記プローブカードに設ける位置決め
ピンと、前記ベースに設けられ前記位置決めピンが嵌ま
り込む位置決め孔の組み合わせであって、前記位置決め
ピンを前記プローブの配列を挟む位置に配置し、前記位
置決め孔を前記接点端子の条の配列を挟む位置に配置し
てなる請求項１記載のプローブカードの位置決め機構で
あり、位置決めピンと位置決め孔とによるベースに対す
るプローブカードの位置決めによって、検査対象の接点
端子の条の配列に合わせてプローブカードに備えるプロ
ーブのそれぞれのプローブピンを接触させることができ
るという作用を有する。
面の凹凸係合は、前記プローブカードに設ける位置決め
ピンと、前記ベースに設けられ前記位置決めピンが嵌ま
り込む位置決め孔の組み合わせであって、前記位置決め
ピンを前記プローブの配列を挟む位置に配置し、前記位
置決め孔を前記接点端子の条の配列を挟む位置に配置し
てなる請求項１記載のプローブカードの位置決め機構で
あり、位置決めピンと位置決め孔とによるベースに対す
るプローブカードの位置決めによって、検査対象の接点
端子の条の配列に合わせてプローブカードに備えるプロ
ーブのそれぞれのプローブピンを接触させることができ
るという作用を有する。
【００１３】請求項３に記載の発明は、前記プローブカ
ードには、前記ベースに搭載した前記検査対象の部品の
表面に突き当たって弾性付勢し前記プローブカードを前
記ベースから上に引き離すとき前記検査対象の部品を前
記ベース側に突き放し可能なエジェクトピンを備えてな
る請求項１または２記載のプローブカードの位置決め機
構であり、検査終了後にベースからプローブカードを引
き離すとき、検査対象の部品をベース側に残してプロー
ブカードだけを移動させるという作用を有する。
ードには、前記ベースに搭載した前記検査対象の部品の
表面に突き当たって弾性付勢し前記プローブカードを前
記ベースから上に引き離すとき前記検査対象の部品を前
記ベース側に突き放し可能なエジェクトピンを備えてな
る請求項１または２記載のプローブカードの位置決め機
構であり、検査終了後にベースからプローブカードを引
き離すとき、検査対象の部品をベース側に残してプロー
ブカードだけを移動させるという作用を有する。
【００１４】以下に、本発明の実施の形態の具体例を図
面を参照しながら説明する。図１は本発明の一実施の形
態における検査装置の要部であって、プローブカード及
びこれと対をなすベースの概略斜視図である。
面を参照しながら説明する。図１は本発明の一実施の形
態における検査装置の要部であって、プローブカード及
びこれと対をなすベースの概略斜視図である。
【００１５】図１において、検査対象の部品５１を位置
決めして搭載する定盤状のベース２１が検査装置の本体
（図示せず）に固定して配置され、このベース２１には
部品５１の一端に形成された配線ポート５１ａの両端を
挟む位置に一対の位置決め孔２２ａ，２２ｂが設けられ
ている。配線ポート５１ａの上面には、部品５１に備え
る電気回路の接点端子５２を複数の条として配置してい
る。
決めして搭載する定盤状のベース２１が検査装置の本体
（図示せず）に固定して配置され、このベース２１には
部品５１の一端に形成された配線ポート５１ａの両端を
挟む位置に一対の位置決め孔２２ａ，２２ｂが設けられ
ている。配線ポート５１ａの上面には、部品５１に備え
る電気回路の接点端子５２を複数の条として配置してい
る。
【００１６】ベース２１の上方には三次元の動きができ
るように検査装置の本体に連接したプローブカード１を
設ける。このプローブカード１は、平板状のフレーム１
ａの一端側に設けられ検査装置の本体側の検査回路に導
通させるコネクタ１ｂと、他端側から突き出した導通ポ
ート１ｃを備えたもので、コネクタ１ｂから導通ポート
１ｃの間に複数のリード線２を配線している。
るように検査装置の本体に連接したプローブカード１を
設ける。このプローブカード１は、平板状のフレーム１
ａの一端側に設けられ検査装置の本体側の検査回路に導
通させるコネクタ１ｂと、他端側から突き出した導通ポ
ート１ｃを備えたもので、コネクタ１ｂから導通ポート
１ｃの間に複数のリード線２を配線している。
【００１７】なお、従来周知のように、プローブカード
１は検査装置の本体側に設けたＸ軸，Ｙ軸及びＺ軸方向
の摺動駆動機構１ｄ，１ｅ，１ｆに連接されたもので、
これらの摺動駆動機構１ｄ，１ｅ，１ｆの合成動作によ
って、プローブカード１をベース２１上の部品５１に位
置合わせする。
１は検査装置の本体側に設けたＸ軸，Ｙ軸及びＺ軸方向
の摺動駆動機構１ｄ，１ｅ，１ｆに連接されたもので、
これらの摺動駆動機構１ｄ，１ｅ，１ｆの合成動作によ
って、プローブカード１をベース２１上の部品５１に位
置合わせする。
【００１８】図２は導通ポート１ｃ側から見た正面図、
図３は導通ポート１ｃ部分のプローブピンの配置を示す
ための拡大平面図、図４は導通ポート１ｃの右側面図で
ある。
図３は導通ポート１ｃ部分のプローブピンの配置を示す
ための拡大平面図、図４は導通ポート１ｃの右側面図で
ある。
【００１９】導通ポート１ｃの先端側の上面にはリード
線２のホルダ３を設け、このホルダ３には一列に２本ず
つのリード線２ａ，２ｂを配列する。すなわち、検査装
置の回路には２本のリード線２ａ，２ｂを一つの単位と
して結線し、これらの２本のリード線２ａ，２ｂのそれ
ぞれにプローブ４ａ，４ｂを接続する。プローブ４ａ，
４ｂは、スプリングを内蔵したリセプタクル４ａ−１，
４ｂ−１とその下端から装入されてスプリングによって
下向きに付勢されたプローブピン４ａ−２，４ｂ−２と
を備えた従来から一般的に利用されているものである。
そして、リセプタクル４ａ−１，４ｂ−１はホルダ３に
上端を支持されるとともにフレーム１ａを貫通して固定
される。また、プローブ４ａ，４ｂは、図３に示すよう
に、導通ポート１ｃの先端側から奥行き方向に２個ずつ
が並び、これらの２個のプローブ４ａ，４ｂの組み合わ
せとしたものが導通ポート１ｃの幅方向に配列されてい
る。
線２のホルダ３を設け、このホルダ３には一列に２本ず
つのリード線２ａ，２ｂを配列する。すなわち、検査装
置の回路には２本のリード線２ａ，２ｂを一つの単位と
して結線し、これらの２本のリード線２ａ，２ｂのそれ
ぞれにプローブ４ａ，４ｂを接続する。プローブ４ａ，
４ｂは、スプリングを内蔵したリセプタクル４ａ−１，
４ｂ−１とその下端から装入されてスプリングによって
下向きに付勢されたプローブピン４ａ−２，４ｂ−２と
を備えた従来から一般的に利用されているものである。
そして、リセプタクル４ａ−１，４ｂ−１はホルダ３に
上端を支持されるとともにフレーム１ａを貫通して固定
される。また、プローブ４ａ，４ｂは、図３に示すよう
に、導通ポート１ｃの先端側から奥行き方向に２個ずつ
が並び、これらの２個のプローブ４ａ，４ｂの組み合わ
せとしたものが導通ポート１ｃの幅方向に配列されてい
る。
【００２０】導通ポート１ｃの底面にはベース２１の位
置決め孔２２ａ，２２ｂに嵌まり込む位置決めピン５，
６を設ける。これらの位置決めピン５，６はその下端を
先細りするテーパ５ａ，６ａとして位置決め孔２２ａ，
２２ｂに入り込むときの倣いを可能としたものである。
置決め孔２２ａ，２２ｂに嵌まり込む位置決めピン５，
６を設ける。これらの位置決めピン５，６はその下端を
先細りするテーパ５ａ，６ａとして位置決め孔２２ａ，
２２ｂに入り込むときの倣いを可能としたものである。
【００２１】更に、導通ポート１ｃにはプローブカード
１をベース２１から引き離すときに、部品５１を圧下し
てベース２１側に押し戻すためのエジェクトピン７，８
を設ける。エジェクトピン７，８はプローブ４ａ，４ｂ
と同様に、ホルダ３とフレーム１ａとの間で支持された
スリーブ７ａ，８ａの中に差し込まれるとともにスリー
ブ７ａ，８ａに収納したスプリングによって下向きに弾
性付勢されたものであり、下端にはパッド７ｂ，８ｂを
取り付けている。
１をベース２１から引き離すときに、部品５１を圧下し
てベース２１側に押し戻すためのエジェクトピン７，８
を設ける。エジェクトピン７，８はプローブ４ａ，４ｂ
と同様に、ホルダ３とフレーム１ａとの間で支持された
スリーブ７ａ，８ａの中に差し込まれるとともにスリー
ブ７ａ，８ａに収納したスプリングによって下向きに弾
性付勢されたものであり、下端にはパッド７ｂ，８ｂを
取り付けている。
【００２２】ここで、検査しようとする部品５１の接点
端子５２の配列ピッチと、プローブカード１のプローブ
４ａ，４ｂの導通ポート１ｃの幅方向への配列ピッチと
は同一のものとし、１組のプローブ４ａ，４ｂは１本の
接点端子５２を対象として接触させるものとする。すな
わち、プローブ４ａ，４ｂどうしの間の距離は、好まし
くは接点端子５２の長さより短いものとし、プローブ４
ａ，４ｂのプローブピン４ａ−２，４ｂ−２の両方をこ
の接点端子５２に接触させるか、プローブカード１とベ
ース２１との間の位置ずれがあっても２本のプローブピ
ン４ａ−２，４ｂ−２のいずれか１本が接点端子５２に
接触できるようにする。
端子５２の配列ピッチと、プローブカード１のプローブ
４ａ，４ｂの導通ポート１ｃの幅方向への配列ピッチと
は同一のものとし、１組のプローブ４ａ，４ｂは１本の
接点端子５２を対象として接触させるものとする。すな
わち、プローブ４ａ，４ｂどうしの間の距離は、好まし
くは接点端子５２の長さより短いものとし、プローブ４
ａ，４ｂのプローブピン４ａ−２，４ｂ−２の両方をこ
の接点端子５２に接触させるか、プローブカード１とベ
ース２１との間の位置ずれがあっても２本のプローブピ
ン４ａ−２，４ｂ−２のいずれか１本が接点端子５２に
接触できるようにする。
【００２３】また、ベース２１に対するプローブカード
１の位置関係は、位置決め孔２２ａ，２２ｂにそれぞれ
位置決めピン５，６がほぼ整合した状態となるように予
め設定したものとする。
１の位置関係は、位置決め孔２２ａ，２２ｂにそれぞれ
位置決めピン５，６がほぼ整合した状態となるように予
め設定したものとする。
【００２４】以上の構成において、図１に示すように、
部品５１をベース２１に位置決めしてセットし、配線ポ
ート５１ａを位置決め孔２２ａ，２２ｂの間に位置させ
る。この部品５１のベース２１への位置決めは、位置決
め孔２２ａ，２２ｂに対する接点端子５２の配列の位置
関係が、プローブカード１の位置決めピン５，６とプロ
ーブ４ａ，４ｂを１組とする配列の位置関係と概ね一致
するようにＸ軸，Ｙ軸及びＺ軸の摺動駆動機構１ｄ，１
ｅ，１ｆによって実行する。この後、Ｘ軸の摺動駆動機
構１ｄによるプローブカード１に対する駆動負荷を零と
し、プローブカード１がＸ軸方向へ倣い動作ができるよ
うにする。
部品５１をベース２１に位置決めしてセットし、配線ポ
ート５１ａを位置決め孔２２ａ，２２ｂの間に位置させ
る。この部品５１のベース２１への位置決めは、位置決
め孔２２ａ，２２ｂに対する接点端子５２の配列の位置
関係が、プローブカード１の位置決めピン５，６とプロ
ーブ４ａ，４ｂを１組とする配列の位置関係と概ね一致
するようにＸ軸，Ｙ軸及びＺ軸の摺動駆動機構１ｄ，１
ｅ，１ｆによって実行する。この後、Ｘ軸の摺動駆動機
構１ｄによるプローブカード１に対する駆動負荷を零と
し、プローブカード１がＸ軸方向へ倣い動作ができるよ
うにする。
【００２５】次いで、プローブカード１を検査装置の本
体側に設けたＺ軸の摺動駆動機構１ｆによってベース２
１側に下降させる。このとき、先に述べたように位置決
めピン５，６は位置決め孔２２ａ，２２ｂに予め対応す
るように設定されているので、位置設定が良好であれ
ば、図５に示すように位置決めピン５，６が速やかに位
置決め孔２２ａ，２２ｂに入り込んでプローブカード１
が位置決めされる。また、位置決めピン５，６と位置決
め孔２２ａ，２２ｂとの間の相対的な位置誤差がある場
合でも、位置決めピン５，６のテーパ５ａ，６ａによる
倣いと、プローブカード１自身がＸ軸方向に拘束されて
いないことによって、位置決めピン５，６を位置決め孔
２２ａ，２２ｂに差し込むことができ、同様にベース２
１に対してプローブカード１が位置決めされる。
体側に設けたＺ軸の摺動駆動機構１ｆによってベース２
１側に下降させる。このとき、先に述べたように位置決
めピン５，６は位置決め孔２２ａ，２２ｂに予め対応す
るように設定されているので、位置設定が良好であれ
ば、図５に示すように位置決めピン５，６が速やかに位
置決め孔２２ａ，２２ｂに入り込んでプローブカード１
が位置決めされる。また、位置決めピン５，６と位置決
め孔２２ａ，２２ｂとの間の相対的な位置誤差がある場
合でも、位置決めピン５，６のテーパ５ａ，６ａによる
倣いと、プローブカード１自身がＸ軸方向に拘束されて
いないことによって、位置決めピン５，６を位置決め孔
２２ａ，２２ｂに差し込むことができ、同様にベース２
１に対してプローブカード１が位置決めされる。
【００２６】このように、位置決めピン５，６と位置決
め孔２２ａ，２２ｂとによる簡単な機構で、プローブカ
ード１とベース２１との間の位置決めが行え、接点端子
５２のそれぞれに２本のプローブピン４ａ−２，４ｂ−
２を接触させることによって導通が得られる。すなわ
ち、プローブカード１とベース２１とは予め位置合わせ
の設定が概ね行われているが、相対的な位置誤差を伴う
場合もある。これに対し、テーパ５ａ，６ａによる倣い
を利用して位置決めピン５，６が位置決め孔２２ａ，２
２ｂに差し込まれるので、プローブカード１とベース２
１との間は常に一様な関係として位置決めされる。した
がって、多数の部品５１について検査する場合でも、そ
れぞれの部品５１の接点端子５２に対してプローブピン
４ａ−２，４ｂ−２を正確に突き当てて導通させること
ができ、導通不良による検査障害を招くことがなくな
る。
め孔２２ａ，２２ｂとによる簡単な機構で、プローブカ
ード１とベース２１との間の位置決めが行え、接点端子
５２のそれぞれに２本のプローブピン４ａ−２，４ｂ−
２を接触させることによって導通が得られる。すなわ
ち、プローブカード１とベース２１とは予め位置合わせ
の設定が概ね行われているが、相対的な位置誤差を伴う
場合もある。これに対し、テーパ５ａ，６ａによる倣い
を利用して位置決めピン５，６が位置決め孔２２ａ，２
２ｂに差し込まれるので、プローブカード１とベース２
１との間は常に一様な関係として位置決めされる。した
がって、多数の部品５１について検査する場合でも、そ
れぞれの部品５１の接点端子５２に対してプローブピン
４ａ−２，４ｂ−２を正確に突き当てて導通させること
ができ、導通不良による検査障害を招くことがなくな
る。
【００２７】また、２本のプローブ４ａ，４ｂのそれぞ
れのプローブピン４ａ−２，４ｂ−２が１本の接点端子
５２に対応しているのでコンタクト面積を広くでき、電
気的導通を安定保持できる。そして、たとえばベース２
１側が水平姿勢に設定されているとき、たとえば導通ポ
ート１ｃ側が浮き上がったような姿勢にプローブカード
１が傾いても、プローブピン４ｂ−２だけは接点端子５
２に接触させることができる。また、ベース２１に対す
る部品５１の位置決めが不良で、たとえば図１において
配線ポート５１ａが位置決め孔２２ａ，２２ｂから抜け
る側に偏ってセットされた場合に、プローブピン４ｂ−
２が接点端子５２に接触できなくなっても、他方のプロ
ーブピン４ａ−２が接触状態を維持できる。
れのプローブピン４ａ−２，４ｂ−２が１本の接点端子
５２に対応しているのでコンタクト面積を広くでき、電
気的導通を安定保持できる。そして、たとえばベース２
１側が水平姿勢に設定されているとき、たとえば導通ポ
ート１ｃ側が浮き上がったような姿勢にプローブカード
１が傾いても、プローブピン４ｂ−２だけは接点端子５
２に接触させることができる。また、ベース２１に対す
る部品５１の位置決めが不良で、たとえば図１において
配線ポート５１ａが位置決め孔２２ａ，２２ｂから抜け
る側に偏ってセットされた場合に、プローブピン４ｂ−
２が接点端子５２に接触できなくなっても、他方のプロ
ーブピン４ａ−２が接触状態を維持できる。
【００２８】このように、２個のプローブ４ａ，４ｂを
１組として配列することで、接点端子５２との導通が確
実に取れるほか、プローブカード１の姿勢不良やベース
２１に対する部品５１の位置決め不良があっても、２個
のプローブピン４ａ−２，４ｂ−２の一方を利用した導
通が維持される。したがって、プローブカード１の姿勢
の変動や部品５１の位置決めの誤差を吸収して導通を得
ることができる。
１組として配列することで、接点端子５２との導通が確
実に取れるほか、プローブカード１の姿勢不良やベース
２１に対する部品５１の位置決め不良があっても、２個
のプローブピン４ａ−２，４ｂ−２の一方を利用した導
通が維持される。したがって、プローブカード１の姿勢
の変動や部品５１の位置決めの誤差を吸収して導通を得
ることができる。
【００２９】接点端子５２とプローブピン４ａ−２，４
ｂ−２との導通による部品５１の検査の後には、図５の
状態からプローブカード１を引き上げる。このとき、エ
ジェクトピン７，８はスリーブ７ａ，８ｂに収納してい
るスプリングによって下向きに付勢されているので、パ
ッド７ｂ，８ｂはそのストロークエンドまで下に一気に
移動する。このため、パッド７ｂ，８ｂは部品５１の表
面を下に向けて突き放すようになり、部品５１はプロー
ブカード１に引っ張られることなくベース２１の上に保
持される。
ｂ−２との導通による部品５１の検査の後には、図５の
状態からプローブカード１を引き上げる。このとき、エ
ジェクトピン７，８はスリーブ７ａ，８ｂに収納してい
るスプリングによって下向きに付勢されているので、パ
ッド７ｂ，８ｂはそのストロークエンドまで下に一気に
移動する。このため、パッド７ｂ，８ｂは部品５１の表
面を下に向けて突き放すようになり、部品５１はプロー
ブカード１に引っ張られることなくベース２１の上に保
持される。
【００３０】
【発明の効果】本発明では、プローブカードとベースと
の間の位置決めを両者の間の位置決めピンや位置決め孔
を利用した凹凸係合で賄えるので、従来のように画像処
理等を利用するものに比べて装置構成が格段に簡単にな
り、コスト面及び汎用性の面で大幅な改善が図られる。
の間の位置決めを両者の間の位置決めピンや位置決め孔
を利用した凹凸係合で賄えるので、従来のように画像処
理等を利用するものに比べて装置構成が格段に簡単にな
り、コスト面及び汎用性の面で大幅な改善が図られる。
【００３１】また、接点端子の配列方向だけを基準にし
て位置決めしても、１本の接点端子に対して複数のプロ
ーブを備えることで、接点端子の条方向の位置ずれを吸
収してプローブに備えたそれぞれのプローブピンと接点
端子の導通が得られる。したがって、位置決めのための
ピンや孔の配置数を減らすことができ、簡単な構造で対
応できる。
て位置決めしても、１本の接点端子に対して複数のプロ
ーブを備えることで、接点端子の条方向の位置ずれを吸
収してプローブに備えたそれぞれのプローブピンと接点
端子の導通が得られる。したがって、位置決めのための
ピンや孔の配置数を減らすことができ、簡単な構造で対
応できる。
【００３２】更に、エジェクトピンを備えるものでは、
検査対象の部品をベース側に残してプローブカードだけ
をベース側から引き離すことができ、部品に損傷を与え
ることがない。
検査対象の部品をベース側に残してプローブカードだけ
をベース側から引き離すことができ、部品に損傷を与え
ることがない。
【図１】本発明のプローブカード及びベースの組み合わ
せによる検査装置の要部を示す概略斜視図
せによる検査装置の要部を示す概略斜視図
【図２】プローブカードとベースの配置を示す切欠正面
図
図
【図３】プローブカードの導通ポートにおけるプローブ
の配置を示す拡大平面図
の配置を示す拡大平面図
【図４】導通ポートを拡大して示す右側面図
【図５】プローブカードの位置決めピンをベースの位置
決め孔に差し込んだ状態を示す切欠正面図
決め孔に差し込んだ状態を示す切欠正面図
１ プローブカード １ａ フレーム １ｂ コネクタ １ｃ 導通ポート １ｄ，１ｅ，１ｆ 摺動駆動機構 ２ リード線 ３ ホルダ ４ａ，４ｂ プローブ ４ａ−１，４ｂ−１ リセプタクル ４ａ−２，４ｂ−２ プローブピン ５，６ 位置決めピン ５ａ，６ａ テーパ ７，８ エジェクトピン ７ａ，８ａ スリーブ ７ｂ，８ｂ パッド ２１ ベース ２２ａ，２２ｂ 位置決め孔 ５１ 部品 ５１ａ 配線ポート ５２ 接点端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅本 昭広 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工業 株式会社内 (72)発明者 西之園 重己 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工業 株式会社内 Ｆターム(参考） 2G011 AA10 AA15 AB01 AC06 AC14 AD01 AE01 AF04 AF06 2G032 AA00 AD08 AF04 AK03 AL03 4M106 AA04 BA01 BA14 DD10 DD13 DJ34
Claims (3)
- 【請求項１】 検査装置の電気回路に導通させたプロー
ブを備えるプローブカードと、複数配列の条として接点
端子を表面に形成した検査対象の部品を位置決めして搭
載するベースとを備え、前記プローブのプローブピンを
前記接点端子に接触させる位置に前記プローブカードを
位置決めする機構であって、前記プローブを、そのプロ
ーブピンが前記接点端子の条のそれぞれに対応して少な
くとも２点以上で接触する複数配置とし、前記プローブ
カードと前記ベースとの間に、互いの突き合わせ面の凹
凸係合によって前記接点端子の条の配列方向の相対位置
を位置決めする関係を持たせてなるプローブカードの位
置決め機構。 - 【請求項２】 前記突き合わせ面の凹凸係合は、前記プ
ローブカードに設ける位置決めピンと、前記ベースに設
けられ前記位置決めピンが嵌まり込む位置決め孔の組み
合わせであって、前記位置決めピンを前記プローブの配
列を挟む位置に配置し、前記位置決め孔を前記接点端子
の条の配列を挟む位置に配置してなる請求項１記載のプ
ローブカードの位置決め機構。 - 【請求項３】 前記プローブカードには、前記ベースに
搭載した前記検査対象の部品の表面に突き当たって弾性
付勢し前記プローブカードを前記ベースから上に引き離
すとき前記検査対象の部品を前記ベース側に突き放し可
能なエジェクトピンを備えてなる請求項１または２記載
のプローブカードの位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32053798A JP3614003B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | プローブカードの位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32053798A JP3614003B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | プローブカードの位置決め機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000147067A true JP2000147067A (ja) | 2000-05-26 |
| JP3614003B2 JP3614003B2 (ja) | 2005-01-26 |
Family
ID=18122551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32053798A Expired - Fee Related JP3614003B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | プローブカードの位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3614003B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109959966A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-02 | 昆山泰德兴自动化设备有限公司 | 汽车雷达感应支架内泡棉检测装置 |
| WO2021193098A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社ヨコオ | プローブヘッド |
-
1998
- 1998-11-11 JP JP32053798A patent/JP3614003B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109959966A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-02 | 昆山泰德兴自动化设备有限公司 | 汽车雷达感应支架内泡棉检测装置 |
| WO2021193098A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社ヨコオ | プローブヘッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3614003B2 (ja) | 2005-01-26 |
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