CN101855045A - 利用线锯的工件的切断方法及线锯 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种线锯，将钢线卷绕于多个带槽滚筒上，且通过一边供给浆液至该带槽滚筒，一边使上述钢线行进，并使工件压接上述钢线，来将上述工件切断成晶片状，其特征在于，控制成一边从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，使上述浆液的供给温度上升，一边切断工件。由此，可提供一种线锯，可抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况，并可使画在工件上的切断轨迹近似直线，由此而可改善切断工件的翘曲情况。

Description

利用线锯的工件的切断方法及线锯
技术领域
本发明涉及一种利用线锯将工件(例如硅晶棒、化合物半导体的晶棒等)切成多数片晶片的切断方法。
背景技术
近年，晶片有大型化的趋势，随着此大型化而使用专门用于切断工件的线锯。
线锯是如下的装置，即，使钢线(高张力钢线)高速行进，在此一边浇上浆液，一边压接工件而进行切断，从而同时将工件切成多个晶片。
在此，图3表示一般线锯的一例的概要。
如图3所示，线锯101主要具有用以切断工件的钢线102、卷绕有钢线102的带槽滚筒103、用以赋予钢线102张力的钢线张力赋予机构104、送出要被切断的工件的工件进给机构105、在进行切断时供给浆液的浆液供给机构106。
钢线102从一侧的线卷轴(wirereel)107送出，经由移车台(traverser)108，再经过由磁粉离合器((powderclutch)定转矩马达109)或上下跳动滚筒(静重(deadweight))(未图示)等所组成的钢线张力赋予机构104，进入带槽滚筒103。通过将钢线102卷绕在该带槽滚筒103约300～400圈形成钢线列之后，钢线102经过另一侧的钢线张力赋予机构104’而卷绕在线卷轴107’上。
另外，带槽滚筒103是将聚胺酯树脂压入钢铁制圆筒的周围，并在其表面以恒定的间距切出槽而成的滚筒，可通过驱动用马达110而以预定的行驶距离在往返方向上驱动卷绕的钢线102。
另外，切断工件时，通过工件进给机构105，工件一边被保持一边被压下，而向已卷绕在带槽滚筒103上的钢线102进给(推送)。
另外，在带槽滚筒103与卷绕的钢线102的附近，设有喷嘴115，在切断时，可从浆液槽116向钢线102供给浆液。另外，浆液槽116可与浆液冷却器117连接，以调整供给的浆液的温度。
使用如此的线锯101，且利用钢线张力赋予机构104来赋予钢线102适当的张力，并一边通过驱动用马达110使钢线102在往返方向上行进，一边将所供给的浆液中的游离磨粒，通过钢线102向钢线槽(工件的切断槽)的深处按压，来磨削槽底部的工件，由此进行切断。
由于此时所发生的摩擦，工件的切断部会发热，于是工件在切断中会发生热膨胀。另外，带槽滚筒由于与钢线之间的摩擦热或在用以支承带槽滚筒的轴承部中发生的摩擦热而产生的热膨胀，会往轴向伸长，因此，在带槽滚筒上，被卷绕成螺旋状的钢线列与工件之间的相对位置，在切断中会发生变化。
上述带槽滚筒的轴向的变位，已知与在工件切断中所供给的浆液的温度有恒定的关系(参照日本特开平5-185419号公报)。
这些工件的热膨胀或带槽滚筒的轴向的伸长所造成的钢线列与工件之间的相对位置的变化，会使由钢线对工件画出的切断轨迹弯曲，此切断轨迹的弯曲，在晶片加工后的形状测定中，会有以翘曲的形态被检测出来。
作为对于这些问题的对策，针对切断中的工件的发热，公开有如下的线锯，该线锯在工件保持部件中，具备工件冷却装置，一边冷却切断中的工件一边进行切断(参照日本特开平11-58365号公报)。
但是，在使用此线锯来切断工件的方法中，虽然通过配备在工件保持部件中的冷却装置来冷却切断中的工件，但是切断部与冷却部被分离，且冷却部的尺寸也受到限制，所以难以拥有充分的冷却能力。另外，此种方法无法控制带槽滚筒的热膨胀。
另一方面，针对切断中的带槽滚筒的热膨胀，公开有一种线锯，其具备：将多个带槽滚筒支持成可旋转自如的轴承、为了冷却各轴承而供给冷媒的冷媒供给装置、用以调整上述冷媒的温度的冷媒温度调整装置(参照日本特开2003-145406号公报)。
此线锯中，虽然可调整要供给至用以支承带槽滚筒的轴承的内圈侧的冷媒的温度，但是难以冷却轴承的外圈侧；另外，带槽滚筒的热膨胀由于会强烈地受到被供给至带槽滚筒的外周面上的浆液温度的影响，仅利用调整供给至带槽滚筒轴部中的冷媒温度的手法，难以有效地降低带槽滚筒的热膨胀。进而，此线锯也无法控制切断中的工件的热膨胀。
另外，在日本特开2003-1624号公报中，公开有一种方法，在切断工件中，通过使所提供的浆液的温度固定或是将浆液温度控制成规定温度等，一边缩小工件的温度变化一边切断工件。
另外，在国际公开第WO00/43162号公报中，公开有一种线锯，为了控制工件的温度，配备有将温度控制后的浆液直接浇在工件上的装置或是将温度控制后的冷媒直接喷在工件上的装置。
但是，上述任一种公知技术，仍存在必须将特别的机构追加设置在线锯中，或是翘曲的改善效果不充分这样的问题。
发明内容
因此，本发明者进行试验，测定切断中的工件的温度与带槽滚筒的线锯前方侧和线锯后方侧的变位量，来调查利用线锯切断工件时所产生的翘曲的发生原因。
采用图3所示的线锯，一边控制切断中的浆液供给温度，使其温度固定为23℃，一边切断为了试验而准备的直径300mm、长度300mm的硅晶棒。
实际测量切断中的工件的温度变化，将结果表示于图4中。
另外，使用热电偶，在工件的两端测定工件的温度。
如图4所示，在切断工件中，工件的温度，从开始切断起，先上升，然后在工件的切入深度大约为170mm附近到达38℃(大约上升15℃)后，温度开始下降，而在切断结束部附近(此情况，切入深度大约为275～300mm)，急速地降低，在切断结束时，成为大致与浆液供给温度相同的温度也就是23℃。
对于由于工件的温度变化所造成的翘曲形状，根据硅的膨胀系数、在本试验中的工件的固定方法以及在本试验中所使用的线锯中的带槽滚筒与工件的位置关系，工件的面向两端方向的面是凹面，因而推测出在工件的两端会生成5μm左右的翘曲。
接着，实际测量带槽滚筒的变位量，将其结果表示于图5(A)中。
另外，带槽滚筒的变位量是将涡电流传感器配设在靠近带槽滚筒的轴向来进行测定的(参照图5(B))。
如图5(A)所示，带槽滚筒的装置前方侧的位置，从开始切断工件至工件的切入深度到达150mm为止的期间，大约向前方变位10μm，之后，直到切断工件为止，变位量恒定。另一方面，带槽滚筒的装置后方侧的位置，在切断中，几乎没有变位。
对于由于带槽滚筒的变位所造成的翘曲形状，根据硅的膨胀系数、在本试验中的工件的固定方法以及在本试验中所使用的线锯中的带槽滚筒与工件的位置关系，工件的面向装置前方侧的面是凸面，推测在工件的装置前方侧的端面会生成3μm左右的翘曲，在工件的装置后方侧的端面会生成0.7μm左右的翘曲。
如此，在晶片测定中实际被测定出来的翘曲是，上述工件的温度变化、由于带槽滚筒的变位所造成的切断轨迹的弯曲以及除此以外的无法定量化的各种原因而造成的切断轨迹的弯曲合成出来的结果。因此，为了改善翘曲情况，将能够定量化的原因也就是由于工件的温度变化与带槽滚筒的变位所造成的切断轨迹的弯曲，加以缩小，成为重要的事情。
因此，本发明是有鉴于上述问题点而开发出来，其目的在于提供一种线锯及利用此线锯的工件的切断方法，通过抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况，且缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量，使画在工件上的切断轨迹近似直线，而可改善切断的工件的翘曲情况。
为了达成上述目的，本发明提供一种利用线锯的工件的切断方法，将钢线卷绕于多个带槽滚筒上，且通过一边供给浆液至该带槽滚筒，一边使上述钢线行进，并使工件压接上述钢线，来将上述工件切断成晶片状的形态，其特征在于，
从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，一边使上述浆液的供给温度上升，一边切断工件。
如此，通过从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，一边使上述浆液的供给温度上升，一边切断工件，能够抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况，另外，能够缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量。由此，能使画在工件上的切断轨迹近似直线，而可抑制切断的工件形成翘曲。
此时，优选将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升幅度设为5℃以上15℃以下。
通过将浆液的供给温度的上升幅度设为5℃以上，能够发挥抑制在切断结束部附近的工件温度降低的效果。另外，通过将上升幅度设为15℃以下，工件以外的线锯机构部的温度不会上升，不会由于线锯的工件保持精度、工件进给精度等的降低而对翘曲情况造成不良影响。
另外，此时，优选将开始切断上述工件时的浆液的供给温度与工件温度的差异设为3℃以下。
如此，通过将开始切断上述工件时的浆液的供给温度与工件温度的差异设为3℃以下，开始切断工件时的工件的温度上升变平滑，能够防止由于开始切断工件时的工件温度急剧地变化而导致翘曲恶化的情况发生。
另外，此时，优选将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率设为恒定。
如此，利用将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率设为恒定，切断中的带槽滚筒的变位的增加率成为恒定。由此，能够使画在工件上切断轨迹更直线化，并能够更有效地抑制切断的工件形成翘曲。
另外，本发明提供一种线锯，将钢线卷绕于多个带槽滚筒上，且通过一边供给浆液至该带槽滚筒，一边使上述钢线行进，并使工件压接上述钢线，来将上述工件切断成晶片状，其特征在于，
控制成从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，一边使上述浆液的供给温度上升，一边切断工件。
如此，本发明的线锯由于控制成从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，一边使浆液的供给温度上升，一边切断工件，所以能够抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况，另外，能够缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量。由此，能使画在工件上的切断轨迹近似直线，而可抑制切断的工件形成翘曲。
此时，优选将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升幅度，控制成为5℃以上15℃以下。
若将浆液的供给温度的上升幅度控制成为5℃以上，则能够确实地发挥抑制在切断结束部附近的工件温度降低的效果。另外，若将上升幅度控制成为15℃以下，则工件以外的线锯机构部的温度不会上升，不会由于线锯的工件保持精度、工件进给精度等的降低而导致对翘曲情况造成不良影响。
如此，本发明的线锯，由于将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升幅度控制成为5℃以上15℃以下，所以能够有效地降低切断的工件的翘曲情况。
另外，此时，优选将开始切断上述工件时的浆液的供给温度与工件温度的差异，控制成为3℃以下。
如此，本发明的线锯，由于将开始切断上述工件时的浆液的供给温度与工件温度的差异控制成为3℃以下，开始切断工件时的工件的温度上升变平滑，能够防止由于开始切断工件时的工件温度急剧地变化而导致翘曲恶化的情况发生。
另外，此时，优选将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率控制成为恒定。
如此，本发明的线锯，由于将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率控制成为恒定，切断中的带槽滚筒的变位的增加率成为恒定。由此，能够使画在工件上切断轨迹进一步直线化，并能够更有效地抑制切断的工件形成翘曲。
本发明中，对于线锯而言，由于控制成一边从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，使浆液的供给温度上升，一边切断工件，所以能够抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况，另外，能够缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量。由此，成为如下一种工件的切断方法，在线锯中不用追加特别的机构，便能使画在工件上的切断轨迹近似直线，而可抑制切断的工件形成翘曲。
附图说明
图1是表示本发明的线锯的一例的概略图。
图2是表示在本装置中能够采用的工件进给机构的一例的概略图。
图3是表示公知的线锯的一例的概略图。
图4是表示采用公知的线锯来切断工件时，工件切断中的工件温度与浆液供给温度的图表。
图5是表示采用公知的线锯来切断工件时，关于带槽滚筒的变位量的试验结果；(A)是表示工件切断中的带槽滚筒的变位量的图表，(B)是用以说明带槽滚筒的变位量的测定方法的说明图。
图6是表示采用本发明的线锯来切断工件时，工件切断中的工件温度与浆液供给温度的图表。
图7是表示采用本发明的线锯来切断工件时，带槽滚筒的变位量的图表。
图8是表示采用本发明的线锯来切断工件时，晶片的翘曲分布的图表。
图9是表示采用公知的线锯来切断工件时，晶片的翘曲分布的图表。
图10是表示利用公知的线锯与本发明的线锯切断后的工件中的线锯跟前侧的第一片晶片的在工件进给方面剖面中的翘曲形状的比较图表。
图11是表示测定工件温度的方法的概略图。
图12是表示带槽滚筒的构造的一例的概略俯视图。
具体实施方式
以下说明本发明的实施方式，但本发明并不限定于此方式。
如上所述，在晶片测定中实际被测定出来的翘曲是，工件的温度变化、由于带槽滚筒的变位所造成的切断轨迹的弯曲以及除此以外的无法定量化的各种原因而造成的切断轨迹的弯曲，合成出来的结果。因此，为了改善翘曲情况，将能够定量化的原因也就是由于工件的温度变化与带槽滚筒的变位所造成的切断轨迹的弯曲，加以缩小，成为重要的事情。
为了解决上述问题，本发明者针对线锯中的翘曲的生成机制及公知的翘曲改善方法的问题点，不断努力地研究。结果发现，以往提出来的翘曲改善方法，虽然想要通过缩小由于工件的温度上升和带槽滚筒的热膨胀所造成的变位的绝对值，来解决该课题，但是针对在线锯中的翘曲的生成，由于工件的温度和带槽滚筒的热膨胀所造成的变位的绝对值，不一定能决定翘曲值，从而完成本发明。
即，本发明的线锯及利用线锯的切断方法，因为以一边从开始切断工件至切断结束为止的期间提高浆液的供给温度，一边切断工件的方式，来进行控制，所以能够抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况；另外，也能够缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量。由此，能够使画在工件上的切断轨迹近似直线，而能够抑制切断的工件形成翘曲。
图1是表示本发明的线锯的一例的概略图。
如图1所示，线锯1主要是由用以切断工件的钢线2、带槽滚筒3、钢线张力赋予装置4、工件进给机构5以及浆液供给机构6所构成。
在此，首先描述浆液供给机构6。在此浆液供给机构6中，配设有用以将切断用浆液供给至带槽滚筒3(钢线2)上的喷嘴15。另外，可控制从此喷嘴15供给的切断用浆液的供给温度。
具体地说，例如图1所示，从浆液槽16，经由控制用计算机18控制的热交换器19，连接至喷嘴15，从而成为可以控制切断用浆液的供给温度的结构。
另外，浆液的种类并无特别限定，可使用与公知相同。例如可为将GC(碳化硅)磨粒分散于液体而成。
而且，供给切断用浆液的喷嘴15和工件进给机构5与计算机18连接，可通过预先设定的程序，相对于预定的工件进给量即预定的工件切断量，自动地从喷嘴15，以预定量、预定的时机，对带槽滚筒3(钢线2)喷射切断用浆液。
上述的工件进给量、浆液喷射量以及时机，甚至是浆液供给温度，可通过控制用计算机18，如预定地控制，但控制装置并不特别限定于此。
钢线2从一侧的线卷轴(wirereel)7送出，经由移车台(traverser)8，再经过由磁粉离合器(定转矩马达9)或上下跳动滚筒(静重(deadweight))(未图示)等所组成的钢线张力赋予机构4，进入带槽滚筒3。钢线2通过卷绕在该带槽滚筒3上约300～400圈，而形成钢线列。钢线2经过另一侧的钢线张力赋予机构4’而卷绕在线卷轴7’上。
在图2中表示在本发明中能够采用的工件进给机构5的一例。如图2所示，工件是粘接在抵板14上；另外，此抵板14是通过工件板13而被保持。而且，工件是隔着这些的抵板14、工件板13，通过工件进给机构5的工件保持部11而被保持。
此工件进给机构5，具备用以一边保持工件一边往下压的工件保持部11、线性运动导件(线性导轨)12；通过计算机控制，沿着线性运动导件12驱动工件保持部11，由此可依预先程序化的进给速度，将保持的工件推送。
而且，对于如此地通过工件进给机构5的工件保持部11而被保持的工件，当进行切断时，通过工件进给机构5，往位于下方的钢线2进给。另外，此工件进给机构5，通过将工件往下方进给，直到钢线到达抵板14为止，而完成工件的切断，之后，通过逆转工件的推送方向，将切断完成的工件从钢线列拔出。
上述浆液供给机构6及控制此机构的控制用计算机18以外的钢线2、带槽滚筒3、钢线张力赋予机构4、工件(晶棒)进给机构5，能够设为与公知的线锯相同。
钢线2的种类和粗细、带槽滚筒3的槽的间距，甚至是其它机构的构成等，并无特别限定，可依公知方法，依预定的切断条件的情况而决定。
例如，钢线2可为宽度约0.13mm～0.18mm的特殊钢琴线所组成，带槽滚筒3可设为具有(预定晶片厚度+切割量)的槽间距。
另外，在此，更详细地说明有关带槽滚筒3。作为以往所使用的带槽滚筒3的一例，可举出图12所示的构件。在带槽滚筒3的两端，配设用以支持带槽滚筒的轴20的轴承21、21’，考虑上述切断中的带槽滚筒3的轴向的变化，例如可以做成如下的结构，即，轴承21是径向轴承，带槽滚筒3在此径向轴承21侧，可往轴向伸长；另一方面，轴承21’是止推轴承，带槽滚筒3难以向此止推轴承21’侧伸长。通常，带槽滚筒3是如此构造，带槽滚筒3在轴向的长度变化时，为了不过度施加负荷于装置，并非两侧皆固定，而为使其中一侧可对应其变化。
因此，本线锯装置1中，带槽滚筒3在轴向进行伸长时，主要是向径向轴承21侧(设为线锯的前方)进行伸长。
另外，在本发明的切断方法中所使用的线锯1的带槽滚筒3并不限于上述方式。
另外，如图11所示，为了测定工件的温度，在工件的两端设置热电偶。该热电偶连接至控制用计算机18，从而测定所得到的数据，能够利用控制用计算机18来进行数据处理。
而且，本发明的线锯，利用控制用计算机18来控制工件进给机构5及热交换器19，以一边使浆液的供给温度，从开始切断工件至切断结束为止的期间，单调递增地上升(供给温度没有下降且供给温度的上升没有停止)，一边切断工件的方式，来进行控制；而且，优选将从开始切断工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度上升，控制在5℃以上15℃以下的范围；另外，将开始切断工件时的浆液的供给温度与工件的温度的差异，控制在3℃以下。
此时，优选将从开始切断工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率，控制成恒定，但是控制装置并不限定于此种方式。
以下，叙述有关采用此种线锯1来实施本发明的切断方法的顺序。
首先，通过工件进给机构5，将保持的工件以预定速度向下方推送，且驱动带槽滚筒3，使通过钢线张力赋予机构4而被赋予张力的钢线2向往返方向行进。另外，此时，可适当地设定赋予钢线2的张力大小、钢线2的行进速度。例如，可施以2.5～3.0kgf的张力，以400～600m/min的平均速度，1～2c/min(30～60s/c)的循环周期，在往返方向上行进。只要配合要被切断的工件等来决定即可。
另外，通过喷嘴15，开始向带槽滚筒3以及钢线2喷射切断用浆液。
此时，通过控制用计算机18来控制热交换器19，一边使浆液的供给温度，从开始切断工件至切断结束为止的期间，单调递增地上升，一边切断工件。
通过抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况，且缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量，来使画在工件上的切断轨迹近似直线，只要使供给的浆液的温度，在开始切断工件至切断结束为止的期间，不会下降或是停止上升，而是持续地上升即可。
此时，优选通过控制用计算机18来控制热交换器19，使得从开始切断工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率成为恒定。
如此，通过控制成使从开始切断工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率成为恒定，能够使画在工件上的切断轨迹进一步直线化。但是，在本发明的线锯中，关于上述浆液的供给温度的上升率的条件，并不限定于此。所供给的浆液的温度的上升率，也可以在从开始切断工件至切断结束为止的期间发生变化，并不是一定要一直保持恒定，但是优选使该上升率的变化量尽可能地小。
另外，优选通过控制用计算机18来控制热交换器19，使得从开始切断工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升，在5℃以上、15℃以下。
通过将浆液供给温度的上升幅度设为5℃以上，能够确实地得到可抑制在切断结束部附近的工件温度降低的效果。另外，通过将上升幅度设为15℃以下，工件以外的线锯机构部的温度不会上升，不会有由于线锯的工件保持精度、工件进给精度等的降低而对翘曲情况造成不良影响。
另外，通过控制用计算机18来控制热交换器19，可使开始切断工件时的浆液供给温度与工件的温度的差异成为3℃以下。
如此，通过上述将开始切断工件时的浆液供给温度与工件的温度的差异设为3℃以下，开始切断工件时的工件的温度上升变平滑，能够防止由于开始切断工件时的工件温度急剧地变化而导致翘曲恶化的情况发生。
以下，更详细地通过实施例来说明本发明，但本发明并非限定于这些实施例。
(第一实施例)
利用图1所示的线锯，并控制在切断工件时供给至带槽滚筒上的浆液的供给温度，将直径300mm、轴向长度300mm的硅晶棒，切断成晶片状。
另外，使用钢线直径为160μm的钢线，施以2.5kgf的张力，以500m/min的平均速度、60s/c的循环周期，使钢线作往返行进来进行切断。另外，作为浆液是将GC#1000与冷却液以重量比50∶50的比例混合而成的。
另外，如图5(B)所示，预先将涡电流传感器配设在靠近带槽滚筒3的轴向。这是为了要能够测定带槽滚筒3的轴向变位，但在本发明中并不是必须的。此带槽滚筒3的轴向变位的测定，并不限定于上述装置，但是若采用涡电流传感器，由于能以非接触的方式进行高精度的测定，所以优选此方式。
而且，将开始切断时的工件的温度设为23℃，且将浆液的供给温度，从开始切断时的23℃至切断结束时的35℃为止，以上升率成为恒定的方式，一边上升(上升12℃)一边切断工件。
将实际测量切断中的工件的温度变化的结果，表示于图6中。
如图6所示，工件的温度，从开始切断至切入深度285mm为止，持续上升，最高温度到达42.9℃，但是由于在切断结束时的浆液温度是较高温的35℃，所以在切断结束部附近的工件的温度降低量，可以抑制为7.9℃。
另一方面，如图7所示，带槽滚筒的前方位置，相对于工件的切入深度，线性地变位，而在切断结束时，达到30μm。其后方位置，不论工件的切入深度为何，大致为恒定的变位量。如此，带槽滚筒的变位量，会从使用公知的线锯时的比较例(切断中的浆液供给温度设成固定，为23℃)的10μm，增加至30μm，但是由于其变位量相对于工件切入位置是线性地增加，所以工件切断轨迹会如下述般地没有弯曲，对于翘曲生成的影响，会被大幅地抑制。
在图8中表示在切断后测定而得到的晶片的翘曲分布。全部晶片的平均值成为5.51μm，与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，已大幅地改善。
在图10中表示利用公知的线锯与本发明的线锯切断后的工件中的线锯跟前侧的第一片晶片的在工件进给方面剖面中的翘曲形状的比较。根据图10，得知与采用公知的线锯的情况比较，采用本发明的线锯切断后的晶片的表面，可进一步抑制弯曲。
(第二实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的23℃至切断的中间(切入深度150mm)时的28℃为止，以上升率成为恒定的方式使温度上升，而且从切断的中间至切断结束时的35℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制(在切断的中间时，以改变上升率的方式来进行控制)以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为6.95μm，由于在切断的途中改变浆液的供给温度的上升率，所以其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。
(第三实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的23℃至切断的中间(切入深度150mm)时的30℃为止，以上升率成为恒定的方式使温度上升，而且从切断的中间至切断结束时的35℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制(在切断的中间时，以改变上升率的方式来进行控制)以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为7.33μm，由于在切断的途中改变浆液的供给温度的上升率，所以其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。
(第四实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的23℃至切断结束时的28℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为7.53μm，其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为在切断中所供给的浆液的供给温度的上升幅度较第一实施例小的缘故，因而使画在工件上的切断轨迹更直线化的效果缩小。
(第五实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的23℃至切断结束时的40℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为8.22μm，其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为在切断中所供给的浆液的供给温度的上升幅度超过15℃的缘故，工件以外的线锯机构部的温度上升，而认为由于发生线锯的工件保持精度、工件进给精度等的降低而导致对翘曲情况造成不良影响。
(第六实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的20℃至切断结束时的35℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为7.93μm，其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为将开始切断工件时的浆液的供给温度与工件的温度的差异设为3℃，所以与第一实施例相比，通过开始切断工件时的工件的温度变化而产生的对于翘曲情况恶化的抑制并不充分。
(第七实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的26℃至切断结束时的35℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为7.71μm，其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为将开始切断工件时的浆液的供给温度与工件的温度的差异设为3℃，所以与第一实施例相比，通过开始切断工件时的工件的温度变化而产生的对于翘曲情况恶化的抑制并不充分。
(第八实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的23℃至切断结束时的27℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为8.71μm，其结果比第一实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为将切断中所供给的浆液的供给温度的上升幅度设为小于5℃，也就是仅设为4℃，所以与第一实施例相比，在切断结束部附近的抑制工件温度降低的效果并不充分。
(第九实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的19℃至切断结束时的34℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为8.67μm，其结果比第一实施例、第六实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例、第六实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为将开始切断工件时的浆液的供给温度与工件的温度的差异设为超过3℃，也就是设为4℃，所以与第一实施例、第六实施例相比，通过开始切断工件时的工件的温度变化而产生的对于翘曲情况恶化的抑制并不充分。
(第十实施例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断时的27℃至切断结束时的36℃为止，以上升率成为恒定的方式来进行控制以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
其结果，全部晶片的平均值为8.82μm，其结果比第一实施例、第七实施例差，但是与利用公知的线锯切断后的晶片的翘曲情况比较，则其翘曲情况已经改善。与第一实施例、第七实施例相比，其翘曲情况改善较少的原因是因为将开始切断工件时的浆液的供给温度与工件的温度的差异设为超过3℃，也就是设为4℃，所以与第一实施例、第七实施例相比，通过开始切断工件时的工件的温度变化而产生的对于翘曲情况恶化的抑制并不充分。
(比较例)
针对上述第一实施例，除了将浆液供给温度，从开始切断至切断结束为止，控制成固定为23℃以外，利用与第一实施例相同的条件切断工件，然后进行与第一实施例同样的翘曲评价。
将切断中的工件的温度变化的实际测量结果，表示于图4。
如图4所示，切断中的工件的温度，从开始切断时上升，在工件切入深度大约170mm附近，到达38.2℃而成为最高温的后，开始下降，直到切断结束部为止，而成为与浆液供给温度相同的23℃，降低了15.2℃。
如图5(A)所示，带槽滚筒的前方位置，在从开始切断至工件的切入深度为150mm为止的期间，大约向前方变位10μm，之后，直到切断工件结束为止，变位量恒定。另一方面，带槽滚筒的后方位置，在切断中几乎没有变位。在图9中表示在切断后所测得的晶片的翘曲分布。全部晶片的平均值是9.05μm。
在表1中，汇总表示各实施例、比较例中的条件与工件切断时的翘曲情况的结果。
[表1]
  开始切断时的工件温度  浆液供给温度(开始切断时→切断结束时)或是(开始切断时→中间→切断结束时)  翘曲(工件全体的平均值)
  第一实施例   23℃  23℃→35℃  5.51μm
  第二实施例   23℃  23℃→28℃→35℃  6.95μm
  第三实施例   23℃  23℃→30℃→35℃  7.33μm
  第四实施例   23℃  23℃→28℃  7.53μm
  第五实施例   23℃  23℃→40℃  8.22μm
  第六实施例   23℃  20℃→35℃  7.93μm
  第七实施例   23℃  26℃→35℃  7.71μm
  第八实施例   23℃  23℃→27℃  8.71μm
  第九实施例   23℃  19℃→34℃  8.67μm
  第十实施例   23℃  27℃→36℃  8.82μm
  比较例   23℃  23℃→23℃  9.05μm
如上所示，采用本发明的线锯，并以一边从开始切断工件至切断结束为止的期间提高浆液的供给温度，一边切断工件的方式，来进行控制，由此能够抑制在工件的切断结束部附近的工件温度降低的情况；另外，也能够缩小切断中的带槽滚筒的变位的增加率的变化量。由此，能够使画在工件上的切断轨迹近似直线，而能够抑制切断的工件形成翘曲。
另外，本发明不限定于上述实施方式。上述实施方式仅为例示。只要与本发明的权利要求中记载的技术思想，实质上具有相同的构成，能产生相同的效果都应包含在本发明的技术思想内。

Claims (8)

1.一种利用线锯的工件的切断方法，将钢线卷绕于多个带槽滚筒上，且通过一边供给浆液至该带槽滚筒，一边使上述钢线行进，并使工件压接上述钢线，来将上述工件切断成晶片状的形态，其特征在于，
从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，一边使上述浆液的供给温度上升，一边切断工件。
2.如权利要求1所述的利用线锯的工件的切断方法，其特征在于，将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升幅度设为5℃以上15℃以下。
3.如权利要求1或2所述的利用线锯的工件的切断方法，其特征在于，将开始切断上述工件时的浆液的供给温度与工件温度的差异设为3℃以下。
4.如权利要求1～3中任一项所述的利用线锯的工件的切断方法，其特征在于，将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率设为恒定。
5.一种线锯，将钢线卷绕于多个带槽滚筒上，且通过一边供给浆液至该带槽滚筒，一边使上述钢线行进，并使工件压接上述钢线，来将上述工件切断成晶片状，其特征在于，
控制成从开始切断上述工件至切断结束为止的期间，一边使上述浆液的供给温度上升，一边切断工件。
6.如权利要求5所述的线锯，其特征在于，将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升幅度控制成为5℃以上15℃以下。
7.如权利要求5或6所述的线锯，其特征在于，将开始切断上述工件时的浆液的供给温度与工件温度的差异控制成为3℃以下。
8.如权利要求5～7中任一项所述的线锯，其特征在于，将从开始切断上述工件至切断结束为止的期间的浆液的供给温度的上升率控制成为恒定。
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