CN101846215A - 闸阀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供在开闭开口部的阀芯上安装加热器、且容易对该加热器供电的闸阀装置，该闸阀装置(10)包括：用于开闭设在将相邻的两个空间隔开的壁上的开口部(112)的阀芯(12)；使阀芯(12)移动的阀芯移动装置(20)；加热阀芯(12)的加热器(13)；与加热器(13)电连接着并且与输出对加热器(13)供给的电力的电力输出部电连接而且是物理连接的连接器。阀芯(12)、加热器(13)和连接器被一体化，连接器以如下方式与阀芯(12)联动：在阀芯(12)封闭了开口部(112)的状态下，连接器与电力输出部电连接而且是物理连接，在阀芯(12)打开了开口部(112)的状态下，连接器与电力输出部电分离而且是物理分离。

Description

闸阀装置

技术领域

本发明涉及一种闸阀装置，该闸阀装置用于开闭例如真空室的开口部那样的、被设置在用于分隔相邻的两个空间的壁上的开口部，上述真空室用于在真空条件下对基板进行处理。

背景技术

为了在真空条件下对FPD(平板显示器)用的玻璃基板等基板进行等离子蚀刻、等离子灰化(ashing)、等离子成膜等处理，而使用真空处理系统。该真空处理系统例如包括：处理室，其用于对基板进行处理；输送室，其收容用于向处理室送入基板和从处理室送出基板的输送装置；闸阀装置，其被设置在处理室和输送室之间。处理室和输送室都是用于在真空条件下对基板进行处理的真空室。

处理室具有在送入基板或送出基板时供基板通过的开口部。被设置在处理室和输送室之间的闸阀装置具有用于开闭处理室的开口部的阀芯。通过利用该阀芯封闭处理室的开口部，能气密地密封处理室。

在处理室内进行的处理包括像氧化膜蚀刻那样在处理过程中产生能堆积的副产物的处理。当在这样的处理中有副产物附着在处理室的内壁上时，该副产物从内壁剥落而产生微粒(浮游粒子)，该微粒有可能引起蚀刻不良。因此，在进行这样的处理时，为了防止副产物附着到处理室的内壁上，利用恒温装置使高温的介质在处理室的周围循环，使处理室升温到100℃左右。

在处理室内，在进行处理时，处理室的开口部被闸阀装置的阀芯封闭。在该状态下，阀芯的表面的一部分露于处理室内的空间。不能利用恒温装置使阀芯直接升温。另外，阀芯和处理室的接触面积小，因此，即使如上所述地利用恒温装置使处理室升温到100℃左右，阀芯也无法同样地升温。因此，在利用阀芯封闭处理室的开口部的状态下，副产物容易附着于阀芯表面的露于处理室内的空间中的部分上。当副产物附着于该部分上时，与副产物附着在处理室的内壁上的情况相同地会产生微粒，有可能产生蚀刻不良。

因此，以往为了防止副产物附着在阀芯的表面上，例如专利文献1～3所记载那样，提出了在阀芯上安装加热器而利用加热器直接加热阀芯。

专利文献1：日本特开2001-4505号公报

专利文献2：日本特开平10-132095号公报

专利文献3：日本特开平11-325313号公报

不过，在闸阀装置中，为了开闭开口部而需要使阀芯移动的驱动机构。为了防止阀芯与其他构造物摩擦而产生微粒，该驱动机构优选使阀芯不与其他构造物产生摩擦的机构。作为这样地使阀芯不与其他构造物产生摩擦的机构，例如想出了如下机构：在阀芯进行封闭开口部的动作时，使阀芯沿与具有开口部的壁的面平行的方向移动到与开口部相对的位置，之后使阀芯朝着开口部而沿与壁的面垂直的方向移动；在阀芯进行打开开口部的动作时，使阀芯进行与封闭开口部时相反的动作。这样的机构例如能通过经由连杆机构将阀芯连接于被沿与壁面平行的方向驱动的基座构件上来实现。

在此，在包括经由连杆机构在基座构件上连接阀芯而成的驱动机构的闸阀装置中，对在阀芯上安装加热器的情况进行了思考。认为在这种情况下，为了对加热器供电，而将供电用的电缆设置成经由基座构件和连杆机构与加热器相连接。但是，在包括经由连杆机构在基座构件上连接阀芯而成的驱动机构的闸阀装置中，随着利用阀芯开闭开口部的动作，被一体化的阀芯和加热器与基座构件之间的相对位置关系发生变化，因此存在难以将供电用的电缆设置成经由基座构件和连杆机构与加热器相连接的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题点而做成的，其目的在于提供一种能够在用于开闭开口部的阀芯上安装加热器且容易对该加热器供电的闸阀装置。

本发明的闸阀装置包括：阀芯，其用于开闭设置在将相邻的两个空间隔开的壁上的开口部；阀芯移动部件，其为了利用上述阀芯开闭上述开口部而使阀芯移动；加热器，其用于加热上述阀芯；连接器，其与上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的电力输出部电连接而且是物理连接。上述阀芯、加热器和连接器被一体化。上述连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电连接而且是物理连接，在上述阀芯打开了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电分离而且是物理分离。

在本发明的闸阀装置中，上述电力输出部也可以被固定在上述壁上。

另外，本发明的闸阀装置还包括用于收容上述阀芯、加热器和连接器的壳体，上述电力输出部也可以被固定在上述壳体上。这种情况下，上述壳体具有构成上述壁的至少一部分的壁构成部分，上述电力输出部也可以被固定在上述壁构成部分上。

另外，本发明的闸阀装置还包括开关，该开关被设置在用于对上述电力输出部供电的电源和上述电力输出部之间，用于选择对上述电力输出部供电和断电。

另外，本发明的闸阀装置还可以包括副连接器，该副连接器与上述阀芯、加热器和连接器一体化，能上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的第2电力输出部电连接而且是物理连接。上述副连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述副连接器与上述第2电力输出部电分离而且是物理分离，在上述阀芯打开了上述开口部的特定的状态下，上述副连接器与上述第2电力输出部电连接而且是物理连接。

另外，本发明的闸阀装置还可以包括上述第2电力输出部。这种情况下，闸阀装置还可以包括用于收容上述阀芯、加热器、连接器和副连接器的壳体，上述第2电力输出部被固定在上述壳体上。另外，闸阀装置还可以包括开关，该开关被设置在用于对上述第2电力输出部供电的电源和上述第2电力输出部之间，用于选择对上述第2电力输出部供电和断电。

另外，在本发明的闸阀装置中，上述阀芯移动部件包括：基座构件；驱动部件，其使上述基座构件沿与上述壁的面平行的方向移动；连杆机构，其用于连接上述基座构件和上述阀芯，在利用上述阀芯封闭上述开口部时，使上述阀芯沿与上述壁的面平行的方向移动到与上述开口部相对的位置之后，使上述阀芯朝着上述开口部沿与上述壁的面垂直的方向移动，在上述阀芯打开上述开口部时，使上述阀芯进行与封闭上述开口部时相反的动作。

而且，在本发明的闸阀装置中，上述两个空间中的一个也可以位于在真空条件下对基板进行处理的真空室的内部。

在本发明的闸阀装置中，在阀芯打开了开口部的状态下，与加热器电连接的连接器与电力输出部电分离而且是物理分离，而在阀芯封闭了开口部的状态下，连接器与电力输出部电连接而且是物理连接，能对加热器供电。这样，采用本发明的闸阀装置，起到如下效果：不需要与加热器直接连接那样设置供电用的电缆，能在阀芯上安装加热器，而且容易对加热器供电。

附图说明

图1是概略地表示包括本发明的第1实施方式的闸阀装置在内的真空处理系统的立体图。

图2是概略地表示图1所示的真空处理系统的内部的俯视图。

图3是表示本发明的第1实施方式的闸阀装置的构成的剖视图。

图4是表示图3所示的闸阀装置的另一状态的剖视图。

图5是表示图3所示的闸阀装置的又一状态的剖视图。

图6是表示图4所示的状态下的闸阀装置的阀芯、加热器和连接器部的主视图。

图7是表示与图6所示的连接器部相连接的端子部的主视图。

图8是表示本发明的第1实施方式的闸阀装置的电路构成的电路图。

图9是用于说明本发明的第1实施方式的闸阀装置的动作的说明图。

图10是表示本发明的第2实施方式的闸阀装置的构成的剖视图。

图11是表示图10所示的闸阀装置的另一状态的剖视图。

图12是表示图10所示的闸阀装置的又一状态的剖视图。

图13是表示本发明的第3实施方式的闸阀装置的构成的剖视图。

图14是表示图13所示的闸阀装置的另一状态的剖视图。

图15是表示图13所示的闸阀装置的又一状态的剖视图。

图16是表示图14所示的状态下的闸阀装置的阀芯、加热器、连接器部、副连接器部和副端子部的主视图。

图17是表示本发明的第3实施方式的闸阀装置的电路构成的电路图。

具体实施方式

第1实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细地说明。首先，参照图1和图2，对作为包括本发明的第1实施方式的闸阀装置的系统的一个例子的真空处理系统100的构成进行说明。图1是概略地表示真空处理系统100的立体图。图2是概略地表示真空处理系统100的内部的俯视图。真空处理系统100例如构成为用于对FPD用的玻璃基板(以下简称为“基板”)S进行等离子处理的处理系统。另外，作为FPD，能列举出液晶显示器(LCD)、电致发光(Electro Luminescence；EL)显示器、等离子显示面板(PDP)等。

真空处理系统100具有呈十字形连结的5个真空室。具体来说，真空处理系统100的5个真空室包括：3个处理室101a、101b、101c、输送室103以及加载互锁真空室105。在这些真空室中，输送室103被配置在中央。输送室103具有4个侧面。处理室101a、101b、101c和加载互锁真空室105被配置为与输送室103的各侧面相邻。

虽未图示，但真空处理系统100还包括分别安装在处理室101a、101b、101c上的3个恒温装置。这3个恒温装置分别将处理室101a、101b、101c升温到规定的温度(例如120℃)。

处理室101a、101b、101c构成为能将其内部空间保持成规定的减压气氛(真空状态)。在处理室101a、101b、101c内分别配置有作为用于载置基板S的载置台的基座102。

在处理室101a、101b、101c中，在将基板S载置于基座102上的状态下，例如在真空条件下对基板S进行蚀刻处理、灰化处理、成膜处理等等离子处理。在处理室101a、101b、101c内分别收容有用于在处理室101a、101b、101c内进行处理的装置。在真空处理系统100中，既可以用3个处理室101a、101b、101c进行同样的处理，也可以在每个处理室内进行不同种类的处理。另外，处理室的数量不限于3个，也可以是4个以上。

输送室103构成为与处理室101a、101b、101c同样地能保持成规定的减压气氛。真空处理系统100还包括设置在输送室103内的输送装置133。输送装置133具有用于输送基板S的梳齿状的叉状件135，该叉状件135构成为能进入、退避和转动。利用该输送装置133在处理室101a、101b、101c和加载互锁真空室105之间进行基板S的输送。

加载互锁真空室105构成为与处理室101a、101b、101c和输送室103同样地能保持成规定的减压气氛。加载互锁真空室105用于在减压气氛的输送室103和外部的大气气氛之间进行基板S的交接。

基于加载互锁真空室105反复处于大气状态和真空状态的关系，尽量减小加载互锁真空室105的内部容积。在加载互锁真空室105中隔开间隔地配设有用于支持基板S的多个缓冲器138。这些缓冲器138彼此之间的间隙成为梳齿状的叉状件(例如叉状件135)的退避槽。

真空处理系统100还包括5个闸阀装置10a、10b、10c、10d、10e。闸阀装置10a被配置在输送室103和处理室101a之间。闸阀装置10b被配置在输送室103和处理室101b之间。闸阀装置10c被配置在输送室103和处理室101c之间。闸阀装置10d被配置在输送室103和加载互锁真空室105之间。闸阀装置10e被配置在加载互锁真空室105的与闸阀装置10d相反的一侧。闸阀装置10a～10e都具有对设置在隔开相邻的两个空间的壁上的开口部进行开闭的功能。

闸阀装置10a～10d在关闭状态下能对各室进行气密地密封，并且在打开状态下能使各室间连通，从而能在各室之间移送基板S。闸阀装置10e在关闭状态下能保持加载互锁真空室105的气密性，并且在闸阀装置10e打开的状态下，能在加载互锁真空室105内和外部之间移送基板S。

真空处理系统100还包括输送装置125，该输送装置125被配置在与加载互锁真空室105之间夹着闸阀装置10e的位置。输送装置125包括：作为基板保持件的叉状件127；使叉状件127能进入、退避和转动地支承叉状件127的支承部129；具有用于驱动该支承部129的驱动机构的驱动部131。

真空处理系统100还包括配置在驱动部131两侧的送盒器(cassette indexer)121a、121b和分别载置在送盒器121a、121b上的盒C1、C2。送盒器121a、121b分别具有用于使盒C1、C2升降的升降机构部123a、123b。在各盒C1、C2内能上下隔开间隔地配置多层基板S。输送装置125的叉状件127被配置在盒C1、C2之间。

另外，虽然图1和图2未图示，但真空处理系统100还包括对在真空处理系统100中需要控制的构成元件进行控制的控制部。控制部例如包括具有CPU的控制器、与控制器相连接的用户介面、与控制器相连接的存储部。控制器对在真空处理系统100中需要控制的构成元件进行统一控制。用户介面由键盘和显示器等构成，上述键盘供工序管理人员进行用于管理真空处理系统100的命令的输入操作等，上述显示器用于使真空处理系统100的工作状况可视化而进行显示。在存储部保存有记录了控制程序(软件)和处理条件数据等的制程程序，上述控制程序用于通过控制器的控制来实现在真空处理系统100中执行的各种处理。并且，根据需要，利用来自用户界面的指令等从存储部读出任意的制程程序来让控制器执行，从而在控制器的控制下，在真空处理系统100中进行期望的处理。

上述控制程序和处理条件数据等的制程程序能利用被存储在计算机可读的存储介质例如CD-ROM、硬盘、软盘、闪存等中的状态的程序。或者，能从其他装置例如经由专用线路随时传送而在线利用等。

下面，说明真空处理系统100的动作。首先，驱动输送装置125的叉状件127进退，从盒C1接收未处理的基板S，将该基板S载置到加载互锁真空室105的缓冲器138上。接着，使叉状件127从加载互锁真空室105退避。

接着，关闭加载互锁真空室105的大气侧的闸阀装置10e。接着，对加载互锁真空室105内进行排气，将内部减压到规定的真空度。接着，打开输送室103和加载互锁真空室105之间的闸阀装置10d。接着，利用输送装置133的叉状件135接收被收容在加载互锁真空室105中的基板S。

接着，利用输送装置133的叉状件135，将基板S送入到处理室101a、101b、101c中的任一个内，并交接到基座102上。接着，关闭送入了基板S的处理室和输送室103之间的闸阀装置。

接着，在被送入了基板S的处理室内，对基板S进行蚀刻等规定处理。接着，处理结束时，打开进行了处理的处理室和输送室103之间的闸阀装置。接着，将处理完毕的基板S从基座102交接到输送装置133的叉状件135上，处理完毕的基板S被从处理室送出。

基板S以与送入时相反的路径经由加载互锁真空室105利用输送装置125收容在盒C2内。另外，处理完毕的基板S也可以返回到原来的盒C1中。

下面，参照图3～图8详细地说明本实施方式的闸阀装置的构成。图3～图5是表示本实施方式的闸阀装置的构成的剖视图。另外，图3表示闸阀装置的打开状态，图4和图5表示闸阀装置的关闭状态。图6是表示图4所示的状态下的闸阀装置的阀芯、加热器和连接器部的主视图。图7是表示与图6所示的连接器部相连接的连接器部的主视图。图8是表示本实施方式的闸阀装置的电路构成的电路图。

本实施方式的闸阀装置10可以适用于图1和图2所示的真空处理系统100中的5个闸阀装置10a、10b、10c、10d、10e的任一个，特别是适合用于设置在处理室101a、101b、101c和输送室103之间的闸阀装置10a、10b、10c。因此，下面以适用于闸阀装置10a、10b、10c的情况为例来说明本实施方式的闸阀装置10。在本例中，闸阀装置10被配置在腔室101和输送室103之间。腔室101是处理室101a、101b、101c中的任一个。另外，在图3～图5中省略了输送室103的图示。

如图3～图5所示，腔室101具有划分出腔室101内的空间的壳体111。壳体111包括与闸阀装置10相邻的壁111A。该壁111A用于分隔腔室101内的空间和与该腔室101相邻的闸阀装置10侧的空间。在壁111A上设置有开口部112，该开口部112做成为能在腔室101和输送室103之间移送基板S。壁111A具有面向闸阀装置10的面111AS。在壁111A上以在面111AS上暴露出的方式埋入有端子部40并加以固定。

闸阀装置10包括：壳体11；用于开闭开口部112的阀芯12；为了开闭开口部112而使阀芯12移动的阀芯移动装置20；用于加热阀芯12的加热器13；连接器部30。阀芯12、加热器13和连接器部30被一体化。壳体11用于收容阀芯移动装置20的一部分和上述被一体化了的阀芯12、加热器13及连接器部30。阀芯移动装置20与本发明的阀芯移动部件相对应。

壳体11呈具有上部、底部以及连结上部和底部的两个侧部的四方筒形状。壳体11的靠腔室101侧的一端(图3的右端)和靠输送室103侧的一端(图3的左端)分别开口。

阀芯12呈大致长方体形状。阀芯12包括：面向腔室101、能封闭开口部112的密封面12A；处于与该密封面12A相反的一侧的背面12B；上表面12C；底面12D；两个侧面12E、12F。密封面12A具有能封闭开口部112那样的大小。另外，在图6中，用双点划线表示开口部112。

在壁111A的面111AS上的开口部112的周围安装有O形密封圈19。如图4和图5所示，在阀芯12封闭了开口部112的状态下，O形密封圈19在整周上被夹在面111AS和密封面12A之间。由此腔室101被气密地密封。

加热器13以与底面12D接触的方式安装在阀芯12上。另外，只要是密封面12A以外的面，加热器13也能以与底面12D以外的面接触的方式安装在阀芯12上。作为加热器13，例如采用板型加热器。但是，加热器13不限于板型加热器，只要是接受电力的供给而发热的部件即可。

如图8所示，闸阀装置10还包括用于测量阀芯12的温度的温度传感器73。在图3～图6中，未图示温度传感器73，温度传感器73被安装在阀芯12上。

阀芯移动装置20包括：气缸21、基座构件22、连杆(link)23、24、25、26。气缸21包括缸部21a和活塞杆(rod)部21b。缸部21a被安装在壳体11的底部。活塞杆部21b从缸部21a穿过形成在壳体11的底部上的开口部而朝着壳体11的内部突出。活塞杆部21b的一部分被收容在缸部21a中。活塞杆部21b在供给到缸部21a中的空气的作用下，沿缸部21a和连杆21b的轴向(图3的上下方向)往复运动。另外，也可以替代气缸21而使用液压缸、由电动机驱动的滚珠丝杠机构。

基座构件22被安装在活塞杆部21b的顶端部。基座构件22例如与阀芯12同样地呈大致长方体形状，基座构件22具有面向阀芯12的前表面、与前表面相反的一侧的背面、上表面、底面和两个侧面。气缸21使基座构件22沿与壁111A的面111AS平行的方向移动。气缸21与本发明的驱动部件相对应。

连杆23～26构成用于连接基座构件22和阀芯12的连杆机构。如图3～图6所示，连杆23、24的一端部能相对于阀芯12的侧面12E转动地与阀芯12的侧面12E相连接，连杆23、24的另一端部能相对于基座构件22的对应于侧面12E的侧面转动地与基座构件22的对应于侧面12E的侧面相连接。同样地，连杆25、26的一端部能相对于阀芯12的侧面12F转动地与阀芯12的侧面12F相连接，连杆25、26的另一端部能相对于基座构件22的对应于侧面12F的侧面转动地与基座构件22的对应于侧面12F的侧面相连接。

虽未图示，但基座构件22包括：弹簧，其用于对连杆23～26施力，使它们以各自的与基座构件22的侧面相连接的连接部为中心向图3中的逆时针方向转动；挡块，其用于限制连杆23～26向逆时针方向的转动。图3表示连杆23～26的转动被挡块限制的状态。在该状态下，阀芯12的上表面12C位于比基座构件22的上表面靠上方的位置。

在阀芯12的上表面12C上能旋转地安装有辊15、16。辊15、16的一部分自上表面12C向上方突出。另外，作为辊15、16能使用圆柱状、球状等各种形状的部件。

阀芯移动装置20使阀芯12在图3所示的待机位置和图4、图5所示的封闭位置之间移动。关于阀芯移动装置20的动作，后述详细地说明。

下面，对连接器部30和端子部40进行详细地说明。连接器部30具有后面说明的4个连接器，端子部40具有后面说明的4个输入输出端子。连接器部30和端子部40被配置在下述位置：在阀芯12处于封闭位置时，连接器部30的4个连接器和端子部40的4个输入输出端子互相连接那样的位置。在图3～图6所示的例子中，连接器部30被安装在加热器13的底面上。但是，连接器部30也可以被设置在阀芯12的底面12D等其他位置上。

如图6所示，连接器部30包括：由绝缘材料构成的主体30A和由该主体30A保持的电力用连接器31、32和传感器用连接器33、34。主体30A具有面向腔室101的面30AS和在该面30AS上开口、分别收容连接器31、32、33、34的4个凹部。连接器31、32与加热器13电连接。连接器33、34与温度传感器73电连接。另外，在不需要测量阀芯12的温度的情况下，也可以不设置温度传感器73和连接器33、34。

在此，参照图3和图6，说明连接器31、32、33、34的构造的一个例子。在该例子中，连接器31、32、33、34分别具有能进退地被收容在对应的凹部内的金属制的插头31a、32a、33a、34a。插头31a、32a、33a、34a分别呈具有凸缘的大致圆柱形状。连接器31、32、33、34分别还具有弹簧，该弹簧被收容在对应的凹部内，用于对插头31a、32a、33a、34a向从对应的凹部突出的方向(图3的右方向)施力。另外，图3中只表示了连接器31、32、33、34的弹簧中的、连接器31的弹簧31b。另外，用于收容连接器31、32、33、34的凹部分别以连接器31、32、33、34不从凹部脱出的方式保持插头31a、32a、33a、34a。插头31a、32a与加热器13电连接，插头33a、34a与温度传感器73电连接。

如图3和图7所示，端子部40具有由绝缘材料构成的主体40A和由该主体40A保持的电力输出端子41、42及传感器输入端子43、44。下面将电力输出端子41、42和传感器输入端子43、44也记为输入输出端子41、42、43、44。主体40A具有面向闸阀装置10的面40AS以及在该面40AS上开口、分别收容输入输出端子41、42、43、44的4个凹部。如图7所示，为了提高电力输出端子41、42和其周边部分之间的绝缘性，在面40AS上的电力输出端子41、42的周围安装有O形密封圈45、46。另外，在不需要测量阀芯12的温度的情况下，也可以不设置传感器输入端子43、44。

如图4和图5所示，在阀芯12封闭了开口部112的状态下，连接器31、32、33、34的插头31a、32a、33a、34a分别与输入输出端子41、42、43、44接触。由此，连接器31、32、33、34(插头31a、32a、33a、34a)分别与输入输出端子41、42、43、44电连接而且是物理连接。另外，在该状态下，O形密封圈45、46被夹在面30AS和面40AS之间。

输入输出端子41、42、43、44分别连接有导线。这4根导线例如穿过形成在壁111A内部的孔而引出到壳体111的外部。

如图8所示，真空处理系统100包括用于产生向加热器13供给的电力的电源71、开关49和控制部72。电力输出端子41、42经由开关49与电源71电连接。开关49是用于选择导通状态和断开状态的部件。图8表示开关49被设置在电力输出端子41和电源71之间的例子。但是，代替这样的开关49，也可以在电力输出端子41与电源71之间和电力输出端子42与电源71之间设置同时导通或同时断开的开关。连接器31、32与电力输出端子41、42相连接，而且在开关49处于导通状态时，能从电源71向加热器13供电。电力输出端子41、42与本发明的电力输出部相对应。

传感器输入端子43、44与控制部72相连接。因此，在连接器33、34与传感器输入端子43、44相连接时，温度传感器73与控制部72相连接。控制部72例如对真空处理系统100中需要控制的构成元件进行统一控制。控制部72为了控制闸阀装置10的动作而获得由温度传感器73得到的阀芯12的温度信息，并且对气缸21、电源71和开关49进行控制。控制部72与温度传感器73经由连接器33、34和传感器输入端子43、44相连接。另外，控制部72也可以不是对真空处理系统100中需要控制的构成元件进行统一控制的部件，而是只进行闸阀装置10的控制的部件。该情况下的控制部72例如由在真空处理系统100中进行统一控制的其他控制部控制。

后述详细说明，在本实施方式中，与加热器13相连接的连接器31、32以如下方式与阀芯12联动：在阀芯12封闭了开口部112的状态下，连接器31、32与作为电力输出部的电力输出端子41、42电连接而且是物理连接，在阀芯12打开了开口部112的状态下，连接器31、32与电力输出端子41、42电分离而且是物理分离。

另外，在此前的说明中，闸阀装置10作为构成元件不包括端子部40、开关49和电源71。但是，闸阀装置10作为构成元件也可以包括端子部40，还可以包括开关49，还可以包括电源71。

下面，参照图3～图5和图9，以在腔室101内对基板S实施规定处理的情况为例，详细地说明本实施方式的闸阀装置10的动作。图9是用于说明闸阀装置10的动作的说明图。在图9中，表示向腔室101送入基板S到从腔室101送出处理完毕的基板S的6个步骤的各自的动作内容、开口部112的状态和加热器13的状态。

在图9的步骤1中，将开口部112打开，通过开口部112，从输送室103向腔室101送入基板S。在该步骤1中，阀芯12处于待机位置。图3表示阀芯12处于待机位置的状态。阀芯12的待机位置是气缸21的活塞杆部21b的顶端部位于可动范围的最下端时的阀芯12的位置。阀芯12处于待机位置的状态下，阀芯12打开开口部112。在该状态下，通过开口部112，从输送室103向腔室101送入基板S。

另外，在步骤1中，加热器13处于断开(OFF)状态、即未供电状态。在阀芯12处于包括待机位置的状态在内的、开口部112呈打开着的状态下，连接器部30和端子部40互相分离。因此，与加热器13相连接的连接器31、32从作为电力输出部的电力输出端子41、42电分离而且是物理分离。因此，在开口部112呈打开着的状态下，未向加热器13供电。另外，在开口部112呈打开着的状态下，开关49被设定为断开状态。

在接下来的步骤2中，进行利用阀芯12封闭开口部112的动作。在从图3所示的状态开始利用阀芯12进行封闭开口部112时，利用阀芯移动装置20的气缸21使基座构件22上升。随着基座构件22的上升，阀芯12也上升。此时，直到辊15、16与壳体11的上部相抵接，阀芯12沿与壁111A的面111AS平行的方向移动。

辊15、16与壳体11的上部相抵接时，阀芯12到达与开口部112相对的位置。从该状态利用气缸21进一步使基座构件22上升时，阀芯12无法上升，因此连杆23～26以与这些基座构件22的侧面相连接的连接部为中心而沿图3中的顺时针方向转动，并且阀芯12朝着开口部112沿与壁111A的面111AS垂直的方向移动。此时，在辊15、16的作用下，阀芯12不与壳体11摩擦而顺畅地移动。并且，最终，如图4所示，阀芯12的密封面12A压靠在壁111A的面111A S上，开口部112被阀芯12封闭。此刻阀芯移动装置20的动作停止。开口部112被阀芯12封闭时，连接器部30与端子部40相连接。具体来说，连接器31、32、33、34的插头31a、32a、33a、34a分别与输入输出端子41、42、43、44相接触，由此连接器31、32、33、34(插头31a、32a、33a、34a)分别与输入输出端子41、42、43、44电连接而且是物理连接。

如图4所示，在通过上述动作使阀芯12封闭了开口部112的时刻，开关49处于断开状态。因此，此刻未向加热器13供电。

在接下来的步骤3中，加热器13处于连通(ON)状态、即处于被供电的状态。这样，加热器13处于连通状态是在利用阀芯12封闭了开口部112之后。在步骤3中，如图5所示，开关49被设定为导通状态。由此，从电源71经由电力输出端子41、42和连接器31、32对加热器13供电，加热器13发热而对阀芯12进行加热。而且，此时，温度传感器73经由连接器33、34和传感器输入端子43、44与控制部72相连接。控制部72取得由温度传感器73所得到的阀芯12的温度信息，基于该温度信息控制电源71，从而控制阀芯12的温度。另外，控制部72也可以为了控制阀芯12的温度而切换开关49的导通状态和断开状态。

在接下来的步骤4中，在开口部112被阀芯12封闭、对加热器13供电、阀芯12被加热的状态下，在腔室101中对基板S进行蚀刻等规定处理。

腔室101中的处理结束时，在接下来的步骤5中，在开口部112被阀芯12封闭的状态下，将开关49设定为断开状态，停止对加热器13供电。

在接下来的步骤6中，打开开口部112，通过开口部112，从腔室101向输送室103送出处理完毕的基板S。在该步骤6中，利用阀芯移动装置20使阀芯12进行与封闭开口部112时相反的动作，打开开口部112。即，利用阀芯移动装置20的气缸21使基座构件22下降。此时，在最初的期间中，辊15、16与壳体11的上部相抵接的状态下，连杆23～26以与这些基座构件22的侧面相连接的连接部为中心而向图3中的逆时针方向转动，并且阀芯12沿与壁111A的面111AS垂直的方向移动以从开口部112离开。由此，开口部112被打开。而且，阀芯12打开开口部112时，连接器部30与端子部40分离。

连杆23～26转动到被挡块限制的位置时，之后，随着基座构件22的下降，阀芯12也下降。此时，阀芯12沿与壁111A的面111AS平行的方向移动。并且，最终，阀芯12到达图3所示的待机位置，阀芯移动装置20的动作停止。之后，通过开口部112，从腔室101向输送室103送出处理完毕的基板S。

接着，说明本实施方式的闸阀装置10的效果。本实施方式的闸阀装置10具有用于加热阀芯12的加热器13。因此，采用该闸阀装置10，在腔室101内进行产生副产物的处理的情况下，通过利用加热器13加热阀芯12，能防止副产物附着在阀芯12的表面上。由此，采用本实施方式，能防止产生微粒，结果，能防止因微粒而产生的蚀刻不良等不良情况。

另外，在本实施方式中，阀芯12、加热器13、包括与加热器13电连接的连接器31、32的连接器部30被一体化。并且，连接器31、32以如下方式与阀芯12联动：在阀芯12封闭了开口部112的状态下，连接器31、32与作为电力输出部的电力输出端子41、42电连接而且是物理连接，在阀芯12打开了开口部112的状态下，连接器31、32与电力输出端子41、42电分离而且是物理分离。因此，在本实施方式中，只在阀芯12封闭了开口部112的状态下，连接器31、32与作为电力输出部的电力输出端子41、42电连接而且是物理连接，能对加热器13供电。这样，采用本实施方式，在闸阀装置10的壳体11内，不像经由基座构件22和连杆机构与加热器13直接连接那样设置供电用的电缆，能容易地对加热器13供电。

而且，本实施方式的闸阀装置10不具有经由阀芯移动装置20与加热器13相连接那样的供电用的电缆。因此，采用本实施方式，容易地进行闸阀装置10的安装和维护。

另外，在本实施方式中，在电源71和电力输出端子41、42之间设置有用于选择从电源71向电力输出端子41、42供电和断电的开关49。并且，在从开口部112呈打开着的状态转变到开口部112被封闭的状态时，开口部112被封闭，连接器31、32与电力输出端子41、42相连接，然后将开关49设定为导通状态而对电力输出端子41、42供电。而且，在从开口部112被封闭的状态转变到开口部112被打开的状态时，将开关49设定为断开状态，对电力输出端子41、42的供电被断开，然后开口部112被打开而连接器31、32与电力输出端子41、42分离。因此，在本实施方式中，电力输出端子41、42在与电源71相连接的状态下不会露出。因此，采用本实施方式，能防止由电力输出端子41、42产生电弧放电和自电力输出端子41、42漏电。

另外，在本实施方式中，在连接器部30与端子部40相连接的状态下，为了提高电力输出端子41、42与其周边部分之间的绝缘性，设置在电力输出端子41、42周围的O形密封圈45、46被夹在连接器部30的主体30A的面30AS和端子部40的主体40A的面40AS之间。由此，采用本实施方式，能更加有效地防止由电力输出端子41、42产生电弧放电和自电力输出端子41、42漏电。

另外，在本实施方式中，加热器13被安装在阀芯12的表面上。因此，采用本实施方式，与将加热器13设置在阀芯12的内部的情况相比，能防止阀芯12的刚性的降低。

第2实施方式

下面，参照图10～图12，说明本发明的第2实施方式的闸阀装置。图10～图12是表示本实施方式的闸阀装置的构成的剖视图。另外，图10表示闸阀装置的打开状态，图11和图12表示闸阀装置的关闭状态。

下面对本实施方式的闸阀装置80与第1实施方式的闸阀装置10的不同点进行说明。闸阀装置80代替闸阀装置10的壳体11而具有壳体81。壳体81呈具有上部、底部、将上部和底部连结起来的4个侧部的箱形状。壳体81的4个侧部中的1个与腔室101的壳体111的壁111A相接触。将该侧部称为壁构成部分81A。该壁构成部分81A构成用于将腔室101内的空间和与该腔室101相邻的闸阀装置10侧的空间隔开的壁的至少一部分。壁构成部分81A具有与壁111A相接触的面和与该面相反侧的面81AS。另外，壳体81的4个侧部中的、与壁构成部分81A相反侧的侧部81B与未图示的输送室103相接触。

在壁构成部分81A和侧部81B上分别设有开口部82、83，该开口部82、83做成为能移送基板S。开口部82与腔室101的壁111A的开口部112相连续。作为一个例子，从与和壁构成部分81A相接触的壁111A的面垂直的方向看时，开口部82、83的形状和位置与开口部112的形状和位置一致。在本实施方式中，阀芯12对开口部82进行开闭。

在壁构成部分81A的面81AS的开口部82的周围安装有O形密封圈89。如图11和图12所示，在阀芯12封闭了开口部82的状态下，O形密封圈89在整周上被夹在面81AS和密封面12A之间。由此，腔室101被气密地密封。

在本实施方式中，端子部40以在面81AS上露出的方式埋入壁构成部分81A而被固定。与输入输出端子41、42、43、44相连接的4根导线例如通过形成在壁构成部分81A内部的孔而引出到壳体81的外部。

而且，在本实施方式中，气缸21的缸部21a被安装在壳体81的底部。气缸21的活塞杆部21b从缸部21a通过形成在壳体81底部的开口部而朝向壳体81的内部突出。

在本实施方式中，闸阀装置80作为构成元件包括端子部40。闸阀装置80作为构成元件也可以包括开关49，还可以包括电源71。

下面，参照图10～图12，说明本实施方式的闸阀装置80的动作。图10表示阀芯12处于待机位置的状态。在阀芯12处于待机位置的状态、开口部82呈打开着的状态下，连接器部30与端子部40互相分离。因此，与加热器13相连接的连接器31、32与作为电力输出部的电力输出端子41、42电分离而且是物理分离。所以，在开口部82呈打开着的状态下，不对加热器13供电。另外，在开口部82呈打开着的状态下，开关49被设定为断开状态。在该状态下，通过开口部83、82、112将基板S从输送室103送入到腔室101内。

从图10所示的状态开始利用阀芯12封闭开口部82时，与第1实施方式同样地利用阀芯移动装置20使阀芯12移动。由此，如图11所示，阀芯12的密封面12A被压靠在壁81A的面81AS上，开口部82被阀芯12封闭。在阀芯12封闭了开口部82的时刻，开关49处于断开状态。因此，此刻不对加热器13供电。

开口部82被阀芯12封闭了之后，如图12所示，将开关49设定为导通状态。由此，从电源71经由电力输出端子41、42和连接器31、32对加热器13供电，加热器13发热而对阀芯12进行加热。

之后，在腔室101中对基板S进行蚀刻等规定处理。腔室101中的处理结束时，在开口部82被阀芯12封闭的状态下，将开关49设定为断开状态，停止对加热器13供电。接着，与第1实施方式同样地利用阀芯移动装置20使阀芯12移动，打开开口部82。另外，阀芯12打开开口部82时，连接器部30与端子部40分离。

在本实施方式中，闸阀装置80具有端子部40。因此，在本实施方式中，不会对现有的不具有端子部40的腔室101进行任何变更，就能设置本实施方式的闸阀装置80。

本实施方式的其他构成、作用和效果与第1实施方式相同。

第3实施方式

下面，参照图13～图17，说明本发明的第3实施方式的闸阀装置。图13～图15是表示本实施方式的闸阀装置的构成的剖视图。另外，图13表示闸阀装置的打开状态，图14和图15表示闸阀装置的关闭状态。图16是表示图14所示的状态下的闸阀装置的阀芯、加热器、连接器部、副连接器部和副端子部的主视图。图17是表示本实施方式的闸阀装置的电路构成的电路图。

本实施方式的闸阀装置90除了第1实施方式的闸阀装置10的构成元件之外，还具有副连接器部50和副端子部60。副连接器部50与阀芯12、加热器13以及连接器部30一体化。副端子部60被固定在壳体11的底部。副连接器部50具有后面说明的4个副连接器，副端子部60具有后面说明的4个副输入输出端子。副连接器部50和副端子部60被配置在：在阀芯12处于待机位置时，副连接器部50的4个副连接器和副端子部60的4个副输入输出端子互相连接这样的位置。在图13～图16所示的例子中，副连接器部50被安装在加热器13的底面上。但是，副连接器部50也可以被设置在阀芯12的底面12D上等其他位置。在本实施方式中，阀芯12处于待机位置的状态与本发明的“阀芯打开了开口部的特定的状态”相对应。

副连接器部50的构成与连接器部30的构成相同。即，副连接器部50具有由绝缘材料构成的主体50A和由该主体50A保持的电力用副连接器51、52及传感器用副连接器53、54。主体50A具有朝下的面50AS和在该面50AS上开口并各自收容副连接器51、52、53、54的4个凹部。副连接器51、52与加热器13电连接。副连接器53、54与温度传感器73电连接。另外，在不需要测量阀芯12的温度的情况下，也可以不设置副连接器53、54。

在此，参照图14和图16，说明副连接器51、52、53、54的构造的一个例子。在该例子中，副连接器51、52、53、54分别具有能进退地收容在对应的凹部内的金属制的插头51a、52a、53a、54a。插头51a、52a、53a、54a分别呈具有凸缘的大致圆柱形状。副连接器51、52、53、54分别还具有弹簧，该弹簧被收容在对应的凹部内，对插头51a、52a、53a、54a向从对应的凹部突出的方向(图14的下方向)施力。另外，图14只示出了副连接器51、52、53、54的弹簧中的、副连接器51的弹簧51b。另外，用于收容副连接器51、52、53、54的凹部分别以使副连接器51、52、53、54不从凹部脱出的方式保持插头51a、52a、53a、54a。插头51a、52a与加热器13电连接，插头53a、54a与温度传感器73电连接。

副端子部60的构成与端子部40的构成相同。即，如图16所示，副端子部60具有由绝缘材料构成的主体60A和由该主体60A保持的副电力输出端子61、62及副传感器输入端子63、64。下面，副电力输出端子61、62和副传感器输入端子63、64都记为副输入输出端子61、62、63、64。主体60A具有朝上的面60AS和在该面60AS上开口、分别收容副输入输出端子61、62、63、64的4个凹部。在面60AS上，为了提高副电力输出端子61、62和其周边部分之间的绝缘性，在副电力输出端子61、62的周围安装有O形密封圈65、66。另外，在不需要测量阀芯12的温度的情况下，也可以不设置副传感器输入端子63、44。

如图13所示，在阀芯12处于待机位置的状态下，副连接器51、52、53、54的插头51a、52a、53a、54a分别与副输入输出端子61、62、63、64相接触。由此，副连接器51、52、53、54(插头51a、52a、53a、54a)分别与副输入输出端子61、62、63、44电连接而且是物理连接。而且，在该状态下，设置在副电力输出端子61、62周围的O形密封圈65、66被夹在面50AS和面60AS之间。

副输入输出端子61、62、63、64分别连接有导线。该4根导线例如通过形成在壳体11上的孔而引出到壳体11的外部。

如图17所示，副输入输出端子61、62经由开关69与电源71电连接。该开关69也可以是闸阀装置90的构成元件。开关69用于选择导通状态和断开状态。图17示出了开关69被设置在副电力输出端子61和电源71之间的例子。但是，代替这样的开关69，也可以在副电力输出端子61、电源71之间、副电力输出端子62和电源71之间设置同时导通或同时断开的开关。在副连接器51、52与副电力输出端子61、62相连接、且开关69处于导通状态时，能从电源71对加热器13供电。副电力输出端子61、62与本发明的第2电力输出部相对应。

副传感器输入端子63、44与控制部72相连接。因此，副连接器53、54与副传感器输入端子63、44相连接时，温度传感器73与控制部72相连接。另外，在图17中，省略了副连接器53、54和副传感器输入端子63、64的图示。控制部72为了控制闸阀装置90的动作而获得由温度传感器73得到的阀芯12的温度信息，并且控制气缸21、电源71和开关49、69，温度传感器73经由连接器33、34和传感器输入端子43、44或经由副连接器53、54和副传感器输入端子63、44与控制部72相连接。

下面，参照图13～图15，详细地说明本实施方式的闸阀装置90的动作。图13表示阀芯12处于待机位置的状态。在该状态下，阀芯12打开开口部112。在该状态下，通过开口部112，将基板S从输送室103送入到腔室101内。另外，在该状态下，连接器部30和端子部40互相分离，副连接器部50和副端子部60互相连接。具体来说，副连接器51、52、53、54的插头51a、52a、53a、54a分别与副输入输出端子61、62、63、64相接触，由此副连接器51、52、53、54(插头51a、52a、53a、54a)分别与副输入输出端子61、62、63、64电连接而且是物理连接。

如图13所示，在阀芯12处于待机位置的状态下，使开关69处于导通状态时，从电源71经由副电力输出端子61、62和副连接器51、52对加热器13供电，加热器13发热而对阀芯12进行加热。另外，此时，温度传感器73经由副连接器53、54和副传感器输入端子63、64与控制部72相连接。控制部72取得由温度传感器73得到的阀芯12的温度信息，基于该温度信息来控制电源71，从而控制阀芯12的温度。另外，控制部72也可以为了调整阀芯12的温度而切换开关69的导通状态和断开状态。

从图13所示的状态开始利用阀芯12封闭开口部112时，将开关69设定为断开状态，然后利用阀芯移动装置20的气缸21使基座构件22上升。随着基座构件22的上升，阀芯12也上升。由此，副连接器部50与副端子部60分离。利用阀芯12封闭开口部112时的闸阀装置90的动作与第1实施方式相同。

如图14所示，在阀芯12封闭了开口部112的时刻，开关49处于断开状态。因此，此刻未对加热器13供电。

在开口部112被阀芯12封闭了之后，如图15所示，将开关49设定为导通状态。由此，从电源71经由电力输出端子41、42和连接器31、32对加热器13供电，加热器13发热而对阀芯12进行加热。

之后，在腔室101中对基板S进行蚀刻等规定处理。腔室101中的处理结束时，在开口部112被阀芯12封闭的状态下，将开关49设定为断开状态，停止对加热器13供电。接着，与第1实施方式同样地利用阀芯移动装置20使阀芯12移动，打开开口部112。另外，阀芯12打开开口部82时，连接器部30与端子部40分离。阀芯12到达图13所示的待机位置时，副连接器部50与副端子部60相连接。

如上述说明那样，本实施方式的闸阀装置90除了第1实施方式的闸阀装置10的构成元件之外，还包括副连接器部50和副端子部60，该副连接器部50包括与加热器13电连接的副连接器51、52，该副端子部60包括作为第2电力输出部的副电力输出端子61、62。副连接器51、52以如下方式与阀芯12联动：在阀芯12封闭了开口部112的状态下，副连接器51、52与副电力输出端子61、62电分离而且是物理分离，在阀芯12打开了开口部112的特定的状态下即阀芯12处于待机位置的状态下，副连接器51、52与副电力输出端子61、62电连接而且是物理连接。

采用本实施方式，在利用阀芯12封闭开口部112之前，能对阀芯12进行预加热。由此，采用本实施方式，能够缩短利用阀芯12封闭了开口部112之后的阀芯12的加热时间。结果，采用本实施方式，能够缩短直到对基板S开始处理的等待时间，结果，能缩短整个工艺的处理时间。

而且，在本实施方式中，在从阀芯12处于待机位置的状态转变到开口部112被封闭的状态时，将开关69设定为断开状态之后，副连接器51、52与副电力输出端子61、62分离。另外，在从开口部112被封闭的状态转变到阀芯12处于待机位置的状态时，副连接器51、52与副电力输出端子61、62相连接了之后，将开关69设定为导通状态，对副电力输出端子61、62供电。因此，在本实施方式中，副电力输出端子61、62在与电源71相连接的状态下不会露出。因此，采用本实施方式，能防止由副电力输出端子61、62产生电弧放电和从副电力输出端子61、62漏电。

另外，在本实施方式中，在副连接器部50与副端子部60相连接的状态下，为了提高副电力输出端子61、62和其周边部分之间的绝缘性，设置在副电力输出端子61、62周围的O形密封圈65、66被夹在副连接器部50的面50AS和副端子部60的面60AS之间。由此，采用本实施方式，能更加有效地防止由副电力输出端子61、62产生电弧放电和从副电力输出端子61、62漏电。

本实施方式的其他构成、作用和效果与第1实施方式相同。

另外，本发明不限于上述各实施方式，能进行各种变更。例如，在第3实施方式中，闸阀装置代替壳体11而具有第2实施方式的壳体81，端子部40以在面81AS上露出的方式被埋入壁构成部分81A而被固定。

另外，在第1～第3实施方式中，也可以将连接器部30安装在阀芯12的侧面12E或12F上。

Claims (11)

1.一种闸阀装置，其包括：

阀芯，其用于开闭设置在将相邻的两个空间隔开的壁上的开口部；

阀芯移动部件，其为了利用上述阀芯开闭上述开口部而使阀芯移动；

加热器，其用于加热上述阀芯；

连接器，其与上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的电力输出部电连接而且是物理连接，其特征在于，

上述阀芯、加热器和连接器被一体化，

上述连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电连接而且物理连接，在上述阀芯打开了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电分离而且是物理分离。

2.根据权利要求1所述的闸阀装置，其特征在于，

上述电力输出部被固定在上述壁上。

3.根据权利要求1所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括用于收容上述阀芯、加热器和连接器的壳体，上述电力输出部被固定在上述壳体上。

4.根据权利要求3所述的闸阀装置，其特征在于，

上述壳体具有构成上述壁的至少一部分的壁构成部分，上述电力输出部被固定在上述壁构成部分上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括开关，该开关被设置在用于对上述电力输出部供电的电源和上述电力输出部之间，用于选择对上述电力输出部供电和断电。

6.根据权利要求1或2所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括副连接器，该副连接器与上述阀芯、加热器和连接器一体化，并与上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的第2电力输出部电连接而且是物理连接，

上述副连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述副连接器与上述第2电力输出部电分离而且是物理分离，在上述阀芯打开了上述开口部的特定的状态下，上述副连接器与上述第2电力输出部电连接而且是物理连接。

7.根据权利要求6所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括上述第2电力输出部。

8.根据权利要求7所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括用于收容上述阀芯、加热器、连接器和副连接器的壳体，上述第2电力输出部被固定在上述壳体上。

9.根据权利要求7所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括开关，该开关被设置在用于对上述第2电力输出部供电的电源和上述第2电力输出部之间，用于选择对上述第2电力输出部供电和断电。

10.根据权利要求1～4中任一项所述的闸阀装置，其特征在于，

上述阀芯移动部件包括：基座构件；驱动部件，其使上述基座构件沿与上述壁的面平行的方向移动；连杆机构，其用于连接上述基座构件和上述阀芯，在利用上述阀芯封闭上述开口部时，使上述阀芯沿与上述壁的面平行的方向移动到与上述开口部相对的位置之后，使上述阀芯朝着上述开口部沿与上述壁的面垂直的方向移动，在上述阀芯打开上述开口部时，使上述阀芯进行与封闭上述开口部时相反的动作。

11.根据权利要求1～4中任一项所述的闸阀装置，其特征在于，

上述两个空间中的一个位于用于在真空条件下对基板进行处理的真空室的内部。

Images