KR101872881B1 - 게이트밸브용 블레이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제1 하우징플레이트 내측에 설치되는 온도센서부를 수직형 와이어타입으로 형성함으로써, 온도센서부를 교체하거나 수리할 경우, 온도센서부만 탈거가능하여 교체작업이 간소화된다는 장점이 있다.

Description

게이트밸브용 블레이드{Gate valve blade}

본 발명은 게이트밸브용 블레이드에 관한 것으로서, 밸브하우징(10) 내부의 이동부(11)에 위치되어 구동부재(20)의 작동여부에 따라 이동통로부(12)를 개폐하는 게이트밸브용 블레이드(100)에 있어서, 후면의 내측 둘레에 열선안착홈(111)이 함몰형성되고, 후면 중앙부에 온도센서안착홈(112)이 함몰형성되고, 상기 온도센서안착홈(112)으로부터 하부방향으로 연장형성되는 온도센서인입홈(113)을 포함하는 제1 하우징플레이트(110);와, 상기 열선안착홈(111)에 안착되는 열선히터(120);와, 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에 결합되는 제2 하우징플레이트(130);와, 상기 온도센서인입홈(113)을 통해 삽입되어 상기 온도센서안착홈(112)에 안착되는 온도센서부(140);로 구성되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 블레이드에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 제조공정은 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다.

이러한 이유로, 반도체 소자는 에어 중에 포함된 이물질의 접촉을 완벽하게 차단한 상태, 즉, 진공상태에서 제조됨으로써, 제품의 신뢰성 및 완성도 높은 제품 생산이 가능해진다.

한편, 반도체 소자를 제조하는 공정에서는 제조공정의 특성에 따라 특정 압력이 유지되거나 외부와 밀폐되는 공간이 필요하다.

이러한 공간이 구비된 것을 공정챔버라고 하며, 웨이퍼의 공정과정에 따라 외부와 밀폐되어 특정 압력 및 특정 유체 또는 가스 등에 의해 공간의 물리화학적 특성이 결정된다.

한편, 웨이퍼는 제조공정상 공정챔버와 반송챔버 사이를 수없이 이동하여야 하기 때문에 각각의 공간의 특성을 유지하기 위하여 공간사이의 개폐 및 밀폐여부가 매우 중요하고, 이와 같은 목적을 달성하기 위하여 공정챔버와 반송챔버 사이에는 게이트밸브가 설치된다.

상기와 같은 게이트밸브를 이용하여 공정과정에 따라 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 공정챔버 내의 이물질이 포함된 유체를 흡입하는 공정을 진행할 수 있고, 때로는 공정챔버 내 진공상태를 조성하는 공정을 진행할 수 있는 것을 가능하게 한다.

한편, 이러한 게이트밸브의 구성 중 구동부재와 연결되어 구동부재의 구동력에 의해 작동되는 블레이드는 구동부재의 작동여부에 따라 수직 및 수평 이동하여 이동통로를 개폐하는 역할을 함으로써, 공정챔버 내의 진공상태 유지는 물론 청결도를 유지시켜 작업의 효율성을 증진시키는데 매우 중요한 역할을 한다.

한편, 블레이드 내부에 일정온도 이상의 열이 발생시켜 블레이드 표면의 온도를 상승시킴으로써, 식각 및 증착공정시 화학반응에 의하여 웨이퍼의 이동통로 또는 블레이드의 표면에 발생하는 파티클, 파우더, 퓸 등의 이물질에 의한 침착 및 석출현상이 방지되는 것이 가능해 진다.

상기한 목적을 달성하고자 종래에는 도 1에 나타낸 것과 같이, 상판블레이드(200) 내부에 피스톤로드공(미도시)을 통해 히터라인(220)을 설치하고, L형타입의 온도감지부재(230)를 구부려 설치한 후, 상기 상판블레이드(200) 후면에 돌출형성된 장축의 연결돌출부(210)에 하판블레이드(300)의 연결공(310)을 삽입하여 상기 상판블레이드(200) 내측에 상기 하판블레이드(300)를 삽입하여 결합한 다음, 상기 상판블레이드(200)와 상기 하판블레이드(300)가 접촉되는 둘레 및 상기 연결돌출부(210)와 상기 연결공(310)이 접촉되는 둘레를 각각 용접(N, M) 하는 구성으로 이루어져 있었다.

그러나, 상기 온도감지부재(230)를 상기 상판블레이드(200) 내부에 구부려 설치함으로써, 상기 온도감지부재(230)를 교체하거나 수리할 경우, 전체를 분리해야 함으로써, 교체작업의 효율성이 떨어진다는 문제점이 있었다.

또한, 상기 온도감지부재(230)가 블레이드 내부에 안착된 상태에서 상기 상판블레이드(200)와 상기 하판블레이드(300)를 결합하여 이음부를 용접하는 경우, 상기 온도감지부재(230)가 용접에 의한 용융열에 의해 손상 또는 변형되어 감지센서로의 기능이 상실된다는 문제점이 있었다.

또한, 상기 상판블레이드(200)와 상기 하판블레이드(300)가 접촉되는 둘레 및 상기 연결돌출부(210)와 상기 연결공(310)이 접촉되는 둘레에 각각 용접(N, M)이 이루어져 결합됨으로써, 용접부위가 많게 되어 용접시 열에 의한 수축으로 인해 제품의 변형률이 증가되어 제품의 신뢰성이 저하된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 제1 하우징플레이트 내측에 설치되는 온도센서부를 수직형 와이어타입으로 형성함으로써, 온도센서부를 교체하거나 수리할 경우, 온도센서부만 탈거되어 교체작업이 간소화되는 게이트밸브용 블레이드를 제공하는 것이다.

또한, 제작과정에서 제1 하우징플레이트와 제2 하우징플레이트의 접촉된 외각 둘레를 용접(U)하고, 제2 하우징플레이트의 후면 중 결합돌기와 상기 결합공의 맞닿는 둘레에 용접(P)이 이루어짐으로써, 종전에 비해 용접부위가 줄어들어 제품의 변형률이 저하되고 이로 인해 제품의 신뢰성을 확보할 수 있는 게이트밸브용 블레이드를 제공하는 것이다.

또한, 제1 하우징플레이트 내측에 온도센서안착홈을 별도로 형성하고, 온도센서안착홈 내측에 금속성안착가이드튜브를 설치함으로써, 온도센서부가 온도센서안착홈보다 지름이 큰 온도센서인입홈을 통해 온도센서안착홈 측으로 정확하게 이동 및 안착되는 것을 가이드하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 게이트밸브용 블레이드를 제공하는 것이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 게이트밸브용 블레이드는, 밸브하우징(10) 내부의 이동부(11)에 위치되어 구동부재(20)의 작동여부에 따라 이동통로부(12)를 개폐하는 게이트밸브용 블레이드(100)에 있어서, 후면의 내측 둘레에 열선안착홈(111)이 함몰형성되고, 후면 중앙부에 온도센서안착홈(112)이 함몰형성되고, 상기 온도센서안착홈(112)으로부터 하부방향으로 연장형성되는 온도센서인입홈(113)을 포함하는 제1 하우징플레이트(110);와, 상기 열선안착홈(111)에 안착되는 열선히터(120);와, 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에 결합되는 제2 하우징플레이트(130);와, 상기 온도센서인입홈(113)을 통해 삽입되어 상기 온도센서안착홈(112)에 안착되는 온도센서부(140);로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에는 원통형상의 다수개의 결합돌기(114)가 돌출형성되고, 상기 제2 하우징플레이트(130)의 내측에는 각각의 상기 결합돌기(114)가 삽입되도록 결합공(131)이 각각 타공형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 온도센서안착홈(112)에는 상기 온도센서부(140)가 상기 온도센서인입홈(113)을 통해 상기 온도센서안착홈(112)으로 이동 및 안착되는 것을 가이드하도록 금속성안착가이드튜브(150)가 삽입되는 것을 특징으로 한다.

이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 제1 하우징플레이트 내측에 설치되는 온도센서부를 수직형 와이어타입으로 형성함으로써, 온도센서부를 교체하거나 수리할 경우, 온도센서부만 탈거되어 교체작업이 간소화된다는 장점이 있다.

또한, 제작과정에서 제1 하우징플레이트와 제2 하우징플레이트의 접촉된 외각 둘레를 용접(U)하고, 제2 하우징플레이트의 후면 중 결합돌기와 상기 결합공의 맞닿는 둘레에 용접(P)이 이루어짐으로써, 종전에 비해 용접부위가 줄어들어 제품의 변형률이 저하되고 이로 인해 제품의 신뢰성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 제1 하우징플레이트 내측에 온도센서안착홈을 별도로 형성하고, 온도센서안착홈 내측에 금속성안착가이드튜브를 설치함으로써, 온도센서부가 온도센서안착홈보다 지름이 큰 온도센서인입홈을 통해 온도센서안착홈 측으로 정확하게 이동 및 안착되는 것을 가이드하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 종래에 사용된 블레이드의 단면도, 배면도 및 측면도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트밸브용 블레이드가 설치된 게이트밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트밸브용 블레이드의 구성 중 제1, 2 하우징플레이트의 구성을 보인 분해사시도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트밸브용 블레이드의 단면도 및 배면도

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브용 블레이드(100)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.

도 3 또는 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브용 블레이드(100)는 크게 제1 하우징플레이트(110), 열선히터(120), 제2 하우징플레이트(130) 및 온도센서부(140)로 구성된다.

먼저, 제1 하우징플레이트(110)에 대하여 설명한다. 상기 제1 하우징플레이트(110)는 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 판형상으로 형성되어 작동여부에 따라 이동통로부(12)와 직접적으로 접촉되어 상기 이동통로부(12)를 폐쇄하는 구성요소로서, 열선안착홈(111), 온도센서안착홈(112), 온도센서인입홈(113) 및 결합돌기(114)로 이루어진다.

상기 열선안착홈(111)은 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면 내측 둘레에 함몰형성되는 구성요소로서, 후술할 열선히터(120)가 안착되어 상기 제1 하우징플레이트(110) 내측에 위치되는 것을 가이드 하는 역할을 한다.

상기 온도센서안착홈(112)은 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면 중앙부에 함몰형성되는 구성요소로서, 후술할 온도센서부(140)가 안착되어 상기 제1 하우징플레이트(110) 내측에 위치되는 것을 가이드 하는 역할을 한다.

한편, 상기 온도센서안착홈(112)에는 상기 온도센서부(140)가 상기 온도센서안착홈(112)보다 지름이 큰 후술할 온도센서인입홈(113)을 통해 상기 온도센서안착홈(112) 측으로 정확하게 이동 및 안착되는 것을 가이드하는 금속재질의 금속성안착가이드튜브(150)가 설치되는 것이 가능하다.

상기 온도센서인입홈(113)은 상기 온도센서안착홈(112)으로부터 하부방향으로 연장형성되는 일종의 연결구로서, 상기 제1 하우징플레이트(110) 내측에 위치된 상기 열선히터(120) 또는 상기 온도센서부(140)가 통과되어 샤프트(21) 내측을 지나 전기장치(미도시)와 연결되는 것을 가능하게 한다.

한편, 상기 온도센서인입홈(113)은 상기 온도센서안착홈(112)보다 그 지름을 크게 형성함으로써, 상기 열선히터(120) 또는 상기 온도센서부(140)를 상기 제1 하우징플레이트(110) 내측에 원활하게 설치되는 것을 가능하게 한다.

상기 결합돌기(114)는 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에 원통형상으로 돌출형성되는 구성요소로서, 후술할 결합돌기(114)에 삽입됨으로써, 상기 제1 하우징플레이트(110)와 후술할 제2 하우징플레이트(130)의 결속력을 증가시키는 역할을 한다.

다음으로, 열선히터(120)에 대하여 설명한다. 상기 열선히터(120)는 도 4에 나타낸 것과 같이, 변형이 용이한 탄성력을 가진 라인(line)타입으로 형성되어 상기 열선안착홈(111)에 안착되는 구성요소로서, 상기 제1, 2 하우징플레이트(110, 130)를 가열하여 본 발명의 게이트밸브용 블레이드(100)의 표면 또는 상기 이동통로부(12)의 표면에 발생되는 파티클, 파우더, 퓸 등의 이물질을 제거하는 역할을 한다.

다음으로, 제2 하우징플레이트(130)에 대하여 설명한다. 상기 제2 하우징플레이트(130)는 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에 결합되는 판형상의 구성요소로서, 상기 제2 하우징플레이트(130)의 내측에는 각각의 상기 결합돌기(115)가 삽입되도록 결합공(131)이 각각 타공형성되는 것이 가능하다.

한편, 상기 제1, 2 하우징플레이트(110, 130)의 긴밀한 결합을 위해 상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면과 상기 제2 하우징플레이트(130)의 전면이 겹쳐진 둘레부위에 용접(U)이 이루어지고, 상기 제2 하우징플레이트(130)의 후면 중 상기 결합돌기(115)가 상기 결합공(131)에 삽입된 상태에서 상기 결합돌기(115)와 상기 결합공(131)의 맞닿는 둘레면에 용접(P)이 이루어짐으로써, 도 1에 나타낸 종래의 기술에 비해 후면부의 용접부위가 줄어들어 제품의 변형률이 저하되고 이로 인하여 제품의 신뢰성을 확보할 수 있게 된다.

다음으로, 온도센서부(140)에 대하여 설명한다. 상기 온도센서부(140)는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 온도센서인입홈(113)을 통해 삽입되어 상기 온도센서안착홈(112)에 안착되어 상기 열선히터(120)의 발열량을 감지하는 구성요소로서, 상기 온도센서부(140)는 수직형 와이어타입으로 형성함으로써, 상기 온도센서부(140)를 교체하거나 수리할 경우, 상기 온도센서부(140)만 손쉽게 탈거되어 교체작업이 간소화되는 것이 가능해 진다.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

10: 밸브하우징 11: 이동부
12: 이동통로부 20: 구동부재
21: 샤프트
100: 게이트밸브용 블레이드 110: 제1 하우징플레이트
111: 열선안착홈 112: 온도센서안착홈
113: 온도센서인입홈 114: 결합돌기
120: 열선히터
130: 제2 하우징플레이트 131: 결합공
140: 온도센서부
150: 금속성안착가이드튜브
200: 상판블레이드 210: 연결돌출부
220: 히터라인 230: 온도감지부재
240: 피스톤로드
300: 하판블레이드 310: 연결공
N, M, P, U: 용접부위

Claims (3)

1. 밸브하우징(10) 내부의 이동부(11)에 위치되어 구동부재(20)의 작동여부에 따라 이동통로부(12)를 개폐하는 게이트밸브용 블레이드(100)에 있어서,
   후면의 내측 둘레에 열선안착홈(111)이 함몰형성되고, 후면 중앙부에 온도센서안착홈(112)이 함몰형성되고, 상기 온도센서안착홈(112)으로부터 하부방향으로 연장형성되는 온도센서인입홈(113)을 포함하는 제1 하우징플레이트(110);
   상기 열선안착홈(111)에 안착되는 열선히터(120);
   상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에 결합되는 제2 하우징플레이트(130);
   상기 온도센서인입홈(113)을 통해 삽입되어 상기 온도센서안착홈(112)에 안착되는 온도센서부(140);로 구성되되,
   상기 제1 하우징플레이트(110)의 후면에는 원통형상의 다수개의 결합돌기(114)가 돌출형성되고,
   상기 제2 하우징플레이트(130)의 내측에는 각각의 상기 결합돌기(114)가 삽입되도록 결합공(131)이 각각 타공형성되며,
   상기 온도센서안착홈(112)에는 상기 온도센서부(140)가 상기 온도센서인입홈(113)을 통해 상기 온도센서안착홈(112)으로 이동 및 안착되는 것을 가이드하도록 금속성안착가이드튜브(150)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 블레이드(100).
   
   
   
   
   
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